FR2687497A1 - Procede de realisation d'une tete magnetique en couches minces. - Google Patents
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Abstract
On commence par former deux pièces polaires (P1, P2) séparées à l'avant par un intervalle (I) très supérieur à l'entrefer (E) désiré. Sur le plan des extrémités avant de ces pièces, on forme un espaceur amagnétique (52) et des pièces polaires avant (PPav1 , PPav2 ) beaucoup plus larges que les pièces polaires ( P1, P2). Le patin de vol peut être obtenu par gravure d'une couche dure déposée sur l'ensemble. Application à l'enregistrement magnétique.
Description
DESCRIPTION Donaine technique
La présente invention a pour objet un procédé de réalisation d'une tête magnétique d'écriture et de lecture à couches minces. Elle trouve une application dans l'enregistrement magnétique.
La présente invention a pour objet un procédé de réalisation d'une tête magnétique d'écriture et de lecture à couches minces. Elle trouve une application dans l'enregistrement magnétique.
Etat de La technique antérieure
La figure 1 montre une tête magnétique connue formée de deux pièces polaires P1 et P2 définissant un entrefer E. Un bobinage conducteur B entoure ces pièces poLaires. La couche d'enregistrement (non représentée) passe devant L'entrefer E.
La figure 1 montre une tête magnétique connue formée de deux pièces polaires P1 et P2 définissant un entrefer E. Un bobinage conducteur B entoure ces pièces poLaires. La couche d'enregistrement (non représentée) passe devant L'entrefer E.
Une telle tête est décrite, par exempLe, dans L'abrégé de brevet japonais vol. 5, nO 150, (P-81) (822) du 22 septembre 1981.
Ces têtes présentent au moins trois inconvénients
- tout d'abord, à la lecture, on obtient
un signal tel que représenté sur la figure
2 : à l'aplomb des angles extérieurs des
pièces poLaires, apparaissent des inver
sions de polarité du signal (phénomène
dit d' "undershoot") ; cet effet entraine
de sérieux problèmes dans le traitement
du signal de lecture,
- ensuite, l'alignement correct des pièces
polaires L'une par rapport à L'autre est
difficile à réaliser,
- enfin, une telle tête pose des problèmes
de réalisation du patin de vol.
- tout d'abord, à la lecture, on obtient
un signal tel que représenté sur la figure
2 : à l'aplomb des angles extérieurs des
pièces poLaires, apparaissent des inver
sions de polarité du signal (phénomène
dit d' "undershoot") ; cet effet entraine
de sérieux problèmes dans le traitement
du signal de lecture,
- ensuite, l'alignement correct des pièces
polaires L'une par rapport à L'autre est
difficile à réaliser,
- enfin, une telle tête pose des problèmes
de réalisation du patin de vol.
Ce dernier inconvénient peut être mieux ap préhendé à L'aide des figures 3a, 3b et 3c. Sur la figure 3a, on voit une plaquette 10 sur laquelle sont réalisées collectivement des têtes magnétiques 20 telles que celles de la figure 1. La plaquette 10 est ensuite découpée en barrettes 22, comme illustré sur la figure 3b. Par diverses opérations d'usinage mécanique, notamment un meulage, on réalise des patins de vol tels que représentés sur la figure 3c sous la référence 24. Cet usinage doit être extrémement précis pour que le profil obtenu (avec deux "skis" latéraux séparés par un décrochement central) soit exactement positionné par rapport à la tête 20. Cette contrainte d'usinage est difficile à tenir.
Exposé de L'invention
La présente invention a justement pour but d'éviter ces inconvénients.
La présente invention a justement pour but d'éviter ces inconvénients.
A cette fin, L'invention préconise un procédé qui conduit à des pièces polaires larges, ce qui évite le phénomène d'"undershoot" et supprime les problèmes d'alignement. Par ailleurs, le patin de vol peut être obtenu par gravure d'une couche en matériau dur, et non par usinage mécanique, ce qui permet de centrer correctement et aisément le profil par rapport à la tête.
