FI109149B - Spektrometer och förfarande för mätning av optiskt spektrum - Google Patents
Spektrometer och förfarande för mätning av optiskt spektrum Download PDFInfo
- Publication number
- FI109149B FI109149B FI992092A FI19992092A FI109149B FI 109149 B FI109149 B FI 109149B FI 992092 A FI992092 A FI 992092A FI 19992092 A FI19992092 A FI 19992092A FI 109149 B FI109149 B FI 109149B
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- spectrometer
- optical
- path length
- measurement
- input
- Prior art date
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 171
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 title claims description 35
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 28
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 116
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 73
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 13
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims description 9
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 9
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 17
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 8
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 8
- 239000005995 Aluminium silicate Substances 0.000 description 6
- 235000012211 aluminium silicate Nutrition 0.000 description 6
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 6
- NLYAJNPCOHFWQQ-UHFFFAOYSA-N kaolin Chemical compound O.O.O=[Al]O[Si](=O)O[Si](=O)O[Al]=O NLYAJNPCOHFWQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 6
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 5
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 5
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 description 3
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 3
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 238000010183 spectrum analysis Methods 0.000 description 2
- 229920001131 Pulp (paper) Polymers 0.000 description 1
- 239000005862 Whey Substances 0.000 description 1
- 102000007544 Whey Proteins Human genes 0.000 description 1
- 108010046377 Whey Proteins Proteins 0.000 description 1
- 238000001015 X-ray lithography Methods 0.000 description 1
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 description 1
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 1
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 1
- 238000004847 absorption spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000000559 atomic spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011982 device technology Methods 0.000 description 1
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 230000009931 harmful effect Effects 0.000 description 1
- 230000036039 immunity Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000007567 mass-production technique Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000002991 molded plastic Substances 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000004451 qualitative analysis Methods 0.000 description 1
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/2846—Investigating the spectrum using modulation grid; Grid spectrometers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Claims (29)
1. Förfarande för mätning av spektret av optisk straining med en spektrometer, i vilket förfarande spektrometerns ingangsspalt (104, 204, 232, 308, 500, 600) belyses med optisk straining; ingängsspalten (104, 204, 232, 5 308, 500, 600) avbildas tili en optisk modulator (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604); ingängsspaltens (104, 204, 232, 308, 500, 600) bild sprids ut tili ett spektrum med en dispersiv komponent (106, 2062, 312, 401, 504, 601); spektret moduleras med den optiska modulatorn ooh sammansätts med det dispersive elementet (106, 2062, 312, 401, 504, 605) som en mätsignal, som spekt-10 rometern mäter, kännetecknat avatt - ingängsspalten (104, 204, 232, 308, 500, 600) avbildas tili en optisk DMD-modulator (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604), som omfattar modu-lerande mikrospegelelement; - ingängsspaltens (104, 204, 232, 308, 500, 600) bild sprids ut tili ett 15 spektrum med den dispersiva komponenten (106, 2062, 312, 401, 504, 601), sä att varje vaglängd hos spektret alstrar en egen bild av ingängsspalten (104, 204, 232, 308, 500, 600), varvid bildens läge pä den optiska modulatorns (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604) mikrospegelelement beror pä väglängden; - den disperserade bilden av ingängsspalten (104, 204, 232, 308, ·/.: 20 500, 600) moduleras med ätminstone ett av den optiska DMD-modulatorns (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604) mikrospegelelement, varvid ätminstone ett * av ingängsspaltens (104, 204, 232, 308, 500, 600) bild modulerat väglängds-: band alstras; - ätminstone ett modulerat väglängdsband riktas tili den dispersiva 25 komponenten (106, 2062, 312, 401, 504, 605), med vilken odisperserad mät- * * · strälning sammansätts av ätminstone ett modulerat väglängdband, sä att dä bilden alstras pä alla olika väglängder, alstras ingängsspaltens (104, 204, 232, * * · 308, 500, 600) bilder pä samma ställe oavsett väglängd; - ingängsspalten (104, 204, 232, 308, 500, 600) avbildas med hjälp ! 30 av odisperserad mätsträlning tili en utgängsspalt (104, 214, 242, 322, 514); .···. och ” - för mätning av spektret detekteras den frän utgängsspalten (104, : 214, 242, 322, 514) erhällna mätstralningen med en detektor (110, 216, 244, 326, 424), som konverterar mätsträlningen tili en elektrisk mätsignal; och den 35 elektriska mätsignalen demoduleras för avskiljning frän varandra av signal- 109149 komponenter, som alstrats av olika väglängdsband, och atminstone ett vag-längdsband mats med hjälp av atminstone en signalkomponent.
