CN102218605A - 激光旋切钻孔装置 - Google Patents
激光旋切钻孔装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102218605A CN102218605A CN2011101285298A CN201110128529A CN102218605A CN 102218605 A CN102218605 A CN 102218605A CN 2011101285298 A CN2011101285298 A CN 2011101285298A CN 201110128529 A CN201110128529 A CN 201110128529A CN 102218605 A CN102218605 A CN 102218605A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- wedge
- wedge prism
- prisma
- laser
- rotary
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
本发明涉及激光旋切钻孔装置,激光器的输出端设置有扩束镜,扩束镜的输出端布置有45度全反射镜,45度全反射镜的输出端布置有旋光系统,所述旋光系统包含第一楔棱镜、第二楔棱镜、第三楔棱镜和第四楔棱镜,第一楔棱镜和第二楔棱镜为楔角相同的楔棱镜,第一楔棱镜或第二楔棱镜与上下直线运动机构相连,第三楔棱镜和第四楔棱镜为楔角相同的楔棱镜,第三楔棱镜或第四楔棱镜与旋转机构相连,旋光系统的输出端布置有聚焦镜,聚焦镜正对于加工平台。该装置用于对工件进行激光旋切打孔,可加工直孔、可变锥度的孔及不规则锥孔,得到尺寸可变、锥度可控、边缘光滑的激光打孔效果。
Description
技术领域
本发明涉及一种钻孔加工设备,尤其涉及一种激光旋切钻孔装置。
背景技术
传统的机械钻孔最大的缺点是不能打微孔(小于200um),且钻头为消耗品,导致钻孔成本高。
由于与传统的钻孔技术相比,激光钻孔更有优势,因而在许多领域得到了应用。其优势包括非接触式处理、材料中输入的热量低、钻孔的材料范围广、精确、一致性好,能够打出μm级大小的孔、打宽高比较大的小孔和以不同的角度钻孔。常用的钻孔技术有定点冲击钻孔和旋切钻孔。其中,冲击钻孔指在一个位置上用脉冲激光束不停地加工,直至孔通。高速飞行钻孔也是一种定点冲击钻孔技术,通常用于滤光片和导流板钻孔。旋切钻孔指加工孔径较大的孔或者具有一定形状的孔,旋切钻孔的优势包括加工的孔径大、一致性好以及能够加工具有一定形状的孔,旋切钻孔还能够降低孔的锥度。激光器具有完美的高斯光束,峰值功率高且脉宽小,非常适用于薄板材、陶瓷和硅材料的钻孔加工。通过改变光学配置可以实现孔径大小的变化。目前,高功率激光器还用于岩石钻孔和油气勘探领域,高功率、高能量激光脉冲还可用于厚金属材料钻孔。
传统的激光旋切钻孔较冲击打孔相比,具有加工孔径灵活、一致性好,且可以降低孔的锥度。但是要钻直孔或者指定锥度的孔型,传统的激光旋切方法难以胜任。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术存在的不足,提供一种激光旋棱镜,切钻孔装置。
本发明的目的通过以下技术方案来实现:
激光旋切钻孔装置,特点是:激光器的输出端设置有扩束镜,扩束镜的输出端布置有45度全反射镜,45度全反射镜的输出端布置有旋光系统,所述旋光系统包含第一楔棱镜、第二楔棱镜、第三楔棱镜和第四楔棱镜,第一楔棱镜和第二楔棱镜为楔角相同的楔棱镜,第一楔棱镜或第二楔棱镜与上下直线运动机构相连,第三楔棱镜和第四楔棱镜为楔角相同的楔棱镜,第三楔棱镜或第四楔棱镜与旋转机构相连,所述旋光系统的输出端布置有聚焦镜,聚焦镜正对于加工平台。
进一步地,上述的激光旋切钻孔装置,所述激光器为脉宽小于20ns的调Q脉冲激光器。
本发明技术方案突出的实质性特点和显著的进步主要体现在:
本发明设备用于对工件进行激光旋切打孔,可加工直孔、可变锥度的孔及不规则锥孔,以得到尺寸可变、锥度可控、边缘光滑的激光打孔效果,解决了激光钻孔过程中的效率及锥度问题,同时也扩大了激光钻孔在微加工领域的应用。
附图说明
下面结合附图对本发明技术方案作进一步说明:
图1:本发明的构造示意图;
图2:本发明加工状态的示意图。
图中各附图标记的含义见下表:
具体实施方式
如图1所示,激光旋切钻孔装置,激光器为脉宽小于20ns的调Q脉冲激光器,激光器的输出端设置有扩束镜1,扩束镜1的输出端布置有45度全反射镜2,45度全反射镜2的输出端布置有旋光系统3,旋光系统3包含第一楔棱镜31、第二楔棱镜32、第三楔棱镜33和第四楔棱镜34,第一楔棱镜31和第二楔棱镜32为楔角相同的楔棱镜,第一楔棱镜31或第二楔棱镜32与上下直线运动机构相连,可沿轴线上下移动,第三楔棱镜33和第四楔棱镜34为楔角相同的楔棱镜,第三楔棱镜33或第四楔棱镜34与旋转机构相连,一片可绕轴线旋转,旋光系统3的输出端布置有聚焦镜4,聚焦镜4正对于加工平台5。
