EP1798753A1 - Verfahren zum Betrieb einer elektrodenlosen Entladungslampe, sowie Entladungslampe selbst - Google Patents

Verfahren zum Betrieb einer elektrodenlosen Entladungslampe, sowie Entladungslampe selbst Download PDF

Info

Publication number
EP1798753A1
EP1798753A1 EP05027141A EP05027141A EP1798753A1 EP 1798753 A1 EP1798753 A1 EP 1798753A1 EP 05027141 A EP05027141 A EP 05027141A EP 05027141 A EP05027141 A EP 05027141A EP 1798753 A1 EP1798753 A1 EP 1798753A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
lamp
oxygen
discharge lamp
gas
vessel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP05027141A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Walter Dipl.-Ing. Fabinski
Andrzej Marek Rolski
Berthold Dr. Andres
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
ABB Patent GmbH
Original Assignee
ABB Patent GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ABB Patent GmbH filed Critical ABB Patent GmbH
Priority to EP05027141A priority Critical patent/EP1798753A1/de
Publication of EP1798753A1 publication Critical patent/EP1798753A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/02—Details
    • H01J61/12—Selection of substances for gas fillings; Specified operating pressure or temperature
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/02—Details
    • H01J61/24—Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
    • H01J61/28—Means for producing, introducing, or replenishing gas or vapour during operation of the lamp
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
    • H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
    • H01J65/042—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field
    • H01J65/046—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field the field being produced by using capacitive means around the vessel

