FR2572025A1 - Tete d'enregistrement par jet d'encre et son procede de fabrication - Google Patents

Tete d'enregistrement par jet d'encre et son procede de fabrication Download PDF

Info

Publication number
FR2572025A1
FR2572025A1 FR8515476A FR8515476A FR2572025A1 FR 2572025 A1 FR2572025 A1 FR 2572025A1 FR 8515476 A FR8515476 A FR 8515476A FR 8515476 A FR8515476 A FR 8515476A FR 2572025 A1 FR2572025 A1 FR 2572025A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
ink
layer
recording head
substrate
surface layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
FR8515476A
Other languages
English (en)
Inventor
Junichi Kobayashi
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP22099084A external-priority patent/JPS6198553A/ja
Priority claimed from JP22099184A external-priority patent/JPS6198554A/ja
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Publication of FR2572025A1 publication Critical patent/FR2572025A1/fr
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/16Production of nozzles
    • B41J2/1621Manufacturing processes
    • B41J2/1623Manufacturing processes bonding and adhesion
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/16Production of nozzles
    • B41J2/1601Production of bubble jet print heads
    • B41J2/1604Production of bubble jet print heads of the edge shooter type
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/16Production of nozzles
    • B41J2/1621Manufacturing processes
    • B41J2/1631Manufacturing processes photolithography
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/16Production of nozzles
    • B41J2/1621Manufacturing processes
    • B41J2/1637Manufacturing processes molding
    • B41J2/1639Manufacturing processes molding sacrificial molding

Abstract

L'INVENTION CONCERNE UNE TETE D'ENREGISTREMENT PAR JET D'ENCRE ET SON PROCEDE DE FABRICATION. UN SUBSTRAT 1 COMPORTANT UN GENERATEUR D'ENERGIE 2 POUR L'EJECTION DE L'ENCRE RECOIT UN FILM 7 DE RESINE PHOTOSENSIBLE DURCI DE FACON A FORMER UN CANAL 9-2 D'ECOULEMENT D'ENCRE, ET UN ELEMENT 10 DE RECOUVREMENT FERMANT LE CANAL. UNE COUCHE DE SURFACE EST FORMEE ENTRE LA SURFACE DU SUBSTRAT ET LE FILM DE RESINE PHOTOSENSIBLE DURCI AFIN DE RENDRE SENSIBLEMENT UNIFORME LE COEFFICIENT DE REFLEXION DU SUBSTRAT. DOMAINE D'APPLICATION: IMPRIMANTES A JET D'ENCRE.

