FR2526537A1 - Dispositif de positionnement de haute precision, notamment pour le deplacement d'un outil par rapport a un element de travail - Google Patents

Abstract

L'INVENTION CONCERNE UN DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT DE HAUTE PRECISION, NOTAMMENT POUR LE DEPLACEMENT D'UN OUTIL PAR RAPPORT A UN ELEMENT DE TRAVAIL. DANS CE DISPOSITIF POUR DEPLACER ET POSITIONNER UN OUTIL SITUE SUR UN CHARIOT 58 PAR RAPPORT A UNE TABLE 20, IL EST PREVU UN INTERFEROMETRE 78 MONTE SUR LE CHARIOT ET DONT L'AXE RENCONTRE UN REFLECTEUR 84 MONTE SUR LA TABLE, UN INTERFEROMETRE 80 MONTE SUR LE CHARIOT ET DONT L'AXE TOMBE SUR UN REFLECTEUR FIXE, ET UN DISPOSITIF DE COMMANDE 50 RACCORDE AUX INTERFEROMETRES ET AUX SYSTEMES D'ENTRAINEMENT DE LA TABLE ET DU CHARIOT. APPLICATION NOTAMMENT AUX TRACEURS UTILISES DANS LA FABRICATION DES CIRCUITS INTEGRES.

Description

La présente invention concerne des dispositifs de

positionnement et de mesure de grande précision, du type uti-

lisé pour commander la position et la translation d'un outil par rapport à un élément de travail Plus particulièrement la présente invention concerne un dispositif interférométrique à laser qui est utilisé pour positionner une tête photographique

par rapport à un film situé dur une table de travail.

Le brevet US 3 884 581 déposé également au nom de

la demanderesse de la présente demande décrit un système in-

terférométrique qui est utilisé pour obtenir une réaction de position dans un dispositif de commande de positionnement de haute précision pour un traceur ou enregistreur photographique ou un autre appareillage de positionnement automatique Les interféromètres à laser sont appropriés d'une manière idéale

pour réaliser la commande de position, en raison de leur gran-

de précision Cependant, par suite du coût des composants opti-

ques qui sont utilisés dans les systèmes à lasers, leur utili-

sation est en général réservée à des systèmes dans lesquels il est nécessaire d'obtenir des précisions de l'ordre de quelques

dix millièmes de centimètre ou moins Un traceur ou enregis-

treur photographique utilisé pour réaliser des masques pour des microcircuits est un exemple de l'appareillage qui requiert

une telle précision.

Dans ces traceurs ou enregistreurs graphiques et dans d'autres dispositifs, qui agissent sur un film ou sur

d'autres éléments de travail comportant au moins deux dimen-

sions principales, la tête photographique ou un autre outil doit être positionné de façon précise par rapport à l'élément

de travail, suivant deux axes de coordonnées Dans les systè-

mes de l'art antérieur comportant des dispositifs de position-

nement à deux axes, il est nécessaire d'utiliser deux interfé-

romètres et deux miroirs allongés de telle sorte que l'axe de mesure de chaque interféromètre intersecte à tout moment une

surface réfléchissante La longueur des miroirs suivant cha-

que direction de coordonnées doit être au moins égale à l'éten-

due maximale du travail le long de leurs axes et de préférence un peu plus importante, et dans le cas d'étendues importantes, il était nécessaire d'utiliser des miroirs lourds et délicats,

très coûteux.

C'est pourquoi un but de la présente invention est

de fournir un dispositif de mesure comportant des interféromè-

res disposés suivant deux axes et qui n'utilise qu'un seul mi-

roir allongé pour l'un des axes, en général l'axe suivant le-

quel s'effectue le plus petit déplacement, et un petit réflec-

teur pour l'autre axe, sans réduire de façon notable la préci-

sion par ailleurs disponible dans des systèmes de mesure à interféromètres. La présente invention fournit un dispositif de positionnement de haute précision permettant de déplacer un outil, tel qu'un traceur ou un enregistreurphotographique,par

rapport à une pellicule ou un autre élément de travail, sui-

vant deux directions de coordonnées L'appareil comporte un support ou châssis fixe, sur lequel une table de travail est montée de façon à pouvoir avoir un déplacement de va-et-vient

