EP2223577A1 - Verfahren und einrichtung zur zündung und aufrechterhaltung eines plasmas - Google Patents

Verfahren und einrichtung zur zündung und aufrechterhaltung eines plasmas

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EP2223577A1
EP2223577A1 EP08848925A EP08848925A EP2223577A1 EP 2223577 A1 EP2223577 A1 EP 2223577A1 EP 08848925 A EP08848925 A EP 08848925A EP 08848925 A EP08848925 A EP 08848925A EP 2223577 A1 EP2223577 A1 EP 2223577A1
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EP
European Patent Office
Prior art keywords
plasma
piezoelectric material
vessel
electrodes
gas
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP08848925A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Roland Gesche
Horia-Eugen Porteanu
Silvio Kuehn
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Forschungsverbund Berlin FVB eV
Original Assignee
Forschungsverbund Berlin FVB eV
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Filing date
Publication date
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Publication of EP2223577A1 publication Critical patent/EP2223577A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
    • H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
    • H01J65/042—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/2475—Generating plasma using acoustic pressure discharges
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/2475—Generating plasma using acoustic pressure discharges
    • H05H1/2481—Generating plasma using acoustic pressure discharges the plasma being activated using piezoelectric actuators

Definitions

  • the invention relates to a method for igniting and maintaining a plasma in a gas space and a corresponding device designed as a resonator.
  • the method and the device are particularly suitable for realizing a plasma light source.
  • Plasma light sources are an important application for gas discharge equipment. They can operate at low pressure or at high pressure.
  • hollow bodies made of glass or quartz are used.
  • the hollow bodies are filled with a gas.
  • the excitation of a gas discharge in the hollow body takes place either by electrodes within the plasma space formed by the hollow body or by externally mounted electrodes.
  • Electrodes within the hollow body are not compatible with all gases.
  • the metal of the electrodes can be attacked by the gas in the plasma chamber.
  • some of the electrode material evaporates over time. Due to this electrode wear such plasma light sources have only a limited life.
  • the metallic electrodes disturb the light guidance.
  • Arrangements are also known in which the plasma chamber has no electrodes.
  • the plasma space from the outer electrodes through a dielectric plasma vessel separated.
  • An example of such a light source is shown in WO 2006/129102 A2.
  • Light sources would be other plasma sources which have hitherto operated with internal electrodes, for example devices for dielectric heating.
  • the invention is based on the object of specifying a method and a device for igniting and maintaining a plasma in a gas space, in particular for realizing a plasma light source, in which the negative influence of the previously existing electrodes is compensated.
  • the plasma generator used is a plasma vessel with at least one cavity which itself consists at least partially of piezoelectric material or in which at least one resonant body made of piezoelectric material protrudes into the at least one cavity, the piezoelectric material being resonantly vibrated by external electrical excitation becomes. These vibrations produce in the cavity or cavities field strengths, which serve to ignite and maintain the plasma.
  • the piezoelectric material can be realized, for example, by a ferroelectric material.
  • the electric polarization can be reversed analogous to ferromagnetic substances by applying a voltage, that is, it creates by the polarity reversal and the mechanical excitation of the material along the piezoelectric excitable body at the same time, a voltage at resonant excitation peak achieved, which may be sufficient to ignite a gas discharge on the surface of this body. This creates an excitation without internal electrodes.
  • the spatially remote outer electrodes on the plasma vessel generate a high field strength directly in the plasma due to the mechanical resonance.
  • the one or more cavities of the plasma vessel are expediently transparent at least at the light exit point (s) if a plasma light source is to be realized.
  • the device according to the invention is constructed as a resonator such that a plasma vessel containing one or more cavities is made at least partially from a piezoelectric material or in each of which at least one cavity projects into a resonator body to be excited piezoelectrically.
  • the cavity or cavities contain the gas to be ionized.
  • Electro-stimulation via electrodes externally attached to the body causes the piezoelectric material to resonate, generating electric field strengths which serve to ignite and maintain a gas discharge, such that the piezoelectric material itself acts as an electrode for the plasma.
  • Ferroelectric materials are suitable because they always have a piezoelectric effect.
  • the cavity in which a plasma is to be excited is directly in communication with a piezoelectric resonance body, which optionally directly from the cavity surrounding the housing part, and the exciting electrodes mounted in any case on the outside of the housing body are to which the voltage of an oscillator is applied, thus the electrodes are no longer disturbing.
  • Suitable materials include various materials with an electric dipole moment, for example, polycrystalline ceramics such as barium titanate or lead zirconate titanate (PZT) in question, recently also lead-free piezoelectric glass ceramics and even plastics.
  • polycrystalline ceramics such as barium titanate or lead zirconate titanate (PZT) in question
  • PZT lead zirconate titanate
  • the plasma vessel may be made entirely of transparent piezoelectric material.
  • the plasma vessel is closed and hollow shaped as a ball or cylinder and is equipped on its outer wall with electrodes.
  • the plasma vessel and a resonator body projecting into it can also both consist of transparent, piezoelectric material and be fabricated together as a hollow body.
  • the plasma vessel can consist of transparent material and have an attachment of piezoelectric material on which the electrodes are arranged. It can not be either transparent piezoelectric resonance body, which is provided with electrodes, protrude into a transparent plasma container.
  • piezoelectric bodies with a plurality of cavities for example piezoelectric foam
  • cavities for example piezoelectric foam
  • These can be ignited by a common electrical vibration excitation or individually excited.
  • the invention will be explained below with reference to an embodiment.
  • the accompanying drawing shows a schematic representation of a plasma resonator according to the invention, for example for the realization of a plasma light source.
  • the plasma resonator consists of a closed housing 1, which forms a cavity 2, in which a rod-shaped sound box 3 protrudes.
  • Housing 1 and resonator 3 are made entirely of a transparent, piezoelectric material, for example, piezoelectric glass ceramic.
  • the sound box 3 is extended outward.
  • On it are two electrodes 4, to which the voltage of an oscillator 5 is guided.
  • the cavity 2 is filled with a gas to be ionized.
  • a gap 6 in which by the piezoelectric effect of the piezoelectric material of which the resonant body 3, as a result of excitation by the oscillator voltage, an electric field is formed in the at sufficient altitude, a plasma discharge is ignited and sustained.
  • the exciting electrodes 4, which are externally mounted on the resonator body 3 and to which the voltage of the oscillator 5 is applied, are thus no longer disturbing the light emanating from the plasma.

