EP1358685A1 - Verfahren zur herstellung von licht-emittierenden einrichtungen sowie licht-emittierende einrichtungen - Google Patents

Verfahren zur herstellung von licht-emittierenden einrichtungen sowie licht-emittierende einrichtungen

Info

Publication number
EP1358685A1
EP1358685A1 EP02711838A EP02711838A EP1358685A1 EP 1358685 A1 EP1358685 A1 EP 1358685A1 EP 02711838 A EP02711838 A EP 02711838A EP 02711838 A EP02711838 A EP 02711838A EP 1358685 A1 EP1358685 A1 EP 1358685A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
layer
polymer
monomer
light
layers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP02711838A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Clemens Ottermann
Frank Voges
Frank BÖHM
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Schott AG
Original Assignee
Carl Zeiss AG
Schott Glaswerke AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss AG, Schott Glaswerke AG filed Critical Carl Zeiss AG
Publication of EP1358685A1 publication Critical patent/EP1358685A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00—Organic light-emitting devices
    • H10K50/10—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
    • H10K50/11—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating

Definitions

  • the invention relates to a method for producing a light-emitting device, which in particular can emit visible light, and a light-emitting device.
  • OLEDs Organic light-emitting devices
  • LCD displays Li-diodes
  • OLEDs Organic light-emitting devices
  • OLEDs have promising properties for flat screens, for example, because they allow a significantly larger viewing angle compared to LCD displays, and as self-illuminating displays they also enable reduced power consumption compared to backlit LCD displays.
  • OLEDs can be produced as thin, flexible films that are particularly suitable for special applications in lighting and display technology.
  • Polymer layers do not have the desired layer homogeneity.
  • OLEDs the electroluminescent layers of which are composed of molecules of smaller molar masses, can be produced by vacuum deposition (PVD, physical vapor deposition) of these layers.
  • PVD vacuum deposition
  • Multi-layer systems can generally be deposited using this method without any fundamental technological barriers, since the layers that are to be newly applied do not destroy the layers that have already been vapor-deposited if the production parameters are selected appropriately.
  • the reproducible production of sufficiently uniform layers is technologically very complex and the vapor deposition of large areas is associated with comparatively high production costs.
  • Polymer coatings on small-area substrates are mostly used for spin coating, since they can be used to produce homogeneous, thin films without significant technical effort.
  • the loss of material is significant since the majority of the applied material is spun off the surface to be coated again during spin coating. Since the electroluminescent polymers in particular are mostly relatively expensive, the low material efficiency of spin coating leads to increased production costs.
  • Another important disadvantage of spin coating is that the technical requirements for coating large areas quickly become complex and expensive with this method and that areas of any size cannot generally be coated sufficiently uniformly.
  • OLEDs of high efficiency generally require more than one organic layer in the layer structure. These must be able to be applied to one another without the individual layers mixing together in an uncontrolled manner or layers which have already been applied being dissolved again.
  • the difficulty is to find orthogonal solvents for the third and the further layers.
  • the invention is therefore based on the object of eliminating or at least reducing the above difficulties in the production of organic layers, in particular for the production of OLEDs.
  • This object is already achieved in a surprisingly simple manner by a method according to claim 1 or claim 25 and a light-emitting device according to claim 37,
  • the first layer preferably having a high work function and in particular preferably being able to serve as an ohmic hole injection electrode
  • the contact can advantageously serve as a rectification contact in a light-emitting diode structure. If after or during the dip coating a polymerization or partial polymerization of the monomer or the polymer or the mixture of at least one monomer and / or at least one polymer is carried out, the dip coating process can not only be carried out very quickly and a solid applied layer is very quickly available , it also succeeds in influencing the viscosity during the dip coating and applying defined layers with high accuracy and high uniformity by the degree of polymerization.
  • Polymerization or crosslinking of a polymer layer can also be carried out after or during the dip coating. This will make the
  • Solubility of applied layers in the solvents of subsequent coatings is greatly reduced, so that there are no restrictions in the choice of suitable solvents when producing a layer system, or the use of orthogonal solvents can be dispensed with.
  • the polymerization is preferably effected by UV or light radiation, ion or electron radiation, thermal action, chemical action or by a total of UV or light radiation, ion or electron radiation, thermal action and / or chemical action.
  • Substrate is a glass substrate that is extremely well suited to shielding the applied layer against environmental influences.
  • the glass substrate have a thickness of less than 150 ⁇ m, because this allows extremely thin lighting devices to be realized.
  • a high degree of flexibility can be achieved with adequate diffusion shut-off at the same time.
  • the dip coating can also advantageously be carried out in a controlled atmosphere, in particular an inert gas atmosphere, the solvent concentration in particular being controlled in the atmosphere in order to control the evaporation and drying behavior of the layer.
  • dip coating is carried out in a protective gas atmosphere, influences by air humidity, solvents and additional reactants can be avoided.
  • the dip coating is carried out in an environment which is enriched with a chemical, polymerization-generating species in order to thereby exert a defined influence on the polymerization.
  • a plurality of layers with a monomer or a polymer or a mixture of at least one monomer and / or at least one polymer are applied in succession, the next layer advantageously being applied only after the polymerization or partial polymerization of the preceding layer.
  • the method can also advantageously include the step of crosslinking at least one of the layers.
  • the method can also include the crosslinking of at least two of the layers at their common interface.
  • the individual layers are thus connected directly to one another in their interface, which is advantageous for the conductivity and homogeneity of the interface between the layers.
  • the monomer or polymer or mixture of at least one monomer and a polymer of a previous layer is in each case not or only barely soluble in the subsequent layer and / or in a solvent of a solution of a subsequent dip coating.
  • At least one of the layers advantageously comprises an electroluminescent material.
  • the generally transparent conductive first layer advantageously comprises an electronegative metal, such as gold.
  • the transparent conductive first layer generally acts as an anode of the light-emitting device.
  • the first conductive layer can also be particularly useful.
  • conductive transparent plastics or grids made of metallic sheets can also be used.
  • such a conductive layer allows selectively supplying voltage to individual regions of the substrate.
  • the transparent conductive first layer can also have a conductive metal oxide, such as indium / tin oxide.
  • the electron injecting contact generally acts as a cathode in the light emitting device.
  • the electron-injecting contact can advantageously comprise calcium.
  • Calcium has a low work function of about 2 eV, so that the energy gap between the conduction electrons and the vacuum level can be well adapted to the LUMO level ("Lowest unoccupied molecular orbital") of many organic electroluminescent materials and thus can inject electrons into the LUMO level. Accordingly, depending on the material of the electroluminescent layer, other contact materials can also be used.
  • electroluminescent polymers or polymers can be used for further OLED-relevant organic layers or corresponding polymerizing monomers which can be crosslinked or polymerized.
