FI110210B - Mittauslaite pienten voimien ja siirtymien mittaamiseksi - Google Patents
Mittauslaite pienten voimien ja siirtymien mittaamiseksi Download PDFInfo
- Publication number
- FI110210B FI110210B FI982845A FI982845A FI110210B FI 110210 B FI110210 B FI 110210B FI 982845 A FI982845 A FI 982845A FI 982845 A FI982845 A FI 982845A FI 110210 B FI110210 B FI 110210B
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- detector
- light source
- spring
- spring member
- holder
- Prior art date
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims abstract description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 3
- 229920001342 Bakelite® Polymers 0.000 description 2
- 239000004637 bakelite Substances 0.000 description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000007792 gaseous phase Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01G—WEIGHING
- G01G3/00—Weighing apparatus characterised by the use of elastically-deformable members, e.g. spring balances
- G01G3/12—Weighing apparatus characterised by the use of elastically-deformable members, e.g. spring balances wherein the weighing element is in the form of a solid body stressed by pressure or tension during weighing
- G01G3/125—Weighing apparatus characterised by the use of elastically-deformable members, e.g. spring balances wherein the weighing element is in the form of a solid body stressed by pressure or tension during weighing wherein the weighing element is an optical member
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/16—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Measurement And Recording Of Electrical Phenomena And Electrical Characteristics Of The Living Body (AREA)
- Vehicle Body Suspensions (AREA)
- Measuring Pulse, Heart Rate, Blood Pressure Or Blood Flow (AREA)
Description
110210
Mittauslaite pienten voimien ja siirtymien mittaamiseksi Tämän keksinnön kohteena on mittauslaite pienten voimien ja siirtymien mittaamiseen, jonka laitteen runkoon on sovitettu valolähteestä ja paikkaherkästä ilmaisimes-5 ta muodostuva ilmaisinosa sekä anturiosa, joka käsittää mitattavalla voimalla kuormitettavissa olevan jousielimen sekä tähän jousielimeen kiinnitetyn varjos-tinelimen, joka liikkuu jousielintä kuormittavan voiman vaikutuksesta ilmaisinosaan kuuluvan valolähteen ilmaisimen aktiivista pintaa kohti summatussa valokeilassa.
10 Patenttijulkaisusta FI963612 tunnetaan laite, jolla voidaan mitata nestemäisen ja kaasumaisen faasin rajapinnalle muodostetun kalvon pintapainetta. Tästä julkaisusta tunnetussa laitteessa mitattavan pienen voiman aiheuttaman anturin siirtymän ilmai-! semisessa käytetään paikkaherkkää ilmaisinta yhdessä valolähteen kanssa.
j 15 Tässä tunnetussa laitteessa lämpötilasta aiheutuvien virheiden kompensointi muo- | dostuu kuitenkin vaikeaksi ja hankalaksi laajalla lämpötila-alueella. Vaikka osa vir- ! heistä voidaankin koqata kalibrointimenettelyillä ja/tai käyttämällä sopivia kompen- sointiratkaisuja esimerkiksi laitteiden ohjauselektroniikassa, nämä kalibrointi- ja kompensointimenettelyt muodostuvat hankaliksi ja työläiksi. Toiset tunnetut laitteet, ; ,· 20 kuten tavanomaiset mikrovaa'at, ovat puolestaan kalliita, vaativat runsaasti tilaa eikä ,: niitä voida ajatella siirrettäviksi mittalaitteiksi.
* · ; *. Keksinnön tarkoituksena on aikaansaada pienten voimien, kuten esimerkiksi pinta- : Y jännityksen ja pintapaineiden, ja pienten siirtymien mittaamiseen soveltuva laite, • · : Y 25 jossa ympäristön lämpötilan vaikutus mittaustulokseen on hyvin vähäinen. Lisäksi tavoitteena on aikaansaada fyysisiltä mitoiltaan pienikokoinen, siirrettävissä oleva, myös laboratorioiden ulkopuolella tapahtuvaan kenttätyöskentelyyn soveltuva mittauslaite.
• · » · * ’ · · 30 Tämä saavutetaan keksinnön mukaisesti siten, että ilmaisinosa ja anturiosa on ’ t: sovitettu yhteiseen, laitteen runkoon sovitettuun pidikkeeseen, joka on valmistettu :.., pienen lämpölaajenemisen omaavasta materiaalista.
