FR2528266A1 - Dispositif de correction automatique de rayons x - Google Patents

Dispositif de correction automatique de rayons x Download PDF

Info

Publication number
FR2528266A1
FR2528266A1 FR8308504A FR8308504A FR2528266A1 FR 2528266 A1 FR2528266 A1 FR 2528266A1 FR 8308504 A FR8308504 A FR 8308504A FR 8308504 A FR8308504 A FR 8308504A FR 2528266 A1 FR2528266 A1 FR 2528266A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
rays
ray
shutter
correction
designates
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
FR8308504A
Other languages
English (en)
Other versions
FR2528266B1 (fr
Inventor
Toshiyuli Koga
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Instruments Inc filed Critical Seiko Instruments Inc
Publication of FR2528266A1 publication Critical patent/FR2528266A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR2528266B1 publication Critical patent/FR2528266B1/fr
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/22Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
    • G01N23/223Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
    • GPHYSICS
    • G21NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21KTECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K1/00Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
    • G21K1/02Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05GX-RAY TECHNIQUE
    • H05G1/00X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
    • H05G1/08Electrical details
    • H05G1/26Measuring, controlling or protecting
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/07Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
    • G01N2223/076X-ray fluorescence

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)

Abstract

L'INVENTION CONCERNE LES DISPOSITIFS A RAYONS X. UN DISPOSITIF DE CORRECTION AUTOMATIQUE DE RAYONS X COMPREND NOTAMMENT UN TUBE A RAYONS X 21, UNE PLAQUE DE REFERENCE DE CORRECTION 22, UN DETECTEUR DE RAYONS X 24, UN PREMIER PASSAGE DE GUIDAGE 26 QUI GUIDE DES RAYONS X DU TUBE VERS LA PLAQUE DE REFERENCE, UN SECOND PASSAGE DE GUIDAGE 23 QUI GUIDE DES RAYONS X DE FLUORESCENCE DE LA PLAQUE DE REFERENCE VERS LE DETECTEUR 24, UN TROISIEME PASSAGE DE GUIDAGE 27 QUI GUIDE DES RAYONS X DU TUBE VERS UN ECHANTILLON 28, UN OBTURATEUR 29 ET UN CAPTEUR DE POSITION 30 POUR L'OBTURATEUR. APPLICATION AUX DISPOSITIFS DE CONTROLE DE MATIERES.

