FI118930B - Förfarande för mikromekanisk mätning av acceleration och mikromekanisk accelerationssensor - Google Patents

Förfarande för mikromekanisk mätning av acceleration och mikromekanisk accelerationssensor Download PDF

Info

Publication number
FI118930B
FI118930B FI20055497A FI20055497A FI118930B FI 118930 B FI118930 B FI 118930B FI 20055497 A FI20055497 A FI 20055497A FI 20055497 A FI20055497 A FI 20055497A FI 118930 B FI118930 B FI 118930B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
sensor
measuring
value
acceleration
segment
Prior art date
Application number
FI20055497A
Other languages
English (en)
Finnish (fi)
Other versions
FI20055497A0 (sv
Inventor
Tuomo Lehtonen
Risto Mourujaervi
Teemu Salo
Jens Thurau
Original Assignee
Vti Technologies Oy
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Vti Technologies Oy filed Critical Vti Technologies Oy
Publication of FI20055497A0 publication Critical patent/FI20055497A0/sv
Priority to FI20055497A priority Critical patent/FI118930B/sv
Priority to US11/438,590 priority patent/US7516038B2/en
Priority to JP2008530556A priority patent/JP2009508133A/ja
Priority to EP06778576.6A priority patent/EP1957991B1/en
Priority to PCT/FI2006/050393 priority patent/WO2007031606A1/en
Priority to CN2006800280769A priority patent/CN101278200B/zh
Priority to EP13152164.3A priority patent/EP2587266B1/en
Priority to KR1020087001796A priority patent/KR101300478B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of FI118930B publication Critical patent/FI118930B/sv
Priority to JP2013018248A priority patent/JP5486097B2/ja

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/18—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration in two or more dimensions
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P21/00—Testing or calibrating of apparatus or devices covered by the preceding groups

Claims (50)