De façon précise, la présente invention a pour objet un procédé de réalisation d'une tête magnétique d'écriture et de lecture, caractérisé par le fait qu'il comprend les opérations suivantes
- sur un substrat, on dépose une première
pièce polaire, un bobinage et une seconde
pièce polaire, ces pièces polaires ayant
une orientation générale parallèle au sub
strat et ayant des extrémités arrière réu
nies et des extrémités avant séparées par
un intervalle plus large que L'entrefer
désiré pour la tête,
- sur Le plan des extrémités avant des pièces
poLaires, (plan qui est perpendiculaire
à l'orientation générale des pièces polai
res), on forme un espaceur amagnétique
ayant la largeur de L'entrefer désiré,
cet espaceur étant disposé dans un plan
médian par rapport auxdites extrémités
avant des pièces poLaires,
- toujours dans le plan des extrémités avant,
et de part et d'autre de l'espaceur, on
forme deux pièces polaires avant respec
tivement en contact avec la première et
avec la seconde pièces poLaires.
- sur un substrat, on dépose une première
pièce polaire, un bobinage et une seconde
pièce polaire, ces pièces polaires ayant
une orientation générale parallèle au sub
strat et ayant des extrémités arrière réu
nies et des extrémités avant séparées par
un intervalle plus large que L'entrefer
désiré pour la tête,
- sur Le plan des extrémités avant des pièces
poLaires, (plan qui est perpendiculaire
à l'orientation générale des pièces polai
res), on forme un espaceur amagnétique
ayant la largeur de L'entrefer désiré,
cet espaceur étant disposé dans un plan
médian par rapport auxdites extrémités
avant des pièces poLaires,
- toujours dans le plan des extrémités avant,
et de part et d'autre de l'espaceur, on
forme deux pièces polaires avant respec
tivement en contact avec la première et
avec la seconde pièces poLaires.
Pour former le patin de vol, on utilise une couche dure superficielle dans laquelle les pièces polaires avant sont enterrées et l'on grave cette couche dure pour lui donner le profil souhaité.
Le procédé de l'invention est mis en oeuvre avantageusement de façon collective.
Brève description des dessins
- la figure 1, déjà décrite, montre, en coupe,
une tête magnétique selon l'art antérieur,
- la figure 2, déjà décrite, montre un signal
de lecture selon l'art antérieur ;
- les figures 3a, 3b, 3c, déjà décrites,
illustrent un procédé de réalisation selon
l'art antérieur ;
- les figures 4a à 4e illustrent différents
sous-ensembles ou éléments, dans un procédé
collectif de réalisation selon l'invention
- la figure 5 illustre différentes étapes
du procédé de L'invention ;
-la figure 6 montre un patin de vol définitif
avec sa tête.
- la figure 1, déjà décrite, montre, en coupe,
une tête magnétique selon l'art antérieur,
- la figure 2, déjà décrite, montre un signal
de lecture selon l'art antérieur ;
- les figures 3a, 3b, 3c, déjà décrites,
illustrent un procédé de réalisation selon
l'art antérieur ;
- les figures 4a à 4e illustrent différents
sous-ensembles ou éléments, dans un procédé
collectif de réalisation selon l'invention
- la figure 5 illustre différentes étapes
du procédé de L'invention ;
-la figure 6 montre un patin de vol définitif
avec sa tête.
Exposé détailLé d'un mode de réaLisation
On voit, sur la figure 4a, une plaquette 40 (par exemple en céramique chargée en carbure de titane (Al203-TiC)) avec une épaisseur e (par exemple de 3 mm) cette épaisseur correspondant à la longueur désirée pour le patin de vol à réaliser. Sur cette plaquette 40, on dépose des têtes 20 selon des rangées et des colonnes. Une rangée peut avoir une largeur
I (par exemple 1 mm) et une colonne une largeur L (par exemple 2 mm). La plaquette 40 peut être carrée (comme illustrée) ou rectangulaire ou circulaire.
On voit, sur la figure 4a, une plaquette 40 (par exemple en céramique chargée en carbure de titane (Al203-TiC)) avec une épaisseur e (par exemple de 3 mm) cette épaisseur correspondant à la longueur désirée pour le patin de vol à réaliser. Sur cette plaquette 40, on dépose des têtes 20 selon des rangées et des colonnes. Une rangée peut avoir une largeur
I (par exemple 1 mm) et une colonne une largeur L (par exemple 2 mm). La plaquette 40 peut être carrée (comme illustrée) ou rectangulaire ou circulaire.
