EP2523776B1 - Vorrichtung und verfahren zur bestimmung der position einer arbeitsfläche einer arbeitsscheibe - Google Patents

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EP2523776B1
EP2523776B1 EP11702918.1A EP11702918A EP2523776B1 EP 2523776 B1 EP2523776 B1 EP 2523776B1 EP 11702918 A EP11702918 A EP 11702918A EP 2523776 B1 EP2523776 B1 EP 2523776B1
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EP
European Patent Office
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working
beam guiding
working gap
double
guiding device
Prior art date
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Not-in-force
Application number
EP11702918.1A
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English (en)
French (fr)
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EP2523776A1 (de
Inventor
Ingo Grotkopp
Wolfgang Habbecke
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Peter Wolters GmbH
Original Assignee
Peter Wolters GmbH
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Publication date
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B7/00Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
    • B24B7/10Single-purpose machines or devices
    • B24B7/16Single-purpose machines or devices for grinding end-faces, e.g. of gauges, rollers, nuts, piston rings
    • B24B7/17Single-purpose machines or devices for grinding end-faces, e.g. of gauges, rollers, nuts, piston rings for simultaneously grinding opposite and parallel end faces, e.g. double disc grinders
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • B24B37/07Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
    • B24B37/08Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for double side lapping
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B49/00Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
    • B24B49/12Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation involving optical means

Definitions

  • the invention relates to a device for determining the position of a work surface of a working disk of a double-side processing machine, in particular a double-side grinding machine, according to the preamble of claim 1.
  • Basis for the preamble forms in DE 24 27 709 described double side processing machine.
  • the invention also relates to a method for determining the position of a working surface of a working disk of a double-side processing machine, in particular a double-side grinding machine, in particular with the device according to the invention.
  • process parameters for compensation of wear of the working disks are determined by means of process tests. These delivery parameters indicate the number of delivery steps and their size and distribution between the upper and lower working disk.
  • the problem is that fluctuations in the frame parameters can not be considered. Such variations may be due, for example, to blank size, blank stock, disc manufacture or related tolerances, condition and temperature of a coolant, condition of a dressing tool, and so on. Even small variations in such frame parameters can have a significant impact on the delivery ratio, but often remain undetected by an operator in the field.
  • the workpieces to be processed are usually fed in and out with feed and discharge devices in the grinding gap.
  • the positioning of the supply and discharge devices relative to the grinding gap must be accurate to a size of 10 microns, so that the workpieces can enter or exit easily.
  • a change in position of the grinding gap is problematic in this respect and has hitherto been avoided by regular dressing.
  • a new reference surface on the working disk is repeatedly created, the position of which is known from the position of the dressing tool.
  • this type of referencing is cumbersome and undesirable.
  • DE 24 27 709 a mechanical scanning of the working disk surface is suggested by means of a pendulum sensor in contact with the disk.
  • DE 195 37 586 A1 an optical measurement for the determination of surfaces, surface profiles and volumes by means of confocal imaging is proposed, wherein rays are transmitted to and reflected by the optical fiber bundle on the object and fed to a detector which performs a simultaneous detection of the reflected rays.
  • both measuring methods have the weakness that they provide permanently good measurement data only when the processing machine is stationary.
  • Mechanical probes, how they look DE 24 27 709 A1 are known, subject to measurements on a running machine, especially a grinding machine, regularly a considerable wear when they come into contact with the work surface.
  • a particular problem with the measurement during operation of double-side processing machines is the usually very narrow working gap.
  • the target thickness of the machined workpieces is determined by the distance between the two working disks to each other. Not infrequently, this distance is on the order of a few millimeters. For this reason, known sensors can not be used for a measurement in the working gap.
  • the present invention seeks to provide a device and a method of the type mentioned, with which the position of the working surface of a working disk reliably determine even at a narrow working gap and during operation of the machine.
  • the invention solves the problem in that the optical measuring device has a beam guiding device which is adapted to be at least partially inserted into the working gap, wherein the beam guiding device is located in the working gap at a introduced into the working gap beam guiding device Having outlet for generated by the radiation source optical radiation, and wherein the beam guiding device, the optical radiation from the radiation source first essentially leads parallel to the work surfaces in the working gap, deflected at a measuring location via at least one deflection surface on a work surface, receives from the working surface reflected radiation and again leads out of the working gap to the optical detector means, wherein the evaluation device is adapted to a reference Detection result of the detector device to determine the position of the working surface, and that the beam guiding device has a fluid supply connected to a fluid supply, with at least one of the optical radiation after exiting the outlet opening of the beam guiding device in the working gap traversed measuring range is flushed.
  • a distance, in particular a vertical distance, of the working surface relative to a reference position, for example a reference position of the optical measuring device is determined for determining the position of the working surface.
  • the distance of the working surface can be determined to a point on the deflection surface of the beam guiding device or a reference point of the detector device whose locations are known.
  • the invention is based, on the one hand, on the idea that the components of the optical measuring device which require more installation space are arranged outside the working gap, wherein only the measuring beam is guided into the working gap by means of the beam guiding device and is led out therefrom again.
  • the beam guiding device has a fluid supply, with which the area around the outlet opening of the radiation and in particular between the outlet opening and the working surface is flushed, so that no disturbing influences by processing media, such as cooling lubricant done.
  • a gas or a liquid can be supplied for rinsing. Examples include nitrogen, compressed air, water, oil, etc.
  • the measurement according to the invention should be done comparatively close to the edge of the working disk or work surface, since this edge is particularly critical in terms of wear.
  • the components of the optical measuring device located outside the working gap can be arranged in a protective housing arranged outside the working gap or the working disk circumference be arranged to be protected from contamination or entry of processing media.
  • the double-side processing machine can be a double-side grinding machine, in particular for plan machining of flat workpieces. In grinding machines occurs a high wear of the work surfaces and thus a special need for the position determination according to the invention.
  • the working gap may have, for example, a thickness of less than 5 mm, in particular less than 3 mm.
  • the position of the working surface can be reliably measured with a measuring error of less than 5 ⁇ m at a working gap with a width of not more than 2 mm can.
  • the beam guiding device can have a guide channel opening into the outlet opening for guiding the optical radiation in the working gap, wherein the at least one deflection surface within the guide channel, for example at the end of the guide channel , is arranged.
  • the fluid for rinsing the measuring range can also be supplied through the channel and exit from the channel through the same outlet opening as the optical radiation.
  • the optical radiation in an optical fiber or to form the channel by a transparent beam guiding medium, for example a transparent solid, such as Plexiglas.
  • a transparent beam guiding medium for example a transparent solid, such as Plexiglas.
  • the optical radiation source may be a laser source in a particularly practical manner.
  • the evaluation device can be designed to determine the position of the working surface on the basis of a propagation time measurement of the optical radiation. By evaluating the transit time of the optical radiation between the time of emission by the optical radiation source and the time of detection by the detector device, the path traveled by the optical radiation from the radiation source to the working surface and back to the detector can be determined in a manner known per se , Thereby, the position of the work surface relative to the optical radiation source and / or the detector device can be determined.
  • the optical measuring device can also be a triangulation measuring device. Triangulation-based measuring devices are known and commercially available.
  • an adjusting device can be provided be, with which the beam guiding device is movable into and out of the working gap in the working gap.
  • the adjusting device can have a pivoting arm holding the beam guiding device with which the beam guiding device can be pivoted into and out of the working gap into the working gap. The beam guiding system can therefore be moved, so that it can be moved on the one hand for the measurement in the working gap and then moved out of the gap.