1. Ett förfarande för mätning av acceleration i tre dimensionsriktningar med hjälp av en mikromekanisk 5 accelerationssensor med värden, inom sensorns mätomrade, för den acceleration som sensorn utsätts för, vilken accelerationssensor omfattar minst fyra stycken, i olika mätriktningar mätande mätdon i sensorn, varvid av de fyra vektorer, som äskädliggör mätriktningarna hos mätdonen i 10 sensorn, inga tre ligger i samma pian, kännetecknat av, att man vid förfarandet genomför en fortgaende självtestning under uppstart och/eller användning av accelerationssensorn salunda, att man för de accelerationsvärden a]f a2, ä3, ... , som 15 erhalls som mätresultat i mätdonen i sensorn, med hjälp av vektorkalkyl ur ekvationen kxa1+k2a2+k333 +...+knan = 0 bestämmer koef f icienterna kx, k2, k3, ... kn sk, att värdet för uttrycket kx3l +k2a2 +k3ä3 + ... + kn3„ blir 0 da sensorn fungerar ·· • " felfritt, • 99 ♦ ♦ ♦ 20. man med bestämda tidsintervall mäter de • 99 *’** accelerationsvärden a., ä2, a3, ... an som mätdonen i sensorn * · t • · # ··· · ger, • · f ··· · .·**. - man räknar ut värdet för uttrycket kxax +k2a2 + k3a3 + ... + knan, »·· man jämför det nämnda uttryckets värde med ett pä 25 förhand bestämt tröskelvärde, och - man avger ett felmeddelande, ifall avvikelsen frän ·'·*: värdet 0 i det nämnda uttryckets värde överstiger det nämnda • · :***: pä förhand bestämda tröskelvärdet. 9·» 9 ·· 9 · 9 9 9 • .···. 30
2. Förfarande enligt patentkrav 1, kännetecknat 9·# av, att mätriktningarna för de i olika mätriktningar mätande mätdonen i sensorn väljs symmetriskt salunda, att man kan 118930 äskädliggöra de accelerationsvärden, som erhälls som mätresultat i de i fyra olika riktningar mätande mätdonen i sensorn, i form av ekvationerna: 5 äx=c-ax+c-a, a2 = c-av + C‘ä. o3 = -c · ax + c · ä, a4 =-c-ay+c-5,, 10 och att man ger de accelerationsvärden ax, a2, a3och a4, som erhälls som mätvärden i mätdonen i sensorn, koefficienter kx, k2, och k4 sä, att kx -k3=\ och k2=kA=-1.
3. Förfarande enligt patentkrav 1 eller 2, 15 kännetecknat av, att man förverkligat beräkningen av de nämnda vektoruttrycken med hjälp av skalära värden.
4. Förfarande enligt nagot av de föregaende patentkraven 1 • · · tili 3, kännetecknat av, att man avger • · · ··· 20 felmeddelandet, da avvikelsen frän värdet 0 i värdet för det • · « · • nämnda uttrycket överstigit det pä förhand bestämda ··* · • :*· tröskelvärdet i m fall. ·«« · ··· • · ♦ » ···
5. Ett förfarande för mätning av acceleration i tre :V: 25 dimensionsriktningar med hjälp av en mikromekanisk • · · ί : accelerationssensor med värden, inom sensorns mätomräde, för ·»· den acceleration som sensorn utsätts för, vilken • · • · .***. accelerationssensor omfattar minst fyra stycken, i olika • I· mätriktningar mätande mätdon i sensorn, varvid av de fyra • ·· 30 vektorer, som äskädliggör mätriktningarna hos mätdonen i ♦ · sensorn, inga tre ligger i samma pian, kännetecknat av, att man vid förfarandet genomför en fortgaende 118930 självtestning under uppstart och/eller användning av accelerationssensorn sälunda, att man för de skalära värdena a,, a2 , a3, ... an för accelerationerna a], a2 , 33, ... an, som erhälls som 5 mätresultat i mätdonen i sensorn, med hjälp av skalärkalkyl ur ekvationen k]a]+k2a2+k3a3+... + kno„=0 bestämmer koef ficienterna , k2, k3, ... kn sä, att värdet för uttrycket k^al+k2a2+k3a3+... + kna„ blir 0, da sensorn fungerar felfritt, 10. man med bestämda tidsintervall mäter de skalära värdena a,, a2, a3, ... an, som mätdonen i sensorn ger, för accelerationerna ä]r a2, a3, ... an, man räknar ut värdet för uttrycket &,a, +k2a2 +k3a3 + ... + knan, 15. man jämför det nämnda uttryckets värde med ett pä förhand bestämt tröskelvärde, och man avger ett felmeddelande, ifall avvikelsen frän M • *·· värdet 0 i det nämnda uttryckets värde överstiger det nämnda *·· :,ί · pä förhand bestämda tröskelvärdet. 20
• · · 6. Förfarande enligt patentkrav 5, kännetecknat • » i.i : av, att man avger felmeddelandet, da avvikelsen frän värdet * · * 0. värdet för det nämnda uttrycket överstigit det nämnda pä förhand bestämda tröskelvärdet i m fall. • · • · *.*.· 25
• · · • · *···' 7. Ett förfarande för mätning av acceleration i tre ·· · • dimensionsriktningar med hjälp av en mikromekanisk • · · :.,,ϊ accelerationssensor med värden, inom sensorns mätomräde, för ·*· den acceleration som sensorn utsätts för, vilken ·’**· 30 accelerationssensor omfattar minst fyra stycken, i olika M* mätriktningar mätande mätdon i sensorn, varvid av de fyra vektorer, som äskädliggör mätriktningarna hos mätdonen i 118930 sensorn, inga tre ligger i samma plan, kännetecknat av, att man vid förfarandet vid linear eller lineariserad mätning genomför en fortgaende självtestning under uppstart och/eller användning av accelerationssensorn sälunda, att 5 - man för de signalniväer η, s2, s3, ... sn som motsvarar de skalära värdena a,, a2, a3, ... för accelerationen som erhälls som mätresultat i mätdonen i sensorn, med hjälp av en känd of f-set-konstant k0 bestämmer koef ficienterna kt, k2, n k3, ... kn ur uttrycket ^ä(s(-£0=0 sä, att /=1 n 10 summeringsuttrycket A,5·,-Α0 f&r värdet 0, da sensorn i=l fungerar felfritt, man med bestämda tidsintervall mäter de signalniväer J,, s2, s3, ... sn som mätdonen i sensorn ger, n man räknar ut värdet för summeringsuttrycket ^k^s^k0, /=1 15. man jämför det nämnda summeringsuttryckets värde med M : *·· ett pä förhand bestämt tröskelvärde, och »·· * - man avger ett felmeddelande, ifall avvikelsen frän • · · värdet 0 i de nämnda summeringsuttryckens värden överstiger • · • · · : det nämnda pä förhand bestämda tröskelvärdet. • « • · · : 20
«·· • · *···* 8. Förfarande enligt patentkrav 7, kännetecknat av, att man avger felmeddelandet, dä avvikelsen frän värdet ♦ · · *^·* 0 i värdena för de nämnda summeringsuttrycken Överstigit det • t '·;·* nämnda pä förhand bestämda tröskelvärdet i m fall. • t · • · * : .· 25 • tl
9. Ett förfarande för mätning av acceleration i tvä dimensionsriktningar med hjälp av en mikromekanisk :***: accelerationssensor med värden, inom sensorns mätomräde, för den acceleration som sensorn utsätts för, vilken 30 accelerationssensor omfattar minst tre stycken, i olika 118930 mätriktningar mätande mätdon i sensorn, varvid av de tre vektorer, som äskädliggör mätriktningarna hos mätdonen i sensorn, inga tvä har samma riktning, kännetecknat av, att man vid förfarandet genomför en fortgäende 5 självtestning under uppstart och/eller användning av accelerationssensorn sälunda, att man för de accelerationsvärden 5,, a2, ... an, som erhalls som mätresultat i mätdonen i sensorn, med hjälp av vektorkalkyl ur ekvationen k^+k2a2+... + knan=0 bestämmer 10 koef f icienterna Λ,, k2, ... knsä, att värdet för uttrycket £,5, +k2a2 +... + &„a„ blir 0, dä sensorn fungerar felfritt, man med bestämda tidsintervall mäter de accelerationsvärden 5,, a2, ... a„ som mätdonen i sensorn ger, 15. man räknar ut värdet för uttrycket Ä,5, + k2a2+... + k„3„, man jämför det nämnda uttryckets värde med ett pä förhand bestämt tröskelvärde, och !*·.. - man avger ett felmeddelande, ifall avvikelsen frän ··· *.* * värdet 0 i det nämnda uttryckets värde överstiger det nämnda ·.·! 20 pä förhand bestämda tröskelvärdet. • · • « · • · · *·· · · • · « •·ί ϊ
10. Förfarande enligt patentkrav 9, kännetecknat *·» • · *···' av, att mätriktningarna för de i olika riktningar mätande mätdonen i sensorn väljs symmetriskt salunda, att man kan • * * 25 äskädliggöra de accelerationsvärden, som erhalls som « · *”* mätresultat i de i fyra olika riktningar mätande mätdonen i M · : *.· sensorn, i form av ekvationerna: ·*· • · *···* a, = där ·· ϊ ’* ä2=dä »M Λ : : 30 ä3 = -d «( a4 = -d-ay, 118930 och att man ger de accelerationsvärden a,, a2, a3 och a4, som erhälls som mätresultat i mätdonen i sensorn, koefficienter klt k2, k2 och k4 sa, att kx=k2=k2=kA~\ . 5
11. Förfarande enligt patentkrav 9 eller 10, kännetecknat av, att man förverkligat beräkningen av de nämnda vektoruttrycken med hjälp av skalära värden.
12. Förfarande enligt nägot av de föregäende patentkraven 9 10 tili 11, kännetecknat av, att man avger felmeddelandet, da avvikelsen frän värdet 0 i värdet för det nämnda uttrycket överstigit det nämnda pä förhand bestämda tröskelvärdet i m fall.