Definitions

  • the invention relates to a method for operating an electrodeless discharge lamp, and to a discharge lamp itself, according to the preamble of patent claims 1 and 6.
  • Electrodeless discharge lamps of the type mentioned are widely used as a radiation source in photometers.
  • the discharge is carried out by Hochfrequenzbeetzschung in the plasma of the gas filling of the lamp.
  • the discharge lamp can be an open system, which is controlled by gas flowing through it, which is excited as plasma, or it is a closed discharge lamp with a sealed glass bulb.
  • the latter are widely known from the prior art, these being filled with an air-like mixture of a few millibars of O 2 and N 2 .
  • the lamps are used in photometers as a radiation source, where a continuous gas analysis is carried out there.
  • the problem is that in the lamp, the gas mixture, especially the oxygen consumed in operation. This then leads to a failure of the discharges with interruptions of the lamp operation, whereby also the otherwise desired way continuously Operated process / measuring operation to replace the lamps must be interrupted.
  • An example of a sealed lamp is from the DE 196 30 565 B4 known.
  • the invention is therefore based on the object to improve a method for operating an electrodeless discharge lamp to the effect that this deficiency is overcome and a long service life of the lamp is ensured in the photometer.
  • the essence of the method according to the invention is that the gas filling consists of an oxygen / nitrogen mixture similar to the air composition, and the consumed oxygen within the discharge space of the lamp vessel is steadily tracked / replaced.
  • the embodiment according to the invention differs both in the method and in its embodiment from an open, non-melted lamp.
  • purified air of a few millibar pressure is passed through the lamp.
  • the ambient air is in accordance with the invention of mechanical particles, as well as water vapor, CO 2 and other components purified by mechanical filters and chemically and / or physically working adsorbers.
  • the gas purified in this way is then passed through the lamp via a capillary.
  • a vacuum pump which is connected to the output of the lamp and thus sucks the purified gas through the lamp.
  • the system is controlled by pressure or flow stabilizer.
  • the device can also be built in miniaturized, so for example in micromechanical design. It may also be an air-like or otherwise composite gas mixture introduced from bottles to ensure the operation of the lamp.
  • a second possibility is the use of an adsorption pump.
  • a container with an adsorbent is melted directly on the lamp vessel on one side of the lamp.
  • the mentioned negative pressure or the o.g. Operating pressure can be maintained above the temperature of the adsorbent.
  • the adsorber for example, consisting of ceolite, change their pressure as a function of temperature. As an example, it is stated that a final pressure of 1.0 millibar is achieved when the system is set to room temperature. Also, such means are regenerable by heating the adsorbent.
  • the temperature of the adsorber for producing the desired pressure in the lamp can also be controlled by the intensity of the lamp emission.
  • Another embodiment of the invention can be created so that the input of the lamp is sealed and the pressure inside the lamp is controlled solely by the temperature of the adsorber. This in turn is influenced or controlled by the emission intensity of the lamp.
  • a further embodiment according to the invention consists in that, in addition, an oxygen reservoir is introduced into the lamp vessel in the lamp vessel.
  • the oxygen is bound in this reservoir. With a decrease in the oxygen partial pressure during operation of the lamp, the oxygen is compensated by the reservoir again.
  • the oxygen could be bound in the reservoir for example as a molecular sieve, silica gel or other adsorbents. Alternatively, chemically bound oxygen reservoirs in the form of, for example, peroxides would be possible.
  • the binding of oxygen in the reservoir depending on the partial pressure of the oxygen and the temperature in the lamp. On the one hand, it can compensate for a loss of oxygen at a constant temperature and thus keep the emission levels of the lamp constant. On the other hand, it is possible to regulate the emission intensity of the lamp with a temperature change.
  • FIG. 1 shows a first embodiment of the invention, in which the electrodeless discharge lamp 1 consists of a glass vessel, which is divided into two sections.
  • the discharge tube 6 is fused to the lamp vessel, which opens into the larger-dimensioned vestibule of the lamp vessel in a flow-locked manner, in which also the Gas supply and the gas discharge are arranged.
  • the thinner portion of the lamp vessel is the so-called discharge tube 6 around which a high-frequency coil is arranged.
