EP3686432B1

EP3686432B1 - Vacuum pump

Info

Publication number: EP3686432B1
Application number: EP20166248.3A
Authority: EP
Inventors: Kevin Schneider; Daniel Schuh; Pascal Wielsch
Original assignee: Pfeiffer Vacuum Technology AG
Current assignee: Pfeiffer Vacuum Technology AG
Priority date: 2020-03-27
Filing date: 2020-03-27
Publication date: 2022-06-08
Anticipated expiration: 2040-03-27
Also published as: EP3686432A1

Description

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, bei der es sich insbesondere um eine Wälzkolbenpumpe oder Schraubenpumpe handelt. Die Vakuumpumpe weist pumpaktive Elemente auf, die zu einer Arbeitsbewegung antreibbar sind und die ein zu pumpendes Gas von einem Einlass zu einem Auslass der Vakuumpumpe transportieren.The invention relates to a vacuum pump, which is in particular a Roots pump or a screw pump. The vacuum pump has active pumping elements which can be driven to perform a working movement and which transport a gas to be pumped from an inlet to an outlet of the vacuum pump.

Vakuumanlagen umfassen typischerweise eine oder mehrere Vakuumpumpen, beispielsweise mindestens eine Vakuumpumpe für den Grobvakuumbereich und mindestens eine Vakuumpumpe für den Hochvakuumbereich, und sind üblicherweise für einen Dauerbetrieb ausgelegt. Bei vielen Anwendungen sind die Vakuumpumpen der Vakuumanlage mehrere Monate oder sogar Jahre ununterbrochen in Betrieb. Ferner sollen Stillstandszeiten zwischen Betriebsphasen der Vakuumanlage möglichst minimiert werden, und die Wartung der Vakuumpumpen sollte innerhalb dieser relativ kurzen Stillstandszeiten erfolgen.Vacuum systems typically include one or more vacuum pumps, for example at least one vacuum pump for the rough vacuum range and at least one vacuum pump for the high vacuum range, and are usually designed for continuous operation. In many applications, the vacuum system's vacuum pumps are in continuous operation for several months or even years. Furthermore, downtimes between operating phases of the vacuum system should be minimized as far as possible, and the maintenance of the vacuum pumps should be carried out within these relatively short downtimes.

Bei einem solchen Dauerbetrieb einer Vakuumanlage sind folglich plötzliche Ausfälle von Vakuumpumpen unerwünscht, die unbeabsichtigte Stillstandszeiten für die Vakuumanlage und die Anwendung mit sich bringen, die in dieser ausgeführt werden soll.With such continuous operation of a vacuum system, sudden failures of vacuum pumps are consequently undesirable, which entail unintended downtimes for the vacuum system and the application to be carried out in it.

Ferner ist bekannt, dass ein Zusammenhang zwischen Schwingungen von Vakuumpumpen und deren Betriebszustand bzw. Verschleißzustand besteht. Beispielsweise kann sich ein plötzlicher Ausfall einer Vakuumpumpe durch übermäßige Schwingungen oder sogar Geräusche ankündigen. Solche Schwingungen können beispielsweise durch eine Unwucht eines Rotors der Vakuumpumpe hervorgerufen werden, und eine Zunahme der Unwucht kann eine Zunahme der Schwingungen der Vakuumpumpe bewirken. Eine Überwachung von Schwingungen einer Vakuumpumpe ist jedoch bei herkömmlichen Vakuumanlagen bisher nicht vorgesehen und wird folglich nur sporadisch ausgeführt. Außerdem erfolgt eine Überwachung von Schwingungen einer Vakuumpumpe in solchen Fällen mit vergleichsweise teuren externen Einrichtungen.Furthermore, it is known that there is a connection between vibrations of vacuum pumps and their operating state or state of wear. For example, a sudden failure of a vacuum pump can be announced by excessive vibrations or even noise. Such vibrations can be caused, for example, by an imbalance in a rotor of the vacuum pump and an increase in unbalance can cause an increase in vibration of the vacuum pump. A monitoring of vibrations of a vacuum pump has not been provided in conventional vacuum systems and is therefore only carried out sporadically. In addition, vibrations of a vacuum pump are monitored in such cases with comparatively expensive external devices.

Aus der GB 2 551 337 A ist eine Vakuumpumpe mit den Merkmalen gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 bekannt.From the GB 2 551 337 A a vacuum pump with the features according to the preamble of claim 1 is known.

In der DE 20 2015 003927 U1 ist eine ähnliche Vakuumpumpe beschrieben.In the DE 20 2015 003927 U1 a similar vacuum pump is described.

Die WO 2017/140471 A1 beschreibt ebenfalls eine ähnliche Vakuumpumpe.the WO 2017/140471 A1 also describes a similar vacuum pump.

Eine Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Vakuumpumpe zu schaffen, bei der ein möglicherweise bevorstehender Ausfall frühzeitig erkannt werden kann.One object of the invention is to create a vacuum pump in which a possibly impending failure can be detected at an early stage.

Diese Aufgabe wird durch eine Vakuumpumpe mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.This object is achieved by a vacuum pump having the features of claim 1.

Die Vakuumpumpe, bei der es sich insbesondere um eine Wälzkolbenpumpe oder eine Schraubenpumpe handelt, umfasst pumpaktive Elemente, die zu einer Arbeitsbewegung antreibbar sind und dadurch ein zu pumpendes Gas von einem Einlass zu einem Auslass der Vakuumpumpe transportieren. Ferner umfasst die Vakuumpumpe einen Schwingungssensor, der Schwingungsdaten der Vakuumpumpe aufgrund der Arbeitsbewegung der pumpaktiven Elemente erfasst, und eine Auswerteeinheit, die ausgebildet ist, um die Schwingungsdaten auszuwerten.The vacuum pump, which is in particular a Roots pump or a screw pump, comprises active pumping elements which can be driven to perform a working movement and thereby transport a gas to be pumped from an inlet to an outlet of the vacuum pump. Furthermore, the vacuum pump includes a vibration sensor, which records vibration data of the vacuum pump based on the working movement of the pump-active elements, and an evaluation unit, which is designed to evaluate the vibration data.