• » · 2 110210 j j Keksinnön edullisen suoritusmuodon mukaisesti pidike valmistetaan materiaalista, jolla on alhainen lämpölaajenemiskerroin, edullisesti esimerkiksi bakeliitista. Muita edullisia vaihtoehtoja ovat esimerkiksi keraamiset materiaalit. Tässä suoritusmuodossa ilmaisinosan ja anturiosan keskinäinen suhteellinen asema säilyvät samana 5 ympäristön lämpötilan vaihdellessa. Pidike on edullisesti esimerkiksi U:n muotoinen, jossa ilmaisinosaan kuuluvat valolähde ja paikkaherkkä ilmaisin ovat mainitun U-muotoisen pidikkeen eri sakaroissa toisiaan kohti ja jossa ilmaisinosaan kuuluva anturielin on ainakin osittain näiden sakaroiden välisessä tilassa.
) 10 Keksinnön mukaisesti ilmaisinosa muodostuu valolähteestä, joka on edullisesti esi merkiksi valodiodi, ja paikkaherkästä ilmaisimesta. Valolähteen ja paikkaherkän ilmaisimen välille, edullisesti lähelle valolähdettä, on sovitettu keksinnön eräässä edullisessa suoritusmuodossa optiset elimet, edullisesti linssi, valolähteen valokeilan suuntaamiseksi kohti valoherkän ilmaisimen aktiivista aluetta. Valolähteen an-15 tama valo voi olla näkyvän valon alueella tai infrapuna-alueella. Keksinnön eräässä edullisessa suoritusmuodossa valolähteen antaman valon intensiteetti on moduloitu.
Keksinnön mukaisesti anturiosaan kuuluva jousielin, joka muuntaa siihen kohdistu- : 20 van voiman lineaariseksi liikkeeksi, on edullisesti lehtijousi, joka on valmistettu j’ materiaalista, jolla on alhainen lämpölaajenemiskerroin, edullisesti esimerkiksi • 1 '·'·/· kvartsilasista. Muita edullisia vaihtoehtoja ovat esimerkiksi keraamiset materiaalit.
• I
Eräässä keksinnön edullisessa suoritusmuodossa tämä jousielin on lappeellaan • · olevan oleellisesti U:n muotoinen siten, että sen sakaroiden kautta kulkevaksi aja- • « · ‘ 1 25 teltu taso on pystysuora ja että toisen sakaran pää on kiinnitetty mainittuun pidik- keeseen ja toisen sakaran päähän on sovitettu edullisesti tasomainen varjostinelin, * ‘ ‘ jossa on elimet mitattavan voiman saattamiseksi yhteyteen jousielimen kanssa.
Jousielimeen sovitettu varjostinelin on sovitettu keksinnön edullisen suoritusmuo- ' ' 30 don mukaisesti olennaisesti kohtisuoraan ilmaisinosaan kuuluvan valolähteen valo- » herkkää ilmaisinta kohti suunnattuun valokeilaan nähden valolähteen ja ilmaisimen “,· väliin. Varjostinelin on keksinnön eräässä edullisessa suoritusmuodossa muodol- 3 110210 taan sellainen, että sen valokeilaan ulottuva reuna on suora. Varjostinelimen liikkuessa jousielimeen vaikuttavan mitattavan voiman vaikutuksesta valokeilassa, pääsee valolähteen antamasta valosta osa ilmaisinosaan kuuluvan valoherkän ilmaisimen aktiiviselle pinnalle.
5
Eräässä toisessa keksinnön edullisessa suoritusmuodossa tasomaiseen varjostineli-meen on järjestetty rako tai aukko, jonka lävitse osa valolähteen ilmaisimen aktiivista pintaa kohti suunnatusta valokeilasta pääsee ilmaisimelle. Rako on järjestetty edullisesti siten, että se on poikittain varjostinelimen liikesuuntaan nähden, kun 10 tämä mitattavan voiman vaikutuksesta liikkuu mainitussa valokeilassa. Eräässä keksinnön edullisessa suoritusmuodossa on raolla varustetun varjostinelimen ja ilmaisimen väliin järjestetty optiset elimet siten, että nämä optiset elimet muodostavat raosta kuvan ilmaisimen aktiiviselle pinnalle. Eräässä edullisessa suoritusmuodossa nämä optiset elimet muodostuvat peilistä. Ilmaisin sijoitetaan tässä suori-15 tusmuodossa edullisesti esimerkiksi U:n muotoisen pidikkeen vaakaosaan tai jopa samaan sakaraan valolähteen kanssa.