  • the machining process can be stopped when a predetermined limit deviation between the measured work surface profile and the desired profile is exceeded.
  • a notification can then also be made to an operator of the machine, for example, in that a dressing process for the working disks is required.
  • the early detection of a change in the working wheel profile can be compensated by a suitable adaptation of the process parameters, so that the total number of required dressing operations is reduced.
  • the adaptation of the process parameters can be selected automatically or manually on the basis of the evaluation data of the evaluation device.
  • the beam guidance system according to the invention is so flat that it can also be inserted into particularly narrow work gaps.
  • the beam guiding device can have a height of less than 5 mm, in particular less than 3 mm, in a direction perpendicular to the main beam guiding direction (ie, usually in the vertical direction during operation of the device).
  • the device has a second beam guiding device, which is designed to be at least partially inserted into the working gap, wherein the second beam guiding device comprises an outlet opening for one of the two beam guiding devices introduced into the working gap in the working gap Radiation source generated optical radiation, and wherein the second beam guiding device, the optical radiation initially from the radiation source leads substantially parallel to the work surfaces in the working gap, deflected at a measuring location via at least one deflection on the other of the two work surfaces, reflected from this work surface Receives radiation and again out of the working gap leads to an optical detector device, wherein an evaluation device is adapted to, based on a detection result of the Det ektor friendship determine the position of this work surface, and that the second beam guiding device also has a fluid supply connected to a fluid supply, with the at least one of the optical radiation after exiting the outlet opening of the second beam guiding device in the working gap swept second measuring range is flushable.
  • the double side processing machine may be a continuous processing machine in which each workpiece to be machined is fed into and out of the working nip during its machining operation.
  • Such continuous processing machines also Double Disc Grinding Due to the large number of workpieces entering the working gap, (DDG) machines require an exact detection of the wear of the working surfaces and thus an impermissible gap change. Otherwise, it may lead to inaccurate introduction of the workpieces in the working gap and thus to machining errors.
  • a measurement of the position of the work surface is also possible during workpiece machining.
  • the double-side machining machine works on the principle of planetary kinematics, in the working gap so at least one rotor disc is arranged, which receives in recesses to be machined workpieces and by means of a rolling device is set in rotation, whereby the at least one rotor disc and thus the in their recorded workpieces move along cycloidal paths in the working gap.
  • the advantage lies in the fact that, in particular with an adjustability of the beam guiding device, also the disk shape, in particular a disk topography, can be measured. When tuning machines with planetary kinematics, this can be crucial.
  • the double-side processing machine comprises a control device which regulates the position of the working surface and / or the width of the working gap to a constant value on the basis of the position determined by the evaluation device of the working surface.
  • a work disk control device can be provided, which is designed to adjust at least the work disk measured by the optical radiation in its particularly vertical position. For example, due to wear, the thickness of the work covering of the measured working disk can decrease.
  • the control device can be controlled so that this concerned working disk again nach Pope in a position in which the work surface again assumes its predetermined desired position and / or the working gap again its predetermined nominal width.
  • FIGS. 1 to 7 a device 10 according to the invention for determining the position of the working surface of a working disk of a double-side grinding machine is shown.
  • the upper working disk 12 and the lower working disk 14 are shown in the figures for the sake of simplicity.
  • At least one of the cylindrical working disks 12, 14 is rotatably drivable in a conventional manner via a suitable drive about a vertical axis of rotation.
  • the upper working disk 12 has a particular in the enlarged view in FIG FIG. 6 to be recognized upper working surface 16.
  • the lower working disk 14 has a working surface 16 of the upper working disk 12 facing lower working surface 18.
  • the working wheels 12, 14 part of a double-sided grinding machine by the continuous process in which the workpieces to be processed are fed in and out by means of a feed device, not shown, during a machining process in the working gap.
  • a feed device not shown
  • the double-side grinding machine is a double-sided grinding machine with planetary kinematics, in which the workpieces to be machined are located in the working gap arranged carriers and are moved together with the carriers along cycloid trajectories in the working gap.
  • the device 10 has an optical measuring device 24, which is arranged in a protective housing 22 outside the working gap 20.
  • it is a known triangulation sensor, comprising a laser source, an optical detector device and an evaluation device.
  • the protective housing 22 is arranged outside the working gap 20
  • an approximately semi-oval in the plan view beam guide device 26 is inserted into the working gap 20.
  • the beam guiding device 26 has a channel 28, at whose end facing away from the housing 22 in the working gap a particular in FIG. 6 to be recognized and compared to the vertical by 45 ° inclined deflection surface 30 for optical radiation, formed for example by a deflection mirror or a deflection prism, is provided.
  • the channel 28 has an outlet opening 32 which is open toward the lower working surface 18.
  • laser radiation 34 emitted by the laser source is guided through an opening 36 of the housing 22 into the channel 28 and thus parallel to the working surfaces 16, 18 in the working gap 20 and to the deflection surface 30.
  • the radiation 34 is deflected by 90 ° down to the lower working surface 18.
  • the radiation 34 is reflected by the lower working surface 18 and reaches back to the deflection surface 30, which in turn deflects this by 90 ° in a direction parallel to the work surfaces 16, 18 and out of the working gap.
  • the radiation passes back through the opening 36 back into the housing 22 and to the optical detector means.
  • the evaluation device determines the position of the lower working surface 18 relative to a reference position of the arranged in the housing 22 optical measuring device 24 according to the triangulation principle.
  • the beam guiding device 26 has a fluid supply 38 which is connected to a fluid supply (not shown).
  • compressed air is supplied from the fluid supply 38 to the channel 28 via a feed channel 40, so that the compressed air also flows through the channel 28 and strikes the lower working surface 18 through the outlet opening 32.
  • the channel 28 and in particular the outlet opening 32 and the measuring range between the outlet opening 32 and the point of impact of the optical radiation 34 are flushed on the lower working surface 18. So there is no distortion of the measurement due to processing media or other contaminants, such as abraded particles.
  • the housing 22 and with it the beam guiding device 26 can be pivoted out of the working gap 20 about a vertical axis from the operating position shown in the figures. In this way it is possible to use the device only for a measuring operation in the working gap 20 introduce. However, it is also possible to record a surface profile of the lower working surface 18 by pivoting the beam guiding device during a measuring process.
  • a second beam guiding device can additionally be provided, which directs optical radiation in an analogous manner, as shown in the figures, to the upper working surface 16 in order also to determine its position.
  • the construction and the function of the second beam guiding device can be identical to the beam guiding device 26 shown in the figures. It is also possible to use the components of the optical measuring device 24 for the second beam guidance device. However, it is also possible to provide these components separately for the second beam guidance device. Based on the measurement of both working surfaces 16, 18, a direct measurement of the thickness of the working gap 20 is possible with the evaluation device.
  • FIG. 8 is a time course of a determined with the device according to the invention position of the lower working surface 18 is shown relative to a reference position, wherein the lower working surface 18 approximately in the periods 150 s to 180 s and 275 s to about 320 s by about 10 microns down has been.
  • the data were taken on a DDG600 machine of the applicant with a conventional grinding wheel. How out FIG. 8 can be further seen, the measurement according to the invention with a measurement tolerance of a few micrometers is exactly possible.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Bestimmung der Position einer Arbeitsfläche einer Arbeitsscheibe einer Doppelseitenbearbeitungsmaschine, insbesondere einer Doppelseitenschleifmaschine, nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Basis für den Oberbegriff bildet die in DE 24 27 709 beschriebene Doppelseitenbearbeitungsmaschine.
