FR2627599A1 - Systeme optique pour le percage de trous au moyen d'un faisceau laser - Google Patents

Systeme optique pour le percage de trous au moyen d'un faisceau laser Download PDF

Info

Publication number
FR2627599A1
FR2627599A1 FR8902033A FR8902033A FR2627599A1 FR 2627599 A1 FR2627599 A1 FR 2627599A1 FR 8902033 A FR8902033 A FR 8902033A FR 8902033 A FR8902033 A FR 8902033A FR 2627599 A1 FR2627599 A1 FR 2627599A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
axis
prism
prisms
laser beam
wedge
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
FR8902033A
Other languages
English (en)
Other versions
FR2627599B1 (fr
Inventor
Robert L Leighton
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Raytheon Technologies Corp
Original Assignee
United Technologies Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by United Technologies Corp filed Critical United Technologies Corp
Publication of FR2627599A1 publication Critical patent/FR2627599A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR2627599B1 publication Critical patent/FR2627599B1/fr
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/064Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
    • B23K26/0652Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising prisms
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/082Scanning systems, i.e. devices involving movement of the laser beam relative to the laser head
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36Removing material
    • B23K26/38Removing material by boring or cutting
    • B23K26/382Removing material by boring or cutting by boring
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36Removing material
    • B23K26/38Removing material by boring or cutting
    • B23K26/382Removing material by boring or cutting by boring
    • B23K26/388Trepanning, i.e. boring by moving the beam spot about an axis
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36Removing material
    • B23K26/38Removing material by boring or cutting
    • B23K26/382Removing material by boring or cutting by boring
    • B23K26/389Removing material by boring or cutting by boring of fluid openings, e.g. nozzles, jets
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0875Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more refracting elements
    • G02B26/0883Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more refracting elements the refracting element being a prism
    • G02B26/0891Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more refracting elements the refracting element being a prism forming an optical wedge

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

La présente invention concerne un système optique pour diriger, d'une manière prédéterminée, un faisceau laser sur une pièce à usiner. Ce système est caractérisé en ce que l'un au moins 240 des premier et second prismes 210, 240 est relié à des moyens de déplacement 250 prévus pour déplacer le prisme 240 parallèlement au premier axe 112 si bien que l'une au moins des positions des premier et second prismes 210, 240 peut être modifiée par rapport à l'autre des positions des premier et second prismes 210, 240, afin de définir un déplacement relatif du prisme 240 le long du premier axe 112, de telle façon que la distance d'interception puisse être changée par une variation du déplacement relatif du prisme 240 aussi bien que par une variation de la position angulaire relative des deux prismes 210, 240.

