EP2584350B1 - Verfahren und Vorrichtung zur Ionisierung sowie damit versehene Gasdetektionsvorrichtung - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Ionisierung sowie damit versehene Gasdetektionsvorrichtung Download PDF

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EP2584350B1
EP2584350B1 EP13151588.4A EP13151588A EP2584350B1 EP 2584350 B1 EP2584350 B1 EP 2584350B1 EP 13151588 A EP13151588 A EP 13151588A EP 2584350 B1 EP2584350 B1 EP 2584350B1
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EP
European Patent Office
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solid body
body surface
ionisation
electrode
ions
Prior art date
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EP13151588.4A
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French (fr)
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EP2584350A1 (de
Inventor
Gerhard Müller
Carola OBERHÜTTINGER
Angelika Krenkow
Jan Spannhake
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Airbus Defence and Space GmbH
Original Assignee
EADS Deutschland GmbH
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/62Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating the ionisation of gases, e.g. aerosols; by investigating electric discharges, e.g. emission of cathode
    • G01N27/64Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating the ionisation of gases, e.g. aerosols; by investigating electric discharges, e.g. emission of cathode using wave or particle radiation to ionise a gas, e.g. in an ionisation chamber

Definitions

  • the invention relates to an ionization process for the ionization of gaseous or vaporous substances to be investigated and to an ionization apparatus for carrying out such a process. Furthermore, the invention relates to a detection device for the detection and / or identification of gaseous or vaporous substances by means of ion mobility spectrometry as well as a detection device for carrying out such a detection method.
  • Ion mobility spectrometry is the currently established reference technology for the detection of explosives, chemical warfare agents and illicit drugs.
  • analyte gas molecules are transformed by an ion source into analyte gas ions.
  • the generated ions then drift against a stream of neutral gas (usually nitrogen N 2 or dehumidified air) due to a homogeneous electric field towards a collecting electrode.
  • neutral gas usually nitrogen N 2 or dehumidified air
  • ion packets are periodically admitted into the drift cell. After hitting the collecting electrode, the arrival time of the ion packet is detected and the drift time is determined.
  • Different analyte gas ions are distinguished by their characteristic drift time spectrum, similar to that in the ion mobility spectrum 10 in Fig. 1 is shown.
  • radioactive ionization sources are corona discharge sources.
  • An air stream containing the analyte gases of interest is passed directly through a plasma discharge where the analytes can interact with the charged components of the plasma to form analyte gas ions.
  • the formation of reactant ions and analyte ions follows roughly the same routes as given in Table 1.
  • Corona discharge sources avoid the use of radioactivity, but consume considerable electrical energy to maintain the plasma.
  • corona sources can be made small, robust and manufactured at a low cost.
  • Both 63 Ni sources and corona sources share the common problem that they potentially ionize all components of the sample air stream, including all air constituents, of little or no analytical interest. Weak analyte ion peaks can therefore sink under much larger reactant ion peaks. This problem is aggravated by the fact that the shape of the reactant ion peaks can change, when there are changes in the humidity of the sample gas and when the contaminant trace gases themselves contribute to the formation of reactant ions.
  • the US 2007/0114395 A1 describes an ion mobility spectrometer in which the rear wall is formed by a thin metal layer, near which a sample gas to be investigated is introduced.
  • the thin metal layer is irradiated from the back in such a way that it leads to a total internal reflection and thus to the emission of electrons.
  • An ion mobility spectrometer in which an illumination source is arranged such that it can ionize gaseous molecules in an ionization space.
  • US 5,184,015 A discloses an ionization apparatus in which a metal surface is irradiated such that electrons are emitted and recombined into ions by a certain drift path with molecules directed toward the electrode.
  • the object of the invention is to provide a particularly cost-effective radioactive ionization process and a particularly cost-effective ionization for performing such an ionization.
  • the most cost-effective detection and identification of gases and vapors is to be created by means of ion mobility spectrometry, in which radioactive ionization sources are avoided.
  • the ionization of the substances takes place via photo-induced electron transfer on solid surfaces.
  • the ionization method and the ionization device are preferably MEMS-suitable.
  • the ionization device can be manufactured using microsystem technology. This allows handsets and small mobile units to be achieved.
  • identifications of the substances to be investigated are possible either selectively or in combination via the photon energy and the drift time.
  • the present invention describes a cost-effective ionization technique based on a photo-ionization process that occurs on solid surfaces.
  • the ionization sources based on this detection principle can generate both positive and negative ions and can be implemented in the form of miniaturized low-cost MEMS devices.
  • the generation of positive or negative ions may be controlled by the use of the solid state material on which the photoionization process takes place and / or by the application of corresponding positive or negative voltages between the solid surface used as an electrode and a counter electrode.
  • the energy of the generated photons is selectively adjusted to the particular solid materials used and / or to the gases to be examined.
  • the solid-state ionization source consists of a metal.
  • adsorbed molecules are either positively or negatively charged by photon-induced electron transfer processes.
  • Ionization source materials of particular interest for the emission of both positive and negative ions are noble metals. Particularly suitable Platinum, but also palladium, iridium, gold or other precious metals are conceivable and possible.
  • the ionization source ie the illuminable solid surface - for example by means of a heater - can be heated. This can break up the electrostatic bonds between the adsorbed species and the compensating electron charge distribution in the source material. This can be realized in a particularly simple and cost-effective manner using MEMS micro heaters.
  • the solid-state surface is covered with nano-wires, nano-tips or other nano-structures.
  • the nano-morphology and nano-structures have the effect that when a voltage is applied to the surface, a strong electric field is formed on them.
  • the enhanced local electric fields at the emitter surface can disrupt the electrostatic bonds between the charged adsorbed species and the compensating electron charge distribution in the source material.
  • the ionization device is used in conjunction with an ion mobility spectrometer drift tube. This results in a particularly cost-effective, compact and robust gas detection device based on ion mobility spectrometry.
  • Fig. 1 is a total of 12 designated detection device for the detection of gases or vapors shown.
  • the detection device 12 has as main component an ion mobility spectrometer 14 with an ionization device 16 and an IMS drift tube 18.
  • the ionization device 16 serves to ionize molecules 20 of a sample gas 22. It has an ionization chamber as the reaction space 24 with an inlet 26 for the sample gas 22 and an ionization source 28, and a lighting device 30 for illuminating the ionization source 28.
  • the ionization source 28 is mainly formed by a first electrode 31, 32 of one certain solid state material.
  • the first electrodes 31, 32 are manufactured using MEMS technology and have a solid surface 34 that can be illuminated by the illumination device 30.
  • the illumination device 30 may comprise a white light source or an LED 36 and / or a laser 38.
  • the laser 38 may be a single-frequency laser or a tunable laser.
  • a control grid 42 is provided as the counter electrode 68 or second electrode 40, which is provided with openings 44 for the passage of the ion generated in the lonsationsvoriques 16 ions 45, 46, 47.
  • the IMS drift tube 18 is provided with a passage grating 48 at its end opposite the control grid 42. By applying a voltage between the control grid 42 and the transmission grating 48, a preferably homogeneous electric field 50 is generated in the IMS drift tube 18. The length L of the IMS drift tube 18 determines the drift space 52.
  • the IMS drift tube 18 is further provided with drift rings 54 for controlling ion motion and with a collection electrode 56 at the end of the drift space 52. Through an opening 58 drift gas 60 for generating a countercurrent for the ions 45, 46, 47 in the IMS drift tube 18 initiate.
  • the collecting electrode 56 is connected via an amplifier 62 to an evaluation unit 64, where a mobility spectrum 10 can be generated.
  • a mobility spectrum 10 can be generated.
  • the ion current, measured in picoamps, is plotted over the time in milliseconds.
  • About the different drift times within the drift gas 60 can be identify the respective ion species 45, 46, 47 and thus the substance of the sample gas 22 to be investigated.
  • the sample gas 22 is conducted to the solid-state surface 34 of the ionization source 28. If the solid-state surface 34 is illuminated by the illumination device 30, the molecules 20 on the solid-state surface 34 are ionized by photoinduced electron transfer.
  • the first electrode 31, 32 is formed by a platinum electrode 66.
  • a platinum electrode 66 at Fig. 2
  • this platinum electrode 66 faces a flat counter electrode 68 (in a practical configuration as shown in FIG Fig. 1 is shown, the counter electrode 68 could be formed by the control grid 42).
  • the platinum electrode 66 is then exposed to visible light or UV light (in the practical embodiment, see FIG Fig. 1 this is done by the illumination device 30).
  • the solid surface 34 on the platinum electrode 66 forms an emitter surface 70.
  • the formation of positive or negative ions can be observed .
  • Fig. 2 shows a schematic representation of a photoinduced electron emission from the platinum electrode 66 when operating in vacuum.
  • E vac the vacuum energy
  • an electron emission 72 from the platinum electrode 66 takes place. With h + the hole formed by the withdrawal of the electron 74 is designated.
  • FIG. 3 represents a case closer to practical ion mobility spectrometer operation.
  • FIG. 3 FIG. 12 is a schematic diagram of negative ion formation following a photoinduced electron emission 72 from a platinum electrode 66 when operating in dry air.
