ES2186822T3 - Dispositivo y procedimiento para vaporizacion por haz electronico. - Google Patents

Dispositivo y procedimiento para vaporizacion por haz electronico.

Info

Publication number
ES2186822T3
ES2186822T3 ES97109082T ES97109082T ES2186822T3 ES 2186822 T3 ES2186822 T3 ES 2186822T3 ES 97109082 T ES97109082 T ES 97109082T ES 97109082 T ES97109082 T ES 97109082T ES 2186822 T3 ES2186822 T3 ES 2186822T3
Authority
ES
Spain
Prior art keywords
hollow body
hole
crisol
gases
modules
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
ES97109082T
Other languages
English (en)
Inventor
Stefan Locher
Eckhard Wirth
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Buehler Alzenau GmbH
Original Assignee
Leybold Optics GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leybold Optics GmbH filed Critical Leybold Optics GmbH
Application granted granted Critical
Publication of ES2186822T3 publication Critical patent/ES2186822T3/es
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/305—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating or etching
    • H01J37/3053—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating or etching for evaporating or etching
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/30—Electron or ion beam tubes for processing objects
    • H01J2237/31—Processing objects on a macro-scale
    • H01J2237/3132—Evaporating

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

LA INVENCION SE REFIERE A UN EVAPORADOR POR RADIACION ELECTRONICA FORMADO POR LOS MODULOS DE CAÑON ELECTRONICO (7), SISTEMA DE DESVIACION (6) Y CRISOL/CRISOL GIRATORIO CON REFRIGERACION POR AGUA (10) Y QUE SE ENCUENTRA FIJADO SOBRE LA PLACA DE CUBIERTA (3) DE UN CUERPO HUECO PLANO DE FORMA QUE IMPIDE EL PASO DE GASES. EL CUERPO HUECO ESTA, A SU VEZ, DISPUESTO DE FORMA IMPERMEABLE A LOS GASES SOBRE UN ORIFICIO (B) EN LA CALDERA, PUDIENDO OSCILAR ALREDEDOR DEL EJE PRINCIPAL (A) DEL ORIFICIO (B). EL ESPACIO INTERIOR DEL CUERPO HUECO ESTA EN CONTACTO CON LA ATMOSFERA POR ENCIMA DEL ORIFICIO. TODAS LAS LINEAS DE CONEXION DE AGUA, CORRIENTE DE BAJA TENSION, ALTA TENSION Y ACCIONAMIENTO DE GIRO LLEGAN EN EL CUERPO HUECO HASTA LOS MODULOS DISPUESTOS DE FORMA IMPERMEABLE A LOS GASES.
ES97109082T 1996-06-14 1997-06-05 Dispositivo y procedimiento para vaporizacion por haz electronico. Expired - Lifetime ES2186822T3 (es)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19623701A DE19623701A1 (de) 1996-06-14 1996-06-14 Vorrichtung und Verfahren zum Elektronenstrahlverdampfen

Publications (1)

Publication Number Publication Date
ES2186822T3 true ES2186822T3 (es) 2003-05-16

Family

ID=7796911

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
ES97109082T Expired - Lifetime ES2186822T3 (es) 1996-06-14 1997-06-05 Dispositivo y procedimiento para vaporizacion por haz electronico.

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6495216B2 (es)
EP (1) EP0813226B1 (es)
JP (1) JP4142130B2 (es)
DE (2) DE19623701A1 (es)
ES (1) ES2186822T3 (es)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4725975B2 (ja) * 2006-12-06 2011-07-13 株式会社昭和真空 真空蒸着装置及びその運用方法
CA2793855A1 (en) * 2010-03-22 2011-09-29 Luxottica Us Holdings Corporation Ion beam assisted deposition of ophthalmic lens coatings
CN108300981B (zh) * 2017-12-20 2020-05-15 湖南红太阳光电科技有限公司 一种用于石墨舟的预热箱
CN111663105A (zh) * 2020-05-26 2020-09-15 南方科技大学 超高真空电子束蒸发器、电子束镀膜装置