Chaque tête 20 a la structure représentée sur la figure 4b, avec deux pièces polaires P1 et
P2 et un bobinage B. Ces pièces polaires ont des extrémités arrière qui se rejoignent et des extrémités avant Pîav, P2av séparées par un intervalle I. Cette structure peut être obtenue par tous moyens connus (dépôt de couches, gravure, polissage, etc.). La différence avec l'art antérieur est que l'intervalle
I entre les extrémités avant est très supérieur à
L'entrefer E que devra présenter la tête définitive.
P2 et un bobinage B. Ces pièces polaires ont des extrémités arrière qui se rejoignent et des extrémités avant Pîav, P2av séparées par un intervalle I. Cette structure peut être obtenue par tous moyens connus (dépôt de couches, gravure, polissage, etc.). La différence avec l'art antérieur est que l'intervalle
I entre les extrémités avant est très supérieur à
L'entrefer E que devra présenter la tête définitive.
Par exemple, cet intervalle sera de 5 à 10 Vm alors que L'entrefer définitif ("gap") sera de l'ordre de 0,5 rm.
La figure 4c montre une barrette 42 qui a été découpée dans la plaquette 40 le long de chaque rangée. Cette barrette est représentée en vue de dessus, comme pour la figure 4a, c'est-à-dire qu'on voit la pièce polaire supérieure P2.
Cette barrette est alors tournée de 90 comme illustré sur la figure 4d, pour faire apparaître la face 44 de longueur e correspondant à l'épaisseur de la plaquette de départ. Cette face 44 contient les extrémités avant Plav et P2av des pièces polaires P1 et P2. La figure 4d laisse apparaitre une couche 21 destinée à encapsuler et protéger les têtes réalisées. Cette couche peut être en alumine par exemple et être déposée par pulvérisation.
Ces barrettes ainsi tournées sont ensuite juxtaposées et collées (par exemple au moyen de cire) pour constituer une nouvelle plaquette 46 (fig. 4c), ou, plus exactement, plusieurs plaquettes, chaque nouvelle plaquette 46 ayant comme épaisseur la largeur
I de chaque barrette initiale. Ainsi, partant de la plaquette carrée illustrée sur la figure 4a, avec une épaisseur de 3 mm et une largeur de rangée de 1 mm, on reconstitue trois nouvelles plaquettes carrées telles que 46, d'épaisseur 1 mm et de mêmes dimensions latérales.
I de chaque barrette initiale. Ainsi, partant de la plaquette carrée illustrée sur la figure 4a, avec une épaisseur de 3 mm et une largeur de rangée de 1 mm, on reconstitue trois nouvelles plaquettes carrées telles que 46, d'épaisseur 1 mm et de mêmes dimensions latérales.
Chaque plaquette 46 comprend alors une face avant (ou supérieure) 48 sur laquelle affleurent toutes extrémités avant des pièces polaires des différentes têtes. Cette face supérieure peut être polie pour obtenir une surface très plane.
La figure 5 montre ensuite diverses opérations effectuées sur ces nouvelles plaquettes ainsi reconstituées.
Sur la partie a, tout d'abord, on voit une coupe de la plaquette reconstituée. Les pièces polaires P1 et P2 sont orientées perpendiculairement à la face avant 48. Chaque pièce polaire peut avoir une épaisseur de 3 pm et l'intervalle I séparant les extrémités avant Plav et P2av peut être de 10 pm. Après polissage de la face supérieure 48 les pièces polaires affleurent par leurs extrémités avant Plav et P2av.
Sur la face 48, on dépose une couche de résine, par exemple de 3 um d'épaisseur, et on grave cette résine pour obtenir une marche référencée 50 sur la partie b. Cette marche tombe au droit du plan médian Pm des pièces polaires P1, P2.
On dépose ensuite une couche mince 52 en un matériau amagnétique, par exemple en silice SiO2 (partie c). Ce dépôt peut s'effectuer par CVD ("Chemical Vapor Deposition").
On grave cette couche, par exemple par RIE ("Reactive Ion Etching") pour ne laisser subsister le matériau amagnétique que sur le bord vertical de la marche. On enlève ensuite la résine 50 pour obtenir un espaceur 52 (partie d).
Ces opérations de réalisation d'un espaceur sont décrites plus en détail dans la demande de brevet français 86 13010 du Demandeur.
On peut déposer ensuite sur l'ensemble une couche conductrice magnétique 54, par exemple en fer-nickel (partie e). Le dépôt peut s'effectuer par exemple par pulvérisation cathodique.
