FR2765392A1 - Pompage ionique d'un ecran plat a micropointes - Google Patents
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Abstract
L'invention concerne un écran plat à micropointes comportant une cathode (1) pourvue de zones actives de micropointes (2) d'émission électronique; une anode (5) cathodoluminescente pourvue, au moins en regard desdites zones actives de micropointes, de zones actives d'éléments luminophores (16); une grille principale (3) d'extraction d'électrons émis par les micropointes actives (2) en direction des éléments luminophores (16); et, côté cathode (1), au moins une zone sacrificielle de micropointes (2') propre à être adressée, hors de périodes de fonctionnement de l'écran et indépendamment desdites zones actives.
Description
POMPAGE IONIQUE D'UN ÉCRAN PLAT À MICROPOINTES
La présente invention concerne le domaine des écrans plats de visualisation à micropointes. L'invention concerne plus
particulièrement la fabrication de tels écrans.
Un écran à micropointes est généralement constitué d'une cathode pourvue de micropointes d'émission électronique
placée en regard d'une anode pourvue d'éléments luminophores pro-
pres à être excités par bombardement électronique. La cathode est
associée à une grille pourvue de trous correspondant aux emplace-
ments des micropointes.
Ce dispositif utilise le champ électrique qui est créé entre la cathode et la grille pour que des électrons soient extraits de micropointes. Ces électrons sont ensuite attirés par
les éléments luminophores de l'anode si ceux-ci sont convenable-
ment polarisés.
Les micropointes sont généralement déposées sur des
conducteurs de cathode organisés en colonnes et adressables indi-
viduellement. La grille est organisée en rangées perpendiculaires
aux colonnes de la cathode, également adressables individuelle-
ment. Dans un écran couleur, l'anode est généralement pourvue de bandes alternées d'éléments luminophores correspondant chacune à une couleur (Rouge, Vert, Bleu). Les bandes sont parallèles aux colonnes de la cathode et sont séparées les unes des autres par
un isolant. Les éléments luminophores sont déposés sur des élec-
trodes constituées de bandes correspondantes d'une couche conduc-
trice transparente, par exemple, en oxyde d'indium et d'étain
(ITO).
L'intersection d'une colonne de la cathode et d'une rangée de la grille définit un pixel de l'écran. Pour un écran couleur, les ensembles de bandes rouges, vertes, bleues sont alternativement polarisées par rapport à la cathode pour que des
électrons extraits des micropointes d'un pixel de la cathode-
grille soient alternativement dirigés vers chacune des couleurs.
Dans certains écrans couleurs o les colonnes de cathode (ou les lignes de grille) sont subdivisées en trois pour correspondre à chaque couleur, l'intersection d'une rangée de la grille avec une
colonne de la cathode définit alors un sous-pixel d'une couleur.
Généralement, les rangées de la grille sont séquentiel-
lement polarisées à un potentiel de l'ordre de 80 volts, tandis que les bandes d'éléments luminophores devant être excitées sont
polarisées sous une tension de l'ordre de 400 volts par l'inter-
médiaire de la bande d'ITO sur laquelle ces éléments luminophores
sont déposés. Les bandes d'ITO, portant les autres bandes d'élé-
ments luminophores sont à un potentiel faible ou nul. Les colon-
nes de la cathode sont portées à des potentiels respectifs compris entre un potentiel d'émission maximale et un potentiel
d'absence d'émission (par exemple, respectivement 0 et 30 volts).
On fixe ainsi la brillance d'une composante couleur de chacun des
pixels d'une ligne.
Dans un écran monochrome, 1 'anode est généralement constituée d'un plan d'éléments luminophores de même couleur polarisés simultanément, ou de deux ensembles de bandes alternées
d'éléments luminophores de même couleur adressés alternativement.
Le choix des valeurs des potentiels de polarisation est
lié aux caractéristiques des éléments luminophores et des micro-
pointes. Classiquement, en dessous d'une différence de potentiel
de 50 volts entre la cathode et la grille, il n'y a pas d'émis-
sion électronique, et l' émission maximale utilisée correspond à
une différence de potentiel de 80 volts.