激光器采用波长为532nm的皮秒激光器,皮秒激光脉宽窄,有极高的峰值功率,可使绝大部分材料瞬间达到气化温度,热影响区域小,在激光加工过程中不产生熔渣。激光器发出的光束射入扩束镜1,扩束镜1输出平行光束,再经过旋光系统3使光线偏转特定的角度及位移,光束通过一片楔棱镜时,在一定条件下光束将偏离轴线一定角度,进而导致聚焦后光斑偏离中心点一定位移;楔棱镜绕轴线转动时聚焦后光斑也绕中心点作圆周运动,形成环切。光束通过一楔棱镜组时,在一定条件下光束将偏离轴线一定位移,聚焦后的光线将以一定角度入射到被加工件上,聚焦后激光束的角度决定环切孔锥度;由聚焦镜4聚焦至加工平台5上被加工工件,激光焦点位于工件表面或者工件内部。该装置可在钢板及其他材料上加工直径30~500um的微孔;最大径深比可达1∶20,可加工直孔、不同锥度的锥孔及不规则锥孔。
具体步骤为:激光从激光器中辐照出,经过扩束镜2获得准直均匀的光束,经反射镜2进入旋光系统3。激光与光轴平行入射到旋光系统3内,旋光系统3的旋转轴与光轴同轴,马达带动装置绕轴线转动,使聚焦后的光斑也沿轴心作圆周运动,形成激光环切;其中第四楔棱镜34转过的角度决定环切孔径的大小。第一楔棱镜31或第二楔棱镜32的距离可以通过直线电机驱动控制。第一楔棱镜31和第二楔棱镜32的作用为使激光偏离旋转轴一定距离而不改变激光的传播方向。进而控制聚焦后激光的传播方向;这样可以间接地控制激光打出孔的锥度。在环切加工过程中,第一楔棱镜31与第二楔棱镜32的距离及第三楔棱镜33与第四楔棱镜34的相对角度可以实时调整,这样即可打出孔径、锥度可变的孔型。脉冲激光的单脉冲能量要大于100uJ。激光的焦点位于加工面表面附近。打孔同时,在加工区域吹压缩气体以带走气化或破碎材料。
如图2所示加工过程中加工状态,电机带动旋光系统3运转,使在激光焦点也在被加工面上作高速圆周运动,形成旋切。控制楔棱镜调节孔的尺寸。在加工同时,由吹气装置6需要向工件的加工区域吹压缩空气,使气化和碎裂的材料迅速去除,以免影响下面的加工。随着加工深度的增加,聚焦镜也随之下移,始终保持激光焦点处于被加工面附近,从而可以保持很高的加工效率,获得质量较好的边缘效果。
本发明设备用于对工件进行激光旋切打孔,可加工直孔、可变锥度的孔及不规则锥孔,以得到尺寸可变、锥度可控、边缘光滑的激光打孔效果,解决了激光钻孔过程中的效率及锥度问题,同时也扩大了激光钻孔在微加工领域的应用。
需要强调的是:以上仅是本发明的较佳实施例而已,并非对本发明作任何形式上的限制,凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本发明技术方案的范围内。
Claims (2)
1.激光旋切钻孔装置,其特征在于:激光器的输出端设置有扩束镜(1),扩束镜(1)的输出端布置有45度全反射镜(2),45度全反射镜(2)的输出端布置有旋光系统(3),所述旋光系统(3)包含第一楔棱镜(31)、第二楔棱镜(32)、第三楔棱镜(33)和第四楔棱镜(34),第一楔棱镜(31)和第二楔棱镜(32)为楔角相同的楔棱镜,第一楔棱镜(31)或第二楔棱镜(32)与上下直线运动机构相连,第三楔棱镜(33)和第四楔棱镜(34)为楔角相同的楔棱镜,第三楔棱镜(33)或第四楔棱镜(34)与旋转机构相连,所述旋光系统(3)的输出端布置有聚焦镜(4),聚焦镜(4)正对于加工平台(5)。
2.根据权利要求1所述的激光旋切钻孔装置,其特征在于:所述激光器为脉宽小于20ns的调Q脉冲激光器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2011101285298A CN102218605A (zh) | 2011-05-18 | 2011-05-18 | 激光旋切钻孔装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2011101285298A CN102218605A (zh) | 2011-05-18 | 2011-05-18 | 激光旋切钻孔装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102218605A true CN102218605A (zh) | 2011-10-19 |
Family
ID=44775444
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2011101285298A Pending CN102218605A (zh) | 2011-05-18 | 2011-05-18 | 激光旋切钻孔装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102218605A (zh) |