  • Die Erfindung betrifft außerdem ein Verfahren zur Bestimmung der Position einer Arbeitsfläche einer Arbeitsscheibe einer Doppelseitenbearbeitungsmaschine, insbesondere einer Doppelseitenschleifmaschine, insbesondere mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung.
  • Bei Doppelseitenschleifmaschinen ist das Finden der Position der Arbeitsfläche insbesondere der unteren Arbeitsscheibe während der Nutzung der Anlage von entscheidender Bedeutung. Vorab werden durch Prozessversuche Zustellungsparameter für eine Kompensation von Verschleiß der Arbeitsscheiben ermittelt. Diese Zustellparameter geben die Anzahl der Zustellungsschritte und deren Größe und Verteilung zwischen der oberen und unteren Arbeitsscheibe wieder. Problematisch ist dabei, dass Schwankungen in den Rahmenparametern nicht berücksichtigt werden können. Derartige Schwankungen können beispielsweise im Rohteilmaß, Rohteilmaterial, der Scheibenherstellung bzw. zugehöriger Toleranzen, Zustand und Temperatur eines Kühlmittels, Zustand eines Abrichtwerkzeuges usw. bedingt sein. Selbst kleine Schwankungen solcher Rahmenparameter können auf das Zustellverhältnis erheblichen Einfluss nehmen, bleiben jedoch von einem Bediener in der Praxis oftmals unentdeckt.
  • Insbesondere beim sogenannten Durchlaufschleifen tritt bei Verwendung von konventionellen Schleifwerkzeugen (zum Beispiel Korundscheiben) ein vergleichsweise hoher Verschleiß auf. Diese Abnutzung muss kompensiert werden, da anderenfalls die bearbeiteten Werkstücke immer dicker werden würden. Dies geschieht durch eine kontinuierliche Nachstellung einer oder beider Arbeitsscheiben, wobei beispielsweise ein konstanter Wert pro Zeiteinheit zugestellt werden kann oder eine Nachvermessung der bearbeiteten Werkstücke den nachzustellenden Wert liefert. Problematisch ist jedoch, dass die beiden Arbeitsscheiben an einer derartigen Durchlaufdoppelseitenschleifmaschine nicht notwendigerweise in gleicher Weise verschleißen. Eine gleichmäßige Zustellung der Arbeitsscheiben führt daher zu einer schleichenden Verschiebung des Bearbeitungsspalts. Bei Doppelseitenbearbeitungsmaschinen nach dem Durchlaufverfahren werden die zu bearbeitenden Werkstücke überlicherweise mit Zu- und Abführvorrichtungen in den Schleifspalt ein- bzw. herausgeführt. Die Positionierung der Zu- und Abführvorrichtungen relativ zu dem Schleifspalt muss in einer Großenordnung von 10 µm genau erfolgen, damit die Werkstücke problemlos ein- bzw. auslaufen können. Eine Lageveränderung des Schleifspalts ist insofern problematisch und wurde bisher durch ein regelmäßiges Abrichten vermieden. Dadurch wird immer wieder eine neue Referenzfläche auf der Arbeitsscheibe geschaffen, deren Lage aus der Position des Abrichtwerkzeuges bekannt ist. Da jeder Abrichtvorgang jedoch eine vergleichsweise große Menge von Schleifscheibenvolumen vernichtet, ist diese Art der Referenzierung aufwendig und unerwünscht. Das gleiche Problem kann bei Bearbeitungsmaschinen mit Planetenkinematik auftreten, bei denen die Werkstücke in Läuferscheiben gehalten und entlang zykloidischer Bahnen in dem Arbeitsspalt bewegt werden. Bei diesem Bearbeitungsverfahren können die Werkstücke zu Beginn und am Ende der Bearbeitung automatisiert be- und entladen werden, wozu die Position der Arbeitsfläche ebenfalls genau bekannt sein muss.
  • In DE 24 27 709 wird eine mechanische Abtastung der Arbeitsscheibenoberfläche mittels eines mit der Scheibe in Kontakt stehenden Pendelfühlers vorgeschlagen. In DE 195 37 586 A1 wird eine optische Messung zur Bestimmung von Oberflächen, Oberflächenprofilen und Volumina mittels konfokaler Abbildung vorgeschlagen, wobei über ein Lichtleitfaserbündel Strahlen auf das Objekt gesandt und von diesem reflektiert und einem Detektor zugeführt werden, der eine gleichzeitige Erfassung der reflektierten Strahlen vornimmt. Beide Messverfahren weisen jedoch die Schwäche auf, dass sie nur bei stehender Bearbeitungsmaschine dauerhaft gute Messdaten liefern. Mechanische Messtaster, wie sie aus DE 24 27 709 A1 bekannt sind, unterliegen bei Messungen an einer laufenden Bearbeitungsmaschine, insbesondere einer Schleifmaschine, regelmäßig einem erheblichen Verschleiß, wenn sie mit der Arbeitsoberfläche in Berührung kommen. Dieses Problem konnte auch durch optimierte Ausgestaltungen der Messfühler hinsichtlich Formgebung, Beschichtung oder Reduzierung der Auflagekraft nicht gelöst werden. Die bekannten optische Systeme leiden darunter, dass sich im Betrieb der Bearbeitungsmaschine in dem Messbereich zwischen Sensor und Arbeitsscheibe Bearbeitungsmedien, beispielsweise Kühlschmierstoffe sowie Abtriebpartikel befinden, wodurch die Messung beeinträchtigt oder unmöglich gemacht wird. Der Bearbeitungsprozess muss für die Messung also unterbrochen werden, was grundsätzlich unerwünscht ist.
  • Für die Vermessung der Umfangsfläche von rotierenden Werkzeugen wird in DE 198 13 041 A1 ein Dopplerverfahren auf Basis elektromagnetischer Strahlung vorgeschlagen, welches gegenüber Kühlschmiermittel und Partikeln unempfindlich sein soll. Allerdings kann mit diesem Verfahren lediglich eine Veränderung der Oberflächengeschwindigkeit einer Arbeitsscheibe festgestellt werden, wie sie insbesondere auftritt, wenn eine mit konstanter Drehzahl laufende Umfangsarbeitsscheibe durch Verschleiß eine Verringerung des Durchmessers erfährt. Mit dieser bekannten Vorrichtung lässt sich eine Abnutzung eines Schleifbelags an der Stirnseite einer Schleifscheibe jedoch ebenso wenig feststellen, wie eine Lageänderung eines Schleifbelags.
  • Ein besonderes Problem bei der Messung im laufenden Betrieb von Doppelseitenbearbeitungsmaschinen ist der üblicherweise sehr schmale Arbeitsspalt. So wird die Zieldicke der bearbeiteten Werkstücke durch den Abstand der beiden Arbeitsscheiben zueinander vorgegeben. Nicht selten liegt dieser Abstand in der Größenordnung weniger Millimeter. Bekannte Sensoren lassen sich aus diesem Grund nicht für eine Messung im Arbeitsspalt einsetzen.
  • Ausgehend von dem erläuternden Stand der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung und ein Verfahren der eingangs genannten Art bereitzustellen, mit denen die Position der Arbeitsfläche einer Arbeitsscheibe zuverlässig auch bei schmalem Arbeitsspalt und im Betrieb der Bearbeitungsmaschine bestimmen lässt.
  • Die Erfindung löst diese Aufgabe durch die Gegenstände der unabhängigen Ansprüche 1 und 11.
  • Vorteilhafte Ausgestaltungen finden sich in den abhängigen Ansprüchen, der Beschreibung und den Figuren.