Description

La présente invention concerne l'usinage par faisceau laser et en
particulier le perçage de trous de formes
déterminées dans une pièce usinée.
Le procédé classique de perçage de trous ayant des formes déterminées, en particulier des trous de formes irrégulières, consiste à utiliser l'usinage par décharge électrique qui peut être utilisé uniquement pour des pièces usinées conductrices de l'électricité et qui exige également une électrode consommable. Le brevet US-4118109 montre un système optique pour commander la direction d'un faisceau de rayonnement qui utilise deux prismes en forme de coins coaxiaux, pouvant tourner indépendamment l'un de l'autre, afin de diriger le faisceau dans un cône d'un angle au sommet prédéterminé. Ce système ne permet pas la commande indépendante de l'emplacement du point d'impact du faisceau et de l'angle. Ce brevet ne concerne pas non plus la focalisation
du faisceau opdique.
Le brevet US-4079230 décrit un système pour effectuer un balayage au moyen d'un faisceau optique en travers d'une pièce à usiner, et ce en utilisant une paire de prismes en forme de coins tournant dans des directions opposées, à la même vitesse, afin d'amener le faisceau à effectuer un balayage, suivant une ligne droite, en travers de la pièce à
usiner.
L'invention concerne un système optique pour percer des trous dans une pièce à usiner comprenant une paire de prismes rotatifs séparés l'un de l'autre d'une distance variable; et
un dispositif de focalisation.
Une caractéristique de l'invention est son aptitude à la commande du déplacement du point focal par rapport à l'axe
optique, indépendamment de l'angle.
Une autre caractéristique de l'invention est son aptitude à la commande de l'angle d'incidence du faisceau laser focalisé sur la pièce indépendamment du déplacement du
point focal par rapport à l'axe.
On décrira ci-après, à titre d'exemple non limitatif, une forme d'exécution de la présente invention, en référence au dessin annexé sur lequel: La figure 1 représente, en partie d'une manière illustrative et en partie d'une manière schématique, une forme
d'exécution de l'invention.
La figure 2 illustre la variation de l'angle
d'incidence d'un faisceau sur une pièce à usiner.
La figure 3 représente un système utilisant l'invention. Si on se réfère maintenant à la figure 1 on voit qu'un laser 100 produit un faisceau optique 110 dirigé suivant un axe 112. Ce faisceau est transformé par un système optique indiqué dans son ensemble par la référence 200 puis il est focalisé, par une lentille ou un miroir indiqué par la référence 300, en un point focal 120, sur ou dans une pièce à
usiner 400.
Il est bien connu dans la technique qu'un faisceau laser, lorsqu'il est focalisé d'une manière appropriée, provoque la fusion et/ou la vaporisation du matériau de la pièce à usiner, afin de produire un trou. Un point focal fixe forme un trou par suite de la fusion du matériau de la pièce à usiner sur une distance, dans le sens transversal par rapport à la direction du faisceau, qui est déterminée par la conductivité de la pièce à usiner. Cependant si le trou doit avoir une forme particulière exigeant de se trouver suivant un certain angle par rapport à l'axe du faisceau ou de présenter une forme complexe, il est alors nécessaire de manipuler le faisceau d'une certaine façon ou de manipuler la pièce à usiner. Il est préférable de maintenir la pièce à usiner fixe et de manipuler le faisceau lorsque la géométrie peut être produite plus simplement par un mouvement des composants optiques, comme cela est le cas de trous cylindriques,
coniques et bi-coniques.
Les systèmes optiques suivant la technique antérieure sont capables de faire décrire à un faisceau une surface conique et de découper ainsi un trou conique dans une pièce à usiner relativement épaisse. Un tel système est illustré dans le brevet US-4118109 dans lequel une paire de primes en forme de coins peuvent être entraînés en rotation indépendamment l'un de l'autre afin de mettre en position le faisceau n'importe o dans un volume conique ayant un angle au sommet
égal à la somme des deux angles de déviation des deux prismes.
Ce système est incapable de contrôler la position o le faisceau vient frapper la pièce à usiner indépendamment de l'angle suivant lequel le faisceau tombe sur la pièce. En particulier il ne peut pas produire un faisceau qui est parallèle à l'axe du faisceau incident, tout en étant décalé par rapport à celui-ci. Par conséquent ce système ne convient
pas pour forer un trou cylindrique dans une pièce à usiner.
Si on considère maintenant le système optique 200 de la figure 1 on voit qu'un premier prisme 210 qui est supporté dans une monture rotative 212, dévie le faisceau 110 d'un certain angle de manière à l'orienter suivant une nouvelle direction du faisceau 113. Comme il est indiqué par la flèche, la monture 212 peut être tournée en azimut autour de la direction de transmission 112 du faisceau 110, par un dispositif à rotor conventionnel indiqué schématiquement par un bloc rectangulaire auquel est affectée la référence 220. Le rotor 220 peut être constitué, à titre illustratif, par un moteur pas-à-pas conventionnel ou un autre moteur,. en combinaison avec un encodeur, si cela est nécessaire, afin de produire une mesure de l'angle d'orientation du prisme 210. De tels moteurs et encodeurs sont bien connus dans la technique
et divers modèles différents sont actuellement disponibles.