  • the corresponding present in the entire lamp vessel gas is acted upon by an RF excitation in the coil 10 accordingly, so that there burns a plasma discharge and generated at the corresponding UV window 7 the light exit.
  • the lamp vessel itself is initially provided with a gas purifier 4 in the gas supply, and then the gas flows through a capillary 3, which represents a defined flow resistance in a pressure regulator 2.
  • the pressure regulator 2 as already described above, in the lamp vessel 1 for the Plasma discharge necessary pressures and / or partial pressures.
  • a vacuum pump 5 is arranged, which is acted upon either by the controller 2, or on the input side, the flow resistance via the controller 2 is influenced so that adjusts the corresponding gas pressure in the lamp vessel 1.
  • a nitrogen-oxygen mixture is now provided in accordance with the invention, which in the flow process, in particular the oxygen component which is necessary for the discharge and stable light generation, fed regulated in the lamp vessel 1 and passed therethrough.
  • the lamp 1 Since the lamp 1 has only a few cm 3 internal volume, it requires only small gas flows to be regulated.
  • the illustrated components but at least the controller 2 and the adjustable capillary 3, but possibly also the vacuum pump 5 and the cleaner unit 4 itself can be created in micromechanical design.
  • this has the advantage that the micromechanical elements can be integrated in a quasi-on-chip manner on a silicon semiconductor carrier, on which electronic control elements are optionally also placed.
  • the lamp vessel 1 can be mounted on a semiconductor carrier and connected to the corresponding components fluidically and control technology, wherein the RF coil 10 can be mounted on-chip.
  • the whole unit can, according to the DE 196 30 565 B4 be placed on a cover unit so that in the maintenance of the device, since the lamp 1 itself still a housing must be provided by opening the lid can be removed from the apparatus, not only the lamp vessel, but also the micromechanical and / or electronic components in an assembly or maintenance step are accessible.
  • FIG. 2 shows a structure in which again the same gas discharge lamp or the lamp vessel 1 is used.
  • a filter 8 is arranged, which operates in the manner already described above, or is filled with appropriate filter material.
  • a capillary 3 is still placed, or optionally a defined leak.
  • an adsorber 11 is arranged in this variant, which is filled with appropriate material which stores oxygen on adsorption surfaces. The adsorber 11 is heated in a defined and controlled manner so that it emits oxygen into the lamp vessel 1 and replaced there the burned or spent oxygen.
  • the embodiment according to FIG. 2 represents a closed system, since no vacuum pump is provided. For the individual components, this also results in either a compact installation of all individual elements on a support.
  • FIG. 3 likewise represents a closed system in which an oxygen reservoir 12, which releases oxygen during operation of the lamp, is implemented within the lamp vessel 1 only in the larger-volume part.
  • This reservoir 12 could either be designed as a molecular sieve, or be filled with silica gel or other adsorbents, such as ceolite.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betrieb einer elektrodenlosen Entladungslampe, sowie Entladungslampe selbst, gemäß Oberbegriff der Patentansprüche 1 und 6. Um hierbei eine längere wartungsfreie Einsatzzeit der Entladungslampe zu erzielen ist erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass die Gasbefüllung aus einem Sauerstoff-/Stickstoffgeschmisch ähnlich der Luftzusammensetzung besteht, und der verbrauchte Sauerstoff innerhalb des Entladungsraumes des Lampengefäßes stetig nachgeführt/ersetzt wird.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betrieb einer elektrodenlosen Entladungslampe, sowie Entladungslampe selbst, gemäß Oberbegriff der Patentansprüche 1 und 6.
  • Elektrodenlose Entladungslampen der genannten Art werden vielfach als Strahlungsquelle in Fotometern eingesetzt. Die Entladung erfolgt mittels Hochfrequenzbeaufschlagung im Plasma der Gasfüllung der Lampe. Dabei werden im Allgemeinen zwei Lampensysteme unterschieden. Zum einen kann die Entladungslampe ein offenes System sein, welches kontrolliert mit Gas beströmt wird, welches als Plasma angeregt wird, oder aber es handelt sich um geschlossene Entladungslampen mit abgeschmolzenen Glaskolben.
  • Letztere sind aus dem Stand der Technik vielfach bekannt, wobei diese mit einem luftähnlichen Gemisch von einigen Millibar aus O2 und N2 gefüllt sind. Die Lampen werden in Fotometern als Strahlungsquelle eingesetzt, wobei dort eine kontinuierliche Gasanalyse vorgenommen wird. Bei geschlossenen Systemen besteht das Problem darin, dass in der Lampe das Gasgemisch, vornehmlich der Sauerstoff sich im Betrieb verbraucht. Dies führt dann zu einem Ausfall der Entladungen mit Unterbrechungen des Lampenbetriebes, wobei auch der ansonsten wunschweise kontinuierlich betriebene Prozess/Messbetrieb zum Tauschen der Lampen unterbrochen werden muss.
