EP1661190B1 - Piezoaktor - Google Patents

Piezoaktor Download PDF

Info

Publication number
EP1661190B1
EP1661190B1 EP04764739.1A EP04764739A EP1661190B1 EP 1661190 B1 EP1661190 B1 EP 1661190B1 EP 04764739 A EP04764739 A EP 04764739A EP 1661190 B1 EP1661190 B1 EP 1661190B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
disc
piezo
backing
annular groove
piezoactuator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Not-in-force
Application number
EP04764739.1A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP1661190A1 (de
Inventor
Lutz Weber
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Thinxxs Microtechnology GmbH
Original Assignee
Thinxxs Microtechnology GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Thinxxs Microtechnology GmbH filed Critical Thinxxs Microtechnology GmbH
Publication of EP1661190A1 publication Critical patent/EP1661190A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP1661190B1 publication Critical patent/EP1661190B1/de
Not-in-force legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14298—Structure of print heads with piezoelectric elements of disc type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/04—Pumps having electric drive
    • F04B43/043—Micropumps
    • F04B43/046—Micropumps with piezoelectric drive
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
    • H10N30/2047—Membrane type

Definitions

  • the invention relates to piezoelectric actuators for miniaturized pumps, atomizers, valves or the like, according to the preamble of independent claims 1 and 2, with a piezo disk and a counter-disc coupled to the piezoelectric disk, which is fluid-tightly connected to a substrate in an edge region and under the piezoelectric disk Variation of the volume of a cavity formed between the anvil disk and the substrate can be arched, and the one between the connected edge region and the piezoelectric disk extending, during the buckling of the anvil disk a joint forming weak point in the form of an annular groove or a stepped recess, wherein the shoulder of the stepped recess , seen in plan view of the piezoelectric disk, extends laterally at a distance both to the connected edge region and to the piezoelectric disk.
  • a piezoelectric actuator according to the preamble of claim 1 is known JP 58098259 out.
  • a rectangular plate and a rectangular substrate connected to the plate serve as a common retainer disc and common substrate for a plurality of such piezoactuators.
  • a cross-sectionally U-shaped annular groove extending both adjacent to the substrate connected to the part of the plate and adjacent to the piezoelectric disk.
  • a piezoelectric actuator according to the preamble of claim 2 is known from DE 19546570 C1 out.
  • the step recess forming the weak point is formed by a central recess in the anvil disk, the piezo disk being inserted into the recess.
  • the edge of the central recess forms the stepped shoulder, which extends both at a distance to the piezoelectric disk and to the connected edge region, in which the counterholder disk is connected to the substrate.
  • the substrate e.g. a rotationally symmetrical pump body with a diameter between 5 and 25 mm and a thickness between 0.3 and 2 mm
  • the actuator then does not reach its full efficiency. Fluctuations in manufacturing dimensions and material properties have a considerable influence on the extent of the efficiency reductions, so that close tolerance deviations must be observed with regard to the most constant possible performance data. Accordingly, the manufacturing process is unstable.
  • the present invention has for its object to provide a new piezoelectric actuator of the type mentioned above, which can be produced over the prior art with increased manufacturing reliability with less effort.
  • a solving this problem piezoelectric actuator according to the preamble of claim 1 is characterized in that the annular groove, seen in plan view of the piezoelectric disk, extends laterally at a distance both to the connected edge region and to the piezoelectric disk.
  • a second solution according to the preamble of claim 2 is characterized in that the stepped recess is an annular stepped recess at the edge of the retaining disc.
  • the actuator Regardless of dimensional fluctuations and changed material properties, the actuator reaches its full efficiency.
  • such an adapter disc can be produced in one piece as a plastic injection-molded part.
  • the weak point is formed both by an annular groove and by a stepped recess.
  • the annular groove or stepped recess may be formed on a side facing away from the substrate or facing the counterholder disc. Conceivable are also annular grooves or stepped recesses on both sides of the mating disc, wherein the respective annular grooves or stepped recesses face each other.
  • the annular groove has a single lowest-lying foot line and is preferably formed in cross-section U- or V-shaped.