2. Förfarande enligt patentkrav 1, kännetecknat av att in-gängsspalten (104, 204, 232, 308, 500, 600) belyses med optisk straining som 5 utsänds av ett sampel (102, 202, 230, 304).
3. Förfarande enligt patentkrav 1, kännetecknat av att samp-let (102, 202, 230, 304) belyses med mätstralning och ingängsspalten (104, 204, 232, 308, 500, 600) avbildas till utgängsspalten (104, 214, 242, 322, 514) med hjälp av mätstralning som utsänds av samplet (102, 202, 230, 304). 10
4. Förfarande enligt patentkrav 1,kännetecknat av att optiska egenskaper hos den optiska modulatorns (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604) element moduleras som en funktion av tid, sä att olika väglängdsband module-ras med olika vägformer, och olika väglängdsband avskiljs frän varandra under mätningen med demodulering som motsvarar moduleringen. 15
5. Förfarande enligt patentkrav 1,kännetecknat av att optiska egenskaper hos den optiska modulatorns (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604) element moduleras som en funktion av tid, sa att olika väglängdsband multi-; plexeras tidsuppdelat, och olika väglängdsband avskiljs frän varandra under *.. ‘ mätningen med demodulering som motsvarar moduleringen. •... - 20
6. Förfarande enligt patentkrav 1,kännetecknat av att optiska egenskaper hos den optiska modulatorns (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604) element moduleras som en funktion av tid, sä att olika väglängdsband multi-plexeras frekvensuppdelat, och olika väglängdsband avskiljs frän varandra under mätningen med demodulering som motsvarar moduleringen eller genom .25 filtrering av frekvenserna frän varandra.
*...; 7. Förfarande enligt patentkrav 1,kännetecknat av att optiska : egenskaper hos den optiska modulatorns (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604) .···’ element moduleras som en funktion av tid, sä att olika väglängdsband multi-plexeras koduppdelat, och olika väglängdsband avskiljs frän varandra under : 30 mätningen med demodulering som motsvarar moduleringen.
8. Förfarande enligt patentkrav 1,kännetecknat av att endast en dispersiv komponent (106, 2062, 312, 401, 504, 601) används i mätningen. 109149
9. Förfarande enligt patentkrav 1, kännetecknat av att kon-centrationen av minst ett ämne i samplet (102, 202, 230, 304) bestäms med hjälp av ätminstone ett uppmätt väglängdsband.
10. Förfarande enligt patentkrav 1, kännetecknat avatt tjock-5 leken hos ett ämnesskick i samplet (102, 202, 230, 304) bestäms med hjälp av ätminstone ett uppmätt väglängdsband.
11. Förfarande enligt patentkrav 1, kännetecknat av att samplets (102, 202, 230, 304) temperatur bestäms med hjälp av ätminstone ett uppmätt väglängdsband. 10
12. Förfarande enligt patentkrav 1, kännetecknat av att de- tektorn (110, 216, 244, 326, 424) utgör utgängsspalten (104, 214, 242, 322, 514).
13. Förfarande enligt patentkrav 1, kännetecknat av att spektrometern är framställd pä en integrerad krets. 15
14. Förfarande enligt patentkrav 1, kännetecknat av att spektrometern är framställd genom användning av en planvägledare, LIGA-teknik och formad plastoptik.
