EP1483435A1 - Hohlfaser-spinndüse - Google Patents

Hohlfaser-spinndüse

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Publication number
EP1483435A1
EP1483435A1 EP03706500A EP03706500A EP1483435A1 EP 1483435 A1 EP1483435 A1 EP 1483435A1 EP 03706500 A EP03706500 A EP 03706500A EP 03706500 A EP03706500 A EP 03706500A EP 1483435 A1 EP1483435 A1 EP 1483435A1
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EP
European Patent Office
Prior art keywords
plate
hollow fiber
needle
precipitant
fiber spinneret
Prior art date
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EP03706500A
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English (en)
French (fr)
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EP1483435B1 (de
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Torsten Keller
Jens-Holger Stahl
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Fresenius Medical Care Deutschland GmbH
Original Assignee
Fresenius Medical Care Deutschland GmbH
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Filing date
Publication date
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Publication of EP1483435A1 publication Critical patent/EP1483435A1/de
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Publication of EP1483435B1 publication Critical patent/EP1483435B1/de
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    • D01—NATURAL OR MAN-MADE THREADS OR FIBRES; SPINNING
    • D01D—MECHANICAL METHODS OR APPARATUS IN THE MANUFACTURE OF ARTIFICIAL FILAMENTS, THREADS, FIBRES, BRISTLES OR RIBBONS
    • D01D5/00—Formation of filaments, threads, or the like
    • D01D5/24—Formation of filaments, threads, or the like with a hollow structure; Spinnerette packs therefor
    • D—TEXTILES; PAPER
    • D01—NATURAL OR MAN-MADE THREADS OR FIBRES; SPINNING
    • D01D—MECHANICAL METHODS OR APPARATUS IN THE MANUFACTURE OF ARTIFICIAL FILAMENTS, THREADS, FIBRES, BRISTLES OR RIBBONS
    • D01D4/00—Spinnerette packs; Cleaning thereof
    • D01D4/02—Spinnerettes
    • D01D4/022—Processes or materials for the preparation of spinnerettes
    • D—TEXTILES; PAPER
    • D01—NATURAL OR MAN-MADE THREADS OR FIBRES; SPINNING
    • D01D—MECHANICAL METHODS OR APPARATUS IN THE MANUFACTURE OF ARTIFICIAL FILAMENTS, THREADS, FIBRES, BRISTLES OR RIBBONS
    • D01D5/00—Formation of filaments, threads, or the like
    • D01D5/28—Formation of filaments, threads, or the like while mixing different spinning solutions or melts during the spinning operation; Spinnerette packs therefor
    • D01D5/30—Conjugate filaments; Spinnerette packs therefor
    • D01D5/34—Core-skin structure; Spinnerette packs therefor
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    • Y10S425/217—Spinnerette forming conjugate, composite or hollow filaments
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    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/4998—Combined manufacture including applying or shaping of fluent material

Definitions

  • the invention relates to a hollow fiber spinneret according to the preamble of claim 1.
  • hollow fiber spinnerets are already known which are used for the production of polymeric hollow fiber membranes.
  • hollow fiber spinnerets 10 of this type consist of a base body 12 made of metal, into which a plurality of bores 14, 16, 18, 22 are made.
  • a tube 20 is fitted into the bore 14, in which a precipitant or proppant channel 22 is formed for introducing the precipitant or proppant.
  • the bores 16 and 18 form mass feed channels for a polymer which exits via an annular channel 22, which also consists of a corresponding bore.
  • methods of conventional metal working are used.
  • the nozzle structure is created by the assembly of both nozzle parts, an inaccuracy, for example the geometry of the annular space 22, adding up from the manufacturing errors in the manufacture of the base body 12 and the tube 20 of geometry.
  • an inaccuracy for example the geometry of the annular space 22
  • adding up from the manufacturing errors in the manufacture of the base body 12 and the tube 20 of geometry adding up from the manufacturing errors in the manufacture of the base body 12 and the tube 20 of geometry.
  • the hollow fiber spinnerets known according to the prior art cannot be reduced in size as desired.
  • the object of the invention is therefore to provide hollow fiber spinnerets with which fine capillary membranes can also be produced, the manufacturing tolerances being minimized and the manufacturing process for these hollow fiber spinnerets being made significantly cheaper.