Description

L'invention concerne une tête d'enregistrement
par jet d'encre et un procédé de fabrication de cette
tête. L'invention concerne plus particulièrement une
tête d'enregistrement par jet d'encre destinée à produi
re des gouttelettes d'encre, d-evant êtr-e utilisé pour
un enregistrement par jet d'encre, dans lequel des gout
telettes d'un liquide sont projetées et peuvent adhérer
à un élément sur lequel un enregistrement doit être -réalisé, tel que du papier ou autre, et elle a trait
également à un procédé de fabrication de cette tête.
Des têtes d'enregistrement par jet d'encre
utilisées dans l'enregistrement par je-t d'encre présen-
tent, en général, un petit orifice destine à l'éjection
d'une encre, un canal d'écoulement d'encre, un générateur d'énergie placé sur une section du canal, et-une chambre commune de réserve d'encre.
Pour la fabrication de telles têtes d'enregis trement par jet d'encre, il est connu un procédé classique dans lequel de fines gorges sont formées dans une plaque, par exemple en verre, en métal ou autres, pardécoupage, gravure chi-nique ou autre , et la plaque résultante est liée à un s@ostrat, équipé d'un généra- teur d'énergie pour l'éjection d'encre, afin de former un canal d'écoulement d'encre.
Cependant, dans les têtes d'enregistrement par jet d'encre fabriquées conformément au procédé classique ci-dessus, la rugosité de ià surface ifltrieùre du canal d'écoulement d'encre est trop gra-nde-lorsque ce canal est réalisé par -coupe, ou bien sa surface intérieure présente trop de déformations dues à des différences de degré d'attaque chimique lorsque le canal est réalisé par gravure chimique. En conséquence, l'obtention d'un canal d'écoulement d'encre de bonne précision est difficile et un manque d'uniformité des caractéris- tiques d'éjection de l'encre tend. à apparaître. De plus,
dans les procédés classiques de production, un alignement.
précis est difficile à obtenir dans la liaison entre
(a) une plaque rainurée; dans- laquelle est formée une
gorge d'écoulement d'encre et (b) un substrat équipé
d'un générateur d'énergie pour l'éjection d'encre ;
l'exsudation d'un adhésif utilisé pour lier la plaque
rainurée au substrat provoque une contamination du géné- rateur d'énergie et/ou une- obturation du canal d'écoule- ment d'encre ; le pracédé de fabrica-tion 'est compliqué
et le rendement est faible , il existe donc des problèmes affectant ce procédé de production.On connaît,
comme procédé de production de têtes d'enregistrement
par jet d'encre permettant de résoudre les problèmes
indiqués ci-dessus, un procédé dans lequel un-- canal
d'écoulement d'encre est formé à l'aide d'un film de résine photosensible durci (demande de brevet japonais=
N 43 876/1982). Ce procédé a résolu les problèmes clas
siques poses par la gravure chimique ou la coupe et
se manifestant par une faible précision du canal d d'écou-
lement d'encre forme, une complexité du procédé de pro
duction et un faible rendement~.D'une façon générale, un substrat équipé d'un générateur d'énergie pour l'éjection d'encre comprend divers films protecteurs destinés
à protéger le générateur énergie. Il est propos-é,
en tant que -tel substrat, par exemple -une structure
dans laquelle un élément chauffant- constituant un générateur d'énergie pour l'expulsion de encre, des électro
des destinées à fournir du conrant électrique à l'élément
chauffant et une couche anti-oxydation destinée à empê
cher l'oxydation de l'élément chauffant pendant la géné
ration d'énergie, sont formés sur un substrat et il
est prévu sur --la partie de la souche anti-oxydation
recouvrant l'élément chauffant,- une couche anti-cavita
tion constituée, par exemple, d'un métal destiné à empê
cher ledit phénomène de cavitation de la couche anti oxydation et, sur la partie résiduelle de la couche
anti-oxydation ne recouvrant pas- l'élément chauffant, il est formé une couche anti-encre constituée d'une substance organique.
Dans ce cas, à la surface du substrat à laquelle doit être lié un film durci d'une résine photosensible formant un canal d'écoulement de l'encre, deux couches sont à découvert, à savoir la couche anti-cavitation et la couche anti-encre, parmi les trois couches qui comprennent en outre la couche anti-oxydation. Ces couches ont des niveaux différents. De plus, elles ont des coefficients de réflexion de la lumière différents.
En conséquence, une exposition à la lumière de la résine photosensible pour y former un dessin diffère pour chacune des couches. Il en résulte un manque d'uniformité de la dimension du canal d'-écoulement d'encre formé par le dessin dans certaines conditions, c'est-à-dire qu'il est difficile de former tn fanal d'écoulement d'encre continu conformément à une dimension nominale.
Le film de résine -photosensible durci par lequel un canal d'écoulement d'encre est formé doit ~avoir, en particulier, une épaisseur très précise. Une exposition à la lumière différente en des Fointsdifférents de la résine photosensible a pour inconvénient une nette différence d'épaisseur en certains points du film durci.