Cited By (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102950385A (zh) * | 2012-11-16 | 2013-03-06 | 中科中涵激光设备(福建)股份有限公司 | 一种激光束旋转加工微小圆锥形孔的系统及方法 |
CN103056519A (zh) * | 2012-12-26 | 2013-04-24 | 中科中涵激光设备(福建)股份有限公司 | 一种锥度可控的激光微孔加工光束扫描装置及其控制方法 |
CN103418913A (zh) * | 2013-08-13 | 2013-12-04 | 中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所 | 一种超短脉冲激光加工小孔装置及小孔加工方法 |
CN103464902A (zh) * | 2013-08-21 | 2013-12-25 | 中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所 | 一种激光旋切加工大倾角小孔的喷嘴装置及加工方法 |
CN103706953A (zh) * | 2012-10-09 | 2014-04-09 | 天津中杰科技发展有限公司 | 一种陶瓷激光精密打孔方法 |
CN103785955A (zh) * | 2014-01-28 | 2014-05-14 | 深圳英诺激光科技有限公司 | 一种用于加工硬脆基板的激光打孔装置 |
CN104690423A (zh) * | 2015-01-23 | 2015-06-10 | 深圳英诺激光科技有限公司 | 一种可实现零锥度和倒锥钻孔的加工装置及方法 |
CN105033470A (zh) * | 2015-05-08 | 2015-11-11 | 深圳英诺激光科技有限公司 | 一种锥度可控的高质量钻孔加工设备及方法 |
CN105057895A (zh) * | 2015-08-17 | 2015-11-18 | 华南师范大学 | 超短脉冲激光钢箔微孔成型及锥度改善方法 |
WO2016024069A1 (fr) * | 2014-08-14 | 2016-02-18 | Centre Technologique Alphanov | Dispositif d'usinage par faisceau laser d'un trou a conicite controlée avec un module afocal déplaçable |
TWI551384B (zh) * | 2013-02-27 | 2016-10-01 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Processing equipment and processing methods |
CN106271120A (zh) * | 2016-09-20 | 2017-01-04 | 金陵科技学院 | 一种锥形微孔激光旋切加工机 |
CN106312333A (zh) * | 2016-10-09 | 2017-01-11 | 中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所 | 一种激光加工孔的方法以及系统 |
CN106363306A (zh) * | 2016-12-05 | 2017-02-01 | 清华大学 | 一种喷油嘴喷孔的加工方法及系统 |
CN109108485A (zh) * | 2018-07-24 | 2019-01-01 | 西安交通大学 | 一种利用皮秒激光器修复复杂结构氧化铝陶瓷型芯的方法 |
CN109396666A (zh) * | 2018-12-21 | 2019-03-01 | 广东正业科技股份有限公司 | 一种激光钻孔装置及其方法 |
CN110405368A (zh) * | 2019-08-30 | 2019-11-05 | 温州大学 | 一种飞秒激光加工锥度可控的打孔装置及其打孔工艺 |
CN110449731A (zh) * | 2019-08-27 | 2019-11-15 | 华中科技大学 | 一种激光变锥变径旋切孔加工光学系统 |
CN111001928A (zh) * | 2019-12-24 | 2020-04-14 | 西安中科微精光子制造科技有限公司 | 激光微孔加工的光束扫描装置 |
CN111872579A (zh) * | 2020-06-16 | 2020-11-03 | 江苏亚威艾欧斯激光科技有限公司 | 一种激光钻孔设备 |
