FR2611563A1 - Dispositif de prehension de plaquettes de circuits integres - Google Patents

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Serge Micolau
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
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Abstract

LA PRESENTE INVENTION CONCERNE UN DISPOSITIF DE PREHENSION DE PLAQUETTE DE CIRCUIT INTEGRE COMPORTANT UN EMBOUT AMOVIBLE 5 ET UN MOYEN D'ASPIRATION D'AIR. CE DISPOSITIF COMPORTE UN CORPS CYLINDRIQUE CREUX 1 CONTENANT UN PISTON 2 ACTIONNE MANUELLEMENT, UNE CAVITE 3 A L'INTERIEUR DU CORPS COMMUNIQUANT AVEC L'EMBOUT AMOVIBLE 5 ET DONT LE VOLUME VARIE AVEC LE DEPLACEMENT DU PISTON 2, UN MOYEN DE RAPPEL 4 ENTRE LE PISTON ET LE CORPS, DE SORTE QUE L'AIR EST CHASSE LORS DE L'ACTIONNEMENT DU PISTON 2 ET QU'UNE ASPIRATION SE PRODUIT SOUS L'ACTION DU MOYEN DE RAPPEL 4. APPLICATION A LA FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEURS.

Description

DISPOSITIF DE PREHENSION DE PLAQUETTES
DE CIRCUITS INTEGRES
La présente invention concerne un dispositif de préhension de plaquettes de circuits intégrés afin de les déplacer sans les toucher avec les doigts.
Actuellement dans l'industrie des semi-conducteurs pour transporter des plaquettes de circuits intégrés sans les toucher pour ne pas les contaminer, on utilise des pipettes, reliées à une pompe à vide par un tuyau. Or ces dispositifs de préhension ne donnent pas à l'opérateur une grande autonomie car il est limité par la longueur du tuyau. Généralement une pompe à vide comporte plusieurs tuyaux, ce qui permet d'équiper plusieurs postes de travail. L'opérateur risque donc d'être gêné dans ses déplacements par ces différents tuyaux.
D'autres problèmes peuvent également survenir tels que tuyaux débranchés, tuyaux bouchés, etc..
Les pompes à vide demandent un certain entretien et leur consommation en énergie n'est pas négligeable.
La présente invention vise à remédier à ces inconvénients en proposant un dispositif de préhension de plaquettes de circuits intégrés peu coûteux fonctionnant de manière simple grâce au vide créé par ltopérateur.
L'invention a donc pour objet un dispositif de préhension de plaquette de# circuit intégré, comportant un embout amovible permettant la préhension de la plaquette par aspiration d'air lorsque l'embout est en contact avec elle et un moyen pour produire l'aspiration dans l'embout, caractérisé en ce que le moyen pour produire l'aspiration est constitué par
- un corps cylindrique creux contenant un piston actionné manuellement
- une cavité à l'intérieur du corps communiquant avec l'embout et dont le volume varie avec le déplacement du piston
- un moyen de rappel entre le piston et le corps tendant à augmenter le volume de- la cavité de sorte que l'air de la cavité est chassé lors de l'actionnement manuel du piston et qu une aspiration est créée sous l'action du moyen de rappel lorsque le piston est relaché.
L'invention sera mieux comprise et d'autres avantages apparaîtront au moyen de la description qui va suivre donnée à titre non limitatif et des figures annexées suivantes
- la figure 1 représente une vue d'ensemble du dispositif
selon l'invention
- les figures 2 et 3 représentent une vue d'ensemble du dispositif selon des variantes de l'invention;
- la figure 4 représente de façon détaillée l'embout amovible.
Le dispositif de préhension de plaquette de circuit intégré représenté à la figure 1 comporte un corps cylindrique creux 1 muni d'un embout amovible 5 permettant de déplacer une plaquette de circuit intégré 8 par aspiration. Le corps cylindrique 1 contient un piston 2 actionnable manuellement; le piston est solidaire d'une tige 2' s'étendant jusqu'# l'extérieur du corps cylindrique ; l'extrémité extérieure de la tige est pourvue d'une poignée 7.
L'espace entre le piston 2 et l'extrémité du corps cylindrique 1 du côté de l'embout 5 constitue une cavité 3 qui communique avec ltembout 5 et dont le volume varie avec le déplacement du piston 2.
Un moyen de rappel 4 entre le piston 2 et le corps 1 tend à augmenter le volume de la cavité 3. Des poignées 10 et il permettent de saisir et d'actionner facilement le dispositif de préhension.
L'embout 5 amovible se fixe par l'une de ses extrémités 9 au corps 1 du côté de la cavité 3. L'autre extrémité 6 sert à maintenir la plaquette de circuit intégré 8 lors du fonctionnement du dispositif.