En outre, lorsqu'une exposition à la lumière optimale pour la partie ayant le coefficient de réflexion de la lumière le plus élevé, par exemple la partie de la résine photosensible située sur la couche anti-cavitation au-dessus de l'élément chauffant, qui forme le canal d'écoulement d'encre, est également appliquée à la partie ayant le coefficient de réflexion le plus bas, par exemple la partie de la résine photosensible située sur la couche anti-encre (couche de substance organique), le film de résine photosensible durci ne reçoit pas, dans son ensemble, une exposition à la lumière suffisante ; la polymérisation qui a lieu n'est pas complète ; la paroi du canal d'écoulement d'encre se détache du substrat pendant le développement et, par conséquent, il en résulte un faible rendement.
L'invention a été conçue à la lumière du problème indiqué ci-dessus. Un objet de l'invention réside dans une tête d'enregistrement par jet d'encre de haute précision et haute fiabilité, ainsi que dans un procédé de fabrication de cette tête.
L'invention a également pour objet une tête d'enregistrement par jet d'encre dans laquelle est formé un canal fin d'écoulement d'encre, avec une grande précision e-t conforme au projet conçu, ainsi qu'un procédé de fabrication de cette tête. L'invention concerne également une tête d'enregistrement par jet d'encre ayant une excellente longévité en utilisation et ne présentant pas de séparation entre le substrat et la paroi du canal, ainsi qu'un procédé pour sa fabrication.
Conformément à un aspect de l'invention, il est prévu une tête d'enregistrement par jet d'encre comprenant un substrat qui comporte un générateur d'énergie destiné à l'éjection de l'encre, un film de résine photosensible durci formé sur le substrat afin de constituer un canal d'écoulement d'encre, et un -élément de recouvrement destiné à former le canal et placé sur le film de résine photosensible durci, la tête étant caractérisée en ce qu'une couche de surface est prévue entre la surface du substrat et le film de résine photosensible durci afin de rendre sensiblement uniforme le coefficient de réflexion de la lumière du substrat.
Conformément à un autre aspect de l'invention, il est prévu un procédé de fabrication d'une tête d'enregistrement par jet d'encre, qui consiste à former un film de résine photosensible durci destiné à constituer un canal d'écoulement d'encre -su-r un-substrat comportant un générateur - d'énergie pour l'éjection de l'encre, et à placer un élément de recouvrement destiné à former un -canal d'écoulement d'encre -sur le film de résine photosensible durci, le procédé étant car-a-ctérisé en ce qu'une couche de surface destinée à déterminer le coefficient de réflexion de la lumière du substrat est formée sur ce dernier, après quoi le film de résine photosensible durci est lui-même formé.
L'invention sera décrite plus en détail en regard des dessins annexés à titre d'exemple nullement limitatif et sur lesquels les figures 1A, 1B, 2, 3, 4A, 4B, 5, 6A, 6B, 7A, 7B et 8- à 15 sont des schémas explicatifs de la présente invention.
L'invention sera décrite plus en détail cidessous en référence aux dessins.
Tout d'abord, uniforme sur un substrat 1 un élément chauffant (couche résistante- chauffante) 2 assumant la fonction d'un générateur d'énergie et des électrodes 3 destinées à alimenter en courant électrique l'élément chauffant 2, pat gravure chimique, sérigraphie ou autre, comme montré schématiquement sur la coupe transversale de la figure 1A et sur la vue en plan de la figure 1B.
Dans l'étape illustrée -par la coupe schématique de la figure 2, une couche anti-oxydation 4 constituée, par exemple,de SiO2 est formée par pulvérisation ou autre afin d'empêcher l'oxydation de l'élément chauffant 2 pendant la génération de- chaleur.
Dans l'étape illustrée schématiquement par la coupe de la figure 3, pour empêcher la rupture possible de la couche anti-oxydation- 4 sous -l'effet d'un phénomène dit de cavitation qui se produit lorsque de l'encre, se trouvant dans un canal d'écoulement encre formé d'une manière qui sera décrite ci-après, risque de former des bulles sous l'effet de la chaleur produite par l'élément chauffant2, conforme, en tant que couche anti-cavitation 5, un film métallique constitué, par exemple,de Ta ou analogue