La fabrication des écrans à micropointes fait appel aux techniques couramment utilisées dans la fabrication des circuits intégrés. La cathode est généralement formée de dépôts en couches minces sur un substrat, par exemple, de verre constituant le fond de l'écran. L'anode est généralement formée sur un substrat de
verre constituant la surface d'écran.
L'anode et la cathode-grille sont réalisées indépendam-
ment l'une de l'autre sur les deux substrats, puis sont assem-
blées au moyen d'un joint périphérique de scellement en ména-
geant, entre la grille et l'anode, un espace vide pour permettre
la circulation des électrons émis par la cathode jusqu'à l'anode.
Lors de l'assemblage, l'écran est soumis à divers trai-
tements thermiques de dégazage. Ces traitements s'effectuent généralement sous pompage au moyen d'un tube communiquant avec l'espace vide et destiné à être fermé à la fin du processus de fabrication.
Un élément de piégeage d'impureté (getter) est généra-
lement introduit dans l'écran, par exemple dans le tube, avant fermeture. Ce getter a pour rôle de piéger des éléments désorbés,
en particulier par l'anode, lors du fonctionnement de l'écran.
Toutefois, ce getter est inactif vis-à-vis des espèces neutres, en particulier des gaz rares, qui subsistent dans 1 'espace vide
après fermeture de l'écran.
On doit donc généralement provoquer un piégeage des
espèces subsistant dans 1 'espace inter-électrodes afin d ' amélio-
rer le vide. Cette étape ultime s'effectue une fois le tube de
pompage fermé. Elle consiste à provoquer une émission électroni-
que des micropointes afin d'ioniser des espèces neutres subsis-
tant dans l'espace inter-électrodes. Le bombardement des espèces neutres provoque une extraction d'un électron de leur couche de
valence et ces espèces se trouvent alors chargées positivement.
Elles sont alors attirées par les micropointes au potentiel le plus négatif. Cette étape est coamunément appelée un pompage ionique. La présente invention concerne plus particulièrement l'amélioration du vide de l'espace inter-électrodes par pompage ionique.
Un inconvénient des écrans classiques est que le pom-
page ionique endommage les micropointes de la cathode. En effet, la collection des espèces ionisées par les micropointes provoque une érosion mécanique et/ou chimique (en particulier, par les gaz rares) des micropointes. Si le vide de l'écran est amélioré, on
constate une diminution du pouvoir émissif des micropointes.
Un autre inconvénient des écrans classiques est que, pendant le fonctionnement de l'écran, certaines espèces dégazées ne parviennent pas à être piégées par le getter. Il en découle une dégradation de la qualité du vide qui nuit à la fiabilité de
1 'écran.
La présente invention vise à proposer un nouveau pro-
cédé de pompage ionique d'un écran à micropointes qui pallie aux
inconvénients des procédés connus. L'invention vise en particu-
lier à améliorer la capacité émissive des micropointes.
La présente invention vise également à proposer une nouvelle structure d'écran plat de visualisation qui soit adaptée
à la mise en oeuvre de ce procédé.
La présente invention vise également à permettre, de
façon simple, la mise en oeuvre d'un pompage ionique par le sys-
tème de commande de 1 'écran et, en particulier, à ne pas nécessi-
ter la fourniture d'autres potentiels que ceux qui sont classi-
quement utilisés dans un écran classique pour son fonctionnement.
La présente invention vise en outre à proposer un écran qui permette une amélioration du vide non seulement lors de la fabrication de 1 'écran mais également après la mise en service de l'écran.