  • Such substances are described, for example, in US Pat. No. 6,107,452, which is fully incorporated into the present application by reference.
  • the polymers described in the publications EP 0 573 549, EP 800563 AI, EP 800563 B1 and EP 1006169 AI can also be used, the viscosity of the solvent being adjustable by the solvent content, so that the desired layer thicknesses can be Draw speed, the degree of saturation of the atmosphere with solvent, the existing temperature and an already existing partial polymerization.
  • Dip coating or “dip coating” allows organic substances to be deposited in the form of thin films on a substrate from a liquid phase, the films or layers being distinguished by a high degree of uniformity. It is particularly advantageous in this process that even large-area substrates can be coated without any problems.
  • the materials described above are generally placed in a container which is open at the top and into which the substrate to be coated is immersed and pulled out at a defined speed, a film of the materials described above remaining on the substrate with a defined thickness, which then crosslinks or is polymerized.
  • the interface between the organic layers is also of crucial importance for the electrical and optical properties of a light-emitting device.
  • the method according to the invention creates an intimate contact that is homogeneous over the entire surface of the light-emitting device.
  • a variant of the invention provides a method for producing a light-emitting device which can in particular emit visible light, the method comprising the step of applying at least a first and a second organic layer to a substrate and at least one of the organic layers is applied by means of dip coating, and at least one layer is polymerized and / or crosslinked.
  • the first and second layers are advantageously applied to one another in such a way that the first and second layers are crosslinked.
  • the dip coating can be carried out such that a monomer or after or during the dip coating process
  • Polymer or a mixture of at least one monomer and a polymer is polymerized.
  • the layers can be crosslinked with one another during the polymerization process.
  • This process also offers the possibility of depositing insoluble polymers from soluble monomers or polymers on the substrate.
  • the polymerization can advantageously be effected by UV radiation, ion or electron radiation, thermal action, chemical action or by a sum of UV radiation, ion or electron radiation, thermal action and / or chemical action.
  • an organic layer can be deposited, for example, with a preferably pronounced hole conductivity which advantageously has PEDOT (polyethylene dioxythiophene) and / or PEDOT-PSS (polyethylene dioxythiophene polystyrene sulfonic acid) and / or PANI (polyaniline).
  • PEDOT polyethylene dioxythiophene
  • PEDOT-PSS polyethylene dioxythiophene polystyrene sulfonic acid
  • PANI polyaniline
  • Layers comprising these materials are particularly suitable for balancing electron and hole currents through the electroluminescent layer and thus increasing the efficiency of the organic light-emitting device.
  • Organic substances which have paraphenyl vinylene derivatives (PPV derivatives) and / or polyfluorenes are suitable for electroluminescent layers.
  • a dye or a dye can advantageously also be embedded in at least one of the organic layers. This enables, for example, electroluminescent layers with special dyes as active substances or as electroluminescent materials that cannot be polymerized themselves. It is particularly advantageous if the dyes or dyes are embedded in a polymer matrix.
  • Pigments can also be embedded in at least one of the organic layers in order to influence the color impression or the emitted light spectrum.
  • Crosslinking at least one organic layer makes it possible to produce particularly stable layers which are particularly resistant to solvents when depositing further layers.
  • a contact layer can advantageously be applied to the substrate before the organic layers are applied.
  • the layer can serve both as an anode and as a cathode for the organic light-emitting device. Accordingly, a contact layer can be applied to the applied organic layers for electrical contacting of the device.
  • the material is advantageously chosen so that this contact layer acts as a cathode if a material acting as an anode has been used as a contact layer on the substrate and vice versa.
  • Suitable layer substances can be used for both contact layers in each case the materials described above, such as gold as anodic or electronegative material or calcium as cathodic or electron-injecting material.
  • the invention is not limited to the materials described above, since the person skilled in the art can easily specify further electroluminescent materials which can be crosslinked or polymerized and whose viscosity can be influenced.
  • FIG. 1 shows a schematic illustration of a device for
  • Fig. 2 shows a schematic cross section through an embodiment of the light-emitting
  • FIG. 3 shows a schematic cross section through a further embodiment of the light-emitting device
  • FIG. 4 shows a schematic cross section through yet another embodiment of the light-emitting device.
  • FIG. 1 shows a schematic illustration of an embodiment of a device for dip coating substrates.
  • This device is particularly suitable for carrying out methods according to the invention for the production of organic light-emitting devices.
  • the device comprises a container or a cuvette 2, as well as a substrate holder 4, to which one is attached
  • Substrate 1 can be moved in or against the direction of the arrow.
  • the cuvette 2 is filled with a liquid 3 for the dip coating of the substrate.
  • the liquid consists of a solvent in which suitable polymers and / or monomers are dissolved.
  • the substrate immersed in the solvent 3 at the start of the dip coating is then slowly pulled out of the cuvette, a liquid film 6 adhering to the surface of the substrate 1 due to the adhesive forces between the substrate and the solvent.
  • the monomer or the polymer or the mixture of at least one monomer and / or at least one polymer can be polymerized or crosslinked.
  • the polymerization can be effected, for example, by UV or light radiation, ion or electron radiation, thermal action, chemical action or by a total of UV radiation, ion or electron radiation, thermal action and / or chemical action.
  • crosslinking and / or polymerization can take place, for example, in a region 5 above the liquid 3 by one of the above-mentioned actions.
  • a crosslinking of the deposited polymers can also be carried out in order to ensure a high resistance of the polymer layer, in particular to solvents in the subsequent ones
  • the Light-emitting device 7 has a glass substrate 8, on which a transparent conductive layer 10 is applied, via which the device can be contacted and through which the light emitted by the device 7 can pass, so that it can pass through the glass substrate becomes visible through it.
  • the transparent conductive layer can be made of indium / tin oxide, for example.
  • an electroluminescent layer 12 is applied to the substrate 7 coated with the conductive transparent layer 10, the application being carried out by means of dip coating. Layer 12 may subsequently have been polymerized and / or crosslinked for dip coating or during the coating process.
  • a further conductive layer 14 is applied to the electroluminescent layer 12 as the counter electrode to layer 10, so that an electrical voltage can be applied between the layers 10 and 14, through which electrical charge is transported through the electroluminescent layer 12 and the luminescence is triggered.
  • FIG. 3 shows a schematic cross section through a further embodiment of the light-emitting device.
  • This embodiment differs from the embodiment shown in FIG. 2 in that it has two organic layers 12 and 13, the substrate 8 initially being coated with a conductive contact layer 10, as in the example above, to which a transparent conductive polymer layer 12 is applied.
  • the electroluminescent layer 12 is in turn applied to the conductive layer 13.
  • One or both of the polymer layers 12 and 13 can be applied by dip coating.
  • at least one of the layers is polymerized or crosslinked.