Dans l'étape illustrée par la coupe schématique de la figure 4A, pour assurer une akaration complote entre les électrodes 3 et l'encre, il est formé une couche anti-encre 6a constituée d'une substance organique résistant à 1-' encre, par- exemple--un polyimide ou analogue. Un substrat équipé d'un générateur d'énergie pour éjecter l'encre et ayant été. soumis à l'étape de la figure 4A présente, lorsqu'il est considéré de dessus, la constitution telle que représentée par la vue schématique en plan de la figure 4B. Ensuite, comme montré par la coupe schématique de la figure 5, il est appliqué une couche de résine photosensible 7A destinée à former une paroi de canal d'écoulement encre, par exemple un film sec 5.Ensuite, comme montré par la coupe schématique de la figure SA, pour former une paroi de canal d'écoulement encre suivant un dessin, on place, sur la résine photosensible 7A, un masque photographique 20 qui n'est transparent que dans la-partíe= destinée à devenir ensuite une paroi de gicleur (comme montré sur la vue schématique en plan de la figure 6B), et le cadrage est réalisé entre la résine photosensible et le masque conformément à un procédé connu. Puis de la lumière est appliquée au stratifié résultant, à- partir du cote du masque photographique.
A ce moment, comme montré sur la figure 4B, une paroi continue de canal d'écoulement d'encre doit être formée non seulement sur la couche anti-cayitation 5 constituée d'un métal ou analogue, mais également sur la couche anti-encre 6a.-- Etant donné que la couche anti-encre 6a presente un coefficient de réflexion dela lumière très inférieur- à celui de la couche anti cavitation 5, lorsque la même exposition de lumière est réalisée sur la partie de la résine photosensible 7A située sur la couche anti-encre 6a que sur la partie de la résine photosensible 7A située sur la couche anticavitation 5, c'est-à-dire lorsqu'une exposition prédéterminée à la lumière est réalisée à travers le masque photographique 20, la résine photosensible 7A située sur la couche anti-encre 6a reçoit une exposition à la lumière insuffisante et sa polymérisation ne s'effectue pas suffisamment et, par conséquent, la paroi du canal d'écoulement d'encre formée après le développement est d'une largeur inférieure à celle prévue. Entre temps, le film 7 de résine photosensible durci sur la couche anti-cavitation 5 est formé conformément à une dimension nominale. Par conséquent, ie canal d'écoulement d'encre présente inévitablement une différence de largeur à l'interface entre la couche anti-encre 6a et la couche anti-cavitation 5, ce qui gêne l'écoulement normal de l'encre dans le canal et affecte notablement Les caractéristiques d'éjection de l'encre.
Par conséquent-, dans la présente invention, une couche de surface est formée de manière que l'interface entre le film durci 7 de résine photosensible formant un canal d'écoulement d'encre et le substrat équipé du générateur d'énergie pour l'éjection de l'encre puisse avoir un coefficient de réflexion sensiblement uniforme afin que le coefficient de réflexion de la lumière de l'interface soit ajusté.
Une couche anti-encre 6a, comme montré sur la figure 4A, est formée sur toute l'étendue de la surface de la couche anti-oxydation sauf la partie de l'élément chauffant générateur d'énergie, comme représenté en 6b,- (couche de surface) sur la coupe schématique de la figure 7A et sur la vue schématique en plan de la figure 7B. L'interface entre le substrat et le film de résine photosensible durci peut ainsi être rendue sensiblement uniforme.
En outre, une couche apte à empêcher la réflexion est formée sur la couche anti-encre 6a de manière que l'action anti-réfléchissante de la couche antiencre 6a puisse être négligée. Dans ce cas, la couche apte à empêcher la réflexion est une couche de surface établissant un coefficient de réflexion de la lumière sensiblement uniforme.
En variante, il est possible d'appliquer une couche supérieure sur la couche anti-encre, cette couche supérieure étant une autre couche que celle apte à empêcher la réflexion et étant conçue d'une matière relativement insensible à la réflexion de la lumière provoquée par l'épaisseur de la couche ou les conditions de formation de la couche.
Un film durci de résine photosensible est formé sut la couche supérieure. Dans ce cas, la couche supérieure - est la couche de surface.
Lorsque la couche résistante chauffante, les électrodes, etc., possèdent une propriété anti-encre et que l'encre utilise possède une propriété isolante, la couche anti-encre n'est pas necessaire. En conséquence, dans ce cas, la couche de surface apte à empêcher la réflexion ou la couche supérieure peut être formée directement sur la couche résistante chauffante et sur les electrodes.
En outre, la couche anti-encre, la couche apte à empêcher la réflexion ou la couche supérieure peut être prévue non seulement sur la partie de la surface du substrat, excepté le générateur d'énergie, mais également sur la totalité de la surface du substrat si la perte d'énergie due à la formation de ces couches est assez faible pour être négligeable. I1 est nécessaire que la surface du substrat en contact avec le film durci de résine photosensible possède pour le moins un coeffi cient- de réflexion sensiblement uniforme.
Pour la couche anti-encre, on peut utiliser une résine du te polyimide, ufle résine photosensible (par exemple un polyimide photosensible), etc. Come résine du type polyimide, on peut utiliser des résines="PIQ" et "HL-1, 200" (produite par Hitach Chemical Co., Ltd.), "Semicofine" et "TORAYNEECE" produite par la firme TORAY INDUSTRIES,