  • Für eine Vorrichtung der eingangs genannten Art löst die Erfindung die Aufgabe dadurch, dass die optische Messeinrichtung eine Strahlführungseinrichtung aufweist, die dazu ausgebildet ist, zumindest teilweise in den Arbeitsspalt eingeführt zu werden, wobei die Strahlführungseinrichtung eine bei in den Arbeitsspalt eingeführter Strahlführungseinrichtung in dem Arbeitsspalt befindliche Austrittsöffnung für von der Strahlungsquelle erzeugte optische Strahlung aufweist, und wobei die Strahlführungseinrichtung die optische Strahlung ausgehend von der Strahlungsquelle zunächst im Wesentlichen parallel zu den Arbeitsflächen in den Arbeitsspalt führt, an einem Messort über mindestens eine Umlenkfläche auf eine Arbeitsfläche umlenkt, von der Arbeitsfläche reflektierte Strahlung aufnimmt und wieder aus dem Arbeitsspalt heraus zu der optischen Detektoreinrichtung führt, wobei die Auswerteeinrichtung dazu ausgebildet ist, anhand eines Detektionsergebnisses der Detektoreinrichtung die Position der Arbeitsfläche zu bestimmen, und dass die Strahlführungseinrichtung eine mit einer Fluidversorgung verbundene Fluidzuführung aufweist, mit der zumindest ein von der optischen Strahlung nach dem Austritt aus der Austrittsöffnung der Strahlführungseinrichtung im Arbeitsspalt durchlaufener Messbereich spülbar ist.
  • Für ein Verfahren der eingangs genannten Art löst die Erfindung die Aufgabe durch die Schritte:
    • eine Strahlführungseinrichtung wird zumindest teilweise in den Arbeitsspalt eingeführt, wobei die Strahlführungseinrichtung eine bei in den Arbeitsspalt eingeführter Strahlführungseinrichtung in dem Arbeitsspalt befindliche Austrittsöffnung für von der Strahlungsquelle erzeugte optische Strahlung aufweist,
    • von einer optischen Strahlungsquelle erzeugte optische Strahlung wird durch die Strahlführungseinrichtung ausgehend von der Strahlungsquelle zunächst im Wesentlichen parallel zu den Arbeitsflächen in den Arbeitsspalt geführt, an einem Messort über mindestens eine Umlenkfläche auf eine Arbeitsfläche umgelenkt,
    • von der Arbeitsfläche reflektierte Strahlung wird von der Strahlführungseinrichtung aufgenommen und wieder aus dem Arbeitsspalt heraus zu einer optischen Detektoreinrichtung geführt,
    • anhand eines Detektionsergebnisses der Detektoreinrichtung wird die Position der Arbeitsfläche bestimmt, und
    • zumindest während des Führens der optischen Strahlung auf die Arbeitsfläche und des Aufnehmens der von der Arbeitsfläche reflektierten Strahlung wird ein von der optischen Strahlung nach dem Austritt aus der Austrittsöffnung der Strahlführungseinrichtung im Arbeitsspalt durchlaufener Messbereich gespült.
  • Erfindungsgemäß wird zur Bestimmung der Position der Arbeitsfläche ein Abstand, insbesondere ein vertikaler Abstand, der Arbeitsfläche relativ zu einer Referenzposition bestimmt, beispielsweise einer Referenzposition der optischen Messeinrichtung. So kann beispielsweise der Abstand der Arbeitsfläche zu einem Punkt auf der Umlenkfläche der Strahlführungseinrichtung oder einem Referenzpunkt der Detektoreinrichtung bestimmt werden, deren Orte bekannt sind. Der Erfindung liegt zum einen der Gedanke zugrunde, dass die einen größeren Bauraum beanspruchenden Komponenten der optischen Messeinrichtung außerhalb des Arbeitsspalts angeordnet werden, wobei mittels der Strahlführungseinrichtung lediglich der Messstrahl in den Arbeitsspalt geleitet und wieder aus diesem herausgeführt wird. Auf diese Weise nimmt der innerhalb des Arbeitsspalts angeordnete Teil der Vorrichtung nur einen sehr geringen Bauraum ein, so dass die Messung auch bei sehr schmalen Arbeitsspalten problemlos möglich ist. Darüber hinaus weist die Strahlführungseinrichtung eine Fluidzuführung auf, mit der der Bereich um die Austrittsöffnung der Strahlung und insbesondere zwischen der Austrittsöffnung und der Arbeitsfläche freigespült wird, so dass keine störenden Einflüsse durch Bearbeitungsmedien, beispielsweise Kühlschmiermittel, erfolgen. Über die Fluidzuführung kann ein Gas oder eine Flüssigkeit zum Spülen zugeführt werden. Beispielhaft genannt seien Stickstoff, Druckluft, Wasser, Öl etc. Die erfindungsgemäße Messung sollte vergleichsweise nahe am Rand der Arbeitsscheibe bzw. Arbeitsfläche erfolgen, da dieser Rand hinsichtlich des Verschleißes besonders kritisch ist. Die außerhalb des Arbeitsspalts befindlichen Komponenten der optischen Messeinrichtung, also insbesondere die Strahlungsquelle, die Detektoreinrichtung und die Auswerteeinrichtung, können in einem außerhalb des Arbeitsspalts bzw. des Arbeitsscheibenumfangs angeordneten Schutzgehäuse angeordnet sein, um vor Verschmutzungen bzw. Eintritt von Bearbeitungsmedien geschützt zu sein.
  • Als Umlenkfläche kommen zum Beispiel Umlenkspiegel oder Umlenkprismen in Frage. Die von der Arbeitsfläche reflektierte optische Strahlung kann auf demselben oder einem anderen Weg als den Weg, über den sie in den Spalt hineingeführt wurde, aus dem Spalt herausgeführt werden. Bei der Doppelseitenbearbeitungsmaschine kann es sich um eine Doppelseitenschleifmaschine handeln, insbesondere zur Planbearbeitung flacher Werkstücke. Bei Schleifmaschinen tritt ein hoher Verschleiß der Arbeitsflächen und damit ein besonderer Bedarf hinsichtlich der erfindungsgemäßen Positionsbestimmung auf. Der Arbeitsspalt kann beispielsweise eine Dicke von weniger als 5 mm, insbesondere weniger als 3 mm besitzen.
  • Es wurde nachgewiesen, dass mit dem erfindungsgemäßen Verfahren bzw. der erfindungsgemäßen Vorrichtung auch während eines laufenden Bearbeitungsprozesses, insbesondere Schleifprozesses, die Position der Arbeitsfläche mit einem Messfehler von weniger als 5 µm bei einem Arbeitsspalt mit einer Weite von nicht mehr als 2 mm sicher gemessen werden kann.
  • Um sicherzustellen, dass keine Verschmutzungen oder Bearbeitungsmedien in unerwünschter Weise in den Strahlengang eintreten können, kann die Strahlführungseinrichtung einen in die Austrittsöffnung mündenden Führungskanal zur Führung der optischen Strahlung in dem Arbeitsspalt aufweisen, wobei die mindestens eine Umlenkfläche innerhalb des Führungskanals, beispielsweise am Ende des Führungskanals, angeordnet ist. Das Fluid zum Spülen des Messbereichs kann ebenfalls durch den Kanal zugeführt und durch dieselbe Austrittsöffnung aus dem Kanal austreten, wie die optische Strahlung.