  • the layers applied first are preferably crosslinked or polymerized so that they pass through the following process steps can no longer be adversely affected. In particular, damage caused by swelling, dissolving, dissolving or detaching is avoided.
  • the coating with the electroluminescent layer 12 can be carried out in such a way that crosslinking or cross-linking occurs at the interface 15 between molecules of the layers 12 and 13, so that intimate contact is established between the two layers, which is positive Influences the mechanical stability and the homogeneity of the electrical resistance along the surface of the device.
  • the layer 13 serves as a hole transport layer, through which, among other things, a potential adaptation of the substrate-side electrical contact with the electroluminescent layer 12 can be achieved.
  • Fig. 4 shows a schematic cross section through yet another embodiment of the light-emitting device.
  • This embodiment differs from the embodiment shown in FIG. 3 in that it has a layer sequence of a plurality of organic layers 121, 122, 123, ..., 12N. At least one of the layers 121, 122, 123, ..., 12N can advantageously be crosslinked and / or polymerized, for example in order to achieve improved stability of the layer.
  • individual coatings can also be carried out in such a way that crosslinking or "cross-linking" at at least one of the interfaces 151, 152,..., 15N between molecules of the respectively adjacent layers arises.
  • individual layers 121, 122, 123, ..., 12N can be used, for example, as electroluminescent layers, pigment-doped layers, serve as ohmic hole injection electrodes or electron-injecting layers.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

Die Erfindung sieht ein verbessertes Verfahren zur Herstellung einer Licht-emittierenden Einrichtung vo. Das Verfahren umfasst dazu Schritte: (i) Vorbeschichten eines Substrats mit einer ersten, vorzugsweise transparenten, leitfähigen Schicht oder Verwenden eines vorzugsweise transparenten, leitfähigen Substrats als erste sSchicht, wobei die erste Schicht vorzugsweise eine hoho Austrittsarbeit zeigt und insbesondere vorzugsweise in der Lage ist, als ohmsche Lochinjektionselektrode zu dienen, (ii) Aufbringen einer dünnen transparenten Schicht eines vorzugsweise löslichen Monomers oder Polymers oder ienes Gemischs aus zumindesteinem Monomer und/oder mindestens einem Polmer, vorzugsweise aus einer Lösung, direckt auf die erste Schicht, und (iii) Erzeugen eines vorzugsweise negative Elektroneninjizierenden Kontakts, insbesondere vorzugsweise aus Calcium oder einem Metall mit geringerer Austrittsarbeit, direkt auf dem Polymerfilm, wobei das Aufbringen mindestens einer Schicht durch Tauchbeschichtung erfolgt.

Description

Verfahren zur Herstellung einer Licht-emittierenden Einrichtung sowie Lieht-eirtittierende Einrichtung
Beschreibung
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Licht-emittierenden Einrichtung, die insbesondere sichtbares Licht emittieren kann, sowie eine Licht-emittierende Einrichtung.
Organische lichtemittierende Einrichtungen (Dioden, OLEDs) sind Gegenstand intensiver Entwicklungsarbeiten, da sie sich gegenüber anderen eingesetzten Technologien durch besondere Vorzüge auszeichnen. So besitzen OLEDs vielversprechende Eigenschaften für Flachbildschirme, da sie beispielsweise gegenüber LCD-Anzeigen einen deutlich größeren Sichtwinkel ermöglichen, und als selbstleuchtende Displays im Vergleich zu den von hinten beleuchteten LCD-Anzeigen auch einen reduzierten Stromverbrauch ermöglichend Zudem lassen sich OLEDs als dünne, flexible Folien herstellen, die sich besonders für spezielle Anwendungen in der Licht- und Anzeigetechnik eignen.
Jedoch bestehen bei der Herstellung von OLEDs immer noch Schwierigkeiten, so daß die Ausschußraten und die Haltbarkeit dieser Einrichtungen bisher immer noch eine größere Marktdurchsetzung verhindern. Insbesondere stehen kostengünstige Herstellverfahren, wie Aufdampftechniken, Spin Coating oder Drucktechniken, zur uniformen Beschichtung großer Flächen mit OLED Strukturen nur mit starken Einschränkungen zur Verfügung.
Derartige Verfahren werden eingesetzt, um beispielsweise organische Licht-emittierende Dioden herzustellen. Äußerst nachteilig ist diesen Verfahren jedoch, daß die aufgetragenen Schichten, insbesondere die elektrolumineszenten
Polymerschichten, nicht die gewünschte Schichthomogenität haben.
Dies ist sehr unerwünscht, da die aufzutragenden Materialien durch zu großen Ausschuß oder verfahrensbedingte
Materialverluste hohe Kosten verursachen und auch die erzeugbaren Flächen in deren Größe beschränkt sind.
OLEDs, deren elektrolumineszente Schichten aus Molekülen kleinerer Molmassen zusammengesetzt sind, lassen sich zwar durch Aufdampfen (PVD, physical vapor deposition) dieser Schichten im Vakuum herstellen. Organische
Mehrfachschichtsysteme sind in der Regel mit diesem Verfahren ohne prinzipielle technologischen Barrieren abscheidbar, da durch die neu aufzubringenden Schichten bei geeigneter Wahl der Herstellparameter die bereits aufgedampften Schichten nicht wieder zerstört werden. Die reproduzierbare Herstellung hinreichend uniformer Schichten ist technologisch sehr aufwendig und das Bedampfen großer Flächen im Vakuum ist mit vergleichsweise hohen Produktionskosten verbunden.
Als interessante Alternative zu den PVD Prozessen hat sich das Abscheiden gelöster organischer Substanzen insbesondere mit großen Molmassen erwiesen. Solche, mit geeigneten gewählten Abscheideverfahren aus der Flüssigphase hergestellte Polymerschichten zeichnen sich durch größere Prozessstabilität aus und der Produktionsprozeß ist erheblich kostengünstiger .
Als eitesverbreiteste Methode zum Auftragen der
Polymerschichten auf kleinflächige Substrate wird zumeist Spin-Coating angewendet, da sich damit ohne wesentlichen technischen Aufwand homogene, dünne Filme erzeugen lassen. Jedoch ist der Materialverlust bedeutend, da beim Spin-Coaten der größte Teil des aufgetragenen Materials wieder von der zu beschichtenden Oberfläche heruntergeschleudert wird. Da insbesondere die elektrolumineszenten Polymere zumeist relativ teuer sind, führt die geringe Materialeffizienz des Spin-Coatens zu gesteigerten Produktionskosten. Ein weiterer bedeutender Nachteil des Spin Coatens ist, daß die technischen Anforderungen zur Beschichtung großer Flächen mit diesem Verfahren schnell aufwendig und teuer werden und dass sich beliebig große Flächen in der Regel nicht hinreichend gleichmäßig beschichten lassen.
