EP3183812A1 - Mit akustischen oberflächenwellen arbeitender eintorresonator - Google Patents

Mit akustischen oberflächenwellen arbeitender eintorresonator

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EP3183812A1
EP3183812A1 EP15738905.7A EP15738905A EP3183812A1 EP 3183812 A1 EP3183812 A1 EP 3183812A1 EP 15738905 A EP15738905 A EP 15738905A EP 3183812 A1 EP3183812 A1 EP 3183812A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
electrode fingers
folded
port resonator
region
bus bar
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP15738905.7A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Ulrike RÖSLER
Werner Ruile
Andreas Bergmann
Veit Meister
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SnapTrack Inc
Original Assignee
SnapTrack Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by SnapTrack Inc filed Critical SnapTrack Inc
Publication of EP3183812A1 publication Critical patent/EP3183812A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14517—Means for weighting
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
    • H03H9/1457—Transducers having different finger widths

Definitions

  • the present invention relates to an acoustic resonator
  • SAW surface acoustic wave
  • a one-port resonator comprises an interdigital transducer having two arranged on a piezoelectric substrate
  • the one-port resonator further comprises two reflectors, wherein the interdigital transducer is adjacent on both sides to a respective reflector.
  • an electrical signal is applied to the electrodes of the interdigital transducer, a standing acoustic surface wave is formed.
  • One-port resonators are used in the construction of
  • Reaktanzfiltern used.
  • An important characteristic of a reactance filter is the insertion loss, which is the maximum attenuation of a signal passing through the filter
  • the one-port resonator should therefore have a possible ⁇ -function-shaped real part of the admittance at the resonance frequency in order to be suitable for use in a reactance filter.
  • a gate resonator specified which has an interdigital transducer with a first bus bar, a second bus bar and electrode fingers, wherein in an excitation region of the interdigital transducer, the electrode fingers in
  • Busbar and the second busbar are connected, wherein the interdigital transducer has a first folded portion in which the electrode fingers in
  • Busbar and the second busbar are connected and which connects directly to the excitation region, wherein the longitudinally directly to the excitation region subsequent electrode finger of the first folded portion and the immediate to this
  • adjacent electrode fingers of the excitation region are connected to the same bus bar.
  • immediately adjacent can be understood here to mean that between two directly
  • the longitudinal direction is defined as
  • the present invention modifies the sin (x) / x behavior in the frequency domain such that the typical minor maxima are reduced and thus a better approximation to the ideal behavior ( ⁇ -function) is achieved.
  • the first folded area is therefore also as
  • Electrode fingers of the excitation range are "folded over" in one part of the excitation range, ie they are connected to the respective other busbar this part of the excitation range, the first folded
  • the one-port resonator further has a first reflector and a second reflector, wherein the interdigital transducer is arranged between the first and the second reflector.
  • the folded-over region of the interdigital transducer can be connected directly to the first reflector or directly to the second reflector.
  • Interdigital converter is arranged in the longitudinal direction.
  • Interdigital converter be arranged.
  • the arrangement of the first folded-over region directly following one of the reflectors can result in an excitation profile having a sin (x) / x curve, wherein the profile is cut off after one of the side lobes, for example after the second side lobe. A cut off after the second
  • the first folded-over region preferably has at least two electrode fingers.
  • the first folded-over region can have at least three electrode fingers
  • the first folded region may have a number of electrode fingers ranging from two to 50, Preferably, the number of fingers in the first folded area is to be selected depending on further parameters of the interdigital transducer, such as the total number of electrode fingers, their width, connection sequence, their longitudinal position (ie the position along the Propagation direction of the acoustic wave) and the aperture (ie the length of the active
  • Overlap region of juxtaposed fingers of different electrodes can be selected.
  • the one-port resonator may have a second folded-over region in which the electrode fingers in
  • Busbar and the second busbar are connected and which connects directly to the excitation area, wherein in the longitudinal direction directly to the
  • a folded-down area can thus be connected to the excitation area on both sides.
  • the second folded-over region can also excite a surface acoustic wave that is phase-shifted with respect to the surface acoustic wave excited in the excitation region.
  • the second folded area can thus contribute to a correction of the excitation profile in the longitudinal direction and thereby ultimately the Real part of the admittance of the one-port resonator at the
  • the first folded-over area and the second folded-over area may have the same number of electrode fingers.
  • the first folded-over region may have a different number of electrode fingers than the second folded-over region. The most favorable choice of the number of electrode fingers for each of the two folded
  • Areas depend on a variety of parameters that determine the frequency response of the one-port resonator.
  • the second folded-over region can have at least two electrode fingers. Further, in some embodiments, the second folded region may include at least three electrode fingers. Preferably, the second folded-over region has a number between 2 and 50 electrode fingers, preferably between 3 and 40
  • Electrode fingers are Electrode fingers.
  • the transfer function of the one-port resonator is also decisively influenced by the fact that the
  • Interdigital transducer itself is not reflection-free, but also forms a reflector.
  • each of the electrode fingers may be part of the excited acoustic
  • the one-port resonator can have a third folded-over region, in which the electrode fingers in
  • Busbar and the second busbar are connected and which adjoins directly to the first folded-over area, wherein the subsequent in the longitudinal direction immediately adjacent to the first folded-down area
  • Electrode fingers of the third folded portion and the immediately adjacent electrode fingers of the first folded portion are connected to the same busbar.
  • the third folded-over region having folded-over electrode fingers opposite the first folded-over region.
  • the third folded-over region performs a correction of the surface acoustic wave excited by the first folded-over region.
  • the third folded-over region can also have at least two electrode fingers.
  • Eintorresonator have any number of other folded areas that can each connect to each other.
  • the electrode fingers can be inside each one
  • folded region in the longitudinal direction may be alternately connected to the first and the second busbar, and further the immediately adjacent electrode fingers of two immediately adjacent regions to be connected to the same busbar.
  • the one-port resonator can be at least first
  • the one-port resonator may comprise at least a first pair of immediately adjacent electrode fingers and a second pair of immediately adjacent electrode fingers, wherein the distance of the two electrode fingers of the first pair from each other
  • Electrode finger of the second pair differs from each other. Accordingly, the positioning of the electrode fingers in the longitudinal direction may deviate from a periodic pattern for individual electrode fingers. This also allows the admittance to be influenced in the desired manner.
  • the electrode fingers each have one with one of
  • Busbars connected end and each have a free end, each adjacent to a Gap.
  • a stub finger can be attached to the gap, which is connected to the other busbar and does not contribute to exciting a surface acoustic wave.
  • Busbar connected electrode fingers respectively the
  • transversal position of the gaps vary. This results in a variation in the overlap length of adjacent fingers, also referred to as an aperture.
  • Aperture weighting can be the excitation profile of the
  • Interdigital transducer can be influenced so that a
  • Admittance is achieved with an even better approximation to the ⁇ function.
