FR2477132A1 - Procede et dispositif d'evacuation de tube d'ebauche pour fibre optique - Google Patents
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Abstract
L'INVENTION CONCERNE LA FABRICATION DES FIBRES OPTIQUES. UN DISPOSITIF DESTINE A EXTRAIRE D'UN TUBE D'EBAUCHE DE FIBRE OPTIQUE 10 LES PRODUITS QUI RESULTENT D'UNE OPERATION DE DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR ACCOMPLIE DANS CE TUBE, COMPRENNENT NOTAMMENT UN TUBE D'EVACUATION 40 DONT L'EXTREMITE D'ENTREE EST SEPAREE PAR UN ESPACE 44 DE L'EXTRIMITE AVAL DU TUBE D'EBAUCHE. UN COURANT D'AIR ASPIRE PAR CET ESPACE EVITE L'ACCUMULATION DE PRODUITS DE REACTION DANS LE TUBE D'EVACUATION. APPLICATION AUX TELECOMMUNICATIONS OPTIQUES.
Description
La présente invention concerne de façon générale les procédés et les
dispositifs destinés à l'évacuation des produits de réaction à
partir de tubes d'ébauches de fibres optiques.
Lorsqu'on fabrique des ébauches à partir desquelles on peut étirer les fibres optiques, des vapeurs de matières telles que SiC14, GeC14 et POC13 sont entraînées dans un gaz porteur tel que de l'oxygène et sont aspirées sous la forme d'un courant de vapeur à l'intérieur d'un tube d'ébauche en verre. On fait tourner le tube d'ébauche pendant qu'un chalumeau parcourt sa longueur de façon répétée. Lorsque le courant de vapeur traverse le tube et rencontre la bande de chaleur adjacente au chalumeau, il réagit en créant des oxydes qui se déposent à la surface intérieure du tube. Une fois que de nombreuses passes du chalumeau ont formé de nombreuses couches de dépôt, on fait affaisser le tube pour
donner une ébauche en forme de barreau plein.
Pendant la procédure décrite ci-dessus, communément appelée traitement de dépôt chimique en phase vapeur modifié, tous les produits de réaction ne se déposent pas à l'intérieur du tube d'ébauche. Certains
d'entre eux sont au contraire évacués hors du tube sous une forme pulvé-
rulente, en compagnie du gaz porteur sortant. Jusqu'à présent, ces produits de réaction non déposés ont été extraits du tube d'ébauche par l'intermédiaire d'un tube d'évacuation de diamètre supérieur à celui du tube d'ébauche et formé sous la forme d'un prolongement du tube d'ébauche,
réalisé d'un seul tenant avec ce dernier. Cependant, pendant le traite-
ment de dépôt en phase vapeur, qui dure habituellement plusieurs heures, certains des produits de réaction pulvérulents extraits du tube d'ébauche se déposent et s'accumulent à l'intérieur du tube d'évacuation. Cette
accumulation forme une restriction de plus en plus importante à la cir-
culation de fluides et d'autres produits de réaction qu'on fait passer ultérieurement dans le tube d'évacuation, ce qui affecte à son tour la
pression du courant de vapeur à l'intérieur du tube d'ébauche lui-même.
