FI77637C - Foerfarande och anordning foer framstaellning av en aerosolstroem. - Google Patents
Foerfarande och anordning foer framstaellning av en aerosolstroem. Download PDFInfo
- Publication number
- FI77637C FI77637C FI851870A FI851870A FI77637C FI 77637 C FI77637 C FI 77637C FI 851870 A FI851870 A FI 851870A FI 851870 A FI851870 A FI 851870A FI 77637 C FI77637 C FI 77637C
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- aeroeol
- stream
- distributor
- aerosol
- reactants
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 8
- 239000000443 aerosol Substances 0.000 title abstract description 20
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 2
- 235000006679 Mentha X verticillata Nutrition 0.000 claims 1
- 235000002899 Mentha suaveolens Nutrition 0.000 claims 1
- 235000001636 Mentha x rotundifolia Nutrition 0.000 claims 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims 1
- 239000000376 reactant Substances 0.000 abstract description 12
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract 1
- 239000007792 gaseous phase Substances 0.000 abstract 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 abstract 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 4
- 239000006004 Quartz sand Substances 0.000 description 2
- 239000012494 Quartz wool Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 239000005049 silicon tetrachloride Substances 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/02—Elongated flat flame or slit-nozzle type
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/04—Multi-nested ports
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/04—Multi-nested ports
- C03B2207/12—Nozzle or orifice plates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/20—Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
- C03B2207/26—Multiple ports for glass precursor
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/20—Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
- C03B2207/26—Multiple ports for glass precursor
- C03B2207/28—Multiple ports for glass precursor for different glass precursors, reactants or modifiers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/30—For glass precursor of non-standard type, e.g. solid SiH3F
- C03B2207/34—Liquid, e.g. mist or aerosol
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/42—Assembly details; Material or dimensions of burner; Manifolds or supports
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/46—Comprising performance enhancing means, e.g. electrostatic charge or built-in heater
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Colloid Chemistry (AREA)
- Acyclic And Carbocyclic Compounds In Medicinal Compositions (AREA)
- Silicon Compounds (AREA)
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
Description
1 77637
Menetelmä ja laite aerosolivirtauksen tuottamiseksi
Keksinnön kohteena on menetelmä ja laite aerosolivirtauksen tuottamiseksi patenttivaatimusten 1 ja 2 johdanto-osan mukaisesti.
Tällainen menetelmä on tunnettu patenttihakemuksesta FI-842910.
Siinä esitetyn opin mukaisesti syötetään kaasu- ja/tai höyrymäisiä reaktioaineita aerosoligeneraattoriin, joka koostuu samankeskisestä järjestetyistä putkista.
Keksinnön tehtävänä on esittää tämäntyyppisen menetelmän lisäksi toinen muoto sekä laite menetelmän suorittamiseksi.
Tämä tehtävä ratkaistaan patenttivaatimusten 1 ja 2 tunnusmerkkiosissa esitetyillä tunnusmerkeillä.
Edullisia rakenteita ja edelleenkehitysmuotoja on esitetty ali vaatimuksissa .
Keksinnön eräänä etuna on se, että aerosoligeneraattorin olennaisesti pystysuora järjestely mahdollistaa esim. erilaisia raekokoja omaavan kvartsihiekan käyttämisen täyteaineena. Siten on kustannusten suhteen edullisella tavalla mahdollista sovittaa poistokappaleiden virtausvastus erilaisiin käyttöparametreihin, esim. käytettyyn kaasu- ja/tai höyrymäärään.
Keksintöä selitetään seuraavassa lähemmin sovellutusesimerkin avulla viitaten kaaviomaiseen piirustukseen. Kuviot 1, 2, 3 esittävät poikkileikkauskuvaa, pitkittäisleikkauskuvaa sekä pohjapiirrosta sovellutusesimerkistä.
Sovellutusesimerkki koskee patentissa FI-842910 esitettyä sovellu- ____ tusesimerkkiä, jossa kaasu- ja/tai höyrymäisistä reaktioaineista - · piitetrakloridi (SiCl^) ja vesi (1^0) tuotetaan piidioksidi (SiC^)- : hiukkasia sisältävä laminaarinen aerosolivirta. Tämä aerosolivirta ohjataan laminaarisesti hiukkasvapaassa kaasu- ja/tai höyryvirrassa.