  • the position of the joint formed by the weak point is precisely, namely determined by the foot line. Fluctuations in manufacturing dimensions and material properties have only a minor influence on the buckling behavior.
  • the anvil disk is glued or welded to the substrate.
  • the remaining material thickness at the weak point is about 10 to 30% of the thickness of the retaining plate.
  • the anvil disk has an opening, which may be open towards the annular groove and / or step recess, for the supply of a connecting conductor to an electrode of the piezo disk facing the counterholder disk.
  • an electrode on a side facing away from the holding plate of the piezoelectric disk having an edge recess into which an electrically connected to one of the electrode electrode contact layer extends.
  • contacting of the electrodes of the piezoelectric disk is advantageously possible exclusively from the side facing away from the counterholder disk.
  • the micropump shown has a ceramic piezoelectric disk 1, a counterholder disk 2, which is coupled to the piezoelectric disk and projects beyond the edge of the piezoelectric disk, and a pump body 3 connected to the counterholder disk.
  • the pump body coincides in diameter with the retaining disc.
  • a pumping cavity 4 is formed between the anvil disk and the pump body.
  • the parts mentioned are rotationally symmetrical, but may also differ from such a shape.
  • micropump such as valves, channels and electrodes of the piezo disc
  • the piezoelectric disk consists in the embodiment shown of a ceramic material.
  • the counterholder disk and the pump body are one-piece injection-molded parts made of plastic, the diameter of which is about 10 mm in the exemplary embodiment shown.
  • the thickness of the retaining disc is 0.7 mm.
  • the piezoelectric disk is adhesively bonded to the counterholder disk 2 over its entire side facing the counterholder disk, for which purpose e.g. an electrically conductive, an electrode of the piezo disc-forming adhesive used and the adhesive layer could be led out to form a Kunststofftechniksfahne from the adhesive gap.
  • An adhesive bond further exists between an annular edge region 18 of the retaining disc and an annular projection 5 of the pump body, whose height corresponds to the depth of the pump cavity.
  • annular groove 6 is formed between the piezoelectric disk 1 and the inner edge of the annular projection 5 or edge region 18 in the anvil disk whose cross-section has a V-shape and their lowest-lying foot line 7 approximately in the middle between the edge of Piezo disk and said inner edge runs.
  • the annular groove 6 Through the annular groove 6, the anvil disk along the glued edge region 18 is weakened such that a joint is formed, which prevents transmission of the curvature of the anvil disk on the edge region and the adhesive bond to the pump body.
  • the position of this joint is exactly defined by the foot line 7.
  • a co-curvature of the pump body 3 would result in the volume change of the pumping cavity 4 associated with the curvature of the counterholder disk 2 being partially removed and the desired pumping action not being achieved.
  • annular groove 6a formed whose cross-section is not V- but U-shaped, also in this Case, the annular groove on a single lowest foot line 7a, which determines exactly the position of the joint formed by the annular groove 6a.
  • Fig. 3 are formed in a counter-disc 2b two annular grooves 6b and 6b 'with a V-profile, the foot lines 7b and 7b', in the top view of the pump, aligned with each other. Both annular grooves are equally deep. Between the foot lines remains about 25% of the material thickness of the retaining disc. Advantageously, the remaining material area penetrates a neutral bending line 8 of the retaining disc. Tensile and compressive loads in this area are minimized.
  • a counterholder disc 2c has a stepped recess 9 instead of an annular groove 6, the width of an annular shoulder 10 formed by the stepped recess 9 being slightly greater than the width of an annular projection 5c connected to the counterholder disc 2c.
  • micropump which largely the micropump of Fig. 1 corresponds, has a piezoelectric disk 1 d with electrodes 11 and 12, which are formed by metal layers on the piezoceramic. While the electrode 12 occupies the entire, the counterholder disc 2d Gegeiilialtewaheilse facing surface of the piezoelectric disk, an edge recess 13 is formed in the electrode 11 on the upper side of the piezoelectric disk into which a contact layer 14 connected to the electrode 12 and embracing the piezoelectric disk at the edge protrudes.
  • connection conductors 15 and 16 for the electrodes 11 and 12 exclusively on the side of the piezo disk remote from the counterholder disk, unimpaired by an annular groove 6d.
  • Fig. 6 are attached to a piezoelectric disc 1 e electrodes 11 e and 12 e, each extending over the entire disc surface.
  • a recess 17 communicating with an annular groove 6e enables the connection of a connection conductor 15e to the electrode 12e.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)

