EP2951564A1 - Sensor und verfahren zur ermittlung einer dielektrischen eigenschaft eines mediums - Google Patents

Sensor und verfahren zur ermittlung einer dielektrischen eigenschaft eines mediums

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Publication number
EP2951564A1
EP2951564A1 EP14711197.5A EP14711197A EP2951564A1 EP 2951564 A1 EP2951564 A1 EP 2951564A1 EP 14711197 A EP14711197 A EP 14711197A EP 2951564 A1 EP2951564 A1 EP 2951564A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
sensor
waveguide
substrate
medium
analysis device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP14711197.5A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Abdellatif Zanati
Dominikus Joachim MÜLLER
Florian Poprawa
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Publication of EP2951564A1 publication Critical patent/EP2951564A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
    • G01R27/28—Measuring attenuation, gain, phase shift or derived characteristics of electric four pole networks, i.e. two-port networks; Measuring transient response
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N22/00—Investigating or analysing materials by the use of microwaves or radio waves, i.e. electromagnetic waves with a wavelength of one millimetre or more
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
    • G01R27/02—Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
    • G01R27/26—Measuring inductance or capacitance; Measuring quality factor, e.g. by using the resonance method; Measuring loss factor; Measuring dielectric constants ; Measuring impedance or related variables
    • G01R27/2617—Measuring dielectric properties, e.g. constants
    • G01R27/2635—Sample holders, electrodes or excitation arrangements, e.g. sensors or measuring cells
    • G01R27/2647—Sample holders, electrodes or excitation arrangements, e.g. sensors or measuring cells of coaxial or concentric type, e.g. with the sample in a coaxial line

Definitions

  • the present invention relates to a sensor and a method for determining a dielectric property of a medium. Furthermore, the invention relates to a sensor arrangement with such a sensor and an analysis device.
  • Transmission measurement reflection measurement or resonance measurement.
  • dielectric properties are determined based on the transmission of signals through a medium or a conductor.
  • spur dielectric properties are determined based on the reflection of signals at or by means of the Me ⁇ diums.
  • the resonance measurement is based on the Determined ⁇ development of the resonance characteristics, that is, the vibration characteristics of the medium, which in turn can be used to determine the dielectric properties.
  • the results of these measurements can be used to determine the dielectric properties of the medium, in particular the complex dielectric constant. These properties can provide information about various other properties of the medium. These include, for example, the concentration of glucose, alcohol or salt in a medium.
  • the determination of the dielectric constant may be desired in various areas, such as in medicine or in industrial plants, for example in the context of process instrumentation. Here it is desirable already to detect small changes in concentration, which requires a high measurement accuracy.
  • an object of the present invention is to improve the determination of dielectric properties of a medium with regard to the measurement accuracy.
  • a sensor for detecting a dielectric property of a medium includes a substrate having at least one via and a waveguide disposed planar with respect to an upper surface of the substrate.
  • the Wellenlei ⁇ ter is connected via the at least one via with an analysis device. Is further adapted to the wave conductors to receive an input signal from the analysis ⁇ apparatus and outputting an output signal to the Analy ⁇ sevoriques, wherein characteristics of the input signal and the output signal upon contact of the waveguide with a medium indicative of the dielectric property of the medium are.
  • the proposed sensor transmission and reflection measurements can be made. Its planar structure improves the measurement accuracy of the dielectric property of the medium. Furthermore, compact measuring units can be realized, whereby the sensor can be used in a variety of technical fields. Since the sensor can have small dimensions, it can also be used on the go.
  • the sensor can be used for example in the medical field as a mobile device, which can also perform measurements directly on a person, the medium could correspond to the skin. Therefore, a sampling can be omitted.
  • the sensor can be used in various industrial installations, either as a fixed or as a mobile device. Here, the sensor can also if brought directly into contact with the medium, where ⁇ can be omitted by a sampling.
  • a waveguide is arranged planar with respect to a substrate.
  • a printed circuit board can play, be used.
  • the substrate may consist of or comprise a dielectric material.
  • the waveguide may be any type of waveguide that may be planar with respect to the top surface of the substrate. "Planar in respect to the top upper surface of the substrate ⁇ " may mean at or planar with the upper surface of the substrate in this context planar. Preferably, it is a planar waveguide.
  • planar is meant an arrangement of the waveguide in which the upper surface of the sensor array is planar or flat.
  • the waveguide can be connected via vias to an analysis device.
  • Vias in this context refer to openings that extend from the top surface of the substrate to the opposite side of the substrate through the substrate.
  • the analyzer may be any device capable of sending an input signal to the waveguide, receiving an output signal therefrom, and determining a dielectric property of the medium based on characteristics of these two signals. The determination can be carried out, for example, based on a comparison of the phase and / or amplitude of the input signal and the username and password, as these material-dependent, that is, depending on the medium, change.
  • a signal which is sent through the waveguide, he ⁇ witnesses to the waveguide a stray field.
  • This (electromag- netic) stray field penetrates the medium. In this case, for example, change the phase and / or amplitude of the input and output signals. These changes can be used to determine the dielectric property (s) of the medium.
  • the input signal is generated by the analyzer. If the measurement to be performed is a
  • the input signal is fed to ei ⁇ nem end of the waveguide in the waveguide and received at the other end of the waveguide as an output signal as ⁇ of the analyzer.
  • the input signal is fed to the waveguide at one end.
  • the signal exits the waveguide in the medium and is at least partially reflected by this and fed back in the waves ⁇ conductor. This feedback signal is in turn received by the analyzer as an output signal.
  • the analysis device can be, for example, a network analyzer.
  • a network analyzer can be a vector network analyzer (VNA). This can be used to measure scattering parameters of electrical DUTs. Scattering parameters denote the reflection and transmission properties of the measurement objects.
  • VNA vector network analyzer
  • the term "measurement object” refers to a medium. The medium may assume a solid, liquid or gaseous state, which may include, but is not limited to, a liquid or gas.
  • the waveguide is planarly disposed on the top surface of the substrate. According to this embodiment, the waveguide is a
  • planar waveguide disposed on the upper surface of the substrate.
  • planar means that the waveguide is flat and forms a flat surface with the substrate.
  • the waveguide is a stripline.
  • a stripline may be a microstrip line, a coplanar line or a slotline. Others too
  • Strip lines typically consist of one or more thin conductive strips deposited on a dielectric (eg, a substrate).
  • the substrate has at least two plated-through holes
  • the waveguide is on the input terminal, at least two plated-through holes with an inlet and connectable to an output terminal of Analysevor ⁇ direction.
  • the waveguide can be connected to the analysis device with its two ends.
