FR2530367A1 - SCINTILLATOR SCREEN RADIATION CONVERTER AND METHOD FOR MANUFACTURING SUCH SCREEN - Google Patents
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Abstract
LA PRESENTE INVENTION CONCERNE LES ECRANS SCINTILLATEURS RECEVANT UN RAYONNEMENT X OU G ET LE CONVERTISSANT EN PHOTONS LUMINEUX. L'ECRAN SELON L'INVENTION EST CONSTITUE D'UN MATERIAU SCINTILLATEUR 2 PRESENTANT UNE STRUCTURE EN AIGUILLES. SA FACE CONCAVE EST PARFAITEMENT LISSE. CET ECRAN EST OBTENU PAR EVAPORATION SUR UN SUPPORT PRESENTANT UNE FACE CONVEXE PARFAITEMENT LISSE ET CONSTITUE D'UN MATERIAU PRESENTANT UN COEFFICIENT DE DILATATION THERMIQUE DIFFERENT DE CELUI DU MATERIAU SCINTILLATEUR. APRES EVAPORATION, L'ECRAN SCINTILLATEUR EST SEPARE DU SUPPORT PAR SIMPLE CHAUFFAGE. APPLICATION AUX TUBES INTENSIFICATEURS D'IMAGES RADIOLOGIQUES ET AUX TUBES DE SCINTIGRAPHIE.THE PRESENT INVENTION CONCERNS SCINTILLATING SCREENS RECEIVING X OR G RADIATION AND CONVERTING IT INTO LUMINOUS PHOTONS. THE SCREEN ACCORDING TO THE INVENTION CONSISTS OF A SPARKLING MATERIAL 2 PRESENTING A NEEDLE STRUCTURE. ITS CONCAVE SIDE IS PERFECTLY SMOOTH. THIS SCREEN IS OBTAINED BY EVAPORATION ON A SUPPORT PRESENTING A PERFECTLY SMOOTH CONVEX FACE AND CONSISTS OF A MATERIAL PRESENTING A THERMAL EXPANSION COEFFICIENT DIFFERENT FROM THAT OF THE SCINTILLING MATERIAL. AFTER EVAPORATION, THE FLASHING SCREEN IS SEPARATED FROM THE SUPPORT BY SIMPLE HEATING. APPLICATION TO RADIOLOGICAL IMAGE INTENSIFIER TUBES AND SCINTIGRAPHY TUBES.
Description
ECRAN SCINTILLATEUR CONVERTISSEUR DE RAYONNEMENTSCINTILLATOR SCREEN RADIATION CONVERTER
ET PROCEDE DE FABRICATION D'UN TEL ECRAN AND METHOD FOR MANUFACTURING SUCH SCREEN
La présente invention concerne un écran scintillateur conver- The present invention relates to a convergent scintillator
tisseur de rayonnement Elle concerne également un procédé de radiation weaver It also concerns a method of
fabrication d'un tel écran.manufacture of such a screen.
Les écrans scintillateurs convertisseurs de rayonnement sont bien connus dans l'art antérieur Ces écrans reçoivent des rayons X ou et les convertissent en photons lumineux auxquels est sensible Scintillator screens radiation converters are well known in the prior art These screens receive X-rays or and convert them into light photons to which is sensitive
une photocathode qui recouvre la face concave de ces écrans. a photocathode covering the concave face of these screens.