13. Ett förfarande för mätning av acceleration i tvä dimensionsriktningar med hjälp av en mikromekanisk accelerationssensor med värden, inom sensorns mätomräde, för den acceleration som sensorn utsätts för, vilken ·· • '·· accelerationssensor omfattar minst tre stycken, i olika • *· V : 20 mätriktningar mätande mätdon i sensorn, varvid av de tre ..li* vektorer, som äskädliggör mätriktningarna hos mätdonen i • · · sensorn, inga tva har samma riktning, kännetecknat • · I.; : av, att man vid förfarandet genomför en fortgäende självtestning under uppstart och/eller användning av 25 accelerationssensorn sälunda, att • t • · · - man för de skalära värden a,, a2, ... a„ för • · • · •M _ acce lerationerna a,, a2, ... an , som erhalls som mätresultat • · · • · i mätdonen i sensorn, med hjälp av skalärkalkyl ur ekvationen +knan= 0 bestämmer koefficienterna k]f • · • '* ,···, 30 k2, ... knsä, att värdet för uttrycket &,α, +k2a2 +... + knan blir • · • m 0, da sensorn fungerar felfritt, 118950 man med bestämda tidsintervall mäter de skalära värdena a,, a2 , . . . a„ som mätdonen i sensorn ger för accelerationerna at, a2, ... an, man räknar ut värdet för uttrycket kxax + k2a2 +... + kna„, 5. man jämför det nämnda uttryckets värde med ett pä förhand bestämt tröskelvärde, och man avger ett felmeddelande, ifall avvikelsen frän värdet 0 i det nämnda uttryckets värde överstiger det nämnda pä förhand bestämda tröskelvärdet 10
14. Förfarande enligt patentkrav 13, kännetecknat av, att man avger felmeddelandet, da avvikelsen frän värdet 0 i värdet för det nämnda uttrycket överstigit det nämnda pä förhand bestämda tröskelvärdet i m fall. 15
15. Ett förfarande för mätning av acceleration i tvä dimensionsriktningar med hjälp av en mikromekanisk accelerationssensor med värden, inom sensorns mätomräde, för ·· • *·· den acceleration som sensorn utsätts för, vilken ··« V * 20 accelerationssensor omfattar minst tre stycken, i olika mätriktningar mätande mätdon i sensorn, varvid av de tre • · : vektorer, som äskädliggör mätriktningarna hos mätdonen i • « : sensorn, inga tvä har sarana riktning, kännetecknat *··.* av, att man vid förfarandet vid lineär eller lineariserad 25 mätning genomför en fortgäende självtestning under uppstart • · * · · *·*·* och/eller användning av accelerationssensorn sälunda, att • ♦ **· - man för de signalniväer s, , s2, ... J„som motsvarar de ·· * • · · ·##·* skalära värdena a,, a2, ... an för accelerationen som erhälls • · • * ‘I* som mätresultat i mätdonen i sensorn, med hjälp av en känd ·· 30 off-set-konstant k0 bestämmer koefficienterna k]t k2, ... kn • · • · «·* 118930 fl ur uttrycket sä, att summeringsuttryckets i=l n värde blir 0, da sensorn fungerar felfritt, i=l man med bestämda tidsintervall mäter de signalniväer J,, s2, ... s„ som mätdonen i sensorn ger, ft 5. man räknar ut värdet för summeringsuttrycket ^k,s,-k0, 1-] man jämför det nämnda summeringsuttryckets värde med ett pä förhand bestämt tröskelvärde, och man avger ett felmeddelande, ifall avvikelsen frän värdet 0 i de nämnda summeringsuttryckens värden överstiger 10 det nämnda pä förhand bestämda tröskelvärdet.
16. Förfarande enligt patentkrav 15, kännetecknat av, att man avger felmeddelandet, dä avvikelsen frän värdet 0. värdena för de nämnda summeringsuttrycken överstigit det 15 nämnda pä förhand bestämda tröskelvärdet i m fall. ·· t · • ·* #»j*#
17. En mikromekanisk accelerationssensor för mätning av • · * ,·, acceleration i tre dimensionsriktningar med värden, inom ···« • .·. sensorns mätomrade, för den acceleration som sensorn utsätts • ♦ · ··· ♦ : .·. 20 för, vilken accelerationssensor omfattar minst fyra stycken, • · · ·«· · .*··. i olika mätriktningar mätande mätdon i sensorn, varvid av de ··· fyra vektorer, som äskädliggör mätriktningarna hos mätdonen 1 sensorn, inga tre ligger i samma pian, • · .***. kännetecknad av, att accelerationssensorn omfattar ··» 25 medel (1-4) för att utföra fortgäende självtestning under • · uppstart och/eller användning, vilka medel omfattar ett • ^ · • mätsegment i sensorn (1), ett självtestningssegment i • · • “ sensorn (2), ett jämförelsesegment i sensorn (3) och ett • * ***** alarmeringssegment (4) sälunda, att 118930 mätsegmentet i sensorn (1) omfattar medel för att med hjälp av mätdonen i sensorn med bestämda tidsintervall mätä accelerationer som verkar i ett flertal olika riktningar, och för att tili självtestningssegmentet i sensorn (2) avge 5 de som mätresultat erhallna accelerationsvärdena a]f a2, a3, ... a„, självtestningssegmentet i sensorn (2) omfattar medel för att med hjälp av vektorkalkyl ur uttrycket Λ,α, + k2a2 + &3a3 +... + knan = 0 bestämma koef f icienterna λ,, k2, k2, 10 ... kn för de som mätresultat i mätdonen i sensorn erhallna accelerationerna a]f ä2, a3, ... än sä att värdet för uttrycket kfiy+k2a2+k2ä2+... + knan blir 0, dä sensorn fungerar felfritt, självtestningssegmentet i sensorn (2) ytterligare 15 omfattar medel för att räkna ut värdet för uttrycket ^5,+fc2ö2+fc3ä3+... + fc„an för de med bestämda tidsintervall uppmätta accelerationsvärden a,, ä2, a3, ... an som erhälls * · • · * som mätresultat i mätdonen i sensorn, samt medel för att • · · • · · * . avge värdet för det nämnda uttrycket tili «*· "" 20 jämförelsesegmentet i sensorn (3), • · · • · · !*V - jämförelsesegmentet i sensorn (3) omfattar medel för • · · ··· · ^ ,···, att jämföra det nämnda uttryckets Λ,α, +&252 + Ä3a3 +„. + knan värde med ett visst pä förhand bestämt tröskelvärde, och ·*·*· - jämförelsesegmentet i sensorn (3) ytterligare omfattar • · ·***· 25 medel för att avge ett felmeddelande tili ·«· i :*·*· alarmeringssegmentet (4), ifall avvikelsen frän värdet 0 i • · ;***: det nämnda uttryckets värde överstiger det nämnda pä förhand • M ··] bestämda tröskelvärdet. • ·· • • M • 4 • «··
18. Mikromekanisk accelerationssensor enligt patentkrav 17, kännetecknad av, att mätriktningarna för de i olika 118930 riktning mätande mätdonen i sensorn är symmetriskt valda sälunda, att man kan äskädliggöra de accelerationsvärden, som erhälls som mätresultat i de i fyra olika riktningar mätande mätdonen i sensorn, i form av ekvationerna: 5 5, = c-3x + c-a2 ä2 ~C‘ay+C'äz 33 = -c ax + c at aA =-c-ay+c-ä:, 10 och att man givit de accelerationsvärden 5,, a2, a3 och aA, som erhälls som mätresultat i mätdonen i sensorn, koefficienterna kx, k2, &3 och kA sä, att fc,=fc3=l och k2 = kA = —1 . 15
19. Mikromekanisk accelerationssensor enligt patentkrav 17 eller 18, kännetecknad av, att beräkningen av de t· J 1 2 3·· nämnda vektoruttrycken förverkligats med hjälp av skalära • · » V 1 värden.
« * 20 *«·· • · ϊ,: ; 20. Mikromekanisk accelerationssensor enligt nägot av de • · :.: : föregäende patentkraven 17 till 19, kännetecknad av, *·· • · **** att felmeddelandet avges, dä avvikelsen frän värdet Ö i . . värdet för det nämnda uttrycket överstigit det nämnda pä • I · * · · 25 förhand bestämda troskelvärdet i m fall. • 1 • « ·1· « «1 1 1 · ·1
21. Mikromekanisk accelerationssensor enligt nägot av de ««· • · 2 *··1’ föregäende patentkraven 17 tili 20, kännetecknad av, »« j 1.. att jämförelsesegmentet i sensorn (3) är förenat med 3 !...· 30 självtestningssegmentet i sensorn (2) . 118930
22. Mikromekanisk accelerationssensor enligt nagot av de föregäende patentkraven 17 tili 21, kännetecknad av, att mätsegmentet i sensorn (1) är förenat med självtestningssegmentet i sensorn (2). 5
23. Mikromekanisk accelerationssensor enligt nagot av de föregäende patentkraven 17 tili 22, kännetecknad av, att alarmeringssegmentet i sensorn (4) är förenat med jämförelsesegmentet i sensorn (3). 10