Der Schwingungssensor ist ferner in eine Platine der Vakuumpumpe integriert, wobei die Platine in einem Innenraum der Vakuumpumpe angeordnet ist. Der Schwingungssensor stellt somit lediglich einen weiteren Baustein einer bereits vorhandenen Platine der Vakuumpumpe dar, so dass der Schwingungssensor auf einfache und kostengünstige Weise in die Vakuumpumpe integriert werden kann. Da die Platine im Innenraum der Vakuumpumpe angeordnet ist, kann die Platine darüber hinaus gleichzeitig eine Vakuumdurchführung darstellen.The vibration sensor is also integrated into a circuit board of the vacuum pump, with the circuit board being arranged in an interior space of the vacuum pump. Of the The vibration sensor is therefore just another component of an already existing circuit board of the vacuum pump, so that the vibration sensor can be integrated into the vacuum pump in a simple and cost-effective manner. Since the circuit board is arranged in the interior of the vacuum pump, the circuit board can also represent a vacuum feedthrough at the same time.

Die erfindungsgemäße Vakuumpumpe zeichnet sich dadurch aus, dass der Schwingungssensor und die Auswerteeinheit für die Schwingungsdaten, die der Schwingungssensor erfasst, wesentliche Bestandteile der Vakuumpumpe an sich sind. Zum Erfassen und Auswerten der Schwingungsdaten der Vakuumpumpe sind folglich keine teuren externen Einrichtungen erforderlich.The vacuum pump according to the invention is characterized in that the vibration sensor and the evaluation unit for the vibration data that the vibration sensor detects are essential components of the vacuum pump itself. Consequently, no expensive external equipment is required to record and evaluate the vibration data of the vacuum pump.

Während der Schwingungssensor zum Erfassen der Schwingungen der Vakuumpumpe einen engen Kontakt mit einer Pumpeinheit, welche die pumpaktiven Elemente umfasst, aufweisen sollte, kann die Auswerteeinheit entweder eine gemeinsame Einheit mit dem Schwingungssensor bilden, beispielsweise in der Form einer einzigen elektronischen Einrichtung, die sowohl den Schwingungssensor als auch die Auswerteeinheit umfassen kann, oder extern angeordnet sein. In letzterem Fall kann die Auswerteeinheit ebenso wie eine Steuerungseinheit der gesamten Vakuumpumpe außerhalb eines Gehäuses der Vakuumpumpe angeordnet sein und dennoch ebenso wie die Steuerungseinheit einen wesentlichen Bestandteil der Vakuumpumpe an sich bilden. Mit anderen Worten sind der Schwingungssensor und die Auswerteeinheit unabhängig davon, ob die Auswerteeinheit innerhalb oder außerhalb des Gehäuses der Vakuumpumpe angeordnet ist, zusammen mit einer Steuerungseinheit als integrale Bestandteile der Vakuumpumpe anzusehen.While the vibration sensor for detecting the vibrations of the vacuum pump should be in close contact with a pump unit, which includes the pump-active elements, the evaluation unit can either form a common unit with the vibration sensor, for example in the form of a single electronic device that contains both the vibration sensor as well as the evaluation unit, or be arranged externally. In the latter case, the evaluation unit, like a control unit of the entire vacuum pump, can be arranged outside a housing of the vacuum pump and yet, like the control unit, form an essential part of the vacuum pump itself. In other words, the vibration sensor and the evaluation unit, together with a control unit, are to be regarded as integral components of the vacuum pump, regardless of whether the evaluation unit is arranged inside or outside the housing of the vacuum pump.

Die interne oder externe Anordnung einer Steuerungseinheit für die Vakuumpumpe und der Auswerteeinheit für die Schwingungsdaten kann beispielsweise von dem vorhandenen Bauraum für die Vakuumpumpe abhängen. Bei einer externen Anordnung der Auswerteeinheit, beispielsweise außerhalb des Gehäuses der Vakuumpumpe, kann die Auswerteeinheit in die Steuerungseinheit der Vakuumpumpe integriert sein. Unabhängig davon, ob die Auswerteeinheit mit dem Schwingungssensor eine gemeinsame elektronische Einrichtung bildet oder extern angeordnet ist, besteht zwischen der Auswerteeinheit und dem Schwingungssensor eine elektronische Kommunikationsverbindung zum Übertragen der Schwingungsdaten als Signale des Schwingungssensors an die Auswerteeinheit.The internal or external arrangement of a control unit for the vacuum pump and the evaluation unit for the vibration data can depend, for example, on the space available for the vacuum pump. With an external Arrangement of the evaluation unit, for example outside the housing of the vacuum pump, the evaluation unit can be integrated into the control unit of the vacuum pump. Irrespective of whether the evaluation unit forms a common electronic device with the vibration sensor or is arranged externally, there is an electronic communication link between the evaluation unit and the vibration sensor for transmitting the vibration data as signals from the vibration sensor to the evaluation unit.

Anhand der Auswertung der Schwingungsdaten, die mittels der Auswerteeinheit erfolgt, kann ein möglicherweise bevorstehender Ausfall der Vakuumpumpe frühzeitig erkannt werden. Wenn beispielsweise die von dem Schwingungssensor gemessene Intensität der Schwingungen aufgrund einer erhöhten Amplitude der Schwingungen der Vakuumpumpe einen bestimmten Schwellenwert überschreitet, kann dies ein Indikator für einen möglicherweise bevorstehenden Ausfall der Vakuumpumpe aufgrund einer Fehlfunktion der pumpaktiven Elemente sein. In einem solchen Fall, d.h. wenn ein möglicherweise bevorstehender Ausfall der Vakuumpumpe anhand der Schwingungsdaten durch die Auswerteeinheit erkennbar ist, kann die Auswerteeinheit ein Hinweissignal erzeugen, das beispielsweise mittels einer Warnleuchte oder eines hörbaren Signals für einen Benutzer der Vakuumanlage wahrnehmbar sein kann.A possibly imminent failure of the vacuum pump can be detected at an early stage on the basis of the evaluation of the vibration data, which is carried out by means of the evaluation unit. If, for example, the intensity of the vibrations measured by the vibration sensor exceeds a specific threshold value due to an increased amplitude of the vibrations of the vacuum pump, this can be an indicator of a possibly imminent failure of the vacuum pump due to a malfunction of the pump-active elements. In such a case, i.e. if a possibly impending failure of the vacuum pump can be detected by the evaluation unit based on the vibration data, the evaluation unit can generate an information signal which can be perceptible to a user of the vacuum system, for example by means of a warning light or an audible signal.