On dépose ensuite sur L'ensemble une couche de résine, par exemple de 3 um d'épaisseur et on réa
lise dans cette couche des caissons 56 par photolithogravure. Chaque caisson 56 est divisé en deux par l'espaceur 52 (partie f).
lise dans cette couche des caissons 56 par photolithogravure. Chaque caisson 56 est divisé en deux par l'espaceur 52 (partie f).
On peut faire croître ensuite par électrolyse, en prenant la couche conductrice 54 comme électrode, un matériau magnétique, par exemple du fer-nickel, dans chaque caisson 56. Puis on enlève la résine.
On obtient alors des pièces telles que référencées 58 sur la partie 9. Ces pièces ont l'épaisseur du caisson, soit dans l'exemple pris, 3 pm.
On pourrait obtenir les pièces 58 par dépôt sous vide, la couche conductrice magnétique devenant alors inutile. La couche déposée sous vide remplit le caisson et déborde sur la couche de résine. Elle est ensuite polie pour obtenir une pièce plane où affleure L'espaceur.
On pourrait naturellement déposer un autre matériau que le fer-nickel, comme le Sendust par exemplie.
On dépose ensuite sur toute la surface de la plaquette une couche de matériau dur, comme de la silice, et on polit la surface jusqu a dégager
L'espaceur 52 (partie h). De chaque côté de cet espaceur 52 subsistent alors deux pièces polaires avant
PPav1, PPav2 en contact avec les pièces polaires PI,
P2 à travers la couche 54, laquelle est magnétique.
L'espaceur 52 (partie h). De chaque côté de cet espaceur 52 subsistent alors deux pièces polaires avant
PPav1, PPav2 en contact avec les pièces polaires PI,
P2 à travers la couche 54, laquelle est magnétique.
L'ensemble est enterré dans la couche dure 60 qui subsiste.
L'ensemble T obtenu est représenté en coupe sur la partie h de la figure 5 et en vue de dessus sur la partie 1. Cet ensemble T constitue une tête magnétique avec son entrefer E défini par L'espaceur 52, cet espaceur séparant les deux pièces polaires avant PPav1 et PPav2. Ces pièces sont situées dans le plan général de la plaquette. Le flux magnétique se referme par les deux pièces polaires PI, P2 qui se rejoignent à leur extrémité arrière. Ces pièces
P1, P2 ont, elles, une direction générale perpendiculaire au plan de la plaquette.
P1, P2 ont, elles, une direction générale perpendiculaire au plan de la plaquette.
La plaquette ainsi traitée comprend donc une pluralité de telles têtes T, comme illustré sur la partie ~L de la figure 5.
Il reste alors à réaliser des patins de vol.
La figure 6 montre un tel patin 62 obtenu par gravure de la couche dure 60 qui recouvre la face supérieure de la plaquette. Sur la figure 6, on a supposé que cette couche dure 60 n'était pas complétement gravée.
Mais, dans certains cas, on pourra atteindre le substrat en céramique et creuser celui-ci, notamment pour le décrochement central 64.
On comprend, à l'aide de la figure 6, que tous les inconvénients de l'art antérieur sont bien évités : les pièces polaires avant sont larges, ce qui évite le phénomène d'"undershoot" ; l'alignement des pièces P1 et P2 est sans incidence sur la qualité de la tête, et celui des pièces avant s'effectue par masquage donc sans difficulté ; enfin, la gravure du patin de vol s'obtient encore par gravure et non plus par micro-usinage, ce qui ne pose plus de problème d'alignement.
Claims (4)
1. Procédé de réalisation d'une tête magnétique d'écriture et de lecture, caractérisé par le fait qu'il comprend les opérations suivantes
- sur un substrat (40), on dépose une première
pièce polaire (P1), un bobinage (B) et
une seconde pièce polaire (P2), ces pièces
polaires (P1, P2) ayant une orientation
générale parallèle au substrat (40) et
ayant des extrémités arrière réunies et
des extrémités avant (P1av, P2av) sépa
rées par un intervalle (I) plus large que
l'entrefer (E) désiré pour la tête,
- sur le plan (48) des extrémités avant (P1av,
P2av) des pièces polaires (PI, P2), (plan
qui est perpendiculaire à l'orientation
générale des pièces polaires (P1, P2)),
on forme un espaceur amagnétique (52) ayant
la largeur de l'entrefer (E) désiré, cet
espaceur étant disposé dans un plan médian
(Pm) par rapport auxdites extrémités avant
(P1av, P2av) des pièces polaires (P1, P2),
- toujours dans Le plan (48) des extrémités
avant (P1av, P2av), et de part et d'autre
de l'espaceur (52), on forme deux pièces
polaires avant (PPav1, PPav2) respectivement
en contact avec la première (P1) et avec
la seconde (P2) pièces polaires,
- on dépose une couche dure (60) sur les
pièces polaires avant (PPav1, PPav2) et
l'espaceur (52) et on polit cette couche
dure (60) pour faire affleurer l'espa
ceur (52) et les pièces polaires avant,
- on forme un patin de vol en gravant la
couche dure (60) autour de la tête.
