FR2404918A1 - Appareil optique a faisceau corpusculaire comportant un porte-objet prenant appui dans au moins un palier - Google Patents

Appareil optique a faisceau corpusculaire comportant un porte-objet prenant appui dans au moins un palier

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FR2404918A1
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support

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Abstract

L'invention concerne un appareil optique à faisceau corpusculaire comportant un porte-objet prenant appui dans au moins un palier. Dans cet appareil, qui comporte un boîtier 1 enserrant une platine porte-objet 2 possédant une ouverture dans laquelle est inséré un porte-objet 15, un oscillateur supplémentaire amorti uniaxe ou multiaxe 21 est monté sur le porte-objet 15 approximativement à l'emplacement de l'amplitude maximale de vibrations (vente de vibrations) du porte-objet. Application notamment aux microscopes électroniques.
FR7826126A 1977-09-30 1978-09-12 Appareil optique a faisceau corpusculaire comportant un porte-objet prenant appui dans au moins un palier Withdrawn FR2404918A1 (fr)

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US4223224A (en) 1980-09-16
DE2744680B1 (de) 1979-03-29

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