Anhand der Auswertung der Schwingungsdaten mittels der Auswerteeinheit ist es folglich möglich, einen bevorstehenden Ausfall der Vakuumpumpe zu erkennen und zu verhindern, indem eine geplante Stillstandszeit der Vakuumpumpe für deren Wartung vorgesehen wird. Bezogen auf die gesamte Betriebsdauer der Vakuumpumpe bzw. Vakuumanlage lässt sich die gesamte Stillstandszeit durch die Vermeidung unvorhergesehener Ausfälle von Vakuumpumpen verkürzen. Anstelle eines unvorhergesehenen Ausfalls erfolgt stattdessen durch die Auswertung der Schwingungsdaten und das Erkennen eines bevorstehenden Ausfalls eine "Predictive Maintenance", d.h. eine geplante Stillstandszeit zur Wartung der Pumpe, die in der Regel kürzer ist als die Stillstandszeit nach einem unvorhergesehenen Ausfall.Based on the evaluation of the vibration data by means of the evaluation unit, it is consequently possible to identify and prevent an impending failure of the vacuum pump by providing a planned downtime for the vacuum pump for its maintenance. In relation to the entire service life of the vacuum pump or vacuum system, the entire downtime can be reduced by avoiding unforeseen vacuum pump failures. Instead of an unforeseen failure, "predictive maintenance" is carried out instead by evaluating the vibration data and recognizing an impending failure, i.e. a planned downtime for maintenance of the pump, which is usually shorter than the downtime after an unforeseen failure.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen, der Beschreibung und den Zeichnungen angegeben.Advantageous developments of the invention are specified in the dependent claims, the description and the drawings.

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform ist die Auswerteeinheit der Vakuumpumpe ferner ausgebildet, um anhand der Schwingungsdaten einen Verschleißzustand der Vakuumpumpe zu ermitteln. Die Auswerteeinheit kann beispielsweise angeben, dass ein bestimmter Verschleißzustand der Vakuumpumpe vorliegt, wenn die Intensität der Schwingungen, die durch den Schwingungssensor erfasst werden, aufgrund einer erhöhten Amplitude der Schwingungen der Vakuumpumpe einen vorgegebenen Schwellenwert überschreitet. Ein solcher vorgegebener Schwellenwert kann beispielsweise einem bestimmten Verschleißzustand der Vakuumpumpe direkt zugeordnet sein. Der vorgegebene Schwellenwert kann dabei kalibrierbar sein und auf Erfahrungswerten beruhen, beispielsweise aufgrund von Schwingungsdaten, die bei einem tatsächlichen Ausfall der Vakuumpumpe aufgezeichnet wurden. Liegt der Absolutbetrag der Schwingungsdaten oberhalb des vorbestimmten Schwellenwerts, kann die Auswerteeinheit wiederum ein Hinweissignal ausgeben, das für einen Benutzer der Vakuumanlage wahrnehmbar sein kann.According to an advantageous embodiment, the evaluation unit of the vacuum pump is also designed to use the vibration data to determine a state of wear of the vacuum pump. The evaluation unit can indicate, for example, that the vacuum pump is in a certain state of wear when the intensity of the vibrations detected by the vibration sensor exceeds a predetermined threshold value due to an increased amplitude of the vibrations of the vacuum pump. Such a predefined threshold value can, for example, be assigned directly to a specific state of wear of the vacuum pump. The predetermined threshold value can be calibrated and based on empirical values, for example on the basis of vibration data that were recorded when the vacuum pump actually failed. If the absolute value of the vibration data is above the predetermined threshold value, the evaluation unit can in turn output an information signal that can be perceptible to a user of the vacuum system.

Alternativ können die Schwingungsdaten zur Ermittlung des Verschleißzustands der Vakuumkammer periodisch in vorbestimmten Zeitintervallen erfasst und gespeichert werden, und die Auswerteeinheit kann die zuletzt erfassten Schwingungsdaten mit den früher erfassten und gespeicherten Schwingungsdaten vergleichen. Sobald die Auswerteeinheit eine signifikante Abweichung zwischen den zuletzt erfassten Schwingungsdaten und den früher gespeicherten Schwingungsdaten feststellt, beispielsweise eine deutliche Zunahme der Amplitude der Schwingungen bzw. des Absolutbetrags der Schwingungsdaten, kann die Auswerteeinheit wiederum ein Hinweissignal ausgeben, das einen vordefinierten, unerwünschten Verschleißzustand der Vakuumpumpe angibt. Das Hinweissignal kann ausgegeben werden, wenn beispielsweise die mittlere Abweichung zwischen den zuletzt erfassten Schwingungsdaten und den früher erfassten, gespeicherten Schwingungsdaten einen weiteren, vorbestimmten Schwellenwert überschreitet.Alternatively, the vibration data for determining the state of wear of the vacuum chamber can be recorded and stored periodically at predetermined time intervals, and the evaluation unit can compare the vibration data recorded last with the vibration data recorded and stored earlier. The evaluation unit can turn output a warning signal that indicates a predefined, undesirable state of wear of the vacuum pump. The notification signal can be output if, for example, the average deviation between the vibration data recorded last and the stored vibration data recorded earlier exceeds a further, predetermined threshold value.

Ferner kann die Auswerteeinheit alternativ oder zusätzlich auf Schwingungsdaten zugreifen, die für eine große Zahl baugleicher oder ähnlicher Vakuumpumpen erfasst und gespeichert wurden und beispielsweise in der Form einer Datenbank verfügbar sind. Die Auswerteeinheit kann in einem solchen Fall aktuelle Schwingungsdaten der Vakuumpumpe, die momentan mit dem Schwingungssensor erfasst werden, mit den gespeicherten Schwingungsdaten aus der Datenbank in Beziehung setzen. Dabei kann die Auswerteeinheit ein neuronales Netz umfassen, das mittels der früher gespeicherten Daten aus der Datenbank lernfähig ist, um anhand der mittels des Schwingungssensors aktuell erfassten Schwingungsdaten frühzeitig einen unerwünschten Verschleißzustand der Vakuumpumpe zu erkennen.Furthermore, the evaluation unit can alternatively or additionally access vibration data that has been recorded and stored for a large number of identical or similar vacuum pumps and is available, for example, in the form of a database. In such a case, the evaluation unit can correlate current vibration data of the vacuum pump, which are momentarily detected with the vibration sensor, with the stored vibration data from the database. The evaluation unit can include a neural network that is capable of learning using the previously stored data from the database in order to use the vibration data currently recorded by the vibration sensor to detect an undesired state of wear on the vacuum pump at an early stage.