  • Ein Beispiel für eine zugeschmolzene Lampe ist aus der DE 196 30 565 B4 bekannt.
  • Der Erfindung liegt damit die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Betrieb einer elektrodenlosen Entladungslampe dahingehend zu verbessern, dass dieser Mangel überwunden und eine lange Einsatzdauer der Lampe im Fotometer gewährleistet wird.
  • Die gestellte Aufgabe wird bei einem Verfahren der gattungsgemäßen Art erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruches 1 gelöst.
  • Weitere vorteilhafte Ausgestaltung des Verfahren sind in den Ansprüchen 2 bis 5 angegeben.
  • Im Hinblick auf eine Entladungslampe selbst, der gattungsgemäßen Art, ist die gestellte Aufgabe erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruches 6 gelöst.
  • Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Entladungslampe sind in den übrigen abhängigen Ansprüchen dargestellt.
  • Der Kern des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht darin, dass die Gasbefüllung aus einem Sauerstoff-/Stickstoffgeschmisch ähnlich der Luftzusammensetzung besteht, und der verbrauchte Sauerstoff innerhalb des Entladungsraumes des Lampengefäßes stetig nachgeführt/ersetzt wird.
  • Im Wesentlichen unterscheidet sich die erfindungsgemäße Ausführung sowohl im Verfahren, als auch in ihrer Ausgestaltung von einer offenen, nicht abgeschmolzenen Lampe. Zum Betrieb wird gereinigte Luft von einigen Millibar Druck durch die Lampe geführt. Die Umgebungsluft wird dabei in erfindungsgemäßer Weise von mechanischen Partikeln, sowie Wasserdampf, CO2 und weiteren Bestandteilen mittels mechanischen Filtern und chemisch und/oder physikalisch arbeitenden Adsorbern gereinigt. Das auf diese Weise gereinigte Gas wird dann über eine Kapillare durch die Lampe geführt. Dazu dient in einer bestimmten Ausgestaltungsform eine Vakuumpumpe, die am Ausgang der Lampe angeschlossen ist und somit das gereinigte Gas durch die Lampe hindurch saugt. Zur Aufrecherhaltung eines vorgegebenen Druckes wird das System über Druck- oder Strömungskonstanthalter geregelt.
  • Wegen der extrem geringen Strömungsmengen kann die Einrichtung auch in miniaturisierter, also beispielsweise in mikromechanischer Ausführung aufgebaut werden. Es kann auch ein luftähnliches oder anders zusammengesetztes Gasgemisch aus Flaschen eingeleitet werden, um den Betrieb der Lampe zu gewährleisten.
  • Eine zweite Möglichkeit besteht im Einsatz einer Adsorptionspumpe. Dazu wird an einer Seite der Lampe ein Behältnis mit einem Adsorptionsmittel direkt am Lampengefäß angeschmolzen. Auf der anderen Seite verbleibt eine Anordnung zum Dosieren der Luftmenge, bestehend aus einem definierten Leck mit dem o.g. Filtervorsatz. Der genannte Unterdruck bzw. der o.g. Betriebsdruck kann über die Temperatur des Adsorbtionsmittels aufrecht erhalten werden. Dazu wird der technische Zusammenhang benutzt, das Adsorber, zum Beispiel aus Ceolit bestehend, ihren Druck in Abhängigkeit der Temperatur verändern. Als Beispiel wird angeführt, dass ein Enddruck von 1,0 Millibar bei der Einstellung des Systems auf Raumtemperatur erreicht wird. Auch sind solche Mittel regenerierbar durch Ausheizen des Adsorptionsmittels. Die Temperatur des Adsorbers zur Herstellung des gewünschten Druckes in der Lampe kann auch über die Stärke der Lampenemission gesteuert werden.
  • Eine weitere erfindungsgemäße Ausführung lässt sich damit erstellen, dass der Eingang der Lampe zugeschmolzen wird und der Druck im Inneren der Lampe allein über die Temperatur des Adsorbers geregelt wird. Diese wiederum wird durch die Emissionsstärke der Lampe beeinflusst, bzw. gesteuert.
  • Eine weitere erfindungsgemäße Ausführung besteht darin, dass zusätzlich in der Lampe also im Lampengefäß ein Sauerstoffreservoir eingebracht ist.
  • In diesem Reservoir ist der Sauerstoff gebunden. Bei einer Abnahme des Sauerstoffpartialdruckes im Betrieb der Lampe, wird der Sauerstoff durch das Reservoir wieder ausgeglichen. Der Sauerstoff könnte im Reservoir beispielsweise als Molsieb, Kieselgel oder andere Adsorptionsmittel gebunden sein. Alternativ dazu wären auch chemisch gebundene Sauerstoffreservoirs in Form von beispielsweise Peroxyden möglich. Die Bindung des Sauerstoffs im Reservoirs in abhängig von Partialdruck des Sauerstoffs und der Temperatur in der Lampe. Zum Einen lässt sich damit bei konstanter Temperatur ein Verlust des Sauerstoffs ausgleichen und damit die Emissionssteige der Lampe konstant halten. Zum Anderen lässt sich mit einer Temperaturänderung die Emissionsstärke der Lampe selbst regeln. Im Betrieb ergeben sich damit die Vorteile, dass durch die nachdauernde Nachlieferung eines luftähnlichen oder anders zusammengesetzten Gasgemisches das zum Betrieb benötigte Gasgemisch immer wieder ersetzt wird. Damit ist eine hohe Lebensdauer der Lampe und ein langfristiger Betrieb des Fotometers möglich. Die Kosten für den Aufwand zum Tausch der Lampen und dem damit verbundenen Ausfall der Messeinrichtung werden vermieden, gemäß oben angegebener Aufgabenstellung.