par rapport au châssis, suivant une première direction de coor-

données La table comporte une surface de travail s'étendant parallèlement à la première direction de coordonnées et -à

une seconde direction de coordonnées, perpendiculaire à la pre-

mière. Un chariot porte-outil est également monté sur le châssis de manière à pouvoir avoir un mouvement de va-et-vient par rapport au support et à la surface de support de la table

suivant la seconde direction de coordonnées Le chariot compor-

te un support destiné à soutenir une tête photographique ou un autre outil dans une position opérationnelle par rapport

au film ou à un autre élément de travail maintenu sur la sur-

face de travail de la table Des moteurs d'entraînement rac-

cordés respectivement à la table de travail et au chariot por-

te-outil déplacent la table et la tête photographiquel'une par rapport à l'autre pendant une opération de travail, et de façon

typique les déplacements sont commandés automatiquement à par-

tir d'une bande-programme ou à partir d'une autre source de

données d'enregistrement graphique.

Un premier interféromètre est monté sur le cha-

riot porte-outil et est positionné de telle manière que l'axe

sensible de mesure de l'interféromètre s'étend suivant la pre-

mière direction de coordonnées Un premier réflecteur réalisé sous la forme d'un miroir allongé est monté sur la table de travail et comporte une surface réfléchissante intersectant

l'axe de mesure de l'interféromètre La surface réfléchissan-

te s'étend suivant la première direction de coordonnées, sur

une distance proportionnée au déplacement du chariot por-

te-outil et du premier interféromètre suivant cette direction,

pour la mesure de la position de la table.

Un second interféromètre et un-second réflecteur sont montés sur le châssis et sur le chariot porte-outil, de telle sorte que l'axe de mesure de l'interféromètre s'étend suivant la seconde direction de coordonnées et intersecte le

réflecteur pour la mesure de la position du chariot.

Par conséquent, suivant la première direction de

coordonnées, une mesure directe des déplacements entre le cha-

riot porte-outil et la table de travail est effectuée à l'ai-

de du premier interféromètre et du miroir allongé La surfa-

ce réfléchissante étendue des miroirs garantit une lecture précise à partir du premier interféromètre, indépendamment

de la position du chariot porte-outil suivant la seconde di-

rection de coordonnées La position relative du chariot et de la table suivant la seconde direction de coordonnées est

réalisée au moyen du second interféromètre et du réflecteur.

Etant donné que le chariot porte-outil se déplace suivant la première direction de coordonnées et que l'axe de mesure

du second interféromètre s'étend suivant une seconde direc-

tion de coordonnées, il n'est pas nécessaire d'avoir un mi-

roir allongé ou un autre réflecteur pour cet axe de comman-

de Il en résulte que seuls sont nécessaires un miroir allon-

gé et un petit réflecteur pour le système de mesure interfé-

rométrique.

D'autres caractéristiques et avantages de la pré-

sente invention ressortiront de la description donnée ci-après

prise en référence aux dessins annexés, sur lesquels:

la figure 1 est une vue en perspective d'un tra-

ceur ou d'un enregistreur photographique conforme à la présen-

te invention.

la figure 2 est une vue en plan montrant schémati-

quement le traceur photographiquede la figure 1 ainsi que les axes principaux de mesure des interféromètres à laser;

la figure 3 est-une vue en élévation latérale sché-

matique montrant le traceur photographiquede la figure 1; et la figure 4 est un schéma montrant les détails du dispositif de mesure à interféromètres à laser situé dans le

traceur photosensible de la figure 1.

La figure 1 représente un traceur ou un enre-

gistreur photographique, désigné dans son ensemble par la référence 10 et quiest utilisé pour réaliser l'exposition d'une plaque de film F ave des lignes et des symboles qui sont positionnés avec une précision de 5 10 m Le film peut posséder une surface de 80 cm x 100 cm et de façon typique une

telle plaque de film pourrait être utilisée en tant que modè-

le pour un circuit imprimé ou un microcircuit L'espacement et la précision des caractères -et cds lignes réalisés sur le film

sont extrêmement critiques pour la performance du produit fi-

nal, en particulier pour des microcircuits à haute densité.