Lorsque l'écran reçoit un rayonnement X, il est utilisé dans des tubes intensificateurs d'images radiologiques ou I I R et lorsque l'écran reçoit un rayonnement Y, il est utilisé dans des tubes de scintigraphie. Dans l'art antérieur, les écrans scintillateurs convertisseurs de rayonnement sont généralement obtenus en évaporant sur la face concave d'un support métallique, en aluminium par exemple, qui est transparent au rayonnement, de l'iodure de césium dopé au sodium ou au thallium La croissance de l'iodure de césium s'effectue spontanément sous forme d'aiguilles juxtaposées ce qui est une structure propice au guidage de la lumière créée dans l'iodure de césium par le rayonnement incident La face concave de l'écran scintillateur ainsi obtenu reçoit une sous-couche de photocathode qui est destinée à isoler l'écran scintillateur de la photocathode When the screen receives X-radiation, it is used in X-ray image intensifier tubes or when the screen receives Y-radiation, it is used in scintigraphy tubes. In the prior art, the scintillator scans radiation converters are generally obtained by evaporating on the concave face of a metal support, for example aluminum, which is transparent to radiation, sodium-doped cesium iodide or thallium Cesium iodide is grown spontaneously in the form of juxtaposed needles, which is a structure conducive to guiding the light created in cesium iodide by the incident radiation. The concave face of the scintillator screen thus obtained receives a photocathode sublayer which is intended to isolate the scintillator screen from the photocathode
et/ou à améliorer l'état de surface de la face concave de l'écran. and / or to improve the surface state of the concave face of the screen.
Une photocathode est ensuite déposée sur cette sous-couche. A photocathode is then deposited on this sublayer.
Les écrans scintillateurs connus dans l'art antérieur présentent un certain nombre d'inconvénients parmi lesquels on peut citer: le fait que la face concave de l'écran scintillateur obtenu ne soit pas parfaitement lisse à cause de la structure en aiguilles du matériau scintillateur Il est difficile de colmater parfaitement les irrégularités de cette face, même en utilisant une sous-couche de The scintillator screens known in the prior art have a certain number of drawbacks among which may be mentioned: the fact that the concave face of the scintillator screen obtained is not perfectly smooth because of the needle structure of the scintillator material II it is difficult to perfectly check the irregularities of this face, even using an underlay of
photocathode La photocathode qui est déposée présente une résis- Photocathode The photocathode that is deposited has a resistance
tance électrique superficielle élevée Au-delà d'un certain flux de superficial electric power Beyond a certain flow of
rayonnement incident, des variations locales importantes du poten- incidental radiation, significant local variations in the potential for
tiel à la surface de-la photocathode apparaissent ce qui entraîne une défocalisation de l'image électronique De plus, les irrégularités de surface de la photocathode nuisent à sa sensibilité La présence de nombreuses crevasses emprisonnant des poches de gaz à proximité On the surface of the photocathode appear, which leads to a defocusing of the electronic image In addition, the surface irregularities of the photocathode adversely affect its sensitivity The presence of numerous crevasses trapping pockets of gas nearby
de la couche photosensible est à l'origine d'un rendement de photo- of the photosensitive layer is responsible for a photo-yield of
émission réduit; le fait qu'on soit tenu à limiter l'épaisseur de l'écran car le nombre de fissures et de discontinuités superficielles augmente avec cette épaisseur Cet inconvénient est particulièrement gênant dans le cas des écrans destinés à la gammagraphie o des écrans scintillateurs épais sont requis; la présence dans l'écran scintillateur terminé du support sur lequel le matériau scintillateur a été évaporé Ce support est largement transparent au rayonnement incident mais arrête malgré reduced emission; the fact that it is necessary to limit the thickness of the screen because the number of cracks and surface discontinuities increases with this thickness This disadvantage is particularly troublesome in the case of screens for radiography o thick scintillator screens are required ; the presence in the finished scintillator screen of the support on which the scintillator material has been evaporated. This support is largely transparent to incident radiation but stops despite
tout une fraction de ce rayonnement. all a fraction of this radiation.
La présente invention concerne un écran scintillateur conver- The present invention relates to a convergent scintillator
tisseur de rayonnement qui ne présente pas les inconvénients énon- radiation weaver which does not have the disadvantages
cés ci-dessus.above.
La présente invention concerne un écran scintillateur conver- The present invention relates to a convergent scintillator
tisseur de rayonnement qui est constitué d'un matériau scintillateur présentant une structure en aiguilles Cet écran présente une face convexe qui reçoit le rayonnement et une face concave qui est radiation weaver which is made of a scintillator material having a needle structure This screen has a convex face which receives the radiation and a concave face which is
parfaitement lisse, sur laquelle repose la photocathode. perfectly smooth, on which rests the photocathode.