Pour obtenir l'aspiration nécessaire au maintien de la plaquette de circuit intégré, il suffit de chasser l'air du corps 1 en poussant manuellement l'extrémité 7 du piston 2 jusqu'à ce que le volume de la cavité soit minimal. L'extrémité 6 de l'embout 5 étant correctement appliquée sur une plaquette de circuit intégré 8, en relâchant la pression sur le piston 2, le moyen de rappel 4 tire le piston 2, le volume de la cavité 3 augmente et une aspiration est créée au niveau de l'extrémité 6 de l'embout 5. L'aspiration est suffisante pour maintenir la plaquette contre l'embout et permettre le transport de la plaquette. Une légère pression appliquée sur le piston 2 permet la libération de la plaquette 8.
Dans un mode de réalisation préférentiel, le moyen de rappel 4 est un ressort boudin placé autour de la tige 2' du piston 2, à l'extérieur du corps cylindrique 1, prenant appui entre le corps et la poignée 7.
Il est comprimé lorsque l'on chasse l'air et se détend en tirant le piston 2 lors de l'aspiration.
Dans un autre mode de réalisation représenté sur la figure 2, le ressort 4 sera placé autour de la tige 2'du piston 2 mais à l'intérieur du corps 1.
L'une de ses extrémités 12 sera fixée au piston 2, l'autre 13 sera fixée au corps 1.
Le ressort 4 est en extension quand on chasse l'air du corps 1 et revient à sa position de repos en tirant le piston 2 lors de l'aspiration.
La figure 2 représente aussi un autre système pour déplacer manuellement le piston 2 afin de chasser l'air du corps 1.
La tige 2' du piston 2 comporte sur une partie de sa longueur une crémaillère 23 sur laquelle s'engrène une roue dentée 22 tournant autour d'un axe 24.
Cet axe 24 est perpendiculaire au plan de la roue 22. La roue 22 est munie d'un levier 21 qui permet par une simple pression sur celui-ci, de faire tourner la roue 23 donc de déplacer la crémaillère et le piston, pour chasser l'air de la cavité.
La figure 3 représente une autre variante de l'invention. Un collier 31 muni d'une poignée 32, relié par l'intermédiaire d'une patte 33, à l'extrémité 7 du piston, coulisse autour du corps 1 et facilite le déplacement du piston 2 quand il chasse l'air du corps 1.
La figure 4 représente de façon détaillée l'embout amovible 5 servant au maintien de la plaquette de circuit intégré.
Cet embout 5 est composé d'un tube rigide 41, relié à la cavité 3, par l'une de ses extrémités évasée 9 et dont l'autre extrémité est emboîtée dans une pièce annulaire 42.
Une pièce conique souple 40 vient se fixer dans la pièce annulaire 42. C'est cette pièce 40 qui sera en contact avec la plaquette de circuit intégré 8, sa surface de base doit être suffisamment grande pour bien assurer le maintien de la plaquette 8. Cette pièce est généralement réalisée en téflon.
Des essais ont démontré qu'avec ce dispositif il est possible de maintenir une plaquette de circuit intégré pendant une dizaine de minutes. L'expériencemontre qu'un opérateur ne tient Jamais une plaquette de circuit intégré de cette manière pendant plus longtemps.

Claims (2)

REVENDICATIONS
1. Dispositif de préhension de plaquette de circuit intégré comportant d'une part un embout amovible (5) permettant la préhension de la plaquette (8) par aspiration d'air, lorsque l'embout (5) est en contact avec elle et un moyen pour produire l'aspiration dans l'embout (5), caractérisé en ce que le moyen pour produire l'aspiration est constitué par
- un corps cylindrique creux (1) contenant un piston (2) actionné manuellement
- une cavité (3) à l'intérieur du corps communiquant avec l'embout (5) et dont le volume varie avec le déplacement du piston
- un moyen de rappel (4) entre le piston et le corps tendant à augmenter le volume de la cavité (3) de sorte que l'air de la cavité est chasse lors de l'actionnement manuel du piston (2) et qu'une aspiration est créée sous l'action du moyen de rappel (4) lorsque le piston (2) est relaché.
2. Dispositif de préhension de plaquette de circuit intégré selon la revendication 1, caractérisé en ce que le piston (2) comporte dans sa longueur une crémaillère (23) sur laquelle s'engrène une roue dentée (22) munie d'un levier (21) de sorte que l'actionnement de ce levier (21) permet le déplacement du piston (2).
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