Pour atteindre ces objets, la présente invention pré-
voit un écran plat de visualisation à micropointes comportant une
cathode pourvue de zones actives de micropointes d'émission élec-
tronique; une anode cathodoluminescente pourvue, au moins en regard desdites zones actives de micropointes, de zones actives d'éléments luminophores; une grille principale d'extraction d'électrons émis par les micropointes actives en direction des éléments luminophores; et côté cathode, au moins une zone sacri- ficielle de micropointes propre à être adressée, hors de périodes de fonctionnement de 1' écran et indépendamment desdites zones actives. Selon un mode de réalisation de la présente invention, la zone sacrificielle de micropointes est associée à une grille secondaire. Selon un mode de réalisation de la présente invention, l'écran comporte, côté anode, au moins une piste conductrice à l'aplomb de la zone sacrificielle de micropointes, ladite piste
conductrice étant, pendant une phase de pompage ionique, polari-
sée à un potentiel supérieur à un potentiel de polarisation de
ladite grille secondaire, de préférence, à une potentiel corres-
pondant à un potentiel nominal d'adressage des zones actives
d'éléments luminophores de l'anode.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, la grille secondaire est polarisée, pendant une phase de pompage ionique, à un potentiel correspondant à un potentiel nominal
d'adressage de la grille principale pendant les périodes de fonc-
tionnement de 1 'écran.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, les grilles principale et secondaire sont une seule et même grille s'étendant à l'aplomb des zones active et sacrificielle de micropointes. Selon un mode de réalisation de la présente invention, lesdites micropointes sacrificielles sont adressées, pendant une phase de pompage ionique, à un potentiel compris dans une plage
de potentiels nominaux d'adressage des zones actives de micro-
pointes pendant le fonctionnement de 1 'écran.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, la surface de la zone sacrificielle de micropointes est comprise
entre 0,1% et 10% de la surface des zones actives de micro-
pointes. Selon un mode de réalisation de la présente invention, dans lequel les zones actives de micropointes sont organisées en colonnes parallèles et adressables indépendamment les unes des autres, l 'écran comporte des zones sacrificielles de micropointes parallèles auxdites colonnes, chaque zone sacrificielle étant
intercalée entre deux colonnes voisines.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, l'écran comporte deux zones sacrificielles de micropointes de
part et d'autre des zones actives.
L'invention prévoit également un procédé d'amélioration du vide dans un écran plat à micropointes, qui consiste, pendant une phase de pompage ionique, à appliquer une tension positive entre une grille associée aux micropointes sacrificielles et la
zone sacrificielle de micropointes.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, on effectue une phase de pompage ionique avant la mise en service
de l'écran.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, on effectue une phase de pompage ionique après chaque période de
fonctionnement de 1 'écran.
Ces objets, caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres de la présente invention seront exposés en détail dans
la description suivante de modes de réalisation particuliers
faite à titre non-limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles: la figure 1 représente, partiellement et en coupe, un
écran plat de visualisation à micropointes selon un mode de réa-
lisation de la présente invention; et
la figure 2 illustre un mode de mise en oeuvre du pro-
cédé de pompage ionique selon la présente invention.
Pour des raisons de clarté, seuls les éléments de 1 'écran et les étapes de procédé nécessaires à la compréhension de l'invention ont été représentés aux figures et seront décrits
par la suite.
Une caractéristique de la présente invention est de prévoir, en plus des micropointes participant à l'affichage, au moins une zone de micropointes sacrificielles dédiées au pompage ionique. La figure 1 représente un mode de réalisation d'un écran de visualisation selon la présente invention. De façon classique, un écran selon l'invention est constitué d'une cathode
1 à micropointes 2 et d'une grille 3 pourvue de trous 4 corres-
pondant aux emplacements des micropointes 2. La cathode 1 est
placée en regard d'une anode cathodoluminescente 5 dont un subs-
trat de verre 6 constitue la surface d'écran. Les micropointes 2
sont généralement déposées sur des conducteurs 7 de cathode orga-
nisés en colonnes. Le plus souvent, les micropointes 2 sont réa-
lisées sur une couche résistive (non représentée) déposée sur les conducteurs de cathode organisés en mailles à partir d'une couche conductrice, les micropointes étant disposées à l'intérieur des mailles définies par les conducteurs de cathode. La grille 3 est
constituée d'une couche conductrice organisée en rangées perpen-
diculaires aux colonnes de conducteurs de cathode avec interposi-
tion d'un isolant 8 entre la cathode et la grille. Les rangées de
grille 3 sont pourvues d'un trou 4 à l'aplomb de chaque micro-
pointes 2. L'intersection d'une colonne 7 de la cathode et d'une
rangée de la grille 3 définit un pixel de l'écran. Pour des rai-
sons de clarté, une seule micropointe 2 a été représentée asso-
ciée à chaque conducteur de cathode 7. On notera toutefois que
les micropointes sont généralement au nombre de plusieurs mil-
liers par pixel d'écran. La cathode/grille est réalisée sur un
substrat 9, par exemple en verre, constituant le fond de l'écran.