  • Es ist aber auch denkbar, die optische Strahlung in einer Lichtleitfaser zu führen oder den Kanal durch ein transparentes Strahlführungsmedium zu bilden, beispielsweise einen transparenten Festkörper, wie Plexiglas. In den beiden vorgenannten Fällen werden die Strahlung und das Fluid dem Messbereich getrennt zugeführt.
  • Bei der optischen Strahlungsquelle kann es sich in besonders praxisgemäßer Weise um eine Laserquelle handeln. Weiter kann die Auswerteeinrichtung dazu ausgebildet sein, anhand einer Laufzeitmessung der optischen Strahlung die Position der Arbeitsfläche zu bestimmen. Durch eine Auswertung der Laufzeit der optischen Strahlung zwischen dem Zeitpunkt des Aussendens durch die optische Strahlungsquelle und dem Zeitpunkt der Detektion durch die Detektoreinrichtung kann der von der optischen Strahlung von der Strahlungsquelle bis zur Arbeitsflächenoberfläche und zurück zum Detektor zurückgelegte Weg in an sich bekannter Weise ermittelt werden. Dadurch kann die Position der Arbeitsfläche relativ zu der optischen Strahlungsquelle und/oder der Detektoreinrichtung bestimmt werden. Die optische Messeinrichtung kann aber auch eine Triangulationsmesseinrichtung sein. Auf dem Triangulationsprinzip basierende Messeinrichtungen sind an sich bekannt und kommerziell erhältlich. Neben einer Messung des Abstands der Arbeitsfläche von einem Referenzpunkt ist es auch denkbar, mittels der Triangulationsmessung eine Topographie der Arbeitsfläche zu ermitteln, indem optische Strahlung mittels einer geeigneten Optik entlang einer Linie auf die Arbeitsfläche geführt wird. Derartige Verfahren sind dem Fachmann an sich bekannt.
  • Bei einer Durchführung des Verfahrens während der Doppelseitenbearbeitung von Werkstücken in dem Arbeitsspalt wird naturgemäß auch bei fester Positionierung der Strahlzuführungseinrichtung ein Messprofil entlang der Umfangsrichtung eines Kreises mit dem Radius des Auftreffpunktes des Strahls auf die Arbeitsfläche aufgenommen. Nach einer weiteren Ausgestaltung kann eine Verstelleinrichtung vorgesehen sein, mit der die Strahlführungseinrichtung in den Arbeitsspalt hinein und aus dem Arbeitsspalt heraus bewegbar ist. Die Verstelleinrichtung kann beispielsweise einen die Strahlführungseinrichtung haltenden Schwenkarm aufweisen, mit dem die Strahlführungseinrichtung in den Arbeitsspalt hinein und aus dem Arbeitsspalt heraus schwenkbar ist. Das Strahlführungssystem kann also verfahrbar sein, so dass es einerseits für die Messung in den Arbeitsspalt gefahren und anschließend aus dem Spalt herausgefahren werden kann. Dies ist beispielsweise bei Bearbeitungsmaschinen mit Planetenkinematik denkbar, so dass die Strahlführung synchronisiert mit einer Läuferscheibenbewegung in den Spalt oder aus diesem heraus bewegt wird. Es ist jedoch auch denkbar, mit einer derartigen Verstelleinrichtung eine Messung an unterschiedlichen Orten, bei der Ausgestaltung mit einem Schwenkarm an unterschiedlichen radialen Orten, durchzuführen. Dadurch ist ein Oberflächenprofil der Arbeitsscheibe ermittelbar. Auch denkbar ist es, die Strahlführungseinrichtung auf einer Schiene zu montieren, mit der sie in den Arbeitsspalt hinein bzw. aus diesem heraus verfahrbar ist. Ein Oberflächenprofil kann beispielsweise genutzt werden, um mittels der Auswerteeinrichtung eine durch Verschleiß bedingte Abweichung des Arbeitsflächenprofils von einem Sollprofil festzustellen.
  • Auf dieser Grundlage können dann weitere Maßnahmen ergriffen werden. Beispielsweise kann der Bearbeitungsprozess bei Überschreiten einer vorgegebenen Grenzabweichung zwischen dem gemessenen Arbeitsflächenprofil und dem Sollprofil gestoppt werden. Es kann dann auch eine Benachrichtigung an einen Bediener der Maschine erstellt werden, beispielsweise dahingehend, dass ein Abrichtprozess für die Arbeitsscheiben erforderlich ist. Es ist auch möglich, aus dem jeweils gemessenen Oberflächenprofil der Arbeitsfläche mittels der Auswerteeinrichtung automatisch einen optimalen Abrichtprozess für die Arbeitsscheiben auszuwählen und gegebenenfalls vorzuschlagen, der einen minimalen Verschleiß an dem Abrichtwerkzeug und der Arbeitsscheibe erzeugt. Insbesondere bei Bearbeitungsmaschinen mit einer Planetenkinematik kann das frühzeitige Feststellen einer Veränderung des Arbeitsscheibenprofils durch eine geeignete Anpassung der Prozessparameter kompensiert werden, so dass insgesamt die Anzahl von erforderlichen Abrichtvorgängen reduziert ist. Die Anpassung der Prozessparameter kann auf Basis der Auswertedaten der Auswerteeinrichtung automatisch oder manuell ausgewählt werden.
  • Wie bereits erwähnt, ist das erfindungsgemäße Strahlführungssystem so flach, dass es auch in besonders enge Arbeitsspalte einführbar ist. Insbesondere kann die Strahlführungseinrichtung in einer senkrecht zur Hauptstrahlführungsrichtung verlaufenden Richtung (im Betrieb der Vorrichtung also üblicherweise in vertikaler Richtung) eine Höhe von weniger als 5 mm, insbesondere weniger als 3 mm, aufweisen.
  • Nach einer weiteren Ausgestaltung kann vorgesehen sein, dass die Vorrichtung eine zweite Strahlführungseinrichtung aufweist, die dazu ausgebildet ist, zumindest teilweise in den Arbeitsspalt eingeführt zu werden, wobei die zweite Strahlführungseinrichtung eine bei in den Arbeitsspalt eingeführter zweiter Strahlführungseinrichtung in dem Arbeitsspalt befindliche Austrittsöffnung für von einer Strahlungsquelle erzeugte optische Strahlung aufweist, und wobei die zweite Strahlführungseinrichtung die optische Strahlung ausgehend von der Strahlungsquelle zunächst im Wesentlichen parallel zu den Arbeitsflächen in den Arbeitsspalt führt, an einem Messort über mindestens eine Umlenkfläche auf die jeweils andere der beiden Arbeitsflächen umlenkt, von dieser Arbeitsfläche reflektierte Strahlung aufnimmt und wieder aus dem Arbeitsspalt heraus zu einer optischen Detektoreinrichtung führt, wobei eine Auswerteeinrichtung dazu ausgebildet ist, anhand eines Detektionsergebnisses der Detektoreinrichtung die Position dieser Arbeitsfläche zu bestimmen, und dass die zweite Strahlführungseinrichtung ebenfalls eine mit einer Fluidversorgung verbundene Fluidzuführung aufweist, mit der zumindest ein von der optischen Strahlung nach dem Austritt aus der Austrittsöffnung der zweiten Strahlführungseinrichtung im Arbeitsspalt durchlaufener zweiter Messbereich spülbar ist. Es ist dabei möglich, eine zweite Strahlungsquelle, zweite Detektoreinrichtung, zweite Auswerteeinrichtung und/oder zweite Fluidzuführung für den zweiten Strahlungsweg vorzusehen. Es ist jedoch auch denkbar, eine gemeinsame Strahlungsquelle, Detektoreinrichtung, Auswerteeinrichtung und/oder Fluidzuführung für beide Strahlungswege vorzusehen. Durch eine Kombination zweier Messwege mit entsprechenden Bauteilen, sei dies in einem Gehäuse oder in zwei getrennten Gehäusen, lassen sich bei einer Doppelseitenbearbeitungsmaschine beide Arbeitsscheiben gleichzeitig vermessen. Es ist also möglich, den Arbeitsspalt selbst zu vermessen. Insbesondere bei den engen Maßtoleranzen geschliffener Werkstücken ist das Maß des Arbeitsspalts sehr genau einzuhalten. Das Arbeitsspaltmaß unterliegt in der Praxis erheblichen Störeinflüssen, beispielsweise Verschleiß der Arbeitsscheiben, thermisch bedingter Verformung von Maschinenkomponenten (Rahmen, Spindeln, etc.) oder elastischer Verformung aufgrund von Krafteinwirkung. Bei bekannten Maschinen für das Doppelseitenplanschleifen insbesondere im Durchlaufverfahren wird versucht, diese Störeinflüsse durch eine 100%-Vermessung der bearbeiteten Bauteile sowie durch Temperiereinrichtungen und eine besonders steife Auslegung des Maschinengestells zu minimieren. Mit vertretbarem Aufwand ist dies jedoch nur begrenzt möglich. Durch eine direkte Vermessung des Schleifspalts an den Arbeitsscheibenoberflächen können diese Störgrößen gemeinsam erfasst und durch eine geeignete Regelung durch die Auswerteeinrichtung kompensiert werden, indem die Arbeitsscheiben entsprechend zugestellt werden. Es ergeben sich ungleich höhere Bearbeitungsgenauigkeiten als bei den bekannten Lösungen.