INC), etc. Pour le polyimide- photosensible, on peut utiliser des matières telles que "PL 1000" (produite par Hitachi Chemical Co., Ltd.), "Photoneece" produite par TORAY INDUSTRIES, INC), "HTR-2" (produire par Merck), etc. On peut utiliser d'autres matières pour la couche anti-encre pourvu qu'elles possèdent une propriété anti- encre.
Pour la couche apte empêcher la réflexion, on peut utiliser d'une façon générale des matières connues la réflexion telles que des composés (TiO2, XgF2), "ARC" (produit par BREWER- SCIENCE) et analogues.
En général, on peut~ utiliser des matières ayant une aptitude à empêcher -la réflexion. Les matières comprennent en particulier des oxydes métalliques tels que l'oxyde de titane et l'oxyde de magnésium, MgFZ, le trisulfure d'antimoine, et analogues.
Pour la couche supérieure, on peut utiliser avantageusement des métaux et des -oxydes métalliques (par exemple, Cr, Al2O3, SiO2, Ta2O5, Ta) ainsi que d'autres composes d'oxyde.
Les matières précitées peuvent entre aisément façonnées en couche par des procédés connus pour la formation d'un film mince avec chaque matière. Des couches d'épaisseur régulée. sont aisément préparées- par les procédés suivants. Par exemple, une mince couche de TiO2,- MgF2, d'un métal ou analoguè peut être préparée par le procédé de déposition sous vide, une mince couche de "ARC" peut être obtenue par le procédé d'enduction centrifuge ou d'immersion, et une mince- couche de SiO2 peut être obtenue par le procédé de pulvérisation.
Après que le coefficient de réflexion de la lumière de la surface du substrat a été ajusté par la formation de la couche superficielle mentionne cidessus (la couche superficielle ou de surface est représentée schématiquement sur la coupe de- la figure 8), une couche 7A de résine photosensible est appliquée puis une exposition à la lumière est effectuée à-l'aide d'un masque photographique 20. (coupes schématiques des figures 9 et 10). On procède ainsi à un développement pour former une paroi de canal constituée d'un- film de résine photosensible durci 7 (coupe schématique de la figure 11).Puis un élément 10 de recouvrement est lié afin de former un canal d'écoulement d-tencre- (coupe de la figure 12), après quoi une coupe est réalisée suivant la ligne C-C indiquée sur - vue en perspective de la figure 13 et sur la vue en coupe de la figure 14. Cette coupe est -necessaire pour établir un inter- valle optimal entre un générateur d'énergie pour l'éjec- tion de l'encre et un orifice 9-3 pour l'éjection de l'encre, dans un canal 9-2 d'écoulement d'encre. Le site de la coupe est donc déterminé afin de permettre cette optimisation.
Pour procéder à cette opération -de coupe, on peut adopter- un procédé d-e coupe par projection d'abrasif communément utilisé dans l'industrie -des semiconducteurs.
Il est évident que l'opération de coupe nest pas nécessaire dans le cas où un orifice. est fini selon une forme souhaitée, -par un cadrage précis des positions du générateur d'énergie et de l'orifice.
Ensuite, -comme illustré schématiquement par la coupe partielle de la figure 15, un tuyau 12= d'alimentation en encre est- fixé- dans un- trou traversant 11 ce qui achève la réalisation de la tête d'enregistrement par jet d'encre. Les figures 9 à 12 et les figures 14 et 15 sont chacune une vue schématique en coupe alors que la figure 13 est une vue schématique en plan.
Comme décrit en détail ci-dessus, la présente invention permet d'obtenir les effet suivants.
(a) Etant donné qu'une paroi de canal ayant une forme et une dimension souhaitées peut être formée, on peut obtenir une tête d'enregistrement par jet de liquide de haute précision et de caractéristique d'éjec- tion stable, ainsi que son procédé de fabrication
(b) étant donné que la surface du substrat recouverte d'un film de résine photosensible durci présente un coefficient de réflexion sensiblement uniforme, l'exposition à la lumière de la résine photosensible est uniforme en toute partie de la résine ;;
(c) étant donné qu'une exposition à la lumière d'amplitude souhaitée peut être réalisée, la résine photosensible durcit suffisamment et ce durcissement a lieu sans que le film de résine photosensible durci ne se détache,
(d) en intercalant une couche de surface, la liaison entre le substrat et le film de résine photosensible durci peut être améliorée, ce qui permet d'obtenir une tête d'enregistrement par jet liquide de plus grande fiabilité, ainsi que son procédé de fabrication.
Le procédé conforme à l'invention permet d'obtenir une tête d'enregistrement par éjection de liquide ayant d'excel.lentes propriétés sur la base des éléments indiqués ci-dessus, par exemple même si une tête d'enregistrement par éjection de liquide-ne comporte pas de paroi de canal d'ecoulement de liquide entre des générateurs d'énergie pour l'éjection de l'encre.