Weiter ergibt sich andererseits aber das Problem, daß OLEDs hoher Effizient in der Regel mehr als eine organische Schicht im Schichtaufbau benötigen. Diese müssen aufeinander aufgebracht werden können, ohne daß sich die einzelnen Schichten unkontrolliert miteinander vermischen oder sich bereits aufgebrachte Schichten wieder auflösen.
Die Schwierigkeit besteht also insbesondere bei mehr als zwei organischen Schichten darin, für die dritte und die weiteren Schichten orthogonale Lösungsmittel zu finden.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zu Grunde, die vorstehenden Schwierigkeiten bei der Herstellung organischer Schichten insbesondere für die Produktion von OLEDs zu beseitigen oder zumindest zu verringern. Diese Aufgabe wird bereits in überraschend einfacher Weise durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1 oder Anspruch 25, sowie eine Licht-emittierende Einrichtung gemäß Anspruch 37 gelöst,
In vorteilhafter Weise umfaßt das Verfahren
(i) Vorbeschichten eines Substrats mit einer ersten, vorzugsweise transparenten, leitfähigen Schicht oder Verwenden eines vorzugsweise transparenten, leitfähigen Substrats als erste Schicht,
wobei die erste Schicht vorzugsweise eine hohe Austrittsarbeit zeigt und insbesondere vorzugsweise in der Lage ist, als ohmsche Lochinjektionselektrode zu dienen,
(ii) Aufbringen einer dünnen transparenten Schicht eines vorzugsweise löslichen Monomers oder Polymers oder eines Gemischs aus zumindest einem Monomer und/oder mindestens einem Polymer, vorzugsweise aus einer Lösung, direkt auf die erste Schicht, und
(iii) Erzeugen eines vorzugsweise negative Elektronen- injizierenden Kontakts, insbesondere vorzugsweise aus Calcium oder einem Metall mit geringerer Austrittsarbeit, direkt auf dem Polymerfilm,
bei welchem das Aufbringen mindestens einer Schicht durch Tauchbeschichtung erfolgt.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform kann der Kontakt vorteilhaft als Gleichrichtungskontakt in einer lichtemitierenden Diodenstruktur dienen. Wird nach oder während der Tauchbeschichtung eine Polymerisierung oder Teilpolymerisierung des Monomers oder des Polymers oder des Gemischs aus mindestens einem Monomer und/oder mindestens einem Polymer durchgeführt, so lässt sich der Tauchbeschichtungsvorgang nicht nur äußerst zügig durchführen und es liegt sehr schnell eine feste aufgetragenen Schicht vor, sondern es gelingt ferner auch, durch den Polymerisierungsgrad die Viskosität während des Tauchbeschichtens zu beeinflussen und definierte Schichten mit hoher Genauigkeit und hoher Uniformität aufzutragen.
Nach oder während der Tauchbeschichtung kann auch insbesondere eine Polymerisation oder Vernetzung einer Polymerschicht vorgenommen werden. Hierdurch wird die
Löslichkeit aufgetragener Schichten in den Lösungsmitteln nachfolgender Beschichtungen stark vermindert, so daß bei der Herstellung eines Schichtsystems keine Einschränkungen bei der Wahl geeigneter Lösungsmittel entstehen, beziehungsweise auf die Verwendung orthogonaler Lösungsmittel verzichtet werden kann.
In bevorzugter Weise wird die Polymerisierung durch UV- oder Lichtbestrahlung, Ionen- oder Elektronenbestrahlung, thermische Einwirkung, chemische Einwirkung oder durch eine Summe aus UV- oder Lichtbestrahlung, Ionen- oder Elektronenbestrahlung, thermischer Einwirkung und/oder chemischer Einwirkung bewirkt.
Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform ist das
Substrat ein Glassubstrat, welches äußerst gut geeignet ist, die aufgetragene Schicht gegen Umwelteinflüsse abzuschirmen.
Für viele weitere Anwendungen ist es erwünscht, daß das Glassubstrat eine Dicke von weniger als 150 μm aufweist, denn hierdurch können äußerst dünne Leuchteinrichtungen verwirklicht werden. Außerdem läßt sich bei der Verwendung von solchem Dünnstglas eine hohe Flexibilität bei gleichzeitiger ausreichender Diffusionsabsperrung erreichen.
Die Tauchbeschichtung kann auch vorteilhaft in einer kontrollierten Atmosphäre, insbesondere einer Inergasatmosphäre erfolgen, wobei in der Atmosphäre insbesondere die Lösungsmittelkonzentration kontrolliert wird, um das Verdunstungs- und Trocknungsverhalten der Schicht zu steuern.
Wenn das Tauchbeschichten in einer Schutzgasatmosphäre durchgeführt wird, lassen Einflüsse durch Luftfeuchte, Lösungsmittel und zusätzliche Reaktionspartner vermeiden.
Bei einer anderen Variante des Verfahrens wird das Tauchbeschichten in einer Umgebung durchgeführt, welche mit einer chemischen, polymerisationserzeugenden Spezies angereichert ist, um hierdurch definiert auf die Polymerisation Einfluß auszuüben.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform werden mehrere Schichten mit einem Monomer oder einem Polymer oder einem Gemisch aus mindestens einem Monomer und/oder mindestens einem Polymer nacheinander aufgetragen, wobei vorteilhaft die nächste Schicht erst nach der Polymerisierung oder Teilpolymerisierung der vorhergehenden Schicht aufgetragen wird.
Durch das Auftragen mehrerer Schichten lassen sich so beispielsweise Potentialanpassungen zwischen der Polymerschicht und dem als ohmsche Lochinjektionselektrode dienenden Kontakt bewirken. Um die Haltbarkeit der Schichtstruktur zu erhöhen, sowie um deren optische und elektrische Eigenschaften zu verbessern, kann das Verfahren mit Vorteil außerdem den Schritt des Vernetzens von zumindest einer der Schichten umfassen.
Außerdem kann das Verfahren auch die Vernetzung von zumindest zwei der Schichten an ihrer gemeinsamen Grenzfläche umfassen. Damit werden die einzelnen Schichten direkt miteinander in ihrer Grenzfläche verbunden, was für die Leitfähigkeit und Homogenität der Grenzfläche zwischen den Schichten vorteilhaft ist.
Hierbei ist es hilfreich und vorteilhaft, wenn das Monomer oder Polymer oder Gemisch aus mindestens einem Monomer und einem Polymer einer vorhergehenden Schicht jeweils nicht oder nur schwer in der darauf folgenden Schicht und/oder in einem Lösungsmittel einer Lösung einer nachfolgenden Tauchbeschichtung löslich ist.
Mit Vorteil umfasst zumindest eine der Schichten ein elektrolumineszentes Material.