; : : 15. Spektrometer för mätning av ett optiskt spektrum, varvid spekt- rometern omfattar en ingängsspalt (104, 204, 232, 308, 500, 600), ätminstone 20 en dispersiv komponent (106, 2062, 312, 401, 504, 601, 605), ätminstone en avbildande komponent (106, 206, 234, 314, 402, 506, 516, 602, 606), en op-tisk modulator (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604) och en utgängsspalt (104, 214, 242, 322, 514); och . , i spektrometern är ingängsspalten (104, 204, 232, 308, 500, 600) * · * ’; ‘: 25 anordnad att begränsa tili spektrometern inkommande optisk strälning; den avbildande komponenten (106, 206, 234, 314, 402, 506, 516, 602) är anordnad att avbilda ingängsspalten (104, 204, 232, 308, 500, 600) tili den optiska modulatorn (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604); ätminstone en dispersiv komponent (106, 2062, 312, 401, 504, 601) ‘ 30 är anordnad att alstra ett spektrum av ingängsspaltens (104, 204, 232, 308, ' 500, 600) bild, vilket modulatorn (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604) är anord nad att modulera, och att sammansätta mätsträlning av det modulerade spekt- 109149 ! ret; spektrometern är anordnad att mätä mätstralning frän utgängsspal-ten (104, 214, 242, 322, 514), kännetecknad av att - spektrometern omfattar endast en detektor (110, 216, 244, 326, 5 424) och den optiska modulatorn är en DMD-modulator, som omfattar mikro- spegelelement; och - den dispersiva komponenten (106, 2062, 312, 401, 504, 601) är anordnad att sprida ut ingängsspaltens (104, 204, 232, 308, 500, 600) bild till ett spektrum, sä att varje vaglängd hos spektret alstrar en egen bild av 10 ingängsspalten (104, 204, 232, 308, 500, 600), varvid bildens läge pä den optiska DMD-modulatorns (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604) mikrospegelele-ment beror pa väglängden; - den optiska DMD-modulatorn (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604) är anordnad att modulera den disperserade bilden av ingängsspalten (104, 15 204, 232, 308, 500, 600) med ätminstone ett av den optiska DMD-modulatorns (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604) mikrospegelelement för alstring av ätminstone ett av ingängsspaltens (104, 204, 232, 308, 500, 600) bild modulerat väglängdsband; - den dispersiva komponenten (106, 2062, 312, 401, 504, 605) är 20 anordnad att sammansätta odisperserad mätsträlning av ätminstone ett modu- lerat väglängdsband, sä att dä bilden alstras pä alla olika väglängder, alstras ingängsspaltens (104, 204, 232, 308, 500, 600) bilder pä samma ställe oavsett .**. vaglängd; .·. : - den avbildande komponenten (106, 206, 234, 314, 402, 506, 516, 25 602) är anordnad att avbilda ingängsspalten (104, 204, 232, 308, 500, 600) tili ; utgängsspalten (104, 214, 242, 322, 514) med hjälp av mätsträlning; • ’ ‘ - spektrometerns enda detektor (110, 216, 244, 326, 424) är anord nad att detektera frän utgängsspalten (104, 214, 242, 322, 514) erhällen mät-:strälning och konvertera mätsträlningen tili en elektrisk mätsignal; och ’...: 30 - för mätning av spektret är spektrometern anordnad att demodulera . ·. : den elektriska mätsignalen för avskiljning frän varandra av signalkomponenter, /·*’ som alstrats av olika väglängdsband, och mätä ätminstone ett väglängdsband ' ‘ med hjälp av ätminstone en signalkomponent.
;..: 16. Spektrometer enligt patentkrav 15, k ä n n e t e c k n a d av att 35 spektrometern är anordnad att belysa ingängsspalten (104, 204, 232, 308, 500, 600) med optisk strälning som utsänds av ett sampel (102, 202, 230, 304). 109149
17. Spektrometer enligt patentkrav 15,kännetecknad avatt spektrometern är anordnad att belysa samplet (102, 202, 230, 304) med restraining och avbilda den av samplet (102, 202, 230, 304) utsända mätsträl- 5 ningen till utgängsspalten (104, 214, 242, 322, 514).