La présente invention concerne également un procédé de fabrication d'un tel écran qui comporte les étapes suivantes; l'écran scintillateur est obtenu par évaporation sur un support présentant une face convexe parfaitement lisse et constitué d'un matériau présentant un coefficient de dilatation thermique différent de celui du matériau scintillateur; après évaporation, l'écran scintillateur est séparé du support The present invention also relates to a method of manufacturing such a screen which comprises the following steps; the scintillator screen is obtained by evaporation on a support having a convex face perfectly smooth and made of a material having a coefficient of thermal expansion different from that of the scintillator material; after evaporation, the scintillator screen is separated from the support
par simple chauffage.by simple heating.
La face concave de l'écran scintillateur selon la présente invention est parfaitement lisse car c'est cette face qui se trouve en contact avec la face convexe du support pendant l'évaporation du matériau scintillateur La photocathode qui est déposée sur cette face a donc des surfaces parfaitement lisses On peut faire varier l'épaisseur de l'écran de quelques dizaines de microns à plusieurs The concave face of the scintillator screen according to the present invention is perfectly smooth because it is this face which is in contact with the convex face of the support during the evaporation of the scintillator material. The photocathode which is deposited on this face therefore has perfectly smooth surfaces The thickness of the screen can be varied from a few tens of microns to several
millimètres tout en conservant une face concave parfaitement lisse. millimeters while maintaining a perfectly smooth concave face.
Enfin, selon la présente invention, l'écran scintillateur lorsqu'il est Finally, according to the present invention, the scintillator screen when
terminé ne comporte plus le support ayant servi à sa fabrication. completed does not include the support used to manufacture it.
D'autres objets, caractéristiques et résultats de l'invention Other objects, features and results of the invention
ressortiront de la description suivante, donnée à titre d'exemple non will emerge from the following description given as an example
limitatif et illustrée par les figures annexées qui représentent: la figure 1, le schéma d'un écran scintillateur selon l'art antérieur; les figures 2 et 3, deux modes de réalisation d'un écran limiting and illustrated by the appended figures which represent: FIG. 1, the diagram of a scintillator screen according to the prior art; FIGS. 2 and 3, two embodiments of a screen
scintillateur selon l'invention.scintillator according to the invention.
Sur les différentes figures, les mêmes repères désignent les mêmes éléments, mais pour des raisons de clarté, les cotes et In the different figures, the same references designate the same elements, but for the sake of clarity, the dimensions and
proportions des divers éléments ne sont pas respectées. proportions of the various elements are not respected.
La figure 1 représente le schéma vu en coupe, d'un écran FIG. 1 represents the diagram seen in section, of a screen
scintillateur selon l'art antérieur. scintillator according to the prior art.
Cet écran est obtenu en évaporant de l'iodure de césium sur la face concave d'un support métallique mince 1, en aluminium par exemple, qui est transparent au rayonnement X ou eà analyser La croissance de l'iodure de césium s'effectue sous forme d'aiguilles 2 terminées par des cristaux tétraédriques qui sont représentées dans un encadré qui montre plus en détails la structure de l'écran On constate dans l'encadré de la figure 1 que la face concave de l'écran scintillateur ainsi obtenue est très irrégulière Sur cette face concave, on dépose une sous-couche de photocathode 3 pour isoler au point de vue chimique l'écran scintillateur 2 de la photocathode This screen is obtained by evaporating cesium iodide on the concave face of a thin metal support 1, for example aluminum, which is transparent to X-rays or to analyze the growth of cesium iodide. shaped needles 2 terminated by tetrahedral crystals which are represented in a box which shows in more detail the structure of the screen It is noted in the box of Figure 1 that the concave face of the scintillator screen thus obtained is very On this concave surface, an underlayer of photocathode 3 is deposited to chemically isolate the scintillator screen 2 of the photocathode
et/ou pour améliorer l'état de surface de la face concave de l'écran. and / or to improve the surface condition of the concave face of the screen.