Vorteilhaft umfasst ferner die in der Regel transparente leitfähige erste Schicht ein elektronegatives Metall, wie beispielsweise Gold. Die transparente leitfähige erste Schicht wirkt dabei im allgemeinen als Anode der Lichtemittierenden Einrichtung.
Von besonderem Nutzen können auch andere Materialien für die erste leitfähige Schicht sein. Beispielsweise können auch leitfähige transparente Kunststoffe oder Gitter aus metallischen Bahnen verwendet werden. Insbesondere gestattet eine derartige leitfähige Schicht, einzelne Bereiche des Substrats selektiv mit Spannung zu versorgen. Alternativ kann die transparente leitfähige erste Schicht auch ein leitfähiges Metalloxid aufweisen, wie beispielsweise Indium-/Zinnoxid.
Der Elektronen-injizierende Kontakt wirkt in der Lichtemittierenden Einrichtung im allgemeinen als Kathode. Der Elektronen-injizierende Kontakt kann für diesen Zweck vorteilhaft Calcium umfassen. Calcium weist eine niedrige Austrittsarbeit von etwa 2eV auf, so daß der Energieabstand der Leitungselektronen zum Vakuumniveau gut angepaßt an das LUMO-Niveau ("Lowest unoccupied molecular orbital") vieler organischer elektrolumineszenter Materialien und somit Elektronen in das LUMO-Niveau injizieren kann. Dementsprechend können jedoch auch abhängig vom Material der elektrolumineszenten Schicht andere Kontaktmaterialien verwendet werden.
Gemäß der Erfindung sind elektrolumineszente Polymere oder Polymere für weitere OLED-relevante organischen Schichten oder entsprechend polymersisierende Monomere verwendbar, welche vernetz- oder polymerisierbar sind. Derartige Substanzen sind beispielsweise in der US 6,107,452 beschrieben, welche durch Bezugnahme vollständig in die vorliegende Anmeldung mit aufgenommen wird. Obwohl dem
Fachmann bekannt sei auch auf die Struktur der in dieser Schrift beschriebenen organischen Licht-emittierenden Dioden hingewiesen und diese Beschreibung als Inhalt dieser Anmeldung vorausgesetzt.
Ferner sind auch die in den Druckschriften EP 0 573 549, EP 800563 AI, EP 800563 Bl und EP 1006169 AI beschriebenen Polymere verwendbar, wobei durch die Lösungsmittelanteile Viskositäten für das Tauchbeschichten einstellbar sind, so daß sich erwünschte Schichtdicken durch die Ziehgeschwindikgkeit, den Sättigungsgrad der Atmosphäre mit Lösungsmittel, die vorhandene Temperatur sowie eine bereits vorhandene Teilpolymerisierung einstellen lassen.
Durch das Tauchbeschichten oder "Dip-Coaten" lassen sich aus einer flüssigen Phase organische Substanzen in der Form dünner Filme auf einem Substrat abscheiden, wobei sich die Filme oder Schichten durch eine hohe Gleichmäßigkeit auszeichnen. Besonders vorteilhaft ist bei diesem Verfahren, daß sich auch großflächige Substrate ohne weiteres beschichten lassen.
Generell werden hierzu die vorstehend beschriebenen Materialien in einen nach oben offenen Behälter eingebracht, in welchen das zu beschichtende Substrat eingetaucht und mit einer definierten Geschwindigkeit herausgezogen wird, wobei ein Film aus den vorstehend beschriebenen Materialien auf dem Substrat mit definierter Dicke zurückbleibt, welcher dann vernetzt bzw. polymerisiert wird.
Da hocheffiziente organische Licht-emittierende Einrichtungen in der Regel mehr als eine organische Schicht benötigen, ist auch die Grenzfläche zwischen den organischen Schichten für die elektrischen und optischen Eigenschaften einer Licht- emittierenden Einrichtung von entscheidender Bedeutung. Mit einer Vernetzung der organischen Schichten an deren gemeinsamer Grenzfläche wird durch das erfindungsgemäße Verfahren ein inniger, über die gesamte Fläche der Lichtemittierenden Einrichtung homogener Kontakt geschaffen.
Eine Variante der Erfindung sieht ein Verfahren zur Herstellung einer Licht-emittierenden Einrichtung vor, die insbesondere sichtbares Licht emittieren kann, wobei das Verfahren den Schritt des Aufbringens zumindest einer ersten und einer zweiten organischen Schicht auf ein Substrat umfaßt und zumindest eine der organischen Schichten mittels Tauchbeschichtung aufgebracht wird und wobei mindesten eine Schicht polymerisiert und /oder vernetzt wird.
Die erste und zweite Schicht werden vorteilhaft dabei so aufeinander aufgebracht, daß eine Vernetzung der ersten mit der zweiten Schicht entsteht.
Die Tauchbeschichtung kann dabei so erfolgen, daß nach oder während des Tauchbeschichtungsvorgangs ein Monomer oder
Polymer oder ein Gemisch aus mindestens einem Monomer und einem Polymer polymerisiert wird. Dadurch läßt sich beispielsweise die Vernetzung der Schichten untereinander während des Polymerisationsvorgangs erreichen. Außerdem bietet sich durch dieses Verfahren die Möglichkeit, unlösliche Polymere aus löslichen Monomeren oder Polymeren auf dem Substrat abzuscheiden. Die Polymerisierung kann dabei vorteilhaft durch UV-Bestrahlung, Ionen- oder Elektronenbestrahlung, thermische Einwirkung, chemische Einwirkung oder durch eine Summe aus UV-Bestrahlung, Ionenoder Elektronenbestrahlung, thermischer Einwirkung und/oder chemischer Einwirkung bewirkt werden.
Als organische Schicht kann neben der elektrolumineszenten Schicht beispielsweise eine Schicht mit vorzugsweise ausgeprägter Lochleitfähigkeit abgeschieden werden, die vorteilhaft PEDOT (Polyethylen-Dioxythiophen) und/oder PEDOT- PSS (Polyethylen-Dioxythiophen-Polystyrolsulfonsäure) und/oder PANI (Polyanilin) aufweist.
Schichten, die diese Materialien aufweisen, sind insbesondere geeignet, um Elektronen- und Lochströme durch die elektrolumineszente Schicht auszubalancieren und somit die Effizienz der organischen Licht-emittierenden Einrichtung zu erhöhen. Für elektrolumineszente Schichten sind unter anderem organische Substanzen geeignet, die Paraphenylvinylen- Derivate ( PPV-Derivate) und/oder Polyfluorene aufweisen.