Der Schwingungssensor kann einen Beschleunigungssensor umfassen, der insbesondere ein Beschleunigungssensor eines mikro-elektromechanischen Systems (MEMS-Sensor) ist. Die Verwendung eines solchen Beschleunigungssensors ermöglicht eine kostengünstige Integration eines Schwingungssensors in eine Vakuumpumpe, die gegebenenfalls auch nachträglich bei bestehenden Vakuumpumpen erfolgen kann.The vibration sensor can include an acceleration sensor, which is in particular an acceleration sensor of a micro-electromechanical system (MEMS sensor). The use of such an acceleration sensor enables a vibration sensor to be integrated cost-effectively into a vacuum pump, which can also be retrofitted to existing vacuum pumps, if necessary.

Der Beschleunigungssensor erfasst vorzugsweise die Beschleunigung in zumindest zwei Richtungen. Dabei ist insbesondere eine der Richtungen, in denen der Beschleunigungssensor die Beschleunigung erfasst, mit einer Rotationsachse der pumpaktiven Elemente der Vakuumpumpe ausgerichtet. Wenn der Beschleunigungssensor die Beschleunigung in zwei oder sogar drei Richtungen erfassen kann, verbessert dies die Zuverlässigkeit des Schwingungssensors, da die Erfassung der Schwingungsdaten somit nicht nur auf eine Raumrichtung festgelegt ist. Mit anderen Worten wird durch die Erfassung der Beschleunigung in zwei oder drei Raumrichtungen die Wahrscheinlichkeit verringert, dass Schwingungen der Vakuumpumpe auftreten, die durch den Schwingungssensor nicht erfasst werden können. Durch die Ausrichtung einer der Richtungen, in denen der Beschleunigungssensor die Beschleunigung erfasst, mit der Rotationsachse der pumpaktiven Elemente kann eine Änderung der Schwingungsdaten erfasst werden, welche speziell durch die pumpaktiven Elemente hervorgerufen wird. Beispielsweise kann bei einer solchen Ausrichtung des Beschleunigungssensors eine Unwucht der pumpaktiven Elemente frühzeitig erkannt werden, da die Schwingungsdaten, die der mit der Rotationsachse der pumpaktiven Elemente ausgerichtete Beschleunigungssensor erfasst, für die pumpaktiven Elemente spezifisch sind.The acceleration sensor preferably detects the acceleration in at least two directions. In particular, one of the directions in which the acceleration sensor detects the acceleration is aligned with an axis of rotation of the pump-active elements of the vacuum pump. When the accelerometer senses acceleration in two or even three directions can, this improves the reliability of the vibration sensor, since the detection of the vibration data is thus not only limited to one spatial direction. In other words, the detection of the acceleration in two or three spatial directions reduces the probability that vibrations of the vacuum pump will occur that cannot be detected by the vibration sensor. By aligning one of the directions in which the acceleration sensor detects the acceleration with the axis of rotation of the pump-active elements, a change in the vibration data can be detected, which is caused specifically by the pump-active elements. For example, with such an alignment of the acceleration sensor, an imbalance in the active pumping elements can be detected early, since the vibration data recorded by the acceleration sensor aligned with the axis of rotation of the active pumping elements is specific to the active pumping elements.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist der Schwingungssensor innerhalb eines Gehäuses der Vakuumpumpe angeordnet. Der Schwingungssensor ist bei dieser Ausführungsform somit vollständig in die Vakuumpumpe integriert und innerhalb des Gehäuses vor äußeren Einflüssen geschützt. Im Vergleich zu einer Anordnung an einer Außenfläche des Gehäuses der Vakuumpumpe kann darüber hinaus der Abstand zwischen dem Schwingungssensor und den pumpaktiven Elementen innerhalb des Gehäuses möglichst gering gewählt werden, so dass die Erfassung der Schwingungsdaten aufgrund der Arbeitsbewegung der pumpaktiven Elemente verbessert ist.According to a further embodiment, the vibration sensor is arranged within a housing of the vacuum pump. In this embodiment, the vibration sensor is thus fully integrated into the vacuum pump and is protected from external influences within the housing. In comparison to an arrangement on an outer surface of the housing of the vacuum pump, the distance between the vibration sensor and the pump-active elements inside the housing can also be chosen to be as small as possible, so that the detection of the vibration data due to the working movement of the pump-active elements is improved.

Ferner kann der Schwingungssensor mit dem Gehäuse der Vakuumpumpe direkt gekoppelt sein. Wenn die pumpaktiven Elemente unerwünschte Schwingungen ausführen, werden diese meistens auf das Gehäuse der Vakuumpumpe übertragen. Bei einer direkten Kopplung des Schwingungssensors mit dem Gehäuse der Vakuumpumpe können die Schwingungsdaten der Vakuumpumpe aufgrund der Arbeitsbewegung der pumpaktiven Elemente auf besonders einfache und zuverlässige Weise erfasst werden. Bei dieser Ausführungsform kann der Schwingungssensor ferner an einer Innenwand des Gehäuses der Vakuumpumpe angebracht und mit dieser direkt gekoppelt sein, so dass der Schwingungssensor gleichzeitig innerhalb des Gehäuses der Vakuumpumpe angeordnet und mit diesem direkt gekoppelt sein kann.Furthermore, the vibration sensor can be coupled directly to the housing of the vacuum pump. If the pump-active elements produce undesirable vibrations, these are usually transmitted to the vacuum pump housing. With a direct coupling of the vibration sensor to the housing of the vacuum pump, the vibration data of the vacuum pump can be measured in a particularly simple and reliable manner due to the working movement of the pump-active elements way to be recorded. Further, in this embodiment, the vibration sensor may be attached to and directly coupled to an inner wall of the vacuum pump housing, so that the vibration sensor may be simultaneously disposed within and directly coupled to the vacuum pump housing.