  • this object is achieved by the combination of the features of claim 1.
  • the invention namely, at least two plate-shaped bodies structured by means of microstructure technology are joined to form the hollow fiber spinneret.
  • a second unstructured plate is preferably added to a first plate formed by means of microstructure technology, the second plate being structured only after being applied to the first plate.
  • the panels are connected to each other over a large area.
  • the new manufacturing method opens up a multitude of advantages. First, a much smaller dimension of the nozzle structure can be realized using microstructure technology. In addition, a significantly higher precision with regard to the nozzle structure can be achieved.
  • a hollow fiber spinneret consists of two plates, the mass feed channels, a mass flow equalization zone, a precipitant / proppant supply bore and a needle stub being excluded in the first plate, while in the second plate a nozzle structure with a mass annular gap and a needle with a precipitant / proppant hole is excluded.
  • the second plate additionally contains the mass feed channels and the mass flow equalization zone. There these elements and the needle stump are omitted on the first plate.
  • a special feature of this construction is that the needle of the spinneret is connected to the first plate only on one end face.
  • Thickness of the first plate 0.250-1.500 mm
  • Thickness of the second plate 0.050 - 1, 500 mm
  • Length of the needle including needle stump 0.100 - 2.000 mm
  • Diameter of the precipitate hole 0.010 - 1,000 mm
  • Length of the precipitant hole 0.150 - 2.500 mm
  • Length of the annular gap 0.050 - 1, 500 mm
  • a further preferred embodiment of the invention consists of three plates, the first plate containing feed channels, an equalization zone and a needle stump with a central feed hole, a second plate adjoining the first plate, feed channels, a homogenization zone and a further needle stump with one Has concentric ring channel and a needle extension with a central bore, and wherein a third plate, which in turn adjoins the second plate, has a nozzle structure consisting of a central bore and two concentric annular gaps.
  • Capillary membranes with coextruded double layers can be produced by means of this hollow fiber spinneret according to the invention.
  • the hollow fiber spinneret is constructed from three individual plates, the first plate having a central feed bore, a second plate adjoining the first plate and parallel feed channels and equalization zones arranged thereon, and a needle stump with a concentric annular channel and has a central bore and wherein the third plate adjoining the second plate has a nozzle structure consisting of a central bore and two concentric annular gaps.
  • the outer diameter of the multi-channel hollow fiber spinneret is advantageously less than 1 mm.
  • the outer diameter of the multi-channel hollow fiber spinneret is particularly advantageously less than or equal to 0.45 mm.
  • a dialysis membrane with an inner diameter of 200-300 ⁇ m can be produced with this.
  • FIG. 1 shows a schematic section through a hollow fiber spinneret according to an embodiment according to the prior art
  • FIG. 2 a schematic section through a hollow fiber spinneret according to a first embodiment of the invention
  • FIG. 3 shows a schematic sectional illustration of a hollow fiber spinneret according to a second embodiment variant of the invention, three variants of the arrangement of the mass feed channels being shown,
  • Figure 4 is a partially sectioned three-dimensional representation of a hollow fiber spinneret according to Figure 2 and
  • FIG. 5 shows a partially sectioned three-dimensional representation of a hollow fiber spinneret according to the embodiment of FIG. 3.
  • FIG. 2 shows a hollow fiber spinneret 10 according to a first embodiment of the invention.
  • the entire base body 26 is composed of two individual plates 30 and 32.
  • mass feed channels 34, a mass flow equalization zone 36, a precipitant feed bore 38 and a needle stub 40 are formed by a corresponding etching process, which will be described in detail later.
  • the three-dimensional design of the hollow fiber spinneret shown here in FIG. 2 results from FIG. 4. It can be seen there that the mass supply channels, i.e. the channels for supplying the polymer mass to be precipitated are arranged in a cross shape in the exemplary embodiment shown here.
  • the mass flow equalization zone 36 results as an annular space around the needle stump 40.
  • the precipitant supply bore 38 is widened in its area pointing towards the top, as can be seen in particular in FIG. 2.
  • the structure of the second plate 32 can also be seen from FIGS. 2 and 4, which has a mass outlet opening 42 which directly adjoins the mass flow equalization zone 36.
  • This mass outlet opening or the mass annular gap 42 results with the needle 44 with a precipitant bore 46 in the highly precise nozzle structure 48.