Claims (15)

REVENDICATIONS
1. Tête d'enregistrement par jet d'encre com-prenant un substrat (1) qui comporte un générateur d'énergie (2) destiné à l'éjection d'encrez un film (7) de résine photosensible durci formé sur le substrat afin de constituer un canal (9-2-) d'écoulement d'encre, et un élément de recouvreme-nt (10) destiné à façonner le canal d'écoulement d'encre et placé sur le film de résine- photosensible durci, caractérisée en ce qu'une couche de surface est prévue entre la surface du substrat et le film de résine photosensible durci afin de rendre sensiblement uniforme le coefficient de réflexion de la lumière du substrat.
2. Tête d'enregistrement selon la revenåica- tion 1, caractérisée en ce que la couche de surface est une couche apte à empêcher la réflexion.
3. Tête d'enregistrement selon la revendication 1, caractérisée en ce que la couche de surface est une couche (6a) possédant des propriétés anti-encre.
4. Tête d'enregistrement selon la revendication 1, caractérisée en ce que ladite couche de surface est une couche (5) possédant des propriétés anti-cavitation.
5. Tête d'enregistrement selon la revendication 1, caractérisée en ce qu'elle comporte plusieurs genéra- teurs d'énergie d'ejection de l'encre.~~
6. Tête d'enregistrement selon la revendication 5, caractérisée en ce que les canaux d'écoulement de l'encre sont formés de façon correspondante aux générateurs d'énergie afin d'éjecter l'encre.
7. Tête d'enregistrement selon la revendication 5. caractérisée en ce que le canal d'écoulement de l'encre est commun à tous les générateurs d'energie pour l'éjection de encre.
8. Tête d'enregistrement selon la revendication 1, caractérisée en ce que la couche de surface est appli quée sur une couche anti-encre (6a).
9. Tête d'enregistrement selon la revendication 1, caractérisée en ce que la couche de surface est appliquée sur une couche anti-cavitation (5).
10. Tête d'enregistrement selon la revendica- tion -1, caractérisée en ce que la couche de surfaceest appliquée sur toute la surface du substrat
11.Procédé de fabrication d'une tête d'enre- gistrement par jet d'encre, qui consiste à -forjner un film durci de résine photosensible pour constituer un canal d'écoulement d'encre sur un substrat comportant un générateur d'énergie pour l'éjection de l'encre, et à placer un élément de recouvrement destiné à former le canal d' écoulement d'encre sur le film de résine photosensible durci, caractérisé en ce qu'une couche de surface, destinée à déterminer le coefficient de réflexion de la lumière du substrat, est formée sur le substr-at, après quoi le film de résine photosensible durci est formé.
12. Procédé selon la revendication 11, caractéris en ce que la couche de surface est formée par leprocédé de centrifugation.
13. Procédé selon la revendication 11, caracté- risé en ce que la couche de surface est formée par le procédé de pulvérisation.
14. Procédé selon la revendication 11, caracté- risé en ce que la couche de surface est formée par le procédé de déposition sousvide.
15. Procédé selon la revendication 11, caractérisé en ce que la couche de surface est formée par le procédé d'immersion.
FR8515476A 1984-10-19 1985-10-18 Tete d'enregistrement par jet d'encre et son procede de fabrication Pending FR2572025A1 (fr)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22099084A JPS6198553A (ja) 1984-10-19 1984-10-19 インクジエツト記録ヘツド
JP22099184A JPS6198554A (ja) 1984-10-19 1984-10-19 インクジエツト記録ヘツドの製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
FR2572025A1 true FR2572025A1 (fr) 1986-04-25