Description

La présente invention concerne un dispositif à rayons X comportant des
moyens de correction pour corriger une irrégularité de l'intensité et de l'amplitude de rayons X,
et en particulier pour corriger une irrégularité de lintensi-
té et de l'amplitude des rayons X pendant qu'un obturateur est fermé. Dans un dispositif de type classique représenté sur la figure 1, la référence 1 désigne un tube à rayons X, la référence 2 désigne un détecteur de rayons X, la référence 3 désigne une partie ouverte du détecteur de rayons X,2, la référence 4 désigne un passage de guidage pour le détecteur de rayons X, 2, la référence 5 désigne un obturateur, la référence 6 désigne un échantillon de matière, la référence 7
désigne un discriminateur d'amplitude, la référence 8 dési-
gne un temporisateur de cadrage et la référence 9 désigne des moyens de correction automatique de rayons X Des rayons X provenant du tube à rayons X, 1, sont guidés directement vers le détecteur de rayons X, 2, par le passage de guidage 4, grâce à quoi on corrige des valeurs d'intensité et d'amplitude des rayons X en détectant les rayons X qui proviennent du tube à rayons X, 1 Cependant, des rayons X de correction
sont appliqués au détecteur de rayons X, 2, lorsque le fonc-
tionnement se poursuit pendant l'ouverture de l'obturateur , ce qui fait qu'un spectre de rayons X est superposé à un
spectre de l'échantillon.
L'invention vise à éliminer la difficulté et le défaut précités, et le but de l'invention est de procurer des
moyens pour guider des rayons X de fluorescence, de correc-
tion, vers un détecteur de rayons X uniquement pendant une
durée de non fonctionnement, c'est-à-dire lorsqu'un obtura-
teur est fermé.
L'invention sera mieux comprise à la lecture de la
description qui va suivre d'un mode de réalisation et en se
référant aux dessins annexés sur lesquels:
La figure 1 montre la structure classique d'un dis-
positif automatique de correction de rayons X,
La figure 2 est une coupe d'un dispositif automati-
que de correction de rayons X qui correspond à l'in-
vention. La figure 3 est une représentation correspondant à une rotation de 900 de la figure 2, et La figure 4 est un schéma synoptique du dispositif
de l'invention.
Sur les figures 2 et 3, la référence 21 désigne un
tube à rayons X, la référence 22 désigne une plaque de réfé-
rence de correction, la référence 23 désigne un second passa-
ge de guidage destiné à guider des rayons X de fluorescence de la plaque de référence de correction 23 vers le détecteur de rayons X,24, la référence 25 désigne une partie ouverte
du détecteur de rayons X, 24, la référence 26 désigne un pre-
mier passage de guidage destiné à guider des rayons X prove-
nant du tube à rayons X, 21, vers la plaque de référence de correction 22, la référence 27 désigne un troisième passage de guidage destiné à guider des rayons X provenant du tube à rayons X, 21, vers un échantillon de matière 28, la référence 29 désigne un obturateur et la référence 30 désigne un
capteur de position pour l'obturateur 29.
Dans ce mode de réalisation de l'invention, des rayons X provenant du tube à rayons X sont projetés vers la
plaque de référence de correction 22 en passant par le passa-
ge de guidage 26, pendant que l'obturateur 29 est fermé, la
plaque de référence de correction 22 est déplacée en compa-
gnie de l'obturateur 29 vers une autre position qui est éloi-
gnée de l'axe des rayons X, puis le troisième passage de gui-
dage 27 est déplacé et positionné sur l'échantillon de matiè-
re 28, dans la position dans laquelle se trouve la plaque de
référence de correction dans la description faite ci-dessus,
lorsque l'obturateur 29 est fermé, grâce à quoi l'échantil-
lon de matière 28 est irradié par des rayons X. La position de l'obturateur 29 est détectée par un
capteur de position, et ce dispositif à rayons X n'est main-
tenu dans un mode de correction que pendant que l'obturateur 29 est fermé Sur la figure 4, la référence 31 désigne un
discriminateur d'amplitude, la référence 32 désigne un tempo-
risateur de cadrage et la référence 33 désigne des moyens de
correction automatiques.
Des rayons X qui sont détectés par le détecteur de
rayons X, 24, sont appliqués sous la forme d'un signal élec-
trique au discriminateur d'amplitude 31, et le signal de sor-
tie du discriminateur d'amplitude 31 est compté par le tem-
porisateur de cadrage et est appliqué aux moyens de correc-
tion automatiques 33, grâce à quoi une correction automatique
des rayons X est effectuée.
Conformément à l'invention, des rayons X de correc-
tion ne sont appliqués à un détecteur de rayons X que pen-
dant qu'un obturateur est fermé, grâce à quoi les rayons X de correction n'affectent pas une opération de mesure d'un
échantillon de matière, et il est possible de corriger auto-
matiquement l'intensité des rayons X et leur valeur d'ampli-
tude.
Il va de soi que de nombreuses modifications peuvent être apportées au dispositif décrit et représenté,
sans sortir du cadre de l'invention.

Claims (1)

  1. REVENDICATION
    Dispositif de correction automatique de rayons X, caractérisé en ce qu'il comprend, en combinaison: un tube à rayons X; un collimateur qui collimate un faisceau de rayons X provenant du tube à rayons X; un obturateur qui commande ce faisceau de rayons X; un détecteur de rayons X qui détecte des rayons X de fluorescence; un discriminateur d'amplitude; un temporisateur de cadrage; une plaque de
    référence de correction qui peut être placée dans l'-obtura-
    teur, contre le tube à rayons X, pour corriger automatique-
    ment une irrégularité de l'intensité et de l'amplitude des rayons X lorsque l'obturateur est fermé; un premier passage de guidage dans l'obturateur, qui rayonne les rayons X vers la plaque de correction; et un second passage de guidage qui est relié au premier passage de guidage pour guider des rayons X de fluorescence depuis la plaque de référence de correction vers le détecteur de rayons X, et qui est placé
    dans l'obturateur.
FR8308504A 1982-06-03 1983-05-24 Dispositif de correction automatique de rayons x Expired FR2528266B1 (fr)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8282382U JPS58184655U (ja) 1982-06-03 1982-06-03 X線自動較正装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR2528266A1 true FR2528266A1 (fr) 1983-12-09
FR2528266B1 FR2528266B1 (fr) 1988-07-08

Family

ID=13785118

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR8308504A Expired FR2528266B1 (fr) 1982-06-03 1983-05-24 Dispositif de correction automatique de rayons x