  • 2 and 4 made of single-crystal silicon has, for example, a thickness of the first plate of 0.4 mm, a thickness of the second plate of 0.1 mm, an outer diameter of the needle of 0.05 mm, a length of the needle including the needle stump of 0.15 mm Diameter of the precipitant hole 38 in the expanded range of 0.1 mm, an outer diameter of the annular gap 42 of 0.1 mm and a length of the annular gap 42 of 0.1 mm.
  • the height of the base body 26, ie the height of the entire spinneret 10, is accordingly 0.5 mm, while an edge length of the base body 26 of the spinneret 10 is 2 mm.
  • the separated split spinnerets can each contain a single nozzle structure, as shown here, but can also contain several nozzle structures in a composite nozzle structure. This is achieved in that not all nozzle structures that have been formed on the wafer are separated from one another, but rather that several nozzle structures together form a multiple nozzle unit that are cut out of the wafer along their outer contour.
  • the production of the spinnerets 10 begins with the structuring of a first wafer on both sides, which receives the elements 34, 36, 38, 40 of the plate 30 of the spinneret 10.
  • the structures are produced using a series of standard lithography processes, ie masks made of photoresist, SiO, Si-N or the like, and standard etching processes.
  • the standard etching methods include reactive ion etching (RIE), reactive ion deep etching (D-RIE) and cryo-etching. Special deep etching processes such as D-RIE and cryo-etching are particularly suitable.
  • RIE reactive ion etching
  • D-RIE reactive ion deep etching
  • cryo-etching Special deep etching processes such as D-RIE and cryo-etching are particularly suitable.
  • the lithography masks for the front and back must be aligned visually.
  • the second wafer from which the second plate is to be produced is then bonded to the correspondingly structured first wafer.
  • All bonding methods can be used, anodic bonding, direct bonding or the like. However, direct bonding is particularly suitable because the highest strengths are achieved and thus a good hold of the needle on the first plate is guaranteed.
  • the nozzle structure 48 with the annular gap 42 and the precipitant bore 46 is produced in a two-stage etching process. In the first step, only the deeper precipitant drilling is advanced. In the second step, both structures are then etched. Again, the aforementioned lithography and etching processes are used, whereby the use of deep etching processes is even more advisable here than when processing the first wafer.
  • the individual spinnerets are cut out of the wafer by suitable separation processes, such as wafer sawing or laser processing.
  • FIGS. 3 and 5 a hollow fiber spinneret 10 for producing a hollow fiber coextruded from two layers is shown.
  • a hollow fiber spinneret 10 with a base body 100 consisting of three individual plates 102, 104 and 106 is shown.
  • the individual plates are made of single-crystal silicon.
  • a feed channel 108 for the precipitant is recessed in the first plate 102.
  • feed channels 110, 112 are provided for a first polymer, which open into an associated equalization zone 114.
  • the equalization zone 114 surrounds a corresponding needle stump 116.
  • a precipitant hole 118 is likewise excluded, which is surrounded by a further needle stump 120 and an annular space 122. Furthermore, additional feed channels 124 with subsequent equalization zone 126 in the second plate 104 are excluded. Finally, the third plate 106 has two annular gaps 128 and 130 for the respective polymeric materials that are to be co-extruded, and a needle 132 with a precipitant hole 134.
  • the feed channels 124 are each different designed. While in the embodiment variant according to FIG. 3a, the feed channel 124 for the second polymer is only provided in the second plate 104, the one in the variant according to FIG.
  • FIG. 3b both runs through the second plate 104 as well as through the third plate 106.
  • the feed channel 124 for the second polymer runs through the second plate 104 and the first plate 102, as shown here in FIG. 3c.
  • the representation according to FIG. 5 corresponds to the section according to FIG. 3a, it being clear here that 8 feed channels 112 are arranged in a star shape, while only 4 feed channels 124 are arranged in a cross shape.
  • the three plates 102, 104 and 106 are in turn connected to one another to form the base body 100 by means of a suitable bonding method, advantageously direct bonding. Otherwise, the manufacturing method for the hollow fiber spinneret 10 according to FIGS. 3 and 5 corresponds to that described in detail with reference to FIGS. 2 and 4.