  • Die Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und nachfolgend näher beschrieben.
  • Es zeigt:
    • Figur 1:
    Erste Ausgestaltungsform der Erfindung.
    Figur 2:
    Ausgestaltung mit Adsorber.
    Figur3:
    Ausgestaltung mit Sauerstoffreservoir.
  • Figur 1 zeigt eine Erste Ausgestaltungsform der Erfindung, bei der die elektrodenlose Entladungslampe 1 aus einem Glasgefäß besteht, welches in zwei Abschnitte eingeteilt ist. Im linken Abschnitt ist das Entladungsrohr 6 an das Lampengefäß angeschmolzen, welches strömungsschlüssig in den größer dimensionierten Vorraum des Lampengefäßes mündet, in dem auch die Gaszuleitung und die Gasableitung angeordnet sind. Der dünnere Abschnitt des Lampengefäßes ist das sogenannte Entladungsrohr 6 um das herum eine Hochfrequenzspule angeordnet ist. Das entsprechend im gesamten Lampengefäß vorliegende Gas wird durch eine HF-Anregung im Bereich der Spule 10 entsprechend beaufschlagt, so dass dort eine Plasmaentladung brennt und an dem entsprechendem UV-Fenster 7 den Lichtaustritt generiert.
  • Das Lampengefäß selber ist im Bereich der Gaszuführung zunächst mit einem Gasreiniger 4 versehen, und danach strömt das Gas über eine Kapillare 3, welche einen definierten Strömungswiderstand darstellt in einen Druckregler 2. Der Druckregler 2 stellt, wie oben bereits beschrieben die im Lampengefäß 1 für die Plasmaentladung notwendigen Drücke und/oder Partialdrücke ein. Am Ausgang ist eine Vakuumpumpe 5 angeordnet, die entweder vom Regler 2 mit beaufschlagt wird, oder aber eingangsseitig wird der Strömungswiderstand über den Regler 2 so beeinflusst, dass sich der entsprechende Gasdruck im Lampengefäß 1 einstellt.
  • Hierbei wird nun in erfindungsgemäßer Weise ein Stickstoff- SauerstoffGemisch bereitgestellt, welches im Durchflussverfahren insbesondere die Sauerstoffkomponente die für die Entladung und die stabile Lichterzeugung notwendig ist, geregelt in das Lampengefäß 1 zugeführt bzw. durch dasselbe hindurchgeleitet.
  • Da die Lampe 1 lediglich nur wenige cm3 Innenvolumen aufweist, bedarf es hier nur kleiner zu regelnder Gasströme.
  • Aus diesem Grund ist es besonders vorteilhaft, wenn die dargestellten Komponenten, zumindest aber der Regler 2 und die einstellbare Kapillare 3, gegebenenfalls aber auch die Vakuumpumpe 5 und die Reinigereinheit 4 selbst in mikromechanischer Bauweise erstellt werden können. Dies hat im Übrigen den Vorteil, dass die mikromechanischen Elemente quasi im On-Chip-Verfahren auf einem Siliziumhalbleiterträger mitintegriert werden können, auf dem gegebenenfalls auch elektronische Regelungselemente mit platziert sind.
  • Wahlweise kann somit das Lampengefäß 1 auf einem Halbleiterträger befestigt und mit den entsprechenden Komponenten strömungstechnisch und steuerungstechnisch verbunden sein, wobei auch die HF- Spule 10 On-Chip angebracht werden kann. Die ganze Einheit kann, gemäß der DE 196 30 565 B4 auf einer Deckeleinheit platziert sein, sodass bei der Wartung des Gerätes, da um die Lampe 1 selbst noch ein Gehäuse vorgesehen sein muss, durch Öffnen des Deckels aus der Apparatur entfernt werden kann, wobei nicht nur das Lampengefäß, sondern auch die mikromechanischen und/oder elektronischen Komponenten in einem Montage- bzw. Wartungsschritt zugänglich sind.
  • Figur 2 zeigt einen Aufbau, bei dem wiederum die gleiche Gasentladungslampe bzw. das Lampengefäß 1 verwendet wird. Am Gaseingang ist ein Filter 8 angeordnet, das in der oben bereits beschriebene Weise arbeitet, bzw. mit entsprechendem Filtermaterial befüllt ist. Zwischen Filter 8 und dem Lampengefäß 1 bzw. dem Gaseintritt des Lampengefäßes ist noch eine Kapillare 3 platziert, oder gegebenenfalls ein definiertes Leck. Am Gasausgang hingegen ist in dieser Variante ein Adsorber 11 angeordnet, der mit entsprechendem Material befüllt ist, welches Sauerstoff auf Adsorptionsoberflächen speichert. Der Adsorber 11 wird dabei in definierter und geregelter Weise so geheizt, dass er Sauerstoff ins Lampengefäß 1 abgibt und den dort verbrannten bzw. verbrauchten Sauerstoff ersetzt. Die Ausführungsform gemäß Figur 2 stellt ein abgeschlossenes System dar, da keine Vakuumpumpe vorgesehen ist. Für die einzelnen Komponenten ergibt sich auch hierbei wahlweise eine kompakte Installation aller Einzelelemente auf einem Träger.
  • Figur 3 stellt ebenfalls ein abgeschlossenes System dar, bei dem innerhalb des Lampengefäßes 1 lediglich im großvolumigeren Teil ein Sauerstoffreservoir 12 implementiert ist, welches Sauerstoff während des Betriebs der Lampe freisetzt. Dieses Reservoir 12 könnte entweder als Molsieb gestaltet sein, oder mit Kieselgel oder anderen Adsorptionsmitteln gefüllt sein, wie beispielsweise Ceolit.
    • Bezugszeichen:
    • 1
    Elektrodenlose Entladungslampe EDL
    2
    Regler
    3
    Kapillare
    4
    Reiniger
    5
    Vakuumpumpe
    6
    Entladungsrohr
    7
    UV-Fenster
    8
    Filter
    9
    Heizung
    10
    HF-Spule
    11
    Adsorber
    12
    Heizung