  • the metallization ratio of the interdigital transducer can be varied.
  • the metallization ratio is defined as the ratio between the width of an electrode finger of an interdigital electrode structure and the sum of the width and the distance between successive ones
  • Electrode fingers are Electrode fingers.
  • Electrode fingers are designed as so-called normal fingers, which have a distance from one another, which corresponds to half a wavelength of the resonant frequency. Rather, some of the electrode fingers may be designed differently. For example, the resonator so-called
  • Split fingers have, in which the distance corresponds to one quarter of the wavelength and each of which replace a normal finger. These two fingers can each be connected to the same busbar.
  • the present invention relates
  • the invention relates to a filter structure in which resonators in a ladder-type structure are interconnected, wherein at least one of the resonators is one of the one-port resonators described above having at least one
  • the filter structure may be a reactance filter.
  • the filter structure can have a signal path with one signal path input and one signal path output and two
  • Each of the two base circuit elements may have three resonators and one reactance element.
  • a second resonator (a first parallel resonator) may be connected to an electrode at the signal input of the base circuit element, while a third resonator (a second parallel resonator) having an electrode at the signal output of the
  • Base circuit element can be interconnected.
  • the respective other electrode of the parallel resonators can be electrically connected to each other via a connecting line.
  • This connecting line can be connected to ground via the reactance element.
  • Such a base circuit element in the signal path of the filter circuit acts as a bandpass filter.
  • Filter circuits with a ladder-type structure are made up of series-connected basic elements
  • Series resonator is approximately equal to the blocking frequency of the parallel resonator.
  • a basic element forms a passband filter for itself.
  • the right flank of the damping characteristic of the passband is significantly determined by the specific design of the series resonator, while the left flank is largely determined by the design of the parallel resonator.
  • Admittance is plotted for various embodiments of the one-port resonator in logarithmic scale. shows an insertion loss of a basic element of a ladder-type structure, which has two one-port resonators.
  • FIG. 4 shows a second exemplary embodiment of the invention
  • One-port resonator One-port resonator.
  • Figure 5 shows a third embodiment of a
  • One-port resonator One-port resonator.
  • Electrode fingers of the interdigital transducer in the figures significantly reduced to allow a more understandable representation.
  • Figure 1 shows a first embodiment of a
  • the one-port resonator 1 has a Interdigital converter 2 on. Furthermore, the one-port resonator 1 has a first reflector 3 and a second reflector 4. In the longitudinal direction L, the interdigital transducer 2 is arranged between the first reflector 3 and the second reflector 4. Furthermore, the gate resonator 1 has a piezoelectric substrate 5 on which the
  • the piezoelectric substrate 5 can be any material that is arranged.
  • the piezoelectric substrate 5 can be any material that is arranged.
  • lithium niobate or lithium tantalate For example, lithium niobate or lithium tantalate.
  • the interdigital transducer 2 has a first bus bar 6 and a second bus bar 7. Furthermore, the
  • each of the electrode fingers 8 and the stub finger 9 is either with the first bus bar 6 or with the second
  • Busbar 7 connected.
  • the first bus bar 6 and the electrode fingers 8 connected to it form a
  • Interdigital converter 1 represents. Accordingly, the second busbar 7 and connected to it forms
  • Electrode fingers 8 a second comb-like structure, which forms a second electrode of the interdigital transducer 2.
  • the two comb-like structures interlock.
  • the interdigital transducer 2 has an excitation region 10.
  • the electrode fingers 8 are alternately connected to the first bus bar 6 and the second bus bar 7.
  • the excitation region 10 is the region of the interdigital transducer 2 with the most
  • Electrode fingers 8 Furthermore, the interdigital transducer 2 has a first one
  • first the first folded-over region 11 adjoins the first reflector 3.
  • the excitation area 10 adjoins the first folded-over area 11.
  • the excitation region 10 is further adjoined by the second folded-over region 12.
  • the second reflector 4 adjoins the second folded-over region 12.
  • first folded portion 11 and the second folded portion 12 are in longitudinal
  • the first folded area 11 has a
  • Electrode fingers 118 which in the longitudinal direction L directly with an electrode finger 108 of
  • Excitation region 10 is adjacent.
  • Electrode fingers 108, 118 are connected to the first bus bar 6. This causes that when creating a
  • Excitation area 10 and in the first folded portion 11 each mutually phase-shifted acoustic
  • all the electrode fingers 8 of the interdigital transducer 2 have the same distance from each other.
  • the electrode fingers 8 are arranged on a periodic grid. The distance between the electrode fingers 8 to each other corresponds to half
  • the electrode finger 108b of the excitation region which is in the longitudinal direction L directly to a
  • Electrode finger 128 of the second folded portion 12 is adjacent, and this electrode finger 128 of the second folded portion are both connected to the first bus bar 6. Accordingly, a surface acoustic wave is also excited in the second folded-over region 12, which is phase-shifted relative to the surface acoustic wave excited in the excitation region 10. Further, since the two electrode fingers 108b, 128 are connected to the same bus bar, further, no electric field is generated between them when an AC voltage is applied, and hence, there is no piezoelectric excitation between them.
  • FIG. 2 shows a diagram which illustrates the effect of the folded-over regions 11, 12 on the admittance of the one-port resonator 1. In this case, from that shown in FIG.
  • One-port resonator 1 is assumed, with the two reflectors 3, 4 each have 50 reflector strips and the
  • Interdigital transducer 1 a total of 181 electrode fingers
  • FIG. 2 shows a diagram in which a frequency f is plotted on the abscissa axis and also on the
  • Reference curve K ref which shows the admittance for a one-port resonator, which has no folded areas.
  • the other curves show the admittance for
  • One-port resonators 1 having a first and a second folded-over region 11, 12, wherein the two folded-over regions 11, 12 each have three, four, five, seven, nine, eleven, 15, 19, 25 and 29 electrode fingers 8.
  • the curves K 4 and K 29 are marked, which correspond to a one-port resonator 1 with two folded-over regions 11, 12 having respectively four and 29 electrode fingers 8, the index indicating the number of electrode fingers 8 of the folded-over regions 11, 12.
  • the folded regions 11, 12 lead to an increase in the real part of the admittance near the
  • FIG. 3 shows the insertion loss S12 of a basic element of a ladder-type filter structure.
  • the basic element is composed of a series resonator and a parallel resonator. It is from a series resonator and a
  • 3 shows three curves ⁇ , K2 0 and K 4 o, each representing the insertion loss of the base member for the case that the parallel resonator has an excitation area and two adjoining folded area with ten, 20 or 40 electrode fingers.
  • the curve Ko is a reference curve representing the insertion loss of the basic element in the case where the parallel resonator only the
  • the frequency f is plotted on the abscissa axis
  • the insertion loss S 1 2 for the respective basic element of the ladder-type filter structure is plotted on the ordinate axis
  • One-port resonators without a folded area is formed.
