FI109149B - Spektrometer och förfarande för mätning av optiskt spektrum - Google Patents

Spektrometer och förfarande för mätning av optiskt spektrum Download PDF

Info

Publication number
FI109149B
FI109149B FI992092A FI19992092A FI109149B FI 109149 B FI109149 B FI 109149B FI 992092 A FI992092 A FI 992092A FI 19992092 A FI19992092 A FI 19992092A FI 109149 B FI109149 B FI 109149B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
spectrometer
optical
path length
measurement
input
Prior art date
Application number
FI992092A
Other languages
English (en)
Finnish (fi)
Other versions
FI19992092A (sv
Inventor
Jussi Tenhunen
Jouko Malinen
Markku Kaensaekoski
Original Assignee
Valtion Teknillinen
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Valtion Teknillinen filed Critical Valtion Teknillinen
Priority to FI992092A priority Critical patent/FI109149B/sv
Priority to AU72949/00A priority patent/AU7294900A/en
Priority to US10/089,161 priority patent/US6870619B1/en
Priority to PCT/FI2000/000824 priority patent/WO2001023848A1/en
Publication of FI19992092A publication Critical patent/FI19992092A/sv
Application granted granted Critical
Publication of FI109149B publication Critical patent/FI109149B/sv

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/2846Investigating the spectrum using modulation grid; Grid spectrometers
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Claims (29)