Die Platine ist bevorzugt in einer Antriebselektronik eines Antriebsmotors der Vakuumpumpe integriert. Dabei kann die Platine insbesondere in einem sogenannten Klemmkasten des Antriebsmotors der Vakuumpumpe angeordnet sein. Zusätzlich kann die Auswerteeinheit in die Platine der Vakuumpumpe integriert sein. Bei diesen Ausführungsformen kann ungenutzter Bauraum innerhalb der Vakuumpumpe, beispielsweise im Klemmkasten des Antriebsmotors, zur Integration des Schwingungssensors und/oder der Auswerteeinheit ausgenutzt werden. Wenn sowohl der Schwingungssensor als auch die Auswerteeinheit auf der Platine der Vakuumpumpe angeordnet bzw. in diese integriert sind, bilden der Schwingungssensor und die Auswerteeinheit eine besonders kompakte Einheit, die bereits ausgewertete Schwingungsdaten ausgibt, beispielsweise mittels eines Signals, das den Verschleißzustand der Vakuumpumpe angibt.The circuit board is preferably integrated in drive electronics of a drive motor of the vacuum pump. In this case, the circuit board can be arranged in particular in a so-called terminal box of the drive motor of the vacuum pump. In addition, the evaluation unit can be integrated into the circuit board of the vacuum pump. In these embodiments, unused installation space within the vacuum pump, for example in the terminal box of the drive motor, can be used to integrate the vibration sensor and/or the evaluation unit. If both the vibration sensor and the evaluation unit are arranged on the circuit board of the vacuum pump or integrated into it, the vibration sensor and the evaluation unit form a particularly compact unit that outputs vibration data that has already been evaluated, for example by means of a signal that indicates the state of wear of the vacuum pump.

Die Auswerteeinheit kann ferner einen integrierten Prozessor aufweisen, der ausgebildet ist, um die Schwingungsdaten einem Verschleißzustand der Vakuumpumpe zuzuordnen. Die Auswertung der Schwingungsdaten erfolgt somit bereits vollständig in dem integrierten Prozessor der Auswerteeinheit, die zudem in die Platine der Vakuumpumpe integriert ist. Dadurch kann die Auswerteeinheit wiederum zusammen mit dem Schwingungssensor eine kompakte Einheit bilden, selbst wenn dieser außerhalb der Platine an einem Abschnitt des Gehäuses der Vakuumpumpe angebracht ist.The evaluation unit can also have an integrated processor which is designed to assign the vibration data to a state of wear of the vacuum pump. The evaluation of the vibration data is therefore already carried out completely in the integrated processor of the evaluation unit, which is also integrated in the circuit board of the vacuum pump. As a result, the evaluation unit can in turn form a compact unit together with the vibration sensor, even if this is attached to a section of the housing of the vacuum pump outside the circuit board.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform umfasst die Vakuumpumpe eine Schnittstelle zur Ausgabe der Schwingungsdaten. Die Auswerteeinheit ist dabei bevorzugt außerhalb eines Gehäuses der Vakuumpumpe angeordnet, um die Schwingungsdaten mittels der Schnittstelle zu empfangen. Diese Ausführungsform stellt somit eine Alternative zur Integration der Auswerteeinheit in die Platine der Vakuumpumpe dar. Die Anordnung der Auswerteeinheit außerhalb des Gehäuses der Vakuumpumpe gestattet eine flexible Anordnung des Schwingungssensors beispielsweise an oder in dem Gehäuse der Vakuumpumpe, so dass die von diesem erfassten Schwingungsdaten lediglich über die Schnittstelle für die Auswerteeinheit bereitgestellt werden müssen.According to a further embodiment, the vacuum pump includes an interface for outputting the vibration data. The evaluation unit is preferably arranged outside a housing of the vacuum pump in order to receive the vibration data via the interface. This embodiment thus represents an alternative to the integration of the evaluation unit in the circuit board of the vacuum pump. The arrangement of the evaluation unit outside the housing of the vacuum pump allows a flexible arrangement of the vibration sensor, for example on or in the housing of the vacuum pump, so that the vibration data recorded by this only has to be provided via the interface for the evaluation unit.

Gemäß einer noch weiteren Ausführungsform können der Schwingungssensor und die Auswerteeinheit mit integriertem Prozessor in eine Platine der Vakuumpumpe integriert sein, die beispielsweise in einem Klemmkasten eines Antriebsmotors innerhalb eines Gehäuses der Vakuumpumpe angeordnet ist, und es kann gleichzeitig eine Schnittstelle der Vakuumpumpe vorgesehen sein. Die Schnittstelle kann zur Ausgabe der Schwingungsdaten und zusätzlich zur Ausgabe von Daten dienen, die mittels der Auswerteeinheit ausgewertet sind und einen Verschleißzustand der Vakuumpumpe angeben. Die zusätzliche Ausgabe der ursprünglichen Schwingungsdaten, die mittels des Schwingungssensors erfasst werden, kann zusätzlich eine externe, redundante Auswertung der Schwingungsdaten ermöglichen. Durch einen Vergleich mit der Ausgabe der internen Auswerteeinheit kann die Zuverlässigkeit der Auswerteeinheit überprüft und somit verbessert werden.According to yet another embodiment, the vibration sensor and the evaluation unit with an integrated processor can be integrated into a circuit board of the vacuum pump, which is arranged, for example, in a terminal box of a drive motor within a housing of the vacuum pump, and at the same time an interface of the vacuum pump can be provided. The interface can be used to output the vibration data and also to output data that are evaluated by the evaluation unit and indicate a state of wear of the vacuum pump. The additional output of the original vibration data, which is recorded by means of the vibration sensor, can additionally enable an external, redundant evaluation of the vibration data. The reliability of the evaluation unit can be checked and thus improved by a comparison with the output of the internal evaluation unit.

Die Erfindung wird nachfolgend rein beispielhaft anhand möglicher Ausführungsformen der Erfindung unter Bezugnahme auf die beigefügten Figuren erläutert. Es zeigen:

Fig. 1: eine schematische Perspektivansicht einer erfindungsgemäßen Vakuumpumpe,
Fig. 2: eine weitere schematische Perspektivansicht von oben auf die Vakuumpumpe von Fig. 1,
Fig. 3A und 3B: jeweils eine schematische Perspektivansicht eines Motorabschnitts der Vakuumpumpe von Fig. 1 und 2, und
Fig. 4: eine vergrößerte Draufsicht auf den Motorabschnitt der erfindungsgemäßen Vakuumpumpe.

The invention is explained below purely by way of example on the basis of possible embodiments of the invention with reference to the attached figures. Show it:

1: a schematic perspective view of a vacuum pump according to the invention,
2: another schematic perspective view from above of the vacuum pump of FIG 1 ,
Figures 3A and 3B: each a schematic perspective view of a motor portion of the vacuum pump of 1 and 2 , and
4: an enlarged plan view of the motor section of the vacuum pump according to the invention.