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Description

Hohlfaser-Spinndüse
Die Erfindung betrifft eine Hohlfaser-Spinndüse nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Es sind bereits Hohlfaser-Spinndüsen bekannt, die zur Herstellung von polymeren Hohlfasermembranen dienen. Wie in der Figur 1 gemäß der beigefügten Zeichnung dargestellt, bestehen derartige Hohlfaser-Spinndüsen 10 aus einem Grundkörper 12 aus Metall, in welchen mehrere Bohrungen 14, 16, 18, 22 eingebracht sind. In die Bohrung 14 ist ein Röhrchen 20 eingepasst, in welchem ein Fällmittel- bzw. Stützmittelkanal 22 zum Einbringen des Fällmittels bzw. Stützmittels ausgebildet ist. Die Bohrungen 16 und 18 bilden Massezuführkanäle für ein Polymer, das über einen Ringkanal 22, der ja ebenfalls aus einer entsprechenden Bohrung besteht, austritt. Bei der Herstellung der bekannten Hohlfaser-Spinndüsen 10 werden Verfahren der üblichen Metallbearbeitung angewandt. Hier entsteht also die Düsenstruktur durch den Zusammenbau beider Düsenteile, wobei sich eine Ungenauigkeit, beispielsweise der Geometrie des Ringraums 22 aufsummiert aus den Fertigungsfehlern beim Fertigen des Grundkörpers 12 und des Röhrchens 20. Es treten darüber hinaus mögliche Montagefehler hinzu, die ebenfalls zu einer Ungenauigkeit der Geometrie führen können. Schließlich sind die gemäß dem Stand der Technik bekannten Hohlfaser-Spinndüsen nicht beliebig verkleinerbar.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, Hohlfaser-Spinndüsen an die Hand zu geben, mit denen auch feine Kapillarmembranen herstellbar sind, wobei die Fertigungstoleranzen minimiert werden und das Herstellverfahren für diese Hohlfaser-Spinndüsen deutlich verbilligt wird.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die Kombination der Merkmale des Anspruchs 1 gelöst. Somit wird eine vollständig neuartige Konstruktionsweise für Hohlfaser-Spinndüsen geschaffen, da sich die Erfindung von der konventionellen Metallbearbeitung abwendet und Verfahren der Mikrostrukturtechnik anwendet. Erfindungsgemäß werden nämlich mindestens zwei mittels Mikrostrukturtechnik strukturierte plattenförmige Körper zu der Hohlfaser-Spinndüse zusammengefügt. Dabei wird bevorzugt auf eine erste mittels Mikrostrukturtechnik gebildete Platte eine zweite unstrukturierte Platte gefügt, wobei die zweite Platte erst nach dem Aufbringen auf die erste Platte strukturiert wird. Die Platten werden flächig miteinander verbunden. Mit der neuen Fertigungsmethode eröffnet sich eine Vielzahl von Vorteilen. Zunächst lässt sich eine wesentlich kleinere Abmessung der Düsenstruktur mittels der Mikrostrukturtechnik realisieren. Darüber hinaus ist eine wesentlich höhere Präzision hinsichtlich der Düsenstruktur realisierbar. Diese Präzision kommt dadurch zustande, dass die Düsenstruktur in einem Schritt entsteht. Sie ist nur durch die Genauigkeit der zu Grunde liegenden Lithographiemaske, die bei der Mikrostrukturtechnik verwendet wird, beschränkt. Derartige Lithographiemasken lassen sich jedoch mit Toleranzen von 100 nm extrem genau fertigen. Ein weiterer Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens liegt in den wesentlich geringeren Produktionskosten der Spinndüsen.
Besondere Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den sich an den Hauptanspruch anschließenden Unteransprüchen. Grundsätzlich lassen sich natürlich für die Realisierung der Hohlfaser-Spinndüsen nach der Erfindung alle Materialien der Mikrostrukturtechnik einsetzen, sofern diese anisotrop geätzt und gebondet werden können. Besonders vorteilhaft sind aber einkristallines Silizium, Galliumarsenid (GaAs) oder Germanium einsetzbar.
Gemäß einer besonderen Ausführungsform der Erfindung besteht eine Hohlfaser- Spinndüse aus zwei Platten, wobei in der ersten Platte die Massezuführkanäle, eine Massestrom-Vergleichmäßigungszone, eine Fällmittel/Stützmittelzuführbohrung und ein Nadelstumpf ausgenommen sind, während in der zweiten Plattte eine Düsenstruktur mit Masse-Ringspalt und eine Nadel mit einer Fällmittel/Stützmittelbohrung ausgenommen sind.