24. En mikromekanisk accelerationssensor för mätning av acceleration i tre dimensionsriktningar med värden, inom sensorns mätomräde, för den acceleration som sensorn utsätts för, vilken accelerationssensor omfattar minst fyra stycken, 15. olika mätriktningar mätande mätdon i sensorn, varvid av de fyra vektorer, som äskädliggör mätriktningarna hos mätdonen i sensorn, inga tre ligger i samma pian, kännetecknad av, att accelerationssensorn omfattar medel (1-4) för att utföra fortgäende självtestning under ·· : *·* 20 uppstart och/eller användning, vilka medel omfattar ett • ·· *.* * mätsegment i sensorn (1), ett självtestningssegment i sensorn (2), ett jämförelsesegment i sensorn (3) och ett * · • · · *·· · alarmeringssegment (4) sälunda, att • · • « · ϊ - mätsegmentet i sensorn (1) omfattar medel för att med • · · • * *·♦·* 25 hjälp av mätdonen i sensorn med bestämda tidsintervall mätä accelerationer som verkar i ett flertal olika riktningar, • · · **!;* och för att tili självtestningssegmentet i sensorn (2) avge • · • · de som mätresultat erhällna skalära värdena a,, a2, a3, ... ♦ * · • · · • * för accelerationerna o,, ä2, S3, ... a , * · • ♦ • · · 30. självtestningssegmentet i sensorn (2) omfattar medel • · • · · *... för att för de som mätresultat erhällna skalära värdena ö, , • · 1 • · ··« a2, a3, ... an för accelerationerna a,, ä2, a3, ... a(, med 118930 hjälp av skalär kalkyl ur uttrycket + k2a2 + k3a3 + ...+ knan - O bestämma koef f icienterna , k2, k3, ... k„ sä, att värdet för uttrycket Λ,α, +k2a2 + k3a3 +... + kna„ blir Ö, dä sensorn fungerar felfritt, 5. självtestningssegmentet i sensorn (2) ytterligare omfattar medel för att räkna ut värdet för uttrycket k\ai + k2a2 + k3a3 +... + knan för de med bestämda tidsintervall uppmätta accelerationsvärden 5,, α2, α3, ... α„ som erhälls som mätresultat i mätdonen i sensorn, samt medel för att 10 avge värdet för det nämnda uttrycket tili jämförelsesegmentet i sensorn (3), jämförelsesegmentet i sensorn (3) omfattar medel för att jämföra det nämnda uttryckets kxax+k2a2+k3a3+... + knan värde med ett visst pä förhand bestämt tröskelvärde, och 15 - jämförelsesegmentet i sensorn (3) ytterligare omfattar medel för att avge ett felmeddelande tili alarmeringssegmentet (4), ifall avvikelsen frän värdet 0 i det nämnda uttryckets värde överstiger det nämnda pa förhand • M bestämda tröskelvärdet. • « · 20 * •M* : .·.
25. Mikromekanisk accelerationssensor enligt patentkrav 24, • t · ·*· · kännetecknad av, att felmeddelandet avges, dä • · · • · · » .*··. avvikelsen frän värdet 0 i värdet för det nämnda uttrycket ··· överstigit det nämnda pä förhand bestämda tröskelvärdet i m ;V. 25 fall. • · *♦· • · • * ··
26. Mikromekanisk accelerationssensor enligt patentkrav 24 • · eller 25, kännetecknad av, att jämförelsesegmentet i *··* ·* sensorn (3) ar förenat med självtestningssegmentet i sensorn 30 (2). • · * · ··· 118930
27. Mikromekanisk accelerationssensor enligt nägot av de föregäende patentkraven 17 tili 21, kännetecknad av, att mätsegmentet i sensorn (1) är förenat med självtestningssegmentet i sensorn (2). 5
28. Mikromekanisk accelerationssensor enligt nagot av de föregäende patentkraven 17 tili 22, kännetecknad av, att alarmeringssegmentet i sensorn (4) är förenat med jämförelsesegmentet i sensorn (3). 10
29. En mikromekanisk accelerationssensor för mätning av acceleration i tre dimensionsriktningar med värden, inom sensorns mätomräde, för den acceleration som sensorn utsätts för, vilken accelerationssensor omfattar minst fyra stycken, 15. olika mätriktningar mätande mätdon i sensorn, varvid av de fyra vektorer, som äskädliggör mätriktningarna hos mätdonen i sensorn, inga tre ligger i samma pian, kännetecknad av, att accelerationssensorn omfattar medel (1-4) för att utföra fortgäende självtestning under • · • · • ** 20 uppstart och/eller användning, vilka medel omfattar ett • · · • · · *·* mätsegment i sensorn (1), ett självtestningssegment i • * · •••j sensorn (2), ett jämförelsesegment i sensorn (3) och ett • * · **·/ alarmeringssegment (4) sälunda, att • t · • · · - mätsegmentet i sensorn (1) omfattar medel för att med * · * · *** 25 hjälp av mätdonen i sensorn med bestämda tidsintervall mätä .. accelerationer som verkar i ett flertal olika riktningar, • i i • * « *.! och för att tili s jälvtestningssegmentet i sensorn (2) avge • ! * · · >φ·# de som mätresultat erhällna signalniväer , s2, s·,, sn • * * * · • · ,···. som motsvarar de skalära värdena a,, a2 , a3, ... an för • * ··* 30 accelerationen, • 4 ·· [... - självtestningssegmentet i sensorn (2) omfattar medel * S för att med hjälp av en känd off-set-konstant k0 bestämma 118930 n koef f icienterna kx, k2, £·,, ... kn ui uttrycket ^ikislk0 =0för /=1 de som mätresultat i mätdonen i sensorn erhällna signalnivaer s\ r s2 r si' ··· sn som motsvarar de skalära värdena e,, a2, a3, ... Λ,, för accelerationen sä, att summeringsuttryckets n 5 värde blir 0, da sensorn fungerar felfritt, /=1 självtestningssegmentet i sensorn (2) ytterligare omfattar medel för att räkna ut värdet för n summeringsuttrycket ^ för de som mätresultat i i=l mätdonen i sensorn erhällna signalniväer sx, s2, s3, ... sn 10 som motsvarar de skalära värdena a,, a2, a3, ... a„ för accelerationen, samt medel för att avge värdet för det nämnda uttrycket tili jämförelsesegmentet i sensorn (3), jämförelsesegmentet i sensorn (3) omfattar medel för n att jämföra det nämnda summeringsuttryckets -k0 värde /=1 • · • · • '* 15 med ett pä förhand bestämt tröskelvärde, och 999 • * · jämförelsesegmentet i sensorn (3) ytterligare omfattar «·· ··*! medel för att avge ett felmeddelande tili • · « alarmeringssegmentet (4), ifali avvikelsen frän värdet 0 i • * · det nämnda uttryckets värde överstiger det nämnda pä förhand • j *** 20 bestämda tröskelvärdet. • 9 • 9 · • · ·
30. Mikromekanisk accelerationssensor enligt patentkrav 29, • « • · kännetecknad av, att felmeddelandet avges, dä ·· 9 * · · : ·* avvikelsen frän värdet 0 i värdet för det nämnda uttrycket 9·· 9 9 *···* 25 överstigit det nämnda pä förhand bestämda tröskelvärdet i m I’’.. fall. 999 9 9 • 9 999
31. Mikromekanisk accelerationssensor enligt patentkrav 29 eller 30, kännetecknad av, att jämförelsesegmentet i 118930 sensorn (3) är förenat med självtestningssegmentet i sensorn (2) .
32. Mikromekanisk accelerationssensor enligt nägot av de 5 föregäende patentkraven 29 tili 31, kännetecknad av, att mätsegmentet i sensorn (1) är förenat med självtestningssegmentet i sensorn (2).
33. Mikromekanisk accelerationssensor enligt nagot av de 10 föregäende patentkraven 29 tili 32, kännetecknad av, att alarmeringssegmentet i sensorn (4) är förenat med jämforelsesegmentet i sensorn (3).
34. En mikromekanisk accelerationssensor för mätning av 1$ acceleration i tvä dimensionsriktningar med värden, inom sensorns mätomräde, för den acceleration som sensorn utsätts för, vilken accelerationssensor omfattar minst tre stycken, i olika mätriktningar mätande mätdon i sensorn, varvid av de tre vektorer, som äskädliggör mätriktningarna hos mätdonen i .. 20 sensorn, inga tvä har samma riktning, kännetecknad av, att accelerationssensorn omfattar medel (1-4) för att *·* * ^ utföra fortgäende självtestning under uppstart och/eller ·*·· ; användning, vilka medel omfattar ett mätsegment i sensorn * » · ··· · j .·. (1), ett självtestningssegment i sensorn (2), ett • · · ··· · .···. 25 jämförelsesegment i sensorn (3) och ett alarmeringssegment • · ··· (4) sälunda, att }·.*. - mätsegmentet i sensorn (1) omfattar medel för att med • * ·’**. hjälp av mätdonen i sensorn med bestämda tidsintervall mätä • · » accelerationer som verkar i ett flertal olika riktningar, • « 30 och för att tili s jälvtestningssegmentet i sensorn (2) avge • · % * · ,,· de som mätresultat erhällna accelerationsvärdena , a2 , ... • · • n • Ml Q , • « *^11 f • * M· 118930 självtestningssegmentet i sensorn (2) omfattar medel för att med hjälp av vektorkalkyl ur uttrycket k]al+k2a2+...+knan = 0 bestämma koefficienterna k]f k2, ... kn sä att, värdet för uttrycket fc,a, +k2a2 +... + k„an blir 0, da sensorn 5 fungerar felfritt, självtestningssegmentet i sensorn (2) ytterligare omfattar medel för att räkna ut värdet för uttrycket k}ä^+k2ä2+...+knän för de med bestämda tidsintervall uppmätta accelerationsvärden 5,, ä2, ... an som erhälls som 10 mätresultat i mätdonen i sensorn, samt medel för att avge värdet för det nämnda uttrycket tili jämförelsesegmentet i sensorn (3), jämförelsesegmentet i sensorn (3) omfattar medel för att jämföra det nämnda uttryckets +k2a2 +... + knan värde med 15 ett visst pä förhand bestämt tröskelvärde, och jämförelsesegmentet i sensorn (3) ytterligare omfattar medel för att avge ett felmeddelande tili alarmeringssegmentet (4), ifall avvikelsen frän värdet 0 i det nämnda uttryckets värde överstiger det nämnda pä förhand 20 bestämda tröskelvärdet. ···· • * • » i