77637
Kuvioiden 1-3 mukaisesti saapuvat esimerkkinä valitut reaktio-aineet erillisten syöttöputkien 7 kautta jakajiin 1, esim. putkiin, joissa on suuri poikkileikkaus ja siten alhainen virtausvastus. Jakajan 1 päälle on järjestetty olennaisesti pystysuorassa olevat poistokappaleet 2, esim. putket, joiden pituus on noin 5 cm ja joiden sisäläpimitta on noin 1 cm. Virtausvastuksen parantamiseksi on poistokappaleet 2 täytetty täyteaineella 3, esim. kvartsivillalla ja/tai kvartsihiekalla, joka estetään putoamasta jakajaan 1 kaasua läpipäästävällä erotuskappaleella 5, esim. kvartsivillalla, lasikuitumatolla ja/tai reititetyllä kvartsi-tai keramiikkalevyllä. Esitetyssä järjestelyssä poistokappaleiden 2 virtausvastus on olennaisesti suurempi, esim. kymmenen kertaa suurempi kuin jakajan 1 virtausvastus. Siten saadaan edullisesti aikaan se, että poistokappaleista 2 poistuvat kaasu- ja/tai höyry-määrät ovat lähes riippumattomia, etenkin poistokappaleen paikasta jakajan päällä ja/tai jakajan ajallisista sekä paikallisista painevaihteluista.
Täyteaineen 3 raekoon ja/tai täyttökorkeuden valinnan avulla voidaan aerosoligeneraattoria säätää edullisin kustannuksin erilaisiin käyttöparametreihin, esim. reaktioaineiden SiCl^ ja i^O erilaisiin käyttöparametreihin, esim. reaktioaineiden SiCl^ ja 1^0 erilaisiin kaasumääriin. Reaktioaineiden lämmitys on mahdollista vähintään yhdellä lämmityslaitteella 4, esim. kvartsilla päällystetyllä sähkövastuslangalla ja/tai aerosoligeneraattorin ulkopuolelle sijoitetun uunin avulla. Viimeksi mainitussa tapauksessa saa täyteaine 3 aikaan tarvittavan lämmönjohdon reaktioaineisiin.
Kuvion 3 mukainen poistokappaleiden 2 vuorotteleva järjestys mahdollistaa edullisesti aerosolivirran poikkileikkauspinnan tarkan määrityksen sekä reaktioaineiden sekoittumisen. Esitetyssä sovellutusesimerkissä on muodostuvassa aerosolivirrassa olennaisesti suorakulmainen poikkileikkaus.
Keksintö ei ole rajoitettu esitettyyn sovellutusesimerkkiin, vaan sitä voidaan soveltaa edelleen. Esimerkiksi on mahdollista järjestää poistokappaleet siten, että muodostuu pyöreän poikkileikkauksen omaava aerosolivirta.
Claims (8)
1. Menetelmä aeroeolivirran tuottamiseksi, ja erityisesti SiC^-hiukkasia sisältävän aeroeolivirran tuottamiseksi esimuodon valmistamiseksi valoaaltojohdinta varten, tunnettu siitä, että aerosoli muodostetaan kaasu- ja/tai höyryseokeesta liekittömän kemiallisen reaktion avulla, jolloin aerosoli sisältää erityisesti Si02-hiukkasia, näin saatu aerosolivirta syötetään olennaisesti aerosolivapaan kaasu- ja/tai höyryvirran avulla, aerosolivirta tuotetaan olennaisesti pystysuorassa olevassa aeroeoligeneraattorisaa (6> siten, että tuotettu aerosolivirta virtaa ylöspäin, ja aerosoligeneraattori (6) sisältää vähintään yhden lämmitettävän laminaattorin, joka muodostuu vähintään yhdestä jakajasta (1) sekä vähintään yhdestä poistokappaleesta (2), joka liitetään jakajaan <1> ja jossa on olennaisesti korkeampi virtausvastus kuin jakajassa (1).