  • the reaction space 24 between the emitter surface 70 and the counter electrode 68 is filled with dry air.
  • electrons 74 are emitted from the solid surface 34 of the platinum electrode 66.
  • the emitted electrons 74 are rapidly trapped by O 2 molecules to form O 2 - ions. Instead of an electron current, therefore, one will observe a stream of reactant ions 76.
  • Analyte gas molecules that fulfill this condition are explosive materials and other molecules containing atoms and functional groups with high electron affinity.
  • the negative reactant ions 76 can be used and analyte ions 78 are injected into the IMS drift tube 18 and analyzed for their drift velocity and reduced mobility K 0, similar to the case of a radioactive spectrometer.
  • An essential difference to this, however, is that in the ionization process radioactivity is strictly avoided.
  • FIG. 4 shows the principle of positive ion emission from an exposed platinum electrode. More generally, both show the principle of photoinduced surface ionization.
  • an electron 74 of a molecule M of the sample gas 22 from the highest occupied molecular orbital (HOMO) is photoexcited to an energy above the Fermi energy of the platinum electrode 66 by means of light 71.
  • HOMO highest occupied molecular orbital
  • Possible light sources for the in Fig. 4 illustrated process are different types of white light sources, LEDs 36 or single-frequency laser 38th
  • positive ions can also under the in Fig. 5 illustrated conditions are observed.
  • a molecule M adsorbed on the solid surface 34 becomes an excited state from the ground state State (at M *) by means of light 71 photo energized, which is higher in energy than the Fermi energy of the platinum electrode 66.
  • the excited electron 74 can then transition to the Fermi energy of the metal to form a positive ion M + .
  • This positive ion M + can be extracted from the platinum electrode 66 by the negatively charged counter electrode 68.
  • the excitation photon energy in the in Fig. 5 While in the in Fig. 4 The first positive ion generation process described above requires that the excitation photon energy just need to be large enough to lift a valence electron from the HOMO level to the Fermi energy in the metal, the excitation photon energy in the in Fig. 5
  • positive ions contribute to the energy difference between the molecule-specific HOMO level and the molecule-specific LUMO level, with LUMO meaning the lowest unoccupied molecular orbital (English: lowest unoccupied molecular orbital).
  • the excitation light 71 for the in Fig. 5 therefore, the second case should be derived from a monochromatic light source, preferably a tunable laser source.
  • the laser 38 as in Fig. 1 be arranged shown.
  • the positive ions M + may be injected into the IMS drift tube 18.
  • the counter electrode 68 through the control grid 42 of Fig. 1 formed or formed in other form lattice or mesh-like.
  • the positive ions M + can be analyzed with respect to their drift velocity and their reduced mobility K 0 , respectively.
  • metals with a lower work function ⁇ would be interesting as this would reduce the minimum photon energy necessary to raise a conduction electron to the vacuum level.
  • precious metals that have lower work functions than platinum.
  • the range of work functions available in this way is quite limited. Less noble metals tend to oxidize in air during operation and therefore typically have n-type semiconductor surfaces with low-lying conduction bands.
  • a first estimate of the required photon energies can be obtained by considering the vacuum ionization energies of possible analyte molecules and the position of the Fermi energy E F, Pt of the first electrode 31, 32 with the solid surface 34.
  • Fig. 6 is the positive ion emission of weakly bound adsorbates for different substances to be investigated using the example of platinum as the material for the first electrode 31, 32 shown.
  • the adsorbates are z. B. only physically adsorbed (physisorption). Generally, in the adsorbed molecules, the solid state ionization energy relative to the vacuum ionization energy is reduced by an amount corresponding to the work function ⁇ of the solid state material of the first electrode 31, 32.
  • n-type semiconductor 80 having band gap 82, the conduction band 84, the Fermi energy E F, the vacuum energy E vac and the valence band 86 is shown.
  • the energy difference between the band gap 82 and the vacuum energy E vac is indicated by ⁇ s .
  • p-type semiconductor 88 is also shown with band gap 82, valence band 86, and energy levels E vac and E F.
  • ⁇ s denotes the energy gap from the band edge of the conduction band 84 to the vacuum energy E vac .
  • the work function ⁇ mol for the molecule to be ionized is comparable to that in FIG Fig. 4 indicated.
  • Si crystalline silicon
  • Silicon is an elemental semiconductor with a bandgap E g ⁇ 1.1 eV.
  • the band gaps of different semiconductor materials are compared to the work function ⁇ pt of platinum juxtaposed.
  • the vacuum energy E vac is settled in each case.
  • FIG. 9 Figure 12 shows how the silicon bandgap is positioned relative to the vacuum energy E vac and the platinum work function ⁇ pt .
  • the conduction band of silicon is relatively deep, and for surface ionization, the valence band maximum is above the work function ⁇ pt .
  • Bulk Si therefore, does not appear particularly attractive as a solid surface 34, neither as an electron emitter nor as a surface ionization source.
  • Fig. 9 For example, the positions of the band edges in group IV elemental semiconductors are shown in terms of E vac and the platinum work function ⁇ pt .
  • the band edges of SiO 2 and Si 3 N 4 ie, two of the most commonly used insulator materials in silicon technology, are shown.
  • germanium Ge
  • cubic SiC 3C-SiC
  • SiO 2 insulating oxide
  • p-type diamond is useful as a surface ionization source.
  • a potential problem may be that diamond decomposes into CO 2 when operated in air at hot temperature.
  • n-type diamond could be very useful as an electron emitter. So far, however, the n-doping of diamond has not yet been successfully carried out.
  • Fig. 10 Figure 12 shows the positions of the band edges in III-V semiconductor materials with respect to E vac and the work function of platinum ⁇ pt .
  • AIN appears to be the most suitable candidate among the III-V materials for both electron emission and surface ionization.
  • AIN appears to be the most suitable candidate among the III-V materials for both electron emission and surface ionization.
  • AIN it is difficult to use AIN for surface ionization, as this material has not yet been p-doped.
  • n-doping of AlN, for example by silicon is possible, making this material very attractive as an electron emitter. It seems possible that this material can produce electron emission at photon energies as low as 1.3 eV. Therefore, simple lighting devices can be used.
  • GaAs-based LEDs and lasers should already be sufficient.
  • a potential interfering factor could be that AIN easily forms an insulating layer (Al 2 O 3 ) on its surface when exposed to ambient air.
  • FIG. 11 Figure 12 shows the position of the band edges in a series of metal oxide materials in relation to E vac and the work function of platinum ⁇ pt . All metal oxide semiconductors shown have large band gaps similar to III nitride materials, SiC and diamond.
  • a major advantage of using metal oxides in electron emission and in surface ionization under ambient air conditions is that the metal oxides - as oxides - can no longer undergo further oxidation.
  • metal oxide materials are n-type in nature (Sn 3 , BaTiO 3 ) and therefore particularly suitable as electron emitters.
  • Minimum excitation photon energies would be about 3-5 eV.
  • a few oxides are p-type by nature. These include in particular NiO, Cr 2 O 3 , chromium titanium oxide (CTO) Mn 2 O 3 , Bi 2 Sn 2 O 7 . These materials are particularly suitable as surface ion emitter.
  • Fig. 12 is shown schematically as well as with n-type semiconductor materials similar to Pt in Fig. 4 a surface ionization and generation of positive ions could be performed.
  • FIG. 12 shows a negative charge distribution 90 within a conductive substrate 92 induced during extraction of a positive ion with charge + q from the solid surface 34.
  • Fig. 13b represents the electrostatic attractive force F as a function of the charge q and the distance d of the charge + q from the solid surface 34 from a corresponding mirror image charge -q.
  • charges + q, -q both tend to be electron emission and ion emission , Leaving the solid, to, an equal and opposite mirror image charge below the solid surface 34 to induce. This applies to both metals and semiconductor materials.
  • a MEMS infrared emitter 94 has been heated to temperatures near 1000 ° C with an electrical power of the order of 1 Watt.
  • Fig. 14 shows the MEMS infrared emitter 94 made with microsystem technology to illustrate the possibility of micro-heating.
  • Suitable materials can be the first electrode 30, 31 together with a heater 96 build.
  • the breaking of the electrostatic bond is achieved by forming electrical conduction tips and edges, in particular with nanometer dimensions.
  • platinum nanoemitter tips 98 will be as in FIG Fig. 15 shown formed on the platinum electrode 66.
  • NACHOS the project "NACHOS” by A. Krenkow, which is supported by the Federal Ministry of Education and Research. At the sharp corners and edges and in particular at tips in the nanometer range, very high electric fields are formed, which are usable for breaking up the electrostatic bonds.
  • Figure 1 shows ion currents measured from platinum solid surfaces with nano-emitter tips 98 (curve 100) and without nano-emitter tips (curve 102). It is a significant improvement in the ion currents by even a small number of nano-emitter tips 98 achievable.
  • the first peak 104 indicates a measurement with ethyne and the second peak with H 2 .