18. Spektrometer enligt patentkrav 15, kännetecknad av att spektrometern är anordnad att modulera optiska egenskaper hos den optiska modulatorns (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604) element som en funktion av tid, sä att olika väglängdsband moduleras med olika vagformer, och spektro- 10 metern är anordnad att avskilja frän varandra olika väglängdsband under mät-ningen med demodulering som motsvarar moduleringen.
19. Spektrometer enligt patentkrav 15, kännetecknad av att spektrometern är anordnad att modulera optiska egenskaper hos den optiska modulatorns (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604) element som en funktion av 15 tid, sa att olika väglängdsband multiplexeras tidsuppdelat, och spektrometern är anordnad att avskilja frän varandra olika väglängdsband under mätningen med demodulering som motsvarar moduleringen.
·. : 20. Spektrometer enligt patentkrav 15, kännetecknad av att .*:·* spektrometern är anordnad att modulera optiska egenskaper hos den optiska 20 modulatorns (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604) element som en funktion av tid, sä att olika väglängdsband multiplexeras frekvensuppdelat, och spektro- * * · *;/ metern är anordnad att avskilja frän varandra olika väglängdsband under mätningen med demodulering som motsvarar moduleringen eller genom filtrering. • * » • * ♦
21. Spektrometer enligt patentkrav 15, kännetecknad av att .·. ; 25 spektrometern är anordnad att modulera optiska egenskaper hos den optiska • * · modulatorns (108, 210, 238, 318, 406, 510, 604) element som en funktion av ! tid, sä att olika väglängdsband multiplexeras koduppdelat, och spektrometern • · är anordnad att avskilja frän varandra olika väglängdsband under mätningen <, ’,: med demodulering som motsvarar moduleringen. : 30
22. Spektrometer enligt patentkrav 15, kännetecknad av att spektrometern omfattar endast en dispersiv komponent (106, 2062, 312, 401, 504, 601). 109149
23. Spektrometer enligt patentkrav 15, k ä n n e t e c k n a d av att spektrometern är framställd pa en enda integrerad krets.
24. Spektrometer enligt patentkrav 15, kännetecknad avatt spektrometern är anordnad att bestämma koncentrationen av minst ett ämne i 5 samplet (102, 202, 230, 304) med hjälp av atminstone ett uppmätt väglängds-band.
25. Spektrometer enligt patentkrav 15, kännetecknad av att spektrometern är anordnad att bestämma tjockleken hos ett ämnesskick i samplet (102, 202, 230, 304) med hjälp av ätminstone ett uppmätt väglängds- 10 band.
26. Spektrometer enligt patentkrav 15, kännetecknad av att spektrometern är anordnad att bestämma samplets (102, 202, 230, 304) tem-peratur med hjälp av ätminstone ett uppmätt vaglängdsband.
27. Spektrometer enligt patentkrav 15, kännetecknad av att 15 detektorn (110, 216, 244, 326, 424) utgör utgängsspalten (104, 214, 242, 322, 514).