2. Laite aeroeolivirran tuottamiseksi ja erityisesti Si02~hiukkasia sisältävän aeroeolivirran tuottamiseksi esimuodon valmistamiseksi valoaaltojohdinta varten, tunnettu siitä, että aerosoli tuotetaan kaasu- ja/tai höyryseokeesta liekittömän kemiallisen reaktion avulla, jolloin aerosoli sisältää erityisesti Si02-hiukkasia, näin saatu aerosolivirta syötetään olennaisesti aeroso1ivapaan kaasu- ja/tai höyryvirran avulla, ja olennaisesti pystysuorassa olevassa aerosoligeneraattorissa (6) on vähintään yksi lämmitettävä laminaattori, joka muodostuu jakajasta <1) sekä vähintään yhdestä siihen liitetystä poistokappaleesta <2>, jossa on olennaisesti korkeampi virtausvastus kuin jakajassa <1> ja jossa korkea virtausvastus muodostetaan lämpöä kestävällä ensimmäisellä täyteaineella (3) . 4 77637
3. Patenttivaatimuksen 2 mukainen laite aerosolivirran tuottamiseksi, tunnettu siitä, että ainakin jokaista aerosolin tuottavaa reaktioainetta varten on vähintään yksi putkimainen jakaja (1), jonka vaippapintaan on sijoitettu vähintään yksi ulospäin suunnattu putkimainen poistokappale <2), joka ensimmäisenä täyteaineena (3) sisältää SiC^-pitoisia hiukkasia, joiden koko ja/tai määrä on valittu aseteltavan virtausvastuksen mukaisesti.
4. Patenttivaatimuksen 2 tai 3 mukainen laite aerosoli-virran tuottamiseksi, tunnettu siitä, että erilaisille reak-tioaineille kuuluvat poietokappaleet (2) on järjestetty keskenään vuorottelevasti ja että valitaan sellainen järjestely, joka vastaa aikaansaatavaa poistopintaa (kuvio 3).
5. Jonkin patenttivaatimuksen 2-4 mukainen laite aerosolivirran tuottamiseksi, tunnettu siitä, että ensimmäisessä täyteaineessa (3) on lämmityslaite (4) vähintään yhden reak-tioaineen lämmittämiseksi.
6. Jonkin patenttivaatimuksen 2-5 mukainen laite aerosolivirran tuottamiseksi, tunnettu siitä, että poistokappa-leen (2) ja jakajan (1) välissä on kaasua ja/tai höyryä läpi-päästävä erotuskappale (5), joka on olennaisesti läpäisemätön ensimmäisen täyteaineen (3) suhteen.
7. Jonkin patenttivaatimuksen 2-6 mukainen laite aerosolivirran tuottamiseksi, tunnettu siitä, että erotuskappale (5) sisältää kvartsivillaa ja/tai lasikutumattoa.