  • Design of the parallel resonator is determined.
  • FIG. 4 shows a second exemplary embodiment of the invention
  • One-port resonator 1 The one-port resonator shown in FIG has only a first folded-over region 11, which is arranged between the excitation region 10 of the interdigital transducer 2 and the first reflector 3.
  • the excitation area 10 adjoins the second reflector 4 in the longitudinal direction L.
  • Figure 5 shows a third embodiment of a
  • the one-port resonator 1 shown in FIG. 5 has, in addition to the first folded-over region 11 and the second folded-over region 12, a third folded-over region 13 at a distance.
  • a third folded-over region 13 In the longitudinal direction L close to the first reflector 3 in the following
  • the first, the second and the third folded-over region 11, 12, 13 each have a different number of electrode fingers 8.
  • An electrode finger 138 of the third folded-over region 13, which adjoins the first folded-over region 11 in the longitudinal direction L, and the electrode fold 118b of the first folded-over region 11 which adjoins the latter are in each case connected to the second

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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft einen mit akustischen Oberflächenwellen arbeitenden Eintorresonator (1), der einen Interdigitalwandler (2) mit einer ersten Stromschiene (6), einer zweiten Stromschiene (7) und Elektrodenfingern (8) aufweist, wobei in einem Anregungsbereich (10) des Interdigitalwandlers (2) die Elektrodenfinger (8) in longitudinaler Richtung (L) abwechselnd mit der ersten Stromschiene (6) und der zweiten Stromschiene (7) verbunden sind, wobei der Interdigitalwandler (2) einen ersten umgeklappten Bereich (11) aufweist, in dem die Elektrodenfinger (8) in longitudinaler Richtung (L) abwechselnd mit der ersten Stromschiene (6) und der zweiten Stromschiene (7) verbunden sind und der sich unmittelbar an den Anregungsbereich (10) anschließt, und wobei der in longitudinaler Richtung (L) unmittelbar an den Anregungsbereich (10) anschließende Elektrodenfinger (118) des ersten umgeklappten Bereichs (11) und der zu diesem unmittelbar benachbarte Elektrodenfinger (108) des Anregungsbereichs (10) mit der gleichen Stromschiene (6, 7) verbunden sind.

Description

Beschreibung
Mit akustischen Oberflächenwellen arbeitender Eintorresonator Die vorliegende Erfindung betrifft einen mit akustischen
Oberflächenwellen (SAW = surface acoustic wave) arbeitenden Eintorresonator.
Ein Eintorresonator umfasst einen Interdigitalwandler, der zwei auf einem piezoelektrischen Substrat angeordnete
Stromsammeischienen mit ineinander greifenden, meist auf einem periodischen Raster angeordneten, Elektrodenfingern aufweist. Ein elektrisches Signal, das an die Elektroden des Interdigitalwandlers angelegt wird, regt eine akustische Oberflächenwelle an, wenn die Signalfrequenz der Periode der Fingerstruktur entspricht.
Der Eintorresonator umfasst ferner zwei Reflektoren, wobei der Interdigitalwandler beidseitig an je einen Reflektor angrenzt. Wird ein elektrisches Signal an die Elektroden des Interdigitalwandlers angelegt, so bildet sich eine stehende akustische Oberflächenwelle aus.
Mit akustischen Oberflächenwellen arbeitende
Eintorresonatoren werden insbesondere beim Aufbau von
Reaktanzfiltern verwendet. Eine wichtige Kenngröße eines Reaktanzfilters ist die Einfügedämpfung, die die maximale Dämpfung eines das Filter durchlaufendes Signals im
Durchlassbereich beschreibt. Wird die Einfügedämpfung erhöht, so verschlechtert sich die Übertragungseigenschaft des
Filters. Dementsprechend ist eine geringstmögliche
Einfügedämpfung anzustreben. Der Eintorresonator sollte bei der Resonanzfrequenz daher einen möglichst δ-Funktions-förmigen Realteil der Admittanz aufweisen, um für den Einsatz in einem Reaktanzfilter geeignet zu sein.
Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, einen verbesserten mit akustischen Oberflächenwellen arbeitenden Eintorresonator anzugeben, der beispielsweise einen steilen Admittanzverlauf aufweist und sich dementsprechend besonders gut für den Einsatz in einem Reaktanzfilter eignet.
Die Aufgabe wird durch einen Eintorresonator gemäß dem vorliegenden Anspruch 1 gelöst. Es wird ein mit akustischen Oberflächenwellen arbeitender
Eintorresonator angegeben, der einen Interdigitalwandler mit einer ersten Stromschiene, einer zweiten Stromschiene und Elektrodenfingern aufweist, wobei in einem Anregungsbereich des Interdigitalwandlers die Elektrodenfinger in
longitudinaler Richtung abwechselnd mit der ersten
Stromschiene und der zweiten Stromschiene verbunden sind, wobei der Interdigitalwandler einen ersten umgeklappten Bereich aufweist, in dem die Elektrodenfinger in
longitudinaler Richtung abwechselnd mit der ersten
Stromschiene und der zweiten Stromschiene verbunden sind und der sich unmittelbar an den Anregungsbereich anschließt, wobei der in longitudinaler Richtung unmittelbar an den Anregungsbereich anschließende Elektrodenfinger des ersten umgeklappten Bereichs und der zu diesem unmittelbar
benachbarte Elektrodenfinger des Anregungsbereichs mit der gleichen Stromschiene verbunden sind. Der Begriff „unmittelbar benachbart" kann hier so verstanden werden, dass zwischen zwei zueinander unmittelbar
benachbarten Elektronenfingern kein weiterer Elektronenfinger angeordnet ist. Ferner kann die Formulierung „ein Bereich schließt sich unmittelbar an einen weiteren Bereich an" so verstanden werden, dass zwischen den Bereichen kein weiterer Bereich angeordnet ist.
Die longitudinale Richtung ist definiert als
Ausbreitungsrichtung einer in dem Interdigitalwandler
angeregten akustischen Oberflächenwelle. Senkrecht zur longitudinalen Richtung ist die transversale Richtung. Die Elektrodenfinger erstrecken sich in transversaler Richtung. Wird an die erste und die zweite Stromschiene eine
Wechselspannung angelegt, so wird im Anregungsbereich eine akustische Oberflächenwelle angeregt. Dadurch, dass beim Übergang von dem Anregungsbereich zu dem ersten umgeklappten Bereich zwei Elektrodenfinger mit der gleichen Stromschiene verbunden sind, regen die Elektrodenfinger in dem ersten umgeklappten Bereich eine akustische Oberflächenwelle an, die gegenüber der im Anregungsbereich angeregten Welle eine
Phasenverschiebung aufweist, wenn an die erste und die zweite Stromschiene eine Wechselspannung angelegt wird. Die Anregung im ersten umgeklappten Bereich wirkt also der Anregung im Anregungsbereich entgegen.
