ES2329878T3 - Instalacion de medicion de la posicion. - Google Patents

Instalacion de medicion de la posicion. Download PDF

Info

Publication number
ES2329878T3
ES2329878T3 ES02012780T ES02012780T ES2329878T3 ES 2329878 T3 ES2329878 T3 ES 2329878T3 ES 02012780 T ES02012780 T ES 02012780T ES 02012780 T ES02012780 T ES 02012780T ES 2329878 T3 ES2329878 T3 ES 2329878T3
Authority
ES
Spain
Prior art keywords
signal
incremental
detection
signals
scale
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
ES02012780T
Other languages
English (en)
Inventor
Ulrich Benner
Wolfgang Holzapfel
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Original Assignee
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dr Johannes Heidenhain GmbH filed Critical Dr Johannes Heidenhain GmbH
Application granted granted Critical
Publication of ES2329878T3 publication Critical patent/ES2329878T3/es
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/245Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
    • G01D5/2454Encoders incorporating incremental and absolute signals
    • G01D5/2455Encoders incorporating incremental and absolute signals with incremental and absolute tracks on the same encoder
    • G01D5/2457Incremental encoders having reference marks

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Vehicle Body Suspensions (AREA)
  • Body Structure For Vehicles (AREA)

Abstract

Instalación de medición de la posición, que está constituida por una escala (10) y por una unidad de exploración (20) móvil con relación a la escala (10) en una dirección de medición (x), - en la que sobre la escala (10) están dispuesta una primera y una segunda pista (12, 13) con zonas parciales sucesivas de diferente capacidad de reflexión, a partir de cuya exploración con la ayuda de la unidad de exploración (20)se pueden generar una primera y una segunda señales de exploración (INC G2, ABS) en función de la posición, y - la unidad de exploración (20) está configurada de tal forma que a partir de una de las dos pistas (12, 13) se puede generar una tercera señal de exploración (INC G2), que presenta un comportamiento de cabecero diferente, en virtud de movimientos de cabeceo de la unidad de exploración (20) o de la escala (10) alrededor de un eje, que está orientado en el plano de la escala o en paralelo al plano de la escala y perpendicularmente a la dirección de medición (x), que la otra señal de exploración (INCG1) generada a partir de esta pista (12, 13), a cuyo fin la trayectoria de los rayos de exploración para la generación de la tercera señal de exploración (INC G2) se diferencia de la trayectoria de los rayos de exploración para la generación de la otra señal de exploración (INCG1) generada a partir de esta pista (12, 13), y - a la instalación de medición de la posición está asociada, además, una unidad de comparación, que compara para la detección de una eventual inclinación de cabeceo las dos señales de exploración (INC G1, INC G2) entre sí.