En supposant que la représentation de la figure 1 cor-
respond à un écran monochrome, le substrat 6 d'anode 5 porte une
électrode 10 constituée d'un plan d'une couche conductrice trans-
parente telle que de l'oxyde d'indium et d'étain (ITO). Des élé-
ments luminophores 16 de même couleur sont déposés sur cette électrode 10. Dans le cas d'un écran couleur (non représenté), l'anode est généralement pourvue de bandes alternées d'éléments luminophores correspondant chacune à une couleur (rouge, vert, bleu). Les bandes sont parallèles aux colonnes de la cathode et sont séparées les unes des autres par un isolant. Les éléments luminophores sont alors déposés sur des électrodes constituées de
bandes correspondantes d'ITO.
Un espace vide 11 est ménagé entre l 'anode et la cathode/grille lors de l'assemblage des substrats 6 et 9. Des espaceurs (non représentés) généralement régulièrenment répartis entre la grille 3 et l'anode 5 définissent la hauteur de l'espace 11 et un joint périphérique de scellement (non représenté) assure
l'étanchéité de l'assemblage.
De façon classique, un tel écran est commandé au moyen d'un circuit électronique 12 propre à adresser individuellement les colonnes de conducteurs 7 de la cathode par des liaisons 13, à adresser séquentiellement les rangées de la grille 3 par des liaisons 14, et à polariser l'électrode d'anode 10 au moyen d'une
liaison 15. Dans le cas d'un écran couleur, les ensembles de ban-
des rouges, vertes et bleues sont alternativement polarisées par
rapport à la cathode au moyen de liaisons appropriées.
Selon la présente invention, la cathode 1 comporte une zone sacrificielle de micropointes 2' adressable indépendamment des colonnes 7 au moyen d'une électrode 7' additionnelle. Cette zone est associée à une grille secondaire 3' qui, selon le mode
de réalisation représenté à la figure 1, est adressable indépen-
damment des rangées de la grille 3. A titre de variante, la
grille secondaire peut correspondre à des prolongements de ran-
gées de la grille principale 3 participant à l'affichage.
Selon l'invention, la zone sacrificielle de micro-
pointes 2 est destinée à être adressée, une fois l'écran terminé, pour améliorer le vide dans l'espace 11 inter-électrodes. Ainsi, selon la présente invention, l'écran comporte des zones actives
de micropointes 2 et au moins une zone sacrificielle de micro-
pointes 2' adressables indépendamment les unes des autres. Les
micropointes sacrificielles sont endommagées par le pompage ioni-
que auquel elles participent tandis que les micropointes de la
zone active de l 'écran sont préservées.
De préférence, l'anode est pourvue d'une électrode secondaire 10' de collection des électrons émis par la zone sacrificielle de micropointes. Par exemple, une zone d'ITO, de préférence dépourvue d'éléments luminophores, est prévue à
l'aplomb de la zone sacrificielle de micropointes. Cette élec-
trode 10' est, pendant le pompage ionique, polarisée à un poten-
tiel nettement supérieur au potentiel de la grille 3'. Cela pré-
sente l 'avantage que les électrons émis par les micropointes sacrificielles 2' ne sont pas collectés par la grille secondaire
3' qui se trouve ainsi préservée. De plus, les électrons traver-
sent alors tout 1 'espace inter-électrodes, ce qui augmente la probabilité de heurter une molécule neutre et de la transformer en un ion positif. En outre, on fixe ainsi la zone o vont se
loger les molécules ionisées (la grille secondaire 3'). Cet avan-
tage est particulièrement intéressant dans le cas o la grille secondaire est constituée de prolongements de rangées de la
grille 3 servant à l'extraction des électrons de la zone active.
A titre de variante, l'électrode secondaire 10' de
l'anode est confondue avec l'électrode 10, les éléments lumino-
phores 16 étant toutefois déposés, de préférence, uniquement à
l'aplomb des zones actives de micropointes.