Fig. 1 zeigt eine erfindungsgemäße Vakuumpumpe 11 in einer schematischen Perspektivansicht. Bei der Vakuumpumpe 11 handelt es sich um eine Wälzkolbenpumpe, die beispielsweise für den Grob- und Feinvakuumbereich innerhalb einer Vakuumanlage verwendbar ist. Ferner weist die Vakuumpumpe 11 ein Gehäuse 13 auf, das einen Hauptabschnitt 15 und einen Motorabschnitt 17 umfasst. Der Hauptabschnitt 15 und der Motorabschnitt 17 sind mittels Schrauben 18 miteinander verbunden. 1 shows a vacuum pump 11 according to the invention in a schematic perspective view. The vacuum pump 11 is a Roots pump that can be used, for example, for the low and medium vacuum range within a vacuum system. Furthermore, the vacuum pump 11 has a housing 13 which comprises a main section 15 and a motor section 17 . The main section 15 and the motor section 17 are connected to each other by means of screws 18 .

Der Hauptabschnitt 15 des Gehäuses 13 der Vakuumpumpe 11 weist einen Ansaugflansch 19 auf, der als Einlass für ein zu pumpendes Gas dient, das aus einem nicht dargestellten Rezipienten angesaugt wird. Zwischen dem Rezipienten und der Vakuumpumpe 11 ist innerhalb einer Vakuumanlage üblicherweise mindestens eine weitere Vakuumpumpe, beispielsweise eine Turbomolekularpumpe (nicht dargestellt) angeordnet. Ferner benötigt die als Wälzkolbenpumpe ausgebildete Vakuumpumpe 11 eine Vorpumpe, die mit dem Auslass 23 der Vakuumpumpe 11 verbunden ist und gegen Atmosphärendruck ausstößt. Somit befindet sich die Vakuumpumpe 11 in einer Vakuumanlage üblicherweise zwischen einer Pumpe für den Hochvakuumbereich, beispielsweise einer Turbomolekularpumpe, und der gegen Atmosphärendruck ausstoßenden Vorpumpe.The main section 15 of the housing 13 of the vacuum pump 11 has a suction flange 19, which serves as an inlet for a gas to be pumped, which is sucked in from a recipient, not shown. At least one further vacuum pump, for example a turbomolecular pump (not shown), is usually arranged between the recipient and the vacuum pump 11 within a vacuum system. Furthermore, the vacuum pump 11 designed as a roots pump requires a backing pump which is connected to the outlet 23 of the vacuum pump 11 and discharges against atmospheric pressure. Thus, the vacuum pump 11 in a vacuum system is usually located between a pump for the high-vacuum range, for example a turbomolecular pump, and the backing pump, which discharges against atmospheric pressure.

Die Vakuumpumpe 11 weist außerdem pumpaktive Elemente (nicht dargestellt) in der Form von Wälzkolben auf, die in einem Innenraum 21 (vgl. Fig. 2) des Gehäuses 13 angeordnet sind. Die pumpaktiven Elemente sind dafür vorgesehen sind, das zu pumpende Gas von dem Einlass 19 zu einem Auslass 23 der Vakuumpumpe 11 zu transportieren. Die pumpaktiven Elemente sind in Fig. 2 innerhalb des Ansaugflanschs 19 zu erkennen. Mittels eines nicht dargestellten Elektromotors, der innerhalb des Motorabschnitts 17 angeordnet ist, werden die pumpaktiven Elemente zu einer Arbeitsbewegung angetrieben. Aufgrund dieser Arbeitsbewegung der pumpaktiven Elemente wird die gesamte Vakuumpumpe 11 in Schwingungen versetzt, welche die pumpaktiven Elemente auf das Gehäuse 13 der Vakuumpumpe 11 übertragen.The vacuum pump 11 also has active pumping elements (not shown) in the form of Roots pistons, which are located in an interior space 21 (cf. 2 ) of the housing 13 are arranged. The active pumping elements are intended to transport the gas to be pumped from the inlet 19 to an outlet 23 of the vacuum pump 11 . The pump-active elements are in 2 can be seen within the intake flange 19. By means of an electric motor, not shown, which is arranged within the motor section 17, the pump-active elements are driven to a working movement. Due to this working movement of the pump-active elements, the entire vacuum pump 11 is set in motion, which the pump-active elements transmit to the housing 13 of the vacuum pump 11 .

Fig. 3A zeigt eine perspektivische Detailansicht des Motorabschnitts 17 der Vakuumpumpe 11. Der Motorabschnitt 17 weist an seinem Außenumfang Kühlrippen 25 auf, die zur Kühlung des Elektromotors vorgesehen sind, der sich in einem Innenraum des Motorabschnitts 17 befindet. Der Motorabschnitt 17 umfasst in einem Endabschnitt, der in Fig. 3A und 3B jeweils rechts dargestellt ist, einen Klemmkasten 27, der in Fig. 3A mittels eines Deckels 29 verschlossen ist, während der Deckel 29 in Fig. 3B entfernt ist. Im Bereich des Klemmkastens 27 weist der Motorabschnitt 17 keine Kühlrippen 25 auf, da der Klemmkasten 27 für die elektrischen Anschlüsse des Elektromotors der Vakuumpumpe 11 vorgesehen ist und daher keine Kühlung erfordert. Alternativ kann der Elektromotor der Vakuumpumpe 11 auch wassergekühlt sein. Der Motorabschnitt 17 weist bei einer solchen Ausführungsform eingegossene Wasserleitungen auf und benötigt keine Kühlrippen 25. Figure 3A shows a perspective detailed view of the motor section 17 of the vacuum pump 11. The motor section 17 has cooling ribs 25 on its outer circumference, which are provided for cooling the electric motor, which is located in an interior of the motor section 17. The motor section 17 comprises, in an end section which is in Figures 3A and 3B is shown on the right, a terminal box 27, which is in Figure 3A is closed by means of a cover 29, while the cover 29 in Figure 3B is removed. In the area of the terminal box 27, the motor section 17 has no cooling fins 25, since the terminal box 27 is provided for the electrical connections of the electric motor of the vacuum pump 11 and therefore does not require cooling. Alternatively, the electric motor of the vacuum pump 11 can also be water-cooled. In such an embodiment, the motor section 17 has cast-in water lines and does not require cooling fins 25.