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Description

  • Die Erfindung betrifft ein Ionisationsverfahren zur Ionisierung von zu untersuchenden gasförmigen oder dampfförmigen Stoffen sowie eine Ionisationsvorrichtung zur Durchführung eines solchen Verfahrens. Weiter betrifft die Erfindung eine Detektionsvorrichtung zur Dektektion und/oder Identifikation von gasförmigen oder dampfförmigen Stoffen mittels lonenmobilitätsspektrometrie sowie eine Detektionsvorrichtung zur Durchführung eines solchen Detektionsverfahrens.
  • lonenmobilitätsspektrometrie ist die derzeit etablierte Referenztechnologie zur Detektion von Explosivstoffen, chemischen Kampfstoffen und unerlaubten Drogen.
  • Für nähere Einzelheiten zur lonenmobilitätsspektrometrie sowie zu dem derzeitigen Stand der Technik hierzu wird auf folgenden Literaturstellen verwiesen:
    1. [1] G. A. Eiceman, Z. Karpas: "Ion Mobility Spectrometry"; CRC Press. Boca Raton, 1994;
    2. [2] C. S. Rese, S. J. Taraszewsky, T. F. Limero: "Near real-time analysis of toxicologically important compounds using the volatile organic analyser for the international space station", in Proceedings of the 8th Int. Conference on IMS, Buxton, U.K., 1999;
    3. [3] J. Stach, "Ionenmobilitätsspektrometrie-Grundlagen und Applikationen", Analytiker Taschenbuch Band 16, Springer, Berlin 1997;
    4. [4] A. Schumann, "Einführung in die lonenmobilitätsspektrometrie (IMS)", Dissertation, Kapitel 3, Gerhard-Mercator-Universität-Duisburg, 2001;
    5. [5] S. Sielemann, "Detektion flüchtiger organischer Verbindungen mittels Ionenmobilitätsspektrometrie und deren Kopplung mit Multi-Kapillar-GasChromatographie", Dissertation, Universität Dortmund, 1999.;
    6. [6] D. M. Lubman, M. N. Kronick: "Resonance- Enhanced Two-Photon lonization Spectroscopy in Plasma Chromatography", Anal. Chem. 55, 1983, 1486-1492; und
    7. [7] V. Matsaev, M. Gumerov, L. Krasnobaev, V. Perhenkov, V. Belyakov, A. Chistyakov, V. Boudovitch: "IMS Spectrometers with Radioactive, X-Ray, UV and Laser lonization", International Journal for Ion Mobility Spectrometry, 5 (2002) 3.
  • Bei der lonenmobilitätsspektrometrie werden Analyt-Gasmoleküle durch eine Ionenquelle in Analytgasionen transformiert. Die erzeugten Ionen driften dann gegen einen Strom eines neutralen Gases (normalerweise Stickstoff N2 oder entfeuchtete Luft) aufgrund eines homogenen elektrischen Feldes zu einer Sammelelektrode hin. Mit Hilfe eines Steuergitters werden Ionenpakete periodisch in die Driftzelle eingelassen. Nach Auftreffen auf der Sammelelektrode wird die Ankunftszeit des Ionenpakets detektiert und die Driftzeit ermittelt. Unterschiedliche Analytgasionen werden durch ihr charkteristisches Driftzeitspektrum unterschieden, ähnlich wie dies bei dem lonenmobilitätsspektrum 10 in Fig. 1 dargestellt ist.
  • Etablierte Verfahren zur Ionenerzeugung:
    • Bekannte Spektrometer aus dem Stand der Technik verwenden radioaktive lonisationsquellen, meist 63Ni-Strahler, die hochenergetische Elektronen (β-Strahlung) mit einer durchschnittlichen Energie von etwa 17keV emittieren. Aufgrund ihrer hohen Elektronenenergie ionisieren 63Ni-Quellen auch Spezien mit hohem lonisationspotential wie z. B. N2, O2 und H2O. Ionen werden deshalb auch in denjenigen Fällen erzeugt, wo keine Analytgasspuren vorhanden sind. Da alle Arten von ionisierten Spezien mit dem verbleibenden Hintergrund neutraler Teilchen wechselwirken können, ist der Ionenformprozess von Natur aus komplex. Eine stark vereinfachte Reaktionssequenz ist in Tabelle 1 wiedergegeben. Tabelle 1 zeigt die Bildung von positiven und negativen Reaktant-Ionenclustern aus einem anfänglichen Ionisationsvorgang mit hochenergetischer β-Strahlung und einem N2-Molekül. Mögliche Proton- und Elektronaustauschreaktionen mit Analytgasmolekülen sind in der unteren Zeile angegeben. Für nähere Einzelheiten hierzu wird auf die obige Literaturstelle [3] verwiesen.
    Figure imgb0001
  • Da bei einer solchen Wechselwirkung die kinetische Energie des anfänglichen Elektrons nur um einen sehr kleinen Betrag verringert wird, dauert dieser primäre Ionisationsprozess an, bis die verbleibende Energie des Elektrons unter die Ionisationsenergie von N2 (EIon = 15,6 eV) fällt. Falls, dass der anfängliche lonenerzeugungsprozess unter reiner Stickstoffatmosphäre stattgefunden hat, thermalisieren die emittierten Elektronen (e-) und bleiben als freie Elektronen mobil, bis sie mit N2 +-Ionen rekombinieren oder bis sie an einer Metallelektrode gesammelt werden. Negative N2-Ionen können nicht gebildet werden, da neutrale N2-Moleküle aufgrund ihrer negativen Elektronenaffinität Eea elektronenabstoßend sind.
  • In dem Fall, dass der anfängliche Ionisationsvorgang in trockener Luft (~80% N2 und - 20% O2) stattgefunden hat, sind weitere Reaktionen möglich, wie in der zweiten Zeile der Tabelle 1 angegeben. Zunächst werden die freien Elektronen an O2-Molekülen unter Bildung von O2 --Ionen gefangen. Dies ist möglich, da O2-Moleküle eine posititve Elektronenaffinität Eea von 0,448 eV haben, was sie elektronen-anziehend macht.
  • Wie in der dritten Zeile der Tabelle 1 angegeben, sind weitere Reaktionen möglich, wenn der anfängliche Ionisationsvorgang in feuchter Luft stattgefunden hat. Aufgrund des starken elektrischen Dipolmoments von H2O werden H2O-Moleküle durch O2 --Ionen angezogen, wodurch (H2O)n O2-Ionencluster gebildet werden. Die Anzahl n von an O2-Ionen gefangenen H2O-Molekülen hängt von der Temperatur der Umgebungsatmosphäre ab und unterliegt auch bei einer festen Temperatur einer beträchtlichen Streuung. Bei einer Feuchtigkeit enthaltenden Atmosphäre können die N2 +-Ionen auch sekundären Reaktionen unterworfen sein, wodurch positive H+(H2O)n-Ionencluster gebildet werden. Hier wird die anfängliche Clusterreaktion als das Ergebnis eines Drei-Körper-Kollisionsprozesses angesehen:

            N 2 ++ 3H 2 ON 2+OH+H +(H 2 O)2.

  • Abhängig von der Temperatur der umgebenden Atmosphäre können sich weitere H2O-Moleküle an diesem anfänglich positiven Ionencluster anlagern. Unter feuchter Atmosphäre treten deswegen sowohl positive als auch negative Reaktant-Ionencluster auf. Falls zusätzliche Spuren von Verunreinigungsgasen vorhanden sind, wechselwirken diese ebenfalls mit den Reaktant-Ionenclustern und bilden Analyt-Gasionen, die die gewünschte analytische Information enthalten. Ob positive oder negative Analyt-Ionen geformt werden, hängt von der Protonenaffinität Epa und/oder der Elektronenaffinität Eea der Analyt-Gasmoleküle ab. In Tabelle 1 ist ein Beispiel für eine positive Ionenbildung (mittlere Spalte) und ein zweites Beispiel für eine negative Ionenbildung (rechte Spalte) angegeben. Während der erste Prozess die dominierende Detektionsreaktion für toxische industrielle Verbindungen (TIC), Drogen und chemische Kampfstoffe (CWA) bildet, ist der zweite Prozess wichtig für die Detektion von Explosivstoffen.
  • Wie in der Literaturstelle [3] angegeben, sind mögliche Alternativen zu radioaktiven Ionisationsquellen Korona-Entladungsquellen. Dabei wird ein Luftstrom, der die interessierenden Analyt-Gase enthält, direkt durch eine Plasmaentladung geleitet, wo die Analyte mit den geladenen Bestandteilen des Plasmas wechselwirken können, um Analyt-Gasionen zu bilden. Die Bildung Reaktant-Ionen und Analyt-Ionen folgt grob den selben Wegen wie in Tabelle 1 angegeben. Korona-Entladungsquellen vermeiden die Verwendung von Radioaktivität, aber verbrauchen beträchtliche elektrische Energie zum Erhalten des Plasmas. Unter Verwendung von MEMS-Mikrofabrikationstechnologien können Korona-Quellen klein und robust ausgeführt und mit niedrigen Kosten gefertigt werden.