Le cas échéant, l'électrode secondaire 10' pourra être
revêtue d'un matériau à coefficient d'émission secondaire supé-
rieur à un de façon à multiplier le nombre d'électrons émis. Dans
ce cas, on pourra appliquer un champ transversal à cette élec-
trode secondaire 10' pour encore accroître le nombre d'électrons
par effet d'avalanche.
Dans le mode de réalisation représenté, l'électrode 7',
la grille secondaire 3' et l'électrode secondaire 10' sont adres-
sables par le circuit 12 au moyen de liaisons 13', 14' et 15'. Le
pompage ionique peut alors être commandé par le circuit électro-
nique de commande de l'écran. A titre de variante, les conduc-
teurs 13', 14' et 15' sont également accessibles pour être connectés individuellement, lors de la fabrication de l'écran o d'opérations de maintenance, à un système particulier de pompage ionique qui sera décrit par la suite en relation avec la figure 2. Selon 1' invention, un pompage ionique de l'espace inter-électrodes est mis en oeuvre une fois l'écran terminé en polarisant l'électrode secondaire de grille 3' à un potentiel adapté, correspondant de préférence au potentiel nominal de la grille 3 en fonctionnement (par exemple, de l'ordre de 80 volts),
et en portant l'électrode 7' à un potentiel permettant une émis-
sion électronique. De préférence, le potentiel de polarisation de l'électrode 7' est compris dans la plage de potentiels nominaux (par exemple, entre 0 et 30 volts) de fonctionnement de la zone active de l'écran. Le choix du potentiel de polarisation de
l'électrode 7' dépend de l'intensité d'émission électronique sou-
haitée pour le pompage ionique. De préférence, pour accélérer le pompage ionique, la zone sacrificielle de micropointes 2' sera polarisée à un potentiel (par exemple, 0 volt) correspondant à une émission maximale. De préférence, l'électrode secondaire 10' de l'anode 5 est polarisée à un potentiel (par exemple de l'ordre de 400 volts) correspondant au potentiel nominal de polarisation
de l'électrode 10 de l'écran.
Un avantage de la présente invention est que, tout en permettant un pompage ionique de l'espace inter-électrodes 11, le pouvoir émissif des micropointes 2 qui participent à l'affichage
n'est sensiblement pas altéré.
Un autre avantage de la présente invention est qu'elle permet, si le circuit 12 de commande est adapté à commander la zone sacrificielle de micropointes 2', de procéder à un pompage
ionique après la mise en service de l'écran pour piéger des espé-
ces non absorbées par le getter et empêcher ainsi la dégradation
du vide.
Selon l'invention, on effectue ce pompage ionique hors des périodes de fonctionnement de l'écran, c'est-à-dire hors des périodes o l'écran affiche des images. De préférence, ce pompage ionique est commandé après chaque extinction de 1 'écran à la fin d'une utilisation pour affichage. Ainsi, le vide est régénéré pour l'utilisation suivante. On a en effet constaté que le vide se dégradait malgré le pompage ionique que pourraient effectuer
les zones actives de micropointes pendant les périodes de fonc-
tionnement. On suppose que des espèces continuent à être désor-
bées juste après l'extinction. Un avantage de prévoir un pompage ionique au moyen des micropointes sacrificielles après chaque
utilisation est que ces espèces sont alors immédiatement piégées.
De plus, on minimise l'endommagement des micropointes des zones actives qui sont autrement polluées lors de l'allumage suivant de
l 'écran.
On notera que plusieurs zones de micropointes sacrifi-
cielles pourront être prévues dans différentes régions de l'écran afin d'améliorer la répartition spatiale du pompage ionique. Par exemple, on pourra prévoir des colonnes parallèles aux colonnes 7, hors de la zone d'affichage, c'est-à-dire de part et d'autre de l'écran. Selon un autre mode de réalisation non représenté, des zones sacrificielles sont organisées en colonnes ménagées
entre deux colonnes voisines 7 de micropointes actives 2, c'est-
à-dire servant à 1 'affichage. Les colonnes de micropointes sacri-
ficielles ainsi obtenues sont adressables indépendamment des colonnes actives. Dans ce mode de réalisation, les rangées de
grille 3 servant à l'adressage normal de l'écran en fonction-
nement sont utilisées pour adresser les zones sacrificielles pen-
dant les phases de pompage ionique. Les zones actives de 1 'anode sont alors, de préférence, polarisées à leur potentiel nominal de
fonctionnement et servent à collecter des électrons, non seule-
ment pendant les phases de fonctionnement mais également pendant
les phases de pompage ionique.