Wie in Fig. 3B und Fig. 4 zu erkennen ist, sind in dem Klemmkasten 27 des Motorabschnitts 17 Anschlusselemente 31 angeordnet, die zur Versorgung des Elektromotors mit elektrischen Strömen und Spannungen vorgesehen sind. Ferner umfasst der Klemmkasten 27 eine Erdung 33, die an einer Gehäusewand 35 innerhalb des Klemmkastens 27 angebracht sind, an der sich auch die Anschlusselemente 31 befinden.As in Figure 3B and 4 can be seen, 17 connection elements 31 are arranged in the terminal box 27 of the motor section, which are provided for supplying the electric motor with electrical currents and voltages. Furthermore, the terminal box 27 includes a ground 33 which is attached to a housing wall 35 within the terminal box 27, on which the connection elements 31 are also located.

In dem Klemmkasten 27 ist außerdem eine Platine 37 angeordnet, die ebenfalls an der Gehäusewand bzw. Innenwand 35 des Klemmkastens 27 angebracht ist. Die Platine 37 weist einen Schwingungssensor 39 auf, der als ein Beschleunigungssensor eines mikro-elektromechanischen Systems (MEMS-Sensor) ausgebildet ist. Der Schwingungssensor 39 steht mit der Gehäusewand 35 in direkter Verbindung, d.h. es befinden sich keine weiteren Elemente zwischen dem Schwingungssensor 39 und der Gehäusewand 35, um Schwingungen des Gehäuses 13 der Vakuumpumpe 11 möglichst direkt auf den Schwingungssensor 39 zu übertragen.A circuit board 37 is also arranged in the terminal box 27 and is also attached to the housing wall or inner wall 35 of the terminal box 27 . The circuit board 37 has a vibration sensor 39 that acts as an acceleration sensor a micro-electromechanical system (MEMS sensor) is formed. The vibration sensor 39 is directly connected to the housing wall 35, ie there are no further elements between the vibration sensor 39 and the housing wall 35 in order to transmit vibrations of the housing 13 of the vacuum pump 11 to the vibration sensor 39 as directly as possible.

Die Platine 37 weist ferner eine Auswerteeinheit 41 für den Schwingungssensor 39 auf. Die Auswerteeinheit 41 umfasst einen integrierten Prozessor, mit dem die Auswertung von Schwingungsdaten erfolgt, die mittels des Schwingungssensors 39 erfasst werden. Der Schwingungssensor 39 und die Auswerteeinheit 41 einschließlich des Prozessors stehen somit in einer elektronischen Kommunikationsverbindung innerhalb der Platine 37.The circuit board 37 also has an evaluation unit 41 for the vibration sensor 39 . The evaluation unit 41 includes an integrated processor, with which the evaluation of vibration data that is detected by the vibration sensor 39 takes place. The vibration sensor 39 and the evaluation unit 41 including the processor are thus in an electronic communication connection within the circuit board 37.

Außerdem weist der Motorabschnitt 17 an seiner Außenseite einen elektrischen Anschluss 43 auf, an dem ein nicht dargestellter Stecker angebracht werden kann. Der elektrische Anschluss 43 ist sowohl mit den Anschlusselementen 31 für den Elektromotor der Vakuumpumpe 11 als auch mit der Auswerteeinheit 41 auf der Platine 37 elektrisch verbunden, um einerseits die Stromversorgung des Elektromotors und der Platine 37 sicherzustellen und andererseits eine Verbindung für Signale herzustellen, die von der Auswerteeinheit 41 bereitgestellt werden und einen Indikator für einen Verschleißzustand der Vakuumpumpe 11 darstellen.In addition, the motor section 17 has an electrical connection 43 on its outside, to which a plug (not shown) can be attached. The electrical connection 43 is electrically connected both to the connection elements 31 for the electric motor of the vacuum pump 11 and to the evaluation unit 41 on the circuit board 37 in order to ensure the power supply of the electric motor and the circuit board 37 on the one hand and to establish a connection for signals from are provided to the evaluation unit 41 and represent an indicator of a state of wear of the vacuum pump 11 .

Der Schwingungssensor 39, der als MEMS-Sensor ausgebildet ist, ist in der Lage, eine Beschleunigung in allen drei Raumrichtungen zu messen. Somit erfasst der Schwingungssensor 39 Schwingungen in allen drei Raumrichtungen. Dabei ist eine dieser Raumrichtungen bzw. Achsen mit einer Drehachse der pumpaktiven Elemente der Vakuumpumpe 11 (vgl. Fig. 2) ausgerichtet. Dadurch lassen sich Schwingungen besonders gut nachweisen, die dadurch auftreten, dass die Bewegung der pumpaktiven Elemente von einer erwarteten Bewegung im Normalbetrieb der Vakuumpumpe 11 abweicht. Dies kann beispielsweise durch eine Unwucht der pumpaktiven Elemente bedingt sein.The vibration sensor 39, which is designed as a MEMS sensor, is able to measure an acceleration in all three spatial directions. The vibration sensor 39 thus detects vibrations in all three spatial directions. In this case, one of these spatial directions or axes is aligned with an axis of rotation of the active pumping elements of the vacuum pump 11 (cf. 2 ) aligned. As a result, vibrations can be detected particularly well which occur because the movement of the pump-active elements differs from an expected movement during normal operation of the vacuum pump 11 deviates. This can be caused, for example, by an imbalance in the active pumping elements.