• * * ··* · • ·*; 35. Mikromekanisk accelerationssensor enligt patentkrav 34, kännetecknad av, att mätriktningarna för de i olika ··· riktningar mätande mätdonen i sensorn är symmetriskt valda :V; 25 sälunda, att man kan äskädliggöra de accelerationsvärden, som erhälls som mätresultat i de i fyra olika riktningar mätande mätdonen i sensorn, i form av ekvationerna: • · • » ·***· a, =da a2 =d ·5ν • ·· 1 y »«· 30 α3--ά·αχ a4 = -d · ay, 118930 och att man gett de accelerationsvärden 5,, a2, 5, och a4, som erhälls som mätresultat i mätdonen i sensorn, koefficienter kx, k2, k2 och k4 sä, att k]=k2=ki=k4.
36. Mikromekanisk accelerationssensor enligt patentkrav 34 eller 35, kännetecknad av, att man förverkligat beräkningen av de nämnda vektoruttrycken med hjälp av skalära värden.
37. Mikromekanisk accelerationssensor enligt nägot av de föregäende patentkraven 34 tili 36, kännetecknad av, att felmeddelandet avges, dä avvikelsen frän värdet 0 i värdet för det nämnda uttrycket överstigit det nämnda pä förhand bestämda tröskelvärdet i m fall. 15
38. Mikromekanisk accelerationssensor enligt nägot av de föregäende patentkraven 34 tili 37, kännetecknad av, att jämförelsesegmentet i sensorn (3) är förenat med självtestningssegmentet i sensorn (2). • · • * ♦ 20 ··· « « · * t*
39. Mikromekanisk accelerationssensor enligt nägot av de • M "** föregäende patentkraven 34 tili 38, kännetecknad av, • i · • · % ,**,* att mätsegmentet i sensorn (1) är förenat med • · · • · » s jälvtestningssegmentet i sensorn (2) . : : ·*· 25 ..
40. Mikromekanisk accelerationssensor enligt nägot av de • * S föregäende patentkraven 34 tili 39, kännetecknad av, « · • * 9 • att alarmeringssegmentet i sensorn (4) är förenat med • · » *..** jämförelsesegmentet i sensorn (3) . • · jo j
*·· 41. En mikromekanisk accelerationssensor för mätning av ··· *...· acceleration i tvä dimensionsriktningar med värden, inom sensorns mätomräde, för den acceleration som sensorn utsätts 118930 för, vilken accelerationssensor omfattar minst tre stycken, i olika mätriktningar mätande mätdon i sensorn, varvid av de tre vektorer, som äskädliggör mätriktningarna hos mätdonen i sensorn, inga tvä har samma riktning, kännetecknad 5 av, att accelerationssensorn omfattar medel (1-4) för att utföra fortgäende självtestning under uppstart och/eller användning, vilka medel omfattar ett mätsegment i sensorn (1), ett självtestningssegment i sensorn (2), ett jämförelsesegment i sensorn (3) och ett alarmeringssegment 10 (4) sälunda, att mätsegmentet i sensorn (1) omfattar medel för att med hjälp av mätdonen i sensorn med bestämda tidsintervall mätä accelerationer som verkar i ett flertal olika riktningar, och för att tili självtestningssegmentet i sensorn (2) avge 15 de som mätresultat erhällna skalära värdena a,, a2, ... an för accelerationerna ax, a2, ... an, självtestningssegmentet i sensorn (2) omfattar medel för att för de som mätresultat i mätdonen i sensorn erhällna skalära värdena a,, a2, ... a„ för accelerationerna 5,, a2, ··» _ ϊ 20 ... a„, med hjälp av skalärkalkyl ur uttrycket ··« 1^αχ+Η2α2+... + knan=0 bestämma koef f icienterna kx, k2, ... kn sä, • #*· ♦ · · att värdet för uttrycket kxax + k2a2 +... + knan blir 0, da sensorn f · · *·· · .···. fungerar felfritt, ·*♦ självtestningssegmentet i sensorn (2) ytterligare 25 omfattar medel för att räkna ut värdet för uttrycket • · j***: kxax +k2a2 +... + ka.. för de med bestämda tidsintervall uppmätta ··« "·*· accelerationer a,, S2, ... än som erhälls som mätresultat i • ♦ mätdonen i sensorn, samt medel för att avge värdet för det j*.## nämnda uttrycket tili jämförelsesegmentet i sensorn (3) , « ·***· 30 - jämförelsesegmentet i sensorn (3) omfattar medel för ··· att jämföra det nämnda uttryckets kxax+k2a2+...+knan värde med ett visst pä förhand bestämt tröskelvärde, och 118930 jämförelsesegmentet i sensorn (3) ytterligare omfattar medel för att avge ett felmeddelande tili alarmeringssegmentet (4), ifall avvikelsen frän värdet 0 i det nämnda uttryckets värde överstiger det nämnda pä förhand 5 bestämda tröskelvärdet.
42. Mikromekanisk accelerationssensor enligt patentkrav 41, kännetecknad av, att felmeddelandet avges, da avvikelsen frän värdet 0 i värdet för det nämnda uttrycket 10 överstigit det nämnda pä förhand bestämda tröskelvärdet i m fall.
43. Mikromekanisk accelerationssensor enligt patentkrav 41 eller 42, kännetecknad av, att jämförelsesegmentet i 15 sensorn (3) är förenat med självtestningssegmentet i sensorn (2) .
44. Mikromekanisk accelerationssensor enligt nägot av de föregäende patentkraven 41 tili 43, kännetecknad av, • · • · · *... 20 att mätsegmentet i sensorn (1) är förenat med ♦ · · • » · * , självtestningssegmentet i sensorn (2). ···* • · · · * * · J*V
45. Mikromekanisk accelerationssensor enligt nägot av de • ♦ · • || f ,*..t föregäende patentkraven 41 tili 44, kännetecknad av, • · 25 att alarmeringssegmentet i sensorn (4) är förenat med jämförelsesegmentet i sensorn (3) . • · · • · ··· • · • 4 ···
46. En mikromekanisk accelerationssensor för mätning av • 4 4 • · acceleration i tvä dimensionsriktningar med värden, inom • · • · *1’ 30 sensorns mätomräde, för den acceleration som sensorn utsätts • 4 • · ί ** för, vilken accelerationssensor omfattar minst tre stycken, «·· *···* i olika mätriktningar mätande mätdon i sensorn, varvid av de tre vektorer, som äskädliggör mätriktningarna hos mätdonen i sensorn, inga tvä har samma riktning, kännetecknad 118930 av, att accelerationssensorn omfattar medel (1-4) för att utföra fortgäende självtestning under uppstart och/eller användning, vilka medel omfattar ett mätsegment i sensorn (1), ett självtestningssegment i sensorn (2), ett 5 jämförelsesegment i sensorn (3) och ett alarmeringssegment (4) sälunda, att mätsegmentet i sensorn (1) omfattar medel för att med hjälp av mätdon i sensorn med bestämda tidsintervall mätä accelerationer som verkar i ett flertal olika riktningar, 10 och för att till självtestningssegmentet i sensorn (2) avge de signalnivaer , s2, ... sn som erhallits som mätresultat, vilka motsvarar de skalära accelerationsvärdena a,, a2, ... ' självtestningssegmentet i sensorn (2) omfattar medel 15 för att med hjälp av en känd off-set-konstant k0 bestämma n koef f icienterna k}, k2, ... kn ur uttrycket ^kts,-k0 =0för de /•I som mätresultat i mätdonen i sensorn erhällna signalniväer s,, ·* • · • · · *... s2, ... sn som motsvarar de skalära accelerationerna ö, , a2, • · · * · * • n ... a„ sä, att summeringsuttryckets -fc0 värde blir 0, dä ; 20 sensorn fungerar felfritt, • · I ··· · ,···. - självtestningssegmentet i sensorn (2) omfattar medel • » ♦ ·* n för att räkna ut värdet för summeringsuttrycket för • * • · · /=1 • ♦ ♦ • ♦ .*··. de som mätresultat i mätdonen i sensorn erhällna signalnivaer ♦ ··* •·|· s}, s2, ... sn som motsvarar de skalära accelerationsvärdena • ♦ • * ;***. 25 a,, a2, ... an, samt medel för att avge värdet för det nämnda «·· uttrycket tili jämförelsesegmentet i sensorn (3) , • ## ··· • · • · ··· 118930 jäinforelsesegmentet i sensorn (3) omfattar medel för n att jämföra det nämnda summeringsuttryckets ^ värde i=l med ett visst pä förhand bestämt tröskelvärde, och jämförelsesegmentet i sensorn (3) ytterligare omfattar 5 medel för att avge ett felmeddelande tili alarmeringssegmentet (4), ifall avvikelsen frän värdet 0 i det nämnda uttryckets värde Överstiger det nämnda pä förhand bestämda tröskelvärdet.
47. Mikromekanisk accelerationssensor enligt patentkrav 46, 10 kännetecknad av, att felmeddelandet avges, dä avvikelsen frän värdet 0 i värdet för det nämnda uttrycket överstigit det nämnda pä förhand bestämda tröskelvärdet i m fall.
48. Mikromekanisk accelerationssensor enligt patentkrav 46 eller 47, kännetecknad av, att jämförelsesegmentet i sensorn (3) är förenat med självtestningssegmentet i sensorn (2). • ·# ··· • * * *** * β·β 20
49. Mikromekanisk accelerationssensor enligt nägot av de * • föregäende patentkraven 46 tili 48, kännetecknad av, • · · «M · j ,·. att mätsegmentet i sensorn (1) är förenat med • * · · ··· · .··», s jälvtestningssegmentet i sensorn (2) . • · «·«
50. Mikromekanisk accelerationssensor enligt nägot av de * · * • « .***. föregäende patentkraven 46 tili 49, kännetecknad av, ·«· att alarmeringssegmentet i sensorn (4) är förenat med • * jämförelsesegmentet i sensorn (3). • * ··· ·* • · • ·· ·«· • · • · «··
FI20055497A 2005-09-16 2005-09-16 Förfarande för mikromekanisk mätning av acceleration och mikromekanisk accelerationssensor FI118930B (sv)