Ein idealer Eintorresonator sollte im Frequenzraum im
Realteil der Admittanz eine δ-Funktion aufweisen und im
Imaginärteil die entsprechende Hilberttransformierte.
Die Fouriertransformation dieses idealen Verhaltens ergibt Zeitbereich eine Konstante. In jedem realen Eintorresonator ist der Zeitbereich jedoch endlich. Ein entsprechender ungewichteter, endlicher Wandler zeigt deshalb statt der δ- Funktion ein sin (x) /x-Verhalten im Frequenzbereich. Durch interne Reflexionen prägt sich diesem sin(x) /x-
Verhalten noch eine Reflexionsfunktion auf, die aber durch die vorliegende Erfindung nicht geändert wird.
Die vorliegende Erfindung modifiziert das sin (x) /x-Verhalten im Frequenzbereich dergestalt, dass die typischen Nebenmaxima reduziert werden und damit eine bessere Annäherung an das ideale Verhalten (δ-Funktion) erzielt wird.
Diese Modifikation wird erreicht durch einen möglichst sin (x) /x-förmigen Verlauf im Zeitbereich dessen
Fouriertransformierte ein Rechteck ist und damit zur
Reduzierung der Nebenmaximal ideal geeignet ist.
Eine erste Annäherung an diesen sin (x) /x-förmigen Verlauf im Zeitbereich erreicht man durch einen ersten umgeklappten
Bereich dessen Anregung relativ zum Anregungsbereich um 180° phasenverschoben ist.
Der erste umgeklappte Bereich wird auch deshalb als
„umgeklappter Bereich" bezeichnet, weil er wie folgt
konstruiert werden kann: Es wird zunächst von einem
Interdigitalwandler ausgegangen, bei dem sich der
Anregungsbereich über die gesamte Länge des
Interdigitalwandlers erstreckt. Nunmehr werden die
Elektrodenfinger des Anregungsbreichs in einem Teil des Anregungsbereichs „umgeklappt", d.h. sie werden mit der jeweils anderen Stromschiene verbunden. Dadurch wird aus diesem Teil des Anregungsbereichs der erste umgeklappte
Bereich gebildet.
Der Eintorresonator weist ferner einen ersten Reflektor und einen zweiten Reflektor auf, wobei der Interdigitalwandler zwischen dem ersten und dem zweiten Reflektor angeordnet ist. Der umgeklappte Bereich des Interdigitalwandlers kann sich unmittelbar an den ersten Reflektor oder unmittelbar an den zweiten Reflektor anschließen. In diesem Zusammenhang
bedeutet "unmittelbar anschließen", dass zwischen dem ersten umgeklappten Bereich des Interdigitalwandlers und dem
jeweiligen Reflektor kein weiterer Bereich des
Interdigitalwandlers in longitudinaler Richtung angeordnet ist .
Dementsprechend kann der erste umgeklappte Bereich des
Interdigitalwandlers in einem Randbereich des
Interdigitalwandlers angeordnet sein. Durch die Anordnung des ersten umgeklappten Bereichs unmittelbar anschließend an einen der Reflektoren kann sich ein Anregungsprofil ergeben, das ein sin (x) /x-Verlauf aufweist, wobei der Verlauf nach ein der Nebenkeule abgeschnitten ist, beispielsweise nach der zweiten Nebenkeule. Ein Abschneiden nach der zweiten
Nebenkeule führt zu einer recht guten Annäherung an den gewünschten sin (x) /x-Verlauf, sodass sich im Frequenzraum eine bessere Annäherung an die ideale Admittanzfunktion (δ- Funktion) ergibt.
Vorzugsweise weist der erste umgeklappte Bereich zumindest zwei Elektrodenfinger auf. Insbesondere kann der erste umgeklappte Bereich zumindest drei Elektrodenfinger
aufweisen. Der erste umgeklappte Bereich kann eine Anzahl von Elektrodenfingern im Bereich von zwei bis 50 aufweisen, vorzugsweise im Bereich von drei bis 40. Die Anzahl der Finger in dem ersten umgeklappten Bereich ist dabei abhängig von weiteren Parametern des Interdigitalwandlers zu wählen, wie zum Beispiel der Gesamtzahl der Elektrodenfinger, ihrer Breite, Anschlussfolge, ihrer longitudinalen Position (d.h. der Position entlang der Ausbreitungsrichtung der akustischen Welle) sowie der Apertur (d.h. der Länge des aktiven
Überlappungsbereiches der nebeneinander angeordneten Finger unterschiedlicher Elektroden) gewählt werden.
Ferner kann der Eintorresonator einen zweiten umgeklappten Bereich aufweisen, in dem die Elektrodenfinger in
longitudinaler Richtung abwechselnd mit der ersten
Stromschiene und der zweiten Stromschiene verbunden sind und der sich unmittelbar an den Anregungsbereich anschließt, wobei der in longitudinaler Richtung unmittelbar an den
Anregungsbereich anschließende Elektrodenfinger des zweiten umgeklappten Bereichs und der zu diesem unmittelbar
benachbarte Elektrodenfinger des Anregungsbereichs mit der gleichen Stromschiene verbunden sein können. Dementsprechend kann der zweite umgeklappte Bereich in longitudinaler
Richtung auf der zum ersten umgeklappten Bereich
gegenüberliegenden Seite des Anregungsbereichs angeordnet sein. An den Anregungsbereich kann sich somit beidseitig jeweils ein umgeklappter Bereich anschließen.
Auch der zweite umgeklappte Bereich kann bei angelegter Wechselspannung eine akustische Oberflächenwelle anregen, die gegenüber der im Anregungsbereich angeregten akustischen Oberflächenwelle phasenverschoben ist. Der zweite umgeklappte Bereich kann so zu einer Korrektur des Anregungsprofils in longitudinaler Richtung beitragen und dadurch letztlich den Realteil der Admittanz des Eintorresonators bei der
Resonanzfrequenz erhöhen.
Der erste umgeklappte Bereich und der zweite umgeklappte Bereich können die gleiche Anzahl an Elektrodenfingern aufweisen. Alternativ kann der erste umgeklappte Bereich eine andere Anzahl an Elektrodenfingern aufweisen als der zweite umgeklappte Bereich. Die jeweils günstigste Wahl der Anzahl an Elektrodenfingern für jeden der beiden umgeklappten
Bereiche hängt dabei von einer Vielzahl an Parametern ab, die das Frequenzverhalten des Eintorresonators bestimmen.
Insbesondere kann der zweite umgeklappte Bereich zumindest zwei Elektrodenfinger aufweisen. Ferner kann der zweite umgeklappte Bereich in einigen Ausführungsformen zumindest drei Elektrodenfinger aufweisen. Vorzugsweise weist der zweite umgeklappte Bereich eine Anzahl zwischen 2 und 50 Elektrodenfinger auf, vorzugsweise zwischen 3 und 40
Elektrodenfinger .