De très faibles variations de la pression et de la configuration d'écoule-
ment à l'extrémité de sortie du tube d'ébauche peuvent avoir un effet notable sur le traitement de dépôt, du fait qu'il est impératif que les vapeurs soient introduites dans le tube d'ébauche avec des débits-masse
définis avec précision. Ainsi, cette restriction d'importance progres-
sivement croissante et les variations de la configuration d'écoulement dans le tube d'évacuation ont un effet défavorable sur le traitement de dépôt, du fait que ces caractéristiques sont imprévisibles et ne sont pas maîtrisées., Pour tenter d'atténuer le problème qu'on vient de décrire, on a introduit dans les tubes d'évacuation des tiges de raclage qui gravitent continuellement dans la partie inférieure du tube pendant sa
rotation. Ces tiges servent à agiter et à détacher certains des pro-
duits de réaction qui se sont déposés et accumulés sur les parois in-
térieures du tube d'évacuation, permettant ainsi l'extraction des pro-
duits par le courant de vapeur. On déplace également périodiquement la tige de raclage en direction axiale comme en direction radiale, afin d'augmenter le nettoyage de l'intérieur du tube d'évacuation en raclant le produit pulvérulent qui a pu s'accumuler au niveau du col auquel le tube d'évacuation est réuni au tube d'ébauche, ainsi que dans le tube d'évacuation. Cependant,-bien que cette technique donne de meilleurs résultats, elle n'empêche toujours pas l'accumulation de produits de réaction jusqu'à un degré susceptible d'affecter notablement la vitesse du traitement de dépôt. Même lorsqu'ils sont agités, les produits tendent à diffuser en amont, dans une certaine mesure, ce qui crée des
anomalies dans les couches de dépôt. De plus, il s'est avéré très labo-
rieux de former le tube d'évacuation d'un seul tenant avec le tube d'é-
bauche, avec un alignement axial précis.
Un problème supplémentaire associé au système d'évacuation de tube d'ébauche de l'art antérieur se manifeste pendant la phase
d'affaissement du traitement de dépôt chimique en phase vapeur modifié.
Pendant cette période, il est nécessaire d'établir une pression positi-
ve à l'intérieur du tube d'ébauche en train de s'affaisser, afin qu'il demeure rond. Bien qu'il existe d'autres manières moins souhaitables
pour réaliser ceci, la meilleure manière consiste à établir une contre-
pression en obturant l'extrémité aval du tube. On effectue ceci soit en maintenant le chalumeau à la jonction entre le tube d'ébauche et le
tube d'évacuation jusqu'à ce qu'une obturation se forme, soit en intro-
duisant un bouchon dans le tube d'évacuation. Ceci signifie cependant qu'on doit arrêter le tour utilisé pour chauffer et faire tourner les tubes, enlever manuellement la tige de raclage et introduire un bouchon, tout ceci restreignant le rendement de fabrication. L'invention vise
donc essentiellement à résoudre ce problème.
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Une forme de l'invention consiste en un procédé destiné à
l'évacuation des produits de réaction à partir d'un tube d'ébauche de fi-.
bre optique dans lequel des vapeurs sont introduites et entraînées par un gaz porteur pour produire une réaction chimique et un dépôt. Le procédé comprend les opérations qui consistent à disposer un tube d'éva- cuation avec une extrémité d'entrée adjacente à l'extrémité aval du tube d'ébauche, de façon à permettre le passage des fluides entre les
deux tubes, à appliquer une aspiration au tube d'évacuation, et à intro-
duire dans le tube d'évacuation un courant de gaz d'agitation des produits de réaction, pratiquement exempt de produits de réaction du dépôt en phase vapeur, à un emplacement adjacent à l'extrémité d'entrée du tube d'évacuation.
Une autre forme de l'invention consiste en un dispositif des-
tiné à l'évacuation de produits de réaction à partir d'un tube d'ébau-
che de fibre optique dans lequel des vapeurs sont introduites et entraî-
nées par un gaz porteur, pour produire une réaction chimique et un dépôt.
Le dispositif comprend un tube d'évacuation qui comporte une extrémité
d'entrée montée en position adjacente à l'extrémité aval du tube d'é-
bauche, des moyens destinés à aspirer dans le tube d'évacuation, par
l'extrémité d'entrée, des produits de réaction provenant du tube d'ébau-
che, et des moyens destinés à introduire dans le tube d'évacuation un courant de gaz d'agitation des produits de réaction, pratiquement exempt
de produits de réaction du dépôt en phase vapeur, à un emplacement adja-
cent à l'extrémité d'entrée.