  • Sowohl 63Ni-Quellen als auch Korona-Quellen haben das gemeinsame Problem, dass sie potentiell alle Bestandteile des Proben-Luftstromes einschließlich der gesamten Luftbestandteile ionisieren, die nur von geringem oder gar keinem analytischen Interesse sind. Schwache Analyt-Ionen-Peaks können daher unter viel größeren Reaktant-Ionen-Peaks untergehen. Dieses Problem wird noch durch die Tatsache verschärft, dass die Form der Reaktant-Ionen-Peaks sich ändern kann, wenn es Veränderungen in der Feuchtigkeit des Probengases gibt und wenn die Verunreinigungs-Spurengase selbst zu der Bildung von Reaktant-Ionen beitragen.
  • Wie in der Literaturstelle [3] ausgeführt, kann Photoionisation im Prinzip die Bildung von analytisch irrelevanten Reaktantionen vermeiden. Sowohl Ein-Photonlonisationsprozesse als auch Zwei-Photonen-Ionisationsprozesse sind untersucht worden. Ein-Photon-Ionisation ist unter Verwendung von Gasentladungslampen mit Photonenenergien Eph von 9,8 eV, 10,6 eV und 11,7 eV möglich, abhängig von der Art der Gasfüllung. Mit diesen relativ geringen Energien bleiben die Hauptbestandteile der Umgebungsluft, d. h. N2, O2, H2O und CO2 unbeeinflusst, da die Ionisationsenergie I dieser Gase die Photonenenergie Eph überschreitet: I > Eph. Wie in
  • beschrieben, wird durch Verwendung von Zwei-Photon-Laserionisation ein viel größeres Ausmaß an Selektivität erhalten. Bei diesem Prozess werden Photonen von viel geringerer Energie (Eph~ 4-6 eV) verwendet, um die Analytgase in einen Zwischenelektronenzustand anzuregen, von wo aus die angeregten Moleküle nach Absorption eines zweiten Photons ionisiert werden können. Da dieses Zwischenlevel spezifisch für den jeweiligen Analyten ist, ist die Zwei-Photonen-Ionisation von Natur aus selektiv. Ein Nachteil ist jedoch der hohe Preis, der relativ hohe Energieverbrauch und das große Volumen der gepulsten UV-Laserquellen.
  • Die US 2007/0114395 A1 beschreibt ein Ionenmobilitätsspektrometer, bei dem die hintere Wand durch eine dünne Metallschicht gebildet wird, in deren Nähe ein zu untersuchendes Messgas eingeleitet wird. Die dünne Metallschicht wird von hinten derart bestrahlt, dass es zu einer inneren Totalreflektion und damit zur Emission von Elektronen kommt.
  • In der EP 0 795 749 A2 ist ein Ionenmobilitätsspektrometer offenbart, bei dem eine Beleuchtungsquelle derart angeordnet ist, dass sie in Gasphase befindliche Moleküle in einem Ionisationsraum ionisieren kann.
  • US 5 184 015 A offenbart eine Ionisationsvorrichtung, bei der eine Metalloberfläche derart bestrahlt wird, dass Elektronen emittiert werden und nach einem bestimmten Driftweg mit zu der Elektrode hin geleiteten Molekülen zu Ionen rekombinieren.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, ein besonders kosteneffektives radioaktivfreies lonisationsverfahren sowie eine besonders kosteneffektive Ionisationsvorrichtung zur Durchführung eines solchen Ionisationsverfahrens zu schaffen.
  • Diese Aufgabe wird durch ein Ionisationsverfahren mit den Schritten des Anspruches 1 sowie einer Ionisationsvorrichtung mit den Merkmalen des Anspruches 8 gelöst.
  • Gemäß einem besonderem Aspekt der vorliegenden Erfindung soll eine möglichst kostengünstige Detektion und Identifikation von Gasen und Dämpfen mit Hilfe von lonenmobilitätsspektrometrie geschaffen werden, bei der radioaktive lonisationsquellen vermieden werden.
  • Dies wird durch ein Detektionsverfahren gemäß Anspruch 6 sowie eine Detektionsvorrichtung gemäß Anspruch 14 erreicht.
  • Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.
  • Erfindungsgemäß erfolgt die Ionisation der Stoffe über photo-induzierten Elektronentransfer an Festkörperoberflächen.
  • Dadurch werden radioaktive Ionisationsquellen vermieden. Das lonisationsverfahren sowie die Ionisationsvorrichtung sind vorzugsweise MEMS-tauglich. Die lonisationsvorrichtung kann unter Verwendung von Mikrosystemtechnik gefertigt werden. Dadurch lassen sich Handgeräte und kleine mobile Einheiten erzielen.
  • Mit der Erfindung ist eine besonders leistungsarme Ionisation erreichbar, so dass besonders energiesparend gearbeitet werden kann.
  • Weiter sind bei der Detektion von Gasen und Dämpfen unter Verwendung der erfindungsgemäßen Ionisationsvorrichtung bzw. des erfindungsgemäßen lonisationsverfahrens Identifikationen der zu untersuchenden Stoffe wahlweise oder kombiniert über die Photonenenergie und die Driftzeit möglich.
  • Die vorliegende Erfindung beschreibt eine kosteneffektive Ionisationstechnik, die auf einem Photo-Ionisations-Prozess basiert, der an Festkörperoberflächen auftritt. Die Ionisationsquellen, die auf diesem Detektionsprinzip basieren, können sowohl positive als auch negative Ionen erzeugen und können in der Form von miniaturisierten kostengünstigen MEMS-Vorrichtungen implementiert werden.
  • Die Erzeugung von positiven oder negativen Ionen kann durch die Verwendung des Festkörpermaterials, an der der Photoionisationsprozess stattfindet, und/oder durch Anlegung von entsprechenden positiven oder negativen Spannungen zwischen der Festkörperoberfläche, die als Elektrode eingesetzt wird, und einer Gegenelektrode gesteuert werden.
  • Vorzugsweise wird die Energie der erzeugten Photonen selektiv an die jeweils verwendeten Festkörpermaterialien und/oder an die zu untersuchenden Gase angepasst.
  • Erfindungsgemäß besteht die Festkörperionisationsquelle aus einem Metall. Mittels einer Lichtquelle zur Oberflächenbelichtung werden adsorbierte Moleküle durch photoneninduzierte Elektronentransferprozesse entweder positiv oder negativ geladen.
  • Ionisationsquellenmaterialen von besonderem Interesse für die Emission sowohl von positiven als auch negativen Ionen sind Edelmetalle. Besonders geeignet ist Platin, aber auch Palladium, Iridium, Gold oder andere Edelmetalle sind denkbar und möglich.
  • Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung lässt sich die lonisationsquelle, also die beleuchtbare Festkörperoberfläche - beispielsweise mittels einer Heizeinrichtung - erhitzen. Dadurch können elekrostatische Bindungen zwischen den adsorbierten Spezien und der kompensierenden Elektronenladungsverteilung in dem Quellenmaterial aufgebrochen werden. Dies kann besonders einfach und kostengünstig unter Verwendung MEMS-Mikroheizungen realisiert werden.
  • Gemäß der Erfindung ist die Festkörperoberfläche mit Nano-Drähten, Nano-Spitzen oder anderen Nano-Strukturen bedeckt. Die Nano-Morphologie und Nano-Strukturen haben den Effekt, dass sich an ihnen, wenn an der Oberfläche eine elektrische Spannung angelegt wird, ein starkes elektrisches Feld ausbildet. Durch die verstärkten lokalen elektrischen Felder an der EmitterOberfläche können die elektrostatischen Bindungen zwischen den geladenen adsorbierten Spezien und der kompensierenden Elektronenladungsverteilung in dem Quellenmaterial aufgebrochen werden.
  • Besonders bevorzugt wird die Ionisationsvorrichtung in Verbindung mit einer Ionenmobilitätsspektrometer-Driftröhre verwendet. Dadurch entsteht eine besonders kostenkünstige, kompakte und robuste Gasdetektionsvorrichtung auf der Basis der Ionenmobilitätsspektrometrie.