Description

Instalación de medición de la posición.
La presente invención se refiere a una instalación de medición de la posición, que es especialmente adecuada para la determinación de la posición absoluta de dos objetos móviles entre sí. Por lo demás, la invención se refiere a un procedimiento para el funcionamiento de una instalación de medición de la posición.
Una categoría de instalaciones de medición de la posición conocidas para la determinación de la posición absoluta comprende en el lado de la escala explorada una pista incremental que se extiende en la dirección de medición así como una pista absoluta dispuesta paralela a ella, que presenta, por ejemplo, una codificación absoluta en serie. Una instalación de medición de la posición constituida de forma correspondiente se describe, por ejemplo, en el documento DE 195 05 176 A1. Para la determinación de la posición exacta deben sincronizarse entre sí las señales de exploración resultantes en función de la posición a partir de las dos pistas. Esto es especialmente crítico cuando estas señales se diferencian claramente entre sí en el orden de magnitud de la resolución local respectiva. Se plantean problemas adicionales en el caso de utilización de cintas metálicas finas en el lado de la escala, puesto que su alineación paralela a la dirección de medición no siempre es posible de una manera óptima. Resultan errores de medición cuando existe, por ejem-
plo, una rotación de la escala alrededor de un eje, que está orientado perpendicularmente a la superficie de la escala.
Para la solución de estos problemas se ha propuesto, por lo tanto, en la solicitud de patente alemana Nº 199 62 278.7 generar a partir de la exploración de una pista incremental adecuada al menos dos señales incrementales de diferente resolución. Además de la configuración correspondiente de la pista incremental explorada se requiere a tal fin también una configuración correspondiente de las disposiciones de detección respectivas en la unidad de exploración. En la solicitud de patente mencionada se proponen dos variantes de detección adecuadas con esta finalidad, con las que se puede resolver el problema explicado, que se plantea en caso de revoluciones eventuales de la unidad de exploración o bien de la escala alrededor de un eje, que está orientado perpendicularmente a la superficie de la escala.
Además de rotaciones no deseadas alrededor de este eje, pueden resultar en el modo de medición adicionalmente movimientos de cabecero de la unidad de exploración o de la escala alrededor de ejes que están orientados en el plano de la escala o paralelamente al plano de la escala y perpendicularmente a la dirección de medición. También tales movimientos de cabeceo pueden conducir a errores durante la sincronización de las señales de exploración de diferente resolución local, especialmente cuando las señales de exploración procedentes de diferentes pistas muestran un comportamiento de cabeceo diferente.
Se conoce a partir del documento EP 0 555 507 A1 un sistema codificado de medición de la longitud, en el que el ángulo de cabeceo de la unidad de exploración con respecto a la escala, provocado por errores de guía, es calculado a través de dos divisiones incrementales dispuestas longitudinalmente y se corrige, dado el caso, una lectura errónea de la división de codificación. Por lo tanto, aquí se detecta un error eventual que resulta de la inclinación de la unidad de exploración con relación a la escala alrededor de un eje perpendicularmente al plano de la escala. Sin embargo, de esta publicación no se pueden deducir instrucciones para la eliminación adecuada de los problemas descritos en caso de movimientos de cabeceo.
En el documento EP 1 081 457 A2 se publica una instalación óptica de medición de la posición, en la que en la trayectoria de los rayos de exploración está dispuesta una división de la proyección configurada de forma especial, a través de la cual es posible una reducción al mínimo de la sensibilidad de la exploración frente a modificaciones en la distancia de exploración. Con respecto a la problemática de eventuales movimientos de cabeceo no se encuentran instrucciones en esta publicación.
Otra instalación óptica de medición de la posición se propone en el documento DE 199 08 328. Esta comprende en el lado de la escala dos divisiones de medición parciales diferentes, que son impulsadas en el transcurso de la exploración por medio de un elemento retro reflector previsto en el lado de la exploración. Tampoco de este documento se pueden deducir instrucciones sobre la reducción al mínimo de eventuales errores en virtud de movimientos de cabeceo.
Se conoce a partir del documento EP 0 770 850 A2 una instalación óptica de medición de la posición, en la que se prevé una configuración especial de una marca de referencia en el lado de la escala. No obstante, tampoco se aborda en este documento la problemática de eventuales inclinaciones de pandeo.
El cometido de la presente invención es, por lo tanto, indicar una instalación de medición de la posición, que garantiza siempre una determinación exacta de la posición. Por lo demás, debe indicarse un procedimiento para el funcionamiento de una instalación de medición de la posición de este tipo.
Este cometido se soluciona a través de una instalación de medición de la posición con las características de la reivindicación 1.
Las formas de reivindicación ventajosas de la instalación de medición de la posición de acuerdo con la invención se deducen a partir de las características que se indican en las reivindicaciones de patente dependientes de la reivindicación 1.
Por lo demás, este cometido se soluciona a través de un procedimiento para el funcionamiento de una instalación de medición de la posición con las características de la reivindicación 13.
Otras formas de realización ventajosas del procedimiento de acuerdo con la invención se deducen a partir de las medidas que se indican en las reivindicaciones de patente que dependen de la reivindicación 13.
De acuerdo con la invención, ahora está previsto generar, además de las primeras y segundas señales de exploración generadas a partir de la primera y segunda pista, a partir de una de las dos pistas exploradas en la escala una tercera señal de exploración, que presenta un comportamiento de cabeceo diferente que la otra señal de exploración generada a partir de esta pista. Por ejemplo, la tercera señal de exploración presenta un comportamiento de cabeceo similar a la señal de exploración de la otra pista respectiva. A partir de la supervisión de las señales de exploración obtenidas a partir de la misma pista con diferente comportamiento de cabeceo, por ejemplo en una unidad de comparación asociada a la instalación de medición de la posición, se puede supervisar, regular, etc. el comportamiento de cabecero del sistema.
En un ejemplo de realización preferido, la instalación de medición de la posición de acuerdo con la invención en el lado de la escala comprende una primera pista configurada como pista incremental así como una pista absoluta dispuesta paralela a ella como segunda pista. En el lado de la unidad de exploración móvil con relación a la escala están previstas dos disposiciones de detección de la señal incremental así como una disposición de detección de la señal de posición absoluta. Con la ayuda de las disposiciones de detección de la señal incremental se generan como señal de exploración primeras y segundas señales incrementales aproximadas con el periodo de la señal aproximado idéntico. A través de la disposición de detección de la señal de posición absoluta se genera una señal de la posición absoluta a partir de la exploración de la pista absoluta. La generación de las dos señales incrementales aproximadas se distingue en que éstas presentan en cada caso un comportamiento de cabeceo diferente. Esto significa que las señales de exploración generadas a través de diferentes trayectorias de los rayos de exploración se comportan de manera diferente en el caso de un eventual movimiento de cabeceo, es decir, una inclinación de la unidad de exploración y la escala alrededor de un eje, que se extiende en la superficie de la escala perpendicularmente a la dirección de medición. De esta manera, en este caso no se influye sobre una señal incremental aproximada, mientras que, por ejemplo, la otra señal incremental aproximada experimenta una influencia en el sentido de que no se indica ya la posición correcta.
La tercera señal de exploración generada de acuerdo con la invención en forma de una segunda señal incremental aproximada presenta en el caso de una inclinación de la unidad de exploración y de la escala, por ejemplo alrededor de un eje, que se extiende en la superficie de la escala perpendicularmente a la dirección de medición, un comportamiento similar a la segunda señal de exploración, es decir, la señal de posición absoluta. Esto tiene como consecuencia que la sincronización de estas dos señales de exploración es posible también en este caso libre de errores.