Le choix et la taille des emplacements des zones sacri-
ficielles dépendent des caractéristiques (forme, résolution,
espace disponible entre colonnes) de la zone active de micro-
pointes.
Un avantage de la présente invention est que le pompage ionique ne requiert aucune génération de potentiel supplémentaire
par rapport à ceux qui sont disponibles dans le circuit électro-
nique 12 de commande de l'écran, ce qui limite les adaptations de ce circuit 12 si l'on souhaite effectuer un pompage ionique après
la mise en service de 1 'écran.
Le cas échéant, la grille 3' peut être recouverte d'un matériau spécifique (par exemple, du titane) qui va sublimer quand il sera frappé par une molécule ionisée. Le gaz émis par ce
matériau se redépose alors sur la grille et les molécules ioni-
sées se trouvent alors enterrées sous le métal. Elles sont donc
plus stables et auront beaucoup plus de mal à être extraites.
Cette variante est plus particulièrement destinée aux cas o 1 'anode est dépourvue d'électrode secondaire en regard de la zone
sacrificielle de micropointes.
Dans le cas o les électrons émis par les zones sacri-
ficielles ne sont pas collectés par l'anode, cette zone de micro-
pointes 2 sacrificielles pourra être placée en regard d'orifices (non représentés) ménagés dans le substrat 6 pour communiquer avec une enceinte de logement du getter. On profite ainsi de la présence d'une surface inutilisable pour la zone active de
l 'écran.
On notera que la réalisation d'un écran selon la pré-
sente invention ne requiert aucune modification du procédé de fabrication de la cathode de l'anode et de la grille. Seuls les
masques de dépôt et de gravure utilisés pour les différentes cou-
ches sont, selon l'invention, adaptés pour créer la ou les zones
sacrificielle, la ou les grilles secondaires, et la ou les élec-
trodes d'anode additionnelles.
La figure 2 illustre un mode de mis en oeuvre d'un pro-
cédé de pompage ionique d'un écran selon la présente invention.
Ce mode de mise en oeuvre est plus particulièrement destiné à un
pompage ionique lors de la fabrication de l'écran ou lors d'opé-
ration de maintenance au moyen d'un système indépendant du cir-
cuit 12 (figure 1) de commande de l'écran.
* A la figure 2, l'écran a été représenté de façon sché-
matique sous la forme d'une plaque de cathode 1 et d'une plaque d'anode 5. Les zones actives et sacrificielles de micropointes
sont illustrées par les positions respectives des grilles princi-
pale 3 et secondaire 3' représentées en pointillé.
Un système de pompage ionique selon la présente inven-
tion comporte un circuit 20 d'alimentation (ALIM.) commandable et propre à générer les potentiels de polarisation nécessaires au pompage ionique. Par exemple, le circuit 20 génère une tension Va
(par exemple, 400 volts) de polarisation de l'électrode secon-
daire (10', figure 1) d'anode. Cette tension Va est envoyée sur un diviseur de tension 21 générant les tensions Vg de grille secondaire et Vc de polarisation de l'électrode 7' (figure 1)
portant les micropointes sacrificielles. La tension Vgc est posi-
tive et est, de préférence, réglable afin d'obtenir un courant d'émission réglable. La zone sacrificielle de micropointes pourra être adressée soit en mode pulsé soit en mode continu. L'avantage
d'un adressage en mode continu est qu'il réduit le temps de pom-
page ionique. La tension Va est une tension constante supérieure
à la tension de grille Vg afin de collecter les électrons émis.
La durée du pompage ionique lors de la fabrication dépend du volume de l'écran, du niveau de vie initial et de la surface de micropointes sacrificielles. Par exemple, une zone sacrificielle représentant entre 0, 1% et 10% de la zone active constitue, selon l'invention, un bon compromis entre la durée
nécessaire de pompage ionique et l'encombrement de l'écran.