  • Beispiele werden im Folgenden anhand der beigefügten Zeichnung näher erläutert. Darin zeigt:
  • Fig. 1
    eine schematische Darstellung einer Detektionsvorrichtung zur Detektion von Gasen oder Dämpfen mittels lonenmobilitätsspektrometrie;
    Fig. 2
    eine schematische Darstellung des Prinzips der photoinduzierten Elektronenemission an einer Festkörperoberfläche am Beispiel einer photo-induzierten Erzeugung von freien Elektroden an einer Platin-Elektrode bei Betrieb in Vakuum;
    Fig. 3
    eine schematische Darstellung des Prinzips einer Negativ-Ionen-Drift und der Erzeugung von negativen Ionen im Anschluss an eine photoin-duzierte Elektronenemission an einer Festkörperoberfläche am Beispiel einer Platinelektrode bei Betrieb in trockener Luft;
    Fig. 4
    eine schematische Darstellung eines ersten Prinzips der Oberflächenionisation zur photoinduzierten Emission von positiven Ionen aus einer Festkörperoberfläche am Beispiel der Emission von positiven Ionen aus einer belichteten Platin-Elektrode;
    Fig. 5
    eine schematische Darstellung eines zweiten Prinzips der Oberflächenionisation zur photoinduzierten Emission von positiven Ionen aus einer Festkörperoberfläche am Beispiel der Emission von positiven Ionen aus einer belichteten Platinelektrode;
    Fig. 6
    eine schematische Darstellung des Prinzips der Emission positiver Ionen von schwach an einen Festkörper gebundenen (physikalisch adsorbierten) Adsorbaten, wobei die Festkörperionisationsenergie gegenüber der Vakuumionisationsenergie durch einen Betrag Φpt reduziert ist,
    Fig. 7
    eine schematische Darstellung eines Prinzips zur Elektronenemission aus einem n-Typ-Halbleiter;
    Fig. 8
    eine schematische Darstellung einer Oberflächenionisation an einer p-Typ-Halbleiteroberfläche;
    Fig. 9
    einen schematischen Graph zum Vergleich unterschiedlicher Materialien für die Festkörperoberfläche;
    Fig. 10
    eine Darstellung vergleichbar der von Fig. 9 für weitere Festkörpermaterialien;
    Fig. 11
    eine Darstellung vergleichbar derjenigen von Fig. 9 oder Fig. 10 für weitere Festkörpermaterialien;
    Fig. 12
    eine schematische Darstellung eines Prinzips der Oberflächenionisation an einem n-Typ-Halbleiter unter Verwendung von optisch induzierten freien Löchern in dem Valenzband;
    Fig. 13a
    eine schematische Darstellung einer negativen Ladungsverteilung in einem leitenden Substrat, die induziert wird, wenn ein positives Ion mit der Ladung q aus einer Oberfläche extrahiert wird;
    Fig. 13b
    eine schematische Darstellung der elektrostatischen Anziehung eines Analytgasiones durch eine äquivalente Bildladung, was zu der Anziehungskraft F führt;
    Fig. 14
    Darstellungen eines MEMS-basierten Infrarot-Emitters, was die Möglichkeit des Mikroheizens demonstriert;
    Fig. 15
    eine Darstellung einer erfindungsgemäßen Platin-Nanoemitter-Spitze auf der Oberfläche einer gedruckten Platinschicht; und
    Fig. 16
    einen Graph zur Verdeutlichung der Verbesserung der lonenemissionsströme durch eine kleine Anzahl von Nanoemitter-Spitzen.
  • In Fig. 1 ist eine insgesamt mit 12 bezeichnete Detektionsvorrichtung zur Detektion von Gasen oder Dämpfen dargestellt. Die Detektionsvorrichtung 12 weist als Hauptbestandteil ein Ionen-Mobilitätsspektrometer 14 mit einer lonisationsvorrichtung 16 und einer IMS-Driftröhre 18 auf.
  • Die Ionisationsvorrichtung 16 dient zum Ionisieren von Molekülen 20 eines Probengases 22. Sie weist eine Ionisationskammer als Reaktionsraum 24 mit einem Einlass 26 für das Probengas 22 und einer Ionisationsquelle 28 sowie eine Beleuchtungseinrichtung 30 zum Beleuchten der Ionisationsquelle 28 auf.
  • In Fig. 1 sind zwei Beispiele für Ionisationsquellen 28 dargestellt. Die lonisationsquelle 28 ist hauptsächlich gebildet durch eine erste Elektrode 31, 32 aus einem bestimmten Festkörpermaterial. Die ersten Elektroden 31, 32 sind in MEMS-Technik gefertigt und weisen eine durch die Beleuchtungseinrichtung 30 beleuchtbare Festkörperoberfläche 34 auf.
  • In Fig. 1 sind weiter zwei konkrete Beispiele für die Beleuchtungseinrichtung 30 angedeutet. Demnach kann die Beleuchtungseinrichtung 30 eine Weißlichtquelle oder eine LED 36 und/oder einen Laser 38 aufweisen. Der Laser 38 kann ein Single-Frequenz-Laser oder ein abstimmbarer Laser sein.
  • Im Übergang zwischen der IMS-Driftröhre 18 und dem Reaktionsraum 24 der lonisationsvorrichtung 16 ist als Gegenelektrode 68 oder zweite Elektrode 40 ein Steuergitter 42 vorgesehen, das mit Öffnungen 44 zum Durchtritt der in der lonsationsvorrichtung 16 erzeugten Ionen 45, 46, 47 versehen ist.
  • Die IMS-Driftröhre 18 ist an ihrem dem Steuergitter 42 entgegengesetzten Ende mit einem Durchlassgitter 48 versehen. Durch Anlegen einer Spannung zwischen dem Steuergitter 42 und dem Durchlassgitter 48 wird in der IMS-Driftröhre 18 ein vorzugsweise homogenes elektrisches Feld 50 erzeugt. Die Länge L der IMS-Driftröhre 18 bestimmt den Driftraum 52.
  • Die IMS-Driftröhre 18 ist weiter mit Driftringen 54 zum Steuern der lonenbewegung und mit einer Sammelelektrode 56 am Ende des Driftraumes 52 versehen. Durch eine Öffnung 58 lässt sich Driftgas 60 zum Erzeugen eines Gegenstromes für die Ionen 45, 46, 47 in der IMS-Driftröhre 18 einleiten.
  • Die Sammelelektrode 56 ist über einen Verstärker 62 an eine Auswerteeinheit 64 angeschlossen, wo ein Mobilitätsspektrum 10 erzeugt werden kann. Hierzu wird der Ionenstrom, gemessen in Pikoampere, über die Zeit in Millisekunden aufgetragen. Über die unterschiedlichen Driftzeiten innerhalb des Driftgases 60 lässt sich die jeweilige Ion-Spezies 45, 46, 47 und damit der zu untersuchende Stoff des Probengases 22 identifizieren.
  • Zum Ionisieren in der Ionisationsvorrichtung 16 wird das Probengas 22 zu der Festkörperoberfläche 34 der Ionisationsquelle 28 geleitet. Beleuchtet man nun die Festkörperoberfläche 34 mittels der Beleuchtungseinrichtung 30, so werden die Moleküle 20 an der Festkörperoberfläche 34 durch photoinduzierten Elektronentransfer ionisiert.
  • Die dabei auftretenden physikalischen Vorgänge werden im Folgen näher erläutert.
  • In einem ersten Beispiel ist die erste Elektrode 31, 32 durch eine Platinelektrode 66 gebildet. Bei Fig. 2 wird der Einfachheit halber angenommen, dass diese Platinelektrode 66 einer ebenen Gegenelektrode 68 gegenüber liegt (in einer praktischen Ausgestaltung, wie sie in Fig. 1 dargestellt ist, könnte die Gegenelektrode 68 durch das Steuergitter 42 gebildet sein). Die Platinelektrode 66 wird nun mit sichtbaren Licht oder UV-Licht belichtet (in der praktischen Ausgestaltung, gemäß Fig. 1 geschieht dies durch die Beleuchtungseinrichtung 30). Die Festkörperoberfläche 34 an der Platinelektrode 66 bildet eine Emitteroberfläche 70. Je nach den elektrischen Spannungszuständen zwischen der Emitteroberfläche 70 und der Gegenelektrode 68 und der Verfügbarkeit von Analytgasen in dem Reaktionsraum 24 zwischen den beiden Elektroden 66, 68 kann die Bildung positiver oder negativer Ionen beobachtet werden.
  • Der einfachste Fall ist in Fig. 2 dargestellt. Fig. 2 zeigt eine Prinzipdarstellung einer photoinduzierten Elektronenemission aus der Platinelektrode 66 bei einem Betrieb in Vakuum. Hierbei wird ein Leitungselektron - Elektron 74 - innerhalb des Platin-Emitters - Platinelektrode 66 - auf eine Energie E größer als Evac durch Licht 71 photoangeregt, wobei Evac die Vakuumenergie, d. h. diejenige Energie, oberhalb der ein Elektron die Platin-Oberfläche - Festkörperoberfläche 34 - verlassen kann, darstellt. In dem Fall, dass der Reaktionsraum 24 zwischen der Platinelektrode 66 und der mit positiver Spannung belegten Gegenelektrode 68 evakuiert worden ist, findet eine Elektronenemission 72 aus der Platinelektrode 66 statt. Mit h+ ist das durch den Entzug des Elektrons 74 gebildete Loch bezeichnet.
  • Fig. 3 stellt einen Fall dar, der näher an dem praktischen lonenmobilitätsspektrometer-Betrieb liegt. Fig. 3 zeigt eine Prinzipdarstellung einer negativen lonenbildung, die auf eine photoinduzierte Elektronenemission 72 aus einer Platinelektrode 66 bei einem Betrieb in trockener Luft folgt. In diesem Fall ist also der Reaktionsraum 24 zwischen der Emitteroberfläche 70 und der Gegenelektrode 68 mit trockener Luft befüllt. Beleuchtet man nun die Emitterelektrode - hier die Platin-elektrode 66 - mit Licht 71 mit der gleichen Wellenlänge wie zuvor bei Fig. 2, werden Elektronen 74 von der Festkörperoberfläche 34 der Platinelektrode 66 emittiert. Bei dem in Fig. 3 gezeigten Betrieb werden jedoch die emittierten Elektronen 74 schnell durch O2-Moleküle unter Bildung von O2 --Ionen gefangen. Anstelle eines Elektronenstroms wird man daher einen Strom von Reaktant-Ionen 76 beobachten.