Description

  • Die Erfindung betrifft Piezoaktoren für miniaturisierte Pumpen, Zerstäuber, Ventile oder dergleichen, gemäß Oberbegriff der unabhängigen Ansprüche 1 und 2, mit einer Piezoscheibe und einer an die Piezoscheibe gekoppelten Gegenhalterscheibe, die in einem Randbereich fluiddicht mit einem Substrat verbunden ist und sich durch die Piezoscheibe unter Änderung des Volumens einer zwischen der Gegenhalterscheibe und dem Substrat gebildeten Kavität wölben lässt, und die eine zwischen dem verbundenen Randbereich und der Piezoscheibe verlaufende, beim Wölben der Gegenhalterscheibe ein Gelenk bildende Schwachstelle in Form einer Ringnut bzw. einer Stufenausnehmung aufweist, wobei der Absatz der Stufenausnehmung, in Draufsicht auf die Piezoscheibe gesehen, seitlich im Abstand sowohl zu dem verbundenen Randbereich als auch zu der Piezoscheibe verläuft.
  • Ein Piezoaktor gemäß Oberbegriff des Anspruchs 1 geht aus JP 58098259 hervor. Eine rechteckige Platte und ein rechteckiges, mit der Platte verbundenes Substrat dienen als gemeinsame Gegenhalterscheibe und gemeinsames Substrat für mehrere solcher Piezoaktoren. In einer zur Plattenebene parallelen Projektionsebene verläuft jeweils eine im Querschnitt U-förmige Ringnut sowohl angrenzend an den mit dem Substrat verbundenen Teil der Platte als auch angrenzend an die Piezoscheibe. Durch die Gelenke bildende Ringnut wird die Wölbung der Gegenhalterscheibe erleichtert und die an die Piezoscheibe zu legende Signalspannung lässt sich reduzieren.
  • Ein Piezoaktor gemäß Oberbegriff des Anspruchs 2 geht aus der DE 19546570 C1 hervor. Die die Schwachstelle bildende Stufenausnehmung ist durch eine zentrale Vertiefung in der Gegenhalterscheibe gebildet, wobei die Piezoscheibe in die Vertiefung eingesetzt ist. Der Rand der zentralen Vertiefung bildet den Stufenabsatz, welcher sowohl im Abstand zu der Piezoscheibe als auch zu dem verbundenen Randbereich, in welchem die Gegenhalterscheibe mit dem Substrat verbunden ist, verläuft.
  • Je nach den Abmessungen des Substrats, z.B. eines rotationssymmetrischen Pumpenkörpers mit einem Durchmesser zwischen 5 und 25 mm und einer Dicke zwischen 0,3 und 2 mm, kann es bei der Wölbung der Gegenhalterscheibe zu einer Mitverformung des Substrats kommen, welche einer gewünschten Änderung des Volumens der Kavität entgegenwirkt. Der Aktor erreicht dann nicht seinen vollen Wirkungsgrad. Auf das Ausmaß der Wirkungsgradminderungen haben Schwankungen von Fertigungsmaßen und Materialeigenschaften erheblichen Einfluss, so dass im Hinblick auf möglichst konstante Leistungsdaten enge Toleranzabweichungen eingehalten werden müssen. Entsprechend instabil ist der Fertigungsprozess.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen neuen Piezoaktor der eingangs erwähnten Art zu schaffen, der sich gegenüber dem Stand der Technik bei erhöhter Fertigungssicherheit mit geringerem Aufwand herstellen lässt.
  • Ein diese Aufgabe lösender Piezoaktor gemäß Oberbegriff des Anspruchs 1 ist dadurch gekennzeichnet, dass die Ringnut, in Draufsicht auf die Piezoscheibe gesehen, seitlich im Abstand sowohl zu dem verbundenen Randbereich als auch zu der Piezoscheibe verläuft.
  • Eine zweite Lösung gemäß Oberbegriff des Anspruchs 2 ist dadurch gekennzeichnet, dass die Stufenausnehmung eine ringförmige Stufenausnehmung am Rand der Gegenhalterscheibe ist.
  • Unabhängig von Maßschwankungen und geänderten Materialeigenschaften erreicht der Aktor seinen vollen Wirkungsgrad.
  • Vorteilhaft lässt sich eine solche Gegenhalterscheibe einstückig als Kunststoffspritzteil herstellen.
  • In einer Ausführungsform ist die Schwachstelle sowohl durch eine Ringnut als auch durch eine Stufenausnehmung gebildet.