Eräässä keksinnön edullisessa suoritusmuodossa pidike, johon ilmaisinosa ja antu-riosa on sovitettu, on kiinnitetty laitteen runkoon sopivilla ripustuselimillä tämän : j : 20 pidikkeen saattamiseksi sellaiseen asemaan, jossa anturiosaan kuuluvaa jousielintä ,,; · ’ poikkeuttava voima on olennaisesti kohtisuorassa jousielimeen nähden ja jousieli- V.: men kautta kulkevassa pystysuorassa tasossa. Tässä edullisessa suoritusmuodossa voidaan jousielimen sivuttaissuuntainen liike välttää.
• · * ’ 25 Eräässä toisessa keksinnön edullisessa suoritusmuodossa laitteessa on ripustuseli- miin yhteydessä olevat elimet pidikkeen aseman ilmaisemiseksi.
Keksinnön mukaista laitetta voidaan edullisesti käyttää pienten massojen punnitse-. " miseen, edullisesti mittausalueella 0-200 mg, ja saavuttaa tällä mittausalueella 0,1 30 pg:n erottelutarkkuus. Saavutettava erottelutarkkuus riippuu käytettävän paikkaher-kän ilmaisimen erottelutarkkuudesta.
1 * · , 110210 4
Keksinnön erästä edullista suoritusmuotoa kuvataan seuraavassa piirustuksen avulla, jossa kuvio 1 esittää keksinnön mukaista laitetta kaaviomaisesti laitteen pituussuuntaise-5 na leikkauksena.
Keksinnön mukainen laite muodostuu runkoon 1 sovitetusta pidikkeestä 8, pidik-keeseen 8 sovitetusta laitteen mittaus- ja ohjauselektroniikan sisältävästä yhdestä tai useammasta piirilevystä 7, valolähteestä 4 ja paikkaherkästä ilmaisimesta 5 j 10 muodostuvasta ilmaisinosasta, jousielimestä 2 ja vaijostinelimestä 3 muodostuvasta anturiosasta sekä tehonsyöttölaitteista, mittalaitteen ohjaus- ja käyttöelimistä ja näytöstä, joita piirustuksessa ei ole esitetty. Runko 1 on valmistettu jäykästä materiaalista, edullisesti esimerkiksi suorakaiteen muotoisen poikkileikkauksen omaavasta alumiiniputkesta, jonka päät on suljettu tiiviisti samaa materiaalia olevilla 15 tulppamaisilla elimillä.
Ilmaisinosa muodostuu valolähteestä 4 ja paikkaherkästä ilmaisimesta 5, jotka on kiinnitetty poikkileikkaukseltaan oleellisesti U-muotoiseen pitimeen 8, joka on valmistettu pienen lämpölaajenemisen omaavasta materiaalista, edullisesti esimerkiksi : 20 bakeliitista. Pidin 8 on sovitettu runkoon 1 siten, että sen sakarat ovat suunnatut * t « · ;· käyttöasennossa alaspäin. Valolähde 4 on sovitettu pitimen 8 toiseen sakaraan, sen ::: sisäpinnalle ja sen toiseen sakaraan, sisäpinnalle, on sovitettu paikkaherkkä ilmai- ·'.’·{ sin 5 siten, että ilmaisimen 5 aktiivinen pinta on valolähteen 4 valokeilassa. Pidik- i * keen 8 sisäpuoliset pinnat on edullisesti ainakin osittain käsitelty valoa heijasta-·.· ' 25 mattomiksi.