Alternativ ist auch eine Konstruktion denkbar, bei der die zweite Platte zusätzlich die Massezuführkanäle und die Massestrom-Vergleichmäßigungszone enthält. Dort entfallen auf der ersten Platte diese Elemente und der Nadelstumpf. Ein besonderes Merkmal dieser Konstruktion ist es, dass die Nadel der Spinndüse nur an einer Stirnfläche mit der erste Platte verbunden ist.
Diese bevorzugten Ausgestaltungen für eine Hohlfaser-Spinndüse, mit der eine einfache Kapillar-Hohlfasermembran herstellbar ist, weisen vorteilhaft folgende Abmessungen auf:
Dicke der ersten Platte: 0,250 - 1 ,500 mm
Dicke der zweiten Platte: 0,050 - 1 ,500 mm
Außendurchmesser der Nadel: 0,020 - 1 ,500 mm
Länge der Nadel incl. Nadelstumpf: 0,100 - 2,000 mm
Durchmesser der Fälimittelbohrung: 0,010 - 1 ,000 mm
Länge der Fällmittelbohrung: 0,150 - 2,500 mm
Außendurchmesser des Ringspalts: 0,040 - 3,000 mm
Länge des Ringspalts: 0,050 - 1 ,500 mm
Höhe der Spinndüse: 0,300 - 3,000 mm
Kantenlänge der Spinndüse: 1 ,000 -.25,00 mm. Eine weitere bevorzugte Ausgestaltung der Erfindung besteht aus drei Platten, wobei die erste Platte Zuführkanäle, eine Vergleichmäßigungszone und einen Nadelstumpf mit einer zentralen Zuführbohrung enthält, eine zweite Platte, die sich an die erste Platte anschließt, Zuführkanäle, eine Vergleichmäßigungszone und einen weiteren Nadelstumpf mit einem konzentrischen Ringkanal sowie eine Nadelverlängerung mit einer zentralen Bohrung aufweist, und wobei eine dritte Platte, die sich wiederum an die zweite Platte anschließt, eine Düsenstruktur bestehend aus einer zentralen Bohrung und zwei konzentrischen Ringspalten aufweist. Mittels dieser erfindungsgemäßen Hohlfaser-Spinndüse lassen sich Kapillarmembranen mit koextrudierten Doppelschichten herstellen.
Eine alternative Ausführungsvariante ergibt sich dadurch, dass die Hohlfaser- Spinndüsen aus drei einzelnen Platten aufgebaut ist, wobei die erste Platte eine zentrale Zuführungsbohrung aufweist, eine sich an die erste Platte anschließende zweite Platte parallele Zuführkanäle und zu diesen angeordnete Vergleichmäßigungszonen sowie ein Nadelstumpf mit konzentrischem Ringkanal und eine zentrale Bohrung aufweist und wobei die an die zweite Platte anschließende dritte Platte eine Düsenstruktur bestehend aus einer zentralen Bohrung und zwei konzentrischen Ringspalten aufweist.
Vorteilhaft ist der äußere Durchmesser der Mehrkanal-Hohlfaser-Spinndüse kleiner als 1 mm. Besonders vorteilhaft ist der äußere Durchmesser der Mehrkanal- Hohlfaser-Spinndüse kleiner oder gleich 0,45 mm. Mit dieser ist eine Dialysemembran mit einem Innendurchmesser von 200-300 μm herstellbar.
Weitere Einzelheiten und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus den in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen. Es zeigen:
Figur 1 : einen schematischen Schnitt durch eine Hohlfaser-Spinndüse gemäß einer Ausführungsform nach dem Stand der Technik, Figur 2: einen schematischen Schnitt durch eine Hohlfaser-Spinndüse nach einer ersten Ausgestaltung der Erfindung,
Figur 3: eine schematische Schnittdarstellung einer Hohlfaser-Spinndüse nach einer zweiten Ausführungsvariante der Erfindung, wobei drei Varianten der Anordnung der Massezuführkanäle gezeigt sind,
Figur 4: eine teilweise geschnittene dreidimensionale Darstellung einer Hohlfaser-Spinndüse gemäß Figur 2 und
Figur 5: eine teilweise geschnittene dreidimensionale Darstellung einer Hohlfaser-Spinndüse gemäß der Ausführungsvariante nach Figur 3.