La présente invention n'est pas limitée à l'appli-

cation à un traceur photographiqueet peut être utilisée avec

d'autres outils et d'autres éléments de travail, qui sont dé-

placés l'un par rapport à l'autre suivant au moins deux direc-

tions de coordonnées.

Le traceur photographique comporte un châssis de

support 12 comportant des pieds 14, une plate-forme de sup-

port 16 et unétrier 18 en position supérieure L'étrierest re-

lié rigidement à la plate-forme et s'étend dans le plan mé-

dian de la plateforme à une hauteur élevée.

Une table de travail 20 comporte une surface de travail sur laquelle la plaque de film F est maintenue au moyen d'un vide ou d'une dépression ou bien à l'aide des

moyens tels que définis par exemple dans la demande de bre-

vet déposée per la demanderesse le même jour que la présen-

te demande et ayant pour titre "dispositif de retenue à dé-

pression, notamment pour le maintien en position d'un arti-

cle sur un support" La table est monté sur la plateforme

16 de manière à se déplacer suivant la direction de coordon-

nées X représentée, par l'intermédiaire d'un couple de glis-

sières cylindriques 22, 24 Les deux glissières sont fixées rigidement à la plateforme 16 Comme cela est représenté sur la figure 3, un palier 26 qui circule sur la glissière 24 est relié rigidement à la table 20 Mais le palier correspondant 28 circulant sur la glissière 22 contacte une plaque d'appui avec glissement et est aligné latéralement avec la table par l'intermédiaire d'un ensemble de liaisons à ressort 32

et d'une cloison 32 La plaque d'appui et les liaisons à res-

sort permettent au palier 28 de s'adapter à n, importe quelle tolérance d'alignement entre les deux glissières 22, 24 et

les connexions associées entre les glissières, le châssis fi-

xe 12 et la table de travail 20 Ce qui est plus important, c'est que la glissière 24 devient la trajectoire principale déterminant l'alignement et le déplacement de la table de

travail suivant la direction de coordonnées X Toute ambigui-

té concernant des tolérances entre les deux glissières est

par conséquent résolue en faveur de la glissière 24.

Le déplacement de la table 20 suivant la direc-

tion de coordonnées X est réalisé au moyen d'un moteur 40 d'entraînement suivant l'axe X, d'une seule vis mère 42 à billes entraînée en rotation par le moteur, et un écrou

sphérique 44 raccordé à la partie centrale de la table, com-

me représenté sur les figures 1 et 3, pour obtenir des forces

d'entrainement équilibrées L'écrou sphérique possède, de fa-

çon classique, une série de billes de recirculation qui sont repoussées avec compressic contre les gorges hélicoïdales de

la vis mère 42 de manière à éliminer tout jeu dans le mécanis-

me de positionnement.

Le moteur d'entraînement 40 est relié à un disposi-

tif 50 de commande de tracé, par l'intermédiaire d'un câble 52

de transmission des signaux de commande Le dispositif de com-

mande 50 tire les commandes ou instruction de traçage, d'une

bande-programme 54 et transmet les instructiorsau moteur d'en-

traînement 40 de manière que ce dernier positionne la table de travail 20 et lefilm F, situé sur cette table, en différentes positions de l'axe de coordonnées X pendant une opération de traçage. Une tête optique photographiqoe 56 est supportée et déplacée au-dessus de la plaque de film F au moyen d'un porte-outil 58 La tête photographiquepossède un axe optique 57 quiis'étend d'une manière générale perpendiculairement à la surface photosensible de la plaque de film F et aux axes de coordonnées X et-Y, et, en projetant un faisceau de lumière le long de cet axe, la tête photographiqiesoumet à exposition la surface du film L'exposition peut intervenir alors que la plaque de film et la tête photographique se déplacent l'une

par rapport à l'autre de sorte qu'il se produite une exposi-

tion suivant une ligne continue, ou bien le film et la tête peuvent être maintenus fixes, lorsque des diaphragmes insérés sur le trajet du faisceau lumineux éclairent des configurations

à contours particuliers sur le film Pour une description plus

complète d'un appareil à tête photographique,il est possible

de se référer au brevet US NO 3 248 620.