Un second prisme 240, supporté dans une monture 242 et indiqué d'une manière générale par la référence 235, est placé une distance variable en aval du prisme 210. La monture 242 est supportée par un dispositif de montage 260 qui est incliné d'un certain angle par rapport à un plan perpendiculaire à l'axe 112. Le dispositif de montage 260 comporte des supports 262 et 264 qui sont fixés rigidement à la monture 212 et qui tournent avec cette monture 212, avec le même azimut, si bien que le faisceau laser se déplaçant suivant la direction 113 vient toujours frapper le centre du prisme 240 quel que soit l'azimut. Le prisme 240 dévie le faisceau 110 d'un second angle, indiqué par b sur la figure 1, afin de produire un faisceau se déplaçant suivant un nouvel angle le long de l'axe 114. L'axe 114 forme un angle par rapport à l'axe du faisceau 112. L'axe 114 peut tourner en décrivant une surface conique d'angle au sommet b par rapport à l'axe 113 du faisceau 110 sortant du prisme 210. Dans les deux positions
extrêmes l'axe 114 peut former un angle de valeur (a+b) ou (a-
b) par rapport à l'axe 112. Dans la cas particulier o l'on a
2627599
b=-a, c'est-à-dire lorsque le prisme 240 est orienté à 180 par rapport au prisme 210, le faisceau 114 est parallèle à l'axe 112, r est égal à zéro, puisque le faisceau 114 est focalisé sur l'axe 112 à la distance focale de la lentille 300, et l'angle du faisceau est maximal. Un cas particulier concernant la présente invention est celui dans lequel le faisceau 115 sortant de la lentille 300 est parallèle à l'axe initial 112 et alors l'axe 114 doit recouper l'axe 112 au point situé à la distance focale antérieure par rapport à la
lentille.
- D'une manière générale, lorsque la direction du faisceau laser pénétrant dans la lentille 300 n'est pas parallèle à l'axe optique, le point focal est déplacé à l'écart de l'axe focal 112 d'une distance qui peut s'exprimer approximativement par: r = F tg o F est la distance focale de la lentille 300 et est l'angle de l'axe 114 par rapport à l'axe 112 qui est également l'axe de la lentille 300. La distance le long de 1, 'axe 112, entre la lentille et le point focal, est essentiellement fixée à la valeur F, c'est-à-dire à la distance focale de la
lentille, puisque le faisceau laser incident est collimaté.
L'orientation de l'axe 115 dépend du point d'intersection de l'axe 112 de la lentille 300 et de l'axe 114 du faisceau pénétrant dans la lentille. Si ces axes se recoupent à une distance, en avant de la lentille, qui est égale à sa distance focale antérieure F, l'axe du faisceau laser focalisé est alors parallèle à l'axe optique. Si la distance entre le point d'intersection et la lentille est inférieure à F, l'axe du faisceau focalisé diverge alors par rapport à l'axe optique. Inversement si les axes se recoupent,
6 2627599
en avant de la lentille, à une distance supérieure à la.
distance focale F, le faisceau laser focalisé converge en
direction de l'axe.
Les situations considérées ci-dessus sont illustrées sur la figure 2 qui montre l'axe 115 du faisceau de sortie parallèle à l'axe de la lentille 300, l'axe 115' divergeant à
partir de l'axe 112 et l'axe 115" convergeant vers l'axe 112.
Les distances correspondantes du point d'intersection du faisceau incident 114 et de l'axe 112 sont F (distance focale de la lentille 300), I' (inférieure à F) et I" (supérieure à F). Pour une lentille ou un système de lentilles à distance focale donnée le déplacement du point focal par rapport à l'axe optique, c'est-à-dire la distance r, dépend de l'angle C entre l'axe optique 112 et l'axe 114 du faisceau laser. La direction 6 du faisceau laser focalisé est donnée par: tg ô = (F-I) ta c (2) F Un système optique qui permet une variation indépendante de la direction 4 du faisceau laser et de l'emplacement I du point d'intersection de l'axe 112 du faisceau laser avec l'axe optique 114, constitue un moyen pour effectuer une découpe de n'importe quelle forme géométrique à trois dimensions qui peut être décrite avec une ligne de visée le long de l'axe du faisceau focalisé résultant. Ceci peut
être réalisé ainsi qu'il est décrit ci-dessous.
La figure 3 représente, sous une forme simplifiée, une forme d'exécution de l'invention conçu pour fonctionner en tant que dispositif de perçage d'un trou cylindrique. Le laser 100 et la lentille de focalisation 300 demeurent fixe suivant
7 2627599
un seul et même axe. Le faisceau laser passe à travers deux primes en forme de coins 210 et 240, avant de passer à travers la lentille de focalisation 300. L'angle d'incidence du faisceau laser 114 sur la lentille peut être modifié en faisant tourner le prisme 240 autour de l'axe du faisceau, par rapport au prisme 210, afin d'obtenir le rayon de perçage désiré r. La distance S entre les prismes peut être alors modifiée de telle façon que l'axe 114 du faisceau vienne rencontrer la lentille 300 à une hauteur r par rapport à l'axe de la lentille, ce qui se traduit par l'émission d'un faisceau laser focalisé parallèle à l'axe de la lentille et séparé de cet axe de la distance r. Ensuite, si la paire de prismes ainsi réglés est entraînée en rotation dans son ensemble par le rotor 220, autour de l'axe 112, tandis que le faisceau laser est pulsé d'une manière répétée, on peut percer un trou qui est parfaitement cylindrique. En faisant varier additionnellement la distance S ou en déplaçant l'ensemble des prismes en forme de coins conjointement le long de l'axe par rapport à la lentille il est possible de commander l'angle du faisceau tombant sur le plan focal de telle façon que des trous coniques convergents ou divergents puissent être percés en contrôlant à la fois le diamètre du trou et l'angle du cône. L'espacement S peut être commandé par- un dispositif de translation 250 tel que décrit ci-dessous. La distance 1 entre le prisme 210 et la- lentille 300 peut être ajustée par un dispositif de translation 280, représenté schématiquement sur la figure 1, lequel peut être une tête de fraiseuse ou tout autre dispositif approprié supportant l'ensemble de la monture 212 et du dispositif de montage 260. Le rotor 220, monté sur le dispositif de translation 280, peut être utilisé pour faire