2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé par le fait que, pour former les deux pièces polaires avant (PPav1, PPav2)
- on dépose sur le plan (48) des extrémités
avant (P1av, P2av) des pièces polaires
(P1, P2), une couche isolante,
- on grave dans cette couche un caisson (56)
de part et d'autre de l'espaceur (52),
- on remplit le caisson (56) de matériau
magnétique pour obtenir les deux pièces
polaires avant (PPav1, PPav2).
3. Procédé selon la revendication 2, caractérisé par le fait que, pour remplir le caisson (56) de matériau magnétique, on procède par croissance électrolytique sur une couche conductrice magnétique (54) servant d'électrode et déposée après formation de l'espaceur (52).
4. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé par le fait qu'il est collectif et comprend les opérations suivantes :
- sur une plaquette (40), on forme des rangées
de sous-ensembles constitués chacun par
ladite première pièce polaire (Pî), ledit
bobinage (B), ladite seconde pièce polaire
(P2), les pièces polaires (PI, P2) étant
disposées dans le plan de la plaquette
et présentant des extrémités avant (P1av,
P2av) un intervalle (I) supérieur à l'entre
fer désiré,
- on dépose une couche de protection (21)
sur l'ensemble, - on découpe la plaquette (40) en barrettes
(42) comprenant chacune une de ces rangées,
chaque barrette ayant une face (44) qui
contient les extrémités avant (Plav. P2av)
des pièces polaires (P1, P2), - on tourne de 90 ces barrettes et on les
colle côte à côte pour constituer une- nou
velle plaquette (46), la face supérieure
(48) de cette nouvelle plaquette étant
constituée par la face (44) contenant les
extrémités avant (P1av, P2av) des pièces
polaires (P1, P2), - sur la face supérieure (48) de cette nouvel
le plaquette, on forme une pluralité d'espa
ceurs amagnétiques (52) entre les extrémités
avant (P1av, P2av) des première et seconde
pièces polaires (P1, P2), - on dépose sur l'ensemble une couche isolante
et on forme, dans cette couche isolante,
une pluralité de caissons (56) autour des
espaceurs (52), - on remplit ces caissons (56) de matériau
magnétique, - on enlève la couche isolante ayant servi
à former les caissons et on dépose sur
l'ensemble une couche isolante dure (60)
que l'on polit jusqu'à dégager l'espaceur
(52) et deux pièces polaires avant (PPav1 PPav2), - on grave la couche isolante dure (60) pour
former des patins de vol autour d'une ou
de plusieurs tête(s) (T), - on sépare les différents patins de vol
(62) avec leur(s) tête(s).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9201612A FR2687497B1 (fr) | 1992-02-13 | 1992-02-13 | Procede de realisation d'une tete magnetique en couches minces. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9201612A FR2687497B1 (fr) | 1992-02-13 | 1992-02-13 | Procede de realisation d'une tete magnetique en couches minces. |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FR2687497A1 true FR2687497A1 (fr) | 1993-08-20 |
| FR2687497B1 FR2687497B1 (fr) | 1995-10-13 |
Family
ID=9426604
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FR9201612A Expired - Fee Related FR2687497B1 (fr) | 1992-02-13 | 1992-02-13 | Procede de realisation d'une tete magnetique en couches minces. |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| FR (1) | FR2687497B1 (fr) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2724480A1 (fr) * | 1994-09-13 | 1996-03-15 | Commissariat Energie Atomique | Tete magnetique a pieces polaires horizontales |
| EP0747885A1 (fr) * | 1995-06-07 | 1996-12-11 | Seagate Technology, Inc. | Transducteur à couche mince pour réduction à sous oscillation |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3685144A (en) * | 1967-09-18 | 1972-08-22 | Ncr Co | Method of making a magnetic transducer |