Vorteilhaft kann auch ein Dye oder ein Farbstoff in zumindest eine der organischen Schichten eingebettet werden. Dadurch lassen sich beispielsweise elektrolumineszente Schichten mit speziellen Dyes als aktiven Substanzen, beziehungsweise als elektrolumineszente Materialien realisieren, die sich nicht selbst polymerisieren lassen. Insbesondere ist dabei vorteilhaft, wenn die Dyes oder Farbstoffe in einer Polymermatrix eingebettet werden.
In zumindest eine der organischen Schichten können außerdem Pigmente eingelagert werden, um den Farbeindruck, beziehungsweise das emittierte Lichtspektrum zu beeinflussen.
Durch Vernetzen zumindest einer organischen Schicht lassen sich besonders stabile Schichten erzeugen, die insbesondere gegenüber Lösungsmitteln bei der Abscheidung weiterer Schichten resistent sind.
Vorteilhaft kann auf das Substrat vor dem Aufbringen der organischen Schichten eine Kontaktschicht aufgebracht werden. Die Schicht kann dabei je nach Material sowohl als Anode, wie auch als Kathode für die organische Licht-emittierende Einrichtung dienen. Entsprechend kann zur elektrischen Kontaktierung der Einrichtung eine Kontaktschicht auf die aufgebrachten organischen Schichten aufgebracht werden.
Vorteilhaft wird das Material dabei so gewählt, daß diese Kontaktschicht als Kathode wirkt, wenn ein als Anode wirkendes Material als Kontaktschicht auf dem Substrat verwendet wurde und umgekehrt. Als geeignete Schichtsubstanzen können dazu für beide Kontaktschichten jeweils die oben beschriebenen Materialien, wie etwa Gold als anodisches, beziehungsweise elektronegatives Material oder Calcium als kathodisches, beziehungsweise Elektroneninjizierendes Material verwendet werden.
Die Erfindung ist nicht auf die vorstehend beschriebenen Materialien beschränkt, da der Fachmann leicht weitere, in deren Viskosität beeinflußbare vernetzungs- bzw. polymerisationsfähige elektroluminestzente Materialien angeben kann.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand bevorzugter Ausführungsformen und unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen detaillierter beschrieben.
Es zeigen: Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Vorrichtung zum
Tauchbeschichten, Fig. 2 einen schematischen Querschnitt durch eine Ausführungsform der Licht-emittierenden
Einrichtung, Fig. 3 einen schematischen Querschnitt durch eine weitere Ausführungsform der Licht-emittierenden Einrichtung, und Fig. 4 einen schematischen Querschnitt durch noch eine weitere Ausführungsform der Licht-emittierenden Einrichtung.
In Fig. 1 ist eine schematische Darstellung einer Ausführungsform einer Vorrichtung zum Tauchbeschichten von Substraten gezeigt. Diese Vorrichtung ist insbesondere geeignet zur Durchführung erfindungsgemäßer Verfahren für die Herstellung organischer Licht-emittierender Einrichtungen. Die Vorrichtung umfaßt einen Behälter oder eine Küvette 2, sowie einen Substrathalter4, an welchem ein daran befestigtes Substrat 1 in oder gegen die Richtung des Pfeils bewegt werden kann. Für die Tauchbeschichtung des Substrats wird die Küvette 2 mit einer Flüssigkeit 3 befüllt. Die Flüssigkeit besteht aus einem Lösungsmittel, in welchem geeignete Polymere und/oder Monomere aufgelöst sind. Das bei Beginn der Tauchbeschichtung in das Lösungsmittel 3 eingetauchte Substrat wird dann langsam aus der Küvette herausgezogen, wobei auf der Oberfläche des Substrats 1 durch die zwischen Substrat und Lösungsmittel herrschenden Adhäsionskräfte ein Flüssigkeitsfilm 6 haften bleibt.
Durch das Verdunsten des Lösungsmittels verbleibt dann eine Polymerschicht auf dem Substrat. Zusätzlich kann nach oder während der Tauchbeschichtung eine Polymerisierung oder Vernetzung des Monomers oder des Polymers oder des Gemischs aus mindestens einem Monomer und/oder mindestens einem Polymer durchgeführt werden. Die Polymerisation kann beispielsweise durch UV- oder Lichtbestrahlung, Ionen- oder Elektronenbestrahlung, thermische Einwirkung, chemische Einwirkung oder durch eine Summe aus UV-Bestrahlung, Ionenoder Elektronenbestrahlung, thermischer Einwirkung und/oder chemischer Einwirkung bewirkt werden.
Die Vernetzung und/oder Polymerisation kann beispielsweise in einem Bereich 5 oberhalb der Flüssigkeit 3 durch eine der oben genannten Einwirkungen erfolgen. Alternativ oder zusätzlich zur Polymerisation kann auch eine Vernetzung der abgeschiedenen Polymere durchgeführt werden, um eine hohe Beständigkeit der Polymerschicht insbesondere gegenüber Lösungsmitteln bei nachfolgenden weiteren
Beschichtungsvorgängen, insbesondere im Tauchverfahren zu erreichen.
Fig. 2 zeigt einen schematischen Querschnitt durch eine Ausführungsform der Licht-emittierenden Einrichtung. Die Licht-emittierende Einrichtung 7 weist ein Glassubstrat 8 auf, auf welchem eine transparente leitfähige Schicht 10 aufgebracht ist, über die einerseits eine Kontaktierung der Einrichtung erfolgen kann und durch die andererseits das von der Einrichtung 7 emittierte Licht hindurchtreten kann, so daß es durch das Glassubstrat hindurch sichtbar wird. Die transparente leitfähige Schicht kann beispielsweise aus Indium/Zinn-Oxid hergestellt sein. Auf das mit der leitfähigen transparenten Schicht 10 beschichteten Substrat 7 ist in dieser Ausführungsform eine elektrolumineszente Schicht 12 aufgebracht, wobei das Aufbringen mittels Tauchbeschichtung erfolgt. Die Schicht 12 kann dabei nachfolgend zur Tauchbeschichtung oder während des Beschichtungsvorgangs polymerisiert und/oder vernetzt worden sein. Als Gegenelektrode zu Schicht 10 wird auf die elektrolumineszente Schicht 12 eine weitere leitende Schicht 14 aufgebracht, so daß zwischen den Schichten 10 und 14 eine elektrische Spannung angelegt werden kann, durch welche elektrische Ladung durch die elektrolumineszente Schicht 12 transportiert und die Lumineszenz ausgelöst wird.