  • Die Ringnut oder Stufenausnehmung kann auf einer dem Substrat abgewandten oder zugewandten Seite der Gegenhalterscheibe gebildet sein. Denkbar sind auch Ringnuten oder Stufenausnehmungen auf beiden Seiten der Gegenhalterscheibe, wobei die betreffenden Ringnuten bzw. Stufenausnehmungen einander gegenüberliegen.
  • Vorzugsweise weist die Ringnut eine einzige tiefstgelegene Fußlinie auf und ist vorzugsweise im Querschnitt U- oder V-förmig ausgebildet. Durch eine solche Querschnittsform ist die Lage des durch die Schwachstelle gebildeten Gelenks genau, nämlich durch die Fußlinie, festgelegt. Schwankungen von Fertigungsmaß- und Materialeigenschaften haben auf das Wölbungsverhalten dann nur noch geringen Einfluss.
  • In der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die Gegenhalterscheibe mit dem Substrat verklebt oder verschweißt.
  • Vorzugsweise beträgt die verbleibende Materialdicke an der Schwachstelle etwa 10 bis 30% der Dicke der Gegenhalterscheibe.
  • In weiterer vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung weist die Gegenhalterscheibe eine, ggf. zu der Ringnut oder/und Stufenausnehmung hin offene, Ausnehmung für die Zuführung eines Anschlussleiters an eine der Gegenhalterscheibe zugewandte Elektrode der Piezoscheibe auf.
  • In weiterer Ausgestaltung der Erfindung kann eine Elektrode auf einer der Gegenhalterscheibe abgewandten Seite der Piezoscheibe eine Randaussparung aufweisen, in welche eine elektrisch mit einer der Elektrode gegenüberliegenden Elektrode verbundene Kontaktschicht hineinreicht. Vorteilhaft sind in diesem Fall Kontaktierungen der Elektroden der Piezoscheibe ausschließlich von der der Gegenhalterscheibe abgewandten Seite her möglich.
  • Die Erfindung soll nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen und der beiliegenden, sich auf diese Ausführungsbeispiele beziehenden Zeichnungen näher erläutert werden. Es zeigen:
    • Fig. 1
    wesentliche Teile einer Mikropumpe mit einem Aktor gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel für die vorliegende Erfindung,
    Fig. 2 bis 4
    Teildarstellungen einer Mikropumpe mit Aktoren gemäß weiteren Ausführungsbeispielen für die vorliegende Erfindung,
    Fig. 5
    ein erstes Ausführungsbeispiel für die Kontaktierung der Piezoscheibe eines Aktors nach der Erfindung, und
    Fig. 6
    ein zweites Ausführungsbeispiel für die Kontaktierung der Piezoscheibe in einem Aktor nach der Erfindung.
  • Eine in Fig. 1 gezeigte Mikropumpe weist eine keramische Piezoscheibe 1, eine an die Piezoscheibe gekoppelte, über den Rand der Piezoscheibe hinaus vorstehende Gegenhalterscheibe 2 und einen mit der Gegenhalterscheibe verbundenen Pumpenkörper 3 auf. Der Pumpenkörper stimmt im Durchmesser mit der Gegenhalterscheibe überein. Zwischen der Gegenhalterscheibe und dem Pumpenkörper ist eine Pumpkavität 4 gebildet. Die genannten Teile sind rotationssymmetrisch, können aber von einer solchen Form auch abweichen.
  • Einzelheiten der Mikropumpe, wie Ventile, Kanäle und Elektroden der Piezoscheibe, sind in Fig. 1 nicht gezeigt.
  • Die Piezoscheibe besteht in dem gezeigten Ausführungsbeispiel aus einem Keramikmaterial. Bei der Gegenhalterscheibe und dem Pumpenkörper handelt es sich um einstückige Spritzgussteile aus Kunststoff, deren Durchmesser in dem gezeigten Ausführungsbeispiel etwa 10 mm beträgt. Die Dicke der Gegenhalterscheibe liegt bei 0,7 mm.
  • Die Piezoscheibe ist über ihre gesamte, der Gegenhalterscheibe zugewandte Seite mit der Gegenhalterscheibe 2 verklebt, wozu z.B. ein elektrisch leitender, eine Elektrode der Piezoscheibe bildender Kleber verwendet und die Kleberschicht zur Bildung einer Kontaktierungsfahne aus dem Klebespalt herausgeführt werden könnte. Eine Klebverbindung besteht ferner zwischen einem ringförmigen Randbereich 18 der Gegenhalterscheibe und einem Ringvorsprung 5 des Pumpenkörpers, dessen Höhe der Tiefe der Pumpkavität entspricht.