8 2Z627599
tourner l'ensemble des prismes conjointement.
La rotation relative des deux prismes en forme de coins, autour de l'axe du faisceau, qui est exigée pour produire un point, dans le plan focal, situé à une distance quelconque désirée r de l'axe 112, est donnée par l'expression suivante: = cos-s ( r2) -1 (3) 2(F tg W)2 dans laquelle ' est l'angle relatif de la rotation des prismes en forme de coins autour de l'axe du faisceau, r est le rayon du cercle dans le plan focal, F est la distance focale de la lentille de focalisation, et W est l'angle de déviation du faisceau laser passant à travers un prisme en forme de coin unique, lorsque les deux prismes en forme de coin ont le même angle de déviation W. Pour maintenir un rayon de sortie dans des plans passant par l'axe de la lentille (méridien>, les prismes en forme de coins doivent être tournés dans des directions
opposées de la moitié de l'angle exigé.
La position du prisme 210 étant fixée, la distance S entre les prismes qui est exigée pour produire un angle désiré de l'axe 115 du faisceau focalisé par rapport à l'axe 112 de la lentille, est donnée par S = F2tq (5) + r (F-1) (4) F tg (6) -r dans laquelle 5 est l'angle désiré et 1 est la distance
entre le premier prisme en forme de coin et la lentille.
Pour percer un trou dans une pièce usiner à une distance r du point o l'axe 112 recoupe la pièce, et suivant un angle d'azimut 8 autour de l'axe 112 par rapport à une direction de référence quelconque, tel que le plan de la feuille de papier sur la figure 3, on fait tourner le prisme 210 de telle façon que son axe s'étende suivant un angle e+g/2 et on fait tourner le prisme 240 de telle façon que son axe s'étende suivant un angle E-'/2, o 6 est donné par l'équation (3). Le faisceau 114 pénètre alors dans la lentille 300 en un point à la distance r de l'axe 112 dans un plan passant par cet axe 112 et formant l'angle requis e par rapport à 'la direction de référence. La distance S entre les prismes 210 et 240 peut être ajustée, conformément à l'équation (4), afin de diriger le faisceau 115 sur la pièce à usiner suivant l'angle exigé, angle qui constitue l'angle au sommet du cône formé
par le trou percé.
La translation de l'ensemble 235 comprenant le prisme 240, le rotor 270 et la monture 242, dans la direction de l'axe 113, est assurée par un dispositif indiqué schématiquement en son ensemble par la référence 250 et qui peut être constitué par un moteur pas-à-pas entraînant une vis ou tout autre dispositif conventionnel. L'orientation angulaire du prisme 240 autour de l'axe 113 et par conséquent l'angle de l'axe 114 par rapport à l'axe 113 sont commandés par l'unité 270 qui est la même que l'unité 220, à savoir un moteur entraînant un train d'engrenages conjointement avec un
encodeur afin de lire l'orientation du prisme 240.
Dans une forme d'exécution de l'invention donnée à titre illustratif, le laser 100 est un laser du type NdYAg, les prismes 210 et 240 sont réalisés en silice fondue et ont un angle de 20 , la distance typique entre la lentille et le prisme le plus proche est de 2,54 cm, la distance entre les deux prismes est de 10,2 cm et la distance focale de la
lentille est de 10,2 cm.
Avec un système tel que representé sur la figure 3 la distance entre la lentille 300 et le point focal peut &tre CIdifjie eégalemenet en faisant coulisser la totalité de l'ensermble des prismes en forme de coins. Il est possible cd'obternir un troul bi-conique en modifiarnt ou délacart i'ensemble des Prismes en forme de coins le long de l'axe, Par rapport à la lentille. Il possible de contrôler l'angle de l'axe 115 par rapport à l'axe 112, lequel détermire l'angle au sommet d'un trou conique. Lin trou ayant une forme ctjniclue 1 d'angle auL sommet de 10 , un diamètre de col de 0,5 mm et uni position du col à 1,27 mm de la surface frontale de la pièce.à usiner a été formé dans des alliages de cobalt en faisant tourner le prisme 240 par rapport au prisme 210, afin de
d&couper la surface conique exigée.
Si un trou bi-conique doit être Percé avec un rayon d'entrée r et avec un col situé à une distance T de la surface de la pièce à usiner, laquelle est située à son tour à urne distance F de la lentille 300, l'espacement S entre les prismes et la distance 1 entre le prismre antérieur et la lentille 300 sont données par l'équation ci-dessous: ClS2 -C2(Sl) + 212 = r2 ( F+T2) [tg (W)]2 T o Ci = 1 + (1 + cos)2 + sin2
C2 = 1 + COS
Le système de la figure 3 a été utilisé avec le laser
, le prisme 210 et la lentille 300 situés sur le même axe.
La valeur de r a été sélectionnée par le mouvemert du prisme.
L- faisceau 115 a été aligné, par rapport à l'axe 112, avec l'angle au sommet correct du trou. afin de recouper l'axe 112 il à la profondeur de col désirée T en ajustant l'espacement S entre les prismes. Le rotor 220 a été utilisé pour découper
les trous.
Un trou conique convergent ou divergent peut être découpé, avec la même rotation, en modifiant l'espacement S. Un trou -à face latérale parallèle ayant n'importe quelle forme de section droite peut être découpé en établissant r par la rotation du prisme 240 tout en ajustant simultanément S ou 1 de telle façon que l'axe 115 demeure parallèle à l'axe 112, et en utilisant le dispositif de translation 280 et le rotor 220 pour tracer le profil du trou
en coordonnés polaires.
2627599'

