FR2394115B1 - Procede et dispositif pour realiser le positionnement automatique d'une piece a travailler par rapport a un champ d'exploration ou a un masque - Google Patents

Procede et dispositif pour realiser le positionnement automatique d'une piece a travailler par rapport a un champ d'exploration ou a un masque

Info

Publication number
FR2394115B1
FR2394115B1 FR7816428A FR7816428A FR2394115B1 FR 2394115 B1 FR2394115 B1 FR 2394115B1 FR 7816428 A FR7816428 A FR 7816428A FR 7816428 A FR7816428 A FR 7816428A FR 2394115 B1 FR2394115 B1 FR 2394115B1
Authority
FR
France
Prior art keywords
mask
realizing
automatic positioning
workpiece relative
exploration field
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
FR7816428A
Other languages
English (en)
Other versions
FR2394115A1 (fr
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Publication of FR2394115A1 publication Critical patent/FR2394115A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR2394115B1 publication Critical patent/FR2394115B1/fr
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/304—Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
    • H01J37/3045—Object or beam position registration

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Beam Exposure (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
FR7816428A 1977-06-08 1978-06-01 Procede et dispositif pour realiser le positionnement automatique d'une piece a travailler par rapport a un champ d'exploration ou a un masque Expired FR2394115B1 (fr)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2726173A DE2726173C2 (de) 1977-06-08 1977-06-08 Verfahren und Schaltung zur automatischen Positionierung eines Werkstückes relativ zu einem Abtastfeld bzw. zu einer Maske, sowie Verwendung des Verfahrens

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR2394115A1 FR2394115A1 (fr) 1979-01-05
FR2394115B1 true FR2394115B1 (fr) 1987-01-30

Family

ID=6011170

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR7816428A Expired FR2394115B1 (fr) 1977-06-08 1978-06-01 Procede et dispositif pour realiser le positionnement automatique d'une piece a travailler par rapport a un champ d'exploration ou a un masque

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4219719A (fr)
JP (1) JPS605221B2 (fr)
DE (1) DE2726173C2 (fr)
FR (1) FR2394115B1 (fr)
NL (1) NL7805320A (fr)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55160443A (en) * 1979-05-22 1980-12-13 Semiconductor Res Found Manufacture of semiconductor integrated circuit device
US4404569A (en) * 1979-05-24 1983-09-13 American Hoechst Corporation System and method for producing artwork for printed circuit boards
JPS5646533A (en) * 1979-09-26 1981-04-27 Jeol Ltd Detection of mark position for exposing electron beam
US4318082A (en) * 1979-12-31 1982-03-02 Ncr Canada Ltd - Ncr Canada Ltee Method and apparatus for electronically aligning active elements of an imaging array with an optical system
US4431923A (en) * 1980-05-13 1984-02-14 Hughes Aircraft Company Alignment process using serial detection of repetitively patterned alignment marks
US4327292A (en) * 1980-05-13 1982-04-27 Hughes Aircraft Company Alignment process using serial detection of repetitively patterned alignment marks
JPS5852826A (ja) * 1981-09-24 1983-03-29 Canon Inc 位置合わせ信号処理装置
JPS5852825A (ja) * 1981-09-24 1983-03-29 Canon Inc 位置合わせ信号処理装置
US4639604A (en) * 1983-03-29 1987-01-27 Nippon Kagaku K.K. Method and apparatus for detecting an edge position of a pattern and eliminating overlapping pattern signals
JPS60201626A (ja) * 1984-03-27 1985-10-12 Canon Inc 位置合わせ装置
JPS6155710A (ja) * 1984-08-27 1986-03-20 Sharp Corp アライメント方法
US4677296A (en) * 1984-09-24 1987-06-30 Siemens Aktiengesellschaft Apparatus and method for measuring lengths in a scanning particle microscope
DE3735154C2 (de) * 1986-10-17 1994-10-20 Canon Kk Verfahren zum Erfassen der Lage einer auf einem Objekt vorgesehenen Marke
DE4418930B4 (de) * 1994-05-31 2004-10-07 Nawotec Gmbh Verfahren zum Erzeugen von Mustern auf Substraten mittels Korpuskularstrahl-Lithographie
US6600328B2 (en) * 2001-08-22 2003-07-29 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Analog method and circuit for monitoring digital events performance