  • Bei der Doppelseitenbearbeitungsmaschine kann es sich um eine Durchlaufbearbeitungsmaschine handeln, bei der jedes zu bearbeitende Werkstück während seines Bearbeitungsvorgangs in den Arbeitsspalt hinein und aus diesem herausgeführt werden. Derartige Durchlaufbearbeitungsmaschinen (auch Double Disc Grinding (DDG) Maschinen) erfordern wegen der großen Anzahl von in den Arbeitsspalt eintretenden Werkstücken eine genaue Verschleißerkennung der Arbeitsflächen und damit einer unzulässigen Spaltveränderung. Anderenfalls kann es zu ungenauer Einführung der Werkstücke in den Arbeitsspalt und damit zu Bearbeitungsfehlern kommen. Insbesondere bei Durchlaufbearbeitungsmaschinen ist eine Messung der Position der Arbeitsfläche auch während der Werkstückbearbeitung möglich.
  • Es ist jedoch auch möglich, dass die Doppelseitenbearbeitungsmaschine nach dem Prinzip der Planetenkinematik arbeitet, in dem Arbeitsspalt also mindestens eine Läuferscheibe angeordnet ist, die in Ausnehmungen zu bearbeitende Werkstücke aufnimmt und mittels einer Abwälzvorrichtung in Rotation versetzbar ist, wodurch die mindestens eine Läuferscheibe und damit die in ihr aufgenommenen Werkstücke sich entlang zykloidischer Bahnen in dem Arbeitsspalt bewegen. Hier liegt der Vorteil darin, dass insbesondere bei einer Verstellbarkeit der Strahlführungseinrichtung auch die Scheibenform, insbesondere eine Scheibentopographie, vermessen werden kann. Bei der Abstimmung von Maschinen mit Planetenkinematik kann dies von entscheidender Bedeutung sein.
  • Die Doppelseitenbearbeitungsmaschine umfasst eine Regeleinrichtung, die auf Grundlage der von der Auswerteeinrichtung bestimmten Position der Arbeitsfläche die Position der Arbeitsfläche und/oder die Weite des Arbeitsspalts auf einen konstanten Wert regelt. Dazu kann eine Arbeitsscheibensteuereinrichtung vorgesehen sein, die dazu ausgebildet ist, zumindest die die durch die optische Strahlung vermessene Arbeitsfläche aufweisende Arbeitsscheibe in ihrer insbesondere vertikalen Position zu verstellen. Beispielsweise aufgrund von Verschleiß kann die Dicke des Arbeitsbelages der vermessenen Arbeitsscheibe abnehmen. In diesem Fall kann durch die Regeleinrichtung die Arbeitsscheibensteuereinrichtung so angesteuert werden, dass diese die betreffende Arbeitsscheibe wieder in eine Position nachstellt, in der die Arbeitsfläche wieder ihre vorgegebene Sollposition und/oder der Arbeitsspalt wieder seine vorgegebene Sollweite einnimmt.
  • Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachfolgend anhand von Figuren näher erläutert. Es zeigen schematisch:
  • Fig. 1
    eine erfindungsgemäße Vorrichtung in einer Seitenansicht,
    Fig. 2
    einen vergrößerten Ausschnitt der Vorrichtung aus Fig. 1 in einer Schnittansicht,
    Fig. 3
    eine Draufsicht auf die Vorrichtung aus Fig. 1,
    Fig. 4
    eine Ansicht entsprechend der Ansicht aus Fig. 3, wobei die obere Arbeitsscheibe nicht dargestellt ist,
    Fig. 5
    eine teilweise perspektivische Ansicht der erfindungsgemäßen Vorrichtung,
    Fig. 6
    einen vergrößerten Ausschnitt entsprechend dem Ausschnitt A aus Fig. 2,
    Fig. 7
    einen vergrößerten Ausschnitt entsprechend dem Ausschnitt B aus Fig. 4, und
    Fig. 8
    ein Diagramm mit einem nach dem erfindungsgemäßen Verfahren aufgezeichneten Messsignal.
  • Soweit nichts anderen angegeben ist, bezeichnen in den Figuren gleiche Bezugszeichen gleiche Gegenstände. In den Figuren 1 bis 7 ist eine erfindungsgemäße Vorrichtung 10 zur Bestimmung der Position der Arbeitsfläche einer Arbeitsscheibe einer Doppelseitenschleifmaschine gezeigt. Von der Doppelseitenschleifmaschine sind in den Figuren aus Gründen der Einfachheit nur die obere Arbeitsscheibe 12 und die untere Arbeitsscheibe 14 gezeigt. Mindestens eine der zylindrischen Arbeitsscheiben 12, 14 ist in an sich bekannter Weise über einen geeigneten Antrieb um eine vertikale Drehachse rotierend antreibbar. Die obere Arbeitsscheibe 12 weist eine insbesondere in der vergrößerten Darstellung in Figur 6 zu erkennende obere Arbeitsfläche 16 auf. Die untere Arbeitsscheibe 14 besitzt eine der Arbeitsfläche 16 der oberen Arbeitsscheibe 12 zugewandte untere Arbeitsfläche 18. Zwischen den Arbeitsflächen 16, 18 begrenzen die Arbeitsscheiben 12, 14 einen Arbeitsspalt 20. In dem gezeigten Beispiel sind die Arbeitsscheiben 12, 14 Teil einer Doppelseitenschleifmaschine nach dem Durchlaufverfahren, bei dem die zu bearbeitenden Werkstücke mittels einer nicht näher dargestellten Zuführeinrichtung während eines Bearbeitungsprozesses in den Arbeitsspalt ein- und herausgeführt werden. Dies ist an sich bekannt und soll nicht näher erläutert werden. Es wäre selbstverständlich ebenfalls denkbar, dass es sich bei der Doppelseitenschleifmaschine um eine Doppelseitenschleifmaschine mit Planetenkinematik handelt, bei der die zu bearbeitenden Werkstücke sich in im Arbeitsspalt angeordneten Läuferscheiben befinden und gemeinsam mit den Läuferscheiben entlang zykloidischer Bahnen in dem Arbeitsspalt bewegt werden.