  • the analysis device may be a 2-port analysis device. This arrangement is used for transmission measurement, in which an input signal is fed by the analysis device into one end of the waveguide and an output ⁇ signal is received at the other end of the waveguide. As soon as the waveguide is in contact with the medium to be examined, that is to say it is "loaded", the egg changes. characteristics of the output signal compared to mattersssig ⁇ nal.
  • the so-called scatter parameters can be determined. These S-parameters are measured as a function of frequency and indicate values of reflection and transmission. From these can by means of suitable processes, the dielectric properties of the medium, such as the dielectric constant, determines the ⁇ .
  • the dielectric properties of the medium such as the dielectric constant.
  • one end of the waveguide is arranged planar with the substrate.
  • the waveguide is arranged so that only one end of the waveguide is disposed on the upper surface of the substrate and the waveguide extends through the via.
  • the end of the Wellenlei ⁇ ters on the upper surface of the substrate is disposed planar with the substrate.
  • the waveguide is formed as an open conductor.
  • An open conductor that is, a conductor which is coupled to the analyzer with only one end, whereas the other end is without electrical connection, is used for reflection measurement as described above.
  • a signal which is fed into the waveguide emerges from the waveguide at the open end. Through the medium to be examined, the signal is at least partially fed back into the waveguide. Based on this feedback, S parameters can also be determined.
  • the network analyzer can be designed as a one-port in this case.
  • the substrate comprises a dielectric material.
  • the substrate may be a printed circuit board, which consists of a ⁇ lectric material.
  • a protective layer is disposed over the upper surface of the substrate. Such a protective layer can serve to protect against contamination or even moisture through the medium.
  • Protective layer may be, for example, a film.
  • Parylene C or silicone can be used as Mate ⁇ rial for the protective layer. These materials can be used over a high temperature range. Other materials can also be used. Preferably, these should not affect the high frequency characteristics of the waveguide.
  • the protective layer can be very thin, beispielswei ⁇ se few micrometers thick, being, for example, in the loading range of 5 to 10 micrometers, which also contributes to not be influence the high-frequency characteristics of the waveguide ⁇ .
  • the substrate has a lower substrate layer and an upper substrate layer.
  • Both substrate layers can be made of the same material.
  • the analysis ⁇ device can be integrated.
  • a mass ⁇ layer is disposed between the upper substrate layer and the bottom substrate layer.
  • the mass layer separates the upper from the lower substrate ⁇ layer.
  • the ground layer may consist of a metal or have a metallization.
  • the waveguide is connected via a coaxial transition to a further waveguide on the lower substrate layer.
  • a coaxial transition refers to a broadband transition, that is, a connection between the waveguide and another waveguide or other conductor. This means that the waveguide can be connected to the analysis device via broadband transitions. Broadband transitions offer the transmission of a wide frequency range.
  • Coaxial transitions are used for this purpose. These junctions are provided by means of a coaxial conductor having an inner conductor and concentrically arranged around this another conductor. This additional conductor can consist of several individual conductors.
  • This arrangement provides a broadband (through the coaxial junction) and multilayer (through the plurality of waveguides) junctions.
  • a sensor arrangement for determining a dielectric property of a medium is proposed.
  • the sensor arrangement comprises the above-explained sensor and an analysis device which is connected to the sensor. In a development, the analysis device is integrated in the substrate of the sensor.
  • the analyzer may be integrated directly into the substrate.
  • the waveguide is in this case on one side of the sensor assembly and the analyzer on the opposite side of the sensor assembly. In this way, on the one hand, a compact sensor arrangement can be achieved. On the other hand, it is possible to bring only the side of the sensor arrangement which has the waveguide in contact with the medium, so that the analysis device is protected.
  • the analysis device is a network analyzer.
  • VNA network analyzer
  • the network analyzer may send a signal (traveling wave) into the waveguide that is in contact with the device under test, ie the medium.
  • the frequency, amplitude and phase of the signal are known.
  • the medium reflects a portion of that signal (step back ⁇ de shaft at the entrance), which part is the starting signal at the reflection measurement.
  • the remaining, that is not reflected, signal passes into the waveguide in the medium, where it is changed (for example attenuated, amplified or phase-shifted) and is received again at the output of the waveguide as a transmitted signal (return wave at the output) of the network analyzer.
  • the differences between the input signal and the output signal are used, as described above, to determine the dielectric properties of the medium.
  • a method for determining a property of a medium dielektri- will be seen by a sensor beat pre ⁇ .
  • the sensor includes a substrate which has at least one plated-through hole, and a waveguide, which is planar arranged with respect to an upper surface of the sub ⁇ strats, wherein the waveguide through which a via hole with an analysis device is at least connected.
  • the method includes, as a first step, receiving an input signal from the analysis device. In a further step an output signal is outputted to the analysis device, wherein characteristics of the input signal and the output signal upon contact of the waves are ⁇ conductor with a medium indicative of the dielectric egg ⁇ genschaft of the medium.
  • FIG. 1 shows a schematic view of an embodiment of a sensor for determining a dielectric property of a medium
  • FIG. 2 shows a schematic view of a first exemplary embodiment of a sensor arrangement for determining a dielectric property of a medium
  • Figure 3 is a schematic view of a second execution ⁇ example of a sensor arrangement for determining a dielectric property of a medium.
  • Figure 4 is a schematic view of a third execution ⁇ example of a sensor arrangement for determining a dielectric property of a medium.
  • Figure 5 is a schematic plan view of an exemplary embodiment of a Koaxialschreibgangs for a sensor of Figure 1 or for a sensor arrangement according to one of the figures 2 to 4..;
  • Fig. 6 is a schematic side view of an exemplary embodiment of a Koaxialschreibgangs for a sensor of Figure 1 or for a sensor arrangement according to one of the figures 2 to 4.
  • Fig. 7 is a schematic plan view of an exemplary embodiment of a Koaxialübergangs for a sensor according to Fig. 1 or for a sensor arrangement according to one of the figures 2 or 3;
  • FIG. 8 is a schematic flow diagram of an example of a method for determining a dielectric
  • FIG. 1 shows an exemplary embodiment of a sensor 10 for determining a dielectric property of a medium.
  • the sensor 10 has a substrate 11, wherein a waveguide 12 is arranged planar with respect to the substrate 11 on an upper surface of the substrate 11.
  • Planar with respect to the substrate 11 may be both planar on the upper surface of the substrate 11 and planar with the substrate 11. This will be explained in more detail in the following figures. Although protrudes in Fig. 1, the waveguide 12 by way of illustration on the substrate 11, the upper surface of the substrate 11 together with the Wellenlei ⁇ ter 12 is substantially planar.
  • the waveguide can be connected to an analysis device 20, for example a network analyzer.
