JPS5837830A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents
薄膜磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS5837830A JPS5837830A JP13520681A JP13520681A JPS5837830A JP S5837830 A JPS5837830 A JP S5837830A JP 13520681 A JP13520681 A JP 13520681A JP 13520681 A JP13520681 A JP 13520681A JP S5837830 A JPS5837830 A JP S5837830A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- thin film
- recording
- head
- magnetic head
- Prior art date
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- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
- G11B5/3143—Disposition of layers including additional layers for improving the electromagnetic transducing properties of the basic structure, e.g. for flux coupling, guiding or shielding
- G11B5/3146—Disposition of layers including additional layers for improving the electromagnetic transducing properties of the basic structure, e.g. for flux coupling, guiding or shielding magnetic layers
- G11B5/3153—Disposition of layers including additional layers for improving the electromagnetic transducing properties of the basic structure, e.g. for flux coupling, guiding or shielding magnetic layers including at least one magnetic thin film coupled by interfacing to the basic magnetic thin film structure
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/3116—Shaping of layers, poles or gaps for improving the form of the electrical signal transduced, e.g. for shielding, contour effect, equalizing, side flux fringing, cross talk reduction between heads or between heads and information tracks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は記録媒体に対向する磁極面の記録媒体のトラッ
クに沿って測った長さを薄膜磁極のＪＷさ以上にして特
性を改善した薄膜磁気ヘッドに関する。
クに沿って測った長さを薄膜磁極のＪＷさ以上にして特
性を改善した薄膜磁気ヘッドに関する。
従来の薄膜磁気ヘッドは訊１図に示すように。
第１０薄Ｊ［Ｅｉ極（１）、導体（２）、そして第２の
薄膜磁極（３）ｔ−この順序１基板（４）上に積層化し
、その積層構造ｔｆｆｌＮ層（５）を包んで形成されて
いる。従って、このヘッドの磁極面の長さく着は薄膜磁
極の厚さを有するに過ぎない。
薄膜磁極（３）ｔ−この順序１基板（４）上に積層化し
、その積層構造ｔｆｆｌＮ層（５）を包んで形成されて
いる。従って、このヘッドの磁極面の長さく着は薄膜磁
極の厚さを有するに過ぎない。
このような磁極面の長きｆあると、ヘッドによって再生
される信号波形の中に、第２図に示すように、ａ極面の
長さく４の位置で主応答とは逆極性で主応答よりも小さ
な振幅の副応答が現われる。
される信号波形の中に、第２図に示すように、ａ極面の
長さく４の位置で主応答とは逆極性で主応答よりも小さ
な振幅の副応答が現われる。
このよりな剛応答が主応答の中に現われると、再生信号
は合成応答の形状となり主応答が乱され。
は合成応答の形状となり主応答が乱され。
゛記録情報再匝時の信頼性を低下させる原因となる。
また、磁極面の長さは上述の如く薄膜磁極の厚さ１ある
ため、磁−面の長さｔ数μ諷以上にすることは困難′’
ｌ’Ｔｏ’る。これによシ、磁束が通過する磁憶断面積
の拡大は制限されヘッドの効率向上を阻ん１いる。
ため、磁−面の長さｔ数μ諷以上にすることは困難′’
ｌ’Ｔｏ’る。これによシ、磁束が通過する磁憶断面積
の拡大は制限されヘッドの効率向上を阻ん１いる。
本発明は上述したような従来の薄膜磁気ヘッドの有する
欠点を解決すべく創案されたもの！、その目的は記録再
生イヤツブを形成する磁性体の磁極面の長さ會記鍮再生
ギャップから遠ざかる方向、すなわち記録トラックに沿
った方向に拡大することＫより、応答性の改善、効率の
向上１−０つた薄膜磁気ヘッドを提供することＦｃ１ｆ
、る。
欠点を解決すべく創案されたもの！、その目的は記録再
生イヤツブを形成する磁性体の磁極面の長さ會記鍮再生
ギャップから遠ざかる方向、すなわち記録トラックに沿
った方向に拡大することＫより、応答性の改善、効率の
向上１−０つた薄膜磁気ヘッドを提供することＦｃ１ｆ
、る。
以下、添付図面全参照しながら１本発明の一実施例を説