  • Wenn nun Analyt-Moleküle A mit einer Elektronenaffinität Eea, die größer als diejenige von O2 (Eea~0,448 eV) ist, vorhanden sind, werden diese negative A--Ionen durch Ladungstransfer von O2 --Ionen bilden. Es ist somit ein Strom von Analyt-Ionen 78 zu beobachten. Analyt-Gasmoleküle, die diese Bedingung erfüllen, sind explosive Materialien und andere Moleküle, die Atome und funktionelle Gruppen mit einer hohen Elektronenaffinität enthalten.
  • In dem Fall, dass die Gegenelektrode 68 als ein Maschengitter aufgebaut ist, wie dies bei dem Steuergitter 42 der Fall ist, können die negativen Reaktant-Ionen 76 und Analyt-Ionen 78 in die IMS-Driftröhre 18 injiziert werden und bezüglich ihrer Driftgeschwindigkeit und ihrer reduzierten Mobilität K0 ähnlich wie im Fall eines radioaktiven Spektrometers analysiert werden. Ein wesentlicher Unterschied hierzu ist jedoch, dass bei dem Ionisationsprozess Radioaktivität streng vermieden wird.
  • Mit der selben Anordnung wie in den Fig. 2 und 3 und in Fig. 1 dargestellt, jedoch mit einer negativ geladenen Gegenelektrode 68 kann auch positive Ionenemission beobachtet werden. Hier bestehen im Prinzip zwei Möglichkeiten, die im Folgenden anhand der Fig. 4 und 5 näher erläutert werden.
  • Sowohl Fig. 4 als auch Fig. 5 zeigen das Prinzip einer positiven Ionenemission aus einer belichteten Platin-Elektrode. Allgemeiner zeigen beide das Prinzip der photoinduzierten Oberflächenionisation.
  • In Fig. 4 wird ein Elektron 74 eines Moleküls M des Probengases 22 aus dem höchsten besetzten molekularen Orbital (HOMO) auf eine Energie oberhalb der Fermi-Energie der Platinelektrode 66 mittels Licht 71 photoangeregt. Durch Ladungstransfer des photoangeregten Elektrons 74 auf das Ferminiveau des Metalls wird ein positives Ion M+ gebildet, das von der Metalloberfläche - Festkörperoberfläche 34 - durch das elektrische Feld abgezogen werden kann, welches durch die negativ geladene Gegenelektrode 68 erzeugt wird.
  • Mögliche Lichtquellen für den in Fig. 4 dargestellten Vorgang sind unterschiedliche Typen von Weißlichtquellen, LEDs 36 oder Single-Frequenz Laser 38.
  • Die Bildung positiver Ionen kann auch unter den in Fig. 5 illustrierten Bedingungen beobachtet werden. In dem in Fig. 5 dargestellten Fall wird ein an der Festkörperoberfläche 34 adsorbiertes Molekül M aus dem Grundzustand in einen angeregten Zustand (bei M*) mittels Licht 71 photoangeregt, der energetisch höher als die Fermi-Energie der Platinelektrode 66 liegt. Das angeregte Elektron 74 kann dann auf die Fermi-Energie des Metalls unter Bildung eines positiven Ions M+ übergehen. Dieses positive Ion M+ kann von der Platinelektrode 66 durch die negativ geladene Gegenelektrode 68 extrahiert werden.
  • Während in dem in Fig. 4 dargestellten ersten Prozess zur Erzeugung positiver Ionen die Anregungs-Photonen-Energie einfach nur groß genug sein muss, um ein Valenzelektron aus dem HOMO-Niveau auf die Fermi-Energie in dem Metall zu heben, muss die Anregungs-Photonen-Energie in dem in Fig. 5 dargestellten zweiten Fall zur Erzeugung positiver Ionen zur Energiedifferenz zwischen dem molekül-spezifischen HOMO-Niveau und dem molekül-spezifischen LUMO-Niveau passen, wobei mit LUMO das niedrigste unbesetzte molekulare Orbital (Englisch: lowest unoccupied molecular orbital) gemeint ist. Das Anregungslicht 71 für den in Fig. 5 dargestellten zweiten Fall sollte daher aus einer monochromatischen Lichtquelle vorzugsweise einer abstimmbaren Laserquelle, stammen. Beispielsweise kann der Laser 38 wie in Fig. 1 dargestellt angeordnet sein.
  • Wiederum können in einem Fall, in dem die Gegenelektrode 68 mit Öffnungen 44 für die Ionen versehen ist, die positiven Ionen M+ in die IMS-Driftröhre 18 injiziert werden. Beispielsweise ist die Gegenelektrode 68 durch das Steuergitter 42 der Fig. 1 gebildet oder in sonstiger Form gitter- oder maschenähnlich ausgebildet. In der IMS-Driftröhre 18 können die positiven Ionen M+ bezüglich ihrer Driftgeschwindigkeit bzw. ihrer reduzierten Mobilität K0 analysiert werden.
  • Im Folgenden werden mögliche Materialien für die erste Elektrode 31, 32 sowie die daran ausgebildete Festkörperoberfläche 34 näher diskutiert. In den Beispielen gemäß den Fig. 2 bis 5 ist hierzu Platin eingesetzt.
  • Betrachtet man die Elektronenemission 72 gemäß dem Prozess in Fig. 2, so wären Metalle mit einer niedrigeren Austrittsarbeit Φ interessant, da dies die minimale Photonenergie reduzieren würden, die zur Anhebung eines Leitungselektrons ins Vakuumniveau notwendig ist. Es gibt eine kleine Anzahl von Edelmetallen, die niedrigere Austrittsarbeiten als Platin haben. Der Bereich von auf diese Weise zugänglichen Austrittsarbeiten ist jedoch recht begrenzt. Weniger edle Metalle tendieren dazu, bei einem Betrieb an Luft zu oxidieren und besitzen daher typischerweise n-Typ Halbleiter-Oberflächen mit tiefliegenden Leitungsbändern.
  • Betrachtet man die positive Ionenemission gemäß dem in Fig. 5 dargestellten Prozess, kann eine erste Abschätzung der benötigten Photonenergien durch Berücksichtigung der Vakuum-lonisationsenergien von möglichen Analyt-Molekülen und der Position der Fermi-Energie EF, Pt der ersten Elektrode 31, 32 mit der Festkörperoberfläche 34 erhalten werden.
  • In Fig. 6 ist die positive Ionenemission von schwach gebundenen Adsorbaten für unterschiedliche zu untersuchende Stoffe am Beispiel von Platin als Material für die erste Elektrode 31, 32 dargestellt. Die Adsorbate sind z. B. nur physikalisch adsorbiert (Physisorption). Allgemein wird bei den adsorbierten Molekülen die Festkörper-Ionisationsenergie relativ zu der Vakuum-Ionisationsenergie durch einen Betrag vermindert, welcher der Austrittsarbeit Φ des Festkörpermaterials der ersten Elektrode 31, 32 entspricht.
  • Die Daten von Fig. 6 zeigen, dass sichtbares Licht (Eph < 3,1 eV) ausreichend sein kann, um Elektronen von dem HOMO-Niveau der Analyte auf die Fermi-Energie von Platin anzuheben. Für geringer reaktive Moleküle mit entsprechend höheren Ionisationsenergien wären Metalle mit höherer Austrittsarbeit vorteilhaft. Dies ist jedoch zur Zeit nicht möglich, da Platin die höchste Austrittsarbeit aller derzeit bekannten Metalle hat. Jedoch können p-Typ-Halbleiter mit niedrig liegenden Valenzbändern bessere Materialien für die Oberflächenionisation bilden.
  • Elektronen- und Ionenemission von Halbleiteroberflächen:
    • Berücksichtigt man die Tatsache, dass die meisten Metalle an Luft oxidieren und auf diese Weise Halbleiteroberflächen bilden, sollten die Prozesse der Elektronenemission aus einer n-Typ Halbleiteroberfläche (illustriert in Fig. 7) und der Oberflächenionisation an einer p-Typ-Halbleiteroberfläche (illustriert in Fig. 8) beoachtet werden.
  • In Fig. 7 ist der n-Typ-Halbleiter 80 mit Bandlücke 82, Leitungsband 84, der Fermi-Energie EF, der Vakuumenergie Evac und dem Valenzband 86 dargestellt. Mit χs ist die Energiedifferenz zwischen der Bandlücke 82 und der Vakuumenergie Evac angedeutet. In Fig. 8 ist der p-Typ-Halbleiter 88 ebenfalls mit Bandlücke 82, Valenzband 86 und den Energieniveaus Evac und EF dargestellt. χs bezeichnet den Energieabstand von der Bandkante des Leitungsbandes 84 zur Vakuumenergie Evac. Weiter ist die Austrittsarbeit ΦMol für das zu ionisierende Molekül vergleichbar wie in Fig. 4 angedeutet.