28. Spektrometer enligt patentkrav 15, kännetecknad av att spektrometern är framställd pä en integrerad krets. i · · ·...·1
29. Spektrometer enligt patentkrav 15, kännetecknad av att : 20 spektrometern är framställd genom användning av en planvägledare, LIGA- teknik och formad plastoptik. * t · * · • · · * 1 I » » * 1 I
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI992092A FI109149B (sv) | 1999-09-29 | 1999-09-29 | Spektrometer och förfarande för mätning av optiskt spektrum |
AU72949/00A AU7294900A (en) | 1999-09-29 | 2000-09-27 | Spectrometer and method for measuring optical spectrum |
US10/089,161 US6870619B1 (en) | 1999-09-29 | 2000-09-27 | Spectrometer and method for measuring optical spectrum |
PCT/FI2000/000824 WO2001023848A1 (en) | 1999-09-29 | 2000-09-27 | Spectrometer and method for measuring optical spectrum |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI992092A FI109149B (sv) | 1999-09-29 | 1999-09-29 | Spektrometer och förfarande för mätning av optiskt spektrum |
FI992092 | 1999-09-29 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FI19992092A FI19992092A (sv) | 2001-03-29 |
FI109149B true FI109149B (sv) | 2002-05-31 |
Family
ID=8555375
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FI992092A FI109149B (sv) | 1999-09-29 | 1999-09-29 | Spektrometer och förfarande för mätning av optiskt spektrum |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6870619B1 (sv) |
AU (1) | AU7294900A (sv) |
FI (1) | FI109149B (sv) |
WO (1) | WO2001023848A1 (sv) |
Families Citing this family (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10297062B4 (de) * | 2001-08-10 | 2015-02-12 | Gbc Scientific Equipment Pty. Ltd. | Atomabsorptionsspektrometer |
US20040057049A1 (en) * | 2002-09-20 | 2004-03-25 | Applied Photonics Worldwide, Inc. | Micromechanical monochromator with integrated slit aperture for microspectrometers in the UV, visible and infrared range |
DE102004003042A1 (de) * | 2004-01-20 | 2005-08-18 | Voith Paper Patent Gmbh | Flächengewicht der Decklage einer Faserstoffbahn |
US7283231B2 (en) * | 2004-07-20 | 2007-10-16 | Duke University | Compressive sampling and signal inference |
EP1784622A4 (en) * | 2004-08-19 | 2009-06-03 | Headwall Photonics Inc | MULTI-CHANNEL, MULTI-SPECTRUM IMAGING SPECTROMETER |
US7279678B2 (en) | 2005-08-15 | 2007-10-09 | Schlumber Technology Corporation | Method and apparatus for composition analysis in a logging environment |
US20070237365A1 (en) * | 2006-04-07 | 2007-10-11 | Monro Donald M | Biometric identification |
US7324196B2 (en) * | 2006-04-13 | 2008-01-29 | Neil Goldstein | Spectral encoder |
US20070262257A1 (en) * | 2006-05-11 | 2007-11-15 | Monro Donald M | Passive biometric spectroscopy |
DE602006009905D1 (de) * | 2006-05-15 | 2009-12-03 | Eldim S A | Vorrichtung und Methode zur Unterscheidung von Cerenkovstrahlung und Szintillationsstrahlung |
US7957007B2 (en) * | 2006-05-17 | 2011-06-07 | Mitsubishi Electric Research Laboratories, Inc. | Apparatus and method for illuminating a scene with multiplexed illumination for motion capture |
US7750299B2 (en) * | 2006-09-06 | 2010-07-06 | Donald Martin Monro | Active biometric spectroscopy |
US20080097183A1 (en) * | 2006-09-06 | 2008-04-24 | Donald Martin Monro | Passive in vivo substance spectroscopy |
US20080161674A1 (en) * | 2006-12-29 | 2008-07-03 | Donald Martin Monro | Active in vivo spectroscopy |
FR2918467B1 (fr) * | 2007-07-06 | 2009-11-20 | Thales Sa | Dispositif d'imagerie multispectral a filtre de type moems pour observation satellitaire |
US7812949B2 (en) * | 2007-10-17 | 2010-10-12 | Horiba Jobin Yvon Inc. | Spectrometer with cylindrical lens for astigmatism correction and demagnification |