En una forma de realización preferida, la instalación de medición de la posición de acuerdo con la invención es, por lo tanto, insensible tanto frente a movimientos de rotación alrededor de un eje, que está orientado perpendicularmente a la escala, como también frente a movimientos de cabeceo. En todos los casos, se garantiza la determinación de la posición absoluta precisa a partir de las señales de exploración generadas.
Además, se ha revelado que es ventajoso que a partir de la comparación de las dos señales de exploración con diferentes comportamientos de cabeceo, es decir, por ejemplo, de las generales incrementales aproximadas generadas, especialmente a partir de la medición de la diferencia de fases, se puede derivar ahora también una medida para la inclinación entre la unidad de exploración y la escala alrededor de un eje de cabeceo, que está orientado, por ejemplo, en la superficie de la escala perpendicularmente a la dirección de medición. Esta información puede ser evaluada para las más diferentes finalidades, como por ejemplo para la alineación exacta de la unidad de exploración durante el montaje.
Con relación a la configuración de las pistas existe una serie de posibilidades, Así, por ejemplo, la codificación absoluta en la pista absoluta puede estar configurada también en forma de una o varias marcas de referencia, etc.
La instalación de medición de la posición de acuerdo con la invención se puede configurar evidentemente también como instalación de medición de la posición lineal como también como instalación de medición de la posición giratoria.
Fundamentalmente, el principio en el que se basa la presente invención se puede transferir a cualquier instalación de medición de la posición, en la que se exploran varias pistas en una escala y las señales de exploración generadas a partir de las diferentes pistas muestran en el caso de una eventual inclinación de cabeceo un comportamiento diferente. A partir de una de las pistas se pueden deducir entonces a través de una exploración correspondiente, o bien una configuración de la unidad de exploración, dos señales de exploración con diferente comportamiento en el caso de una inclinación de cabeceo de este tipo. El desplazamiento de fases respectivo entre estas dos señales de exploración suministra entonces una medida para la inclinación de cabeceo presente actualmente y se puede supervisar o regular en el transcurso de la medición.
Otras ventajas así como detalles de la presente invención se deducen a partir de la descripción siguiente de un ejemplo de realización con la ayuda de las figuras que se acompañan.
En este caso:
La figura 1 muestra una representación esquemática de la trayectoria de los rayos de exploración de un ejemplo de realización de la instalación de medición de la posición de acuerdo con la invención.
Las figuras 2a y 2b muestran, respectivamente, una vista en planta superior sobre la escala de la figura 1.
La figura 3 muestra una vista en planta superior sobre la placa de exploración de la instalación de medición de la posición de la figura 1.
La figura 4 muestra una vista del plano de detección de la unidad de exploración de la figura 1.
Las figuras 5a - 5d muestran diferentes representaciones para la explicación de las relaciones en el lado de la instalación de medición de la posición de acuerdo con la invención en el caso de un eventual movimiento de cabeceo de la unidad de exploración.
La figura 6 muestra una vista parcial esquemática de la instalación de medición de la posición de acuerdo con la invención para la explicación de diferentes magnitudes geométricas.
Un ejemplo de realización de la instalación de medición de la posición de acuerdo con la invención se explica a continuación con la ayuda de las figuras 1 a 6. En este caso se trata de un dispositivo para la determinación de la posición absoluta.
La figura 1 muestra la trayectoria básica de los rayos de exploración de un ejemplo de realización de la instalación de medición de la posición de acuerdo con la invención, que está configurada como sistema de medición con luz incidente. La instalación de medición de la posición comprende una escala 10, que se extiende en dirección de medición x así como una unidad de exploración 20 móvil con relación a la escala 10 en dirección de medición x. La dirección de medición x está orientada en la representación de la figura 1 perpendicularmente al plano del dibujo. La escala de medición 10 y la unidad de exploración 20 están conectadas, por ejemplo, con partes de la máquina móviles entre sí, cuya posición entre sí se puede determinar. En este caso se puede tratar, por ejemplo, de la herramienta y de la pieza de trabajo de una máquina herramienta controlada numéricamente; las señales generadas por la instalación de medición de la posición de acuerdo con la invención son procesadas posteriormente en este caso por un control de máquina herramienta -no representado.
La escala 10 de la instalación de medición de la posición de acuerdo con la invención comprende en esta forma de realización dos pistas 12, 13, que están dispuestas sobre un porta-escala 11 y son exploradas por la unidad de exploración 20 para la determinación de la posición absoluta. Las dos pistas 12, 13 se extienden en la dirección de medición x y están constituidas en la variante de luz incidente representada de la instalación de medición de la posición, respectivamente, por una secuencia de zonas parciales con diferentes propiedades de reflexión, a saber, por zonas parciales de alta capacidad de reflexión y zonas parciales de reducida capacidad de reflexión.
En la vista en planta superior de la escala de la figura 2a se puede reconocer la configuración de las dos pistas 12, 13 del ejemplo de realización representado. Una primera pista 13, designada a continuación como pista absoluta 13, presenta en el presente ejemplo una codificación absoluta en forma de un código seudo-aleatorio. El código seudo-aleatorio está constituido por una secuencia aperiódica de zonas parciales 13.1, 13.2 de alta capacidad de reflexión y de reducida capacidad de reflexión, que poseen, respectivamente, la misma anchura en la dirección de medición x. A partir de la exploración de la pista absoluta 13 se puede generar de manera conocida como señal de exploración una señal de posición absoluta aproximada ABS, cuya resolución no es suficiente, sin embargo, para la medición de la posición de alta precisión deseada. Evidentemente, se pueden realizar también codificaciones en serie alternativas en la pista absoluta 13, como por ejemplo códigos de bloque, códigos de Manchester, etc. Pero, por lo demás, también es posible que la pista absoluta presente como codificación absoluta una o varias marcas de referencia, que se pueden utilizar de la misma manera de forma conocida para la generación de una señal de posición absoluta aproximada ABS.
Directamente adyacente a la pista absoluta 13 está dispuesta en paralelo la segunda pista 12, que se designa a continuación como pista incremental 12. Como la pista absoluta 13, la pista incremental 12 se extiende de la misma manera en la dirección de medición x. La pista incremental 12 sirve para la generación de señales de exploración en forma de señales incrementales periódicas, de elevada resolución INC_{F}, INC_{G1}, INC_{G2}, que se utilizan para la determinación de la posición relativa de la escala 10 y de la unidad de exploración 20. En las tres señales incrementales en total diferentes INC_{F}, INC_{G1}, INC_{G2}, se trata, en particular, de señales incrementales finas INC_{F}, primeras señales incrementales aproximadas INC_{G1} así como segundas señales incrementales aproximadas INC_{G2}. De manera adecuada, las diferentes señales incrementales INC_{F}, INC_{G1}, INC_{G2} se combinan con las señales de la posición absoluta ABS de la pista absoluta 13, para determinar de esta manera la posición absoluta de las partes móviles entre sí. En este caso, se puede realizar la determinación de la posición absoluta respectiva a partir de las diferentes señales de exploración tanto en el lado del sistema de medición como también ya en una unidad de evaluación dispuesta a continuación, por ejemplo en un control numérico de máquina herramienta.
En el ejemplo representado, a partir de la exploración de la pista incremental 12 se generan como señales de exploración las señales incrementales INC_{F}, INC_{G1}, INC_{G2}. Las señales incrementales finas INC_{F} poseen el periodo de la señal SP_{F}, mientras que las primeras y segundas señales incrementales aproximadas INC_{G1}, INC_{G2} presentan, respectivamente, el periodo idéntico de la señal SP_{G}. Los periodos de las señales SP_{F} y SP_{G} se diferencian habitualmente claramente entre sí.
La pista incremental 12 explorada presenta dos periodos de división TP_{F} y TP_{G} diferentes t está constituida en este ejemplo de realización por una secuencia periódica de primeros y segundos bloques B1, B2. A través de la suma de las anchuras de dos bloques B1, B2 consecutivos se define el periodo de división TP_{G}, que representa el mayor de los dos periodos de división TP_{G} y TP_{F} en la pista incremental 12. En esta forma de realización, las anchuras de los dos bloques B1, B2 están seleccionadas idénticas; sin embargo, para la exploración es importante sobre todo el periodo de división TP_{G} aproximado definido a través de la suma de las anchuras. Pero de acuerdo con el tipo de exploración de la pista incremental 12 también es posible configurar los bloques B1, B2, dado el caso, de diferente anchura.