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3519788A (en) * 1967-01-13 1970-07-07 Ibm Automatic registration of an electron beam
US3598978A (en) * 1968-08-21 1971-08-10 Rca Corp Object-positioning system and method
US3644700A (en) * 1969-12-15 1972-02-22 Ibm Method and apparatus for controlling an electron beam
US3873802A (en) * 1971-07-26 1975-03-25 Welding Research Inc Elector beam welding apparatus chicorporating a hole center locating means
US3901814A (en) * 1974-06-27 1975-08-26 Ibm Method and apparatus for detecting a registration mark on a target such as a semiconductor wafer
JPS51140488A (en) * 1975-05-30 1976-12-03 Hitachi Ltd Mask alignment device
DE2702448C2 (de) * 1977-01-20 1982-12-16 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur Positionierung eines mit einer Marke versehenen Werkstückes relativ zu einem Abtastfeld bzw. zu einer Maske

Also Published As

Publication number Publication date
JPS605221B2 (ja) 1985-02-08
JPS544574A (en) 1979-01-13
DE2726173A1 (de) 1978-12-14
NL7805320A (nl) 1978-12-12
US4219719A (en) 1980-08-26
DE2726173C2 (de) 1982-05-27
FR2394115A1 (fr) 1979-01-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FR2339468A1 (fr) Procede et dispositif pour le remplacement automatique d'une piece a usiner sur une machine-outil
FR2394115B1 (fr) Procede et dispositif pour realiser le positionnement automatique d'une piece a travailler par rapport a un champ d'exploration ou a un masque
BE852715A (fr) Dispositif de mise en place automatique de l'exploration sur un enregistreur-reproducteur magnetique
FR2304766A1 (fr) Dispositif d'alignement automatique par un appareil de sondage
FR2526858B1 (fr) Dispositif permettant de varier automatiquement le calage d'un arbre a cames
FR2490012B1 (fr) Dispositif semi-conducteur a champ superficiel reduit
FR2328156A1 (fr) Procede et dispositif pour boucher un pipeline
DE3165644D1 (en) Device for aligning a workpiece with a substrate
BE847213A (fr) Procede et dispositif pour le fonctionnement d'un bouclier de percage,
FR2489593B1 (fr) Dispositif redresseur a semi-conducteurs
FR2337821A1 (fr) Procede et dispositif pour le controle de la marche d'une turbine hydraulique
FR2349404A1 (fr) Dispositif de positionnement d'une piece sur une machine-outil
FR2495983B1 (fr) Dispositif pour inverser le serrage de pieces a plans paralleles
FR2471255B1 (fr) Procede et dispositif pour usiner par etincelage erosif
FR2536867B1 (fr) Procede d'alignement d'un dispositif optoelectronique
FR2328121A1 (fr) Dispositif electromagnetique a fluide
BE854985A (fr) Procede et dispositif pour l'emboutissage par chocs
FR2566313B1 (fr) Dispositif pour le positionnement d'une sonde
BE864332A (fr) Procede et dispositif d'impregnation d'une bobine de champ supraconductrice
FR2457476B1 (fr) Procede et dispositif de mesurage automatique d'une piece
RO75084A (fr) Dispositif d'entrainement d'etabli aux machines-outils
GB2087563B (en) Device for ascertaining the position of an edge on a workpiece
BE852628A (fr) Dispositif d'alignement automatique d'un transducteur de reproduction
FR2335826A1 (fr) Dispositif de determination automatique des coordonnees d'un point d'un plan
RO75512A (fr) Dispositif d'entrainement pour outilages de transport a conducteur

Legal Events

Date Code Title Description
ST Notification of lapse