Une autre forme encore de l'invention consiste en un disposi-
tif qui est destiné à l'évacuation de produits de réaction à partir d'un tube d'ébauche de fibre optique comportant une extrémité fixée de façon rigide dans un mandrin supporté de façon tournante dans un bâti de tour. Le dispositif comprend un tube d'évacuation qui est monté sur le bâti de tour, avec une partie d'extrémité située à l'intérieur du
mandrin tournant et séparée par un espace du tube d'ébauche, et des mo-
yens destinés à aspirer dans le tube d'évacuation des produits de réac-
tion provenant du tube d'ébauche et à aspirer de l'air ambiant dans le
tube d'évacuation par l'espace entre les tubes, afin d'agiter l'écoule-
ment des produits de réaction lorsque ce dernier traverse l'espace et
entre dans le tube d'évacuation.
L'invention sera mieux comprise A la lecture de la description
qui va suivre, de modes de réalisation et en se référant aux dessins annexés sur lesquels La figure l est une vue en perspective d'un tour sur lequel un tube d'ébauche de fibre optique est monté-pour réaliser un dépôt
chimique en phase vapeur.
La figure 2 est une coupe d'un dispositif destiné à l'évacua-
tion des produits contenus dans un tube d'ébauche de fibre optique
conformément à l'invention.
La figure 3 est une coupe agrandie des parties d'extrémité en regard du tube d'évacuation et du tube d'ébauche représentés sur la
figure 2, lorsqu'elles sont soumises à une translation les amenant mu-
tuellement en contact.
La figure 4 est une coupe des parties d'extrémité en regard du tube d'évacuation et du tube d'ébauche, ainsi que d'un joint ayant une configuration autre que celle qui est représentée sur la figure 3.
La figure 5 est une coupe d'un dispositif destiné à l'évacua-
tion des produits contenus dans un tube d'ébauche qui correspond à une
variante de mise en oeuvre des principes de l'invention.
La figure 6 est une coupe agrandie d'une partie d'extrémité
du tube d'évacuation représenté sur le figure 5.
La figure 7 est une coupe d'un dispositif d'évacuation des produits contenus dans un tube d'ébauche qui correspond à une autre
forme préférée de l'invention.
En considérant maintenant les dessins de façon plus détaillée, on voit sur la figure 1 un tour destiné à la fabrication d'une ébauche de fibre optique par le traitement de dépôt chimique en phase vapeur modifié, consistant à déposer des vapeurs à la surface intérieure dtun
tube d'ébauche en verre, 10.
Le tour comprend un bâti 11 sur lequel sont montées une poupée 12 et une contre-poupée 13. La poupée 12 et ses mécanismes internes supportent de façon tournante et entraînent un mandrin 15, tandis que de façon similaire la contre-poupée 13 et ses mécanismes internes
supportent de façon tournante et entraînent un mandrin 16 tournant au-
tour du même axe que le mandrin 15. Chacun des mandrins est formé par des mors 18, séparés par une certaine distance radiale, qui sont conçus
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de façon à pouvoir être déplacés pour serrer et pour libérer le tube
d'ébauche ou un prolongement tubulaire de ce dernier. Des écrans -
thermiques 20, comportant une ouverture centrale, sont montés sur les
deux poupées au moyen d'éléments de suspension 21, à proximité immédia-
te des mandrins tournants. Un chalumeau oxhydrique 23 est monté au sommet d'un chariot 24 de façon à accomplir un mouvement alternatif
entre les deux écrans thermiques 20 comme l'indiqueit 3sflèches 25.
Le chalumeau 23 accomplit un mouvement alternatif sous l'effet d'un mécanisme d'entraînement automatique non représenté, qui peut faire
l'objet d'une commande manuelle prioritaire et être positionné au mo-
yen d'un volant 26. De façon similaire la position latérale de la
poupée 12 sur un rail 30 peut être réglée au moyen d'un volant 27 tan-
dis que la position de la contre-poupée sur le rail peut être réglée manuellement par le mouvement d'un volant 28. Un conduit 32 fait saillie latéralement à partir de la poupée 12 en direction d'un joint tournant 34 à partir duquel un conduit fixe 34 s'étend jusqu'à une
source non représentée qui fournit un courant de vapeurs. Un tuyau fle-
xible d'évacuation 37 part de la contre-poupée.