Claims (7)

REVENDICATIONS
1.- Système optique pour diriger, d'une manière prédéterminée, un faisceau laser sur une pièce à usiner comprenant des premier et second prismes en forme de coin (210,240) espacés l'un de l'autre, en des première et seconde positions de prisme le long d'un premier axe (112), pour dévier en série le faisceau laser (110), ces deux prismes ayant respectivement des première et seconde orientations en azimut, des moyens (270) pour faire tourner le second prisme en forme de coin (240) jusqu'à une position angulaire prédéterminée, autour d'un second axe de prisme (112") parallèle au premier axe (112), en définissant ainsi une position angulaire relative des premier et second prismes en forme de coin (210, 240), une lentille (300) ayant une distance focale et qui est située à une distance prédéterminée de moyens de focalisation, le long du premier axe (112), afin d'intercepter le faisceau laser à une distance d'interception, par rapport au premier axe (112), qui dépend de ladite position angulaire relative, et suivant un angle d'interception prédéterminé, par rapport au premier axe (112), après que le faisceau laser a été dévié par les premier et second prismes en forme de coin (240) , cette lentille focalisant le faisceau laser vers une position focale prédéterminée, caractérisé en ce que l'un au moins (240) des premier et second prismes (210,240) est relié à des moyens de déplacement (250) prévus pour déplacer le prisme (240) parallèlement au premier axe (112) si bien que l'une au moins des positions des premier et second prismes (210,240) peut être modifiée par rapport à l'autre des positions des premier et second prismes (210,240), afin de définir un déplacement relatif du prisme (240) le long du premier axe (112), de telle façon que ladite distance d'interception puisse être changée par une variation du déplacement relatif du prisme (240) aussi bien que par une variation de la position angulaire relative.
2.- Système optique suivant la revendication 1' caractérisé en ce que ladite position angulaire relative est égale à cent quatre-vingts degrés si bien que ledit angle d'interception prédéterminé est sensiblement égal à zéro, le faisceau laser tombant sur la lentille (300) en étant pratiquement parallèle au premier axe (112) et la position focale étant située, sur le premier axe (112), à une distance
de la lentille (300) qui est égale à la distance focale.
3.- Système optique suivant la revendication 1 caractérisé en ce que le second prisme en forme de coin (240) est tourné dans une position angulaire relative prédéterminée et le déplacement relatif du prisme est ajusté à une valeur prédéterminée de telle façon que le faisceau laser sorte de la lentille (300) en étant parallèle au premier axe (112) et décalé par rapport à celui-ci d'une distance prédéterminée (r).
4.Système optique suivant la revendication 3 caractérisé en ce qu'il comporte en outre des moyens de rotation unitaire (220) afin de faire tourner les premier et second prismes en forme de coin (210,240), dans leur ensemble, autour du premier axe (112), si bien que la position focale du faisceau laser peut être utilisée pour percer un trou
cylindrique centré sur le premier axe (112).
5.- Système optique suivant la revendication 4 caractérisé en ce qu'il comporte en outre des moyens de
- 2627599
translation unitaire (280) afin de déplacer en translation les premier et second prismes en forme de coin (210,240), dans leur ensemble, le long du premier axe (212) si bien qu'un trou à face latérale parallèle peut être découpé dans une pièce à usiner par un ajustement répété des moyens de rotation
unitaire (220) et des moyens de translation unitaire (280).
6.- Système optique suivant la revendication 1 caractérisé en ce qu'il comporte en outre des moyens de rotation unitaire (220) pour faire tourner les premier et seçond prismes en forme de coin (210,240), dans leur ensemble, autour du premier axe (112), ces moyens étant adaptés de manière à découper, dans une pièce à usiner, un trou conique ayant un angle au sommet prédéterminé, et la position angulaire relative et le déplacement relatif du prisme (240) sont réglés à des valeurs prédéterminées telles que le faisceau laser recoupe le premier axe (112) suivant un angle prédéterminé qui est égal à la moitié de l'angle au sommet et en une position focale prédéterminée située sur l'axe à l'endroit d'une position de col du trou conique, si bien que le trou conique peut être découpé par rotation des moyens de
rotation unitaire (220).
7.- Système optique suivant la revendication 1 caractérisé en ce qu'il comporte en outre des moyens de translation unitaire (280) pour déplacer en translation les deux prismes en forme de coin (210,240), dans leur ensemble, le long du premier axe si bien que dans une pièce à usiner peuvent être percés des trous ayant une distance variable le long du premier axe (112), en étant décalés à une distance variable du premier axe (112) et avec un angle d'intersection variable avec cet axe, en jouant sur la distance du second prisme (240) parmi les deux prismes en forme de coin (210,240) par rapport à la lentille (300), sur ledit déplacement relatif
du prisme et sur ladite position angulaire relative.
FR8902033A 1988-02-18 1989-02-16 Systeme optique pour le percage de trous au moyen d'un faisceau laser Expired - Fee Related FR2627599B1 (fr)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07/157,018 US4822974A (en) 1988-02-18 1988-02-18 Laser hold drilling system with lens and two wedge prisms including axial displacement of at least one prism

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR2627599A1 true FR2627599A1 (fr) 1989-08-25
FR2627599B1 FR2627599B1 (fr) 1993-12-17

Family

ID=22562040

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR8902033A Expired - Fee Related FR2627599B1 (fr) 1988-02-18 1989-02-16 Systeme optique pour le percage de trous au moyen d'un faisceau laser

Country Status (3)

Country Link
US (1) US4822974A (fr)
FR (1) FR2627599B1 (fr)
GB (1) GB2216284B (fr)