Die Übertragungsfunktion des Eintorresonators wird auch dadurch entscheidend beeinflusst, dass der
Interdigitalwandler selbst nicht reflexionsfrei ist, sondern auch einen Reflektor ausbildet. Insbesondere kann jeder der Elektrodenfinger einen Teil der angeregten akustischen
Oberflächenwelle in die longitudinale Richtung sowie in eine zur longitudinalen Richtung entgegengesetzte Richtung
reflektieren . Ferner kann der Eintorresonator einen dritten umgeklappten Bereich aufweisen, in dem die Elektrodenfinger in
longitudinaler Richtung abwechselnd mit der ersten
Stromschiene und der zweiten Stromschiene verbunden sind und der sich unmittelbar an den ersten umgeklappten Bereich anschließt, wobei der in longitudinaler Richtung unmittelbar an den ersten umgeklappten Bereich anschließende
Elektrodenfinger des dritten umgeklappten Bereichs und der zu diesem unmittelbar benachbarte Elektrodenfinger des ersten umgeklappten Bereichs mit der gleichen Stromschiene verbunden sind .
Dementsprechend können sich in longitudinaler Richtung an den Anregungsbereich zunächst der erste umgeklappte Bereich und dann der dritte umgeklappte Bereich anschließen, wobei der dritte umgeklappte Bereich gegenüber dem ersten umgeklappten Bereich umgeklappte Elektrodenfinger aufweist. Der dritte umgeklappte Bereich nimmt dabei eine Korrektur der vom ersten umgeklappten Bereich angeregten akustischen Oberflächenwelle vor. Auch der dritte umgeklappte Bereich kann zumindest zwei Elektrodenfinger aufweisen. Des Weiteren kann der
Eintorresonator beliebig viele weitere umgeklappte Bereiche aufweisen, die sich jeweils aneinander anschließen können. Dabei können die Elektrodenfinger innerhalb jedes
umgeklappten Bereichs in longitudinaler Richtung abwechselnd mit der ersten und der zweiten Stromschiene verbunden sein und ferner die unmittelbar benachbarten Elektrodenfinger zweier unmittelbar aneinander anschließender Bereiche mit der gleichen Stromschiene verbunden sein.
Wie oben beschrieben, wird durch die umgeklappten Bereiche eine günstige Gestaltung der Admittanz des Eintorresonators erreicht. Es ist darüber hinaus möglich, die Methode der umgeklappten Bereiche mit weiteren Verfahren zur Formung de Admittanz zu kombinieren. Insbesondere kann der Eintorresonator zumindest erste
Elektrodenfinger und zweite Elektrodenfinger aufweisen, wobei sich die Breite der ersten Elektrodenfinger von der Breite der zweiten Elektrodenfinger unterscheidet. Es ist bekannt, dass durch die Gestaltung der Breite von Elektrodenfinger eine günstige Admittanz eines Eintorresonators realisiert werden kann. Diese Maßnahme lässt sich mit dem Umklappen der Bereiche kombinieren, um die gewünschte Admittanz noch besser zu realisieren.
Alternativ oder ergänzend kann der Eintorresonator zumindest ein erstes Paar unmittelbar benachbarter Elektrodenfinger und ein zweites Paar unmittelbar benachbarter Elektrodenfinger aufweisen, wobei der Abstand der beiden Elektrodenfinger des ersten Paares zueinander sich von dem Abstand der beiden
Elektrodenfinger des zweiten Paares zueinander unterscheidet. Dementsprechend kann die Positionierung der Elektrodenfinger in longitudinaler Richtung für einzelne Elektrodenfinger von einem periodischen Raster abweichen. Auch dadurch kann die Admittanz in gewünschter Weise beeinflusst werden.
Die Elektrodenfinger weisen je ein mit einer der
Stromschienen verbundenes Ende und je ein freies Ende auf, das jeweils an einen Gap grenzt. In transversaler Richtung kann sich an dem Gap ein Stummelfinger anschließen, der mit der jeweils anderen Stromschiene verbunden ist und nicht zum Anregen einer akustischen Oberflächenwelle beiträgt. Nunmehr kann für die mit der ersten Stromschiene verbundenen
Elektrodenfinger und/oder für die mit der zweiten
Stromschiene verbundenen Elektrodenfinger jeweils die
transversale Position der Gaps variieren. Dieses führt zu einer Variation in der Überlappungslänge benachbarter Finger, die auch als Apertur bezeichnet wird. Durch diese sogenannte Aperturwichtung kann das Anregungsprofil des
Interdigitalwandlers so beeinflusst werden, dass eine
Admittanz mit einer noch besseren Annäherung an die δ- Funktion erzielt wird.
Ferner kann in longitudinaler Richtung ein
Metallisierungsverhältnis des Interdigitalwandlers variiert werden. Das Metallisierungsverhältnis ist dabei definiert als das Verhältnis zwischen der Breite eines Elektrodenfingers einer interdigitalen Elektrodenstruktur und der Summe aus der Breite und dem Abstand zwischen aufeinander folgenden
Elektrodenfingern .
Da die vorliegende Erfindung sich nicht auf die
Reflexionsfunktion bezieht, kann diese noch beliebig
realisiert werden. Es müssen daher nicht alle
Elektrodenfinger als sogenannte Normalfinger ausgestaltet sein, die einen Abstand zueinander haben, der einer halben Wellenlänge der Resonanzfrequenz entspricht. Es können vielmehr auch einige der Elektrodenfinger anders ausgeführt sein. Beispielsweise kann der Resonator sogenannte
Splitfinger aufweisen, bei denen der Abstand zueinander einem Viertel der Wellenlänge entspricht und von denen je zwei einen Normalfinger ersetzen. Diese zwei Finger können dabei jeweils mit der gleichen Stromschiene verbunden sein.
Gemäß einem weiteren Aspekt betrifft die vorliegende
Erfindung eine Filterstruktur, bei der Resonatoren in einer Ladder-Type-Struktur miteinander verschaltet sind, wobei es sich bei zumindest einem der Resonatoren um einen der oben beschriebenen Eintorresonatoren mit zumindest einem
umgeklappten Bereich handelt. Bei der Filterstruktur kann es sich um ein Reaktanzfilter handeln. Die Filterstruktur kann dabei einen Signalpfad mit einem Signalpfadeingang und einem Signalpfadausgang und zwei
Basisschaltungselemente umfassen, die seriell im Signalpfad verschaltet sind. Jedes der beiden Basisschaltungselemente kann drei Resonatoren und ein Reaktanzelement aufweisen.