En considérant maintenant les figures 2 à 4 on voit que le tube d'ébauche 10 comporte une extrémité de tube 10' légèrement plus grande, montée rigidement dans les mors 18 du mandrin de tour 16 qui
est supporté de façon tournante par la poupée représentée schématique-
ment en 13'. Un tube d'évacuation 40 est monté sur un collecteur 42 et l'extrémité de tube 41 est positionnée à l'intérieur du mandrin tournant 16 à côté de l'extrémité 10' du tube d'ébauche, mais en étant
légèrement séparée de cette extrémité par un espace 44. Le tube d'éva-
cuation 40 est également supporté dans un élément de support tournant 46 de la poupée, entre les deux extrémités du tube. Les divers raccords du tube d'évacuation peuvent être conçus de façon à lui permettre de tourner ou de demeurer fixe lorsque le mandrin fait tourner le tube d'ébauche 10, tandis que les mouvements du collecteur 42 s'accompagnent de mouvements correspondants du tube d'évacuation, comme l'indiquenties flèches 50. Une tige de raclage 48 est placée à l'intérieur du tube
d'évacuation 40 et l'une de ses extrémités traverse l'espace 44 de fa-
çon à reposer à l'intérieur de l'extrémité 10' du tube d'ébauche, tan-
dis que son autre extrémité s'étend à l'extérieur du collecteur 42.
Il existe également des moyens d'entraînement non représentés destinés
à communiquer un mouvement alternatif au collecteur 42 et au tube d'é-
vacuation 40, dans la direction indiquée par les flèches 50. Il peut également exister des moyens d'entraînement destinés à déplacer la tige de raclage 48 dans les-directions générales indiquées par les flèches
52. Un tube d'évacuation auxiliaire 54 communique avec le tube d'éva-
cuation 37 par l'intermédiaire d'une valve V1 qui admet un fluide de manière sélective, comme il est indiqué par la flèche 55 et comme on
le décrira ultérieurement de façon plus détaillée.
L'extrémité 41 du tube d'évacuation est munie de moyens desti-
nés à établir un joint hermétique pour les fluides, lorsqu'ils sont repositionnés en butée contre l'extrémité 10' du tube d'ébauche, sous l'effet du mouvement du collecteur 42. Sur la figure 3, ces moyens destinés à assurer l'herméticité sont représentés sous la forme d'un joint torique élastique 58 qui est fixé à l'extrémité 41 du tube d'évacuation. Sur la figure 4, le joint est représenté sous une autre
forme conEstant en une pièce d'extrémité conique 59 qui est fixée rigi-
dement à l'extrémité 41 du tube d'évacuation. Cette pièce d'extrémité 59 se réduit à un diamètre extérieur légèrement inférieur au diamètre intérieur de l'extrémité 10' du tube d'ébauche, de façon qu'une petite
partie d'extrémité de la pièce 59 puisse pénétrer de manière télesco-
pique dans l'extrémité du tube d'ébauche.
Pendant le dép8t chimique en phase vapeur, le tube d'ébauche est mis en rotation par les mandrins 15 et 16, tandis que le tube d'évacuation 40 est maintenu séparé par l'espace 44 du tube d'ébauche en rotation. Un courant de vapeurs entraînées dans un gaz-porteur est introduit de force dans le tube d'ébauche 10 par une pression positive
établie par le générateur de courant de vapeurs. Pendant que le cou-
rant de vapeurs traverse le tube d'ébauche, on déplace lentement le chalumeau 23 le long du tube d'ébauche en rotation, ce qui produit une réaction chimique à l'intérieur de la bande de chaleur qui est créée
et entraîne le dépÈt des produits de la réaction sur la surface inté-
rieure du tube. Le gaz porteur ainsi que tous les produits de réaction non déposés sont évacués par l'extrémité 10' du tube d'ébauche, et ils
traversertietube d'évacuation 40, le collecteur 42 et le tuyau flexi-
ble 37 auquel on applique une aspiration.