Los primeros bloques B1 están configurados con reducida capacidad de reflexión; los segundos bloques B2 están constituidos, en cambio, por una secuencia periódica de otras zonas parciales 12.1, 12.2 con propiedades ópticas de alta capacidad de reflexión. Una representación de un fragmento ampliado de un segundo bloque B2 se representa en la figura 2b. Como se puede reconocer a partir de la figura 2b, las zonas parciales 12.1, 12.2 en los segundos bloques B2 están configuradas como zonas rectangulares estrechas, cuyos ejes longitudinales se extienden en dirección-y en el plano de la escala, es decir, que están orientados perpendicularmente a la dirección de medición x. Las diferentes zonas parciales 12.1, 12.2 en los segundos bloques B2 presentan en cada caso las mismas dimensiones. A través de la suma de las anchuras de dos zonas parciales 12.1, 12.2 sucesivas en los primeros bloques B1 se define el periodo de división fina TP_{F} de la pista incremental 12, como se ilustra igualmente en la figura 2b.
En la forma de realización representada de la instalación de medición de la posición de acuerdo con la invención, el periodo de división fina TP_{F} de la pista incremental 12 se ha elegido menos en el factor 8 que el periodo de división más grosero TP_{G} de la pista incremental 12, es decir, TP_{G} = 160 \mum y TP_{F} = 20 \mum.
En principio, el periodo de división TP_{G} más grosero de la pista incremental 12 debería seleccionarse como múltiplo entero del periodo de división más fino TP_{F}. Solamente de esta manera se garantiza que bloques B2 sucesivos representen partes de una división incremental continua con el periodo de división más fino TP_{F}. Por consiguiente, debe asegurarse que sobre toda la longitud de medición están dispuestas alternando siempre zonas parciales de reducida capacidad de reflexión 12.1 y zonas parciales de alta capacidad de reflexión 12.2; especialmente también cuando la división incremental con el periodo de división más fino TP_{F} es interrumpida por los bloques de reducida capacidad de reflexión B1. De esta manera, a una zona parcial de reducida capacidad de reflexión 12.1 en el borde de un bloque B2 en el bloque B2 inmediatamente adyacente en la dirección de medición sigue una zona parcial de alta capacidad de reflexión 12.2, etc. No obstante, esto no se muestra en detalle en la representación de la pista incremental 12 en la figura 2a.
Al periodo de división más grosero TP_{G} de la división incremental 12 se ajusta en este ejemplo de realización, además, la anchura binaria del código seudo-aleatorio de la pista absoluta 13. Esto significa que la anchura de las zonas parciales 13.1, 13.2 en la pista absoluta 13 en la dirección de medición x está seleccionada idéntica al periodo de división TP_{G} de la pista incremental 12.
Alternativamente a la forma de realización explicada de la escala 10, naturalmente es posible configurar las diferentes zonas parciales de las dos pistas 12, 13 sobre el porta-escala 11 con otras propiedades ópticas es decir, intercambiar, por ejemplo, zonas parciales de alta y baja capacidad de reflexión.
Además, en principio se puede prever también configurar la pista incremental de tal forma que se obtengan a partir de ella más de tres señales incrementales con diferentes periodos de las señales, etc.
La unidad de exploración 20 representada, por lo demás, de forma esquemática en la figura 1, comprende una fuente de luz 21, por ejemplo un LED, una óptica de colimación 22, una placa de exploración 23 así como una unidad de detección 24 para la detección de las diferentes señales de exploración.
A continuación se explican por separado las trayectorias de los rayos de exploración para la generación de las señales incrementales INC_{F}, INC_{G1}, INC_{G2} así como de las señales de posición absoluta ABS.
El haz de rayos emitido desde la fuente de luz 21, que contribuyen a la generación de las diferentes señales incrementales INC_{F}, INC_{G1}, INC_{G2}, llegan en el ejemplo representado después de la colimación a través de la óptica de colimación 22 sobre la placa de exploración 23. Una vista de la placa de exploración 23 se representa en la vista en planta superior en la figura 3. Por parte de la placa de exploración 23, los haces de luz, que contribuyen a la generación de las señales incrementales INC_{F}, INC_{G1}, INC_{G2} atraviesan ahora diferentes zonas, de acuerdo con las diferentes señales incrementales INC_{F}, INC_{G1}, INC_{G2}, a las que contribuyen. Las diferentes zonas sobre la placa de exploración 23 están asociadas, por otra parte, también de forma definida a diferentes zonas en el plano de detección, en las que se genera, respectivamente, un sistemas de bandas Vernier.
De esta manera, los haces de luz utilizados en último término para la generación de las señales incrementales finas INC_{F} y de las primeras señales incrementales aproximadas INC_{G1} atraviesan la zona de la ventana transparente de la placa de exploración 23, designada con el signo de referencia 23.1. Los haces de luz utilizados para la generación de las segundas señales incrementales aproximadas INC_{G2} atraviesan, en cambio, las dos zonas, en las que está dispuesta en cada caso una estructura de exploración 23.2, 23.3. Las estructuras de exploración 23.2, 23.3 están configuradas, respectivamente, como zonas parciales transparentes y opacas configuradas periódicamente en la dirección de medición x. Las zonas parciales transparentes de las estructuras de exploración 23.2, 23.3 están configuradas aproximadamente en forma de rombo en la representación de la figura 3; en el caso ideal, sin embargo, las zonas parciales transparente presentan contornos exteriores sinusoidales. Con respecto a otras medidas de dimensionado en el lado de las estructuras de exploración 23.2, 23.3 se remite a la descripción siguiente.
Después de recorrer las estructuras de exploración 23.2, 23.3 o bien la zona de ventana transparente 23.1, los haces de rayos respectivos para la generación de las señales incrementales INC_{F}, INC_{G1}, INC_{G2} inciden sobre la pista incremental 12 sobre la escala 10 y se reflejan desde allí de nuevo de retorno en la dirección de la placa de exploración 23. En la placa de exploración 23 circulan los haces de rayos reflejados a través de una zona de ventana transparente 23.4, antes de incidir sobre las disposiciones de detección 24.1, 24.2, 24.3 de señales incrementales respectivas en la unidad de detector 24. En la figura 1 solamente se puede reconocer una de las disposiciones de detección 24.2, 24.2, 24.3 de las señales incrementales, por lo que con respecto a la estructura concreta de la unidad de detección 24 se remite a la vista en planta superior representada de forma esquemática sobre el plano de detección en la figura 4. Como se deduce a partir de la figura 4, en el lado de la unidad de detección 24 está prevista una primera disposición de detección 24.1 de señales incrementales para la generación de las señales incrementales finas INC_{F} con el periodo de la señal SPF así como para la generación simultánea de las primeras señales incrementales aproximadas INC_{G1} con el periodo de la señal SP_{G}. Por lo demás, la unidad de exploración 20 comprende de acuerdo con la invención al menos una segunda disposición de detección 24.2, 24.3 de señales incrementales para la generación de las segundas señales incrementales aproximadas INC_{G2}, que presentan igualmente el periodo de la señal SP_{G}. Evidentemente, en el lado de partida, se genera respectivamente una pareja de señales incrementales, de manera que éstas están desfasadas 90º entre sí. Con relación a la estructura detallada de la unidad de detección 24 se remite a la descripción detallada siguiente de la figura 4.
Los haces de rayos que se utilizan en este ejemplo para la generación de las señales aproximadas de la posición absoluta ABS, pasan después de la colimación a través de la óptica de colimación 22 la zona de ventana transparente 23.4 de la placa de exploración 23 y llegan sobre la pista absoluta 13 sobre la escala 10. Desde allí se realiza una reflexión de retorno en la dirección de la placa de exploración 23, donde los haces de rayos reflejados pasan de nuevo la zona de ventana transparente 23.4, antes de que éstos incidan sobre la disposición de detección 24.4 de la señal de posición absoluta en la unidad de detección 24. A través de esta trayectoria de los rayos se realiza, por consiguiente de manera conocida solamente una reproducción o proyección de sombras de la sección precisamente detectada del código seudo-aleatorio sobre la disposición de detección 24.4 de la señal de posición absoluta.