Le chariot porte-outil 20 est monté sur l'étrier 18 de la figure 1 de manière à se déplacer le long de cet étrier suivant la direction de coordonnées Y représentée Le déplacement du chariot porte-outil est obtenu au moyen d'un moteur sous la forme d'entraînement suivant l'axe Y, d'uneseule

vis mère 62 à billes raccordée au moteur et d'un écrou sphé-

rique 64 fixé au chariot porte-outil 58 Les signaux de comman-

de également tirés de la bande-programme 54 sont envoyés par

le dispositif de commande 50 au moteur 60 d'entraînement sui-

vant l'axe Y afin de positionner la tête photographique transversalement-le long de l'étrier 18 par rapport à la plaque de film F On comprendra que des mouvements composites du film et de la tête photographique, obtenus au moyen des moteurs 40, d'entraînement suivant les axes X et Y, permettent à la tête photographiqued'effectuer une exposition de n'importe quelle zone de la surface photosensible du film F.

Conformément à la présente invention, les mouve-

ments de la tête photographique 56 et de la table de travail

sont mesurés au moyen d'un système à interféromètres à la-

ser de manière à isoler l'exposition d'un tracé sur la pla-

que de film F Le dispositif à interféromètresest un système à deux axes servant à mesur Erle déplacement à la fois suivant les directions de coordonnées X et Y, et est représenté dans son ensemble sur la vue en plan de la figure 2 Ce dispositif comporte un laser à hélium-néon 70 monté sur le châssis fixe 12 de la figure 1,servant à produire un faisceau laser qui est utilisé pour effectuer une mesure suivant les deux axes de coordonnées, un photodétecteur 72 disposé suivant l'axe X et servant à mesurer des déplacements le long de l'axe X et un

photodétecteur 74 disposé suivant l'axe Y et servant à mesu-

rer les déplacements de long de l'axe Y Le faisceau laser produit est envoyé à un diviseur de faisceau 76, monté sur l'étrier 18 de la figure 1 et qui dirige une partie du faisceau en direction de l'interféromètre 78 disposé suivant l'axe X et monté sur la chariot porte-outil 58, et une autre partie du faisceau en direction de l'interféromètre 80 disposé suivant l'axe Y et également monté sur l'étrier 18 L'interféromètre 78 disposé suivant l'axe X est un interféromètre à miroirs plans et possède un axe de mesure 82 s'étendant, suivant la

figure 2, entre l'interféromètre et un miroir allongé 84 for-

mant une première surface et s'étendant le long du bord de la table de travail 20 La surface réfléchissante du miroir est perpendiculaire à l'axe de mesure 82 et est allongéesuivant la direction de coordonnées Y de sorte que l'axe de mesure intersecte la surface réfléchissante dans toute position du chariot porte-outil 58 le long de la vis mère à billes 62 Il est également préférable que l'axe de mesure 82 intersecte

l'axe optique 57 de la tête photographiqoe 56 de manière à ré-

duire au minimum les défauts d'Abbe, comme cela est décrit dans le brevet US NI 3 884 580 Le défaut d'Abbe est un point important à considérer dans les systèmes de positionnement

de haute précision et est produit par le défaut de parallé-

lisme de l'axe de mesure et du plan déflectif, auquel on s'intéresse, et est proportionnel à l'écartement entre l'axe

de mesure et le plan auquel on s'intéresse.

Le terme "axe de mesure" se rapporte à l'axe le

long duquel un interféromètre projette un ou plusieurs fais-

ceaux de lumière cohérente en direction d'un réflecteur dis-

tant afinde mesurer le déplacement relatif entre l'interfé-

romètre et le réflecteur L'axe peut en réalité être la droi-

te médiane entre le ou un plus grand nombre de faisceaux pa-

rallèles de lumière, et les faisceaux peuvent être déviés en des points situés entre l'interféromètre et le réflecteur, de sorte que l'axe de mesure est coudé et comporte deux ou plusieurs éléments suivant des directions différentes Le terme "intersecter" est censé désigner l'état géométrique dans lequel une droite ou un prolongement de cette droite passe par un point spécifique ou rencontre une droite ou un plan spécifique. L'interféromère 80 disposé suivant l'axe Y est un

interféromètre linéaire et possède un axe de mesure 86 s'éten-

dant entre lui-même et un rétro-réflecteur 88 monté sur le

chariot porte-outil 58 Etant donné que ce dernier se dépla-

ce suivant une direction de coordonnées X parallèle à l'axe

86, le rétroréflecteur 88 n'est pas allongé et est intersec-

té par l'axe 86, dans chaque position du chariot porte-outil et de la tableau de travail 20, sans aucun allongement Il est également préférable que l'axe de mesure 86 intersecte

ou rencontre l'axe optique 57 de manière à réduire au mini-

mum le défaut d'Abbe, comme mentionné ci-dessus.