Die Schwingungsdaten, die mittels des Schwingungssensors 39 erfasst werden, werden mittels der Auswerteeinheit 41 bzw. mittels deren Prozessor ausgewertet, indem diese Schwingungsdaten beispielsweise mit Schwingungsdaten verglichen werden, die zu einem früheren Zeitpunkt erfasst wurden und in der Auswerteeinheit 41 gespeichert sind. Dabei wird beispielsweise die Amplitude der aktuellen und früheren Schwingungsdaten, gemittelt über einen vorbestimmten Zeitraum, verglichen. Alternativ kann die Amplitude der erfassten Schwingungsdaten auch mit einem vorbestimmten Schwellenwert verglichen werden, der auf Erfahrungswerten beruht. Wird eine signifikante Abweichung zwischen den aktuellen Schwingungsdaten und den gespeicherten, zu einem früheren Zeitpunkt erfassten Schwingungsdaten ermittelt oder liegt die Amplitude der Schwingungsdaten oberhalb des vorbestimmten Schwellenwerts, gibt die Auswerteeinheit 41 ein Hinweissignal aus, das mittels des elektrischen Anschlusses 43 an eine nicht dargestellte Steuerungseinheit der Vakuumpumpe 11 übertragen wird, um einen wahrnehmbaren Hinweis für einen Nutzer der Vakuumanlage zu erzeugen, beispielsweise mittels einer Warnleuchte.The vibration data recorded by the vibration sensor 39 is evaluated by the evaluation unit 41 or by its processor by comparing this vibration data, for example, with vibration data that was recorded at an earlier point in time and is stored in the evaluation unit 41 . In this case, for example, the amplitude of the current and earlier vibration data, averaged over a predetermined period of time, is compared. Alternatively, the amplitude of the detected vibration data can also be compared to a predetermined threshold value based on empirical values. If a significant discrepancy is determined between the current vibration data and the stored vibration data recorded at an earlier point in time, or if the amplitude of the vibration data is above the predetermined threshold value, evaluation unit 41 emits an information signal, which is transmitted via electrical connection 43 to a control unit (not shown) of the Vacuum pump 11 is transmitted to generate a noticeable indication for a user of the vacuum system, for example by means of a warning light.

Bei einer alternativen Ausführungsform ist auf der Platine 37 lediglich der Schwingungssensor 39 angeordnet, während sich die Auswerteeinheit 41 außerhalb des Klemmkastens 27 befindet und in die Steuerungseinheit (nicht dargestellt) der Vakuumpumpe 11 integriert ist. Dabei stehen der Schwingungssensor 39 und die Auswerteeinheit 41 jedoch ebenfalls in einer elektronischen Kommunikationsverbindung, die über den elektrischen Anschluss 43 erfolgt.In an alternative embodiment, only the vibration sensor 39 is arranged on the circuit board 37, while the evaluation unit 41 is located outside the terminal box 27 and is integrated into the control unit (not shown) of the vacuum pump 11. In this case, however, the vibration sensor 39 and the evaluation unit 41 are also in an electronic communication connection, which takes place via the electrical connection 43 .

Bei sämtlichen Ausführungsformen sind zwischen dem elektrischen Anschluss 43 und den Anschlusselementen 31 sowie der Platine 37 geeignete Kabelverbindungen vorgesehen, die der Übersichtlichkeit halber in Fig. 4 nicht dargestellt sind. Da anhand der Schwingungsdaten, die mittels des Schwingungssensors 39 erfasst werden, bei sämtlichen Ausführungsformen letztlich ein Signal erzeugt wird, das einem Verschleißzustand der Vakuumpumpe 11 entspricht, kann ein möglicherweise bevorstehender Ausfall der Vakuumpumpe 11 frühzeitig erkannt werden. Ist dies der Fall, kann zu einem geeigneten Zeitpunkt eine geplante Wartung der Vakuumpumpe 11 durchgeführt werden, so dass ein unerwünschter und unvorhergesehener Ausfall der Vakuumpumpe 11 verhindert werden kann.In all of the embodiments, suitable cable connections are provided between the electrical connection 43 and the connection elements 31 and the circuit board 37, which for the sake of clarity are shown in FIG 4 are not shown. Since, in all of the embodiments, a signal that corresponds to a state of wear of the vacuum pump 11 is ultimately generated on the basis of the vibration data that is detected by means of the vibration sensor 39, a possibly impending failure of the vacuum pump 11 can be detected at an early stage. If this is the case, planned maintenance of the vacuum pump 11 can be carried out at a suitable point in time, so that an undesired and unforeseen failure of the vacuum pump 11 can be prevented.

Reference List

1111: Vakuumpumpe, Wälzkolbenpumpevacuum pump, Roots pump
1313: GehäuseHousing
1515: Hauptabschnittmain section
1717: Motorabschnittengine section
1818: Schraubescrew
1919: Ansaugflansch, Einlassintake flange, inlet
2121: Innenrauminner space
2323: Auslassoutlet
2525: Kühlrippecooling fin
2727: Klemmkastenterminal box
2929: Deckellid
3131: Anschlusselementconnection element
3333: Erdunggrounding
3535: Gehäusewandhousing wall
3737: Platinecircuit board
3939: Schwingungssensor, MEMS-SensorVibration sensor, MEMS sensor
4141: Auswerteeinheitevaluation unit
4343: elektrischer Anschlusselectrical connection

Claims

A vacuum pump (11), in particular a Roots pump or a screw pump, comprising
pump-active elements which can be driven to make a working movement and which transport a gas to be pumped from an inlet (19) to an outlet (23) of the vacuum pump (11),

a vibration sensor (39) which acquires vibration data of the vacuum pump (11) on the basis of the working movement of the pump-active elements, and

an evaluation unit (41) which is configured to evaluate the vibration data,
characterized in that

the vibration sensor (39) is integrated into a circuit board (37) of the vacuum pump (11), with the circuit board (37) being arranged in an inner space of the vacuum pump (11).
A vacuum pump (11) in accordance with claim 1,
wherein the evaluation unit (41) is further configured to determine a wear state of the vacuum pump (11) based on the vibration data.
A vacuum pump (11) in accordance with claim 1 or claim 2,
wherein the vibration sensor (39) comprises an acceleration sensor.
A vacuum pump (11) in accordance with claim 3,
wherein the acceleration sensor is an acceleration sensor of a micro-electromechanical system (MEMS sensor).
A vacuum pump (11) in accordance with claim 3 or claim 4,
wherein the acceleration sensor detects the acceleration in at least two directions.
A vacuum pump (11) in accordance with claim 5,
wherein one of the directions in which the acceleration sensor detects the acceleration is aligned with an axis of rotation of the pump-active elements of the vacuum pump (11).
A vacuum pump (11) in accordance with any one of the preceding claims, wherein the vibration sensor (39) is directly coupled to a housing (13) of the vacuum pump (11).
A vacuum pump (11) in accordance with any one of the preceding claims, wherein the evaluation unit (41) is integrated into the circuit board (37) of the vacuum pump (11).
A vacuum pump (11) in accordance with claim 8,
wherein the evaluation unit (41) has an integrated processor which is configured to associate the vibration data with a wear state of the vacuum pump (11).
A vacuum pump (11) in accordance with any one of the claims 1 to 7, further comprising an interface for outputting the vibration data.
A vacuum pump (11) in accordance with claim 10,
wherein the evaluation unit (41) is arranged outside a housing (13) of the vacuum pump and receives the vibration data by means of the interface.