WO2020244200A1 (zh) * | 2019-06-04 | 2020-12-10 | 西安中科微精光子制造科技有限公司 | 光束扫描系统及激光加工设备 |
CN112192021A (zh) * | 2020-10-16 | 2021-01-08 | 西安中科微精光子制造科技有限公司 | 激光扫描装置 |
CN112630956A (zh) * | 2020-12-16 | 2021-04-09 | 北京国科世纪激光技术有限公司 | 一种紫外谐波晶体的换点方法 |
CN112872629A (zh) * | 2021-01-18 | 2021-06-01 | 华东师范大学 | 一种基于超快激光脉冲序列的四光楔旋切钻孔方法及系统 |
CN113231750A (zh) * | 2021-03-18 | 2021-08-10 | 武汉大学 | 一种脉冲激光打孔系统及打孔方法 |
WO2023279662A1 (zh) * | 2021-07-07 | 2023-01-12 | 广东原点智能技术有限公司 | 一种激光旋切系统及旋切方法 |
CN115922112A (zh) * | 2022-12-09 | 2023-04-07 | 星控激光科技(上海)有限公司 | 用于气膜孔加工的四光楔和振镜一体化加工装置和方法 |
CN116727899A (zh) * | 2023-07-12 | 2023-09-12 | 大辽激光科技(宁波)有限公司 | 一种用于激光深小孔加工的装置及激光旋切加工排尘方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4822974A (en) * | 1988-02-18 | 1989-04-18 | United Technologies Corporation | Laser hold drilling system with lens and two wedge prisms including axial displacement of at least one prism |
WO1997006462A1 (en) * | 1995-08-09 | 1997-02-20 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Rotating optical system for laser machining apparatus |
JP2001091891A (ja) * | 1999-09-24 | 2001-04-06 | Mitsubishi Precision Co Ltd | ウェッジプリズムの照射位置制御方法および装置 |
JP2004136307A (ja) * | 2002-10-16 | 2004-05-13 | Toshiba Corp | レーザ加工方法とレーザ加工装置 |
CN201235449Y (zh) * | 2008-04-15 | 2009-05-13 | 中国航空工业第一集团公司北京航空制造工程研究所 | 一种激光旋转聚焦装置 |
JP2009139692A (ja) * | 2007-12-07 | 2009-06-25 | Mitsubishi Electric Corp | レーザービーム走査装置および光アンテナ装置 |
CN201632766U (zh) * | 2009-09-23 | 2010-11-17 | 上海市激光技术研究所 | 旋转双光楔激光微孔加工装置 |
JP2011011212A (ja) * | 2009-06-30 | 2011-01-20 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | レーザ光によるガラス基板加工装置 |
CN202123322U (zh) * | 2011-05-18 | 2012-01-25 | 苏州德龙激光有限公司 | 激光旋切钻孔装置 |
-
2011
- 2011-05-18 CN CN2011101285298A patent/CN102218605A/zh active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4822974A (en) * | 1988-02-18 | 1989-04-18 | United Technologies Corporation | Laser hold drilling system with lens and two wedge prisms including axial displacement of at least one prism |
WO1997006462A1 (en) * | 1995-08-09 | 1997-02-20 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Rotating optical system for laser machining apparatus |