Country Status (6)

Country Link
JP (1) JPS58184655U (fr)
DE (1) DE3319984A1 (fr)
FR (1) FR2528266B1 (fr)
GB (1) GB2121168B (fr)
HK (1) HK73390A (fr)
NL (1) NL8301987A (fr)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2210161B (en) * 1987-09-23 1992-03-25 Helmut Fischer Gmbh & Co Apparatus for stabilization for x-ray fluorescence layer thickness measuring instruments and process therefor
JPH0744967Y2 (ja) * 1988-11-17 1995-10-11 セイコー電子工業株式会社 蛍光x線膜厚計
FR2721789A1 (fr) * 1994-06-24 1995-12-29 Ge Medical Syst Sa Appareil d'irradiation comprenant des moyens de mesure de l'exposition.
EP0781992B1 (fr) * 1995-12-21 2006-06-07 Horiba, Ltd. Appareil d'analyse de fluorescence à rayons X
JP5839284B2 (ja) * 2012-05-01 2016-01-06 アースニクス株式会社 γ線反射型計測装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1285885A (en) * 1968-11-07 1972-08-16 Atomic Energy Authority Uk Improvements in or relating to nephelometers
US4134012A (en) * 1977-10-17 1979-01-09 Bausch & Lomb, Inc. X-ray analytical system
AU528079B2 (en) * 1979-02-09 1983-04-14 Martin Marietta Corp. Element analysis unit
JPS5758300U (fr) * 1980-09-22 1982-04-06

Also Published As

Publication number Publication date
DE3319984A1 (de) 1983-12-08
JPS58184655U (ja) 1983-12-08
HK73390A (en) 1990-09-21
JPH0328400Y2 (fr) 1991-06-18
FR2528266B1 (fr) 1988-07-08
GB8315135D0 (en) 1983-07-06
NL8301987A (nl) 1984-01-02
GB2121168B (en) 1986-02-19
GB2121168A (en) 1983-12-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0157688B1 (fr) Installation de radiologie à filtre compensateur
EP0685201B1 (fr) Appareil de radiodiagnostic comportant un scintillateur avec un capteur à transfert de charge
EP0165850B1 (fr) Procédé de contrôle de la position du foyer d'un tube raduogène, et dispositif de contrôle mettant en oeuvre ce procédé
EP0760476A3 (fr) Procédé de détermination quantitative d'une ou plusieurs caractéristiques d'une substance
FR2528266A1 (fr) Dispositif de correction automatique de rayons x
US5684599A (en) Wafer notch dimension measuring apparatus
CH617512A5 (fr)
EP0959353A3 (fr) Calibrateur pour appareil de mesure non-destructive de la transmission optique
FR2477826A1 (fr) Appareil de radiodiagnostic comportant des moyens pour former un signal de transparence
EP0227861A1 (fr) Procédé de mesure d'une grandeur physique fournissant des données numériques à partir de dispositifs de mesure de valeurs analogiques et appareil de mesure appliquant ce procédé
WO2018150135A1 (fr) Procédé d'étalonnage d'un spectromètre gamma et dispositif permettant un tel étalonnage
FR2594288A1 (fr) Procede pour photographier un objet au moyen d'un appareil panoramique a rayons x muni d'un dispositif d'exposition automatique
FR2797961A1 (fr) Dispositif et procede de mesure d'intensite lumineuse a l'aide d'un photomultiplicateur comportant une source de calibrage
FR2503351A1 (fr) Dispositif de mesure d'epaisseur de couche mince par un rayonnement x de fluorescence
FR2533794A1 (fr) Dispositif de correction automatique de rayons x
FR3099832A1 (fr) Collimateur tournant pour un système de détection de rayons X
JPS58103646A (ja) 放射測定の較正のための方法および装置
FR2824922A1 (fr) Correction de distorsion d'un intensificateur d'image
JPH06273330A (ja) 濁度測定装置
EP0008264A1 (fr) Procédé de centrage automatique d'un objet à examiner dans un tomodensitomètre à faisceau en éventail, et tomodensitomètre adapté à ce procédé
JPS56168532A (en) Automatic calibration device for light scattering fine grain meter
JPH0443222B2 (fr)
US3187168A (en) Integrator
JP2001027601A (ja) 赤外線ガス分析計
JPS647320Y2 (fr)

Legal Events

Date Code Title Description
ST Notification of lapse