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Zündung und Aufrechterhaltung eines Plasmas in einem Gasraum und eine entsprechende, als Resonator ausgebildete Einrichtung. Das Verfahren und die Einrichtung sind insbesondere geeignet zur Realisierung einer Plasma-Lichtquelle. Vorgeschlagen wird, dass als Plasmaerzeuger ein Plasmagefäß mit mindestens einem mit dem zu ionisierenden Gas gefüllten Hohlraum verwendet wird, welches selbst mindestens teilweise aus piezoelektrischem Material besteht oder bei dem mindestens ein aus piezoelektrischem Material bestehender Resonanzkörper in den mindestens einen Hohlraum hineinragt, wobei das piezoelektrische Material durch eine äußere elektrische Anregung resonant in Schwingungen versetzt wird. Ein Plasmagefäß (1), das einen oder mehrere Hohlräume (2) enthält, die das zu ionisierende Gas enthalten, ist mindestens teilweise aus einem piezoelektrischen Material gefertigt oder es ragt ein aus piezoelektrischem Material bestehender Resonanzkörper (3) in mindestens einen Hohlraum (2) des Plasmagefäßes (1) hinein. Außen an dem piezoelektrischen Material sind Elektroden (4) angebracht.

Description

VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUR ZÜNDUNG UND AUFRECHTERHALTUNG EINES PLASMAS
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Zündung und Aufrechterhaltung eines Plasmas in einem Gasraum und eine entsprechende, als Resonator ausgebildete Einrichtung. Das Verfahren und die Einrichtung sind insbesondere geeignet zur Realisierung einer Plasma-Lichtquelle.
Plasma-Lichtquellen stellen einen wichtigen Anwendungsbereich für Gasentladungseinrichtungen dar. Sie können bei Niederdruck oder bei Hochdruck betrieben werden. Zur Realisierung solcher Lichtquellen werden Hohlkörper aus Glas oder Quarz verwendet. Die Hohlkörper sind mit einem Gas befüllt. Die Anregung einer Gasentladung in dem Hohlkörper erfolgt entweder durch Elektroden innerhalb des durch den Hohlkörper gebildeten Plasmaraumes oder durch außen angebrachte Elektroden.
Elektroden innerhalb des Hohlkörpers sind nicht mit allen Gasen verträglich. Das Metall der Elektroden kann von dem Gas im Plasmaraum angegriffen werden. Außerdem verdampft im Laufe der Zeit ein gewisser Teil des Elektrodenmaterials. Aufgrund dieses Elektrodenverschleißes haben solche Plasma-Lichtquellen nur eine begrenzte Lebensdauer. Zusätzlich stören die metallischen Elektroden die Lichtführung.
Es sind auch Anordnungen bekannt, bei denen der Plasmaraum keine Elektroden aufweist. Hier ist der Plasmaraum von den äußeren Elektroden durch ein dielektrisches Plasmagefäß getrennt. Ein Beispiel für eine solche Lichtquelle zeigt die WO 2006/129102 A2.
Der Spannungsabfall über die Gefäßwände verringert hierbei die für die Plasmazündung effektiv verfügbare Feldstärke. Daher ist eine höhere Transformation mit höheren Verlusten verbunden. Das heißt, wenn die Elektroden außen angebracht sind, so muss ein zusätzliches Feld zur Kompensation des
Spannungsabfalls über der Wanddicke aufgebracht werden, was den Wirkungsgrad verschlechtert und den apparativen Aufbau erhöht .