  • In der Draufsicht auf die Mikropumpe gesehen ist zwischen der Piezoscheibe 1 und dem Innenrand des Ringvorsprungs 5 bzw. Randbereichs 18 in der Gegenhalterscheibe eine Ringnut 6 gebildet, deren Querschnitt eine V-Form aufweist und deren tiefstgelegene Fußlinie 7 etwa in der Mitte zwischen dem Rand der Piezoscheibe und dem genannten Innenrand verläuft.
  • Liegt an der Piezoscheibe 1 keine Spannung, so hat sie die in Fig. 1 gezeigte ebene Form. Bei Anlegen einer positiven Spannung zieht sie sich zusammen, wodurch sie sich gemeinsam mit der Gegenhalterscheibe 2 in der Art eines Bimetallelements krümmt. Dabei wölbt sich die rundum mit dem Pumpenkörper 3 verbundene Gegenhalterscheibe in die Pumpkavität 4 hinein und verringert deren Volumen. Durch periodisches Anlegen einer Spannung an die Piezoscheibe lässt sich eine Pumpwirkung erzielen.
  • Durch die Ringnut 6 ist die Gegenhalterscheibe entlang dem verklebten Randbereich 18 derart geschwächt, dass ein Gelenk gebildet ist, welches eine Übertragung der Wölbung der Gegenhalterscheibe auf deren Randbereich und über die Klebverbindung auf den Pumpenkörper verhindert. Die Lage dieses Gelenks ist durch die Fußlinie 7 exakt festgelegt. Eine Mitwölbung des Pumpenkörpers 3 würde zur Folge haben, dass die mit der Wölbung der Gegenhalterscheibe 2 verbundene Volumenänderung der Pumpkavität 4 teilweise aufgehoben und die gewünschte Pumpwirkung nicht erreicht würde.
  • In den nachfolgenden Figuren sind einige gleiche oder gleichwirkende Teile mit derselben Bezugszahl wie in Fig. 1 bezeichnet, wobei der betreffenden Bezugszahl der Buchstabe a, b usw. beigefügt ist.
  • Bei dem Ausführungsbeispiel von Fig. 2 ist in einer Gegenhalterscheibe 2a eine Ringnut 6a gebildet, deren Querschnitt nicht V- sondern U-förmig ist, Auch in diesem Fall weist die Ringnut eine einzige tiefstgelegene Fußlinie 7a auf, welche exakt die Lage des durch die Ringnut 6a gebildeten Gelenks bestimmt.
  • Bei dem Ausführungsbeispiel von Fig. 3 sind in einer Gegenhalterscheibe 2b zwei Ringnuten 6b und 6b' mit einem V-Profil gebildet, deren Fußlinien 7b und 7b', in der Draufsicht auf die Pumpe gesehen, zueinander ausgerichtet sind. Beide Ringnuten sind gleich tief. Zwischen den Fußlinien verbleibt etwa 25% der Materialdicke der Gegenhalterscheibe. Vorteilhaft durchstößt den verbleibenden Materialbereich eine neutrale Biegelinie 8 der Gegenhalterscheibe. Zug- und Druckbelastungen dieses Bereichs sind minimiert.
  • Bei dem Ausführungsbeispiel von Fig. 4 weist eine Gegenhalterscheibe 2c anstelle einer Ringnut 6 eine Stufenausnehmung 9 auf, wobei die Breite einer durch die Stufenausnehmung 9 gebildeten Ringschulter 10 etwas größer als die Breite eines mit der Gegenhalterscheibe 2c verbundenen Ringvorsprungs 5c ist.
  • Die in Fig. 5 gezeigte Mikropumpe, welche weitgehend der Mikropumpe von Fig. 1 entspricht, weist eine Piezoscheibe 1 d mit Elektroden 11 und 12 auf, welche durch Metallschichten auf der Piezokeramik gebildet sind. Während die Elektrode 12 die gesamte, der Gegenhalterscheibe 2d Gegeiilialtewaheilse zugewandte Fläche der Piezoscheibe einnimmt, ist in der Elektrode 11 auf der Oberseite der Piezoscheibe eine Randaussparung 13 gebildet, in die eine mit der Elektrode 12 verbundene, die Piezoscheibe am Rand umgreifende Kontaktschicht 14 hineinragt. Somit besteht die Möglichkeit, Anschlussleiter 15 und 16 für die Elektroden 11 und 12 ausschließlich auf der der Gegenhalterscheibe abgewandten Seite der Piezoscheibe, unbeeinträchtigt durch eine Ringnut 6d, anzubringen.
  • Bei dem Ausführungsbeispiel von Fig. 6 sind an einer Piezoscheibe 1 e Elektroden 11 e und 12e angebracht, die sich jeweils über die gesamte Scheibenfläche erstrecken. Eine mit einer Ringnut 6e in Verbindung stehende Ausnehmung 17 ermöglicht den Anschluss eines Anschlussleiters 15e an der Elektrode 12e.