1. Förfarande för mätning av spektret av optisk straining med en spektrometer, i vilket förfarande spektrometerns ingangsspalt (104, 204, 232, 308, 500, 600) belyses med optisk straining; ingängsspalten (104, 204, 232, 5 308, 500, 600) avbildas tili en optisk modulator (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604); ingängsspaltens (104, 204, 232, 308, 500, 600) bild sprids ut tili ett spektrum med en dispersiv komponent (106, 2062, 312, 401, 504, 601); spektret moduleras med den optiska modulatorn ooh sammansätts med det dispersive elementet (106, 2062, 312, 401, 504, 605) som en mätsignal, som spekt-10 rometern mäter, kännetecknat avatt - ingängsspalten (104, 204, 232, 308, 500, 600) avbildas tili en optisk DMD-modulator (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604), som omfattar modu-lerande mikrospegelelement; - ingängsspaltens (104, 204, 232, 308, 500, 600) bild sprids ut tili ett 15 spektrum med den dispersiva komponenten (106, 2062, 312, 401, 504, 601), sä att varje vaglängd hos spektret alstrar en egen bild av ingängsspalten (104, 204, 232, 308, 500, 600), varvid bildens läge pä den optiska modulatorns (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604) mikrospegelelement beror pä väglängden; - den disperserade bilden av ingängsspalten (104, 204, 232, 308, ·/.: 20 500, 600) moduleras med ätminstone ett av den optiska DMD-modulatorns (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604) mikrospegelelement, varvid ätminstone ett * av ingängsspaltens (104, 204, 232, 308, 500, 600) bild modulerat väglängds-: band alstras; - ätminstone ett modulerat väglängdsband riktas tili den dispersiva 25 komponenten (106, 2062, 312, 401, 504, 605), med vilken odisperserad mät- * * · strälning sammansätts av ätminstone ett modulerat väglängdband, sä att dä bilden alstras pä alla olika väglängder, alstras ingängsspaltens (104, 204, 232, * * · 308, 500, 600) bilder pä samma ställe oavsett väglängd; - ingängsspalten (104, 204, 232, 308, 500, 600) avbildas med hjälp ! 30 av odisperserad mätsträlning tili en utgängsspalt (104, 214, 242, 322, 514); .···. och ” - för mätning av spektret detekteras den frän utgängsspalten (104, : 214, 242, 322, 514) erhällna mätstralningen med en detektor (110, 216, 244, 326, 424), som konverterar mätsträlningen tili en elektrisk mätsignal; och den 35 elektriska mätsignalen demoduleras för avskiljning frän varandra av signal- 109149 komponenter, som alstrats av olika väglängdsband, och atminstone ett vag-längdsband mats med hjälp av atminstone en signalkomponent.
2. Förfarande enligt patentkrav 1, kännetecknat av att in-gängsspalten (104, 204, 232, 308, 500, 600) belyses med optisk straining som 5 utsänds av ett sampel (102, 202, 230, 304).
3. Förfarande enligt patentkrav 1, kännetecknat av att samp-let (102, 202, 230, 304) belyses med mätstralning och ingängsspalten (104, 204, 232, 308, 500, 600) avbildas till utgängsspalten (104, 214, 242, 322, 514) med hjälp av mätstralning som utsänds av samplet (102, 202, 230, 304). 10
4. Förfarande enligt patentkrav 1,kännetecknat av att optiska egenskaper hos den optiska modulatorns (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604) element moduleras som en funktion av tid, sä att olika väglängdsband module-ras med olika vägformer, och olika väglängdsband avskiljs frän varandra under mätningen med demodulering som motsvarar moduleringen. 15
5. Förfarande enligt patentkrav 1,kännetecknat av att optiska egenskaper hos den optiska modulatorns (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604) element moduleras som en funktion av tid, sa att olika väglängdsband multi-; plexeras tidsuppdelat, och olika väglängdsband avskiljs frän varandra under *.. ‘ mätningen med demodulering som motsvarar moduleringen. •... - 20
6. Förfarande enligt patentkrav 1,kännetecknat av att optiska egenskaper hos den optiska modulatorns (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604) element moduleras som en funktion av tid, sä att olika väglängdsband multi-plexeras frekvensuppdelat, och olika väglängdsband avskiljs frän varandra under mätningen med demodulering som motsvarar moduleringen eller genom .25 filtrering av frekvenserna frän varandra.
*...; 7. Förfarande enligt patentkrav 1,kännetecknat av att optiska : egenskaper hos den optiska modulatorns (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604) .···’ element moduleras som en funktion av tid, sä att olika väglängdsband multi-plexeras koduppdelat, och olika väglängdsband avskiljs frän varandra under : 30 mätningen med demodulering som motsvarar moduleringen.