En étudiant des défauts de positionnement qui ap-

paraissent par suite du coudage de la glissière 24 qui guide le déplacement de la table suivant la direction de coordonnées X, et du coudage de l'étrier 18 qui guide le déplacement de la tête photogra Dhiqu suivant la direction de coordonnées

Y, on peut voir que le système à interféromètres à laser dé-

tecte et corrige les défauts les plus importants Si la glis-

sière cylindrique 84 n'est pas exactement parallèle à l'axe de mesure 82 de l'interféromètre 78 disposé suivant l'axe X ou bien si la glissière présente un coude, alors le miroir 84 constituant la première surface détecte les défauts d'Abbe créés le long de l'axe X et corrige de façon correspondante le positionnement de la table Plus le chariot porte-outil 56 est

éloigné de la glissière cylindrique 24, plus le défaut est im-

portant, tout en étant néanmoins détecté Il est également

établi qu'un défaut d'alignement ou un coudage de la glissiè-

re cylindrique 24 provoque des erreurs suivant la direction de coordonnées Y, mais de telles erreurs sont faibles et ne sont pas proportionnelles au décalage par rapport à la glissière

cylindrique, comme c'est le cas pour les défauts d'Abbe.

Suivant la direction de coordonnées Y, la recti-

tude et le parallélisme par rapport à l'axe de mesure 86 sont déterminés par la rectitude de la première surface du miroir

84, qui est polieà une tolérance très faible et avec une excel-

lente rectitude C'est pourquoi l'étrier 18, sur lequel le

chariot porte-outil est monté avec possibilité de déplace-

ment, est la source principale du défaut d'Abbe suivant la direction Y Cependant un tel défaut est réduit au minimum étant donné que l'axe de mesure 86 recontre l'axe optique 87

dans toute position du chariot porte-outil 56, et que tout dé-

calage créé par un coude dans le faisceau et par conséquent

tout défaut d'Abbe sont minimum.

Il ressort également à l'évidence des figures 2 et

3 que le défaut d'Abbe est réduit au minimum lorsque l'on dis-

pose des axes de mesure 82, 86 aussi proche que cela est pos- sible du plan du film ou de la surface du support de latable portant le film, grâce à un positionnement approprié du

laser 70 et des interféromètres 78 et 80.

On va expliquer et illustrer le fonctionnement dé-

taillé du dispositif à interféromètres, en se référant à la

figure 4 Le laser à héliura-néon 70 émet un faisceau de lumiè-

re cohérente composé de deux fréquences optiques légèrement

différentes, dont l'une est utilisée, au moyen de polarisa-

tions appropriées, en tant que faisceau de référence pour

s'adapter à des variations du trajet du faisceau entre le la-

ser et les interféromètres, et dont l'autre est utilisé en

tant que faisceau de mesure, au moyen de polarisations cor-

respondantes Le faisceau à deux fréquences est émis par le laser 70 en direction du diviseur de faisceau 76, dans lequel

le faisceau est subdivisé de telle sorte qu'une partie du fais-

ceau est dirigéadans la direction de l'interféromètre à miroirs

plans 78, le long de l'axe 90, et qu'une autre partie du fais-

ceau est dirigée en direction de l'interféromètre linéaire 80, le long de l'axe 92 Dans l'interféromètre 78, la fréquence de

référence est renvoyée par le trièdre trirectangle 94 directe-

ment au diviseur de faisceaux le long de l'axe 96 et, en pro-

venance du diviseur de faisceau, en direction du détecteur 72, disposé suivant l'axe X, le long de l'axe 100 La fréquence de mesure est déviée à anale droit suivant l'axe de mesure 82 a