明する。
明する。
第３図は本発明へ、ラドの特徴部分を拡大して示す。第
３図において、 （１０） 、 （１１）は薄膜磁極
で。
３図において、 （１０） 、 （１１）は薄膜磁極
で。
これら磁極間に配録再生イヤツブ（１２）がある。この
イヤツブは磁気記録体の記録トラック（図示せず）との
間１信号を変換するものである。上記両磁極の少なくと
も上記記録トラックにそった方向に延びる所定長の磁性
薄膜（１３） ’に形成して本発明の特徴部分が構成さ
れている。そして、その磁性薄膜は上記両磁極の磁極面
（１４） 、 （１５）と同一平面内にその磁極面（１
６） 、 （１６） ｔ−有するのがよいが、必ずしも
これに制限されない。その他のヘッド構造は第１図の従
来構造とは輩同じであシ、その説明は省略する。
イヤツブは磁気記録体の記録トラック（図示せず）との
間１信号を変換するものである。上記両磁極の少なくと
も上記記録トラックにそった方向に延びる所定長の磁性
薄膜（１３） ’に形成して本発明の特徴部分が構成さ
れている。そして、その磁性薄膜は上記両磁極の磁極面
（１４） 、 （１５）と同一平面内にその磁極面（１
６） 、 （１６） ｔ−有するのがよいが、必ずしも
これに制限されない。その他のヘッド構造は第１図の従
来構造とは輩同じであシ、その説明は省略する。
Ｃｆｌ！ ５ Ｋ、 ＊極（１０） 、 （１１） ノ
厚ｉ（磁極面の長さ）よｐも磁性薄ｇ （１３）の磁極
面が磁極（１０） 。
厚ｉ（磁極面の長さ）よｐも磁性薄ｇ （１３）の磁極
面が磁極（１０） 。
（１１）から記録トラック方向に延びているから、この
ようなヘッドにより磁気記録面の信号を再生した場合Ｋ
ｋける副応答は主応答から充分遠去かった位置にて現わ
れると同時にその振幅も微小化される（第４図参照）。
ようなヘッドにより磁気記録面の信号を再生した場合Ｋ
ｋける副応答は主応答から充分遠去かった位置にて現わ
れると同時にその振幅も微小化される（第４図参照）。
従って、そのような副応答が再生信号中に現われたとし
ても、それによる主応答の影響度は僅少１あり、再生時
の信頼性は向上する。
ても、それによる主応答の影響度は僅少１あり、再生時
の信頼性は向上する。
また、ヘッドの効率を大きく左右する配録再生イヤツブ
近傍の磁極面の長さが本発明ヘッドの構造により増大さ
れてｉるから、ヘッドの変換効率も向上する。− 上述したような本発明ヘッドは次のようにして製造され
る。
近傍の磁極面の長さが本発明ヘッドの構造により増大さ
れてｉるから、ヘッドの変換効率も向上する。− 上述したような本発明ヘッドは次のようにして製造され
る。
第５図に示すように、公知の薄膜磁気ヘッド製造法によ
り製造された薄膜磁気ヘッドｔ％そのヘッドのイヤツゾ
深さが所定の深ざになるまで、研磨、析削等によりＭＥ
）込んで磁極面（１４） 、 （１５） ｔ−形成する
。第５図において、（１７）は基板、 （１８）は保饅
層、（１０） 、 （１１）は磁極、 （１２）は記
録再生ギャップ、 （１９）はコイル導体−ｅある。
り製造された薄膜磁気ヘッドｔ％そのヘッドのイヤツゾ
深さが所定の深ざになるまで、研磨、析削等によりＭＥ
）込んで磁極面（１４） 、 （１５） ｔ−形成する
。第５図において、（１７）は基板、 （１８）は保饅
層、（１０） 、 （１１）は磁極、 （１２）は記
録再生ギャップ、 （１９）はコイル導体−ｅある。
そのヘッドのトラック幅で且つ磁極（１０） 、 （１
１）からその記録再生ギャップ（１２）に関′して外方
Ｘ向って所定長例えば磁極の厚さを含んでｌＯ〜１００
μＩｉ度ｔ”ｌ！の領域を所定の深さｃ数μ）だけ、イ
オンエツチング、スノ々ツタエツチング、化学エツチン
グ等の選択性エツチング技術によシ彫り込ん１溝部（２
０） を形成する（第６図参照）。
１）からその記録再生ギャップ（１２）に関′して外方
Ｘ向って所定長例えば磁極の厚さを含んでｌＯ〜１００
μＩｉ度ｔ”ｌ！の領域を所定の深さｃ数μ）だけ、イ
オンエツチング、スノ々ツタエツチング、化学エツチン
グ等の選択性エツチング技術によシ彫り込ん１溝部（２
０） を形成する（第６図参照）。
次い！、彫り込まれた溝部（２０）ｔａめるように４ｍ
１１１１１ （＄１７ ［） （２１） 参照） ’ｔ
ｌＪ１、Ｚｔ’Ｊｌｉメッキ等により成膜する。
１１１１１ （＄１７ ［） （２１） 参照） ’ｔ
ｌＪ１、Ｚｔ’Ｊｌｉメッキ等により成膜する。
最後に、上述した磁極面（１４） 、 （１５）までの
余分の磁性薄膜（２２）部分を研摩−より除去する。こ
うして、ｉＩ極（１Ｇ） 、 （１１）の磁極面（１
４） 、 （１５）と同一平面内に磁極面（１６） を
有する磁性薄膜が磁極（１０） 。
余分の磁性薄膜（２２）部分を研摩−より除去する。こ
うして、ｉＩ極（１Ｇ） 、 （１１）の磁極面（１
４） 、 （１５）と同一平面内に磁極面（１６） を
有する磁性薄膜が磁極（１０） 。
≦１１）から外方に向けて形成される（第８図参照）。
以上の説明から明らかなように１本発明によれば、薄膜
磁極から少なくとも記録トラック方向に延びる′所定長
の磁性薄膜を設けることにより％細応答會可及的Ｋｆｉ
小化して再生の信頼性を向上させると共にヘッド効率の
向上も達成しうみ。
磁極から少なくとも記録トラック方向に延びる′所定長
の磁性薄膜を設けることにより％細応答會可及的Ｋｆｉ
小化して再生の信頼性を向上させると共にヘッド効率の
向上も達成しうみ。
第１図の（１−１）は従来薄膜磁気ヘッドの透視斜視図
、飢１図の（１−’ ２ ）は第１図の（１−１）のＡ
部分拡大図、第２図はｊｇ１図ヘッドの再生特性會示す
図、第３図は本発明ヘッドの特４１〜分を拡大して示す
斜視図、第４図は本発明ヘッドの再生特性を示す図、第
５図乃至第８図は本発明ヘッドの製造工程を示す図であ
る。 図中、 （１０） 、 （１１）は磁極、（１２）社配
録再生イヤツブ、 （１３）は磁性薄膜でおる。 特許出願人 富士通株式会社 第１図 第２図 第３図 ４図
、飢１図の（１−’ ２ ）は第１図の（１−１）のＡ
部分拡大図、第２図はｊｇ１図ヘッドの再生特性會示す
図、第３図は本発明ヘッドの特４１〜分を拡大して示す
斜視図、第４図は本発明ヘッドの再生特性を示す図、第