Claims (10)

  1. Piezoaktor für miniaturisierte Pumpen, Zerstäuber, Ventile oder dergleichen, mit einer Piezoscheibe (1;1a;1b;1d;1e) und einer an die Piezoscheibe (1;1a;1b;1d;1e) gekoppelten Gegenhalterscheibe (2;2a;2b;2d;2e), die in einem Randbereich (18) fluiddicht mit einem Substrat verbunden ist und sich durch die Piezoscheibe (1;1a;1b;1d;1e) unter Änderung des Volumens einer zwischen der Gegenhalterscheibe (2;2a;2b;2d;2e) und dem Substrat gebildeten Kavität wölben lässt, und die eine zwischen dem verbundenen Randbereich (18) und der Piezoscheibe (1;1a;1b;1d;1e) verlaufende, beim Wölben der Gegenhalterscheibe (2;2a;2b;2d;2e) ein Gelenk bildende Schwachstelle in Form einer Ringnut (6;6a;6b,6b';6d;6e) aufweist, dadurch gekennzeichnet,
    dass die Ringnut (6;6a;6b,6b';6d;6e), in Draufsicht auf die Piezoscheibe (1;1a;1b;1d;1e) gesehen, seitlich im Abstand sowohl zu dem verbundenen Randbereich (18) als auch zu der Piezoscheibe (1;1a;1b;1d;1e) verläuft.
  2. Piezoaktor für miniaturisierte Pumpen, Zerstäuber, Ventile oder dergleichen, mit einer Piezoscheibe (1c) und einer an die Piezoscheibe (1c) gekoppelten Gegenhalterscheibe (2c), die in einem Randbereich (18) fluiddicht mit einem Substrat verbunden ist und sich durch die Piezoscheibe (1c) unter Änderung des Volumens einer zwischen der Gegenhalterscheibe (2c) und dem Substrat gebildeten Kavität wölben lässt, und die eine zwischen dem verbundenen Randbereich (18) und der Piezoscheibe (1c) verlaufende, beim Wölben der Gegenhalterscheibe (2c) ein Gelenk bildende Schwachstelle in Form einer Stufenausnehmung (9) aufweist, wobei der Absatz der Stufenausnehmung (9), in Draufsicht auf die Piezoscheibe (1c) gesehen, seitlich im Abstand sowohl zu dem verbundenen Randbereich (18) als auch zu der Piezoscheibe (1c) verläuft,
    dadurch gekennzeichnet,
    dass die Stufenausnehmung (9) eine ringförmige Stufenausnehmung am Rand der Gegenhalterscheibe (2c) ist.
  3. Piezoaktor nach Anspruch 1 oder 2,
    dadurch gekennzeichnet,
    dass die Schwachstelle sowohl durch eine Ringnut (6;6a;6b,6b';6d;6e) als auch einedurch eine Stufenausnehmung (9) gebildet ist.
  4. Piezoaktor nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
    dadurch gekennzeichnet,
    dass die Ringnut (6;6a;6d;6e) oder/und Stufenausnehmung (9) auf einer dem Substrat zugewandten oder abgewandten Seite der Gegenhalterscheibe (2;2a;2c;2d;2e) gebildet ist/sind oder dass auf beiden Seiten der Gegenhalterscheibe (2b) einander gegenüberliegende Ringnuten (6b,6b') oder/und Stufenausnehmungen (9) vorgesehen sind.
  5. Piezoaktor nach einem der Ansprüche 1 oder 4,
    dadurch gekennzeichnet,
    dass die Ringnut (6;6a;6b,6b';6d;6e) eine einzige tiefstgelegene Fußlinie (7;7a;7b,7b';7d;7e) aufweist und vorzugsweise im Querschnitt V- oder U-förmig ausgebildet ist.
  6. Piezoaktor nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
    dadurch gekennzeichnet,
    dass die an der Schwachstelle verbleibende Materialdicke 10 bis 30% der Dicke der Gegenhalterscheibe (2;2a;2b;2c;2d;2e) beträgt.
  7. Piezoaktor nach einem der Ansprüche 1 bis 6,
    dadurch gekennzeichnet,
    dass die Gegenhalterscheibe (2e) eine, ggf. zu der Ringnut (6e) oder/und Stufenausnehmung (9) hin offene, Ausnehmung (17) für die Zuführung eines Anschlussleiters (15e) zu einer der Gegenhalterscheibe (2e) zugewandten Elektrode (12e) der Piezoscheibe (1e) aufweist.
  8. Piezoaktor nach einem der Ansprüche 1 bis 6,
    dadurch gekennzeichnet,
    dass eine Elektrode (11) auf einer der Gegenhalterscheibe (2d) abgewandten Seite der Piezoscheibe ( 1 d) eine Randaussparung (13) aufweist, in welche eine mit einer der Gegenhalterscheibe (2d) zugewandten Elektrode (12) verbundene Kontaktschicht (14) hineingeführt ist.
  9. Piezoaktor nach einem der Ansprüche 1 bis 8,
    dadurch gekennzeichnet,
    dass die Piezoscheibe (1d;1e) mit der Gegenhalterscheibe (2d;2e) über einen leitfähigen, eine Elektrode (12;12e) bildenden Kleber verbunden und ggf. eine Kleberschicht zur Bildung einer Kontaktierungsfahne aus einem Klebespalt herausgeführt ist.
  10. Piezoaktor nach einem der Ansprüche 1 bis 9,
    dadurch gekennzeichnet,
    dass die Gegenhalterscheibe (2;2a;2b;2c;2d;2e) ein einstückig im Spritzgießverfahren hergestelltes Kunststoffteil ist.
EP04764739.1A 2003-09-04 2004-09-02 Piezoaktor Not-in-force EP1661190B1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE20313727U DE20313727U1 (de) 2003-09-04 2003-09-04 Piezoaktor
PCT/EP2004/009780 WO2005024967A1 (de) 2003-09-04 2004-09-02 Piezoaktor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP1661190A1 EP1661190A1 (de) 2006-05-31
EP1661190B1 true EP1661190B1 (de) 2016-11-23

Family

ID=34072148

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP04764739.1A Not-in-force EP1661190B1 (de) 2003-09-04 2004-09-02 Piezoaktor

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7482733B2 (de)
EP (1) EP1661190B1 (de)
DE (1) DE20313727U1 (de)
WO (1) WO2005024967A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20220316467A1 (en) * 2019-09-11 2022-10-06 Kyocera Corporation Piezoelectric pump and pump unit