Bien entendu, la présente invention est susceptible de diverses variantes et modifications qui apparaîtront à 1 'hommne de l'art. En particulier, les potentiels de polarisation pendant la
phase de pompage ionique seront, de préférence, choisis en fonc-
tion des potentiels nominaux de fonctionnement de l'écran. De plus, la réalisation pratique d'un système de pompage ionique tel que représenté à la figure 2 est à la portée de l'homme du métier en fonction des indications fonctionnelles données ci-dessus. De même, les adaptations du circuit (12, figure 1) de commande de l'écran, dans un mode de réalisation o l'on souhaite un pompage ionique apreès la mise en service de l'écran, sont à la portée de
l'hoame du métier.
Claims (12)
1. Écran plat à micropointes comportant:
une cathode (1) pourvue de zones actives de micro-
pointes (2) d'émission électronique; une anode (5) cathodoluminescente pourvue, au moins en regard desdites zones actives de micropointes, de zones actives d'éléments luminophores (16); et une grille principale (3) d'extraction d'électrons émis
par les micropointes actives (2) en direction des éléments lumi-
nophores (16), caractérisé en ce qu'il comporte, côté cathode (1), au moins une zone sacrificielle de micropointes (2') propre à être
adressée, hors de périodes de fonctionnement de l'écran et indé-
pendamment desdites zones actives.
2. Ecran selon la revendication 1, caractérisé en ce que la zone sacrificielle de micropointes (2') est associée à une
grille secondaire (3').
3. Écran selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'il comporte, côté anode (5), au moins une piste conductrice (10') à l'aplomb de la zone sacrificielle de micropointes (2'), ladite piste conductrice étant, pendant une phase de pompage ionique, polarisée à un potentiel supérieur à un potentiel de polarisation de ladite grille secondaire (3'), de préférence, à une potentiel correspondant à un potentiel nominal d'adressage
des zones actives d'éléments luminophores (16) de l'anode (5).
4. Écran selon la revendication 2 ou 3, caractérisé en ce que la grille secondaire (3') est polarisée, pendant une phase de pompage ionique, à un potentiel correspondant à un potentiel nominal d'adressage de la grille principale (3) pendant les
périodes de fonctionnement de 1 'écran.
5. Écran selon 1 'une quelconque des revendications 2 à
4, caractérisé en ce que les grilles principale (3) et secondaire sont une seule et même grille s'étendant à l'aplomb des zones
active et sacrificielle de micropointes (2, 2').
6. Ecran selon 1' une quelconque des revendications 1 à
, caractérisé en ce que lesdites micropointes sacrificielles (2') sont adressées, pendant une phase de pompage ionique, à un
potentiel compris dans une plage de potentiels nominaux d'adres-
sage des zones actives de micropointes (2) pendant le fonction-
nement de l'écran.
7. Écran selon l'une quelconque des revendications 1 à
6, caractérisé en ce que la surface de la zone sacrificielle de micropointes (2') est comprise entre 0,1% et 10% de la surface
des zones actives de micropointes (2).
8. Écran selon 1 'une quelconque des revendications 1 à
7, dans lequel les zones actives de micropointes (2) sont organi-
sées en colonnes parallèles et adressables indépendamment les unes des autres, caractérisé en ce qu'il comporte des zones sacrificielles de micropointes (2') parallèles auxdites colonnes, chaque zone sacrificielle étant intercalée entre deux colonnes voisines.
9. Ecran selon 1 'une quelconque des revendications 1 à
7, caractérisé en ce qu'il comporte deux zones sacrificielles de
micropointes (2') de part et d'autre des zones actives.
10. Procédé d'amélioration du vide dans un écran plat à
micropointes selon l'une quelconque des revendications 1 à 9,
caractérisé en ce qu'il consiste, pendant une phase de pompage ionique, à appliquer une tension positive entre une grille (3') associée au micropointes sacrificielles et la zone sacrificielle
de micropointes (2').
11. Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce qu'il consiste à effectuer une phase de pompage ionique avant
la mise en service de 1 'écran.
12. Procédé selon la revendication 10 ou 11, caracté-
risé en ce qu'il consiste à effectuer une phase de pompage ionique
après chaque période de fonctionnement de 1 'écran.