In Figur 2 ist eine Hohlfaser-Spinndüse 10 nach einer ersten Ausgestaltung der Erfindung gezeigt. Hier ist der gesamte Grundkörper 26 aus zwei einzelnen Platten 30 und 32 zusammengesetzt. In der ersten Platte 30 sind Massezuführkanäle 34, eine Massenstrom-Vergleichmäßigungszone 36, eine Fällmittelzuführungsbohrung 38 und ein Nadelstumpf 40 durch einen entsprechenden Ätzvorgang, der später noch im einzelnen beschrieben wird, gebildet. Die dreidimensionale Ausgestaltung der hier in Figur 2 dargestellten Hohlfaser-Spinndüse ergibt sich aus Figur 4. Dort ist zu sehen, dass die Massezuführkanäle, d.h. die Kanäle zur Zuführung der auszufällenden polymeren Masse im hier dargestellten Ausführungsbeispiel kreuzförmig angeordnet sind. Die Massestrom-Vergleichmäßigungszone 36 ergibt sich als Ringraum um den Nadelstumpf 40 herum. Die Fällmittelzuführungsbohrung 38 ist in ihrem zur Oberseite hinweisenden Bereich verbreitert, wie das insbesondere der Figur 2 zu entnehmen ist.
Aus den Figuren 2 und 4 ist auch der Aufbau der zweiten Platte 32 zu entnehmen, die eine Masse-Austrittsöffnung 42 aufweist, der unmittelbar an die Massestrom- Vergleichmäßigungszone 36 anschließt. Diese Masse-Austrittsöffnung bzw. der Masse-Ringspalt 42 ergibt mit der Nadel 44 mit Fällmittelbohrung 46 die hochpräzise Düsenstruktur 48. Das in den Figuren 2 und 4 dargestellte Ausführungsbeispiel aus einkristallinem Silizium hat beispielsweise eine Dicke der ersten Platte von 0,4 mm, eine Dicke der zweiten Platte von 0,1 mm, einen Außendurchmesser der Nadel von 0,05 mm, eine Länge der Nadel inklusive Nadelstumpf von 0,15 mm, ein Durchmesser der Fällmittelbohrung 38 im erweiterten Bereich von 0,1 mm, einen Außendurchmesser des Ringspalts 42 von 0,1 mm und eine Länge des Ringspalts 42 von 0,1 mm. Die Höhe des Grundkörpers 26, d.h. die Höhe der gesamten Spinndüse 10, beträgt demnach 0,5 mm, während eine Kantenlänge des Grundkörpers 26 der Spinndüse 10 2 mm beträgt.
Bei der Herstellung von Hohlfaser-Spinndüsen mittels Mikrostrukturtechnik wird von 2 runden Waferscheiben mit 100 bis 300 mm Durchmesser ausgegangen. Aus diesen Wafern werden gleichzeitig viele Spinndüsenstrukturen hergestellt. Die einzelnen Hohlfaser-Spinndüsen 10 erhält man dann durch Zerteilen der fertig bearbeiteten Wafer. Die vereinzelten geteilten Spinndüsen können jeweils eine einzige Düsenstruktur, wie hier dargestellt, aber auch mehrere Düsenstrukturen in einem Dü~ senstrukturverbund enthalten. Dies erreicht man dadurch, dass nicht alle Düsenstrukturen, die auf dem Wafer gebildet wurden, voneinander getrennt werden, sondern dass mehrere Düsenstrukturen zusammen eine Mehrfach-Düseneinheit bilden, die entlang ihrer Außenkontur vom Wafer ausgeschnitten werden.