8. Jonkin patenttivaatimuksen 2-7 mukainen laite aerosolivirran tuottamiseksi, tunnettu siitä, että jakaja (1) sisältää erotuskappaleen (5) tukemiseksi mekaanisesti tukirakenteen ja/tai toisen täyteaineen, jossa on olennaisesti pienempi virtausvastus kuin ensimmäisessä täyteaineessa. 5 77637
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3417438 | 1984-05-11 | ||
| DE19843417438 DE3417438A1 (de) | 1984-05-11 | 1984-05-11 | Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines aerosolstromes |
Publications (4)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FI851870A0 FI851870A0 (fi) | 1985-05-10 |
| FI851870L FI851870L (fi) | 1985-11-12 |
| FI77637B FI77637B (fi) | 1988-12-30 |
| FI77637C true FI77637C (fi) | 1989-04-10 |
Family
ID=6235529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FI851870A FI77637C (fi) | 1984-05-11 | 1985-05-10 | Foerfarande och anordning foer framstaellning av en aerosolstroem. |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4636364A (fi) |
| EP (1) | EP0160858B1 (fi) |
| JP (1) | JPS60255140A (fi) |
| AT (1) | ATE35971T1 (fi) |
| DE (2) | DE3417438A1 (fi) |
| FI (1) | FI77637C (fi) |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4661140A (en) * | 1985-02-06 | 1987-04-28 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Gas reaction apparatus and multi-wall pipe type burner therefor |
| US4855112A (en) * | 1987-08-21 | 1989-08-08 | The University Of Tennessee Research Corporation | High efficiency apparatus for aerosol direct fluorination |
| US4779534A (en) * | 1987-11-10 | 1988-10-25 | Wang Chiey Yi | Rocket firecrackers giving out smoke before flying up |
| US4998479A (en) * | 1988-06-15 | 1991-03-12 | Perham William J | Smoke generating device with rechargable cartridge |
| US5225106A (en) * | 1988-09-16 | 1993-07-06 | Glass Bulbs Limited | Method of and apparatus for generating a fine dispersion of particles |
| US4917830A (en) * | 1988-09-19 | 1990-04-17 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Monodisperse aerosol generator |
| DE3902073A1 (de) * | 1989-01-25 | 1990-07-26 | Dynamit Nobel Ag | Vorrichtung zur schnellen erzeugung grossflaechiger nebel |
| US5160664A (en) * | 1991-05-31 | 1992-11-03 | Msp Corporation | High output monodisperse aerosol generator |
| US5609798A (en) * | 1995-06-07 | 1997-03-11 | Msp Corporation | High output PSL aerosol generator |
| EP1010672A1 (en) * | 1998-12-17 | 2000-06-21 | PIRELLI CAVI E SISTEMI S.p.A. | Method and apparatus for forming an optical fiber preform by combustionless hydrolysis |
| GB2346683A (en) * | 1999-02-05 | 2000-08-16 | Univ Glasgow | Flame hydrolysis deposition burner |
| JP3694483B2 (ja) * | 1999-07-13 | 2005-09-14 | ザ・テキサス・エイ・アンド・エム・ユニバーシティ・システム | 空気式噴霧用インターフェース、その製造及び使用方法、及びそれを含む装置 |
| US6412416B1 (en) * | 2001-03-19 | 2002-07-02 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Propellant-based aerosol generation devices and method |
| US20040187525A1 (en) * | 2003-03-31 | 2004-09-30 | Coffey Calvin T. | Method and apparatus for making soot |
| JP6170968B2 (ja) * | 2015-06-23 | 2017-07-26 | 株式会社フジクラ | 光ファイバ母材の製造方法、及び光ファイバの製造方法 |
| CN109395899A (zh) * | 2018-12-11 | 2019-03-01 | 深圳纪兴源科技股份有限公司 | 高速挤出涂装复合设备 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1296226A (en) * | 1917-04-09 | 1919-03-04 | Audley Hart Stow | Method of and means for producing smoke screens for ships. |
| US1358084A (en) * | 1918-12-18 | 1920-11-09 | Submarine Signal Co | Method of producing fog-screens |
| US1792929A (en) * | 1925-04-30 | 1931-02-17 | John T Remey | Method of projecting fluids |
| US2823979A (en) * | 1954-05-28 | 1958-02-18 | Goodrich Co B F | Method of making pigment |