Einer der Resonatoren, ein sogenannter Serienresonator, kann dabei im Signalpfad verschaltet sein. Ein zweiter Resonator (ein erster Parallelresonator) kann mit einer Elektrode am Signaleingang des Basisschaltungselements verschaltet sein, während ein dritter Resonator (ein zweiter Parallelresonator) mit einer Elektrode am Signalausgang des
Basisschaltungselements verschaltet sein kann. Die jeweils andere Elektrode der Parallelresonatoren können über eine Verbindungsleitung elektrisch miteinander verbunden sein. Diese Verbindungsleitung kann über das Reaktanzelement mit Masse verbunden sein. Ein solches Basisschaltungselement im Signalpfad der Filterschaltung wirkt als Bandpassfilter.
Damit kann die Filterstruktur eine Ladder-Type-ähnliche
Struktur aufweisen. Filterschaltungen mit Ladder-Type- Struktur sind aus seriell verschalteten Grundgliedern
aufgebaut, die im Wesentlichen aus einem Resonator in einem „Serienzweig" und einem Resonator in einem „Parallelzweig" bestehen. Die charakteristische Durchlassfrequenz des
Serienresonators stimmt dabei ungefähr mit der Sperrfrequenz des Parallelresonators überein. Damit bildet ein solches Grundglied für sich ein Passbandfilter. Die rechte Flanke der Dämpfungscharakteristik des Passbands wird maßgeblich von der konkreten Ausgestaltung des Serienresonators bestimmt, während die linke Flanke maßgeblich von der Ausgestaltung des Parallelresonators bestimmt wird. Ladder-Type-
Filterschaltungen aus solchen Grundgliedern sind wohlbekannt. Der oben beschriebene Eintorresonator kann nunmehr als
Parallelresonator und/oder als Serienresonator in einem solchen Grundglied eingesetzt werden. Im Folgenden wird die Erfindung anhand von Figuren näher erläutert . zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel eines Eintorresonators . zeigt ein Diagramm, bei dem der Realteil der
Admittanz für verschiedene Ausführungsbeispiele des Eintorresonators in logarithmischem Maßstab aufgetragen ist. zeigt eine Einfügedämpfung eines Grundgliedes einer Ladder-Type-Struktur, die zwei Eintorresonatoren aufweist . Figur 4 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel des
Eintorresonators .
Figur 5 zeigt ein drittes Ausführungsbeispiel eines
Eintorresonators .
Die Figuren stellen dabei schematische, nicht maßstabsgetreue Darstellungen dar. Beispielsweise ist die Anzahl der
Elektrodenfinger der Interdigitalwandler in den Figuren deutlich verringert, um eine verständlichere Darstellung zu ermöglichen .
Figur 1 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel eines
Eintorresonators 1. Der Eintorresonator 1 weist einen Interdigitalwandler 2 auf. Ferner weist der Eintorresonator 1 einen ersten Reflektor 3 und einen zweiten Reflektor 4 auf. In longitudinaler Richtung L ist der Interdigitalwandler 2 zwischen dem ersten Reflektor 3 und dem zweiten Reflektor 4 angeordnet. Des Weiteren weist der Eintorresonator 1 ein piezoelektrisches Substrat 5 auf, auf dem der
Interdigitalwandler 2 und die beiden Reflektoren 3, 4
angeordnet sind. Das piezoelektrische Substrat 5 kann
beispielsweise Lithiumniobat oder Lithiumtantalat aufweisen.
Der Interdigitalwandler 2 weist eine erste Stromschiene 6 und eine zweite Stromschiene 7 auf. Ferner weist der
Interdigitalwandler 2 Elektrodenfinger 8 auf, die zur
Anregung einer akustischen Oberflächenwelle dienen. Darüber hinaus weist der Interdigitalwandler 1 Stummelfinger 9 auf, die nicht zur Anregung der akustischen Welle beitragen. Jeder der Elektrodenfinger 8 und der Stummelfinger 9 ist entweder mit der ersten Stromschiene 6 oder mit der zweiten
Stromschiene 7 verbunden. Dabei bildet die erste Stromschiene 6 und die mit ihr verbundenen Elektrodenfinger 8 eine
kammartige Struktur, die eine erste Elektrode des
Interdigitalwandlers 1 darstellt. Entsprechend bildet die zweite Stromschiene 7 und die mit ihr verbundenen
Elektrodenfinger 8 eine zweite kammartige Struktur, die eine zweite Elektrode des Interdigitalwandlers 2 ausbildet. Die beiden kammartigen Strukturen greifen ineinander.
Der Interdigitalwandler 2 weist einen Anregungsbereich 10 auf. In dem Anregungsbereich 10 sind die Elektrodenfinger 8 abwechselnd mit der ersten Stromschiene 6 und der zweiten Stromschiene 7 verbunden. Der Anregungsbereich 10 ist der Bereich des Interdigitalwandlers 2 mit den meisten
Elektrodenfingern 8. Ferner weist der Interdigitalwandler 2 einen ersten
umgeklappten Bereich 11 und einen zweiten umgeklappten
Bereich 12 auf. In longitudinaler Richtung L schließt sich an den ersten Reflektor 3 zunächst der erste umgeklappte Bereich 11 an. An den ersten umgeklappten Bereich 11 schließt sich der Anregungsbereich 10 an. An den Anregungsbereich 10 schließt sich ferner der zweite umgeklappte Bereich 12 an. An den zweiten umgeklappten Bereich 12 schließt sich der zweite Reflektor 4 an.
In jedem von dem ersten umgeklappten Bereich 11 und dem zweiten umgeklappten Bereich 12 sind in longitudinaler
Richtung L die Elektrodenfinger 8 abwechselnd mit der ersten Stromschiene 6 und der zweiten Stromschiene 7 verbunden. Der erste umgeklappte Bereich 11 weist dabei einen
Elektrodenfinger 118 auf, der in longitudinaler Richtung L unmittelbar mit einem Elektrodenfinger 108 des
Anregungsbereichs 10 benachbart ist. Diese beiden
Elektrodenfinger 108, 118 sind mit der ersten Stromschiene 6 verbunden. Dieses führt dazu, dass beim Anlegen einer
Wechselspannung an die Stromschienen 6, 7 in dem
Anregungsbereich 10 und in dem ersten umgeklappten Bereich 11 jeweils zueinander phasenverschobene akustische
Oberflächenwellen angeregt werden. Im ersten umgeklappten Bereich 11 wird sozusagen eine akustische Oberflächenwelle angeregt, die der im Anregungsbereich 10 angeregten
akustischen Oberflächenwelle entgegenwirkt und eine Korrektur dieser Welle vornimmt. Da ferner die beiden Elektrodenfinger 108, 118 mit der gleichen Stromschiene verbunden sind, wird zwischen ihnen beim Anlegen einer Wechselspannung kein elektrisches Feld aufgebaut und somit kommt es zwischen ihnen auch nicht zu einer piezoelektrischen Anregung.