Es ist auch bereits bekannt, piezoelektrische Resonanzeffekte zur Erzeugung von Plasmen auszunutzen. Krasik et al . , Ferroelectric Plasma Sources and their Application, IEEE Transactions on Plasma Sciences, Vol. 31., No. 1 (Februar 2003), S. 49-59 zeigt eine Plasmaquelle mit einem tellerförmigen Resonanzkörper und beidseitig aufgebrachten Elektroden, wobei die frontseitige Elektrode ringförmig gestaltet ist. Innerhalb der ringförmigen Elektrode bildet sich bei Anregung des piezoelektrischen Resonanzkörpers mit einer hochfrequenten Spannung ein Plasma aus. Die Anwendung einer solchen Anordnung für eine Gasentladungslampe zeigt beispielsweise US 6 157 145. Auch hier verschleißen die Elektroden bzw. sind für die Lichtführung störend.
Weitere Anwendungen für die vorliegende Lösung neben den
Lichtquellen wären andere Plasmaquellen, die bisher mit inneren Elektroden arbeiten, beispielsweise Einrichtungen zur dielektrischen Erwärmung. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Einrichtung zur Zündung und Aufrechterhaltung eines Plasmas in einem Gasraum, insbesondere zur Realisierung einer Plasma-Lichtquelle, anzugeben, bei denen der negative Einfluss der bisher vorhandenen Elektroden kompensiert wird.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe gelöst durch die Merkmale der Ansprüche 1 und 2. Zweckmäßige Ausgestaltungen sind Gegenstand der Unteransprüche.
Danach wird als Plasmaerzeuger ein Plasmagefäß mit mindestens einem Hohlraum verwendet, welches selbst mindestens teilweise aus piezoelektrischem Material besteht oder bei dem mindestens ein aus piezoelektrischem Material bestehender Resonanzkörper in den mindestens einen Hohlraum hineinragt, wobei das piezoelektrische Material durch eine äußere elektrische Anregung resonant in Schwingungen versetzt wird. Diese Schwingungen erzeugen in dem oder den Hohlräumen Feldstärken, die zur Zündung und Aufrechterhaltung des Plasmas dienen.
Das piezoelektrische Material kann beispielsweise durch einen ferroelektrischen Stoff realisiert werden. In ferro- elektrischen Stoffen kann die elektrische Polarisation analog zu ferromagnetischen Stoffen durch Anlegen einer Spannung umgepolt werden, das heißt es entsteht durch die Umpolung und die damit vorhandene mechanische Anregung des Materials entlang des gleichzeitig piezoelektrisch erregbaren Körpers eine Spannung, die bei resonanter Anregung einen Höchstwert erreicht, der zur Zündung einer Gasentladung an der Oberfläche dieses Körpers ausreichen kann. Damit entsteht eine Anregung ohne innere Elektroden. Die räumlich entfernten äußeren Elektroden an dem Plasmagefäß erzeugen direkt im Plasma durch die mechanische Resonanz eine hohe Feldstärke.
Der oder die Hohlräume des Plasmagefäßes sind zweckmäßig mindestens an der oder den Lichtaustrittsstellen transparent, wenn eine Plasma-Lichtquelle realisiert werden soll.
Die erfindungsgemäße Einrichtung ist so als ein Resonator aufgebaut, dass ein Plasmagefäß, das einen oder mehrere Hohlräume enthält, mindestens teilweise aus einem piezoelektrischen Material gefertigt ist oder in den mindestens einen Hohlraum jeweils ein piezoelektrisch anzuregender Resonanzkörper hineinragt. Der oder die Hohlräume enthalten das zu ionisierende Gas. Durch eine elektrische Anregung über außen an dem Körper angebrachte Elektroden wird das piezoelektrische Material in resonante Schwingungen versetzt, wobei elektrische Feldstärken erzeugt werden, die zur Zündung und Aufrechterhaltung einer Gasentladung dienen, so dass das piezoelektrische Material selbst als Elektrode für das Plasma fungiert.
Ferroelektrische Materialien sind geeignet, weil sie auch immer einen piezoelektrischen Effekt aufweisen.