  • the vectorial network analyzer (VNA) 20 sends a signal to the waveguide 12, couples a signal into the waveguide 12, and receives a signal from the waveguide 12. Based on these signals, the VNA 20 can determine a dielectric property of a medium. which is brought into contact with the sensor 10. With the sensor 10, a reflection measurement is feasible.
  • the sensor 10 in the sensor arrangement 200 has two substrate layers, an upper substrate ⁇ layer 201 and a lower substrate layer 202.
  • the wave ⁇ conductor 12 is in contact with a medium 205, beispielswei se se ⁇ a liquid in a container 206, brought.
  • the container 206 can be chosen so large that it has no influence on the measurement.
  • the waveguide 12 is connected via multi-layer broadband transitions 203, 204 with the VNA 20.
  • the sensor 10 can be inexpensively manufactured on commercially available substrates such as printed circuit boards.
  • the VNA 20 may be integrated in the lower substrate layer 202 as shown in FIG. Alternatively, the VNA 20 may be located externally. An integral structure, however, offers a particularly compact sensor arrangement.
  • the VNA 20 for the measurement of discrete frequencies may be a two-port network analyzer with two ports 305, 306.
  • a high measurement accuracy is desirable, which can be achieved by the embodiments of the sensor and the sensor arrangement described herein.
  • the gates 305, 306 are via connections 307, such as cables, through the
  • a protective layer 304 where ⁇ play, a film may be placed over the sensor 10 in order to increase the robustness of the sensor 10.
  • This protective layer ⁇ 304 protects the sensor 10 from contamination or liquid penetration. As a result, the penetration of the substrate 11 with liquid can be prevented.
  • a ground layer 303 is arranged in this embodiment. Through this, a connection from the upper substrate layer 301 to ground is possible without the Making connections through the lower substrate layer 302. This also leads to a simplified and compact sensor arrangement 300.
  • the waveguide 12 is arranged planar with the upper surface of the upper substrate layer 301. One end of the waveguide 12 thus terminates with the upper surface. Via a coaxial transition 401, the waveguide 12 is connected to a gate 402 of the VNA 20, which in this case is a one-port Net analyzer.
  • Another waveguide (not shown here), for example a microstrip line, may be located on the underside of the lower substrate layer 302. This is transferred through the coaxial transition 401 in an open conductor.
  • Fig. 5 shows such a coaxial junction 500. This can be used to connect two waveguides with each other or a waveguide 12 to the VNA 20.
  • a center conductor 501 provides a via from the upper substrate layer 301 to the lower substrate layer. Having a thickness r ⁇ (inside radius) of the central conductor of egg ⁇ ner insulating layer 502 is surrounded. A second insulation layer 503 ⁇ surrounds this. In turn, a third insulating layer 505 surrounds the second insulating layer 503.
  • the isolators ⁇ tion layers 502, 503, 505 are arranged concentrically around the central conductor five hundred and first In the third insulation layer 505, vias 504 are provided which provide connection to the ground layer.
  • the vias 504 extend only to the ground layer 303.
  • a first waveguide 500 is disposed on the upper substrate layer 301 and a second waveguide 500 is disposed on the lower substrate layer 302.
  • the two waveguides 500 are connected together via the conductor 501 of the centra ⁇ len Koaxialübergangs.
  • the central conductor 501 is penetrated by the ground layer 303 an insulation layer 601 or recess electrically ge ⁇ separates.
  • FIG. 7 shows a coaxial transition 700 for such a sensor.
  • the two coaxial transitions 500 shown are connected by the microstrip line 701, or other waveguide.
  • the coupling length l k of the coaxial ⁇ transitions, that is, the length of the microstrip line can, depending on the measurement frequencies and the medium to be examined 205 are selected in order to achieve an optimal waveguide.
  • the choice of radii r ⁇ and r a can influence the sensitivity of the measurements.
  • FIG. 8 shows a schematic flow chart of a method 800 for determining a dielectric property of a medium 205.
  • a waveguide 12 of a sensor 10 receives an input signal from an analysis
  • the waveguide 12 outputs an output signal to the analysis device 20. If the waveguide is in contact with a medium 205 12, characteristics of the input signal and the output ⁇ signal indicative of the dielectric property of the Medi ⁇ around 205. This can be further determined as described above and used.
  • the sensor described herein and the corresponding sensor arrangement are inexpensive to manufacture compared to known sensors. The sensors can be used in different measuring environments and easily integrated.
  • the sensitivity of the measurements can be adjusted by appropriate choice of the radii r ⁇ and r a of the coaxial ⁇ transitions. Furthermore, the planar construction makes it possible to realize a compact measuring device since the sensor and the analysis device can form a single unit. To- additionally larger measuring ranges and accuracies improved Messge ⁇ be made possible.

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Abstract

Es wird ein Sensor (300) zur Ermittlung einer dielektrischen Eigenschaft eines Mediums (205) vorgeschlagen. Der Sensor (300) weist ein Substrat (301, 302), welches zumindest eine Durchkontaktierung (203, 204) aufweist, und einen Wellenleiter (12) auf, welcher planar in Bezug auf eine obere Oberfläche des Substrats (301) angeordnet ist. Der Wellenleiter (12) ist über die zumindest eine Durchkontaktierung (203, 204) mit einer Analysevorrichtung (20) verbindbar. Des Weiteren ist der Wellenleiter (12) dazu eingerichtet, ein Eingangssignal von der Analysevorrichtung (20) zu empfangen und ein Ausgangssignal an die Analysevorrichtung (20) auszugeben, wobei Eigenschaften des Eingangssignals und des Ausgangssignals bei Kontakt des Wellenleiters (12) mit einem Medium (205) indikativ für die dielektrische Eigenschaft des Mediums (205) sind. Durch die Anordnung des Wellenleiters (12) planar in Bezug auf das Substrat (301) werden größere Messbereiche und verbesserte Messgenauigkeiten ermöglicht. Des Weiteren wird durch den planaren Aufbau eine kompakte Bauweise erreicht. Ferner werden eine Sensoranordnung sowie ein Verfahren zur Ermittlung einer dielektrischen Eigenschaft eines Mediums mittels eines Sensors vorgeschlagen.

Description

Beschreibung
Sensor und Verfahren zur Ermittlung einer dielektrischen Eigenschaft eines Mediums
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Sensor und ein Verfahren zur Ermittlung einer dielektrischen Eigenschaft eines Mediums. Ferner betrifft die Erfindung eine Sensoranordnung mit einem solchen Sensor sowie einer Analysevorrichtung.