Priority Applications (9)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20055497A FI118930B (sv) 2005-09-16 2005-09-16 Förfarande för mikromekanisk mätning av acceleration och mikromekanisk accelerationssensor
US11/438,590 US7516038B2 (en) 2005-09-16 2006-05-23 Method for the mircomechanical measurement of acceleration and a micromechanical acceleration sensor
PCT/FI2006/050393 WO2007031606A1 (en) 2005-09-16 2006-09-15 A method for the micromechanical measurement of acceleration and a micromechanical acceleration sensor
EP06778576.6A EP1957991B1 (en) 2005-09-16 2006-09-15 A method for the micromechanical measurement of acceleration and a micromechanical acceleration sensor
JP2008530556A JP2009508133A (ja) 2005-09-16 2006-09-15 加速度の微小機械式計測方法および微小機械式加速度センサー
CN2006800280769A CN101278200B (zh) 2005-09-16 2006-09-15 用于微机械测量加速度的方法和微机械加速度传感器
EP13152164.3A EP2587266B1 (en) 2005-09-16 2006-09-15 A method for the micromechanical measurement of acceleration and a micromechanical acceleration sensor
KR1020087001796A KR101300478B1 (ko) 2005-09-16 2006-09-15 마이크로기계 가속 측정 방법 및 마이크로기계 가속 센서
JP2013018248A JP5486097B2 (ja) 2005-09-16 2013-02-01 加速度の微小機械式計測方法および微小機械式加速度センサー