Dadurch, dass der Hohlraum, in dem ein Plasma angeregt werden soll, unmittelbar mit einem piezoelektrischen Resonanzkörper in Verbindung steht, der gegebenenfalls direkt aus dem den Hohlraum umgebenden Gehäuseteil besteht, und die anregenden Elektroden in jedem Fall außen an dem Gehäusekörper angebracht sind, an die die Spannung eines Oszillators gelegt wird, sind somit die Elektroden nicht mehr störend.
Als geeignete Materialien kommen verschiedene Stoffe mit einem elektrischen Dipolmoment, zum Beispiel polykristalline Keramiken wie Bariumtitanat oder Blei-Zirkonat-Titanat (PZT) in Frage, neuerdings auch bleifreie piezoelektrische Glaskeramiken und sogar Kunststoffe.
Durch eine geeignete Formgebung kann das piezoelektrische
Material außerdem die zur Zündung und zur Aufrechterhaltung des Plasmas notwendige elektrische Impedanztransformation übernehmen .
Für die Einrichtung sind verschiedene Ausführungsformen möglich. Zum Beispiel kann das Plasmagefäß vollständig aus transparentem piezoelektrischem Material bestehen. Das Plasmagefäß ist geschlossen und hohlförmig als Kugel oder Zylinder gestaltet und ist an seiner Außenwand mit Elektroden ausgestattet.
Plasmagefäß und ein in dieses hineinragender Resonanzkörper können auch beide aus transparentem, piezoelektrischem Material bestehen und gemeinsam als Hohlkörper gefertigt sein.
Kombinationen aus piezoelektrischen mit nicht piezoelektrischen Materialien sind möglich. So kann das Plasmagefäß aus transparentem Material bestehen und eine Anformung aus piezoelektrischem Material aufweisen, an dem die Elektroden angeordnet sind. Es kann auch ein nicht transparenter piezoelektrischer Resonanzkörper, der mit Elektroden versehen ist, in einen transparenten Plasmabehälter hineinragen .
Eine vorteilhafte Variante sind Piezokörper mit einer Vielzahl von Hohlräumen (zum Beispiel Piezoschaum) , in denen durch den Piezoeffekt Plasmen erzeugt werden. Diese können durch eine gemeinsame elektrische Schwingungsanregung gezündet oder auch einzeln angeregt werden.
Die Erfindung soll nachstehend anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert werden. Die zugehörige Zeichnung zeigt eine Prinzipdarstellung eines erfindungsgemäßen Plasmaresonators, zum Beispiel zur Realisierung einer Plasma-Lichtquelle.
Der Plasmaresonator besteht aus einem geschlossenen Gehäuse 1, das einen Hohlraum 2 bildet, in den ein stabförmiger Resonanzkörper 3 hineinragt. Gehäuse 1 und Resonanzkörper 3 bestehen vollständig aus einem transparenten, piezoelektrischen Material, zum Beispiel piezoelektrischer Glaskeramik. Der Resonanzkörper 3 ist nach außen verlängert. An ihm befinden sich zwei Elektroden 4, an die die Spannung eines Oszillators 5 geführt wird. Der Hohlraum 2 ist mit einem zu ionisierenden Gas gefüllt.
Im Hohlraum 2 bildet sich zwischen Resonanzkörper 3 und der Innenwand des Gehäuses 1 ein Spalt 6, in welchem durch den piezoelektrischen Effekt des piezoelektrischen Materials, aus dem der Resonanzkörper 3 besteht, infolge einer Anregung durch die Oszillatorspannung ein elektrisches Feld entsteht, in dem bei genügender Höhe eine Plasmaentladung gezündet und aufrechterhalten wird.
Die anregenden Elektroden 4, die außen am Resonanzkörper 3 angebracht sind und an die die Spannung des Oszillators 5 gelegt wird, sind somit nicht mehr störend für das von dem Plasma ausgehende Licht.
Liste der Bezugszeichen
1 Gehäuse
2 Hohlraum
3 Resonanzstab
4 Elektroden
5 Oszillator
6 Spalt