５図乃至第８図は本発明ヘッドの製造工程を示す図であ
る。 図中、 （１０） 、 （１１）は磁極、（１２）社配
録再生イヤツブ、 （１３）は磁性薄膜でおる。 特許出願人 富士通株式会社 第１図 第２図 第３図 ４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）磁気記録媒体の記録トラックＶＣ（！］ｉ号を記録
又は記録トラックの信号を再生するための記録再生ゼヤ
ツプを狭ん１形成す諷磁極に少なくとも上ｍｌ記録トラ
ックに沿った方向に延びる所定長の磁性薄Ｍ”を設けた
ことｔ−特徴とする薄膜磁気ヘッド。 ２） 上記磁性薄膜が上記磁極の磁性面と同一平面とな
るようＫしたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13520681A JPS5837830A (ja) | 1981-08-28 | 1981-08-28 | 薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13520681A JPS5837830A (ja) | 1981-08-28 | 1981-08-28 | 薄膜磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5837830A true JPS5837830A (ja) | 1983-03-05 |
Family
ID=15146325
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13520681A Pending JPS5837830A (ja) | 1981-08-28 | 1981-08-28 | 薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5837830A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2687497A1 (fr) * | 1992-02-13 | 1993-08-20 | Commissariat Energie Atomique | Procede de realisation d'une tete magnetique en couches minces. |
| FR2716996A1 (fr) * | 1994-03-07 | 1995-09-08 | Commissariat Energie Atomique | Tête magnétique verticale et son procédé de réalisation. |
| FR2724480A1 (fr) * | 1994-09-13 | 1996-03-15 | Commissariat Energie Atomique | Tete magnetique a pieces polaires horizontales |
| JPH08297812A (ja) * | 1995-04-26 | 1996-11-12 | Nec Corp | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法並びに磁気記録装置 |
-
1981
- 1981-08-28 JP JP13520681A patent/JPS5837830A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2687497A1 (fr) * | 1992-02-13 | 1993-08-20 | Commissariat Energie Atomique | Procede de realisation d'une tete magnetique en couches minces. |
| FR2716996A1 (fr) * | 1994-03-07 | 1995-09-08 | Commissariat Energie Atomique | Tête magnétique verticale et son procédé de réalisation. |
| EP0671724A1 (fr) * | 1994-03-07 | 1995-09-13 | Commissariat A L'energie Atomique | Tête magnétique verticale et son procédé de réalisation |
| US5883765A (en) * | 1994-03-07 | 1999-03-16 | Commissariat A L'energie Atomique | Vertical magnetic head having first and second magnetic materials in specific shapes |
| US6167611B1 (en) | 1994-03-07 | 2001-01-02 | Commissariat A L'energie Atomique | Process for producing a vertical magnetic head |
| FR2724480A1 (fr) * | 1994-09-13 | 1996-03-15 | Commissariat Energie Atomique | Tete magnetique a pieces polaires horizontales |
| EP0702356A1 (fr) * | 1994-09-13 | 1996-03-20 | Commissariat A L'energie Atomique | Tête magnétique à pièces polaires horizontales |
| JPH08297812A (ja) * | 1995-04-26 | 1996-11-12 | Nec Corp | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法並びに磁気記録装置 |
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