Bei dem in Figur 1 gezeigten Ausführungsbeispiel weisen sämtliche Elektrodenfinger 8 des Interdigitalwandlers 2 den gleichen Abstand zueinander auf. Die Elektrodenfinger 8 sind dabei auf einem periodischen Raster angeordnet. Der Abstand der Elektrodenfinger 8 zueinander entspricht der halben
Wellenlänge der Resonanzfrequenz des Eintorresonators 1.
Ferner sind der Elektrodenfinger 108b des Anregungsbereichs, der in longitudinaler Richtung L unmittelbar zu einem
Elektrodenfinger 128 des zweiten umgeklappten Bereichs 12 benachbart ist, und dieser Elektrodenfinger 128 des zweiten umgeklappten Bereichs beide mit der ersten Stromschiene 6 verbunden. Dementsprechend wird auch im zweiten umgeklappten Bereich 12 eine akustische Oberflächenwelle angeregt, die gegenüber der im Anregungsbereich 10 angeregten akustischen Oberflächenwelle phasenverschoben ist. Da ferner die beiden Elektrodenfinger 108b, 128 mit der gleichen Stromschiene verbunden sind, wird ferner zwischen ihnen beim Anlegen einer Wechselspannung kein elektrisches Feld aufgebaut und somit kommt es zwischen ihnen auch nicht zu einer piezoelektrischen Anregung .
Der erste und der zweite umgeklappte Bereich 11, 12 weisen in dem hier gezeigten Ausführungsbeispiel die gleich Anzahl an Elektrodenfingern 8 auf. Figur 2 zeigt ein Diagramm, das die Wirkung der umgeklappten Bereiche 11, 12 auf die Admittanz des Eintorresonators 1 verdeutlicht. Dabei wird von dem in Figur 1 gezeigten
Eintorresonator 1 ausgegangen, wobei die beiden Reflektoren 3, 4 je 50 Reflektorstreifen aufweisen und der
Interdigitalwandler 1 insgesamt 181 Elektrodenfinger
aufweist . Figur 2 zeigt ein Diagramm, bei dem auf der Abszissenachse eine Frequenz f aufgetragen ist und ferner auf der
Ordinatenachse der Realteil der Admittanz Re (Y) in
logarithmischem Maßstab aufgetragen ist. Es ist eine
Referenzkurve Kref aufgetragen, die die Admittanz für einen Eintorresonator zeigt, der keine umgeklappten Bereiche aufweist. Die weiteren Kurven zeigen die Admittanz für
Eintorresonatoren 1 mit einem ersten und einem zweiten umgeklappten Bereich 11, 12, wobei die beiden umgeklappten Bereiche 11, 12 je drei, vier, fünf, sieben, neun, elf, 15, 19, 25 beziehungsweise 29 Elektrodenfinger 8 aufweisen.
Beispielhaft sind die Kurven sind K4 und K29 markiert, die einem Eintorresonator 1 mit zwei umgeklappten Bereichen 11, 12 mit jeweils vier bzw. 29 Elektrodenfingern 8 entsprechen, wobei der Index die Anzahl der Elektrodenfinger 8 der umgeklappten Bereiche 11, 12 angibt.
Es ist in Figur 2 deutlich zu erkennen, dass bei den
Eintorresonatoren 1 mit umgeklappten Bereichen 11, 12 der Verlauf der Admittanz nahe der Resonanzfrequenz deutlich steiler wird. Die umgeklappten Bereiche 11, 12 führen zu einer Erhöhung des Realteils der Admittanz nahe der
Resonanzfrequenz .
Figur 3 zeigt die Einfügedämpfung S12 eines Grundgliedes einer Ladder-Type-Filterstruktur . Das Grundglied ist aus einem Serienresonator und einem Parallelresonator aufgebaut. Dabei wird von einem Serienresonator und einem
Parallelresonator ausgegangen, die jeweils durch einen Eintorresonator 1 mit einem Interdigialwandler 2 mit 151 Elektrodenfingern 8 und zwei Reflektoren 3, 4 mit je zehn Reflektorstreifen gebildet werden. In Figur 3 sind drei Kurven Κιο, K20 und K4o dargestellt, die jeweils die Einfügedämpfung des Grundglieds für den Fall darstellen, dass der Parallelresonator einen Anregungsbereich und zwei daran anschließende umgeklappte Bereich mit je zehn, 20 oder 40 Elektrodenfingern aufweist. Die Kurve Ko ist eine Referenzkurve, die die Einfügedämpfung des Grundglieds für den Fall darstellen, dass der Parallelresonator nur den
Anregungsbereich und keine umgeklappten Bereiche aufweist.
Auf der Abszissenachse ist die Frequenz f aufgetragen und auf der Ordinatenachse ist die Einfügedämpfung S12 für das jeweilige Grundglied der Ladder-Type-Filterstruktur
aufgetragen. Es ist deutlich zu erkennen, dass die untere Passbandflanke für die Grundglieder, bei denen der
Parallelresonator durch einen Eintorresonatoren mit
umgeklappten Bereichen gebildet wird, deutlich steiler ausfällt bei der Referenzkurve Ko, die ein Grundglied
beschreibt, bei dem der Parallelresonator durch einen
Eintorresonatoren ohne einen umgeklappten Bereich gebildet wird .
Dementsprechend ist insbesondere der Einsatz der
erfindungsgemäßen Eintorresonatoren als Parallelresonator in einer Ladder-Type-Struktur interessant, da die linke Flanke der Einfügedämpfungscharakteristik maßgeblich von der
Ausgestaltung des Parallelresonators bestimmt wird.
Figur 4 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel des
Eintorresonators 1. Der in Figur 4 gezeigte Eintorresonator weist lediglich einen ersten umgeklappten Bereich 11 auf, der zwischen dem Anregungsbereich 10 des Interdigitalwandlers 2 und dem ersten Reflektor 3 angeordnet ist. Der
Anregungsbereich 10 schließt sich ferner in longitudinaler Richtung L unmittelbar an den zweiten Reflektor 4 an.
Figur 5 zeigt ein drittes Ausführungsbeispiel eines
Eintorresonators 1. Der in Figur 5 gezeigte Eintorresonator 1 weist zusätzlich zu dem ersten umgeklappten Bereich 11 und dem zweiten umgeklappten Bereich 12 fernen einen dritten umgeklappten Bereich 13 auf. In longitudinaler Richtung L schließen sich an den ersten Reflektor 3 in folgender
Reihenfolge der dritte umgeklappte Bereich 13, der erste umgeklappte Bereich 11, der Anregungsbereich 10, der zweite umgeklappte Bereich 12 und der zweite Reflektor 4 an. Der erste, der zweite und der dritte umgeklappte Bereich 11, 12, 13 weisen jeweils eine voneinander abweichende Anzahl an Elektrodenfingern 8 auf. Ein in longitudinaler Richtung L unmittelbar an den ersten umgeklappten Bereich 11 anschließender Elektrodenfinger 138 des dritten umgeklappten Bereichs 13 und der zu diesem unmittelbar benachbarte Elektrodenfinger 118b des ersten umgeklappten Bereichs 11 sind jeweils mit der zweiten
Stromschiene 7 verbunden.