• ·
Anturiosa muodostuu pitimeen 8 kiinnitetystä jousesta 2 ja siihen sovitetusta var-** jostimesta 3. Jousi 2 on valmistettu joustavasta, palautuvan muodonmuutoksen ja pienen lämpölaajenemiskertoimen omaavasta materiaalista, esimerkiksi kvartsila-' · 30 sista. Jousen 2 toinen pää on kiinnitetty pidikkeeseen 8 ja sen toiseen, vapaaseen :··: päähän on kiinnitetty edullisesti levymäinen varjostin 3 siten, että varjostin 3 ulot- • ’,: tuu pidikkeen 8 sakaroiden väliin, valolähteen 4 ilmaisinta 5 kohti suunnattuun 5 110210 valokeilaan. Levymäisessä varjostimessa 3 on valolähteen 4 valokeilan alueella vaakasuora rako 6, ja se on sovitettu pidikkeen 8 sakaroiden väliin siten, että siinä oleva raon 6 kautta kulkeva osa valolähteen 4 valokeilasta kohtaa ilmaisimen 5 aktiivisen pinnan. Keksinnön toisessa vaihtoehtoisessa suoritusmuodossa varjosti-5 messa 3 ei ole rakoa, jolloin varjostimen 3 valokeilaan ulottuva reuna rajoittaa ilmaisimen 5 aktiiviselle pinnalle tulevaa valoa.
Jousen 2 poikkileikkaus on edullisesti elliptinen, suorakulmainen tai muodoltaan muulla vastaavalla tavalla litteä siten, että jousen 2 poikkileikkauksen pienin ulot-10 tuvuus on mitattavan, jouseen vaikuttavan voiman suuntainen ja edullisesti enintään puolet tätä suuntaa vastaan kohtisuorasta ulottuvuudesta, jolloin jousen 2 vapaan pään liike on laitteen tarkoitetussa käyttöasennossa olennaisesti pystysuora.
Varjostimen 3, sen pitimestä 8 poispäin oleva reuna on varustettu elimillä, joihin 15 mitattava voima vaikuttaa suoraan tai sopivien yhdistävien elinten välityksellä.
Tätä tarkoitusta varten rungossa on aukko, jonka lävitse yhdistävät elimet voidaan kiinnittää varjostimeen 3. Eräässä keksinnön edullisessa suoritustavassa varjostimen 3 sanottuun alareunaan ripustetaan sopivia ripustuselimiä käyttäen anturilevy pintajännityksen mittaamista varten.
20 ; y Mitattavan voiman vaikuttaessa varjostimeen 3, jousi 2 taipuu ja varjostimessa 3 :, ·',: olevan raon 6 lävitse pääsee valoa valolähteestä 4 paikkaherkän ilmaisimen 5 ." ·: aktiiviselle pinnalle. Raon 6 lävitse ilmaisimen aktiiviselle pinnalle osuvan valais- .·.· tun alueen paikka muuttuu jousen 2 taipuman mukaan ja samalla myös ilmaisimen ‘ · ‘ * 25 5 antama sähköinen signaali. Ilmaisin 5 on yhdistetty mittalaitteen mittaus- ja oh- jauselektroniikkaan ilmaisimen 5 lähtövirran muuntamiseksi mitattavan voiman ; ‘‘ mittaustulokseksi.
’. ·: Laite voi vähäisen virrankulutuksensa ansiosta olla myös akku- tai paristokäyttöi- 30 nen, jolloin teholähteenä toimivat akut tai paristot on asennettu laitteen rungon 1 sisälle.
Claims (8)
1. Laite pienten voimien ja siirtymien mittaamiseen, jonka laitteen runkoon (1) on sovitettu valolähteestä (4) ja paikkaherkästä ilmaisimesta (5) muodostuva ilmaisin- 5 osa sekä anturiosa, joka käsittää mitattavalla voimalla kuormitettavissa olevan jou-sielimen (2) sekä tähän jousielimeen (2) kiinnitetyn varjostinelimen (3), joka liikkuu jousielintä (2) kuormittavan voiman vaikutuksesta ilmaisinosaan kuuluvan valolähteen (4) ilmaisimen (5) aktiivista pintaa kohti suunnatussa valokeilassa, tunnettu siitä, että ilmaisinosa ja anturiosa on sovitettu yhteiseen, laitteen runkoon 10 (1) sovitettuun pidikkeeseen (8), joka on valmistettu pienen lämpölaajenemisen omaavasta materiaalista.
2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen laite, tunnettu siitä, että anturiosan jousielin (2) on oleellisesti U:n muotoinen ja että sen toinen pää on kiinnitetty pidikkeeseen 15 (8) ja varjostinelin (3) on kiinnitetty jousielimen (2) toiseen päähän.