JP2001091891A (ja) * | 1999-09-24 | 2001-04-06 | Mitsubishi Precision Co Ltd | ウェッジプリズムの照射位置制御方法および装置 |
JP2004136307A (ja) * | 2002-10-16 | 2004-05-13 | Toshiba Corp | レーザ加工方法とレーザ加工装置 |
JP2009139692A (ja) * | 2007-12-07 | 2009-06-25 | Mitsubishi Electric Corp | レーザービーム走査装置および光アンテナ装置 |
CN201235449Y (zh) * | 2008-04-15 | 2009-05-13 | 中国航空工业第一集团公司北京航空制造工程研究所 | 一种激光旋转聚焦装置 |
JP2011011212A (ja) * | 2009-06-30 | 2011-01-20 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | レーザ光によるガラス基板加工装置 |
CN201632766U (zh) * | 2009-09-23 | 2010-11-17 | 上海市激光技术研究所 | 旋转双光楔激光微孔加工装置 |
CN202123322U (zh) * | 2011-05-18 | 2012-01-25 | 苏州德龙激光有限公司 | 激光旋切钻孔装置 |
Cited By (38)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103706953A (zh) * | 2012-10-09 | 2014-04-09 | 天津中杰科技发展有限公司 | 一种陶瓷激光精密打孔方法 |
CN102950385A (zh) * | 2012-11-16 | 2013-03-06 | 中科中涵激光设备(福建)股份有限公司 | 一种激光束旋转加工微小圆锥形孔的系统及方法 |
CN103056519B (zh) * | 2012-12-26 | 2014-11-26 | 中科中涵激光设备(福建)股份有限公司 | 一种锥度可控的激光微孔加工光束扫描装置及其控制方法 |
CN103056519A (zh) * | 2012-12-26 | 2013-04-24 | 中科中涵激光设备(福建)股份有限公司 | 一种锥度可控的激光微孔加工光束扫描装置及其控制方法 |
TWI551384B (zh) * | 2013-02-27 | 2016-10-01 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Processing equipment and processing methods |
US9862055B2 (en) | 2013-02-27 | 2018-01-09 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Processing apparatus and processing method |
CN103418913A (zh) * | 2013-08-13 | 2013-12-04 | 中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所 | 一种超短脉冲激光加工小孔装置及小孔加工方法 |
CN103464902A (zh) * | 2013-08-21 | 2013-12-25 | 中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所 | 一种激光旋切加工大倾角小孔的喷嘴装置及加工方法 |
CN103464902B (zh) * | 2013-08-21 | 2015-05-13 | 中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所 | 一种激光旋切加工大倾角小孔的喷嘴装置及加工方法 |
CN103785955A (zh) * | 2014-01-28 | 2014-05-14 | 深圳英诺激光科技有限公司 | 一种用于加工硬脆基板的激光打孔装置 |
WO2016024069A1 (fr) * | 2014-08-14 | 2016-02-18 | Centre Technologique Alphanov | Dispositif d'usinage par faisceau laser d'un trou a conicite controlée avec un module afocal déplaçable |