Bezugs zeichenliste
1 Eintorresonator
2 Interdigitalwandler
3 erster Reflektor
4 zweiter Reflektor
5 piezoelektrisches Substrat
6 erste Stromschiene
7 zweite Stromschiene
8 Elektrodenfinger
9 Stummelfinger
10 Anregungsbereich
11 erster umgeklappter Bereich
12 zweiter umgeklappter Bereich
13 dritter umgeklappter Bereich
108 Elektrodenfinger des Anregungsbereichs
108b Elektrodenfinger des Anregungsbereichs
118 Elektrodenfinger des ersten umgeklappten Bereichs
118b Elektrodenfinger des ersten umgeklappten Bereichs 128 Elektrodenfinger des zweiten umgeklappten Bereichs
138 Elektrodenfinger des dritten umgeklappten Bereichs
L longitudinale Richtung

Claims

Patentansprüche
Mit akustischen Oberflächenwellen arbeitender
Eintorresonator (1), aufweisend
einen Interdigitalwandler (2) mit einer ersten
Stromschiene (6), einer zweiten Stromschiene (7) und Elektrodenfingern (8),
wobei in einem Anregungsbereich (10) des
Interdigitalwandlers (2) die Elektrodenfinger (8) in longitudinaler Richtung (L) abwechselnd mit der ersten Stromschiene (6) und der zweiten Stromschiene (7) verbunden sind,
wobei der Interdigitalwandler (2) einen ersten
umgeklappten Bereich (11) aufweist, in dem die
Elektrodenfinger (8) in longitudinaler Richtung (L) abwechselnd mit der ersten Stromschiene (6) und der zweiten Stromschiene (7) verbunden sind und der sich unmittelbar an den Anregungsbereich (10) anschließt, und wobei der in longitudinaler Richtung (L) unmittelbar an den Anregungsbereich (10) anschließende Elektrodenfinger
(118) des ersten umgeklappten Bereichs (11) und der zu diesem unmittelbar benachbarte Elektrodenfinger (108) des Anregungsbereichs (10) mit der gleichen Stromschiene
(6, 7) verbunden sind.
Eintorresonator (1) gemäß Anspruch 1,
der ferner einen ersten Reflektor (3) und einen zweiten Reflektor (4) aufweist, wobei der Interdigitalwandler (2) zwischen dem ersten und dem zweiten Reflektor (3, 4) angeordnet ist,
wobei der erste umgeklappte Bereich (11) des
Interdigitalwandlers (2) sich unmittelbar an den ersten Reflektor (3) oder unmittelbar an den zweiten Reflektor (4) anschließt.
Eintorresonator (1) gemäß einem der vorherigen
Ansprüche,
wobei der erste umgeklappte Bereich (11) zumindest zwei Elektrodenfinger (8, 118, 118b) aufweist.
Eintorresonator (1) gemäß einem der vorherigen
Ansprüche,
wobei der erste umgeklappte Bereich (11) eine Anzahl von Elektrodenfinger (8, 118, 118) im Bereich von 2 bis 50 aufweist .
Eintorresonator (1) gemäß einem der vorherigen
Ansprüche,
der einen zweiten umgeklappten Bereich (12) aufweist, in dem die Elektrodenfinger (8) in longitudinaler Richtung
(L) abwechselnd mit der ersten Stromschiene (6) und der zweiten Stromschiene (7) verbunden sind und der sich unmittelbar an den Anregungsbereich (10) anschließt, wobei der in longitudinaler Richtung (L) unmittelbar an den Anregungsbereich (10) anschließende Elektrodenfinger
(128) des zweiten umgeklappten Bereichs (12) und der zu diesem unmittelbar benachbarte Elektrodenfinger (108b) des Anregungsbereichs (10) mit der gleichen Stromschiene
(6, 7) verbunden sind.
Eintorresonator (1) gemäß Anspruch 5,
wobei der erste umgeklappte Bereich (11) und der zweite umgeklappte Bereich (12) die gleiche Anzahl an
Elektrodenfingern (8) aufweist. Eintorresonator (1) gemäß Anspruch 5,
wobei der erste umgeklappte Bereich (11) eine andere Anzahl an Elektrodenfingern (8) aufweist als der zweite umgeklappte Bereich (12) .
Eintorresonator (1) gemäß einem der vorherigen
Ansprüche,
der einen dritten umgeklappten Bereich aufweist, in dem die Elektrodenfinger in longitudinaler Richtung (L) abwechselnd mit der ersten Stromschiene (6) und der zweiten Stromschiene (7) verbunden sind und der sich unmittelbar an den ersten umgeklappten Bereich (11) anschließt, wobei der in longitudinaler Richtung (L) unmittelbar an den ersten umgeklappten Bereich (11) anschließende Elektrodenfinger (138) des dritten
umgeklappten Bereichs (13) und der zu diesem unmittelbar benachbarte Elektrodenfinger (118b) des ersten
umgeklappten Bereichs (11) mit der gleichen Stromschiene (6, 7) verbunden sind.
Eintorresonator (1) gemäß einem der vorherigen
Ansprüche,
der zumindest erste Elektrodenfinger und zweite
Elektrodenfinger aufweist, wobei sich die Breite der ersten Elektrodenfinger von der Breite der zweiten
Elektrodenfinger unterscheidet.
Eintorresonator (1) gemäß einem der vorherigen
Ansprüche,
der zumindest eine erstes Paar unmittelbar benachbarter Elektrodenfinger und ein zweites Paar unmittelbar benachbarter Elektrodenfinger aufweist, wobei der
Abstand der beiden Elektrodenfinger des ersten Paars zueinander sich von dem Abstand der beiden
Elektrodenfinger des zweiten Paars zueinander
unterscheidet .
11. Eintorresonator (1) gemäß einem der vorherigen
Ansprüche,
wobei die Elektrodenfinger (8) je ein mit einer der Stromschienen (6, 7) verbundenes Ende und je ein freies Ende aufweisen, das an ein Gap grenzt, und
wobei für die mit der ersten Stromschiene (6, 7)
verbundenen Elektrodenfinger (8) und/oder für die mit der zweiten Stromschiene verbundenen Elektrodenfinger (8) jeweils die transversale Position der Gaps variiert.
12. Eintorresonator (1) gemäß einem der vorherigen
Ansprüche,
wobei in longitudinaler Richtung ein
Metallisierungsverhältnis des Interdigitalwandlers (2) variiert wird.
13. Filterstruktur,
bei der Resonatoren in einer Ladder-Type-Struktur miteinander verschaltet sind, wobei es sich bei
zumindest einem der Resonatoren um einen Eintorresonator (1) gemäß einem der vorherigen Ansprüche handelt.
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