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20055497 2005-09-16
FI20055497A FI118930B (sv) 2005-09-16 2005-09-16 Förfarande för mikromekanisk mätning av acceleration och mikromekanisk accelerationssensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FI20055497A0 FI20055497A0 (sv) 2005-09-16
FI118930B true FI118930B (sv) 2008-05-15

Family

ID=35151464

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI20055497A FI118930B (sv) 2005-09-16 2005-09-16 Förfarande för mikromekanisk mätning av acceleration och mikromekanisk accelerationssensor

Country Status (7)

Country Link
US (1) US7516038B2 (sv)
EP (2) EP1957991B1 (sv)
JP (2) JP2009508133A (sv)
KR (1) KR101300478B1 (sv)
CN (1) CN101278200B (sv)
FI (1) FI118930B (sv)
WO (1) WO2007031606A1 (sv)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7805231B2 (en) * 2006-06-29 2010-09-28 Delphi Technologies, Inc. Integrated vehicle crash sensing system and method
FR2920870B1 (fr) * 2007-09-07 2009-11-27 Snecma Dispositif de validation de mesures d'une grandeur cinematique.
US20100122565A1 (en) * 2008-11-15 2010-05-20 Freescale Semiconductor, Inc. Continuous selftest for inertial sensors at 0 hz
US8266962B2 (en) * 2009-01-28 2012-09-18 Infineon Technologies Ag Acceleration sensor
US8668832B2 (en) * 2010-03-19 2014-03-11 Severn Trent De Nora, Llc Wastewater treatment onboard small marine vessels
DE102012200796A1 (de) 2012-01-20 2013-07-25 Robert Bosch Gmbh System und Verfahren zur plausibilisierten Beschleunigungsmessung
DE102012222724A1 (de) 2012-12-11 2014-06-12 Robert Bosch Gmbh Redundante Signalerfassung
DE102012222690A1 (de) 2012-12-11 2014-06-12 Robert Bosch Gmbh Redundante Sensorauswertung eines Mehrachsen-Sensors
CN103048013B (zh) * 2012-12-25 2015-05-06 中北大学 可变环境下微纳传感器的自动加载平台
US9297826B2 (en) * 2013-03-08 2016-03-29 Freescale Semiconductor Inc. System and method for monitoring an accelerometer
DE112014006393T5 (de) 2014-02-21 2016-11-17 Mitsubishi Electric Corporation Beschleunigungssensor und aktive Geräuschsteuervorrichtung