Auf verschiedenen technischen Gebieten kann es erforderlich sein, eine oder mehrere dielektrische Eigenschaften eines Me¬ diums zu bestimmen. Eine solche Bestimmung kann beispielswei¬ se mit Hilfe von Mikrowellen erfolgen, wobei verschiedene Verfahren eingesetzt werden können, wie beispielsweise eine
Transmissionsmessung, Reflexionsmessung oder Resonanzmessung. Bei der Transmissionsmessung werden dielektrische Eigenschaften basierend auf dem Durchgang (Transmission) von Signalen durch ein Medium oder einen Leiter ermittelt. Bei der Refle- xionsmessung werden dielektrische Eigenschaften basierend auf der Reflexion von Signalen an beziehungsweise mittels des Me¬ diums ermittelt. Die Resonanzmessung basiert auf der Ermitt¬ lung der Resonanzeigenschaften, das heißt der Schwingungseigenschaften, des Mediums, welche wiederum zur Ermittlung der dielektrischen Eigenschaften verwendet werden können.
Die Ergebnisse dieser Messungen können zur Ermittlung von dielektrischen Eigenschaften des Mediums, insbesondere der komplexen Dielektrizitätskonstante, herangezogen werden. Die- se Eigenschaften können Aufschluss über diverse andere Eigenschaften des Mediums geben. Hierzu zählen beispielsweise die Konzentration von Glucose, Alkohol oder Salz in einem Medium.
Die Bestimmung der Dielektrizitätskonstante kann in verschie- denen Bereichen gewünscht sein, wie in der Medizin oder auch in industriellen Anlagen, beispielweise im Rahmen der Prozessinstrumentierung. Hierbei ist es wünschenswert, bereits kleine Konzentrationsänderungen feststellen zu können, wozu eine hohe Messgenauigkeit erforderlich ist.
Demnach ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, die Er- mittlung von dielektrischen Eigenschaften eines Mediums hinsichtlich der Messgenauigkeit zu verbessern.
Demgemäß wird ein Sensor zur Ermittlung einer dielektrischen Eigenschaft eines Mediums vorgeschlagen. Der Sensor weist ein Substrat, welches zumindest eine Durchkontaktierung aufweist, und einen Wellenleiter auf, welcher planar in Bezug auf eine obere Oberfläche des Substrats angeordnet ist. Der Wellenlei¬ ter ist über die zumindest eine Durchkontaktierung mit einer Analysevorrichtung verbindbar. Des Weiteren ist der Wellen- leiter dazu eingerichtet, ein Eingangssignal von der Analyse¬ vorrichtung zu empfangen und ein Ausgangssignal an die Analy¬ sevorrichtung auszugeben, wobei Eigenschaften des Eingangssignals und des Ausgangssignals bei Kontakt des Wellenleiters mit einem Medium indikativ für die dielektrische Eigenschaft des Mediums sind.
Mit dem vorgeschlagenen Sensor können Transmissions- und Reflexionsmessungen durchgeführt werden. Durch seine planare Struktur wird eine Verbesserung der Messgenauigkeit der die- lektrischen Eigenschaft des Mediums erreicht. Des Weiteren können kompakte Messeinheiten realisiert werden, wodurch der Sensor in einer Vielzahl von technischen Gebieten einsetzbar ist. Da der Sensor kleine Abmessungen aufweisen kann, kann er auch mobil eingesetzt werden. Der Sensor kann beispielsweise im medizinischen Bereich als mobiles Gerät eingesetzt werden, welches auch direkt an einer Person Messungen durchführen kann, wobei das Medium der Haut entsprechen könnte. Daher kann eine Probenentnahme entfallen. Des Weiteren kann der Sensor in verschiedenen industriellen Anlagen eingesetzt werden, entweder als fest installierte oder als mobile Vorrichtung. Hierbei kann der Sensor eben- falls direkt in Kontakt mit dem Medium gebracht werden, wo¬ durch eine Probenentnahme entfallen kann.
In dem beschriebenen Sensor ist ein Wellenleiter planar in Bezug auf ein Substrat angeordnet. Als Substrat kann bei¬ spielsweise eine Leiterplatte verwendet werden. Das Substrat kann aus einem dielektrischen Material bestehen oder dieses aufweisen . Der Wellenleiter kann irgendeine Art von Wellenleiter sein, der planar in Bezug auf die obere Oberfläche des Substrats angeordnet werden kann. „Planar in Bezug auf die obere Ober¬ fläche des Substrats" kann in diesem Zusammenhang planar auf oder planar mit der oberen Oberfläche des Substrats bedeuten. Bevorzugt handelt es sich um einen planaren Wellenleiter.
Durch die planare Anordnung kann eine kompakte Sensoreinheit erreicht werden. Unter „planar" ist eine Anordnung des Wellenleiters zu verstehen, bei der die obere Oberfläche der Sensoranordnung eben oder flach ist.
Der Wellenleiter ist über Durchkontaktierungen mit einer Analysevorrichtung verbindbar. Durchkontaktierungen in diesem Zusammenhang bezeichnen Öffnungen, die sich von der oberen Oberfläche des Substrats zu der entgegengesetzten Seite des Substrats durch das Substrat hindurch erstrecken.
Die Analysevorrichtung kann eine beliebige Vorrichtung sein, die geeignet ist, ein Eingangssignal an den Wellenleiter zu senden, ein Ausgangssignal von diesem zu empfangen und basie- rend auf Eigenschaften dieser beiden Signale eine dielektrische Eigenschaft des Mediums zu ermitteln. Die Ermittlung kann beispielsweise basierend auf einem Vergleich der Phase und/oder Amplitude des Eingangssignals und des Ausgangssig¬ nals erfolgen, da sich diese materialabhängig, das heißt in Abhängigkeit von dem Medium, verändern.
Ein Signal, welches durch den Wellenleiter gesendet wird, er¬ zeugt um den Wellenleiter ein Streufeld. Dieses (elektromag- netische) Streufeld durchdringt das Medium. Dabei ändern sich beispielsweise die Phase und/oder Amplitude des Eingangs- und Ausgangssignals. Diese Änderungen können zur Ermittlung der dielektrischen Eigenschaft (en) des Mediums verwendet werden.
Das Eingangssignal wird von der Analysevorrichtung erzeugt. Sofern es sich bei der durchzuführenden Messung um eine
Transmissionsmessung handelt, wird das Eingangssignal an ei¬ nem Ende des Wellenleiters in den Wellenleiter eingespeist und am anderen Ende des Wellenleiters als Ausgangssignal wie¬ der von der Analysevorrichtung empfangen. Im Falle einer Reflexionsmessung wird das Eingangssignal in den Wellenleiter an einem Ende eingespeist. An dem anderen Ende, welches in die¬ sem Fall offen, also nicht elektrisch verbunden ist, tritt das Signal aus dem Wellenleiter in das Medium ein und wird von diesem zumindest teilweise reflektiert und in den Wellen¬ leiter zurückgekoppelt. Dieses zurückgekoppelte Signal wird wiederum von der Analysevorrichtung als Ausgangssignal empfangen .