Une photocathode 4 est ensuite déposée sur la sous-couche 3. A photocathode 4 is then deposited on the underlayer 3.
La figure 2 représente le schéma, vu en coupe, d'un mode de FIG. 2 represents the diagram, seen in section, of a mode of
réalisation d'un écran selon l'invention. production of a screen according to the invention.
Sur les deux encadrés qui montrent de façon plus détaillée la structure de l'écran, selon l'invention, on constate que cet écran est constitué d'un matériau scintillateur 2 présentant une structure en aiguilles L'encadré de droite montre que la face concave de cet écran est parfaitement lisse C'est sur cette face qu'est déposée la photocathode 4, avec, éventuellement, entre cette face concave et On the two boxes which show in more detail the structure of the screen, according to the invention, it is found that this screen consists of a scintillator material 2 having a needle structure The right box shows that the concave face of this screen is perfectly smooth It is on this face that is deposited photocathode 4, with, possibly, between this concave face and
la photocathode, une sous-couche 3 de photocathode, en phospho- the photocathode, a photocathode sub-layer 3,
vanadates par exemple.vanadates for example.
Pour obtenir l'écran selon l'invention, on peut utiliser le To obtain the screen according to the invention, it is possible to use the
* 10 procédé exposé ci-après.The process described below.
Il faut disposer d'un support présentant une face convexe It is necessary to have a support having a convex face
parfaitement polie Ce support peut avoir une épaisseur quelconque. perfectly polished This support can have any thickness.
Il peut être constitué d'un matériau quelconque, verre ou métal, qui présente un coefficient de dilatation thermique différent de celui du It can be made of any material, glass or metal, which has a coefficient of thermal expansion different from that of the
matériau scintillateur utilisé.scintillator material used.
L'écran scintillateur est obtenu par évaporation du matériau scintillateur sur la face convexe du support Après évaporation, l'écran est séparé du support par simple chauffage grâce à la surface lisse de la face convexe du support et grâce à la différence entre les coefficients de dilatation thermique du support et du matériau scintillateur. On obtient ainsi un écran scintillateur tel que celui représenté sur la figure 2 dont la face concave est parfaitement lisse car c'est cette face qui était en contact avec la face convexe du support pendant lévaporation du matériau scintillateur La face concave de l'écran présente un poli optique Le diamètre des grains sur cette The scintillator screen is obtained by evaporation of the scintillator material on the convex face of the support After evaporation, the screen is separated from the support by simple heating thanks to the smooth surface of the convex face of the support and thanks to the difference between the coefficients of thermal expansion of the support and the scintillator material. A scintillator screen is thus obtained, such as that shown in FIG. 2, the concave face of which is perfectly smooth because it is this face which was in contact with the convex face of the support during the evaporation of the scintillator material. The concave face of the present screen an optical polish The diameter of the grains on this
face varie de 1 à 10 microns environ. face varies from 1 to about 10 microns.
Comme on peut le voir sur l'encadré de gauche de la figure 2, c'est la face convexe de Pécran qui présente une surface assez As can be seen in the box on the left of Figure 2, it is the convex face of the screen that has a fairly
irrégulière à cause des extrémités des aiguilles du matériau scintil- irregular because of the ends of the needles of the scintillating
lateur mais cela n'a pas d'importance car il n'y a pas le conduction but it does not matter because there is no conduction
sur cette face.on this face.
L'épaisseur de l'écran peut varier, selon l'utilisation, entre quelques dizaines de microns et plusieurs millimètres tout en The thickness of the screen may vary, depending on use, between a few tens of microns and several millimeters while
conservant une face concave parfaitement lisse. keeping a perfectly smooth concave face.