US7864086B2 (en) * | 2008-10-06 | 2011-01-04 | Donald Martin Monro | Mode switched adaptive combinatorial coding/decoding for electrical computers and digital data processing systems |
US7786907B2 (en) * | 2008-10-06 | 2010-08-31 | Donald Martin Monro | Combinatorial coding/decoding with specified occurrences for electrical computers and digital data processing systems |
US7791513B2 (en) * | 2008-10-06 | 2010-09-07 | Donald Martin Monro | Adaptive combinatorial coding/decoding with specified occurrences for electrical computers and digital data processing systems |
US7786903B2 (en) * | 2008-10-06 | 2010-08-31 | Donald Martin Monro | Combinatorial coding/decoding with specified occurrences for electrical computers and digital data processing systems |
CH701109A1 (de) * | 2009-05-19 | 2010-11-30 | Carag Ag | Interferometer, sowie spektrometer mit einem solchen. |
US8570524B2 (en) * | 2009-08-04 | 2013-10-29 | University Of Florida Research Foundation, Inc. | Stable monolithic interferometer for wavelenghth calibration |
US8164050B2 (en) * | 2009-11-06 | 2012-04-24 | Precision Energy Services, Inc. | Multi-channel source assembly for downhole spectroscopy |
US8735803B2 (en) * | 2009-11-06 | 2014-05-27 | Precision Energy Services, Inc | Multi-channel detector assembly for downhole spectroscopy |
US8436296B2 (en) * | 2009-11-06 | 2013-05-07 | Precision Energy Services, Inc. | Filter wheel assembly for downhole spectroscopy |
US8542353B2 (en) | 2010-09-30 | 2013-09-24 | Precision Energy Services, Inc. | Refractive index sensor for fluid analysis |
US8411262B2 (en) | 2010-09-30 | 2013-04-02 | Precision Energy Services, Inc. | Downhole gas breakout sensor |
US8823932B2 (en) * | 2011-04-04 | 2014-09-02 | Corning Incorporated | Multi field of view hyperspectral imaging device and method for using same |
CN103162845A (zh) * | 2011-12-12 | 2013-06-19 | 金石琦 | 飞秒时域单光子空间多波长探测装置 |
US9046418B1 (en) * | 2012-02-24 | 2015-06-02 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Linear Fresnel spectrometer chip with gradient line grating |
CN102589702B (zh) * | 2012-02-27 | 2013-08-14 | 安徽工业大学 | 一种菲涅尔双面镜干涉成像光谱仪 |
CA3023632C (en) * | 2016-06-30 | 2024-04-02 | Sicpa Holding Sa | Systems, methods, and computer programs for imaging an object and generating a measure of authenticity of the object |
CN106289529B (zh) * | 2016-10-10 | 2017-12-22 | 平顶山学院 | 基于分区式数字微镜的高光通量光谱仪 |
JP7147143B2 (ja) | 2017-01-20 | 2022-10-05 | 株式会社リコー | 分光器および分析装置 |
WO2018135223A1 (en) * | 2017-01-20 | 2018-07-26 | Ricoh Company, Ltd. | Spectrometer, analysis equipment, and wavelength-variable light source |
DE102017206066A1 (de) | 2017-04-10 | 2018-10-11 | Anvajo GmbH | Spektrometer |
GB2594980A (en) * | 2020-05-14 | 2021-11-17 | Agilent Tech Lda Uk Limited | Spectral analysis of a sample |
FI129324B (sv) * | 2021-01-08 | 2021-11-30 | Timegate Instr Oy | Anordning och förfarande för att mäta spektralkomponenter av raman-spritt ljus |
JP2023000800A (ja) | 2021-06-18 | 2023-01-04 | 三星電子株式会社 | 分光器及び計測システム |
US20220404197A1 (en) * | 2021-06-18 | 2022-12-22 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Spectrometer, metrology system, and semiconductor inspection method |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3859515A (en) | 1972-08-21 | 1975-01-07 | Burroughs Corp | Method and apparatus for signal spectrum analysis by hadamard transform |
US3915571A (en) * | 1972-12-20 | 1975-10-28 | Jenoptik Jena Gmbh | Monochromator with rotatable lens |
DE3014646C2 (de) | 1980-04-16 | 1983-12-15 | Erwin Sick Gmbh Optik-Elektronik, 7808 Waldkirch | Vorrichtung zur Spektralanalyse |
US4615619A (en) | 1984-03-19 | 1986-10-07 | D.O.M. Associates, Inc. | Stationary, electrically alterable, optical masking device and spectroscopic apparatus employing same |