en direction du miroir 84 et est envoyée à un trièdre trirec-

tangle 98 o elle est à nouveal éfléchi en direction du miroir 84

suivant l'axe 82 b à travers un convertisseur de polarisa-

tion à miroir plan (non représenté) Le faisceau ayant subi la seconde réflection sur le miroir 84 a subi un décalage Doppler deux fois par suite de déplacements du miroir 84 et-de il

la table 20 suivant la direction de coordonnées X, et est ren-

voyé en direction du détecteur 116 disposé suivant l'axe X,

suivant les axes 96 et 100, par le diviseur de faisceau 76.

Le photodétecteur 72 détecte les réseaux de franges provoqués par le déplacement et un compteur ou un autre circuit situé à

l'intérieur du détecteur calcule le déplacement mesuré à par-

tir du nombre des franges et transmet un signal de réaction

représentatif au dispositif de commande 50 de la figure 1.

Des mesures suivant la direction de coordonnées

, Y sont effectuées de façon similaire, hormis qu'il inter-

vient une seule réflexion et un seul décalage Doppler La fré-

quence de référence fournie par le laser 70 est renvoyée di-

rectement au photodétecteur 74 disposé suivant l'axe X, par le trièdre trirectangle 104 La fréquence de mesure est envoyée au rétroréflecteur 88 le long de l'axe de mesure 86 a et est renvoyée à l'interféromètre le long de l'axe 86 b La fréquence décalée

par effet Doppler et créée par le déplacement de la tête photo-

graphique 56 est ensuite réfléchie suivant l'axe 106 en di-

rection du réflecteur o le nombre des franges est détecté.

Le déplacement mesuré est calculé et est envoyé sous la for-

me d'un signal au dispositif de commande 50 de la figure 1.

En résumé, la description qui précède a porté

sur un traceur photographiques comportant un dispositif de

mesure à interféromètreà laser servant à détecter des dé-

placement de la tête photographiqueet du filmsuivant deux axes de coordonnées Le système à interféromètres comporte un seul miroir allongé disposé suivant un axe de coordonnées et un rétroréflecteur qui reste en permanence aligné avec l'interféromètre associé sur l'autre axe de coordonnées La disposition des interféromères et des réflecteurs réduit au minimum le défaut d'Abbe en améliorant la précision globale du système, et supprime le poids et la dépense d'un second miroir long sur la table ou la tête Les déplacementssuivant chaque direction de coordonnées sont reproduits au moyen d'un

seul écrou sphérique et d'une seule vis mère.

Bien que la présente invention ait été décrite au regard d'une forme de réalisation préférée, on comprendra que de nombreuses modifications et substitutionspeuvent y être apportées sans sortir du cadre de l'invention Par exemple le diviseur de faisceau 76 peut être monté sur le chariot

porte-outil ainsi que l'interféromètre 80, et le rétroréflec-

teur 88 pourrait être alors monté sur le châssis fixe 12 Ce-

pendant il est préférable de réduire au minimum le nombre des composants qui sont déplacés avec la tête photographique,,et l'agencement des composants décrits ci-dessus est compatible avec ce but Il est également possible de disposer le miroir plan 84 sur le chariot porte-outil et l'interféromètre 78 sur la table portant le film, avec un alignement-en permanence

avec le faisceau émis par le laser 72 Cependant étant don-

né que la table, plus que le chariot, est mieux adapte pour supporter un objet allongé, le miroir 84 est monté le long du bord de la table Par conséquent, la présente invention

a été décrite en rapport avec une forme de réalisation préfé-

rée donnée à titre d'illustration, nullement limitative.