Si le support d'évaporation est maintenu froid pendant l'évapo- If the evaporation medium is kept cold during evaporation
ration, l'écran scintillateur présente une structure en aiguilles ration, the scintillator screen has a needle structure
finement divisées Il peut alors être utilisé dans les tubes intensi- finely divided It can then be used in intensi
ficateurs d'images radiologiques de haute définition. Si par contre le support d'évaporation est chauffé pendant l'évaporation, à des températures allant de 100 à 600 'C par exemple, on obtient une structure en aiguilles agglomérées plus high-definition radiological images. If, on the other hand, the evaporation support is heated during evaporation, at temperatures ranging from 100 to 600 ° C., for example, a structure of more agglomerated needles is obtained.
monolithique qui permet d'utiliser cet écran en scintigraphie. monolithic that allows to use this screen in scintigraphy.
Le support d'évaporation peut être réalisé en aluminium par exemple Le matériau scintillateur utilisé peut être un halogénure alcalin, tel que l'iodure de césium dopé au sodium ou au thallium, ou tel que l'iodure de potassium dopé au thallium On peut aussi utiliser comme matériau scintillateur des tungstates, des sulfures ou des The evaporation support may be made of aluminum, for example. The scintillator material used may be an alkaline halide, such as sodium or thallium doped cesium iodide, or thallium doped potassium iodide. scintillator material of tungstates, sulphides or
1 S sulfates métalliques par exemple. 1 S metal sulfates for example.
On constate qu'en utilisant le procédé précédemment décrit on obtient un écran scintillateur dont les deux faces sont accessibles pour tout traitement ultérieur souhaité car le support d'évaporation ne fait pas partie de l'écran terminé au contraire de ce qui se passe It can be seen that by using the method described above, a scintillator screen is obtained, both faces of which are accessible for any subsequent treatment desired because the evaporation support is not part of the completed screen, contrary to what is going on.
dans les écrans selon l'art antérieur. in the screens according to the prior art.
Pour accroître la tenue mécanique de l'écran, et particu- To increase the mechanical strength of the screen, and particularly
lièrement dans le cas d'un écran de faible épaisseur en structure d'aiguilles finement divisées, on peut disposer sur la face convexe de l'écran une couche 5 assurant sa rigidité une telle couche est représentée sur la figure 2 Cette couche assurant la rigidité de l'écran peut être constituée par exemple d'un verre ou d'un émail à bas point de fusion, ou de toute substance organique supportant les températures d'étuvage du tube telles que par exemple la résine firstly in the case of a thin screen finely divided structure of needles can be disposed on the convex face of the screen a layer 5 ensuring its rigidity such a layer is shown in Figure 2 This layer providing rigidity the screen may consist for example of a glass or enamel with a low melting point, or of any organic substance supporting the baking temperatures of the tube such as for example the resin
époxy, le parylène, les polyimides, ou la cryolite, par exemple. epoxy, parylene, polyimides, or cryolite, for example.
La face convexe de l'écran peut être aussi munie d'une couche réfléchissant la lumière produite dans l'écran par le rayonnement incident Cette couche renvoie vers la photocathode toute la lumière arrivant sur la face convexe de l'écran Cette couche peut être constituée, par exemple, d'un métal évaporé quelconque tel que The convex face of the screen may also be provided with a layer reflecting the light produced in the screen by the incident radiation This layer returns to the photocathode all the light arriving on the convex face of the screen This layer may be constituted for example, any evaporated metal such as
l'aluminium ou le nichrome.aluminum or nichrome.