SE453017B (sv) | 1985-06-13 | 1988-01-04 | Opsis Ab Ideon | Sett och anordning for bestemning av parametrar for gasformiga emnen som er nervarande vid forbrenningsprocesser och andra processer som sker vid hog temperatur |
US4790654A (en) | 1987-07-17 | 1988-12-13 | Trw Inc. | Spectral filter |
US4856897A (en) * | 1987-08-14 | 1989-08-15 | D.O.M. Associates, Inc. | Raman spectrometer having Hadamard electrooptical mask and diode detector |
FR2651575B1 (fr) * | 1989-09-05 | 1993-11-19 | Instruments Sa | Dispositif d'analyse par spectrocopie. |
CA2084923A1 (en) | 1991-12-20 | 1993-06-21 | Ronald E. Stafford | Slm spectrometer |
DE4143284A1 (de) * | 1991-12-30 | 1992-10-01 | Klaus Eberhard Engel | Integrierter halbleitersensor fuer spektrometer |
US5856871A (en) * | 1993-08-18 | 1999-01-05 | Applied Spectral Imaging Ltd. | Film thickness mapping using interferometric spectral imaging |
US5570180A (en) | 1993-08-27 | 1996-10-29 | Minolta Co., Ltd. | Spectrometer provided with an optical shutter |
US5608519A (en) * | 1995-03-20 | 1997-03-04 | Gourley; Paul L. | Laser apparatus and method for microscopic and spectroscopic analysis and processing of biological cells |
US5748308A (en) * | 1996-02-02 | 1998-05-05 | Abbott Laboratories | Programmable standard for use in an apparatus and process for the noninvasive measurement of optically absorbing compounds |
-
1999
- 1999-09-29 FI FI992092A patent/FI109149B/sv active
-
2000
- 2000-09-27 AU AU72949/00A patent/AU7294900A/en not_active Abandoned
- 2000-09-27 WO PCT/FI2000/000824 patent/WO2001023848A1/en active Search and Examination
- 2000-09-27 US US10/089,161 patent/US6870619B1/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
AU7294900A (en) | 2001-04-30 |
US6870619B1 (en) | 2005-03-22 |
FI19992092A (sv) | 2001-03-29 |
WO2001023848A1 (en) | 2001-04-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
FI109149B (sv) | Spektrometer och förfarande för mätning av optiskt spektrum | |
US6031609A (en) | Fourier transform spectrometer using a multielement liquid crystal display | |
US7426446B2 (en) | Calibration training for spectrometer | |
KR100275422B1 (ko) | 공간 광 변조기 분광기 및 광 분석 방법 | |
US5748308A (en) | Programmable standard for use in an apparatus and process for the noninvasive measurement of optically absorbing compounds | |
US7397561B2 (en) | Spectroscopy system | |
US7440098B2 (en) | Spectroscope and method of performing spectroscopy utilizing a micro mirror array | |
US20090073433A1 (en) | Optical analysis system and methods for operating multivariate optical elements in a normal incidence orientation | |
US5305077A (en) | High-resolution spectroscopy system | |
WO2007121593A1 (en) | Method for measurement and determination of concentration within a mixed medium | |
US6323944B1 (en) | Compact spectrofluorometer | |
US10760968B2 (en) | Spectrometric measuring device | |
US20170045397A1 (en) | Device for analysing a specimen and corresponding method | |
EP0176826A2 (en) | Method and apparatus for dual-beam spectral transmission measurements | |
Day et al. | Diffractive-MEMS implementation of a Hadamard near-infrared spectrometer | |
US7515262B2 (en) | Crystal grating apparatus | |
GB2286041A (en) | High resolution infared spectroscope | |
KR100961138B1 (ko) | 분광분석기 | |
Merenda et al. | Portable NIR/MIR Fourier-transform spectrometer based on a common path lamellar grating interferometer | |
JP7253801B2 (ja) | 干渉計、フーリエ変換分光装置及び成分分析装置 | |
RU2251668C2 (ru) | Спектрометр | |
Kansakoski et al. | Optical characteristics of a PbS detector array spectrograph for online process monitoring | |
Lammasniemi et al. | Infrared sensing and analysis in industrial measurements | |
RU2248536C1 (ru) | Монохроматор для спектрофотометров | |
JP2002090220A (ja) | マルチチャンネル分光器 |