| JPS55135323A (en) * | 1979-04-11 | 1980-10-22 | Fujitsu Ltd | Manufacture of thin-film magnetic head |
| JPS5693111A (en) * | 1979-12-25 | 1981-07-28 | Nec Corp | Induction-type thin-film magnetic head |
| JPS57143726A (en) * | 1981-02-28 | 1982-09-06 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Thin film magnetic head |
| JPS5837830A (ja) * | 1981-08-28 | 1983-03-05 | Fujitsu Ltd | 薄膜磁気ヘツド |
| JPS62150512A (ja) * | 1985-12-25 | 1987-07-04 | Sony Corp | 薄膜磁気ヘッド素子の製法 |
| JPH1048217A (ja) * | 1996-08-05 | 1998-02-20 | Igaku Seibutsugaku Kenkyusho:Kk | プロテインキナーゼのリン酸化酵素活性の測定法及び測定キット |
-
1992
- 1992-02-13 FR FR9201612A patent/FR2687497B1/fr not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3685144A (en) * | 1967-09-18 | 1972-08-22 | Ncr Co | Method of making a magnetic transducer |
| JPS55135323A (en) * | 1979-04-11 | 1980-10-22 | Fujitsu Ltd | Manufacture of thin-film magnetic head |
| JPS5693111A (en) * | 1979-12-25 | 1981-07-28 | Nec Corp | Induction-type thin-film magnetic head |
| JPS57143726A (en) * | 1981-02-28 | 1982-09-06 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Thin film magnetic head |
| JPS5837830A (ja) * | 1981-08-28 | 1983-03-05 | Fujitsu Ltd | 薄膜磁気ヘツド |
| JPS62150512A (ja) * | 1985-12-25 | 1987-07-04 | Sony Corp | 薄膜磁気ヘッド素子の製法 |
| JPH1048217A (ja) * | 1996-08-05 | 1998-02-20 | Igaku Seibutsugaku Kenkyusho:Kk | プロテインキナーゼのリン酸化酵素活性の測定法及び測定キット |
Non-Patent Citations (7)
| Title |
|---|
| PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 11, no. 383 (P-646)(2830) 15 Décembre 1987 & JP-A-62 150 512 ( SONY CORP ) 4 Juillet 1987 * |
| PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 13, no. 250 (P-882)(3598) 12 Juin 1989 & JP-A-10 48 217 ( NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> ) 22 Février 1989 * |
| PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 14, no. 98 (P-1011)(4041) 22 Février 1990 & JP-A-13 03 616 ( NEC CORP ) 7 Décembre 1989 * |
| PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 5, no. 161 (P-84)(833) 16 Octobre 1981 & JP-A-56 093 111 ( NIPPON DENKI K.K. ) 28 Juillet 1981 * |
| PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 5, no. 5 (P-44)(677) 14 Janvier 1981 & JP-A-55 135 323 ( FUJITSU K.K. ) 22 Octobre 1980 * |
| PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 6, no. 245 (P-159)(1123) 3 Décembre 1982 & JP-A-57 143 726 ( NIPPON DENSHIN DENWA KOSHA ) 6 Septembre 1982 * |
| PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 7, no. 121 (P-199)(1266) 25 Mai 1983 & JP-A-58 037 830 ( FUJITSU K.K. ) 5 Mars 1983 * |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2724480A1 (fr) * | 1994-09-13 | 1996-03-15 | Commissariat Energie Atomique | Tete magnetique a pieces polaires horizontales |
| EP0702356A1 (fr) * | 1994-09-13 | 1996-03-20 | Commissariat A L'energie Atomique | Tête magnétique à pièces polaires horizontales |
| US6212034B1 (en) | 1994-09-13 | 2001-04-03 | Commissariat A L'energie Atomique | Magnetic head having horizontal pole pieces |
| EP0747885A1 (fr) * | 1995-06-07 | 1996-12-11 | Seagate Technology, Inc. | Transducteur à couche mince pour réduction à sous oscillation |
| US5615069A (en) * | 1995-06-07 | 1997-03-25 | Seagate Technology, Inc. | Thin-film transducer design for undershoot reduction |
| US5737826A (en) * | 1995-06-07 | 1998-04-14 | Seagate Technology, Inc. | Method of making a thin-film transducer design for undershoot reduction |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2687497B1 (fr) | 1995-10-13 |
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