Una vista del plano de detección de la unidad de detección 24 se representa en forma esquemática en la figura 4. En la parte superior se puede reconocer en este caso la disposición de detección 24.4 de la señal de posición absoluta, que está constituida por una pluralidad de elementos de detección optoelectrónicos individuales, que se disponen sucesivamente en la dirección de medición x. Dos elementos de detección adyacentes respectivos sirven en el ejemplo de realización representado para la exploración de un bit del código seudo-aleatorio en la pista absoluta 13, es decir, que existen dos grupos de elementos de detección, que se utilizan para la exploración de los bits del código seudo-aleatorio. En el modo de medición, sin embargo, solamente se leen en cada caso uno de los dos elementos de detección por bit, lo que se ilustra en la figura 4 sobre los elementos de conmutación SA - SN indicados sólo esquemáticamente sobre los elementos de detección. En el presente ejemplo de realización, por lo tanto, a dos elementos de detección, que están asociados a una anchura binaria, está asociado de nuevo un elemento de conmutación SA - SN de este tipo. En este caso, la lectura selectiva del elemento de detección respectivo se realiza en función de cual de los dos grupos de elementos de detección está más cerca en el centro de los campos binarios respectivos del código seudo-aleatorio. Para decidir esto, se utiliza en el modo de medición la señal incremental INC_{G1} con el periodo de señal SP_{G} aproximado.
Las señales de exploración generadas en los elementos de detección de la disposición de detección 24.4son alimentas en cada caso -no se representa- a elementos de disparo, que suministrar en el lado de salida señales con niveles lógicos ALTO y BAJO, que se procesan posteriormente para la determinación de la posición absoluta. Con preferencia, los elementos de disparo están dispuestos en forma integrada de la misma manera sobre el sustrato de soporte de la unidad de detección 24. Para la generación de las señales de partida, en los elementos de disparo se encuentra, por lo demás, una señal de referencia, que o bien presenta un nivel constante de la señal o, en cambio, se varía de manera conocida en función del nivel de las señales de exploración. Las señales de salida de los elementos de disparo son alimentadas a una unidad de procesamiento de señales tampoco representada, que las procesa como también las señales incrementales generadas y genera una señal de salida ABS, que indica la posición absoluta aproximada deseada.
En la parte inferior de la vista del plano de detección en la figura 4 se pueden reconocer las dos disposiciones de detección 24.1, 24.2a, 24b de señales incrementales, que sirven en este ejemplo de realización para la exploración de la pista incremental y para la generación de las señales incrementales INC_{F}, INC_{G1}, INC_{G2} con los periodos de las señales SP_{F}, SP_{G}.
En particular, la primera disposición de detección media 24.1 de señales incrementales se utiliza para la generación de las señales incrementales finas INC_{F} y de las primeras señales incrementales aproximadas INC_{G1}. Con relación a la generación de estas señales incrementales INC_{F}, INC_{G1}, se remite, por lo demás, a la solicitud de patente alemana Nº 199 62 278.7 ya mencionada, especialmente al segundo ejemplo de realización descrito allí.
La segunda disposición de detección 24.2a, 24.2b de señales incrementales, que se utiliza para la generación de la segunda señal incremental aproximada INC_{G2}, está constituida en el presente ejemplo de realización, en total, por dos unidades de detección 24.2a, 24,2b separadas, que están configuradas como disposiciones de detección o bien como series de elementos de detección idénticas, llamadas estructuradas. En principio, en el marco de la presente invención, la segunda disposición de detección de señales incrementales podría comprender también solamente una única unidad de detección de este tipo.
Las unidades de detección 24.2a, 24.2b representadas están constituidas de manera conocida por una pluralidad de elementos detectores optoelectrónicos rectangulares individuales, que están configurados, en general, idénticos dentro de una unidad de detector 24.2a, 24.2b y están dispuestos adyacentes entre sí en la dirección de medición x. Los elementos de detección de una unidad de detección 24.2a, 24.2b, que están interconectados entre sí, respectivamente, en el lado de salida, suministran las señales de exploración de las mismas fases. En la forma de realización mostrada, en las dos unidades de detección 24.2a, 24,2b, cada elemento de detección está conectado de tal manera que por cada unidad de detección 24.2a, 24.2b en el lado de salida están presentes, en total, cuatro señales incrementales parciales desfasadas 90º en cada caso. Éstas son conectadas en diferencia entre sí de manera conocida para la generación de dos señales incrementales aproximadas INC_{G2} desfasadas 90º, lo que no se representa en la figura 4. Para mayor simplicidad se ha hablado anteriormente sólo de una segunda señal incremental aproximada INC_{G2}, lo que se realiza de la misma manera en el desarrollo siguiente de la descripción.
En el plano de detección, en la zona de la segunda disposición de detección 24.2a, 24.2b de señales incrementales existen en cada caso patrones de franjas periódicas, que resulta de la interacción de los haces de rayos emitidos por la fuente de luz 21 con la pista incremental 12 así como con las estructuras de exploración 23.2, 23.3 asociadas en cada caso en la placa de exploración y se utilizan para la generación de las segunda señales incrementales aproximadas INC_{G2} con el periodo de la señal SP_{G}. En este lugar hay que mencionar todavía que las zonas transparentes de las estructuras de exploración 23.2, 23.3 presentan en la placa de exploración 23 en la dirección de medición una anchura máxima b_{AS}, que es menor que la anchura b_{DET} de los elementos de detección asociados en las disposiciones de detección estructuradas de la segunda disposición de detección 24.2a, 24,2b de la señal incremental.
En principio, la generación de la segunda señal incremental aproximada INC_{G2} corresponde, por lo tanto, a la generación de una señal incremental en el primer ejemplo de realización de la solicitud de patente alemana Nº 199 62 278.7 mencionada. Con respecto a los detalles de este tipo de generación de señales se remite, por lo tanto, a la publicación de este documento.
En este contexto hay que mencionar especialmente medidas en el lado de las estructuras de exploración 23.2, 23.3, que provocan una filtración de porciones de señales no deseadas en la segunda señal incremental aproximada INC_{G2}. Para una filtración de este tipo, está previsto en el ejemplo representado que las estructuras de exploración 23.2, 23.3 configuradas como rejillas de amplitud estén provistas con propiedades de filtro. A tal fin se emplean medidas de filtración conocidas y, por ejemplo, las zonas parciales transparentes de las estructuras de exploración 23.2, 23.3 están configuradas con aberturas sinusoidales, como se conoce, por ejemplo, a partir del documento GB 2 116 313 A. En la representación de la figura 3, esta configuración de las estructuras de exploración 23.2, 23.3 solamente se indica, por lo demás, de forma esquemática por razones de diseño.
Alternativamente a ello, se podría asegurar una filtración de porciones de harmónicos no deseadas también de manera conocida a través de desplazamientos adecuados de nervaduras en el lado de las estructuras de exploración 23.2, 23.3, etc. De acuerdo con ello, para la filtración de porciones de señales no deseadas, están disponibles diferentes medidas conocidas en el marco de la presente invención.
La configuración explicada de la instalación de medición de la posición de acuerdo con la invención proporciona a partir de la exploración de la pista incremental 12 ahora una señal incremental fina INC_{F} con el periodo de la señal SP_{F} y las dos señales incrementales aproximadas INC_{G1}, INC_{G2} con el periodo de la señal DP_{G} idéntico. A través de la combinación de estas señales con la señal aproximada de la posición absoluta ABS desde la pista absoluta 13 se puede asegurar de manera conocida la determinación de la posición absoluta de alta resolución. En este caso, se pueden calcular o bien combinar de una manera adecuada entre sí las diferentes señales de exploración ya en el lado del dispositivo de acuerdo con la invención para determinar de manera precisa la posición absoluta actual respectiva; pero de la misma manera es posible también transmitir las diferentes señales de exploración a una unidad de evaluación subordinada, donde la determinación de la posición absoluta se realiza a partir de estas señales, etc.