3. Patenttivaatimuksen 2 mukainen laite, tunnettu siitä, että anturiosan jousielimen (2) poikkileikkauksen suurin ulottuvuus vaikuttavan voiman suunnassa on enintään puolet poikkileikkauksen ulottuvuudesta kohtisuoraan tätä suuntaa vastaan. 20
* · · ,..: 4. Patenttivaatimuksen 3 mukainen laite, tunnettu siitä, että anturiosan jousielimen V·* (2) poikkileikkaus on suorakaiteenmuotoinen.
; ; 5. Patenttivaatimuksen 3 mukainen laite, tunnettu siitä, että anturiosan jousielimen ’ 25 (2) poikkileikkaus on ellipsinmuotoinen. » ·
6. Jonkin patenttivaatimuksen 1-5 mukainen laite, tunnettu siitä, että anturiosan • jousielin (2) on kvartsilasia. “/ 30 7. Jonkin edellä olevan patenttivaatimuksen mukainen laite, tunnettu siitä, että il- '.' ' maisinosaan kuuluvasta valolähteestä (4) ilmaisimeen (5) suunnattuun valokeilaan • * · · » ulottuva tasomaisen varjostinelimen (3) reuna on suora.
7 110210
8. Jonkin edellä olevan patenttivaatimuksen mukainen laite, tunnettu siitä, että varjostinelimessä (3) on varjostinelimen (3) liikesuuntaan nähden kohtisuora rako (6), jonka lävitse osa valolähteen (4) ilmaisimen (5) aktiivista pintaa kohti suunnatusta valokeilasta pääsee ilmaisimelle (5). 5 * 1 · > I 1 · t · • • · , 1 » · 1 » · 8 Patentkrav 110210
Priority Applications (13)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI982845A FI110210B (fi) | 1998-12-31 | 1998-12-31 | Mittauslaite pienten voimien ja siirtymien mittaamiseksi |
| EP99963623A EP1149270B1 (en) | 1998-12-31 | 1999-12-17 | Measuring device for measuring small forces and displacements |
| PCT/FI1999/001055 WO2000040923A1 (en) | 1998-12-31 | 1999-12-17 | Measuring device for measuring small forces and displacements |
| JP2000592593A JP4636691B2 (ja) | 1998-12-31 | 1999-12-17 | 小さい力と変位を計測するための計測装置 |
| NZ511688A NZ511688A (en) | 1998-12-31 | 1999-12-17 | Measuring device for measuring small forces and displacements |
| AT99963623T ATE325329T1 (de) | 1998-12-31 | 1999-12-17 | Vorrichtung zur messung von kleinen kraeften und verschiebungen |
| DK99963623T DK1149270T3 (da) | 1998-12-31 | 1999-12-17 | Måleinstrument til at måle små kræfter og forskydninger |
| CN99815034A CN1331796A (zh) | 1998-12-31 | 1999-12-17 | 用于测量较小的力和位移的测量装置 |
| DE69931191T DE69931191T2 (de) | 1998-12-31 | 1999-12-17 | Vorrichtung zur messung von kleinen kraeften und verschiebungen |
| CA002349293A CA2349293A1 (en) | 1998-12-31 | 1999-12-17 | Measuring device for measuring small forces and displacements |
| AU19864/00A AU1986400A (en) | 1998-12-31 | 1999-12-17 | Measuring device for measuring small forces and displacements |
| KR1020017008280A KR20010089733A (ko) | 1998-12-31 | 1999-12-17 | 작은 힘과 이동을 측정하는 측정장치 |
| US09/831,881 US6619134B1 (en) | 1998-12-31 | 1999-12-17 | Measuring device for measuring small forces and displacements |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI982845 | 1998-12-31 | ||
| FI982845A FI110210B (fi) | 1998-12-31 | 1998-12-31 | Mittauslaite pienten voimien ja siirtymien mittaamiseksi |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FI982845A0 FI982845A0 (fi) | 1998-12-31 |
| FI982845A FI982845A (fi) | 2000-07-01 |
| FI110210B true FI110210B (fi) | 2002-12-13 |
Family
ID=8553235
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FI982845A FI110210B (fi) | 1998-12-31 | 1998-12-31 | Mittauslaite pienten voimien ja siirtymien mittaamiseksi |