  • In dem dargestellten Beispiel weist die erfindungsgemäße Vorrichtung 10 eine optische Messeinrichtung 24 auf, welche in einem Schutzgehäuse 22 außerhalb des Arbeitsspalts 20 angeordnet ist. In dem gezeigten Beispiel handelt es sich um einen an sich bekannten Triangulationssensor, umfassend eine Laserquelle, eine optische Detektoreinrichtung und eine Auswerteeinrichtung. Während das Schutzgehäuse 22 außerhalb des Arbeitsspalts 20 angeordnet ist, ist eine in der Draufsicht etwa halbovalförmige Strahlführungseinrichtung 26 in den Arbeitsspalt 20 eingeführt. Die Strahlführungseinrichtung 26 weist einen Kanal 28 auf, an dessen dem Gehäuse 22 abgewandten Ende in dem Arbeitsspalt eine insbesondere in Figur 6 zu erkennende und gegenüber der vertikalen um 45° geneigte Umlenkfläche 30 für optische Strahlung, gebildet beispielsweise durch einen Umlenkspiegel oder ein Umlenkprisma, vorgesehen ist. Im Bereich der Umlenkfläche 30 weist der Kanal 28 eine zur unteren Arbeitsfläche 18 hin geöffnete Austrittsöffnung 32 auf. Im Betrieb wird von der Laserquelle ausgesandte Laserstrahlung 34 durch eine Öffnung 36 des Gehäuses 22 in den Kanal 28 und damit parallel zu den Arbeitsflächen 16, 18 in dem Arbeitsspalt 20 und zu der Umlenkfläche 30 geführt. Von der Umlenkfläche 30 wird die Strahlung 34 um 90° nach unten auf die untere Arbeitsfläche 18 umgelenkt. Die Strahlung 34 wird von der unteren Arbeitsfläche 18 reflektiert und gelangt zurück zu der Umlenkfläche 30, die diese wiederum um 90° umlenkt in eine Richtung parallel zu den Arbeitsflächen 16, 18 und aus dem Arbeitsspalt heraus. Nach Durchlaufen des Kanals 28 gelangt die Strahlung wieder durch die Öffnung 36 zurück in das Gehäuse 22 und zu der optischen Detektoreinrichtung. Die Auswerteeinrichtung bestimmt die Position der unteren Arbeitsfläche 18 relativ zu einer Referenzposition der in dem Gehäuse 22 angeordneten optischen Messeinrichtung 24 nach dem Triangulationsprinzip.
  • In Figur 7 ist weiterhin zu erkennen, dass die Strahlführungseinrichtung 26 eine mit einer nicht näher dargestellten Fluidversorgung verbundene Fluidzuführung 38 aufweist. In dem dargestellten Beispiel wird von der Fluidzuführung 38 dem Kanal 28 Druckluft über einen Zuführkanal 40 zugeführt, so dass die Druckluft auch den Kanal 28 durchströmt und durch die Austrittsöffnung 32 auf die untere Arbeitsfläche 18 trifft. Auf diese Weise werden der Kanal 28 und insbesondere die Austrittsöffnung 32 sowie der Messbereich zwischen der Austrittsöffnung 32 und dem Auftreffpunkt der optischen Strahlung 34 auf der unteren Arbeitsfläche 18 gespült. Es kommt also nicht zu Verfälschungen der Messung aufgrund von Bearbeitungsmedien oder anderen Verunreinigungen, wie abgeriebenen Partikeln.
  • Das Gehäuse 22 und mit ihr die Strahlführungseinrichtung 26 können um eine vertikale Achse aus der in den Figuren gezeigten Betriebsposition aus dem Arbeitsspalt 20 herausgeschwenkt werden. Auf diese Weise ist es möglich, die Vorrichtung nur für einen Messvorgang in den Arbeitsspalt 20 einzubringen. Es ist jedoch auch möglich, durch Schwenken der Strahlführungseinrichtung während eines Messvorgangs ein Oberflächenprofil der unteren Arbeitsfläche 18 aufzunehmen. Obgleich dies in den Figuren nicht dargestellt ist, kann darüber hinaus eine zweite Strahlführungseinrichtung vorgesehen sein, die optische Strahlung in analoger Weise, wie dies in den Figuren dargestellt ist, auf die obere Arbeitsfläche 16 leitet, um auch deren Position zu bestimmen. Der Aufbau und die Funktion der zweiten Strahlführungseinrichtung kann identisch zu der in den Figuren gezeigten Strahlführungseinrichtung 26 sein. Es ist möglich, für die zweite Strahlführungseinrichtung ebenfalls die Komponenten der optischen Messeinrichtung 24 zu nutzen. Es ist jedoch auch möglich, diese Komponenten für die zweite Strahlführungseinrichtung separat vorzusehen. Auf Grundlage der Vermessung beider Arbeitsflächen 16, 18 ist mit der Auswerteeinrichtung eine direkte Messung der Dicke des Arbeitsspalts 20 möglich.
  • In Figur 8 ist ein zeitlicher Verlauf einer mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung ermittelten Position der unteren Arbeitsfläche 18 relativ zu einer Referenzposition dargestellt, wobei die untere Arbeitsfläche 18 etwa in den Zeiträumen 150 s bis 180 s und 275 s bis etwa 320 s um ca. 10 µm nach unten verstellt wurde. Die Daten wurden auf einer Maschine des Typs DDG600 der Anmelderin mit einer konventionellen Schleifscheibe vorgenommen. Wie aus Figur 8 weiter zu erkennen ist, ist die erfindungsgemäße Messung mit einer Messtoleranz von wenigen Mikrometern genau möglich.

Claims (12)

  1. Doppelseitenbearbeitungsmaschine, insbesondere Doppelseitenschleifmaschine, umfassend eine Vorrichtung zur Bestimmung der Position einer Arbeitsfläche einer Arbeitsscheibe der Doppelseitenbearbeitungsmaschine wobei die Doppelseitenbearbeitungsmaschine zwei Arbeitsscheiben (12, 14) aufweist, die zwischen einander zugewandten Arbeitsflächen (16, 18) einen Arbeitsspalt (20) zur Doppelseitenbearbeitung von flachen Werkstücken bilden, und von denen mindestens eine drehend antreibbar ist,
    wobei die Vorrichtung eine optische Messeinrichtung (24) mit einer Strahlungsquelle, einer optischen Detektoreinrichtung und einer Auswerteeinrichtung umfasst, die dazu ausgebildet sind, außerhalb des Arbeitsspalts (20) angeordnet zu werden, und die Doppelseitenbearbeitungsmaschine eine Regeleinrichtung umfasst, die auf Grundlage der von der Auswerteeinrichtung bestimmten Position der Arbeitsfläche (16, 18) die Position der Arbeitsfläche (16, 18) und/oder die Weite des Arbeitsspalts (20) auf einen konstanten Wert regelt, dadurch gekennzeichnet,
    - dass die Vorrichtung eine Strahlführungseinrichtung (26) aufweist, die dazu ausgebildet ist, zumindest teilweise in den Arbeitsspalt (20) eingeführt zu werden, wobei die Strahlführungseinrichtung (26) eine bei in den Arbeitsspalt (20) eingeführter Strahlführungseinrichtung (26) in dem Arbeitsspalt (20) befindliche Austrittsöffnung (32) für von der Strahlungsquelle erzeugte optische Strahlung (34) aufweist, und wobei die Strahlrührungseinrichtung (16) die optische Strahlung (34) ausgehend von der Strahlungsquelle zunächst im Wesentlichen parallel zu den Arbeitsflächen (16, 18) in den Arbeitsspalt (20) führt, an einem Messort über mindestens eine Umlenkfläche (30) auf eine Arbeitsfläche (16, 18) umlenkt, von der Arbeitsfläche (16, 18) reflektierte Strahlung aufnimmt und wieder aus dem Arbeitsspalt (20) heraus zu der optischen Detektoreinrichtung führt, wobei die Auswerteeinrichtung dazu ausgebildet ist, anhand eines Detektionsergebnisses der Detektoreinrichtung die Position der Arbeitsfläche (16, 18) zu bestimmen,
    - dass die Strahlführungseinrichtung (26) eine mit einer Fluidversorgung verbundene Fluidzuführung (38) aufweist, mit der zumindest ein von der optischen Strahlung (34) nach dem Austritt aus der Austrittsöffnung (32) der Strahlführungseinrichtung (26) im Arbeitsspalt (20) durchlaufener Messbereich spülbar ist.
  2. Doppelseitenbearbeitungsmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlführungseinrichtung (26) einen in die Austrittsöffnung (32) mündenden Führungskanal (28) zur Führung der optischen Strahlung (34) in dem Arbeitsspalt (20) aufweist, wobei die mindestens eine Umlenkfläche (30) innerhalb des Führungskanals (28) angeordnet ist.
  3. Doppelseitenbearbeitungsmaschine nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die optische Strahlungsquelle eine Laserquelle ist.
  4. Doppelseitenbearbeitungsmaschine nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die optische Messeinrichtung (24) eine Triangulationsmesseinrichtung (24) ist.
  5. Doppelseitenbearbeitungsmaschine nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Verstelleinrichtung vorgesehen ist, mit der die Strahlführungseinrichtung (26) in den Arbeitsspalt (20) hinein und aus dem Arbeitsspalt (20) heraus bewegbar ist.
  6. Doppelseitenbearbeitungsmaschine nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Verstelleinrichtung einen die Strahlführungseinrichtung (26) haltenden Schwenkarm aufweist, mit dem die Strahlführungseinrichtung (26) in den Arbeitsspalt (20) hinein und aus dem Arbeitsspalt (20) heraus schwenkbar ist.
  7. Doppelseitenbearbeitungsmaschine nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlführungseinrichtung (26) eine Höhe von weniger als 5 mm, insbesondere weniger als 3 mm aufweist.
  8. Doppelseitenbearbeitungsmaschine nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
    - dass die Vorrichtung (10) eine zweite Strahlführungseinrichtung aufweist, die dazu ausgebildet ist, zumindest teilweise in den Arbeitsspalt (20) eingeführt zu werden, wobei die zweite Strahlführungseinrichtung eine bei in den Arbeitsspalt (20) eingeführter zweiter Strahlführungseinrichtung in dem Arbeitsspalt (20) befindliche Austrittsöffnung für von einer Strahlungsquelle erzeugte optische Strahlung aufweist, und wobei die zweite Strahlführungseinrichtung die optische Strahlung (34) ausgehend von der Strahlungsquelle zunächst im Wesentlichen parallel zu den Arbeitsflächen (16, 18) in den Arbeitsspalt (20) führt, an einem Messort über mindestens eine Umlenkfläche auf die jeweils andere der beiden Arbeitsflächen (16, 18) umlenkt, von dieser Arbeitsfläche (16, 18) reflektierte Strahlung aufnimmt und wieder aus dem Arbeitsspalt (20) heraus zu einer optischen Detektoreinrichtung führt, wobei eine Auswerteeinrichtung dazu ausgebildet ist, anhand eines Detektionsergebnisses der Detektoreinrichtung die Position dieser Arbeitsfläche (16, 18) zu bestimmen, und
    - dass die zweite Strahlführungseinrichtung ebenfalls eine mit einer Fluidversorgung verbundene Fluidzuführung aufweist, mit der zumindest ein von der optischen Strahlung (34) nach dem Austritt aus der Austrittsöffnung der zweiten Strahlführungseinrichtung im Arbeitsspalt (20) durchlaufener zweiter Messbereich spülbar ist.
  9. Doppelseitenbearbeitungsmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass es sich um eine Durchlaufbearbeitungsmaschine handelt, bei der die zu bearbeitenden Werkstücke während ihres Bearbeitungsvorgangs in den Arbeitsspalt (20) hinein und aus diesem heraus geführt werden.
  10. Doppelseitenbearbeitungsmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Arbeitsspalt (20) mindestens eine Läuferscheibe angeordnet ist, die in Ausnehmungen zu bearbeitende Werkstücke aufnimmt und mittels einer Abwälzvorrichtung in Rotation versetzbar ist, wodurch die mindestens eine Läuferscheibe und damit die in ihr aufgenommenen Werkstücke sich entlang zykloidischer Bahnen in dem Arbeitsspalt (20) bewegen.
  11. Verfahren zur Bestimmung der Position einer Arbeitsfläche einer Arbeitsscheibe einer Doppelseitenbearbeitungsmaschine, insbesondere einer Doppelseitenschleifmaschine wobei das Verfahren während der Doppelseitenbearbeitung von Werkstücken in dem Arbeitsspalt (20) durchgeführt wird, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist:
    - eine Strahlführungseinrichtung (26) wird zumindest teilweise in den Arbeitsspalt (20) eingeführt, wobei die Strahlführungseinrichtung (26) eine bei in den Arbeitsspalt (20) eingeführter Strahlführungseinrichtung (16) in dem Arbeitsspalt (20) befindliche Austrittsöffnung (32) für von der Strahlungsquelle erzeugte optische Strahlung (34) aufweist,
    - von einer optischen Strahlungsquelle erzeugte optische Strahlung wird durch die Strahlführungseinrichtung (26) ausgehend von der Strahlungsquelle zunächst im Wesentlichen parallel zu den Arbeitsflächen (16, 18) in den Arbeitsspalt (20) geführt, an einem Messort über mindestens eine Umlenkfläche (30) auf eine Arbeitsfläche (20) umgelenkt,
    - von der Arbeitsfläche (20) reflektierte Strahlung (34) wird von der Strahlführungseinrichtung (26) aufgenommen und wieder aus dem Arbeitsspalt (20) heraus zu einer optischen Detektoreinrichtung geführt,
    - anhand eines Detektionsergebnisses der Detektoreinrichtung wird die Position der Arbeitsfläche (16, 18) bestimmt,
    - zumindest während des Führens der optischen Strahlung (34) auf die Arbeitsfläche (16, 18) und des Aufnehmens der von der Arbeitsfläche (16, 18) reflektierten Strahlung (34) wird ein von der optischen Strahlung (34) nach dem Austritt aus der Austrittsöffnung (32) der Strahlführungseinrichtung (26) im Arbeitsspalt (20) durchlaufener Messbereich mittels einer mit einer Fluidversorgung verbundenen Fluidzuführung (38) der Strahlführungseinrichtung (26) gespült,
    - auf Grundlage der von der Auswerteeinrichtung bestimmten Position der Arbeitsfläche (16, 18) wird die Position der Arbeitsfläche (16, 18) und/oder die Dicke des Arbeitsspalts (20) auf einen konstanten Wert geregelt.
  12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass es in einer Doppelseitenbearbeitungsmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 10 durchgeführt wird.
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