Die Analysevorrichtung kann beispielsweise ein Netzwerkanaly- sator sein. Ein solcher Netzwerkanalysator kann ein vekto- rieller Netzwerkanalysator (VNA) sein. Dieser kann eingesetzt werden, um Streuparameter von elektrischen Messobjekten zu messen. Streuparameter bezeichnen die Reflexions- und Transmissionseigenschaften der Messobjekte. In Zusammenhang mit dem hierin beschriebenen Sensor bezieht sich der Begriff „Messobjekt" auf ein Medium. Das Medium kann einen festen, flüssigen oder gasförmigen Zustand annehmen. Es kann sich da- bei unter anderem um eine Flüssigkeit oder ein Gas handeln.
Durch den hierin beschriebenen Sensor wird daher eine kostengünstige Vorrichtung zur Ermittlung von dielektrischen Eigenschaften eines Mediums bereitgestellt. Diese Vorrichtung bie- tet eine Ermittlung der dielektrischen Eigenschaften über einen großen Messbereich. Der Sensor kann ohne Probenentnahme eingesetzt werden und ist daher einfacher in der Handhabung als herkömmliche Sensoren. Bei einer Ausführungsform ist der Wellenleiter planar auf der oberen Oberfläche des Substrats angeordnet. Gemäß dieser Ausführungsform ist der Wellenleiter ein
planarer Wellenleiter, der auf der oberen Oberfläche des Substrats angeordnet ist. In diesem Zusammenhang bedeutet planar, dass der Wellenleiter flach ist und mit dem Substrat zusammen eine ebene Fläche ausbildet.
Bei einer weiteren Ausführungsform ist der Wellenleiter eine Streifenleitung .
Eine Streifenleitung kann eine Mikrostreifenleitung, eine Koplanarleitung oder eine Schlitzleitung sein. Auch andere
Arten von Streifenleitungen oder anderen planaren Wellenleitern sind möglich. Diese Arten von Wellenleitern bieten den Vorteil, dass sie auf einem Substrat wie beispielsweise einer herkömmlichen Leiterplatte planar angeordnet sein können. Streifenleitungen bestehen üblicherweise aus einem oder mehreren dünnen, leitfähigen Streifen, die auf einem Dielektrikum (beispielsweise einem Substrat) aufgebracht sind.
Bei einer weiteren Ausführungsform weist das Substrat zumin- dest zwei Durchkontaktierungen auf, und der Wellenleiter ist über die zumindest zwei Durchkontaktierungen mit einem Ein- gangsanschluss und einem Ausgangsanschluss der Analysevor¬ richtung verbindbar. Auf diese Weise kann der Wellenleiter mit der Analysevorrichtung mit seinen beiden Enden verbunden werden. In diesem Fall kann die Analysevorrichtung eine 2-Tor-Analysevorrichtung sein. Diese Anordnung wird zur Transmissionsmessung verwendet, bei der ein Eingangssignal durch die Analysevorrichtung in ein Ende des Wellenleiters eingespeist und ein Ausgangs¬ signal an dem anderen Ende des Wellenleiters empfangen wird. Sobald der Wellenleiter in Kontakt mit dem zu untersuchenden Medium ist, das heißt „belastet" ist, verändern sich die Ei- genschaften des Ausgangssignals im Vergleich zum Eingangssig¬ nal. Beispielsweise können die sogenannten Streuparameter (S- Parameter) ermittelt werden. Diese S-Parameter werden als Funktion der Frequenz gemessen und geben Werte der Reflexion und Transmission an. Aus diesen können mittels geeigneter Verfahren die dielektrischen Eigenschaften des Mediums, wie beispielsweise die Dielektrizitätskonstante, ermittelt wer¬ den . Bei einer weiteren Ausführungsform ist ein Ende des Wellenleiters planar mit dem Substrat angeordnet.
In dieser Ausführungsform ist der Wellenleiter so angeordnet, dass nur ein Ende des Wellenleiters an der oberen Oberfläche des Substrats angeordnet ist, und der Wellenleiter durch die Durchkontaktierung hindurch reicht. Das Ende des Wellenlei¬ ters an der oberen Oberfläche des Substrats ist planar mit dem Substrat angeordnet. Bei einer weiteren Ausführungsform ist der Wellenleiter als ein offener Leiter ausgebildet.
Ein offener Leiter, das heißt ein Leiter, der nur mit einem Ende an die Analysevorrichtung gekoppelt ist, wohingegen das andere Ende ohne elektrische Verbindung ist, wird, wie oben beschrieben, zur Reflexionsmessung verwendet. Ein Signal, welches in den Wellenleiter eingespeist wird, tritt an dem offenen Ende aus dem Wellenleiter aus. Durch das zu untersuchende Medium wird das Signal zumindest teilweise wieder in den Wellenleiter zurückgekoppelt. Anhand dieser Rückkopplung können ebenfalls S-Parameter ermittelt werden. Der Netzwerk- analysator kann in diesem Fall als Ein-Tor ausgebildet sein.
Bei einer weiteren Ausführungsform weist das Substrat ein dielektrisches Material auf.
Das Substrat kann eine Leiterplatte sein, die aus einem die¬ lektrischen Material besteht. Bei einer weiteren Ausführungsform ist eine Schutzschicht über der oberen Oberfläche des Substrats angeordnet. Eine solche Schutzschicht kann zum Schutz vor Verschmutzung oder auch vor Feuchtigkeit durch das Medium dienen. Die
Schutzschicht kann beispielsweise eine Folie sein. Als Mate¬ rial für die Schutzschicht kann beispielsweise Parylene C oder Silikon eingesetzt werden. Diese Materialen können über einen hohen Temperaturbereich eingesetzt werden. Andere Materialen können ebenfalls verwendet werden. Bevorzugt sollten diese die Hochfrequenzeigenschaften des Wellenleiters nicht beeinflussen. Die Schutzschicht kann sehr dünn, beispielswei¬ se einige Mikrometer dick, sein, beispielsweise in dem Be- reich von 5 bis 10 Mikrometern, was ebenfalls dazu beiträgt, die Hochfrequenzeigenschaften des Wellenleiters nicht zu be¬ einflussen .
Bei einer weiteren Ausführungsform weist das Substrat eine untere Substratschicht und eine obere Substratschicht auf.
Beide Substratschichten können aus demselben Material gefertigt sein. In der unteren Substratschicht kann die Analyse¬ vorrichtung integriert werden.