8. Förfarande enligt patentkrav 1,kännetecknat av att endast en dispersiv komponent (106, 2062, 312, 401, 504, 601) används i mätningen. 109149
9. Förfarande enligt patentkrav 1, kännetecknat av att kon-centrationen av minst ett ämne i samplet (102, 202, 230, 304) bestäms med hjälp av ätminstone ett uppmätt väglängdsband.
10. Förfarande enligt patentkrav 1, kännetecknat avatt tjock-5 leken hos ett ämnesskick i samplet (102, 202, 230, 304) bestäms med hjälp av ätminstone ett uppmätt väglängdsband.
11. Förfarande enligt patentkrav 1, kännetecknat av att samplets (102, 202, 230, 304) temperatur bestäms med hjälp av ätminstone ett uppmätt väglängdsband. 10
12. Förfarande enligt patentkrav 1, kännetecknat av att de- tektorn (110, 216, 244, 326, 424) utgör utgängsspalten (104, 214, 242, 322, 514).
13. Förfarande enligt patentkrav 1, kännetecknat av att spektrometern är framställd pä en integrerad krets. 15
14. Förfarande enligt patentkrav 1, kännetecknat av att spektrometern är framställd genom användning av en planvägledare, LIGA-teknik och formad plastoptik.
; : : 15. Spektrometer för mätning av ett optiskt spektrum, varvid spekt- rometern omfattar en ingängsspalt (104, 204, 232, 308, 500, 600), ätminstone 20 en dispersiv komponent (106, 2062, 312, 401, 504, 601, 605), ätminstone en avbildande komponent (106, 206, 234, 314, 402, 506, 516, 602, 606), en op-tisk modulator (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604) och en utgängsspalt (104, 214, 242, 322, 514); och . , i spektrometern är ingängsspalten (104, 204, 232, 308, 500, 600) * · * ’; ‘: 25 anordnad att begränsa tili spektrometern inkommande optisk strälning; den avbildande komponenten (106, 206, 234, 314, 402, 506, 516, 602) är anordnad att avbilda ingängsspalten (104, 204, 232, 308, 500, 600) tili den optiska modulatorn (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604); ätminstone en dispersiv komponent (106, 2062, 312, 401, 504, 601) ‘ 30 är anordnad att alstra ett spektrum av ingängsspaltens (104, 204, 232, 308, ' 500, 600) bild, vilket modulatorn (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604) är anord nad att modulera, och att sammansätta mätsträlning av det modulerade spekt- 109149 ! ret; spektrometern är anordnad att mätä mätstralning frän utgängsspal-ten (104, 214, 242, 322, 514), kännetecknad av att - spektrometern omfattar endast en detektor (110, 216, 244, 326, 5 424) och den optiska modulatorn är en DMD-modulator, som omfattar mikro- spegelelement; och - den dispersiva komponenten (106, 2062, 312, 401, 504, 601) är anordnad att sprida ut ingängsspaltens (104, 204, 232, 308, 500, 600) bild till ett spektrum, sä att varje vaglängd hos spektret alstrar en egen bild av 10 ingängsspalten (104, 204, 232, 308, 500, 600), varvid bildens läge pä den optiska DMD-modulatorns (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604) mikrospegelele-ment beror pa väglängden; - den optiska DMD-modulatorn (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604) är anordnad att modulera den disperserade bilden av ingängsspalten (104, 15 204, 232, 308, 500, 600) med ätminstone ett av den optiska DMD-modulatorns (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604) mikrospegelelement för alstring av ätminstone ett av ingängsspaltens (104, 204, 232, 308, 500, 600) bild modulerat väglängdsband; - den dispersiva komponenten (106, 2062, 312, 401, 504, 605) är 20 anordnad att sammansätta odisperserad mätsträlning av ätminstone ett modu- lerat väglängdsband, sä att dä bilden alstras pä alla olika väglängder, alstras ingängsspaltens (104, 204, 232, 308, 500, 600) bilder pä samma ställe oavsett .**. vaglängd; .·. : - den avbildande komponenten (106, 206, 234, 314, 402, 506, 516, 25 602) är anordnad att avbilda ingängsspalten (104, 204, 232, 308, 500, 600) tili ; utgängsspalten (104, 214, 242, 322, 514) med hjälp av mätsträlning; • ’ ‘ - spektrometerns enda detektor (110, 216, 244, 326, 424) är anord nad att detektera frän utgängsspalten (104, 214, 242, 322, 514) erhällen mät-:strälning och konvertera mätsträlningen tili en elektrisk mätsignal; och ’...: 30 - för mätning av spektret är spektrometern anordnad att demodulera . ·. : den elektriska mätsignalen för avskiljning frän varandra av signalkomponenter, /·*’ som alstrats av olika väglängdsband, och mätä ätminstone ett väglängdsband ' ‘ med hjälp av ätminstone en signalkomponent.