  • Von der Darstellung in Fig. 7 ist ersichtlich, dass eine Elektronenemission 72 bei n-Typ-Halbleitern 80 mit hochliegenden Leitungsbändern 84 erleichtert ist. Aus Fig. 8 ist ersichtlich, dass eine Oberflächenionisation und damit Erzeugung von positiven Ionen unter Verwendung von p-Typ-Halbleitern 88 mit besonders niedrig liegenden Valenzbändern 86 erleichtert ist.
  • Anhand dieser in Fig. 7 und 8 angedeuteten Erkenntnisse werden im Folgenden besonders geeignete Materialien für die Elektronenemission und die Oberflächenionisation näher erläutert.
  • In der Welt der Halbleiter ist kristallines Silizium (Si) das Referenzmaterial. Silizium ist ein elementarer Halbleiter mit einer Bandlücke Eg~ 1,1 eV. In den Fig. 9, 10 und 11 sind die Bandlücken unterschiedlicher Halbleitermaterialien im Vergleich zur Austrittsarbeit Φpt von Platin nebeneinander gestellt. Bei dem Energieniveau 0 ist jeweils die Vakuumenergie Evac angesiedelt.
  • Fig. 9 zeigt, wie die Silizium-Bandlücke relativ zu der Vakuumenergie Evac und der Platin-Austrittsarbeit Φpt positioniert ist. Für eine Elektronenemission ist das Leitungsband von Silizium relativ tief, und für eine Oberflächenionisation ist das Valenzbandmaximum oberhalb der Austrittsarbeit Φpt. Bulk-Si erscheint daher nicht besonders attraktiv als Festkörperoberfläche 34 und zwar weder als Elektronenemitter noch als Oberflächenionisationsquelle.
  • In Fig. 9 sind die Positionen der Bandkanten bei Gruppe-IV-Elementarhalbleitern in Bezug auf Evac und der Platin-Austrittsarbeit Φpt dargestellt. Zum Vergleich sind die Bandkanten von SiO2 und von Si3N4, d. h. von zwei der am häufigsten in der Siliziumtechnologie verwendeten Isolatormaterialien gezeigt.
  • Wie aus dem Vergleich ersichtlich treffen die selben Argumente wie für Silizium auch auf Germanium (Ge) zu. Andererseits scheint kubisches SiC (3C-SiC) etwas attraktiver zur Verwendung als Oberflächenionenemitter zu sein. Andererseits sind sowohl Silizium als auch 3C-SiC unter Berücksichtigung des Umstandes problematisch, dass beide ein isolierendes Oxid (SiO2) an ihren Oberflächen bilden.
  • p-Typ-Diamant ist dagegen als Oberflächenionisationsquelle gut verwendbar. Ein mögliches Problem kann sein, dass Diamant in CO2 zerfällt, wenn er bei heißer Temperatur an Luft betrieben wird.
  • Ein n-Typ-Diamant könnte als Elektronenemitter sehr nützlich sein. Bisher ist das n-dotieren von Diamant jedoch noch nicht erfolgreich durchgeführt worden.
  • Fig. 10 zeigt die Positionen der Bandkanten in III-V-Halbleitermaterialien in bezug auf Evac und der Austrittsarbeit von Platin Φpt. Aufgrund seiner riesigen Bandlücke und seines hochliegenden Leitungsbandes erscheint AIN der am besten geeignete Kandidat unter den III-V-Materialien sowohl für die Elektronenemission als auch für die Oberflächenionisation zu sein. Derzeit ist eine Verwendung von AIN zur Oberflächenionisation schwierig, da bisher dieses Material noch nicht p-dotiert werden konnte. Jedoch ist eine n-Dotierung von AIN, beispielsweise mittels Silizium, möglich, was dieses Material sehr attraktiv als Elektronenemitter macht. Es erscheint möglich, dass mit diesem Material Elektronenemission bei Photonenenergien erzeugt werden kann, die nur 1,3 eV betragen. Daher können einfache Beleuchtungseinrichtungen eingesetzt werden. GaAs-basierte LEDs und Laser sollten bereits ausreichend sein. Ein potentieller Störfaktor könnte sein, dass AIN leicht eine Isolierschicht (Al2O3) an seiner Oberfläche bildet, wenn es der Umgebungsluft ausgesetzt wird.
  • Fig. 11 zeigt die Position der Bandkanten in einer Reihe von Metalloxidmaterialien in Relation zu Evac und der Austrittsarbeit von Platin Φpt. Alle gezeigten Metalloxid-Halbleiter weisen ähnlich zu III-Nitrid-Materialien, SiC und Diamant große Bandlücken auf.
  • Ein großer Vorteil bei der Verwendung von Metalloxiden bei der Elektronenemission und bei der Oberflächenionisation unter Umgebungsluftbedingungen ist, dass die Metalloxide - als Oxide - keiner weiteren Oxidation mehr unterworfen werden können. Als isolierendes Oxid erscheint Al2O3 ungeeignet, obwohl es von den Positionen seiner Valenzbandkante und seiner Leitungsbandkante her hoch attraktiv sowohl für die Elektronenemission als auch für die Oberflächenionisation wäre.
  • Die meisten anderen Metalloxid-Materialien sind von ihrer Natur her n-artig (Sn3, BaTiO3) und daher insbesondere als Elektronenemitter geeignet. Minimale Anregungs-Photonenenergien würden bei etwa 3-5 eV liegen.
  • Einige wenige Oxide sind von ihrer Natur her p-artig. Zu diesen gehören insbesondere NiO, Cr2O3, Chrom-Titan-Oxid (CTO) Mn2O3, Bi2Sn2O7. Diese Materialien sind insbesondere als Oberflächenionenemitter geeignet.
  • In Fig. 12 ist schematisch dargestellt wie auch mit n-Typ-Halbleitermaterialien ähnlich wie mit Pt in Fig. 4 eine Oberflächenionisation und eine Erzeugung positiver Ionen durchgeführt werden könnte. Dabei sind die gleichen Bezugszeichen wie in Fig. 7 verwendet. Durch eine induzierte Photonenergie hv lassen sich freie Löcher in dem Valenzband 86 erzeugen, welche dann zur Ionisation der adsorbierten Moleküle verwendbar sind.
  • Im Folgenden werden nun Techniken erläutert, wie die schwach gebundenen Ionen von der Festkörperoberfläche 34 leicht gelöst werden können.
  • Zunächst wird anhand der Fig. 13a und 13b ein allgemeines Merkmal sowohl bei der Elektronenemission als auch bei der Ionenemission näher erläutert. Fig. 13a zeigt eine negative Ladungsverteilung 90 innerhalb eines leitenden Substrats 92, die während der Extraktion eines positiven Ions mit der Ladung +q aus der Festkörperoberfläche 34 induziert wird. Fig. 13b stellt die elektrostatische Anziehungskraft F in Abhängigkeit von der Ladung q und dem Abstand d der Ladung +q von der Festkörperoberfläche 34 anhand einer entsprechenden Spiegelbildladung -q dar. Wie dargestellt tendieren sowohl bei der Elektronenemission als auch bei der Ionenemission die Ladungen +q, -q, die den Festkörper verlassen, dazu, eine gleich große und entgegengesetzte Spiegelbildladung unterhalb der Festkörperoberfläche 34 zu induzieren. Dies gilt sowohl für Metalle als auch für Halbleitermaterialien.
  • Das Aufbrechen dieser elektrostatischen Bindung mit der Anziehungskraft F~q2/(2d)2 benötigt Energie, die durch irgendwelche Einrichtungen bereit gestellt werden muss. Um diese Energie zum Brechen der elektrostatischen Bindung aufzubringen, gibt es wenigstens drei Prozesse, die alternativ oder kumuliert angewendet werden können:
    • thermische Energie,
    • das Erzeugen hoher elektrischer Felder und/oder
    • Photonenanregung.
  • Thermische Energie kann durch eine Heizeinrichtung 96 erzielt werden. Hierzu wird das elektronenemittierende Material und/oder das ionenemittierende Material auf eine keramische Heizeinrichtung oder eine MEMS-Silizium-Heizeinrichtung aufgebracht. Solche Silizium-Heizeinrichtungen sind beispielsweise aus
  • bekannt.
  • Ein Beispiel ist in Fig. 14 gezeigt, wo ein MEMS-Infrarotemitter 94 mit einer elektrischen Energieleistung in der Größenordnung von 1 Watt auf Temperaturen in der Nähe von 1000°C erhitzt worden ist.
  • Fig. 14 zeigt den mit Mikrosystemtechnik hergestellten MEMS-Infrarotemitter 94 zur Darstellung der Möglichkeit des Mikroheizens. Durch Oberflächenbeschichtung mit einem der oben erläuterten für Elektronenemission oder Ionenemission geeigneten Materialien lässt sich die erste Elektrode 30, 31 zusammen mit einer Heizeinrichtung 96 aufbauen.