Bei einer weiteren Ausführungsform ist zwischen der oberen Substratschicht und der unteren Substratschicht eine Masse¬ schicht angeordnet. Die Masseschicht trennt die obere von der unteren Substrat¬ schicht. Durch die Masseschicht wird eine Verbindung mit Mas¬ se ermöglicht, wenn Durchkontaktierungen nicht durch das gesamte Substrat, sondern nur durch eine Substratschicht bis zur Masseschicht reichen. Die Masseschicht kann aus einem Me- tall bestehen oder eine Metallisierung aufweisen. Bei einer weiteren Ausführungsform ist der Wellenleiter über einen Koaxialübergang mit einem weiteren Wellenleiter auf der unteren Substratschicht verbunden. Ein Koaxialübergang bezeichnet einen breitbandigen Übergang, das heißt eine Verbindung, zwischen dem Wellenleiter und einem weiteren Wellenleiter oder einem anderen Leiter. Das bedeutet, dass der Wellenleiter über breitbandige Übergänge mit der Analysevorrichtung verbindbar ist. Breitbandige Übergänge bieten die Übertragung eines breiten Frequenzbereichs an. Hierzu werden Koaxialübergänge verwendet. Diese Übergänge werden mittels eines koaxialen Leiters bereitgestellt, die einen inneren Leiter aufweisen, und um diesen konzentrisch angeordnet einen weiteren Leiter. Dieser weitere Leiter kann aus mehreren einzelnen Leitern bestehen. Durch diese Anordnung wird ein breitbandiger (durch den koaxialen Übergang) sowie mehrlagiger (durch die Mehrzahl von Wellenleitern) Übergang bereitgestellt. Weiterhin wird eine Sensoranordnung zur Ermittlung einer dielektrischen Eigenschaft eines Mediums vorgeschlagen. Die Sensoranordnung weist den oben erläuterten Sensor und eine Analysevorrichtung auf, die mit dem Sensor verbunden ist. Bei einer Weiterbildung ist die Analysevorrichtung in dem Substrat des Sensors integriert.
Die Analysevorrichtung kann direkt in das Substrat integriert sein. Der Wellenleiter befindet sich in diesem Fall auf der einen Seite der Sensoranordnung und die Analysevorrichtung auf der entgegengesetzten Seite der Sensoranordnung. Auf diese Weise kann zum einen eine kompakte Sensoranordnung erreicht werden. Zum anderen ist es möglich nur die Seite der Sensoranordnung, die den Wellenleiter aufweist, in Kontakt mit dem Medium zu bringen, so dass die Analysevorrichtung geschützt ist. Bei einer weiteren Weiterbildung ist die Analysevorrichtung ein Netzwerkanalysator .
Ein Netzwerkanalysator (VNA) wird in der Hochfrequenztechnik eingesetzt, um die Streuparameter ( S-Parameter) , also Reflexion und Transmission, von elektrischen Messobjekten (hier das Medium) als Funktion der Frequenz zu messen.
Der Netzwerkanalysator kann ein Signal (hinlaufende Welle) in den Wellenleiter senden, der mit dem zu untersuchenden Objekt (device under test) , das heißt dem Medium, in Kontakt ist. Die Frequenz, Amplitude und Phase des Signals sind bekannt. Das Medium reflektiert einen Teil dieses Signals (rücklaufen¬ de Welle am Eingang) , welcher Teil bei der Reflexionsmessung das Ausgangssignal darstellt. Das restliche, das heißt nicht reflektierte, Signal läuft in den Wellenleiter im Medium, wird dort verändert (beispielsweise gedämpft, verstärkt oder phasenverschoben) und wird am Ausgang des Wellenleiters als übertragenes Signal (rücklaufende Welle am Ausgang) von dem Netzwerkanalysator wieder empfangen. Die Unterschiede zwi- sehen dem Eingangssignal und dem Ausgangssignal werden, wie oben beschrieben, zur Ermittlung der dielektrischen Eigenschaften des Mediums verwendet.
Außerdem wird ein Verfahren zur Ermittlung einer dielektri- sehen Eigenschaft eines Mediums mittels eines Sensors vorge¬ schlagen. Der Sensor weist ein Substrat, welches zumindest eine Durchkontaktierung aufweist, und einen Wellenleiter auf, welcher planar in Bezug auf eine obere Oberfläche des Sub¬ strats angeordnet ist, wobei der Wellenleiter über die zumin- dest eine Durchkontaktierung mit einer Analysevorrichtung verbindbar ist. Das Verfahren weist als ersten Schritt das Empfangen eines Eingangssignals von der Analysevorrichtung auf. In einem weiteren Schritt wird ein Ausgangssignal an die Analysevorrichtung ausgegeben, wobei Eigenschaften des Ein- gangssignals und des Ausgangssignals bei Kontakt des Wellen¬ leiters mit einem Medium indikativ für die dielektrische Ei¬ genschaft des Mediums sind. Die oben beschriebenen Eigenschaften, Merkmale und Vorteile dieser Erfindung sowie die Art und Weise, wie diese erreicht werden, werden klarer und deutlicher verständlich im Zusammenhang mit der folgenden Beschreibung der Ausführungsbei- spiele, die im Zusammenhang mit den Zeichnungen näher erläutert werden.
Dabei zeigen: Fig. 1 eine schematische Ansicht eines Ausführungsbeispiels eines Sensors zur Ermittlung einer dielektrischen Eigenschaft eines Mediums;
Fig. 2 eine schematische Ansicht eines ersten Ausführungs- beispiels einer Sensoranordnung zur Ermittlung einer dielektrischen Eigenschaft eines Mediums;
Fig. 3 eine schematische Ansicht eines zweiten Ausführungs¬ beispiels einer Sensoranordnung zur Ermittlung einer dielektrischen Eigenschaft eines Mediums;
Fig. 4 eine schematische Ansicht eines dritten Ausführungs¬ beispiels einer Sensoranordnung zur Ermittlung einer dielektrischen Eigenschaft eines Mediums;
Fig. 5 eine schematische Draufsicht eines Ausführungsbei¬ spiels eines Koaxialübergangs für einen Sensor nach Fig. 1 oder für eine Sensoranordnung nach einer der Figuren 2 bis 4;
Fig. 6 eine schematische Seitenansicht eines Ausführungsbei¬ spiels eines Koaxialübergangs für einen Sensor nach Fig. 1 oder für eine Sensoranordnung nach einer der Figuren 2 bis 4;
Fig. 7 eine schematische Draufsicht eines Ausführungsbei¬ spiels eines Koaxialübergangs für einen Sensor nach Fig. 1 oder für eine Sensoranordnung nach einer der Figuren 2 oder 3; und
Fig. 8 ein schematisches Ablaufdiagramm eines Beispiels ei- nes Verfahrens zur Ermittlung einer dielektrischen
Eigenschaft eines Mediums.