Claims (9)

  1. Verfahren zum Betrieb einer elektrodenlosen Entladungslampe, bei der mittels Hochfrequenzbeaufschlagung ein Plasma innerhalb der Gasfüllung der Lampe gezündet und betrieben wird,
    dadurch gekennzeichnet,
    dass die Gasbefüllung aus einem Sauerstoff-/Stickstoffgeschmisch ähnlich der Luftzusammensetzung besteht, und der verbrauchte Sauerstoff innerhalb des Entladungsraumes des Lampengefäßes stetig nachgeführt/ersetzt wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1,
    dadurch gekennzeichnet,
    dass die Entladungslampe in einem offenem, mit einer Saugpumpe die am Gasauslass der Entladungslampe angeschlossen ist betrieben wird, und mindestens einer Reiniger- und einer Druck- oder Durchflussregelstufe am Gaseinlass des Lampengefäßes betrieben wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 1,
    dadurch gekennzeichnet,
    dass die Entladungslampe in einem abgeschlossenen Gassystem betrieben wird, in dem der aufgebrauchte Sauerstoff durch ein definiertes Sauerstoffreservoir während des Betriebes der Entladungslampe nachgeführt wird.
  4. Verfahren nach Anspruch 3,
    durch gekennzeichnet,
    dass am Gasausgang des Lampengefäßes ein Adsorber angeschlossen wird, der über eine Heizung derart angesteuert wird, dass er eine definierte Menge an Sauerstoff in den Entladungsraum nachführt.
  5. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche,
    dadurch gekennzeichnet,
    dass der Sauerstoffpartialdruck im Lampengefäß über dem Sauerstoffreservoir über die Temperatur verändert wird.
  6. Elektrodenlose Entladungslampe bei der mittels Hochfrequenzbeaufschlagung durch eine HF-Spule ein Plasma innerhalb der Gasfüllung der Lampe zündbar ist,
    dadurch gekennzeichnet,
    dass die Gasbefüllung aus einem Sauerstoff-/Stickstoffgeschmisch ähnlich der Luftzusammensetzung besteht, und der verbrauchte Sauerstoff innerhalb des Entladungsraumes des Lampengefäßes (1) stetig nachgeführt/ersetzt wird.
  7. Elektrodenlose Entladungslampe nach Anspruch 6,
    dadurch gekennzeichnet,
    dass die Entladungslampe (1) in einem offenem, mit einer Saugpumpe (5) die am Gasauslass der Entladungslampe (1) angeschlossen ist betreibbar ist, wobei am Gaseinlass des Lampengefäßes mindestens ein Reiniger- (4) und eine Druck- oder Durchflussregelstufe (2) angeschlossen ist.
  8. Elektrodenlose Entladungslampe nach Anspruch 6,
    dadurch gekennzeichnet,
    dass in einem abgeschlossenen Lampensystem der aufgebrauchte Sauerstoff durch ein in das Lampengefäß(1) integriertes definiertes Sauerstoffreservoir (12) während des Betriebes der Entladungslampe nachführbar ist.
  9. Elektrodenlose Entladungslampe nach Anspruch 8,
    dadurch gekennzeichnet,
    dass am Gasausgang des Lampengefäßes (1) ein Adsorber (11)angeschlossen ist, der über eine Heizung (9) derart ansteuerbar ist, dass er eine definierte Menge an Sauerstoff in den Entladungsraum nachführt.
EP05027141A 2005-12-13 2005-12-13 Verfahren zum Betrieb einer elektrodenlosen Entladungslampe, sowie Entladungslampe selbst Withdrawn EP1798753A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP05027141A EP1798753A1 (de) 2005-12-13 2005-12-13 Verfahren zum Betrieb einer elektrodenlosen Entladungslampe, sowie Entladungslampe selbst