Pendant le déroulement de l'opération de dépôt, une accumula-
tion notable à l'intérieur de l'extrémité 10' du tube d'ébauche est
évitée par la présence de la tige de raclage 48 qui gravite continuel-
lement au fond de cette extrémité du tube, lorsque le tube d'ébauche tourne. En outre, l'accumulation de dépôts de produits de réaction dans tout le tube d'évacuation, et en particulier à l'extrémité 41 du tube d'évacuation, est réduite au minimum par le fait que l'-air ambiant,
exempt de produits de réaction, est continuellement aspiré dans le tu-
be d'évacuation par l'espace 44. Cet air constitue un fluide animé d'une grande vitesse qui agite les produits de réaction traversant l'espace et entrant dans l'extrémité du tube d'évacuation, ce qui tend à purger le tube d'évacuation. Cette action est renforcée par le fait que les mors de mandrin 18 disposés radialement autour de l'espace, agissent d'une manière très semblable à des ailettes ou des pales de ventilateur. Cette agitation constante emptche ainsi l'apparition d'une accumulation dans l'extrémité 41 du tube d'évacuation, ce qui pourrait avoir un effet défavorable sur les pressions et les configurations
d'écoulement à l'intérieur du tube d'ébauche comme on l'a expliqué pré-
cédemment. De plus, on peut déplacer périodiquement la tige de raclage 48 à l'intérieur du tube d'évacuation, aussi bien dans la direction
indiquée par les flèches 52 qu'avec un léger mouvement d'agitation tour-
nant, pour enlever tous les produits de réaction qui ont pu néanmoins
parvenir à se former sur les parois du tube.
Une fois qué le dépôt en phase vapeur dans le tube d'ébauche est terminé on provoque l'affaissement de ce tube en augmentant la
chaleur qui est appliquée par le chalumeau 23. On applique alors éga-
lement une contre-pression, destinée à maintenir la rotondité, en ame-
nant l'extrémité 41 du tube d'évacuation en butée contre l'extrémité
' du tube d'ébauche, comme le montrent les figures 3 et 4. A ce mo-
ment on peut fermer la valve V1 ainsi que d'autres valves non représen-
tées, pour bloquer le passage vers le tuyau flexible d'évacuation 37
et pour établir la contre-pression. Après l'affaissement, on retire-
l'ébauche des mandrins de la poupée et de la contre-poupée, et on reti-
re le tube d'évacuation et la tige de raclage pour les nettoyer.
On va maintenant considérer les figures 5 et 6 qui représen-
tent un autre mode de réalisation de l'invention dans lequel un tube
d'évacuation 60 est réalisé sous la forme d'un prolongement du tube d'é-
bauche 10 en un seul tenant avec ce dernier. Ceci correspond à llaoerif-
guration classique utilisée jusqu'à présent, dans laquelle le tube d'é-
vacuation tourne en même temps que le tube d'ébauche pendant le dérou-
lement du dépôt chimique en phase vapeur. Il existe cependant ici des moyens destinés h introduire un gaz exempt de produits de réaction dans le tube d'évacuation, à un emplacement voisin de son col, ou de sa jonction avec le tube d'ébauche. On effectue ceci en utilisant un conduit 62 qui comporte un orifice de sortie 63 situé à l'extrémité d'un embout 64 dirigé vers l'arrière. Il existe un autre conduit 68 qui est monté au moyen d'un pontet 69 sur le conduit 62 et qui comporte un orifice d'entrée biseauté 67 faisant face h l'orifice de sortie 63 du conduit 62, et légèrement espacé de ce dernier. Cet autre conduit
est branché à un tube d'aspiration 74 à l'extrémité du corps de collec-
teur 70. Avec cette structureun gaz ou de l'air peut être introduit
dans le tube d'évacuation 60 h un emplacement voisin de sa jonction -
avec le tube d'ébauche 10, et ensuite extrait de ce même emplacement général au moyen du conduit 66. Naturellement, le gaz ou l'air entre initialement dans l'extrémité 72 du tube d'évacuation qui est éloignée de l'ébauche 10, mais à ce point, l'air ou le gaz demeure enfermé dans le conduit 62. Ainsi; en ce qui concerne cette application, on
appelle point d'introduction le point auquel le gaz ou l'air d'agita-
tion des produits est réellement libéré dans l'espace voisin de là
surface intérieure du tube d'évacuation, ou extrait de cet espace.