On peut aussi munir la face convexe de l'écran d'une couche accroissant l'efficacité de détection quantique de l'écran Cette couche est constituée d'un matériau de haute densité à numéro atomique élevé, déposé en couche mince, tel que l'oxyde de baryum, de plomb ou de tungstène Ce type de matériau favorise l'émission photoélectrique et le pouvoir d'arrêt vis-à-vis du rayonnement ionisant. Il est donc possible de disposer sur la face convexe de l'écran une, deux ou trois couches successives remplissant chacune l'une des fonctions suivantes: couche assurant la rigidité de l'écran, couche réfléchissant la lumière produite dans l'écran par le rayonnement incident, couche accroissant, l'efficacité de détection quantique de l'écran. Il est possible d'utiliser des couches de matériaux remplissant deux des fonctions énoncées Par exemple, une couche d'indium ou d'étain peut servir à la fois à réfléchir la lumière produite dans l'écran par le rayonnement incident et assurer aussi la rigidité de It is also possible to provide the convex face of the screen with a layer that increases the quantum detection efficiency of the screen. This layer consists of a high density material with a high atomic number, deposited in a thin layer, such as Barium, lead or tungsten oxide This type of material promotes photoelectric emission and stopping power against ionizing radiation. It is therefore possible to have on the convex face of the screen one, two or three successive layers each fulfilling one of the following functions: layer ensuring the rigidity of the screen, layer reflecting the light produced in the screen by the incident radiation, layer increasing, the efficiency of quantum detection of the screen. It is possible to use layers of materials fulfilling two of the stated functions. For example, a layer of indium or tin can serve both to reflect the light produced in the screen by incident radiation and also to provide rigidity of
l'écran Une telle couche peut être obtenue par pulvérisation catho- such a layer can be obtained by cathodic spraying
dique, par évaporation, par projection ou par toute autre méthode connue. En ce qui concerne la face concave de l'écran, cette face étant parfaitement polie, les photocathodes qui y sont déposées ont une résistance électrique superficielle minimale qui ne dépend plus tellement de l'écran scintillateur mais surtout de la photocathode by evaporation, projection, or any other known method. As regards the concave face of the screen, this face being perfectly polished, the photocathodes deposited thereon have a minimal surface electrical resistance which no longer depends so much on the scintillator screen but especially on the photocathode
qui y est déposée.deposited there.
Pour réduire encore la résistance électrique superficielle de la photocathode et/ou pour assurer la compatibilité du point de vue chimique entre l'écran scintillateur et la photocathode, on dépose sur la face concave de l'écran une sous-couche 3 qui est représentée sur la figure 2 Cette sous-couche peut être constituée d'oxyde d'indium ou d'un métal en couche mince, tel que l'aluminium, qui est In order to further reduce the surface electrical resistance of the photocathode and / or to ensure the chemical compatibility between the scintillator screen and the photocathode, an underlayer 3 is deposited on the concave face of the screen. FIG. 2 This underlayer may consist of indium oxide or a metal in a thin layer, such as aluminum, which is
largement transparent à la lumière produite par le scintillateur. largely transparent to the light produced by the scintillator.
Sur la sous-couche, on dépose une photocathode 4, constituée On the underlayer, a photocathode 4, consisting of
par exemple de césium et d'antimoine. for example, cesium and antimony.
Pour monter l'écran selon l'invention dans le tube o il va être utilisé, on peut employer une grille support 7 ayant même concavité que l'écran, comme cela est représenté sur la figure 3 Cette grille doit être transparente au flux de rayonnement incident Elle peut To mount the screen according to the invention in the tube where it will be used, it is possible to use a support grid 7 having the same concavity as the screen, as shown in FIG. 3. This grid must be transparent to the radiation flux. incident She can
être en nickel ou en fer, par exemple. be made of nickel or iron, for example.
Sur la figure 3, l'écran représenté, comporte une couche 6 accroissant l'efficacité de détection quantique de l'écran, une couche 2 de matériau scintillateur en aiguilles dont la face concave est parfaitement polie, une sous-couche de photocathode 3 et une In FIG. 3, the screen shown comprises a layer 6 increasing the quantum detection efficiency of the screen, a layer 2 of scintillator needle material whose concave face is perfectly polished, a photocathode underlayer 3 and a
photocathode 4.photocathode 4.
On voit sur la figure 3, qu'un anneau métallique 8 est évaporé sur la face concave de 'lécran à la périphérie de cette face Des languettes de pression 9 sont appliquées sur cet anneau et servent de FIG. 3 shows that a metal ring 8 is evaporated on the concave face of the screen at the periphery of this face. Pressure tongues 9 are applied to this ring and serve as
connexions avec la photocathode.connections with the photocathode.
L'écran selon l'invention lorsqu'il est suffisamment épais peut The screen according to the invention when it is sufficiently thick can
aussi être monté dans un tube sans l'utilisation d'une grille-support. also be mounted in a tube without the use of a support grid.
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