Country Status (13)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6619134B1 (fi) |
| EP (1) | EP1149270B1 (fi) |
| JP (1) | JP4636691B2 (fi) |
| KR (1) | KR20010089733A (fi) |
| CN (1) | CN1331796A (fi) |
| AT (1) | ATE325329T1 (fi) |
| AU (1) | AU1986400A (fi) |
| CA (1) | CA2349293A1 (fi) |
| DE (1) | DE69931191T2 (fi) |
| DK (1) | DK1149270T3 (fi) |
| FI (1) | FI110210B (fi) |
| NZ (1) | NZ511688A (fi) |
| WO (1) | WO2000040923A1 (fi) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AU2002951193A0 (en) * | 2002-09-04 | 2002-09-19 | Northern Sydney Area Health Service | Movement faciliatation device |
| CN101793577B (zh) * | 2010-03-19 | 2012-04-11 | 上海新拓分析仪器科技有限公司 | 非接触式测压装置以及化学消解设备 |
| RU2473044C1 (ru) * | 2011-08-30 | 2013-01-20 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" - Госкорпорация "Росатом" | Устройство для измерения малых перемещений или деформаций объекта |
| US11428589B2 (en) * | 2017-10-16 | 2022-08-30 | Saf-Holland, Inc. | Displacement sensor utilizing ronchi grating interference |
Family Cites Families (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4047586A (en) | 1976-03-23 | 1977-09-13 | Pitney-Bowes, Inc. | Zero load adjustment apparatus for spring weighing scale |
| JPS52122170A (en) * | 1976-04-07 | 1977-10-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Pressure sensor |
| US4129191A (en) | 1977-09-26 | 1978-12-12 | Pitney-Bowes, Inc. | Optical detector which compensates for nonlinearities in a weight measuring system |
| US4403144A (en) * | 1978-07-26 | 1983-09-06 | Rockwell International Corporation | Fiber optic accelerometer |
| JPS585626A (ja) * | 1981-07-02 | 1983-01-13 | Nissan Motor Co Ltd | 操舵力検出装置 |
| JPS59183337A (ja) * | 1983-04-01 | 1984-10-18 | Kubota Ltd | 荷重変換器 |
| JPS622130A (ja) * | 1985-06-27 | 1987-01-08 | Sharp Corp | 応力検知装置 |
| JPS6247904U (fi) * | 1985-09-12 | 1987-03-24 | ||
| JPS62217116A (ja) * | 1986-03-19 | 1987-09-24 | Nissan Motor Co Ltd | 圧電センサ用ダイアフラムの製造方法 |
| DE3636266A1 (de) | 1986-10-24 | 1988-04-28 | Wolfgang Dipl Phys Dr I Schulz | Vorrichtung zur messung von neigungswinkeln |
| ATE60133T1 (de) | 1987-07-22 | 1991-02-15 | Ciba Geigy Ag | Prozesskuevette. |
| JPH02122228A (ja) * | 1988-10-31 | 1990-05-09 | Toshiba Corp | 重量検知器 |
| GB9004117D0 (en) | 1990-02-23 | 1990-04-18 | Renishaw Plc | Touch probe |
| DE4124685A1 (de) * | 1991-07-25 | 1992-11-12 | Schenck Ag Carl | Verfahren und anordnung zur messung einer mechanischen groesse |
| DE4224166C2 (de) * | 1991-08-01 | 1994-10-06 | Dynamit Nobel Ag | Passive Sicherheitseinrichtung, insbesondere Gassacksystem, zum Schutz der Insassen eines Fahrzeuges vor Verletzungen bei Unfällen |
| US5428446A (en) * | 1993-03-29 | 1995-06-27 | Ziegert; John C. | Measurement instrument with interferometer and method |
| DE4325743C1 (de) * | 1993-07-31 | 1994-09-08 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Mehrkoordinaten-Tastkopf |
| JPH08219913A (ja) * | 1995-02-10 | 1996-08-30 | Hosiden Corp | 流体圧力センサ |
| JP3548275B2 (ja) | 1995-05-12 | 2004-07-28 | キヤノン株式会社 | 変位情報測定装置 |
| FR2745377B1 (fr) | 1996-02-22 | 1998-03-20 | Gec Alsthom T D Balteau | Capteur optique de vibrations |
| JPH09280983A (ja) * | 1996-04-12 | 1997-10-31 | Takashi Kato | 荷重測定装置 |