Families Citing this family (76)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2214656B (en) * 1987-11-27 1991-08-21 Marconi Gec Ltd Optical systems
GB2227965B (en) * 1988-10-12 1993-02-10 Rolls Royce Plc Apparatus for drilling a shaped hole in a workpiece
JPH02155589A (ja) * 1988-12-09 1990-06-14 Hitachi Ltd 光路調整システム
JPH03130940A (ja) * 1989-05-24 1991-06-04 Kyocera Corp 光スポット制御方法および制御装置
US5074628A (en) * 1990-06-29 1991-12-24 Khattak Anwar S Laser beam scanning device and method for operation thereof
EP0496870A4 (en) * 1990-08-22 1993-01-07 Phoenix Laser Systems, Inc. System for scanning a surgical laser beam
US5237457A (en) * 1990-10-04 1993-08-17 Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha Apparatus for adjusting an optical axis including a laser beam source and a beam shaping prism
FR2669441B1 (fr) * 1990-11-16 1993-01-22 Thomson Csf Dispositif de stabilisation de la reflectivite de miroirs a conjugaison de phase par diffusion brillouin stimulee a haute cadence de repetition d'impulsions.
US5227910A (en) * 1992-03-27 1993-07-13 Khattak Anwar S High resolution laser beam scanner and method for operation thereof
US5293265A (en) * 1992-08-24 1994-03-08 General Electric Company Real time variable laser beam spinner
US5825545A (en) * 1992-09-21 1998-10-20 Canon Kabushiki Kaisha Image stabilizing device
EP0633541A1 (fr) * 1993-07-06 1995-01-11 Opticon Sensors Europe B.V. Dispositif de lecture
WO1997006462A1 (fr) * 1995-08-09 1997-02-20 Minnesota Mining And Manufacturing Company Systeme optique rotatif pour dispositif d'usinage a laser
US6295170B1 (en) 1996-10-30 2001-09-25 Litton Systems, Inc. Alignment element for multiple channel sight and method
DE19745280A1 (de) 1997-10-15 1999-04-22 Daimler Chrysler Ag Verfahren zur Fein- und Mikrobearbeitung von Werkstücken mittels Laserstrahlen und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE19817851C1 (de) * 1998-04-22 1999-10-28 Lpkf Laser & Electronics Gmbh Verfahren zum Ablenken eines Laserstrahls
DE19842150C1 (de) * 1998-09-15 2000-08-31 Klaus Eckerl Optisches System zur Bilddrehung
US6120976A (en) * 1998-11-20 2000-09-19 3M Innovative Properties Company Laser ablated feature formation method
DE19905571C1 (de) * 1999-02-11 2000-11-16 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Erzeugung definiert konischer Löcher mittels eines Laserstrahls
US6342981B1 (en) * 1999-09-21 2002-01-29 Rose Research, Llc Zero-displacement phase retarder device and method
US6362454B1 (en) 1999-10-01 2002-03-26 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method for drilling circular holes with a laser beam
GB2355222B (en) * 1999-10-16 2003-10-15 Oxford Lasers Ltd Improvements in laser machining
DE10018253C2 (de) * 2000-04-13 2003-08-21 Leica Microsystems Laser-Mikro-Dissektionsgerät
US6483595B1 (en) 2000-07-22 2002-11-19 Basis Software, Inc. Three dimensional optical scanner
DE10045973A1 (de) * 2000-09-16 2002-04-04 Bosch Gmbh Robert Optische Vorrichtung zum Bohren mittels Laserstrahl
DE10103389C1 (de) * 2001-01-26 2002-08-01 Bosch Gmbh Robert Optische Vorrichtung und Verfahren zur Laserbearbeitung eines Werkstücks
DE10144008A1 (de) * 2001-09-07 2003-03-27 Siemens Ag Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen einer Bohrung in einem Werkstück mit Laserstrahlung
JP2004243404A (ja) * 2003-02-17 2004-09-02 Internatl Business Mach Corp <Ibm> 穴形成方法および穴形成装置
US7035025B2 (en) * 2003-05-28 2006-04-25 Agilent Technologies, Inc. Compact precision beam manipulators
DE102004050047A1 (de) * 2004-10-14 2006-04-27 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung von Bohrungen mittels Laser
EP1698930A3 (fr) * 2005-03-04 2007-04-11 Nidec Sankyo Corporation Dispositif de balayage par faisceau lumineux
EP1698426B1 (fr) * 2005-03-04 2007-06-20 BETTONVILLE INTEGRATED SOLUTIONS, naamloze vennootschap Dispositif de découpe au laser
DE102005047328B3 (de) * 2005-06-28 2006-12-07 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung zum Bohren und für den Materialabtrag mittels Laserstrahl
EP1921617A3 (fr) * 2006-11-09 2009-02-04 Thomson Licensing Élément de décalage de faisceau pour un système de stockage optique