Un système de conduits, de collecteurs et de valves est asso-
cié au dispositif d'évacuation et ce système comprend une valve V2 qui commande le débit d'entrée du gaz exempt de produits de réaction dans le tube d'évacuation, par le conduit 62 et une valve V3 qui commande le débit d'extraction du gaz ou de l'air par le conduit 66 et le tube d'aspiration 74. Périodiquement, comme par exemple toutesles dix passes du chalumeau 23 sur le tube d'ébauche, on peut actionner sélectivement
les valves y2, V4 et V5 pour créer un courant de gaz pulsé à la jonc-
tion entre le tube d'évacuation 60 et le tube d'ébauche 10 pour produi-
re une agitation supplémentaire. Les valves V4 et V5 sont placées dans un tuyau flexible d'évacuation 76 pour commander l'aspiration qui est
appliquée au tube d'évacuation 60 et ces valves sont également action-
nées selon un cycle périodique en association avec les manoeuvres des
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valves V2, V5 et V6, pour nettoyer le corps de collecteur 70.
La valve V6 est placée dans une autre ligne en dérivation 79 qui communique avec une source d'air comprimé pour augmenter la vitesse de circulation du fluide dans un amiplif icateur de 1' écoulement de fluide 81, et pour commander l'aspiration au niveau des valves V4, V5 et V6* Une ligne de commande 80 équipée de la valve V7 communique de faoe alassiqce avec ledit ampl-ificateur, grâce à quoi une faible variation de débit dans la valve V7 produit une variation importante du débit dans cet amirlp3cateur- Le réseau de conduits, de valves, de lignes
d'alimentation et de sources d'alimentation en gaz qu'on vient de décri-
re produit ainsi une aspiration notable pour le courant de fluides tra-
versant le tube d'évacuation pendant le dépôt.
La figure 7 représente une variante du système des figures 5 et 6 dans laquelle un conduit 74 comporte une extrémité ouverte ou un orifice 75 qui se trouve près de la jonction entre le tube d'évacuation et le tube d'ébauche 10. Ce conduit traverse le tube d'évacuation
et le corps de collecteur 70, et passe à l'extérieur de ce dernier.
Un autre conduit 62 est placé à l'intérieur du conduit 74 et il comporte un orifice de sortie 78 situé à côté de l'orifice 75 du conduit 74. On peut ajuster périodiquement la position de l'orifice, comme l'indiquent
les flèches 83, pour détacher toute accumulation de particules de pro-
duits de réaction susceptible d'être observée dans cette région. Si on le désire, on peut modifier ce mode de réalisation en supprimant le conduit 74, auquel cas l'évacuation serait commandée normalement par le
conduit 76 qui, dans le cas contraire, est simplement employé pour net-
toyer périodiquement le corps de collecteur. Dans ce cas, le tube d'é-
vacuation 60 aurait de préférence le même diamètre que le tube d'ébauche,
pour améliorer la commande de température.
On voit ainsi que l'invention offre des procédés et des dis-
positifs pour évacuer des produits de réaction hors de tubes d'ébauche pendant le dépôt en phase vapeur. De façon surprenante, l'invention offre à la fois la possibilité de nettoyer les tubes et les corps de
collecteur d'échappement associés, ainsi que de les obturer périodique-
ment afin d'établir une contre-pression pendant l'affaissement de l'é-
bauche et afin d'obturer automatiquement le tube d'ébauche pendant son affaissement. o10
Il va de soi que de nombreuses modifications peuvent être ap-
portées aux dispositifs et aux procéd6s qui viennent d'être d6crits à
titre d'exemples non limitatifs, sans sortir du cadre de l'invention.