In den Figuren sind gleiche oder funktionsgleiche Elemente mit denselben Bezugszeichen versehen worden, sofern nichts anderes angegeben ist.
In Fig. 1 ist ein Ausführungsbeispiel eines Sensors 10 zur Ermittlung einer dielektrischen Eigenschaft eines Mediums gezeigt. Der Sensor 10 weist ein Substrat 11 auf, wobei ein Wellenleiter 12 planar in Bezug auf das Substrat 11 auf einer oberen Oberfläche des Substrats 11 angeordnet ist.
Planar in Bezug auf das Substrat 11 kann sowohl planar auf der oberen Oberfläche des Substrats 11 sowie planar mit dem Substrat 11 bedeuten. Dies wird in den folgenden Figuren noch näher erläutert. Obwohl in Fig. 1 der Wellenleiter 12 zur Veranschaulichung über das Substrat 11 hinausragt, ist die obere Oberfläche des Substrats 11 zusammen mit dem Wellenlei¬ ter 12 im Wesentlichen eben.
Über eine Durchkontaktierung 13 kann der Wellenleiter mit einer Analysevorrichtung 20, beispielsweise einem Netzwerkana- lysator, verbunden werden. Der vektorielle Netzwerkanalysator (VNA) 20 sendet ein Signal an den Wellenleiter 12, bezie- hungsweise koppelt ein Signal in den Wellenleiter 12, und empfängt ein Signal von dem Wellenleiter 12. Basierend auf diesen Signalen kann der VNA 20 eine dielektrische Eigenschaft eines Mediums ermitteln, das in Kontakt mit dem Sensor 10 gebracht wird. Mit dem Sensor 10 ist eine Reflexionsmes- sung durchführbar.
Ein Beispiel einer Anordnung für eine Transmissionsmessung ist in Fig. 2 gezeigt. Der Sensor 10 in der Sensoranordnung 200 weist zwei Substratschichten auf, eine obere Substrat¬ schicht 201 und eine untere Substratschicht 202. Der Wellen¬ leiter 12 wird in Kontakt mit einem Medium 205, beispielswei¬ se einer Flüssigkeit in einem Behälter 206, gebracht. Der Be- hälter 206 kann so groß gewählt werden, dass er keinen Ein- fluss auf die Messung hat.
Der Wellenleiter 12 ist über mehrlagige breitbandige Übergänge 203, 204 mit dem VNA 20 verbunden. Der Sensor 10 kann kostengünstig auf handelsüblichen Substraten, wie Leiterplatten, gefertigt werden. Der VNA 20 kann, wie in Fig. 2 gezeigt, in der unteren Substratschicht 202 integriert sein. Alternativ kann der VNA 20 auch extern angeordnet sein. Ein integraler Aufbau bietet jedoch eine besonders kompakte Sensoranordnung.
Wie in der Sensoranordnung 300 von Fig. 3 ersichtlich, kann der VNA 20 für die Messung von diskreten Frequenzen ein Zwei- Tor-Netzwerkanalysator mit zwei Toren 305, 306 sein. Um auch geringe Konzentrationsänderungen von zum Beispiel Alkohol-, Salz oder Zuckergehalt in dem Medium 205 bestimmen zu können, ist eine hohe Messgenauigkeit wünschenswert, die durch die hierin beschriebenen Ausführungsformen des Sensors und der Sensoranordnung erreicht werden kann. Die Tore 305, 306 sind über Verbindungen 307, beispielsweise Kabel, durch die
Durchkontaktierungen hindurch mit dem Wellenleiter 12 verbunden .
Wie in Fig. 3 gezeigt, kann eine Schutzschicht 304, bei¬ spielsweise eine Folie, über dem Sensor 10 angebracht werden, um die Robustheit des Sensors 10 zu erhöhen. Diese Schutz¬ schicht 304 schützt den Sensor 10 vor Verschmutzung oder Eindringen von Flüssigkeit. Hierdurch kann auch das Durchdringen des Substrats 11 mit Flüssigkeit verhindert werden. Zwischen der oberen Substratschicht 301 und der unteren Sub¬ stratschicht 302 ist in dieser Ausführungsform eine Masseschicht 303 angeordnet. Durch diese wird eine Verbindung von der oberen Substratschicht 301 auf Masse möglich, ohne die Verbindungen durch die untere Substratschicht 302 hindurchführen zu müssen. Dies führt ebenfalls zu einer vereinfachten und kompakten Sensoranordnung 300. Bei der Sensoranordnung 400 in Fig. 4 ist der Wellenleiter 12 planar mit der oberen Oberfläche der oberen Substratschicht 301 angeordnet. Ein Ende des Wellenleiters 12 schließt also mit der oberen Oberfläche ab. Über einen Koaxialübergang 401 wird der Wellenleiter 12 mit einem Tor 402 des VNA 20 verbun- den, der in diesem Fall ein Ein-Tor-Net zwerkanalysator ist.
Ein weiterer Wellenleiter (hier nicht gezeigt) , beispielsweise eine Mikrostreifenleitung, kann sich auf der Unterseite der unteren Substratschicht 302 befinden. Diese wird durch den Koaxialübergang 401 in einen offenen Leiter übergeführt.
Fig. 5 zeigt einen solchen Koaxialübergang 500. Dieser kann verwendet werden, um zwei Wellenleiter miteinander oder einen Wellenleiter 12 mit dem VNA 20 zu verbinden. Ein zentraler Leiter 501 stellt eine Durchkontaktierung von der oberen Substratschicht 301 zu der unteren Substratschicht bereit. Mit einer Dicke r± (Innenradius) wird der zentrale Leiter von ei¬ ner Isolationsschicht 502 umgeben. Eine zweite Isolations¬ schicht 503 umgibt diese. Eine dritte Isolationsschicht 505 umgibt wiederum die zweite Isolationsschicht 503. Die Isola¬ tionsschichten 502, 503, 505 sind konzentrisch um den zentralen Leiter 501 angeordnet. In der dritten Isolationsschicht 505 sind Durchkontaktierungen 504 angeordnet, die eine Verbindung mit der Masseschicht bereitstellen.
Wie in Fig. 6 gezeigt, reichen die Durchkontaktierungen 504 lediglich bis zur Masseschicht 303. In Fig. 6 ist ein erster Wellenleiter 500 auf der oberen Substratschicht 301 und ein zweiter Wellenleiter 500 auf der unteren Substratschicht 302 angeordnet. Die beiden Wellenleiter 500 sind über den zentra¬ len Leiter 501 des Koaxialübergangs miteinander verbunden. Der zentrale Leiter 501 wird von der Masseschicht 303 durch eine Isolationsschicht 601 oder Aussparung elektrisch ge¬ trennt .