Die Herstellung der Spinndüsen 10 beginnt mit der beidseitigen Strukturierung eines ersten Wafers, der die Elemente 34, 36, 38, 40 der Platte 30 der Spinndüse 10 aufnimmt. Die Strukturen werden mit einer Folge von Standard- Lithographieverfahren, d.h. Masken aus Photoresist, SiO, Si-N oder ähnlichem, und Standard-Ätzverfahren gefertigt. Bei den Standard-Ätzverfahren sind insbesondere das reaktive Ionen-Ätzen (RIE), das reaktive Ionen-Tief enätzen (D-RIE) und das Kryo-Ätzen zu nennen. Besonders geeignet sind spezielle Tiefenätzverfahren wie das D-RIE und das Kryo-Ätzen. Die Lithographie-Masken für die Vorder- und Rückseite müssen optisch zueinander ausgerichtet werden. Anschließend wird der zweite Wafer, aus dem die zweite Platte hergestellt werden soll, auf den entsprechend strukturierten ersten Wafer gebondet. Dabei können sämtliche Bondverfahren eingesetzt werden, das Anodische Bonden, das Direktbonden oder ähnliches. Besonders geeignet ist aber das Direktbonden, da die höchsten Festigkeiten erreicht werden und damit ein guter Halt der Nadel auf der ersten Platte gewährleistet wird. Im nächsten Schritt wird die Düsenstrukur 48 mit Ringspalt 42 und Fällmittelbohrung 46 in einem zweistufigen Ätzverfahren hergestellt. Im ersten Schritt wird nur die tiefere Fällmittelbohrung vorangetrieben. Im zweiten Schritt werden dann beide Strukturen fertig geätzt. Zur Anwendung kommen dabei wieder die genannten Lithographie- und Ätzverfahren, wobei hier die Verwendung der Tiefenätzver- fahren noch eher angeraten ist als bei der Bearbeitung des ersten Wafers. Im letzten Schritt werden die einzelnen Spinndüsen, wie bereits zuvor beschrieben, durch geeignete Trennverfahren, wie Wafer-Sägen oder Laserbearbeitung aus dem Wafer herausgeschnitten.
Anhand der Figuren 3 und 5 werden weitere alternative Ausgestaltungen der Erfindung erläutert. Hier ist eine Hohlfaser-Spinndüse 10 zur Herstellung einer aus zwei Schichten koextrudierten Hohlfaser gezeigt. Hier ist eine Hohlfaser-Spinndüse 10 mit eines Grundkörpers 100 bestehend aus drei einzelnen Platten 102, 104 und 106 gezeigt. Die einzelnen Platten bestehen wiederum aus einkristallinem Silizium. In der ersten Platte 102 ist ein Zuführkanal 108 für das Fällmittel ausgenommen. Zusätzlich sind Zuführkanäle 110, 112 für ein erstes Polymer vorgesehen, die in eine zugehörige Vergleichmäßigungszone 114 einmünden. Die Vergleichmäßigungszone 114 umgibt einen entsprechenden Nadelstumpf 116.
In der zweiten Platte 104 ist ebenfalls eine Fällmittelbohrung 118 ausgenommen, die von einem weiterem Nadelstumpf 120 und einem Ringraum 122 umgeben ist. Weiterhin sind weitere Zuführkanäle 124 mit anschließender Vergleichmäßigungszone 126 in der zweiten Platte 104 ausgenommen. Schließlich weist die dritte Platte 106 zwei Ringspalten 128 und 130 für die jeweiligen polymeren Materialien, die koextrudiert werden sollen, auf, sowie eine Nadel 132 mit Fällmittelbohrung 134. Bei den Varianten der Figur 3a, Figur 3b und Figur 3c sind die Zuführkanäle 124 jeweils anders ausgestaltet. Während in der Ausführungsvariante gemäß der Figur 3a der Zuführungskanal 124 für das zweite Polymer lediglich in der zweiten Platte 104 vorgesehen ist, verläuft der in der Variante gemäß der Figur 3b sowohl durch die zweite Platte 104 wie auch durch die dritte Platte 106. In der Ausführungsvariante gemäß der Figur 3c verläuft der Zuführkanal 124 für das zweite Polymer durch die zweite Platte 104 und die erste Platte 102, wie hier in der Figur 3c dargestellt. Die Darstellung gemäß Figur 5 entspricht dem Schnitt gemäß Figur 3a, wobei hier deutlich wird, dass 8 Zuführkanäle 112 sternförmig angeordnet sind, während lediglich 4 Zuführkanäle 124 kreuzförmig angeordnet sind.
Die drei Platten 102, 104 und 106 werden wiederum durch ein geeignetes Bondverfahren, vorteilhaft ein Direktbonden, miteinander zum Grundkörper 100 verbunden. Ansonsten entspricht das Herstellverfahren für die Hohlfaser-Spinndüse 10 gemäß der Figuren 3 und 5, analog demjenigen, wie es bereits anhand der Figur 2 und 4 im einzelnen erläutert wurde.