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Claims (12)
1. Procédé d'évacuation de produits de réaction contenus dans un tube d'ébauche de fibre optique dans lequel on introduit par une
extrémité de tube amont des vapeurs qui sont entraînées par un gaz por-
teur pour produire une réaction chimique et un dépôt, caractérisé en ce qu'ondispose un tube d'évacuation (40) de façon qu'une extrémité d'entrée (41) de ce tube soit adjacente à une extrémité aval du tube d'ébauche, en permettant le passage des fluides entre les tubes; on
applique une aspiration au tube d'évacuation; et on introduit un cou-
rant (44) de gaz d'agitation des produits de réaction, pratiquement exempt de produits de réaction de dépôt en phase vapeur, dans le tube d'évacuation, à un emplacement voisin de l'ext émité d'entrée du tube d'évacuation.
2. Procédé d'évacuation de produits de réaction de dépôt en phase vapeur selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'on espace l'extrémité d'entrée du tube d'évacuation par rapport à l'extrémité aval du tube d'ébauche afin de définir entre ces extrémités un espace par lequel le courant de gaz d'agitation de produits de réaction est
aspiré lorsqu'il est introduit dans le tube d'évacuation.
3. Procédé d'évacuation de produits de réaction de dépôt en phase vapeur selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'on ferme
sélectivement l'espace pour établir une contre-pression afin de procé-
der à l'affaissement de l'ébauche.
4. Procédé d'évacuation de produits de réaction de dépôt en phase vapeur selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'on place
une tige de raclage à l'intérieur du tube d'évacuation, avec une par-
tie d'extrémité de la tige s'étendant au moins partiellement dans ledit espace, et on fait tourner le. tube d'évacuation pendant la réaction
chimique et le dépôt.
5. Procédé d'évacuation de produits de réaction de dépôt en phase vapeur selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'on extrait le gaz d'agitation des produits de réaction hors du tube d'évacuation
à un emplacement voisin de l'extrémité d'entrée du tube d'évacuation.
6. Dispositif destiné à la mise en oeuvre du procédé selon
l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce qu'un
tube d'évacuation (40) ayant une entrémité d'entrée (41) est monté en position adjacente à l'extrémité aval (10') du tube d'ébauche; il
existe des moyens (agissant par l'intermédiaire du tube 37) qui diri-
gent de force les produits de réaction du tube d'ébauche vers le tube.
d'évacuation en passant par l'extrémités d'entrée (41); et il existe des moyens (44) destinés à introduire un courant de gaz d'agitation des produits de réaction, pratiquement exempt de produits de réaction du
dépôt en phase vapeur, dans le tube d'évacuation, à un emplacement voi-
sin de ladite extrémité d'entrée.
7. Dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce que
l'extrémité d'entrée du tube d'évacuation est montée à une certaine dis-
tance de l'extrémité aval du tube d'ébauche pour définir entre elles
un espace par lequel le courant de gaz d'agitation des produits de réac-
tion est aspiré dans le tube d'évacuation.
8. Dispositif selon la revendication 7, caractérisé en ce qu' une tige de raclage est placée dans le tube d'évacuation et une partie d'extrémité de cette tige s'étend au moins partiellement dans ledit espace.
9. Dispositif selon la revendication 7 ou 8, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens destinés à amener l'extrémité d'entrée du tube d'évacuation en butée contre l'extrémité aval du tube d'ébauche,
afin d'obturer temporairement ledit espace et d'établir une contre-
pression pendant les opérations d'affaissement du tube d'ébauche.
10. Dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens destinés à extraire du tube d'évacuation le gaz d'agitation des produits de réaction-à un emplacement voisin de
l'extrémité d'entrée du tube d'évacuation.
11. Dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce que les moyens destinés à introduire un courant de gaz d'agitation des produits de réaction comprennent un conduit qui s'étend à l'intérieur du tube d'évacuation et se termine par un orifice de sortie voisin de
l'extrémité d'entrée du tube d'évacuation.
12. Dispositif selon la revendication 11, caractérisé en ce qu'un second conduit qui s'étend à l'intérieur du tube d'évacuation se termine par un orifice d'entrée situé à côté de l'extrémité d'entrée du tube d'évacuation, et il existe des moyens destinés à appliquer une
aspiration à ce second conduit, grAce à quoi le courant de gaz d'agita-
2477132-
tion des produits de réaction qui est introduit dans le tube d'évacua-
tion est extrait du tube d'évacuation par le second conduit.
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