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005104038A (ja) * 2003-09-30 2005-04-21 Fuji Photo Film Co Ltd 吐出ヘッド及び液吐出装置
EP1886363A2 (de) * 2005-05-31 2008-02-13 Unison Products Optmiertes piezodesign für einen mechanisch-akustischen wandler
US20070120896A1 (en) * 2005-11-30 2007-05-31 Xerox Corporation Drop generator
EP1792662A1 (de) 2005-11-30 2007-06-06 Microflow Engineering SA Tropferspendervorrichtung
KR100738102B1 (ko) * 2006-02-01 2007-07-12 삼성전자주식회사 압전 방식의 잉크젯 프린트헤드
US7608983B2 (en) * 2006-07-18 2009-10-27 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Piezoelectric actuator, liquid transporting apparatus, and liquid-droplet jetting apparatus
EP1952896B1 (de) 2007-02-01 2012-11-07 EP Systems SA Tropfenspender
DE602008003319D1 (de) 2008-06-03 2010-12-16 Microflow Eng Sa Spendervorrichtung für flüchtige flüssige Tröpfchen
JP5161698B2 (ja) * 2008-08-08 2013-03-13 太陽誘電株式会社 圧電薄膜共振子及びこれを用いたフィルタあるいは分波器
US8189851B2 (en) 2009-03-06 2012-05-29 Emo Labs, Inc. Optically clear diaphragm for an acoustic transducer and method for making same
WO2011020100A1 (en) * 2009-08-14 2011-02-17 Emo Labs, Inc System to generate electrical signals for a loudspeaker
US20120038469A1 (en) * 2010-08-11 2012-02-16 Research In Motion Limited Actuator assembly and electronic device including same
US9094743B2 (en) 2013-03-15 2015-07-28 Emo Labs, Inc. Acoustic transducers
GB2516667A (en) 2013-07-29 2015-02-04 Atlas Genetics Ltd An improved cartridge, cartridge reader and method for preventing reuse
GB2516672B (en) 2013-07-29 2015-05-20 Atlas Genetics Ltd A system and method for expelling liquid from a fluidic cartridge
GB2516669B (en) 2013-07-29 2015-09-09 Atlas Genetics Ltd A method for processing a liquid sample in a fluidic cartridge
GB2516666B (en) 2013-07-29 2015-09-09 Atlas Genetics Ltd Fluidic cartridge for nucleic acid amplification and detection
GB2516675A (en) 2013-07-29 2015-02-04 Atlas Genetics Ltd A valve which depressurises, and a valve system
USD733678S1 (en) 2013-12-27 2015-07-07 Emo Labs, Inc. Audio speaker
USD741835S1 (en) 2013-12-27 2015-10-27 Emo Labs, Inc. Speaker
WO2015105797A1 (en) 2014-01-07 2015-07-16 Daktari Diagnostics, Inc. Fluid delivery devices, systems, and methods
USD748072S1 (en) 2014-03-14 2016-01-26 Emo Labs, Inc. Sound bar audio speaker
DE102014207490B3 (de) 2014-04-17 2015-07-02 Carl Zeiss Ag Brillenglas für eine auf den Kopf eines Benutzers aufsetzbare und ein Bild erzeugende Anzeigevorrichtung und Anzeigevorrichtung mit einem solchen Brillenglas
JP6558104B2 (ja) * 2015-07-02 2019-08-14 セイコーエプソン株式会社 圧電デバイス、液体吐出ヘッド、および、液体吐出装置
US10536815B2 (en) * 2017-06-08 2020-01-14 Ford Global Technologies, Llc Tracking a wireless device using a seamless handoff between a vehicle and a mobile device

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19546570C1 (de) * 1995-12-13 1997-03-27 Inst Mikro Und Informationstec Fluidpumpe
US6297578B1 (en) * 1996-11-07 2001-10-02 Ngk Insulators, Ltd. Piezoelectric/electrostrictive element

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5898259A (ja) * 1981-12-08 1983-06-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd インクジエツトヘツド
DE4443244C2 (de) * 1994-11-25 2000-04-06 Francotyp Postalia Gmbh Anordnung für einen Tintendruckkopf aus einzelnen Tintendruckmodulen
JP3176245B2 (ja) * 1995-03-23 2001-06-11 シャープ株式会社 インクジェットヘッド
DE19534378C1 (de) * 1995-09-15 1997-01-02 Inst Mikro Und Informationstec Fluidpumpe
JP3503386B2 (ja) * 1996-01-26 2004-03-02 セイコーエプソン株式会社 インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法
DE19646676C1 (de) * 1996-11-12 1998-04-23 Siemens Ag Piezoaktor mit neuartiger Kontaktierung und Herstellverfahren
DE19735156C1 (de) * 1996-11-25 1999-04-29 Fraunhofer Ges Forschung Piezoelektrisch betätigtes Mikroventil
DE19856583A1 (de) * 1998-12-08 2000-06-21 Fraunhofer Ges Forschung Mikromechanische Aktorstruktur und Mikroventil
JP4058223B2 (ja) * 1999-10-01 2008-03-05 日本碍子株式会社 圧電／電歪デバイス及びその製造方法
JP4114321B2 (ja) * 2001-01-31 2008-07-09 富士ゼロックス株式会社 インクジェットプリンタヘッド及びインクジェットプリンタヘッド用の圧電／電歪アクチュエータ
US6685306B2 (en) * 2001-03-30 2004-02-03 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Liquid droplet ejection device

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19546570C1 (de) * 1995-12-13 1997-03-27 Inst Mikro Und Informationstec Fluidpumpe
US6297578B1 (en) * 1996-11-07 2001-10-02 Ngk Insulators, Ltd. Piezoelectric/electrostrictive element

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20220316467A1 (en) * 2019-09-11 2022-10-06 Kyocera Corporation Piezoelectric pump and pump unit