| FI108966B (fi) | 1996-09-13 | 2002-04-30 | Kibron Inc Oy | Laite pintapaineen mittaamiseksi |
-
1998
- 1998-12-31 FI FI982845A patent/FI110210B/fi not_active IP Right Cessation
-
1999
- 1999-12-17 WO PCT/FI1999/001055 patent/WO2000040923A1/en active IP Right Grant
- 1999-12-17 CA CA002349293A patent/CA2349293A1/en not_active Abandoned
- 1999-12-17 AU AU19864/00A patent/AU1986400A/en not_active Abandoned
- 1999-12-17 US US09/831,881 patent/US6619134B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1999-12-17 DK DK99963623T patent/DK1149270T3/da active
- 1999-12-17 AT AT99963623T patent/ATE325329T1/de not_active IP Right Cessation
- 1999-12-17 NZ NZ511688A patent/NZ511688A/xx not_active IP Right Cessation
- 1999-12-17 DE DE69931191T patent/DE69931191T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-12-17 EP EP99963623A patent/EP1149270B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-12-17 JP JP2000592593A patent/JP4636691B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1999-12-17 KR KR1020017008280A patent/KR20010089733A/ko not_active Application Discontinuation
- 1999-12-17 CN CN99815034A patent/CN1331796A/zh active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1331796A (zh) | 2002-01-16 |
| EP1149270A1 (en) | 2001-10-31 |
| FI982845A0 (fi) | 1998-12-31 |
| FI982845A (fi) | 2000-07-01 |
| NZ511688A (en) | 2002-12-20 |
| DE69931191D1 (de) | 2006-06-08 |
| CA2349293A1 (en) | 2000-07-13 |
| EP1149270B1 (en) | 2006-05-03 |
| ATE325329T1 (de) | 2006-06-15 |
| JP4636691B2 (ja) | 2011-02-23 |
| WO2000040923A1 (en) | 2000-07-13 |
| DE69931191T2 (de) | 2007-02-15 |
| JP2002534666A (ja) | 2002-10-15 |
| KR20010089733A (ko) | 2001-10-08 |
| DK1149270T3 (da) | 2006-08-21 |
| US6619134B1 (en) | 2003-09-16 |
| AU1986400A (en) | 2000-07-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101393943B1 (ko) | 광섬유 온도 센서 | |
| US4182046A (en) | Electronic level and protractor | |
| US6248989B1 (en) | Tilt detecting device | |
| EP1359110B1 (en) | Weight detector for elevator | |
| US5689107A (en) | Displacement-based opto-electronic accelerometer and pressure sensor | |
| JPWO2008123313A1 (ja) | 湿度計及び露点計 | |
| US8184277B2 (en) | Reflection optical sensor for determining the angular position of a rotating element | |
| FI110210B (fi) | Mittauslaite pienten voimien ja siirtymien mittaamiseksi | |
| HU196259B (en) | Optoelktromechanical measuring transducer | |
| CN108981664B (zh) | 一种光电式闭环倾角传感器 | |
| JPH0464420B2 (fi) | ||
| JP2000214077A (ja) | 光学吸収セル | |
| JPS60177216A (ja) | 機械的変位を電気信号に変換する装置 | |
| US3572947A (en) | Apparatus for measuring uniformity of sheet material by light transmission | |
| KR102710061B1 (ko) | 광섬유 격자쌍을 이용한 온도보상형 전류센서 | |
| US3502894A (en) | Angle measuring photoelectric transducer with two photocells and electroluminescent source of light | |
| JP7407621B2 (ja) | 加熱型センサ搭載検出回路 | |
| Al Aish et al. | Development of a low cost optical tilt sensor | |
| SU1539522A1 (ru) | Устройство дл измерени углового положени излучател | |
| SU603855A1 (ru) | Устройство дл задани опорного потока излучени | |
| IT201800004218A1 (it) | Micrometro elettronico a lettura ottica | |
| JPS6271913A (ja) | 光線式センサ | |
| JPH1038910A (ja) | 加速度検出器 | |
| JPH07243851A (ja) | 傾斜角度検出センサー | |
| SE8500108D0 (sv) | Optisk avkennare |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM | Patent lapsed |