EP1921616A1 (fr) * 2006-11-09 2008-05-14 Thomson Holding Germany GmbH & Co. OHG Elément de décalage de faisceau pour un système de stockage optique
US7742212B2 (en) * 2007-02-14 2010-06-22 Michael J. Scaggs Precision laser machining apparatus
US7489429B2 (en) 2007-02-14 2009-02-10 Michael J. Scaggs Precision laser machining apparatus
US20090057282A1 (en) * 2007-08-15 2009-03-05 Chunfu Huang Laser machining method utilizing variable inclination angle
CN101909804B (zh) * 2008-01-10 2014-10-22 以色列商奥宝科技股份有限公司 于一基板中具有变化同时性的激光钻孔方法
US8503046B2 (en) 2008-06-27 2013-08-06 Danmarks Tekniske Universitet Rotating prism scanning device and method for scanning
KR100982550B1 (ko) 2008-07-18 2010-09-15 한국기계연구원 세차 운동을 하는 레이저 빔의 경로를 보정하기 위한 보정모듈을 갖는 레이저 가공 장치 및 이를 이용한 레이저 가공방법
BE1018554A3 (nl) * 2009-06-26 2011-03-01 Bettonville Integrated Solutions Nv Inrichting en werkwijze voor het afvlakken van een edelsteen.
CA2773984C (fr) 2009-09-14 2018-08-21 Memorial Sloan-Kettering Cancer Center Appareil, systeme et procede de pilotage et de focalisation d'un laser pour l'incision, l'excision et l'ablation de tissu en chirurgie mini-invasive
KR101056484B1 (ko) 2010-02-19 2011-08-12 김우준 사각 광경로를 형성하는 광학 시스템 및 그 방법
CN101980067A (zh) * 2010-10-22 2011-02-23 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 采用双光楔调焦的红外光学系统
US8749887B2 (en) * 2011-02-02 2014-06-10 Omid S. Jahromi Telescopic gun sight with linear optical adjustment mechanism
DE102011006152A1 (de) 2011-03-25 2012-09-27 BLZ Bayerisches Laserzentrum Gemeinnützige Forschungsgesellschaft mbH Trepanieroptik zur Einstellung und Variation eines Propagationswinkels und einer lateralen Versetzung elektromagnetischer Strahlung
CN102218605A (zh) * 2011-05-18 2011-10-19 苏州德龙激光有限公司 激光旋切钻孔装置
CN102248307B (zh) * 2011-06-16 2014-04-30 上海市激光技术研究所 用于不同极限孔径的紫外激光双光头精细加工装置及方法
JP5922906B2 (ja) * 2011-10-18 2016-05-24 三星ダイヤモンド工業株式会社 レーザビームによるガラス基板加工装置
US9931712B2 (en) 2012-01-11 2018-04-03 Pim Snow Leopard Inc. Laser drilling and trepanning device
JP5189684B1 (ja) * 2012-03-07 2013-04-24 三菱重工業株式会社 加工装置、加工ユニット及び加工方法
JP5574354B2 (ja) * 2012-03-09 2014-08-20 株式会社トヨコー 塗膜除去方法及びレーザー塗膜除去装置
CN102615425A (zh) * 2012-04-20 2012-08-01 上海市激光技术研究所 一种基于折射式扫描系统的激光异形微孔的加工系统
CN103056516A (zh) * 2012-12-26 2013-04-24 中科中涵激光设备(福建)股份有限公司 一种双光楔的相位角调整机构
US20140185133A1 (en) * 2013-01-01 2014-07-03 Hanoch Shalit Controlled transmission and reflection in windows
JP6071640B2 (ja) * 2013-02-27 2017-02-01 三菱重工業株式会社 加工装置、加工方法
JP6359640B2 (ja) * 2013-04-26 2018-07-18 ユナイテッド テクノロジーズ コーポレイションUnited Technologies Corporation 選択的レーザー溶融システム
JP5627760B1 (ja) * 2013-12-18 2014-11-19 三菱重工業株式会社 レーザ加工装置及びレーザ加工方法
EP3112073B1 (fr) * 2014-02-25 2021-06-02 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Système de découpe au laser
JP2016002585A (ja) * 2014-06-19 2016-01-12 株式会社ディスコ レーザー加工装置
DE102014218957A1 (de) * 2014-09-19 2016-03-24 Automotive Lighting Reutlingen Gmbh Zur periodischen Umlenkung eines Laserstrahlseingerichtetes Lichtumlenkelement
WO2016069626A2 (fr) * 2014-10-28 2016-05-06 Burle Technologies, Llc Système d'alignement optique
US9507157B2 (en) * 2014-12-17 2016-11-29 Zhen Tang Size-adjustable elliptical laser marker
KR102651276B1 (ko) * 2015-08-14 2024-03-26 레이저 엔지니어링 애플리케이션즈 가공 장치
CN105345094B (zh) * 2015-11-13 2018-09-07 中北大学 基于激光探测原理的深孔加工在线纠偏装置
CN105382425A (zh) * 2015-12-14 2016-03-09 武汉隽龙科技有限公司 用于激光旋转打孔的光学扫描系统及打孔方法
CN106271118B (zh) * 2016-09-29 2018-10-30 常州英诺激光科技有限公司 一种提高多孔径微孔激光加工质量的装置及方法
CN106425122A (zh) * 2016-12-05 2017-02-22 清华大学 一种激光旋切加工的装置及方法
CN108213744B (zh) * 2016-12-21 2020-05-05 沈阳高精数控智能技术股份有限公司 一种基于工控机的激光微孔加工协同控制系统及其方法
KR102142058B1 (ko) * 2017-11-27 2020-08-06 주식회사 리텍 트레파닝 모듈
CN110737098B (zh) * 2018-07-19 2021-08-17 上海微电子装备(集团)股份有限公司 一种分光装置
EP3708289A1 (fr) * 2019-03-11 2020-09-16 FRONIUS INTERNATIONAL GmbH Optique de formation de faisceaux et de déflexion pour un dispositif de traitement laser et procédé d'usinage d'une pièce à l'aide d'un faisceau laser
CN110405368A (zh) * 2019-08-30 2019-11-05 温州大学 一种飞秒激光加工锥度可控的打孔装置及其打孔工艺
CN111872548A (zh) * 2020-07-30 2020-11-03 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种光束入射角可控的激光加工装置及激光加工方法
GB202208383D0 (en) * 2022-06-08 2022-07-20 Rolls Royce Plc Ablation tool