Claims (1)

REVENDICATIONS 1 Dispositif de positionnement de haute préci- sion pour le déplacement d'un outil et d'un élément de tra- vail l'un par rapport à l'autre, suivant deux directions de coordonnées, du type comportant un support fixe ( 12), une ta- ble de travail mobile ( 20) montée sur le support fixe pour avoir un déplacement de va-et-vient par rapport au support suivant une première direction de coordonnées (X) et compor- tant une surface de travail ( 7) s'étendant parallèlement à la première direction de coordonnées et à une seconde direction de coordonnées (Y) perpendiculaire à la première direction de coordonnées, et servant à maintenir sur elle-même un élément de travail (F), un chariot porte-outil ( 58) monté également sur le support fixe ( 11) pour avoir un déplacement de va-et- vient par rapport au support et à la table de travail suivant la seconde direction de coordonnées (Y) et fournissant un sup- port pour le maintien d'un outil dans une position opération- nelle par rapport à l'élément de travail maintenu sur la sur- face de travail de la table, un premier moteur d'entraînement ( 40) monté entre le support fixe et la table de travail mobi- le de manière à déplacer cette dernière selon un mouvement de va-et-vient suivant la première direction de coordonnéES,un se- cond moteur d'entraînement ( 60) monté entre le support fixe et le chariot porte-outil mobile pour déplacer le chariot et un outil, situé sur ce chariot, selon un mouvement de va-et- vient suivant la seconde direction de coordonnées, caractéri- sé en ce qu'il comporte un premier interféromètre ( 78) monté sur le chariot porte-outil mobile et disposé de manière que l'axe de mesure sensible ( 82) s'étend suivant la première direction de coordonnées (X), un premier réflecteur ( 84) monté sur la table de travail et comportant une surface ré- fléchissante rencontrant l'axe de mesure du premier interfé- romètre et s'étendant suivant la seconde direction de coor- données sur une distance proportionnée au déplacement du chariot porteoutil et du premier interféromètre suivant la seconde direction de coordonnées pour la mesure de la posi- tion de la table suivant la première direction de coordonnées, un second interféromètre ( 81) et un second réflecteur ( 88), dont l'un est monté sur le chariot porte-outil ( 58) et dont l'autre est monté sur le support fixe ( 12) et qui sont tous deux positionnés de manière que l'axe de mesure ( 106) du se- cond interféromètre s'étend suivant la seconde direction de coordonnées et intersecte la surface réfléchissante du second réflecteur servant à mesurer la position du chariot suivant la secondedirection de coordonnées, et un dispositif de commande ( 50) raccordé au premier et au second interféromètres et au premier et au second dispositifs d'entraînement pour le posi- tionnement précis de la table et du chariot conformément aux mesures délivrées par les interféromètres. 2 Dispositif de positionnement de haute précision servant à déplacer un outil et un élément de travail selon la revendication 1, caractérisé en ce que le premier réflecteur ( 84) est un miroir formant une première surface et comportant une surface réfléchissante perpendiculaire à la première di- rection de coordonnées (X). 3 Système de positionnement de haute précision pour le déplacement d'un outil et un élément de travail selon la revendication 1, caractérisé en ce que le premier réflec- teur ( 84) est un miroir monté sur le pourtour de la table de travail ( 20). 4 Dispositif de positionnement de haute précision pour un outil et un élément de travail selon la revendication 1, caractérisé en ce que la table de travail mobile ( 20) est montée sur le support fixe ( 12) au moyen de deux glissières ( 22,24) parallèles dans leur ensemble et-dont l'une ( 24) est alignée de façon fixe par rapport au support fixe et à la ta- ble de travail, de manière à établir et commander la trajec- toire de déplacement suivant la première direction de coordon- nées (X). Dispositif de positionnement de haute précision selon la revendication 4, caractérisé en ce que l'autre ( 22) des deux glissières est montée élastiquement entre la table et le support fixe de manière à compenser toute tolérance en- tre les deux glissières. 6 Dispositif de positionnement de haute précision servant à déplacer un outil et un élément de travail selon la revendication 1, dans lequel le chariot porte-outil ( 58) com- porte un outil ( 56) dont l'axe s'étend orthogonalement aux première et seconde directions de coordonnées, caractérisé en ce que les premier et second interféromètres ( 78,80) sont montés de manière que les axes de mesure ( 82,86) desdits in- terféromètres intersectent l'axe de l'outil dans toute posi- tion du chariot porte-outil et de la table. 7 Dispositif de positionnement de haute précision servant au déplacement d'un outil et d'un élément de travail selon la revendication 1, caractérisé en ce que le premier interféromètre ( 78) est un interféromètre à miroirsplans. 11 1 j: ' y Il; : 'o<ee, -, ,,

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