;..: 16. Spektrometer enligt patentkrav 15, k ä n n e t e c k n a d av att 35 spektrometern är anordnad att belysa ingängsspalten (104, 204, 232, 308, 500, 600) med optisk strälning som utsänds av ett sampel (102, 202, 230, 304). 109149
17. Spektrometer enligt patentkrav 15,kännetecknad avatt spektrometern är anordnad att belysa samplet (102, 202, 230, 304) med restraining och avbilda den av samplet (102, 202, 230, 304) utsända mätsträl- 5 ningen till utgängsspalten (104, 214, 242, 322, 514).
18. Spektrometer enligt patentkrav 15, kännetecknad av att spektrometern är anordnad att modulera optiska egenskaper hos den optiska modulatorns (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604) element som en funktion av tid, sä att olika väglängdsband moduleras med olika vagformer, och spektro- 10 metern är anordnad att avskilja frän varandra olika väglängdsband under mät-ningen med demodulering som motsvarar moduleringen.
19. Spektrometer enligt patentkrav 15, kännetecknad av att spektrometern är anordnad att modulera optiska egenskaper hos den optiska modulatorns (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604) element som en funktion av 15 tid, sa att olika väglängdsband multiplexeras tidsuppdelat, och spektrometern är anordnad att avskilja frän varandra olika väglängdsband under mätningen med demodulering som motsvarar moduleringen.
·. : 20. Spektrometer enligt patentkrav 15, kännetecknad av att .*:·* spektrometern är anordnad att modulera optiska egenskaper hos den optiska 20 modulatorns (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604) element som en funktion av tid, sä att olika väglängdsband multiplexeras frekvensuppdelat, och spektro- * * · *;/ metern är anordnad att avskilja frän varandra olika väglängdsband under mätningen med demodulering som motsvarar moduleringen eller genom filtrering. • * » • * ♦
21. Spektrometer enligt patentkrav 15, kännetecknad av att .·. ; 25 spektrometern är anordnad att modulera optiska egenskaper hos den optiska • * · modulatorns (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604) element som en funktion av ! tid, sä att olika väglängdsband multiplexeras koduppdelat, och spektrometern • · är anordnad att avskilja frän varandra olika väglängdsband under mätningen <, ’,: med demodulering som motsvarar moduleringen. : 30
22. Spektrometer enligt patentkrav 15, kännetecknad av att spektrometern omfattar endast en dispersiv komponent (106, 2062, 312, 401, 504, 601). 109149
23. Spektrometer enligt patentkrav 15, k ä n n e t e c k n a d av att spektrometern är framställd pa en enda integrerad krets.
24. Spektrometer enligt patentkrav 15, kännetecknad avatt spektrometern är anordnad att bestämma koncentrationen av minst ett ämne i 5 samplet (102, 202, 230, 304) med hjälp av atminstone ett uppmätt väglängds-band.
25. Spektrometer enligt patentkrav 15, kännetecknad av att spektrometern är anordnad att bestämma tjockleken hos ett ämnesskick i samplet (102, 202, 230, 304) med hjälp av ätminstone ett uppmätt väglängds- 10 band.
26. Spektrometer enligt patentkrav 15, kännetecknad av att spektrometern är anordnad att bestämma samplets (102, 202, 230, 304) tem-peratur med hjälp av ätminstone ett uppmätt vaglängdsband.
27. Spektrometer enligt patentkrav 15, kännetecknad av att 15 detektorn (110, 216, 244, 326, 424) utgör utgängsspalten (104, 214, 242, 322, 514).
28. Spektrometer enligt patentkrav 15, kännetecknad av att spektrometern är framställd pä en integrerad krets. i · · ·...·1
29. Spektrometer enligt patentkrav 15, kännetecknad av att : 20 spektrometern är framställd genom användning av en planvägledare, LIGA- teknik och formad plastoptik. * t · * · • · · * 1 I » » * 1 I
FI992092A 1999-09-29 1999-09-29 Spektrometer och förfarande för mätning av optiskt spektrum FI109149B (sv)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI992092A FI109149B (sv) 1999-09-29 1999-09-29 Spektrometer och förfarande för mätning av optiskt spektrum
AU72949/00A AU7294900A (en) 1999-09-29 2000-09-27 Spectrometer and method for measuring optical spectrum
US10/089,161 US6870619B1 (en) 1999-09-29 2000-09-27 Spectrometer and method for measuring optical spectrum
PCT/FI2000/000824 WO2001023848A1 (en) 1999-09-29 2000-09-27 Spectrometer and method for measuring optical spectrum