Bei einer Sensoranordnung 300 für eine Transmissionsmessung, wie beispielsweise in Fig. 3 gezeigt, wird der Wellenleiter 12 über Durchkontaktierungen mit dem VNA 20 verbunden. In Fig. 7 ist ein Koaxialübergang 700 für einen solchen Sensor gezeigt. Die beiden gezeigten Koaxialübergänge 500 werden durch den die Mikrostreifenleitung 701, oder einen anderen Wellenleiter, verbunden. Die Kopplungslänge lk der Koaxial¬ übergänge, das heißt die Länge der Mikrostreifenleitung, kann, in Abhängigkeit von den Messfrequenzen und dem zu untersuchenden Medium 205 ausgewählt werden, um eine optimale Wellenführung zu erreichen. Die Wahl der Radien r± und ra kann die Empfindlichkeit der Messungen beeinflussen.
Fig. 8 zeigt einen schematischen Ablaufplan eines Verfahrens 800 zur Ermittlung einer dielektrischen Eigenschaft eines Mediums 205. Hierbei empfängt in einem ersten Schritt 801 ein Wellenleiter 12 eines Sensors 10, wie er in den Figuren 1 bis 7 beschrieben wurde, ein Eingangssignals von einer Analyse¬ vorrichtung 20. In einem zweiten Schritt 802 gibt der Wellenleiter 12 ein Ausgangssignal an die Analysevorrichtung 20 aus. Wenn der Wellenleiter 12 in Kontakt mit einem Medium 205 ist, sind Eigenschaften des Eingangssignals und des Ausgangs¬ signals indikativ für die dielektrische Eigenschaft des Medi¬ ums 205. Diese kann wie oben beschrieben weiter bestimmt und verwendet werden. Wie bereits beschrieben, ist der hierin beschriebene Sensor und die entsprechende Sensoranordnung kostengünstig in der Herstellung im Vergleich zu bekannten Sensoren. Die Sensoren können in verschiedenen Messumgebungen eingesetzt und einfach integriert werden. Die Empfindlichkeit der Messungen kann durch entsprechende Wahl der Radien r± und ra der Koaxial¬ übergänge eingestellt werden. Des Weiteren ist durch den planaren Aufbau ein kompaktes Messgerät realisierbar, da Sensor und Analysevorrichtung eine Einheit bilden können. Zu- sätzlich werden größere Messbereiche und verbesserte Messge¬ nauigkeiten ermöglicht.
Obwohl die Erfindung im Detail durch die bevorzugten Ausfüh- rungsbeispiele näher illustriert und beschrieben wurde, so ist die Erfindung nicht durch die offenbarten Beispiele eingeschränkt und andere Variationen können vom Fachmann hieraus abgeleitet werden, ohne den Schutzumfang der Erfindung zu verlassen .

Claims

Patentansprüche
1. Sensor (10) zur Ermittlung einer dielektrischen Eigenschaft eines Mediums (205), mit:
einem Substrat (11), welches zumindest eine
Durchkontaktierung (13) aufweist, und
einem Wellenleiter (12), welcher planar in Bezug auf eine obere Oberfläche des Substrats (11) angeordnet ist,
wobei der Wellenleiter (12) über die zumindest eine Durchkontaktierung (13) mit einer Analysevorrichtung (20) verbindbar ist,
wobei der Wellenleiter (12) dazu eingerichtet ist, ein Eingangssignal von der Analysevorrichtung (20) zu empfangen und ein Ausgangssignal an die Analysevorrichtung (20) auszu- geben, wobei Eigenschaften des Eingangssignals und des Aus¬ gangssignals bei Kontakt des Wellenleiters (12) mit einem Me¬ dium (205) indikativ für die dielektrische Eigenschaft des Mediums (205) sind.
2. Sensor (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Wellenleiter (12) planar auf der oberen Oberfläche des Substrats (11) angeordnet ist.
3. Sensor (10) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich- net, dass der Wellenleiter (12) eine Streifenleitung ist.
4. Sensor (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (11) zumindest zwei
Durchkontaktierungen (307) aufweist, und dass der Wellenlei- ter (12) über die zumindest zwei Durchkontaktierungen (307) mit einem Eingangsanschluss und einem Ausgangsanschluss der Analysevorrichtung verbindbar ist.
5. Sensor (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein Ende des Wellenleiters (12) planar mit dem Substrat (11) angeordnet ist.
6. Sensor (10) nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Wellenleiter (12) als ein offener Leiter ausgebildet ist.
7. Sensor (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da- durch gekennzeichnet, dass das Substrat (11) ein dielektri¬ sches Material aufweist.
8. Sensor (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Schutzschicht (304) über der oberen Oberfläche des Substrats (11) angeordnet ist.
9. Sensor (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (11) eine obere Sub¬ stratschicht (201, 301) und eine untere Substratschicht (202, 302) aufweist.
10. Sensor (10) nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der oberen Substratschicht (301) und der unteren Substratschicht (302) eine Masseschicht (303) angeordnet ist.
11. Sensor (10) nach einem der Ansprüche 9 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Wellenleiter (12) über einen Koaxialübergang (203, 204) mit einem weiteren Wellenleiter auf der unteren Substratschicht (202, 302) verbunden ist.
12. Sensoranordnung (100) zur Ermittlung einer dielektrischen Eigenschaft eines Mediums (205), mit:
einem Sensor (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 11, und einer Analysevorrichtung (20), die mit dem Sensor (10) verbunden ist.
13. Sensoranordnung (100) nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Analysevorrichtung (20) in dem Substrat (202) des Sensors (10) integriert ist.
14. Sensoranordnung (100) nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Analysevorrichtung (20) ein Netz- werkanalysator ist.
15. Verfahren zur Ermittlung einer dielektrischen Eigenschaft eines Mediums (205) mittels eines Sensors (10), wobei der Sensor (10) ein Substrat (11), welches zumindest eine
Durchkontaktierung (13) aufweist, und einen Wellenleiter (12) aufweist, welcher planar in Bezug auf eine obere Oberfläche des Substrats (11) angeordnet ist, wobei der Wellenleiter (12) über die zumindest eine Durchkontaktierung (13) mit ei¬ ner Analysevorrichtung (20) verbindbar ist, mit den Schrit- ten:
Empfangen eines Eingangssignals von der Analysevorrichtung (20) , und
Ausgeben eines Ausgangssignals an die Analysevorrichtung (20), wobei Eigenschaften des Eingangssignals und des Aus- gangssignals bei Kontakt des Wellenleiters (12) mit einem Me¬ dium (205) indikativ für die dielektrische Eigenschaft des Mediums (205) sind.
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