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1905449A1 (de) * 1968-03-15 1969-10-30 Precitronic Einrichtung an Schusssimulatoren
US4079230A (en) * 1974-11-01 1978-03-14 Hitachi, Ltd. Laser working apparatus

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3378687A (en) * 1963-06-25 1968-04-16 Trw Inc Scanning system which optically locks on object and mechanically scans surrounding field
CH497259A (de) * 1967-09-25 1970-10-15 Laser Tech Sa Verfahren und Vorrichtung zum Bohren von Werkstücken mittels Laserstrahlung
US3514619A (en) * 1967-11-30 1970-05-26 Avco Corp Optical-mechanical scanning apparatus utilizing oppositely oscillating optical wedges
US3720454A (en) * 1971-05-14 1973-03-13 Avco Corp Optical field curvature corrector
BE793810A (fr) * 1972-01-21 1973-07-10 D Comp Gen Dispositif deviateur de lumiere et procede de realisation de ce dispositif
US4160894A (en) * 1975-05-14 1979-07-10 Winkler & Dunnebier Maschinenfabrik Und Eisengiesserei Kg Method and apparatus for the focal form cutting of a moving web of material by a laser beam
US4190759A (en) * 1975-08-27 1980-02-26 Hitachi, Ltd. Processing of photomask
GB1521931A (en) * 1976-01-31 1978-08-16 Ferranti Ltd Optical apparatus
JPS53140699A (en) * 1977-05-16 1978-12-07 Hitachi Ltd Laser machining device
SU717694A1 (ru) * 1977-08-29 1980-02-25 Предприятие П/Я В-8117 Клиновой оптический компенсатор
JPS5690233A (en) * 1979-12-24 1981-07-22 Asahi Optical Co Ltd Automatic lens meter
JPS57100890A (en) * 1980-12-17 1982-06-23 Toshiba Corp Laser working device
IT1170643B (it) * 1981-01-22 1987-06-03 Selenia Ind Elettroniche Dispositivo perfezionato per l'accoppiamento di un fascio laser ad una fibra ottica

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1905449A1 (de) * 1968-03-15 1969-10-30 Precitronic Einrichtung an Schusssimulatoren
US4079230A (en) * 1974-11-01 1978-03-14 Hitachi, Ltd. Laser working apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
GB2216284B (en) 1991-06-26
FR2627599B1 (fr) 1993-12-17
GB2216284A (en) 1989-10-04
GB8903511D0 (en) 1989-04-05
US4822974A (en) 1989-04-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FR2627599A1 (fr) Systeme optique pour le percage de trous au moyen d&#39;un faisceau laser
EP0119883B1 (fr) Procédé et dispositif d&#39;alignement d&#39;un faisceau laser par l&#39;intermédiaire de moyens optiques de visée, et procédé de mise en oeuvre du dispositif, pour contrôler l&#39;alignement
US5948288A (en) Laser disk texturing apparatus
US6355907B1 (en) Optical device for boring using a laser beam
US7842901B2 (en) Device for drilling and for removing material using a laser beam
EP0976487A1 (fr) Procédé d&#39;usinage par laser excimère de trous ou de formes à profil variable
CH640448A5 (fr) Procede d&#39;ebavurage d&#39;une piece mecanique et dispositif de mise en oeuvre du procede.
EP1718957B1 (fr) Procede et dispositif de controle par ombroscopie
FR3061676B1 (fr) Installation d&#39;impression et de sechage et procede d&#39;impression et de sechage
EP0115765A1 (fr) Commutateur pour circuit à guide de lumière
FR2774319A1 (fr) Procede de reglage de la position d&#39;une camera de controle thermographique d&#39;une soudure
EP0429368A1 (fr) Dispositif de focalisation d&#39;un faisceau lumineux permettant d&#39;obtenir une tache focale de forme allongée
EP3515650B1 (fr) Dispositif et procede de guidage d&#39;un faisceau laser en deplacement rotatif et lateral pour faire varier l&#39;excentrement du faisceau laser
CH670590A5 (fr)
EP0038297A1 (fr) Procédé d&#39;ébavurage d&#39;un instrument acéré, dispositif de mise en oeuvre du procédé et instrument acéré obtenu par le procédé
FR2689254A1 (fr) Dispositif de focalisation d&#39;un faisceau lumineux.
CH652333A5 (fr) Appareil optique pour la detection de l&#39;emplacement d&#39;une ligne de reference.
FR2675416A1 (fr) Procede d&#39;alignement a distance d&#39;un faisceau laser sur l&#39;ouverture d&#39;une buse et tete de focalisation appareillee pour l&#39;usinage a distance par faisceau laser.
WO2016024069A1 (fr) Dispositif d&#39;usinage par faisceau laser d&#39;un trou a conicite controlée avec un module afocal déplaçable
EP0025398A1 (fr) Système optique à plusieurs champs
CH716546A1 (fr) Dispositif d&#39;usinage laser et procédé de trépanation optique.
FR2663583A1 (fr) Dispositif d&#39;orientation automatique d&#39;un outil.
BE1023362B1 (fr) Système optique
FR2903922A1 (fr) Systeme de positionnement rapide d&#39;au moins un faisceau a haute densite d&#39;energie.
JPS6054839B2 (ja) 光線加工方法およびその装置

Legal Events

Date Code Title Description
ST Notification of lapse