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DE10241549B4 (de) * | 2002-09-05 | 2004-07-22 | Nawotec Gmbh | Orbitron-Pumpe |
JP3908708B2 (ja) * | 2003-09-22 | 2007-04-25 | 株式会社東芝 | 画像形成装置の駆動方法 |
JP4475646B2 (ja) * | 2004-08-27 | 2010-06-09 | キヤノン株式会社 | 画像表示装置 |
JP2006066267A (ja) * | 2004-08-27 | 2006-03-09 | Canon Inc | 画像表示装置 |
JP4817641B2 (ja) * | 2004-10-26 | 2011-11-16 | キヤノン株式会社 | 画像形成装置 |
US20060113888A1 (en) * | 2004-12-01 | 2006-06-01 | Huai-Yuan Tseng | Field emission display device with protection structure |
GB2454508B (en) * | 2007-11-09 | 2010-04-28 | Microsaic Systems Ltd | Electrode structures |
JP2009244625A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Canon Inc | 画像表示装置およびその駆動方法 |
GB2479190B (en) * | 2010-04-01 | 2014-03-19 | Microsaic Systems Plc | Microengineered multipole rod assembly |
GB2479191B (en) * | 2010-04-01 | 2014-03-19 | Microsaic Systems Plc | Microengineered multipole ion guide |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5063323A (en) * | 1990-07-16 | 1991-11-05 | Hughes Aircraft Company | Field emitter structure providing passageways for venting of outgassed materials from active electronic area |
FR2709373A1 (fr) * | 1993-07-08 | 1995-03-03 | Futaba Denshi Kogyo Kk | Fixateur de gaz, dispositif fixateur de gaz et dispositif d'affichage fluorescent. |
US5578900A (en) * | 1995-11-01 | 1996-11-26 | Industrial Technology Research Institute | Built in ion pump for field emission display |
WO1996039582A1 (fr) * | 1995-06-06 | 1996-12-12 | Color Planar Displays, Inc. | Dispositif de maintien du vide pour enceintes a vide pousse |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3240421A (en) * | 1963-01-24 | 1966-03-15 | Itt | Ion transport pump |
JPS5650042A (en) * | 1979-09-29 | 1981-05-07 | Univ Tohoku | Ion pump for super high vacuum |
JPH04289640A (ja) * | 1991-03-19 | 1992-10-14 | Hitachi Ltd | 画像表示素子 |
JP3430560B2 (ja) * | 1993-07-08 | 2003-07-28 | 双葉電子工業株式会社 | ゲッター装置及びゲッター装置を有する蛍光表示管 |
JP3217579B2 (ja) * | 1994-03-07 | 2001-10-09 | 株式会社東芝 | 表示装置 |
JP2992927B2 (ja) * | 1994-11-29 | 1999-12-20 | キヤノン株式会社 | 画像形成装置 |
JP3183122B2 (ja) * | 1995-08-31 | 2001-07-03 | 双葉電子工業株式会社 | 電界放出型表示素子 |
US5697827A (en) * | 1996-01-11 | 1997-12-16 | Rabinowitz; Mario | Emissive flat panel display with improved regenerative cathode |
FR2748347B1 (fr) * | 1996-05-06 | 1998-07-24 | Pixtech Sa | Anode d'ecran plat de visualisation a anneau de protection |
GB2321335A (en) * | 1997-01-16 | 1998-07-22 | Ibm | Display device |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5063323A (en) * | 1990-07-16 | 1991-11-05 | Hughes Aircraft Company | Field emitter structure providing passageways for venting of outgassed materials from active electronic area |
FR2709373A1 (fr) * | 1993-07-08 | 1995-03-03 | Futaba Denshi Kogyo Kk | Fixateur de gaz, dispositif fixateur de gaz et dispositif d'affichage fluorescent. |
WO1996039582A1 (fr) * | 1995-06-06 | 1996-12-12 | Color Planar Displays, Inc. | Dispositif de maintien du vide pour enceintes a vide pousse |
US5578900A (en) * | 1995-11-01 | 1996-11-26 | Industrial Technology Research Institute | Built in ion pump for field emission display |
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Publication number | Publication date |
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