Las medidas de acuerdo con la invención aseguran ahora durante el cálculo o bien la sincronización de las diferentes señales de exploración INC_{F}, INC_{G1}, INC_{G2} y ABS que tampoco se produzcan errores, en el caso de un eventual movimiento de cabeceo de la unidad de exploración con relación a la escala. Por un movimiento de cabeceo o bien inclinación de cabeceo se define en este caso una inclinación de la escala y de la unidad de exploración alrededor de un eje que se encuentra en el plano de la escala o paralelamente al plano de la escala y está orientado perpendicularmente a la dirección de medición. Para la explicación adicional se remite a las figuras 5a - 5d y 6. En este caso, en el lado izquierdo de las figuras 45a - 5d se representa el caso de una alineación correcta de la escala 10 y de la unidad de exploración 20 en combinación con las dos señales incrementales aproximadas INC_{G1}, INC_{G2} resultantes así como con la señal de posición absoluta ABS; en la derecha se representa el caso de una eventual inclinación de
cabeceo.
En virtud de la configuración de la instalación de medición de la posición se garantiza que en el caso de un movimiento de cabeceo de este tipo, por una parte, resulte el mismo comportamiento de la señal incremental fina INC_{F} y de la primera señal incremental aproximada INC_{G1}; por otra parte, en este caso se garantiza de acuerdo con la invención que la segunda señal incremental aproximada INC_{G2} y la señal de posición absoluta ABS muestren un comportamiento en gran medida similar en el caso de un eventual movimiento de cabeceo. En el caso de un eventual movimiento de cabeceo resulta entre las dos señales INC_{G1}, INC_{G2} un desplazamiento de fases \Delta_{G1-G2}, en función del ángulo de cabeceo \phi, en el que entre la diferencia relativamente reducida de la altura de as disposiciones de detección respectivas sobre la escala. Las dos señales de exploración generadas a partir de una pista en forma de las dos señales incrementales aproximadas INC_{G1}, INC_{G2} presentan, por lo tanto, un comportamiento de cabeceo diferente.
Si existe una alineación ideal correcta de la unidad de exploración y de la escapa, es decir, que no existe ningún movimiento de cabeceo, entonces las dos señales incrementales aproximadas INC_{G1}, INC_{G2} con el mismo periodo de la señal están en igualdad de fases; este caso se ilustra en el lado izquierdo de las dos figuras 5a y 5b.
No obstante, en el caso de un eventual movimiento de cabeceo, resulta un desplazamiento de fases \Delta_{G1-G2} o bien una diferencia de fases entre las dos señales incrementales aproximadas INC_{G1}, INC_{G2}, como se deduce a partir de la parte derecha de las figuras 5b y 5c. El desplazamiento de fases \Delta_{G1-G2} entre las dos señales incrementales aproximadas INC_{G1}, INC_{G2} está condicionado por la diferente generación o la diferente trayectoria de rayos de exploración de las dos señales incrementales aproximadas INC_{G1}, INC_{G2}. De esta manera, en el caso de la generación de la primera señal incremental aproximada INC_{G1}, cuando existe una inclinación de cabeceo, el patrón de franjas generado en el plano de detección emigra en función del ángulo de inclinación y muestra de esta manera una presumible modificación de la posición, resultando un error en la determinación de la posición. En cambio, en la generación de las segundas señales incrementales aproximadas INC_{G2}, el patrón de franjas que resulta en el plano de detección permanece también en el caso de tal inclinación de cabeceo casi estacionario sobre la unidad de detección respectiva, es decir, que resulta el valor de posición correcto también en el caso de una inclinación de cabeceo de este tipo.
La diferencia de fases \Delta_{G1-G2} medida entre las dos señales incrementales aproximadas INC_{G1}, INC_{G2} se puede detectar, por lo tanto, como medida para una inclinación de cabeceo eventualmente presente entre la escala y la unidad de exploración y se puede evaluar de manera adecuada. La relación entre la diferencia de fases \Delta_{G1-G2} y el ángulo de cabeceo \phi se puede indicar en el ejemplo de realización descrito, por lo demás, también a través de consideraciones geométricas en cuanto a la fórmula a través de la relación siguiente:
Ec. (1)\Delta_{G1-G2} = (2 * \phi * h_{1} * 2\pi) / SPG
o bien
Ec. (1')\phi = (\Delta_{G1-G2} * SP_{G}) / (2 * h_{1} * 2\pi)
con
\phi =
ángulo de cabecero/rueda
SP_{G} =
periodo de la señal incremental aproximada
H_{1} =
altura de la segunda disposición de detección de la señal incremental a través de la escala.
Sobre el significado de las diferentes variables se remite como complemento a la figura 6, que muestra una vista parcial esquemática de la instalación de medición de la posición de acuerdo con la invención. En otras disposiciones de exploración, resultan evidentemente otras relaciones entre la diferencia de fases y el ángulo de cabeceo respectivo.
En el caso de una eventual inclinación de cabeceo alrededor del ángulo de cabeceo \phi resulta también una diferencia de fases \Delta_{G2-ABS} insignificante entre la segunda señal incremental aproximada INC_{G2} y la señal de posición absoluta ABS. Ésta se puede indicar de la siguiente manera:
Ec. (2)\Delta_{G2-ABS} = (2 * \phi * h_{1} - h_{2}) * 2\pi) / SP_{G}
Con h_{2} se indica de acuerdo con la representación de la figura 6 la altura de la disposición de detección 24.4 de la señal de posición absoluta sobre la escala 10. Puesto que en la Ec. (2), como se muestra, solamente entra la diferencia de las dos variables h_{1} y h_{2}, solamente existe una única diferencia de fases \Delta_{G2-ABS} en el caso de un movimiento de cabeceo.
El comportamiento de la señal de posición absoluta ABS en el caso de una eventual inclinación de cabeceo se ilustra, por lo demás, en la figura 5d. Como se deduce de ello, también la señal de posición absoluta ABS experimenta un desplazamiento en el caso de movimiento de cabeceo, condicionada por la trayectoria de los rayos de exploración correspondientes, pero en este caso se comporta solamente de una manera insignificantemente diferente a la segunda señal incremental aproximada INC_{G2}. La posición relativa de la señal de posición absoluta ABS con respecto a la segunda señal incremental INC_{G} permanece inalterada también en el caso de un movimiento de cabeceo en determinados límites.
En el caso de la sincronización necesaria para la determinación de la posición absoluta de una señal incremental aproximada INC_{G2} o INC_{G1} y de la señal de posición Absoluta ABS debe asegurarse ahora que no se exceda un desplazamiento de fases máximo admisible entre estas señales. Solamente entonces es posible una determinación correcta de la posición absoluta. Esto se puede conseguir ahora de acuerdo con la invención, supervisando la diferencia de fases \Delta_{G1-G2} con respecto a una diferencia de fases máxima admisible \Delta_{G1-G2, \ max}. El desplazamiento de fases máximo admisible \Delta_{G1-G2, \ max} es en el presente caso un semi-periodo de la señal incremental aproximada, es decir, \Delta_{G1-G2, \ max} = SP_{G}/2.
A partir de la supervisión corriente de la diferencia de fases de las dos señales incrementales aproximadas INC_{G1}, INC_{G2} con diferencias sensibilidades de cabeceo, por ejemplo durante el montaje de la instalación de medición de la posición, se puede deducir, por lo tanto, si se ha excedido, dado el caso, el desplazamiento de fases máximo admisible para la sincronización correcta con la señal de posición absoluta ABS. Se asegura que también en el caso de una inclinación de cabeceo eventualmente presente, sea posible la determinación de la posición absoluta correcta.
Una supervisión y determinación correspondientes de la diferencia de fases \Delta_{G1-G2} se puede realizar en una unidad de comparación, que está asociada a la instalación de medición de la posición y a través de la cual se comparan entre sí para la detección de una eventual inclinación de cabeceo las dos señales de exploración generadas a partir de una pista con diferente comportamiento de cabeceo. Una unidad de comparación de este tipo puede estar dispuesta en este caso tanto en el lado de la instalación de medición de la posición, como también, por ejemplo, en el lado de una unidad de evaluación, que está dispuesta a continuación de la instalación de medición de la posición. Sobre la base del resultado de la comparación se realiza entonces una corrección de la alineación espacial de la escala y de la unidad de exploración cuando se excede una inclinación de cabeceo máxima admisible. En el caso de que se exceda una inclinación de cabeceo máxima admisible se genera una señal de alarma óptica o acústica.
La supervisión de puede realizar en este caso, por ejemplo, durante el montaje en forma de una representación visual inmediata de la diferencia de fases \Delta_{G1-G2} calculada realmente en una unidad de representación adecuada. Pro de una manera alternativa también se puede prever realizar esta comparación de forma continua automática y general una señal de alarma solamente en el caso de error, es decir, cuando \Delta_{G1-G2} > \Delta_{G1-G2, \ max}. Pero de la misma manera también se puede supervisar esta diferencia de fases en el modo de medición propiamente dicho y se puede generar una señal de alarma adecuada en el caso de error.
En el marco de la presente invención existen, además del ejemplo explicado, evidentemente todavía otras variantes de realización.