FR3024843A1 (fr) * | 2014-08-14 | 2016-02-19 | Ct Technologique Alphanov | Dispositif d'usinage par faisceau laser d'un trou a conicite controlee |
CN104690423A (zh) * | 2015-01-23 | 2015-06-10 | 深圳英诺激光科技有限公司 | 一种可实现零锥度和倒锥钻孔的加工装置及方法 |
CN104690423B (zh) * | 2015-01-23 | 2016-08-24 | 深圳英诺激光科技有限公司 | 一种可实现零锥度和倒锥钻孔的加工装置及方法 |
CN105033470A (zh) * | 2015-05-08 | 2015-11-11 | 深圳英诺激光科技有限公司 | 一种锥度可控的高质量钻孔加工设备及方法 |
CN105057895A (zh) * | 2015-08-17 | 2015-11-18 | 华南师范大学 | 超短脉冲激光钢箔微孔成型及锥度改善方法 |
CN106271120A (zh) * | 2016-09-20 | 2017-01-04 | 金陵科技学院 | 一种锥形微孔激光旋切加工机 |
CN106271120B (zh) * | 2016-09-20 | 2018-01-12 | 金陵科技学院 | 一种锥形微孔激光旋切加工机 |
CN106312333A (zh) * | 2016-10-09 | 2017-01-11 | 中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所 | 一种激光加工孔的方法以及系统 |
CN106363306A (zh) * | 2016-12-05 | 2017-02-01 | 清华大学 | 一种喷油嘴喷孔的加工方法及系统 |
CN109108485A (zh) * | 2018-07-24 | 2019-01-01 | 西安交通大学 | 一种利用皮秒激光器修复复杂结构氧化铝陶瓷型芯的方法 |
CN109396666A (zh) * | 2018-12-21 | 2019-03-01 | 广东正业科技股份有限公司 | 一种激光钻孔装置及其方法 |
WO2020244200A1 (zh) * | 2019-06-04 | 2020-12-10 | 西安中科微精光子制造科技有限公司 | 光束扫描系统及激光加工设备 |
CN110449731A (zh) * | 2019-08-27 | 2019-11-15 | 华中科技大学 | 一种激光变锥变径旋切孔加工光学系统 |
CN110405368A (zh) * | 2019-08-30 | 2019-11-05 | 温州大学 | 一种飞秒激光加工锥度可控的打孔装置及其打孔工艺 |
CN111001928B (zh) * | 2019-12-24 | 2020-09-25 | 西安中科微精光子制造科技有限公司 | 激光微孔加工的光束扫描装置 |
CN111001928A (zh) * | 2019-12-24 | 2020-04-14 | 西安中科微精光子制造科技有限公司 | 激光微孔加工的光束扫描装置 |
CN111872579A (zh) * | 2020-06-16 | 2020-11-03 | 江苏亚威艾欧斯激光科技有限公司 | 一种激光钻孔设备 |
CN112192021A (zh) * | 2020-10-16 | 2021-01-08 | 西安中科微精光子制造科技有限公司 | 激光扫描装置 |
CN112630956A (zh) * | 2020-12-16 | 2021-04-09 | 北京国科世纪激光技术有限公司 | 一种紫外谐波晶体的换点方法 |
CN112872629A (zh) * | 2021-01-18 | 2021-06-01 | 华东师范大学 | 一种基于超快激光脉冲序列的四光楔旋切钻孔方法及系统 |
CN112872629B (zh) * | 2021-01-18 | 2022-07-01 | 星控激光科技(上海)有限公司 | 一种基于超快激光脉冲序列的四光楔旋切钻孔方法及系统 |
CN113231750A (zh) * | 2021-03-18 | 2021-08-10 | 武汉大学 | 一种脉冲激光打孔系统及打孔方法 |
WO2023279662A1 (zh) * | 2021-07-07 | 2023-01-12 | 广东原点智能技术有限公司 | 一种激光旋切系统及旋切方法 |
CN115922112A (zh) * | 2022-12-09 | 2023-04-07 | 星控激光科技(上海)有限公司 | 用于气膜孔加工的四光楔和振镜一体化加工装置和方法 |