Family

ID=26524012

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR8515476A Pending FR2572025A1 (fr) 1984-10-19 1985-10-18 Tete d'enregistrement par jet d'encre et son procede de fabrication

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE3537198A1 (fr)
FR (1) FR2572025A1 (fr)

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3155358A (en) * 1961-10-30 1964-11-03 Shore Calnevar Inc Adjustable bracket support
US3315428A (en) * 1964-07-06 1967-04-25 Goldstein Malcolm Means for applying coverings to the walls and ceiling of a room
FR2039296A1 (fr) * 1969-04-19 1971-01-15 Scherff Hans
DE1659650A1 (de) * 1967-05-13 1971-05-06 Willi Clavey Befestigungsanordnung einer Fassadenplatte an einem Baukoerper
FR2199359A5 (fr) * 1972-09-08 1974-04-05 Teisseire Henry
FR2404411A1 (fr) * 1977-09-30 1979-04-27 Balouka Haim Perfectionnements aux dispositifs de fixation d'elements muraux
DE3018016A1 (de) * 1980-05-10 1981-11-12 Peter Dipl.-Ing. 3303 Vechelde Wagner Agraffe zur befestigung eines fassadenelements
DE3246725A1 (de) * 1982-12-17 1984-06-20 Fa. Karl Lutz, 6980 Wertheim Aufhaengevorrichtung fuer wandbekleidungsplatten und unter verwendung derartiger aufhaengevorrichtungen aufgebaute plattenverankerungen
GB2144987A (en) * 1983-08-18 1985-03-20 Bossons W H Improvements in or relating to wall plaques

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58220756A (ja) * 1982-06-18 1983-12-22 Canon Inc インクジエツト記録ヘツドの製造方法
DE3322647A1 (de) * 1982-06-25 1983-12-29 Canon K.K., Tokyo Verfahren zur herstellung eines tintenstrahl-aufzeichnungskopfes