Claims

Patentansprüche
1. Hohlfaser-Spinndüse, bei der in einem Grundkörper Fällmittel/Stützmittel - und Massezuführungskanäle und eine mit diesen verbundene Düsenstruktur mit einer Masse-Austrittsöffnung und einer Nadel mit Fällmittel/Stützmittelbohrung ausgebildet sind,
dadurch gekennzeichnet,
dass mindestens zwei mittels Mikrostrukturtechnik strukturierte plattenförmige Körper zu dem Grundkörper zusammengefügt sind.
2. Hohlfaser-Spinndüse nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass sie aus einkristallinem Silizium, aus Galliumarsenid (GaAs) oder Germanium besteht.
3. Hohlfaser-Spinndüse nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Masse Austrittsöffnung ein Ringspalt ist.
4. Hohlfaser-Spinndüse nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass sie aus zwei Platten besteht, wobei in der ersten Platte die Massezuführkanäle, eine Massestrom-Vergleichmäßigungszone, eine Fäll- mittel/Stützmittelzuführbohrung und ein Nadelstumpf ausgenommen sind, während in der zweiten Platte eine Düsenstruktur mit Masse-Ringspalt und eine Nadel mit einer Fällmittel/Stützmittelbohrung ausgenommen sind.
5. Hohlfaser-Spinndüse nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass sie aus zwei Platten besteht, wobei in der ersten Platte eine Fällmittel/Stützmittelzuführbohrung ausgenommen ist, während in der zweiten Platte die Massezuführkanäle, eine Massestrom-Vergleichmäßigungszone und eine Düsenstruktur mit Masse-Ringspalt und eine Nadel mit einer Fällmittel/Stützmittelbohrung ausgenommen sind.
6. Hohlfaser-Spinndüse nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass ihre einzelnen Bestandteile folgende Abmessungen aufweist:
Dicke der ersten Platte: 0,250 - 1 ,500 mm
Dicke der zweiten Platte: 0,050 - 1 ,500 mm
Außendurchmesser der Nadel: 0,020 - 1 ,500 mm
Länge der Nadel incl. Nadelstumpf: 0,100 - 2,000 mm
Durchmesser der Fällmittelbohrung: 0,010 - 1 ,000 mm
Länge der Fälimittelbohrung: 0,150 - 2,500 mm
Außendurchmesser des Ringspalts: 0,040 - 3,000 mm
Länge des Ringspalts: 0,050 - 1 ,500 mm
Höhe der Spinndüse: 0,300 - 3,000 mm
Kantenlänge der Spinndüse: 1 ,000 - 25,00 mm.
7. Hohlfaser-Spinndüse nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass sie aus drei Platten besteht, wobei die erste Platte Zuführkanäle, eine Vergleichmäßigungszone und einen Nadelstumpf mit einer zentralen Zuführbohrung enthält, eine zweite Platte, die sich an die erste Platte anschließt, Zuführkanäle, eine Vergleichmäßigungszone und einen weiteren Nadelstumpf mit einem konzentrischen Ringkanal sowie eine Nadelverlängerung mit einer zentralen Bohrung aufweist und wobei eine dritte Platte, die sich wiederum an die zweite Platte anschließt, eine Düsenstruktur bestehend aus einer zentralen Bohrung und zwei konzentrischen Ringspalten aufweist.
8. Hohlfaser-Spinndüse nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Grundkörper aus drei einzelnen Platten aufgebaut ist, wobei die erste Platte eine zentrale Zuführungsbohrung aufweist, eine sich an die erste Platte anschließende Platte parallele Zuführkanäle und zu diesen zugeordnete Vergleichmäßigungszonen sowie einen Nadelstumpf mit konzentrischem Ringkanal und einer zentralen Bohrung aufweist und wobei die an die zweite Platte anschließende dritte Platte eine Düsenstruktur bestehend aus einer zentralen Bohrung und zwei konzentrischen Ringspalten aufweist.
9. Hohlfaser-Spinndüse nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass der äußere Durchmesser der Mehrkanal-Hohlfaser-Spinndüse kleiner als 1 mm, vorzugsweise kleiner oder gleich 0,45 mm, ist.
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