  • Gemäß der Erfindung erreicht man das Aufbrechen der elektrostatischen Bindung durch Ausbilden von elektrischen Leitungsspitzen und Kanten insbesondere mit Nanometer-Dimensionen. Beispielsweise werden Platin-Nanoemitter-Spitzen 98 wie in Fig. 15 gezeigt an der Platinelektrode 66 ausgebildet. Für nähere Einzelheiten wird auf das von dem Bundesministerium für Bildung und Forschung unterstützte Projekt "NACHOS" von A. Krenkow verwiesen. An den scharfen Ecken und Kanten und insbesondere an Spitzen im Nanometerbereich bilden sich sehr hohe elektrische Felder aus, die zum Aufbrechen der elektrostatischen Bindungen benutzbar sind.
  • Fig. 16 zeigt demgemäß Ionenströme, die von Platin-Festkörperoberflächen mit Nano-Emitter-Spitzen 98 (Kurve 100) und ohne Nano-Emitter-Spitzen (Kurve 102) gemessen worden sind. Es ist eine deutliche Verbesserung der Ionenströme durch bereits eine kleine Anzahl von Nano-Emitter-Spitzen 98 erzielbar. Der erste Peak 104 zeigt eine Messung mit Ethin und der zweite Peak mit H2 an.
  • Bezugszeichenliste
  • 10
    Mobilitätsspektrum
    12
    Detektionsvorrichtung
    14
    Ionen-Mobilitäts-Spektrometer
    16
    Ionisationsvorrichtung
    18
    IMS-Driftröhre
    20
    Moleküle
    22
    Probengas
    24
    Reaktionsraum
    26
    Einlass
    28
    Ionisationsquelle
    30
    Beleuchtungseinrichtung
    31
    erste Elektrode
    32
    erste Elektrode
    34
    Festkörperoberfläche
    36
    LED
    38
    Laser
    40
    zweite Elektrode
    42
    Steuergitter
    44
    Öffnungen
    45
    Ionen
    46
    Ionen
    47
    Ionen
    48
    Durchlassgitter
    50
    elektrisches Feld
    52
    Driftraum
    54
    Driftringe
    56
    Sammelektrode
    58
    Öffnung für Driftgas
    60
    Driftgas
    62
    Verstärker
    64
    Auswerteeinheit
    66
    Platinelektrode
    68
    Gegenelektrode
    70
    Emitteroberfläche
    71
    Licht
    72
    Elektronenemission
    74
    Elektron
    76
    Strom von Reaktant-Ionen
    78
    Strom von Analyt-Ionen
    80
    n-Typ-Halbleiter
    82
    Bandlücke
    84
    Leitungsband
    86
    Valenzband
    88
    p-Typ-Halbleiter
    90
    Ladungsverteilung
    92
    leitendes Substrat
    94
    MEMS-Infrarot-Emitter
    96
    Heizeinrichtung
    98
    Nanoemitter-Spitzen
    100
    Ionen-Emissionsstrom aus Pt-Oberfläche mit Nanoemitter-Spitzen
    102
    Ionen-Emissionsstrom aus Pt-Oberfläche ohne Nanoemitter-Spitzen
    104
    erster Peak
    106
    zweiter Peak
    L
    Driftlänge

Claims (14)

  1. Ionisationsverfahren zur Ionisierung von zu untersuchenden gasförmigen oder dampfförmigen Stoffen (22), gekennzeichnet durch die Schritte
    • Vorsehen einer aus Metall gebildeten, Nanodrähte, Nanogitter, Nanorippen und/oder Nanospitzen (98) aufweisenden Festkörperoberfläche (34);
    • Leiten des zu untersuchenden Stoffes (22) zu einer Festkörperoberfläche (34); und
    • Beleuchten der Festkörperoberfläche (34) zum Emittieren von Elektronen, um so Moleküle des zu untersuchenden Stoffes (22) zu ionisieren.
  2. Ionisationsverfahren nach Anspruch 1,
    gekennzeichnet durch Anlegen einer gegenüber dem elektrischen Potential an der Festkörperoberfläche (34) positiven elektrischen Spannung an einer Gegenelektrode (68), um negative Ionen zu erzeugen oder
    gekennzeichnet durch Anlegen einer gegenüber dem elektrischen Potential an der Festkörperoberfläche (34) negativen elektrischen Spannung an einer Gegenelektrode (68), um positive Ionen (45, 46, 47) zu erzeugen.
  3. Ionisationsverfahren nach Anspruch 2,
    dadurch gekennzeichnet,
    dass die Beleuchtung und die Spannung derart ausgewählt werden, dass Elektronen (74) aus der Festköperoberfläche (34) emittiert werden, um mit den emittierten Elektronen (74) Ionen (76, 78) zu erzeugen oder
    dass mit den emittierten Elektronen (74) Sauerstoffionen aus Sauerstoffmolekülen aus der Atmosphäre erzeugt werden und mit den Sauerstoffionen Moleküle eines zu untersuchenden Stoffes ionisiert werden, die eine größere Elektronenaffinität als Sauerstoffmoleküle haben oder
    dass die Festkörperoberfläche (34) derart beleuchtet wird, dass Elektronen (74) von an der Festkörperoberfläche (34) adsorbierten Molekülen des zu untersuchenden Stoffes von ihrem Grundzustand auf eine Energie angeregt werden, die größer als die Fermi-Energie des Festkörpermaterials an der Festkörperoberfläche (34) ist.
  4. Ionisationsverfahren nach einem der voranstehenden Ansprüche,
    dadurch gekennzeichnet,
    dass als Festkörperoberfläche (34) eine Metalloberfläche oder eine Edelmetalloberfläche, insbesondere ausgewählt aus einer Gruppe von Edelmetallen, die Platin, Palladium, Iridium und Gold enthält, verwendet wird.
  5. Ionisationsverfahren nach einem der voranstehenden Ansprüche,
    dadurch gekennzeichnet,
    dass die Festkörperoberfläche (34) beheizt wird.
  6. Detektionsverfahren zur Detektion und/oder Identifikation von Gasen und/oder Dämpfen mittels Ionen-Mobilitätsspektrometrie,
    gekennzeichnet durch
    Ionisation der zu untersuchenden Stoffe (22) mittels eines Ionisationsverfahrens nach einem der voranstehenden Ansprüche.
  7. Detektionsverfahren nach Anspruch 6,
    gekennzeichnet durch
    Identifikation der zu untersuchenden Stoffe (22) anhand der Photonenergie und/oder anhand einer Driftzeit der ionisierten Stoffe durch einen Driftraum (52) mit einem die Ionen (45, 46, 47) beeinflussenden Feld (50).
  8. Ionisationsvorrichtung zur Ionisation von zu untersuchenden gasförmigen Stoffen mit einem Reaktionsraum (24), in den der zu untersuchende Stoff (22) geleitet werden kann, wobei der Reaktionsraum (24) eine erste Elektrode (31, 32) mit einer Festkörperoberfläche (34) enthält, die dem zu untersuchenden Stoff (22) unmittelbar ausgesetzt ist und wobei eine Beleuchtungseinrichtung (30) vorgesehen ist zur Beleuchtung der Festkörperoberfläche (34), wobei die Festkörperoberfläche (34) zur Ionisierung von Molekülen des zu untersuchenden Stoffes durch photoinduzierten Elektronentransfer an der Festkörperoberfläche (34) gebildet ist aus einem Material, das ausgewählt ist aus einer Gruppe, die
    • Metalle,
    • Edelmetalle, insbesondere Pt, Pd, Ir und Au, enthält,
    dadurch gekennzeichnet, dass die Festkörperoberfläche (34) Nanodrähte, Nanogitter, Nanorippen und/oder Nanospitzen (98) aufweist.
  9. Ionisationsvorrichtung nach Anspruch 8,
    dadurch gekennzeichnet,
    dass eine zweite Elektrode (40) vorgesehen ist, an die relativ zur ersten Elektrode (31, 32) mit der Festkörperoberfläche (34) eine positive oder negative Spannung anlegbar ist.
  10. Ionisationsvorrichtung nach Anspruch 9,
    dadurch gekennzeichnet,
    dass die zweite Elektrode (40) mit Öffnungen (44) zum Durchtritt der Ionen (45, 46, 47) versehen ist.
  11. Ionisationsvorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 10,
    dadurch gekennzeichnet,
    dass die erste Elektrode (31, 32) und/oder deren belichtbare Festkörperoberfläche (34) und/oder die Ionisationsvorrichtung (16) in MEMS-Technik ausgebildet ist.
  12. Ionisationsvorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 11,
    gekennzeichnet durch eine Heizeinrichtung (96) zum Heizen der ersten Elektrode (31, 32) und/oder deren belichtbare Festkörperoberfläche (34).
  13. Ionisationsvorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 12,
    dadurch gekennzeichnet,
    dass die Beleuchtungseinrichtung (30) eine Lichtquelle aufweist, die ausgewählt ist aus einer Gruppe, die Weißlichtquellen, LED's (36), GaAs-LEDs, Laser (38), Single-Frequenz-Laser und abstimmbare Laser umfasst.
  14. Detektionsvorrichtung (12) zur Detektion von Gasen oder Dämpfen, mit einem Ionen-Mobilitäts-Spektrometer (14),
    dadurch gekennzeichnet,
    dass das Ionen-Mobilitäts-Spektrometer (14) eine Ionisationsvorrichtung (16) nach einem der Ansprüche 8 bis 13 aufweist.
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