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3155358A (en) * 1961-10-30 1964-11-03 Shore Calnevar Inc Adjustable bracket support
US3315428A (en) * 1964-07-06 1967-04-25 Goldstein Malcolm Means for applying coverings to the walls and ceiling of a room
DE1659650A1 (de) * 1967-05-13 1971-05-06 Willi Clavey Befestigungsanordnung einer Fassadenplatte an einem Baukoerper
FR2039296A1 (fr) * 1969-04-19 1971-01-15 Scherff Hans
FR2199359A5 (fr) * 1972-09-08 1974-04-05 Teisseire Henry
FR2404411A1 (fr) * 1977-09-30 1979-04-27 Balouka Haim Perfectionnements aux dispositifs de fixation d'elements muraux
DE3018016A1 (de) * 1980-05-10 1981-11-12 Peter Dipl.-Ing. 3303 Vechelde Wagner Agraffe zur befestigung eines fassadenelements
DE3246725A1 (de) * 1982-12-17 1984-06-20 Fa. Karl Lutz, 6980 Wertheim Aufhaengevorrichtung fuer wandbekleidungsplatten und unter verwendung derartiger aufhaengevorrichtungen aufgebaute plattenverankerungen
GB2144987A (en) * 1983-08-18 1985-03-20 Bossons W H Improvements in or relating to wall plaques

Also Published As

Publication number Publication date
DE3537198A1 (de) 1986-04-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FR2544664A1 (fr) Tete d'enregistrement par jets de liquide
FR2477472A1 (fr) Tete a jet d'encre et son procede de fabrication
FR2544663A1 (fr) Tete d'enregistrement a jets de liquide
FR2545043A1 (fr) Tete d'enregistrement par jets de liquide
EP2316056B1 (fr) Procédé de fabrication de pièces métalliques multi-niveaux par la technique liga-uv
FR2492735A1 (fr) Appareil enregistreur a jets de liquide
EP2727144B1 (fr) Procédé d'hybridation d'un composant muni d'inserts creux
FR2740648A1 (fr) Connexion sans brasure de contacts electriques utlisant un systeme a combinaison de laser et connexion a poussee par fibre optique
FR2544954A1 (fr) Procede de fabrication d'une tete d'enregistrement par jets de liquide
CH636227A5 (fr) Procede de fabrication d'une cellule photovoltaique possedant un revetement anti-reflechissant.
FR2991503A1 (fr) Dispositif a semiconducteur a separation dielectrique et procede de fabrication
EP2132770A1 (fr) Procede de realisation de depots localises
EP0864886B1 (fr) Procédé de fabrication de circuits optiques intégrés permettant de minimiser les pertes optiques de couplage
FR2544662A1 (fr) Tete d'enregistrement du type a jets de liquide
EP0775997A1 (fr) Procédé de réalisation d'une tête magnétique planaire et tête obtenue par ce procédé
FR2572025A1 (fr) Tete d'enregistrement par jet d'encre et son procede de fabrication
EP0080233A1 (fr) Procédé permettant de réaliser un circuit électronique protégé contre les charges électriques statiques
FR2544665A1 (fr) Tete d'enregistrement par jets de liquide
FR2747960A1 (fr) Dispositif a buse(s) pour imprimante a jet d'encre protege(s) de la pollution par un traitement de non-mouillabilite et procede de fabritcation
EP3017467B1 (fr) Procede d'assemblage de deux composants electroniques, de type flip-chip par recuit uv, assemblage obtenu
EP0065430A1 (fr) Dispositif d'écriture pour stylographe à plume
WO2020112339A1 (fr) Procédés de formation de couches isolantes à motifs sur des couches conductrices et dispositifs fabriqués à l'aide de tels procédés
FR2676577A1 (fr) Procede de fabrication de matrices de pressages, notamment pour la realisation de disques optiques.
EP0553013A1 (fr) Procédé pour la fabrication de matrices de pressage, notamment pour réalisation de disques à lecture optique
EP0497644B1 (fr) Procédé de lithogravure sur substrat semi-conducteur, notamment pour le traitement localisé sur saillie