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI992092A FI109149B (sv) 1999-09-29 1999-09-29 Spektrometer och förfarande för mätning av optiskt spektrum
FI992092 1999-09-29

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FI19992092A FI19992092A (sv) 2001-03-29
FI109149B true FI109149B (sv) 2002-05-31

Family

ID=8555375

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI992092A FI109149B (sv) 1999-09-29 1999-09-29 Spektrometer och förfarande för mätning av optiskt spektrum

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6870619B1 (sv)
AU (1) AU7294900A (sv)
FI (1) FI109149B (sv)
WO (1) WO2001023848A1 (sv)

Families Citing this family (40)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10297062B4 (de) * 2001-08-10 2015-02-12 Gbc Scientific Equipment Pty. Ltd. Atomabsorptionsspektrometer
US20040057049A1 (en) * 2002-09-20 2004-03-25 Applied Photonics Worldwide, Inc. Micromechanical monochromator with integrated slit aperture for microspectrometers in the UV, visible and infrared range
DE102004003042A1 (de) * 2004-01-20 2005-08-18 Voith Paper Patent Gmbh Flächengewicht der Decklage einer Faserstoffbahn
US7283231B2 (en) * 2004-07-20 2007-10-16 Duke University Compressive sampling and signal inference
EP1784622A4 (en) * 2004-08-19 2009-06-03 Headwall Photonics Inc MULTI-CHANNEL, MULTI-SPECTRUM IMAGING SPECTROMETER
US7279678B2 (en) 2005-08-15 2007-10-09 Schlumber Technology Corporation Method and apparatus for composition analysis in a logging environment
US20070237365A1 (en) * 2006-04-07 2007-10-11 Monro Donald M Biometric identification
US7324196B2 (en) * 2006-04-13 2008-01-29 Neil Goldstein Spectral encoder
US20070262257A1 (en) * 2006-05-11 2007-11-15 Monro Donald M Passive biometric spectroscopy
DE602006009905D1 (de) * 2006-05-15 2009-12-03 Eldim S A Vorrichtung und Methode zur Unterscheidung von Cerenkovstrahlung und Szintillationsstrahlung
US7957007B2 (en) * 2006-05-17 2011-06-07 Mitsubishi Electric Research Laboratories, Inc. Apparatus and method for illuminating a scene with multiplexed illumination for motion capture
US7750299B2 (en) * 2006-09-06 2010-07-06 Donald Martin Monro Active biometric spectroscopy
US20080097183A1 (en) * 2006-09-06 2008-04-24 Donald Martin Monro Passive in vivo substance spectroscopy
US20080161674A1 (en) * 2006-12-29 2008-07-03 Donald Martin Monro Active in vivo spectroscopy
FR2918467B1 (fr) * 2007-07-06 2009-11-20 Thales Sa Dispositif d'imagerie multispectral a filtre de type moems pour observation satellitaire
US7812949B2 (en) * 2007-10-17 2010-10-12 Horiba Jobin Yvon Inc. Spectrometer with cylindrical lens for astigmatism correction and demagnification
US7864086B2 (en) * 2008-10-06 2011-01-04 Donald Martin Monro Mode switched adaptive combinatorial coding/decoding for electrical computers and digital data processing systems
US7786907B2 (en) * 2008-10-06 2010-08-31 Donald Martin Monro Combinatorial coding/decoding with specified occurrences for electrical computers and digital data processing systems
US7791513B2 (en) * 2008-10-06 2010-09-07 Donald Martin Monro Adaptive combinatorial coding/decoding with specified occurrences for electrical computers and digital data processing systems
US7786903B2 (en) * 2008-10-06 2010-08-31 Donald Martin Monro Combinatorial coding/decoding with specified occurrences for electrical computers and digital data processing systems
CH701109A1 (de) * 2009-05-19 2010-11-30 Carag Ag Interferometer, sowie spektrometer mit einem solchen.
US8570524B2 (en) * 2009-08-04 2013-10-29 University Of Florida Research Foundation, Inc. Stable monolithic interferometer for wavelenghth calibration
US8164050B2 (en) * 2009-11-06 2012-04-24 Precision Energy Services, Inc. Multi-channel source assembly for downhole spectroscopy
US8735803B2 (en) * 2009-11-06 2014-05-27 Precision Energy Services, Inc Multi-channel detector assembly for downhole spectroscopy
US8436296B2 (en) * 2009-11-06 2013-05-07 Precision Energy Services, Inc. Filter wheel assembly for downhole spectroscopy
US8542353B2 (en) 2010-09-30 2013-09-24 Precision Energy Services, Inc. Refractive index sensor for fluid analysis
US8411262B2 (en) 2010-09-30 2013-04-02 Precision Energy Services, Inc. Downhole gas breakout sensor
US8823932B2 (en) * 2011-04-04 2014-09-02 Corning Incorporated Multi field of view hyperspectral imaging device and method for using same
CN103162845A (zh) * 2011-12-12 2013-06-19 金石琦 飞秒时域单光子空间多波长探测装置
US9046418B1 (en) * 2012-02-24 2015-06-02 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Linear Fresnel spectrometer chip with gradient line grating
CN102589702B (zh) * 2012-02-27 2013-08-14 安徽工业大学 一种菲涅尔双面镜干涉成像光谱仪
CA3023632C (en) * 2016-06-30 2024-04-02 Sicpa Holding Sa Systems, methods, and computer programs for imaging an object and generating a measure of authenticity of the object
CN106289529B (zh) * 2016-10-10 2017-12-22 平顶山学院 基于分区式数字微镜的高光通量光谱仪
JP7147143B2 (ja) 2017-01-20 2022-10-05 株式会社リコー 分光器および分析装置
WO2018135223A1 (en) * 2017-01-20 2018-07-26 Ricoh Company, Ltd. Spectrometer, analysis equipment, and wavelength-variable light source
DE102017206066A1 (de) 2017-04-10 2018-10-11 Anvajo GmbH Spektrometer
GB2594980A (en) * 2020-05-14 2021-11-17 Agilent Tech Lda Uk Limited Spectral analysis of a sample
FI129324B (sv) * 2021-01-08 2021-11-30 Timegate Instr Oy Anordning och förfarande för att mäta spektralkomponenter av raman-spritt ljus
JP2023000800A (ja) 2021-06-18 2023-01-04 三星電子株式会社 分光器及び計測システム
US20220404197A1 (en) * 2021-06-18 2022-12-22 Samsung Electronics Co., Ltd. Spectrometer, metrology system, and semiconductor inspection method