Claims (18)

1. Instalación de medición de la posición, que está constituida por una escala (10) y por una unidad de exploración (20) móvil con relación a la escala (10) en una dirección de medición (x),
-
en la que sobre la escala (10) están dispuesta una primera y una segunda pista (12, 13) con zonas parciales sucesivas de diferente capacidad de reflexión, a partir de cuya exploración con la ayuda de la unidad de exploración (20)se pueden generar una primera y una segunda señales de exploración (INC_{G2}, ABS) en función de la posición, y
-
la unidad de exploración (20) está configurada de tal forma que a partir de una de las dos pistas (12, 13) se puede generar una tercera señal de exploración (INC_{G2}), que presenta un comportamiento de cabecero diferente, en virtud de movimientos de cabeceo de la unidad de exploración (20) o de la escala (10) alrededor de un eje, que está orientado en el plano de la escala o en paralelo al plano de la escala y perpendicularmente a la dirección de medición (x), que la otra señal de exploración (INC_{G1}) generada a partir de esta pista (12, 13), a cuyo fin la trayectoria de los rayos de exploración para la generación de la tercera señal de exploración (INC_{G2}) se diferencia de la trayectoria de los rayos de exploración para la generación de la otra señal de exploración (INC_{G1}) generada a partir de esta pista (12, 13), y
-
a la instalación de medición de la posición está asociada, además, una unidad de comparación, que compara para la detección de una eventual inclinación de cabeceo las dos señales de exploración (INC_{G1}, INC_{G2}) entre sí.
\vskip1.000000\baselineskip
2. Instalación de medición de la posición de acuerdo con la reivindicación 1, en la que la tercera señal de exploración (INC_{G2}) generada presenta un comportamiento de cabeceo similar a la señal de exploración (ABS) a partir de la otra pista (12, 13) respectiva.
3. Instalación de medición de la posición de acuerdo con la reivindicación 1, en la que
- sobre la escala (10)
-
como primera pista (13) está dispuesta una pista absoluta (13), que se extiende en la dirección de medición (x) con una codificación absoluta y
-
como segunda pista (12) está dispuesta una pista incremental (12), que se extiende en la dirección de medición (x) paralelamente a la pista absoluta (13), con una división incremental, así como
- sobre el lado de la unidad de exploración (20)
-
una primera disposición de detección de la señal incremental (24.1) está dispuesta en un plano de detección, que es adecuado para la generación de las primeras señales de exploración (INC_{G1}) en forma de señales incrementales aproximadas (INC_{G1}) con un periodo aproximado de la señal (SP_{G}) y
-
una disposición de detección de la señal de posición absoluta (24.4) está dispuesta en el plano de detección, que es adecuado para la generación de las segundas señales de exploración (ABS) en forma de una señal de la posición absoluta, y
-
una segunda disposición de detección de la señal incremental (24.2, 24.3) está dispuesta en el plano de detección, que es adecuado para la generación de las terceras señales de exploración (INC_{G2}) en forma de segundas señales incrementales aproximadas (INC_{G2}) con el periodo aproximado de la señal (SP_{G}), y
-
en la que la unidad de exploración (20) comprende, además, una placa de exploración (23), que
-
comprende al menos una estructura de exploración (23.2, 23.3), que está asociada en la trayectoria de los rayos de exploración a la segunda disposición de detección de la señal incremental (24.2, 24.3), y
-
comprende al menos una zona de ventana transparente (23.1), que está asociada en la trayectoria de los rayos de exploración a la primera disposición de detección de la señal incremental (24.1), de manera que las primeras y segundas señales incrementales aproximadas (INC_{G1}, INC_{G2}) presentan un comportamiento de cabeceo diferente.
\vskip1.000000\baselineskip
4. Instalación de medición de la posición de acuerdo con la reivindicación 3, en la que la placa de exploración (23) comprende otra zona de ventana transparente (23.4), que está asociada a la disposición de detección (24.4) de la señal de posición absoluta.
5. Instalación de medición de la posición de acuerdo con la reivindicación 3, en la que la segunda disposición de detección (24.2, 24.3) de señales incrementales comprende al menos una unidad de detección, que está dispuesta en la dirección de medición (x) adyacente a la primera disposición de detección (24.1) de la señal incremental.
6. Instalación de medición de la posición de acuerdo con la reivindicación 5, en la que la unidad de detección está configurada como disposición de detección estructurada, que está constituida por varios elementos de detección rectangulares, que suministrar señales incrementales parciales desplazadas de fase.
7. Instalación de medición de la posición de acuerdo con la reivindicación 6, en la que la segunda disposición de detección (24.2, 24.3) de señales incrementales comprende dos unidades de detección configuradas idénticas, que están dispuestas en la dirección de medición (x) adyacentes a la primera disposición de detección (24.1) de señales incrementales.
8. Instalación de medición de la posición de acuerdo con la reivindicación 6, en la que la estructura de exploración (23.2, 23.3) comprende aberturas dispuestas periódicamente, cuya anchura máxima (b_{AS}) en la dirección de medición (x) se selecciona menor que la anchura (b_{DET}) de los elementos de detección asociados en las disposiciones de detección estructuradas de la segunda disposición de detección (24.2a, 24.2b) de señales incrementales.
9. Instalación de medición de la posición de acuerdo con la reivindicación 8, en la que las aberturas presentan limitaciones, que corresponden al desarrollo de una función sinusoidal.
10. Instalación de medición de la posición de acuerdo con la reivindicación 3, en la que la pista incremental (12) presenta sobre la escala (10) una primera división incremental con un periodo de división aproximado (TP_{G}) y una segunda división incremental con un periodo de división fino (TP_{F}) y los dos periodos de división (TP_{G}, TP_{F}) están en una relación de número entero entre sí.
11. Instalación de medición de la posición de acuerdo con la reivindicación 10, en la que la primera disposición de detección (24.1) de señales incrementales es adecuada, por lo demás, para la generación de señales incrementales finas (INC_{F}) con un periodo de señal fina (SP_{F}).
12. Procedimiento para el funcionamiento de una instalación de medición de la posición, que está constituido por una escala (10) y una unidad de exploración (20) móvil con relación a la escala (10) en una dirección de medición (x),
-
en el que sobre la escala (10) están dispuestas una primera y una segunda pista (12, 13) con zonas parciales sucesivas de diferente capacidad de reflexión, a partir de cuya exploración se generan con la ayuda de la unidad de exploración (20) una primera y una segunda señal de exploración (INC_{G1}, ABS) en función de la posición, y
-
las primeras y segundas señales de exploración (INC_{G1}, ABS) generadas a partir de las diferentes pistas (12, 13) presenta, en el caso de una inclinación de cabeceo de la unidad de exploración (20) o de la escala (10), un comportamiento de cabeceo diferente, en virtud de movimientos de cabeceo de la unidad de exploración (20) o de la escala (10) alrededor de un eje, que está orientado en el plano de la escala o en paralelo al plano de la escala y perpendicularmente a la dirección de medición (x), en el sentido de que la primera señal de exploración (INC_{G1}) indica entonces una posición errónea, mientras que la segunda señal de exploración (ABS) indica, además, una posición correcta, y
-
en el sentido de que a partir de una de las dos pistas (12, 13) se genera una tercera señal de exploración (INC_{G2}), que presenta un comportamiento de cabeceo diferente que la otra señal de exploración (INC_{G1}) generada a partir de esta pista (12, 13), y
-
para la detección de una eventual inclinación de cabeceo, se comparan entre sí las dos señales de exploración (INC_{G1}, INC_{G2}) generadas a partir de una pista.
\vskip1.000000\baselineskip
13. Procedimiento de acuerdo con la reivindicación 12, en el que la tercera señal de exploración (INC_{G2}) generada presenta un comportamiento de cabeceo similar a la señal de exploración (ABS) desde la otra pista (12, 13)
respectiva.
14. Procedimiento de acuerdo con la reivindicación 12, en el que para la comparación de la primera y de la tercera señales de exploración (INC_{G1}, INC_{G2}), se forma la diferencia de fases (\Delta_{G1-G2}) a partir de la primera y la tercera señales de exploración (INC_{G1}, INC_{G2}).
15. Procedimiento de acuerdo con la reivindicación 14, en el que se supervisa la diferencia de fases (\Delta_{G1-G2}) para que no se exceda una diferencia de fases máxima admisible (\Delta_{G1-G2, \ max}).
16. Procedimiento de acuerdo con la reivindicación 15, en el que la diferencia de fases máxima admisible
(\Delta_{G1-G2, \ max}) se selecciona igual a la mitad del periodo de la señal (SP_{G}/2) de la primera señal de exploración (INC_{G1}).
17. Procedimiento de acuerdo con la reivindicación 12, en el que sobre la base del resultado de la comparación se realiza una corrección de la alineación espacial relativa de la escala (10) y de la unidad de exploración (20), cuando se excede una inclinación de cabeceo máxima admisible.
18. Procedimiento de acuerdo con la reivindicación 12, en el que se genera una señal de alarma, cuando el resultado de la comparación indica un exceso de una inclinación de cabeceo máxima admisible.
ES02012780T 2001-06-27 2002-06-10 Instalacion de medicion de la posicion. Expired - Lifetime ES2329878T3 (es)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10130938A DE10130938A1 (de) 2001-06-27 2001-06-27 Positionsmesseinrichtung und Verfahren zum Betrieb einer Positionsmesseinrichtung
DE10130938 2001-06-27