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE123979C (es)
US2482329A (en) * 1946-05-27 1949-09-20 Rca Corp Apparatus for selective vapor coating
US3389210A (en) * 1965-03-29 1968-06-18 Everette M. Whitson Multiple crucible for a permanent magnet transverse electron beam evaporation source
DE2528032C2 (de) * 1975-06-24 1983-06-09 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Elektronenstrahlerzeuger für Heiz-, Schmelz- und Verdampfungszwecke
DE2544725C3 (de) * 1975-10-07 1981-01-08 Leybold-Heraeus Gmbh, 5000 Koeln Elektronenstrahlverdampfer
DE2656314A1 (de) 1976-12-11 1978-06-15 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Stromversorgungseinrichtung fuer elektronenstrahlkanonen
CH631743A5 (de) * 1977-06-01 1982-08-31 Balzers Hochvakuum Verfahren zum aufdampfen von material in einer vakuumaufdampfanlage.
US4561382A (en) * 1983-11-22 1985-12-31 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Vacuum vapor deposition gun assembly
CH663037A5 (de) * 1985-02-05 1987-11-13 Balzers Hochvakuum Dampfquelle fuer vakuumbeschichtungsanlagen.
JPS62247067A (ja) * 1986-04-18 1987-10-28 Citizen Watch Co Ltd イオンプレ−テイング装置
US4776299A (en) * 1986-05-15 1988-10-11 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Source replenishment device for vacuum deposition
DE3704505A1 (de) * 1987-02-13 1988-08-25 Leybold Ag Einlegegeraet fuer vakuumanlagen
JP2913745B2 (ja) * 1990-04-10 1999-06-28 松下電器産業株式会社 真空蒸着装置
FR2687171B1 (fr) * 1992-02-12 1994-03-25 Commissariat A Energie Atomique Dispositif de controle d'un flux de matiere emise par une source d'evaporation chauffee et application dans une machine de revetement par evaporation sous vide.
US5216690A (en) * 1992-03-11 1993-06-01 Hanks Charles W Electron beam gun with grounded shield to prevent arc down
US5473627A (en) * 1992-11-05 1995-12-05 Mdc Vacuum Products Corporation UHV rotating fluid delivery system

Also Published As

Publication number Publication date
DE19623701A1 (de) 1997-12-18
JPH1060630A (ja) 1998-03-03
EP0813226B1 (de) 2002-08-28
EP0813226A2 (de) 1997-12-17
EP0813226A3 (de) 1998-05-06
DE59708040D1 (de) 2002-10-02
US6495216B2 (en) 2002-12-17
JP4142130B2 (ja) 2008-08-27
US20010006708A1 (en) 2001-07-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ES2062468T3 (es) Fabricacion de cristales en una linea que incluye varios puestos de trabajo.
ES2083787T3 (es) Aparato de gasificacion para gasificar a presion combustibles finamente divididos.
ES2104301T3 (es) Instalacion de destilacion de aire.
ES2048482T3 (es) Un dispositivo para soldar por laser carrocerias de vehiculos de motor.
ES2093157T3 (es) Dispositivo deshumidificador.
ES2081398T3 (es) Sistema de control de vehiculos para via con bifurcaciones.
ES2180768T3 (es) Sistema de contenedor de almacenamiento y soporte de esterilizacion.
ES2036962B1 (es) Modulo solar, procedimiento para su fabricacion asi como su empleo.
ES2186822T3 (es) Dispositivo y procedimiento para vaporizacion por haz electronico.
ES2069447T3 (es) Dispositivo para la fijacion de un intercambiador de calor con caja colectora tubular.
ES2056088T3 (es) Aparato automatico de refrigeracion que incluye un compartimiento de almacenamiento esterilizado.
ES2132333T3 (es) Dispositivo de alineamiento para la junta de estanqueidad de una unidad de caja con cojinete incorporado.
ES2123795T3 (es) Dispositivo para amortiguar las vibraciones y el ruido, para instalaciones hidraulicas.
ES2126724T3 (es) Procedimiento e instalacion de destilacion de aire.
ES2169183T3 (es) Linea de alimentacion para un vehiculo electrico y sistema de transporte que lo utiliza.
ES2062456T3 (es) Aparato para determinar el coeficiente de dilatacion hidrica de los elementos de una estructura compuesta.
ES2116695T3 (es) Dispositivo de fijacion para canalizacion electrica.
ES2134011T3 (es) Un sistema de aislamiento y un metodo de proporcionar un sistema de aislamiento en una tuberia o un recipiente.
ES2153437T3 (es) Limpiador automatico de piscinas.
ES2078131T3 (es) Circuito disparador automatico.
ES2014204T3 (es) Organo de mando para fluido y aparato de proteccion contra los retornos de fluido que lo contiene.
ES2166873T3 (es) Procedimiento y dispositivo para revestir la superficie de un substrato.
ES2064689T3 (es) Aparato para la preparacion de una mezcla gaseosa de oxigeno e hidrogeno para la alimentacion de una llama de ionizacion, mediante electrolisis del agua.
MX165626B (es) Conjunto combinado de contacto electrico y de retencion de armazon
ES2093689T3 (es) Horno de abombado para cristales.