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3859515A (en) 1972-08-21 1975-01-07 Burroughs Corp Method and apparatus for signal spectrum analysis by hadamard transform
US3915571A (en) * 1972-12-20 1975-10-28 Jenoptik Jena Gmbh Monochromator with rotatable lens
DE3014646C2 (de) 1980-04-16 1983-12-15 Erwin Sick Gmbh Optik-Elektronik, 7808 Waldkirch Vorrichtung zur Spektralanalyse
US4615619A (en) 1984-03-19 1986-10-07 D.O.M. Associates, Inc. Stationary, electrically alterable, optical masking device and spectroscopic apparatus employing same
SE453017B (sv) 1985-06-13 1988-01-04 Opsis Ab Ideon Sett och anordning for bestemning av parametrar for gasformiga emnen som er nervarande vid forbrenningsprocesser och andra processer som sker vid hog temperatur
US4790654A (en) 1987-07-17 1988-12-13 Trw Inc. Spectral filter
US4856897A (en) * 1987-08-14 1989-08-15 D.O.M. Associates, Inc. Raman spectrometer having Hadamard electrooptical mask and diode detector
FR2651575B1 (fr) * 1989-09-05 1993-11-19 Instruments Sa Dispositif d'analyse par spectrocopie.
CA2084923A1 (en) 1991-12-20 1993-06-21 Ronald E. Stafford Slm spectrometer
DE4143284A1 (de) * 1991-12-30 1992-10-01 Klaus Eberhard Engel Integrierter halbleitersensor fuer spektrometer
US5856871A (en) * 1993-08-18 1999-01-05 Applied Spectral Imaging Ltd. Film thickness mapping using interferometric spectral imaging
US5570180A (en) 1993-08-27 1996-10-29 Minolta Co., Ltd. Spectrometer provided with an optical shutter
US5608519A (en) * 1995-03-20 1997-03-04 Gourley; Paul L. Laser apparatus and method for microscopic and spectroscopic analysis and processing of biological cells
US5748308A (en) * 1996-02-02 1998-05-05 Abbott Laboratories Programmable standard for use in an apparatus and process for the noninvasive measurement of optically absorbing compounds

Also Published As

Publication number Publication date
AU7294900A (en) 2001-04-30
US6870619B1 (en) 2005-03-22
FI19992092A (sv) 2001-03-29
WO2001023848A1 (en) 2001-04-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI109149B (sv) Spektrometer och förfarande för mätning av optiskt spektrum
US6031609A (en) Fourier transform spectrometer using a multielement liquid crystal display
US7426446B2 (en) Calibration training for spectrometer
KR100275422B1 (ko) 공간 광 변조기 분광기 및 광 분석 방법
US5748308A (en) Programmable standard for use in an apparatus and process for the noninvasive measurement of optically absorbing compounds
US7397561B2 (en) Spectroscopy system
US7440098B2 (en) Spectroscope and method of performing spectroscopy utilizing a micro mirror array
US20090073433A1 (en) Optical analysis system and methods for operating multivariate optical elements in a normal incidence orientation
US5305077A (en) High-resolution spectroscopy system
WO2007121593A1 (en) Method for measurement and determination of concentration within a mixed medium
US6323944B1 (en) Compact spectrofluorometer
US10760968B2 (en) Spectrometric measuring device
US20170045397A1 (en) Device for analysing a specimen and corresponding method
EP0176826A2 (en) Method and apparatus for dual-beam spectral transmission measurements
Day et al. Diffractive-MEMS implementation of a Hadamard near-infrared spectrometer
US7515262B2 (en) Crystal grating apparatus
GB2286041A (en) High resolution infared spectroscope
KR100961138B1 (ko) 분광분석기
Merenda et al. Portable NIR/MIR Fourier-transform spectrometer based on a common path lamellar grating interferometer
JP7253801B2 (ja) 干渉計、フーリエ変換分光装置及び成分分析装置
RU2251668C2 (ru) Спектрометр
Kansakoski et al. Optical characteristics of a PbS detector array spectrograph for online process monitoring
Lammasniemi et al. Infrared sensing and analysis in industrial measurements
RU2248536C1 (ru) Монохроматор для спектрофотометров
JP2002090220A (ja) マルチチャンネル分光器