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zur Zündung und Aufrechterhaltung eines Plasmas in einem Gasraum, dadurch gekennzeichnet, dass als Plasmaerzeuger ein Plasmagefäß mit mindestens einem mit dem zu ionisierenden Gas gefüllten Hohlraum verwendet wird, welches selbst mindestens teilweise aus piezoelektrischem Material besteht oder bei dem mindestens ein aus piezoelektrischem Material bestehender Resonanzkörper in den mindestens einen Hohlraum hineinragt, wobei das piezoelektrische Material durch eine äußere elektrische Anregung resonant in Schwingungen versetzt wird.
2. Einrichtung zur Zündung und Aufrechterhaltung eines Plasmas in einem Gasraum mittels eines Resonators zur Realisierung des Verfahrens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein Plasmagefäß (1), das einen oder mehrere Hohlräume (2) enthält, die das zu ionisierende Gas enthalten, mindestens teilweise aus einem piezoelektrischen Material gefertigt ist oder bei dem mindestens ein aus piezoelektrischem Material bestehender Resonanzkörper (3) in den mindestens einen Hohlraum (2) des Plasmagefäßes (1) hineinragt und außen an dem piezoelektrischen Material Elektroden (4) angebracht sind.
3. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Plasmagefäß (1) mindestens teilweise aus transparentem Material besteht.
4. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass ein nicht transparenter, piezoelektrischer Resonanzkörper (3) in ein transparentes Plasmagefäß (1) hineinragt.
5. Einrichtung nach Anspruch 2, , dadurch gekennzeichnet, dass das Plasmagefäß aus Piezoschaum besteht.
EP08848925A 2007-11-14 2008-10-28 Verfahren und einrichtung zur zündung und aufrechterhaltung eines plasmas Withdrawn EP2223577A1 (de)

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