CN115922112B (zh) * | 2022-12-09 | 2023-11-17 | 苏州思萃声光微纳技术研究所有限公司 | 用于气膜孔加工的四光楔和振镜一体化加工方法 |
CN116727899A (zh) * | 2023-07-12 | 2023-09-12 | 大辽激光科技(宁波)有限公司 | 一种用于激光深小孔加工的装置及激光旋切加工排尘方法 |
CN116727899B (zh) * | 2023-07-12 | 2024-01-30 | 大辽激光科技(宁波)有限公司 | 一种用于激光深小孔加工的装置及激光旋切加工排尘方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102218605A (zh) | 激光旋切钻孔装置 | |
CN202123322U (zh) | 激光旋切钻孔装置 | |
CN102773605B (zh) | 一种旋转光束模块组激光运动轨迹控制系统 | |
CN101856772A (zh) | 一种光束旋转振镜扫描聚焦加工系统 | |
CN103706946B (zh) | 一种激光分束振镜扫描加工装置 | |
US11865643B2 (en) | Drilling device with controllable femtosecond laser processing taper and drilling process thereof | |
CN100441360C (zh) | 一种激光打孔方法及其打孔装置 | |
CN104162741A (zh) | 激光加工装置及其方法 | |
CN103817430B (zh) | 一种电磁辅助激光打孔方法及装置 | |
CN204122927U (zh) | 激光加工装置 | |
CN105598593B (zh) | 用于硬脆性材料钻孔的激光加工系统及方法 | |
US20140263212A1 (en) | Coordination of beam angle and workpiece movement for taper control | |
CN103203541A (zh) | 一种激光加工装置 | |
CN101890581B (zh) | 薄型材料激光在线打孔装置 | |
JP2014231071A (ja) | レーザ光による基板切断装置 | |
CN102310285B (zh) | 硅-玻璃键合片的激光加工装置及其方法 | |
CN105149790B (zh) | 毫米以及亚毫米量级环形金刚石刀具的深加工方法及系统 | |
CN110722272A (zh) | 超快激光微纳切割钻孔设备及方法 | |
CN105728946B (zh) | 基于透射式振镜的轧辊表面激光无序毛化加工方法及加工装置 | |
CN107538131A (zh) | 一种玻璃孔加工方法 | |
CN103418913A (zh) | 一种超短脉冲激光加工小孔装置及小孔加工方法 | |
CN206230159U (zh) | 一种激光钻孔与钻孔填充系统 | |
CN107160033A (zh) | 一种基于多面棱镜与振镜高速密集打孔光学系统 | |
CN201632766U (zh) | 旋转双光楔激光微孔加工装置 | |
CN101380696A (zh) | 一种薄壁管激光微切割装置及方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C53 | Correction of patent of invention or patent application | ||
CB02 | Change of applicant information |
Address after: 215021 Suzhou Industrial Park, Jiangsu, Hong Zhong Road, No. 77 Applicant after: Suzhou Delphi Laser Co., Ltd. Applicant after: Jiangyin Deli Laser Equipment Co., Ltd. Address before: 215021 Suzhou Industrial Park, Jiangsu, Hong Zhong Road, No. 77 Applicant before: Suzhou Delphi Laser Co., Ltd. Applicant before: Jiangyin Deli Laser Equipment Co., Ltd. |
|
C12 | Rejection of a patent application after its publication | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20111019 |