Publications (1)

Publication Number Publication Date
ES2329878T3 true ES2329878T3 (es) 2009-12-02

Family

ID=7689603

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
ES02012780T Expired - Lifetime ES2329878T3 (es) 2001-06-27 2002-06-10 Instalacion de medicion de la posicion.

Country Status (6)

Country Link
US (1) US6914235B2 (es)
EP (1) EP1271107B1 (es)
JP (1) JP4233814B2 (es)
AT (1) ATE440266T1 (es)
DE (2) DE10130938A1 (es)
ES (1) ES2329878T3 (es)

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB0413827D0 (en) 2004-06-21 2004-07-21 Renishaw Plc Scale reading apparatus
GB0428165D0 (en) * 2004-12-23 2005-01-26 Renishaw Plc Position measurement
DE102005015743B4 (de) * 2005-04-06 2018-08-23 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Abtasteinheit für eine Positionsmesseinrichtung zum optischen Abtasten einer Maßverkörperung und Positionsmesseinrichtung
JP4951885B2 (ja) * 2005-06-29 2012-06-13 ミツミ電機株式会社 エンコーダ装置
DE102006029650B4 (de) * 2006-06-28 2020-02-20 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Schaltungsanordung und Verfahren zur Kippfehlerermittlung an einer Positionsmesseinrichtung
US7943897B2 (en) * 2007-06-20 2011-05-17 Sharp Kabushiki Kaisha Optical encoder and electronic equipment
DE102007033009A1 (de) 2007-07-12 2009-01-15 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Übertragung von Signalen von einer Positionsmesseinrichtung zu einer Auswerteeinheit
DE102007056612A1 (de) * 2007-11-23 2009-05-28 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Optische Positionsmesseinrichtung
GB0819767D0 (en) * 2008-10-28 2008-12-03 Renishaw Plc Absolute encoder setup indication
JP4816988B1 (ja) * 2011-02-10 2011-11-16 株式会社安川電機 エンコーダ、光学モジュール及びサーボシステム
DE102011007459B4 (de) 2011-04-15 2023-05-11 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Optische Längenmesseinrichtung
DE102012212767A1 (de) * 2012-07-20 2014-01-23 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Positionsmesseinrichtung
EP3015828B1 (en) 2014-10-30 2016-09-28 Fagor, S. Coop. Optoelectronic device and method thereof
CN106052724B (zh) * 2016-05-19 2019-01-25 深圳市越疆科技有限公司 一种机器人、旋转测量装置及方法
JP6953772B2 (ja) * 2017-04-13 2021-10-27 株式会社ニコン 誤差検出方法、誤差検出プログラム、誤差検出装置、エンコーダ装置の製造方法、エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置
US10859363B2 (en) 2017-09-27 2020-12-08 Stanley Black & Decker, Inc. Tape rule assembly with linear optical encoder for sensing human-readable graduations of length
JP7293660B2 (ja) * 2019-01-18 2023-06-20 株式会社ジェイテクト 回転角検出装置
JP7210103B2 (ja) * 2019-01-28 2023-01-23 株式会社ミツトヨ エンコーダの寿命検出装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1174145A (en) * 1967-08-04 1969-12-10 British Aircraft Corp Ltd Measuring Systems
GB2116313B (en) 1982-02-25 1985-09-04 Ferranti Plc Sine wave generator for position encoder
DE3726678C1 (de) 1987-08-11 1989-03-09 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Inkrementale Laengen- oder Winkelmesseinrichtung
DE59201199D1 (de) * 1992-02-14 1995-02-23 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Wegmesseinrichtung.
CH690971A5 (de) 1994-02-25 2001-03-15 Hera Rotterdam Bv Verfahren zur Messung und Verwertung einer Verschiebung eines Abtastkopfes gegenüber einer Massverkörperung und optischer Messgeber zur Durchführung dieses Verfahrens.
US6229140B1 (en) 1995-10-27 2001-05-08 Canon Kabushiki Kaisha Displacement information detection apparatus
JPH1033636A (ja) 1996-05-03 1998-02-10 Yuyama Seisakusho:Kk 薬剤分包装置、薬瓶及び薬剤検査方法
DE19642200A1 (de) 1996-10-12 1998-04-16 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Kontrollvorrichtung und Verfahren zur Prüfung von positionsabhängigen Abtastsignalen
DE19859670A1 (de) 1998-12-23 2000-06-29 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Abtastkopf und Verfahren zu dessen Herstellung
DE19908328A1 (de) * 1999-02-26 2000-08-31 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Optische Positionsmeßeinrichtung
DE19941318A1 (de) * 1999-08-31 2001-03-15 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Optische Positionsmeßeinrichtung
DE19962278A1 (de) 1999-12-23 2001-08-02 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung

Also Published As

Publication number Publication date
US6914235B2 (en) 2005-07-05
EP1271107B1 (de) 2009-08-19
EP1271107A1 (de) 2003-01-02
DE10130938A1 (de) 2003-01-23
DE50213775D1 (de) 2009-10-01
US20030016369A1 (en) 2003-01-23
JP2003042810A (ja) 2003-02-13
JP4233814B2 (ja) 2009-03-04
ATE440266T1 (de) 2009-09-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ES2329878T3 (es) Instalacion de medicion de la posicion.
ES2286976T3 (es) Dispositivo de medicion de posicion con una pista incremental con dos graduaciones de periodo diferente.
ES2376656T3 (es) Dispositivo medidor de posición.
ES2452592T3 (es) Dispositivo de medición de la posición
ES2526434T3 (es) Dispositivo óptico de medición de posición
EP0042179B1 (en) Encoder
ES2307478T3 (es) Dispositivo optico de medicion de la posicion.
US7348546B2 (en) Position measuring system with a scanning unit having a reference pulse signal detection unit
US6922899B2 (en) Rotary encoder
ES2244823T3 (es) Dispositivo de medicion de posicion.
JP5128368B2 (ja) エンコーダ用のスケール及びエンコーダ
JPH11142114A (ja) 光学位置測定装置用の走査ユニット
US20100134790A1 (en) Optoelectronic longitudinal measurement method and optoelectronic longitudinal measurement device
JPH10512374A (ja) オプトエレクトロニックロータリエンコーダ
CN110030924A (zh) 位置测量装置
ES2871791T3 (es) Dispositivo óptico de medición de posición
ES2240769T3 (es) Codigo (anillo) con dos parejas de patrones de lineas periodicos.
US10190893B2 (en) Encoder
JP4580060B2 (ja) 光学位置測定装置の走査ユニット
US7161139B2 (en) Position-measuring system and method for operating a position-measuring system
ES2592209T3 (es) Instalación de medición de la posición
JP2007064949A (ja) ロータリエンコーダ
US6525311B1 (en) Scanning unit for optical position measuring device
ES2943273T3 (es) Dispositivo óptico de medición de la posición
CN100385206C (zh) 位置测量装置