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP05027141A EP1798753A1 (de) 2005-12-13 2005-12-13 Verfahren zum Betrieb einer elektrodenlosen Entladungslampe, sowie Entladungslampe selbst

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP1798753A1 true EP1798753A1 (de) 2007-06-20

Family

ID=36096380

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP05027141A Withdrawn EP1798753A1 (de) 2005-12-13 2005-12-13 Verfahren zum Betrieb einer elektrodenlosen Entladungslampe, sowie Entladungslampe selbst

Country Status (1)

Country Link
EP (1) EP1798753A1 (de)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2246365A1 (de) * 1972-09-21 1974-04-11 Deutsche Forsch Luft Raumfahrt Nachweisgeraet zur messung von stickoxid no
DE3617110A1 (de) * 1986-05-21 1987-11-26 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Lampe fuer die erzeugung von gas-resonanzstrahlungen
US5394058A (en) * 1991-11-22 1995-02-28 Hartmann & Braun Gas discharge lamp having a water vapor enriched fill
DE19602924A1 (de) * 1996-01-22 1997-07-24 Hartmann & Braun Ag Entladungslampe zur Resonanzmessung

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2246365A1 (de) * 1972-09-21 1974-04-11 Deutsche Forsch Luft Raumfahrt Nachweisgeraet zur messung von stickoxid no
DE3617110A1 (de) * 1986-05-21 1987-11-26 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Lampe fuer die erzeugung von gas-resonanzstrahlungen
US5394058A (en) * 1991-11-22 1995-02-28 Hartmann & Braun Gas discharge lamp having a water vapor enriched fill
DE19602924A1 (de) * 1996-01-22 1997-07-24 Hartmann & Braun Ag Entladungslampe zur Resonanzmessung

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69832036T2 (de) Geschlossener regelkreis für sauerstoffkonzentrator
DE4425634C1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum dosierten Zuführen von flüssigen Reaktanden zu einem Brennstoffzellensystem
DE2244719B2 (de) Vorrichtung zur konstanthaltung der stroemungsmenge einer fluidprobe
DE102014012870A1 (de) Luftreiniger unter Verwendung von ultravioletten Strahlen
DE10334591A1 (de) Verfahren zum Verteilen von flüssigen Duftstoffen und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE3728308A1 (de) Luftreinigungsgeraet
DE3233156C2 (de) Gerät für das Brauchbarmachen von unmittelbar von einem Kompressor gelieferter Luft als Atemluft
DE102014220566B4 (de) Modulierte Flammen-Gasflussraten in flammenbasierten Detektoren
EP0607599A1 (de) Verfahren und Stromversorgungseinheit zum stabilisierten Betrieb einer Natrium-Hochdruckentladungslampe
DE2410400C3 (de) Verfahren zur Herstellung einer Metalldampfentladungslampe
DE19930888A1 (de) Luftzuführeinrichtung für ein Endoskop
EP1798753A1 (de) Verfahren zum Betrieb einer elektrodenlosen Entladungslampe, sowie Entladungslampe selbst
DE69413439T2 (de) Metalldampf Entladungslampe
WO2017174561A1 (de) Luftaufbereitungsvorrichtung und -verfahren
DE4417468A1 (de) Gaslaser
DE102006061825A1 (de) Beduftungssystem, insbesondere für ein Kraftfahrzeug
DE20102224U1 (de) Vorrichtung zur Erzeugung von Nebel
DE4211942C2 (de) Klebstoffauftragventil
DE102015000423A1 (de) Ozongenerator, NO-zu-NO₂-Konverter, Verfahren zum Konvertieren von NO zu NO₂ und Verwendung
WO2014056670A1 (de) Verfahren zum betreiben einer lampeneinheit zur erzeugung ultravioletter strahlung sowie geeignete lampeneinheit dafür
EP4255663B1 (de) Schweisskomponenten-kühlsystem mit einer einrichtung zur deionisierung der kühlflüssigkeit, und schweisskomponente mit einem solchen schweisskomponenten-kühlsystem
WO2001062306A2 (de) Verfahren und vorrichtung zur regelung der kapazität zwischen zwei elektroden in einem gas
DE102015212039A1 (de) Verfahren zur Regenerierung eines Adsorbers und Adsorbervorrichtung
DE2535986B2 (de) Elektrodenzuführung für eine elektrische, in freier Luft betreibbare Hochdruckentladungslampe ohne Außenkolben
DE3327302C2 (de)

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: AL BA HR MK YU

17P Request for examination filed

Effective date: 20071220

17Q First examination report despatched

Effective date: 20080128

AKX Designation fees paid

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

18D Application deemed to be withdrawn

Effective date: 20110204