| FR1402924A (fr) * | 1964-04-07 | 1965-06-18 | Dispositif pour l'obtention d'aérosols | |
| US3647377A (en) * | 1968-08-29 | 1972-03-07 | Titan Gmbh | Process for the manufacture of fine particle size titanium dioxide by reacting titanium tetrachloride with oxygen |
| JPS5927728B2 (ja) * | 1977-08-11 | 1984-07-07 | 日本電信電話株式会社 | 煤状ガラスロッドの製造方法 |
| US4241042A (en) * | 1978-06-19 | 1980-12-23 | Montedison S.P.A. | Spherical titanium dioxide particles and process of manufacture |
| CA1166527A (en) * | 1979-09-26 | 1984-05-01 | Shiro Takahashi | Method and apparatus for producing multi-component glass fiber preform |
| JPS57100928A (en) * | 1980-12-12 | 1982-06-23 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Burner for preparing base material for optical fiber |
| DE3326043A1 (de) * | 1983-07-20 | 1985-02-07 | Licentia Gmbh | Verfahren zur herstellung eines aerosolstromes und dessen verwendung |
-
1984
- 1984-05-11 DE DE19843417438 patent/DE3417438A1/de not_active Ceased
-
1985
- 1985-04-13 EP EP85104505A patent/EP0160858B1/de not_active Expired
- 1985-04-13 AT AT85104505T patent/ATE35971T1/de not_active IP Right Cessation
- 1985-04-13 DE DE8585104505T patent/DE3563951D1/de not_active Expired
- 1985-05-03 US US06/730,244 patent/US4636364A/en not_active Expired - Fee Related
- 1985-05-10 JP JP60098185A patent/JPS60255140A/ja active Pending
- 1985-05-10 FI FI851870A patent/FI77637C/fi not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| ATE35971T1 (de) | 1988-08-15 |
| EP0160858A1 (de) | 1985-11-13 |
| FI77637B (fi) | 1988-12-30 |
| JPS60255140A (ja) | 1985-12-16 |
| FI851870L (fi) | 1985-11-12 |
| EP0160858B1 (de) | 1988-07-27 |
| FI851870A0 (fi) | 1985-05-10 |
| DE3563951D1 (en) | 1988-09-01 |
| US4636364A (en) | 1987-01-13 |
| DE3417438A1 (de) | 1985-11-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| FI77637C (fi) | Foerfarande och anordning foer framstaellning av en aerosolstroem. | |
| KR100892123B1 (ko) | 폴리 실리콘 증착장치 | |
| KR100317414B1 (ko) | 유리질실리카제조방법및실리카합성버어너 | |
| CA2164676A1 (en) | Method and apparatus for delivering a glass stream for forming charges of glass | |
| JPH10511923A (ja) | ハロゲン化物を含まないケイ素含有化合物の垂直充填層フイルム蒸発器 | |
| DE19502550B4 (de) | Verbessertes Verfahren zur Hydrierung von Tetrachlorsilan | |
| GB2520009A (en) | Gas treatment apparatus | |
| GB2206576A (en) | Spherulizing furnace and process of manufacturing vitreous beads | |
| CN1833051B (zh) | 涂覆或改性表面的方法和设备 | |
| KR20130116311A (ko) | 사염화규소를 트리클로로실란으로 전환하기 위한 방법 및 장치 | |
| KR101329035B1 (ko) | 유동층 반응기 | |
| KR100921210B1 (ko) | 폴리 실리콘 증착장치 | |
| CN106132530A (zh) | 制备粒状多晶硅的反应器及方法 | |
| US10363534B2 (en) | Fluidized bed reactor for producing polycrystalline silicon granules and method for the assembly of such a fluidized bed reactor | |
| JP2001239151A (ja) | 気化装置 | |
| GB1081643A (en) | Method and apparatus for processing heat-softened mineral material | |
| WO2008066027A1 (fr) | Appareil de fabrication de trichlorosilane | |
| US8221691B2 (en) | Apparatus for producing trichlorosilane | |
| CN101284843A (zh) | 用于制备通式R(4－m－n)AClmHn,特别是硅烷的化合物或高纯化合物的方法和装置 | |
| CN107207266B (zh) | 制备多晶硅颗粒的流化床反应器和方法 | |
| WO2019084125A1 (en) | SYSTEMS AND METHODS FOR STEAM VAPORIZATION AND DISTRIBUTION | |
| CA2326836A1 (en) | Apparatus and method for delivering a cased glass stream | |
| JP7297108B2 (ja) | 液体シリコンを製造するための装置及び方法 | |
| JPH0234894B2 (ja) | Kisohannogarasuseizosochinogenryogasukyokyuki | |
| JPS57118347A (en) | Manufacture of tubular bulb |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM | Patent lapsed |
Owner name: LICENTIA PATENT- VERWALTUNGS-G.M.B.H. |