Also Published As

Publication number Publication date
US7482733B2 (en) 2009-01-27
US20070007859A1 (en) 2007-01-11
DE20313727U1 (de) 2005-01-13
WO2005024967A1 (de) 2005-03-17
EP1661190A1 (de) 2006-05-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1661190B1 (de) Piezoaktor
DE60210736T2 (de) Elektrisch aktivierbarer Antrieb aus polymer und Diaphragmapumpe mit diesem Antrieb
DE4143343C2 (de) Mikrominiaturisierte, elektrostatisch betriebene Mikromembranpumpe
EP1090431B1 (de) Piezoelektrischer aktor
DE112007003042B4 (de) Piezoelektrisches Ventil
DE102016201718B4 (de) Pumpe mit polygonförmigem Piezo-Membranwandler
DE4231734A1 (de) Piezoelektrische einrichtung
DE3126351C2 (de) Gerät zur Bildung eines Tröpfchenstrahles
DE19739494C2 (de) Piezoelektrisches Element und Verfahren zur Herstellung desselben
EP0910127A2 (de) Piezoelektrischer Aktuator
DE102008041061A1 (de) Piezoelektrisches Schichtelement
DE10135569B4 (de) Mikromechanisches Bauteil
DE102010049311B4 (de) Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Aktorbauelements
DE3313887A1 (de) Tonrufgeber
DE10393265T5 (de) Mikrovorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung
EP2897230A1 (de) Elektrische Steckverbindung insbesondere einer elektrischen Heizvorrichtung für ein Kraftfahrzeug
EP3394907A1 (de) Vielschichtaktor
DE102010042969A1 (de) Piezoelektrisches Bauteil mit Kontaktierung
DE102020119141B4 (de) Leistungselektronische Schalteinrichtung mit einem Anschlusselement und einer Verbindungseinrichtung
DE102007048826A1 (de) Gehäuse einer Fahrzeug-Heizungs-oder Klimaanlage
EP2302987B1 (de) Integration von SMD-Bauteilen in ein IC-Gehäuse
DE102019006851B3 (de) Verfahren zur Herstellung eines elektrisch leitenden Kontaktelements, elektrisch leitendes Kontaktelement und Hülse mit einem elektrisch leitenden Kontaktelement
EP1700036B1 (de) Mikropumpe und verfahren zu ihrer herstellung
DE102016211325A1 (de) Kontaktierungsbauelement und Anordnung aus einem Kontaktierungsbauelement und einem Piezostapel
DE112012003954B4 (de) Piezoelektrisches Aktorbauelement und Verfahren zur Herstellung des piezoelektrischen Aktorbauelements

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 20060321

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

17Q First examination report despatched

Effective date: 20060726

DAX Request for extension of the european patent (deleted)
REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R079

Ref document number: 502004015394

Country of ref document: DE

Free format text: PREVIOUS MAIN CLASS: H01L0041090000

Ipc: B41J0002140000

GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

RIC1 Information provided on ipc code assigned before grant

Ipc: F04B 43/04 20060101ALI20160531BHEP

Ipc: H01L 41/09 20060101ALI20160531BHEP

Ipc: H01L 41/047 20060101ALI20160531BHEP

Ipc: B41J 2/14 20060101AFI20160531BHEP

INTG Intention to grant announced

Effective date: 20160616

RIN1 Information on inventor provided before grant (corrected)

Inventor name: WEBER, LUTZ

GRAS Grant fee paid

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: FG4D

Free format text: NOT ENGLISH

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: EP

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: FG4D

Free format text: LANGUAGE OF EP DOCUMENT: GERMAN

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: NV

Representative=s name: ALDO ROEMPLER PATENTANWALT, CH

Ref country code: AT

Ref legal event code: REF

Ref document number: 847495

Country of ref document: AT

Kind code of ref document: T

Effective date: 20161215

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R096

Ref document number: 502004015394

Country of ref document: DE

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R096

Ref document number: 502004015394

Country of ref document: DE

REG Reference to a national code

Ref country code: NL

Ref legal event code: MP

Effective date: 20161123

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: NL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20161123

Ref country code: GR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20170224

Ref country code: SE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20161123

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: PT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20170323

Ref country code: ES

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20161123

Ref country code: FI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20161123

Ref country code: PL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20161123

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CZ

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20161123

Ref country code: RO

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20161123

Ref country code: EE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20161123

Ref country code: DK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20161123

Ref country code: SK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20161123

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R097

Ref document number: 502004015394

Country of ref document: DE

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: PLFP

Year of fee payment: 14

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20161123

Ref country code: BG

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20170223

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed

Effective date: 20170824

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: SI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20161123

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PL

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: MC

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20161123

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: MM4A

REG Reference to a national code

Ref country code: BE

Ref legal event code: MM

Effective date: 20170930

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: LU

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20170902

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CH

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20170930

Ref country code: LI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20170930

Ref country code: IE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20170902

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: PLFP

Year of fee payment: 15

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: BE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20170930

REG Reference to a national code

Ref country code: AT

Ref legal event code: MM01

Ref document number: 847495

Country of ref document: AT

Kind code of ref document: T

Effective date: 20170902

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: AT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20170902

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: HU

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT; INVALID AB INITIO

Effective date: 20040902

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CY

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20161123

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 20190918

Year of fee payment: 16

Ref country code: FR

Payment date: 20190926

Year of fee payment: 16

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Payment date: 20190920

Year of fee payment: 16

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: TR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20161123

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R119

Ref document number: 502004015394

Country of ref document: DE

GBPC Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee

Effective date: 20200902

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20210401

Ref country code: FR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20200930

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20200902