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5103667A (en) 1989-06-22 1992-04-14 Ic Sensors, Inc. Self-testable micro-accelerometer and method
JPH03282371A (ja) * 1990-03-30 1991-12-12 Nec Corp 加速度計
JPH04315058A (ja) 1991-04-12 1992-11-06 Toyota Motor Corp 移動物体の加速度検出装置の検出異常判定装置
JP2867103B2 (ja) * 1992-11-13 1999-03-08 リオン株式会社 振動計
JPH08285952A (ja) * 1995-04-11 1996-11-01 Japan Aviation Electron Ind Ltd 地震計
DE19541388A1 (de) 1995-11-07 1997-05-15 Telefunken Microelectron Mikromechanischer Beschleunigungssensor
JPH1010145A (ja) * 1996-06-26 1998-01-16 Wako:Kk 加速度検出システム
JP3343878B2 (ja) * 1996-07-31 2002-11-11 日野自動車株式会社 車両用加速度検出回路の故障検出装置
US6023664A (en) 1996-10-16 2000-02-08 Automotive Systems Laboratory, Inc. Vehicle crash sensing system
DE19852468A1 (de) 1998-11-13 2000-05-25 Siemens Ag Steueranordnung für ein Insassenschutzmittel eines Fahrzeugs
KR20010101502A (ko) * 1999-01-12 2001-11-14 칼 하인쯔 호르닝어 차량의 승객 보호를 위한 제어 시스템의 기능 점검을 위한방법
JP3571272B2 (ja) * 2000-03-14 2004-09-29 エスペック株式会社 運動カロリー測定方法及び装置
US6535800B2 (en) * 2001-05-29 2003-03-18 Delphi Technologies, Inc. Vehicle rollover sensing using angular rate sensors
DE10148858A1 (de) 2001-10-04 2003-04-10 Bosch Gmbh Robert Mikromechanischer Sensor mit Selbsttestfunktion und Optimierungsverfahren
US6925413B2 (en) 2001-12-14 2005-08-02 Robert Bosch Gmbh Method and system for detecting a spatial movement state of moving objects
FR2838828B1 (fr) * 2002-04-18 2004-07-02 Peugeot Citroen Automobiles Sa Procede pour evaluer des accelerations subies par une piece mobile, notamment un organe d'un vehicule, a mesures intrinsequement redondantes
US6829937B2 (en) * 2002-06-17 2004-12-14 Vti Holding Oy Monolithic silicon acceleration sensor
FI119159B (sv) 2003-02-11 2008-08-15 Vti Technologies Oy Kapacitiv accelerationsgivarkonstruktion
FI119528B (sv) 2003-02-11 2008-12-15 Vti Technologies Oy Kapacitiv accelerationsgivarkonstruktion
DE10308881B3 (de) * 2003-02-28 2004-09-02 Siemens Ag Steueranordnung und Verfahren zur Funktionsüberprüfung einer derartigen Steueranordnung für Insassenschutzmittel in einem Kraftfahrzeug
US6918282B2 (en) 2003-03-27 2005-07-19 Delphi Technologies, Inc. Self-test circuit and method for testing a microsensor
JP3808480B2 (ja) * 2004-06-25 2006-08-09 株式会社高見沢サイバネティックス 感震器及び地震計システム
CN100363851C (zh) * 2004-11-26 2008-01-23 清华大学 航天器大角度机动控制的单框架力矩陀螺群的最优控制法

Also Published As

Publication number Publication date
US7516038B2 (en) 2009-04-07
KR101300478B1 (ko) 2013-09-02
JP2013145237A (ja) 2013-07-25
EP1957991A4 (en) 2011-12-28
JP5486097B2 (ja) 2014-05-07
EP2587266A1 (en) 2013-05-01
CN101278200B (zh) 2011-08-31
EP1957991B1 (en) 2013-08-14
FI20055497A0 (sv) 2005-09-16
US20070062286A1 (en) 2007-03-22
EP1957991A1 (en) 2008-08-20
EP2587266B1 (en) 2014-05-14
WO2007031606A1 (en) 2007-03-22
CN101278200A (zh) 2008-10-01
KR20080056143A (ko) 2008-06-20
JP2009508133A (ja) 2009-02-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI118930B (sv) Förfarande för mikromekanisk mätning av acceleration och mikromekanisk accelerationssensor
US11761811B2 (en) Measurement method, measurement device, measurement system, and measurement program
JP2011517353A5 (sv)
BR0215984A (pt) Método para medir propriedades caracterìsticas de um pneu para rodas de veìculo
KR20090112352A (ko) 구조물 변위 측정 시스템
CN111521247A (zh) 测量装置、测量系统及测量方法
US8814076B2 (en) Roll arrangement
CN113710997A (zh) 磁感测系统、检测装置以及磁干扰的偏置方法
CN113494949B (zh) 测量方法、测量装置、测量系统及记录介质
KR20150141912A (ko) 마이크로기계 가속도 센서
EP3217161B1 (en) Tire testing apparatus
KR101033031B1 (ko) 변형률 측정 장치
US6434845B1 (en) Dual-axis static and dynamic force characterization device
JP2021147820A (ja) 計測方法、計測装置、計測システム及び計測プログラム
Berger et al. Guidelines for multisensor system calibration with and without regularization
JP2021147825A (ja) 計測方法、計測装置、計測システム及び計測プログラム
RU2410656C2 (ru) Способ предупреждения усталостного разрушения металлоконструкций на основе регистрации магнитной проницаемости
Hao et al. Bridge deflection estimation using multi-channel acceleration measurement: T. Nagayama & C. Zhang
Iancu et al. Studies and research on the development of a detection system based on the capacitive effect and on the techniques of separation of sources applied on the equipment in the food industry, in order to ensure the safety of people.
JP2021148525A (ja) 計測方法、計測装置、計測システム及び計測プログラム
JP2022102230A (ja) 構造物劣化診断システム
Beziuk et al. Implementation of PSD sensor for measurement of vibrations
JP2021148538A (ja) 計測方法、計測装置、計測システム及び計測プログラム
JP2021148535A (ja) 計測方法、計測装置、計測システム及び計測プログラム
Kiko et al. A2. 1-High-G and High Bandwidth Characterization of Piezoresistive MEMS Accelerometers for Crash Test Applications

Legal Events

Date Code Title Description
FG Patent granted

Ref document number: 118930

Country of ref document: FI

PC Transfer of assignment of patent

Owner name: MURATA ELECTRONICS OY

MM Patent lapsed