Fig. 3 zeigt einen schematischen Querschnitt durch eine weitere Ausführungsform der Licht-emittierenden Einrichtung. Diese Ausführungsform unterscheidet sich von der in Fig. 2 gezeigten Ausführungsform, daß sie zwei organische Schichten 12 und 13 aufweist, wobei das Substrat 8 zunächst wie im obigen Beispiel mit einer leitenden Kontaktschicht 10 beschichtet ist, auf welche eine transparente leitende Polymerschicht 12 aufgebracht ist. Die elektrolumineszente Schicht 12 ist ihrerseits auf die leitende Schicht 13 aufgebracht. Eine oder beide der Polymerschichten 12 und 13 können dabei mittels Tauchbeschichtung aufgebracht werden. Mindestens eine der Schichten wird dazu polymerisiert oder vernetzt. Vorzugsweise werden dabei die zuerst aufgebrachten Schichten vernetzt oder polymerisiert, damit sie durch folgende Prozessschritte nicht mehr nachteilig beeinflusst werden können. Insbesondere werden Schädigungen durch Aufquellen, Anlösen, Auflösen oder Ablösen vermieden.
Insbesondere kann die Beschichtung mit der elektrolumineszenten Schicht 12 so vorgenommen werden, daß eine Vernetzung oder ein "Cross-Linking" an der Grenzfläche 15 zwischen Molekülen der Schichten 12 und 13 entsteht, so daß ein inniger Kontakt zwischen den beiden Schichten hergestellt wird, was positiven Einfluß auf die mechanische Stabilität und die Homogenität des elektrische Widerstands entlang der Oberfläche der Einrichtung hat. Die Schicht 13 dient in diesem Beispiel als Lochtransport-Schicht, durch welche sich unter anderem eine Potentialanpassung des substratseitigen elektrischen Kontakts mit der elektrolumineszenten Schicht 12 erreichen läßt.
Fig. 4 zeigt einen schematischen Querschnitt durch noch eine weitere Ausführungsform der Licht-emittierenden Einrichtung. Diese Ausführungsform unterscheidet sich von der in Fig. 3 gezeigten Ausführungsform dadurch, daß sie eine Schichtfolge aus einer Vielzahl organischer Schichten 121, 122, 123,..., 12N aufweist. Mindestens eine der Schichten 121, 122, 123,..., 12N kann dabei vorteilhaft vernetzt und/oder polymerisiert sein, um beispielsweise eine verbesserte Stabilität der Schicht zu erreichen.
Auch können ebenso wie bei der anhand von Fig. 3 dargestellten Ausführungsform einzelne Beschichtungen so vorgenommen werden, daß eine Vernetzung oder ein "Cross- Linking" an zumindest einer der Grenzflächen 151, 152,..., 15N zwischen Molekülen der jeweils aneinander angrenzenden Schichten entsteht. An die jeweilige Funktion angepaßt können einzelne der Schichten 121, 122, 123,..., 12N beispielsweise als elektrolumineszente Schichten, pigmentdotierte Schichten, als ohmsche-Lochinjektionselektrode wirkende Schichten oder Elektronen-injizierende Schichten dienen.

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zur Herstellung einer Licht-emittierenden Einrichtung (7), die insbesondere sichtbares Licht emittieren kann, wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfaßt:
(i) Vorbeschichten eines Substrats (8) mit einer ersten, vorzugsweise transparenten, leitfähigen Schicht oder Verwenden eines vorzugsweise transparenten, leitfähigen Substrats (8) als erste Schicht,
wobei die erste Schicht (10) vorzugsweise eine hohe Austrittsarbeit zeigt und insbesondere vorzugsweise in der Lage ist, als ohmsche Lochinjektionselektrode zu dienen,
(ii) Aufbringen einer dünnen transparenten Schicht eines vorzugsweise löslichen Monomers oder Polymers oder eines Gemischs aus zumindest einem Monomer und/oder mindestens einem Polymer, vorzugsweise aus einer Lösung, direkt auf die erste Schicht, und
(iii) Erzeugen eines vorzugsweise negative Elektronen- injizierenden Kontakts (14), insbesondere vorzugsweise aus Calcium oder einem Metall mit geringerer Austrittsarbeit, direkt auf dem Polymerfilm (12, 121, 122, 123,..., 12N) ,
bei welchem das Aufbringen mindestens einer Schicht durch Tauchbeschichtung erfolgt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem der Kontakt als Gleichrichtungskontakt in einer lichtemitierenden Diodenstruktur dienen kann.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, bei welchem nach oder während der Tauchbeschichtung eine Polymerisierung oder Teilpolymerisierung des Monomers oder des Polymers oder des Gemischs aus mindestens einem Monomer und/oder mindestens einem Polymer durchgeführt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, bei welchem die Polymerisierung durch UV- oder
Lichtbestrahlung, Ionen- oder Elektronenbestrahlung, thermische Einwirkung, chemische Einwirkung oder durch eine Summe aus UV-Bestrahlung, Lichtbestrahlung, Ionenoder Elektronenbestrahlung, thermischer Einwirkung und/oder chemischer Einwirkung bewirkt wird.
5. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei welchem das Substrat (8) ein Glassubstrat ist.
6. Verfahren ' nach Anspruch 5, bei welchem das Glassubstrat (8) eine Dicke von weniger als 150 μm aufweist.
7. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, bei welchem das Glassubstrat eine Dicke von weniger als 75 μm aufweist.
8. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei das Tauchbeschichten in einer kontrollierten Atmosphäre, insbesondere einer Inertgasatmosphäre durchgeführt wird.
9. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei welchem das Tauchbeschichten in einer Schutzgasatmosphäre durchgeführt wird.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche von 1 bis 9, bei welchem das Tauchbeschichten in einer Umgebung durchgeführt wird, welche mit einer chemischen, polymerisationserzeugenden Spezies angereichert ist.
11. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei welchem mehrere Schichten mit einem Monomer oder einem Polymer oder einem Gemisch aus mindestens einem Monomer und/oder mindestens einem Polymer nacheinander aufgetragen werden.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, weiter umfassend den Schritt des Vernetzens von zumindest einer der Schichten.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, weiter umfassend den Schritt des Vernetzens von zumindest zwei Schichten an ihrer gemeinsamen Grenzfläche
14. Verfahren nach Anspruch 11, 12 oder 13, bei welchem die jeweils nächste Schicht nach der Polymerisierung oder
Teilpolymerisierung der vorangehenden Schichten aufgetragen wird.
15. Verfahren nach einem der Ansprüche llbis 14 bei welchem das
Monomer oder Polymer oder Gemisch aus mindestens einem Monomer und/oder mindestens einem Polymer einer vorhergehenden Schicht jeweils nicht oder nur schwer in der darauf folgenden Schicht und/oder in einem Lösungsmittel einer Lösung einer nachfolgenden Tauchbeschichtung löslich ist.
16. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei welchem zumindest eine der Schichten ein elektrolumineszentes Material umfasst.
17. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei welchem die leitfähige erste Schicht ein elektronegatives Metall ist.
18. Verfahren nach Anspruch 17, bei welchem das elektronegative Metall Gold umfaßt.
19. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die transparente leitfähige erste Schicht einen leitfähigen Kunststoff aufweist.
20. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die transparente leitfähige erste Schicht ein Gitter aus metallischen Bahnen aufweist.
21. Verfahren nach einem der Ansprüche von 1 bis 20, bei welchem die transparente leitfähige erste Schicht ein leitfähiges Metalloxid umfaßt.
22. Verfahren nach Anspruch 21, bei welchem das leitfähige Metalloxid Indium-/Zinnoxid umfaßt .
23. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei welchem der vorzugsweise Elektronen-injizierende Kontakt Calcium ist.
24. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei welchem die Licht-emittierenden Einrichtung (7) eine organische Licht-emittierende Diode ist.
25. Verfahren zur Herstellung einer Licht-emittierenden Einrichtung, die insbesondere sichtbares Licht emittieren kann, wobei das Verfahren den Schritt des Aufbringens zumindest einer ersten und einer zweiten organischen Schicht auf ein Substrat (7) umfaßt, dadurch gekennzeichnet, daß der Schritt des Aufbringens die Schritte des (i) Aufbringens zumindest einer der organischen Schichten mittels Tauchbeschichtung und des (ii) Polymerisierens und /oder Vernetzens mindestens einer Schicht umfaßt.
26. Verfahren nach Anspruch 25, weiter umfassend den
Schritt des miteinander Vernetzens mindestens zweier aufeinander folgender Schichten.
27. Verfahren nach Anspruch 24 oder 25, bei welchem nach oder während der Tauchbeschichtung eine Polymerisierung eines Monomers oder eines Polymers oder eines Gemischs aus mindestens einem Monomer und/oder mindestens einem Polymer durchgeführt wird.
28. Verfahren nach Anspruch 26, bei welchem die
Polymerisierung durch UV-Bestrahlung, Lichtbestrahlung, Ionen- oder Elektronenbestrahlung, thermische Einwirkung, chemische Einwirkung oder durch eine Summe aus UV-Bestrahlung, Ionen- oder Elektronenbestrahlung, thermischer Einwirkung und/oder chemischer Einwirkung bewirkt wird.
29. Verfahren nach einem der Ansprüche 25 bis 27, wobei zumindest eine der organischen Schichten PANI, PEDOT und/oder PEDOT-PSS umfaßt.
30. Verfahren nach einem der Ansprüche 25 bis 28, wobei zumindest eine der organischen Schichten PPV-Derivate und/oder Polyfluorene umfaßt.
31. Verfahren nach einem der Ansprüche 25 bis 29, gekennzeichnet durch den Schritt des Einbettens eines Dyes in zumindest eine der organischen Schichten.
32. Verfahren nach Anspruch 30, wobei der Schritt des Einbettens eines Dyes den Schritt des Einbettens des Dyes in eine Polymermatrix umfaßt.
33. Verfahren nach einem der Ansprüche 25 bis 31, gekennzeichnet durch den Schritt des Vernetzens zumindest einer organischen Schicht.
34. Verfahren nach einem der Ansprüche 25 bis 32, weiter umfassend den Schritt des Aufbringens einer leitfähigen Kontaktschicht auf das Substrat (7) .
35. Verfahren nach einem der Ansprüche 25 bis 33, weiter umfassend den Schritt des Aufbringens einer leitfähigen Kontaktschicht (10, 14) auf die zumindest zwei organischen Schichten.
36. Verfahren nach einem der Ansprüche 25 bis 34, wobei zumindest eine der organischen Schichten (12, 121, 122, 123,..., 12N) Pigmente aufweist.
37. Licht-emittierende Einrichtung, gekennzeichnet durch deren Herstellung nach einem der vorstehenden Ansprüche von 1 bis 35.
38. Licht-emittierende Einrichtung, vorzugsweise hergestellt nach einem der vorstehenden Ansprüche von 1 bis 35, umfassend ein Substrat (7) mit einer ersten, vorzugsweise transparenten, leitfähigen Schicht (12, 13, 121) oder ein vorzugsweise transparentes, leitfähiges Substrats (7), welche als erste Schicht wirkt,
bei welchem die erste Schicht (12, 13, 121) vorzugsweise eine hohe Austrittsarbeit zeigt und insbesondere vorzugsweise in der Lage ist, als ohmsche Lochinjektionselektrode zu dienen,
eine dünne transparente Schicht eines, vorzugsweise löslichen, Monomers oder Polymers oder eines Gemischs aus zumindest einem Monomer und einem Polymer, ein vorzugsweise negative Elektronen-injizierender Kontakt (14), vorzugsweise aus Calcium oder einem Metall mit geringerer Austrittsarbeit, direkt auf dem Polymerfilm,
wobei das Aufbringen mindestens einer Schicht durch Tauchbeschichtung erfolgt ist und das Monomer oder
Polymer oder das Gemisch aus zumindest einem Monomer und einem Polymer weiter polymerisiert wurde.
39. Einrichtung nach Anspruch 37, bei welcher der Kontakt (14) als Gleichrichtungskontakt in einer lichtemitierenden Diodenstruktur dient.
40. Einrichtung nach Anspruch 37 oder 38, bei welchem nach oder während der Tauchbeschichtung eine Polymerisierung des Monomers oder des Polymers oder des Gemischs aus mindestens einem Monomer und/oder mindestens einem Polymer durchgeführt worden ist.
41. Einrichtung nach Anspruch 37, 38 oder 39, bei welchem die Polymerisierung durch UV-Bestrahlung, Lichtbestrahlung, Ionen- oder Elektronenbestrahlung, thermische Einwirkung, chemische Einwirkung oder durch eine Summe aus UV-Bestrahlung, Lichtbestrahlung, Ionen- oder Elektronenbestrahlung, thermischer Einwirkung und/oder chemischer Einwirkung bewirkt worden ist.
42. Einrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche von 37 bis 40, bei welchem das Substrat (7) ein Glassubstrat ist.
43. Einrichtung nach Anspruch 41, bei welchem das Glassubstrat eine Dicke von weniger als 150 μm aufweist.
44. Einrichtung nach Anspruch 41 oder 42, bei welchem das
Glassubstrat eine Dicke von weniger als 75 μm aufweist.
45. Einrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche von 37 bis 43, bei welchem das Tauchbeschichten in einer Schutzgasatmosphäre, insbesondere einer
Inertgasatmosphäre durchgeführt worden ist.
46. Einrichtung nach einem der Ansprüche von 37 bis 44, bei welchem das Tauchbeschichten in einer Umgebung durchgeführt worden ist, welche mit einer chemischen, polymerisationserzeugenden Spezies angereichert ist.
47. Einrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche von 37 bis 45, bei welchem mehrere Schichten (12, 13, 121, 121,...12N) mit einem Monomer oder einem Polymer oder einem Gemisch aus mindestens einem Monomer und/oder mindestens einem Polymer nacheinander aufgetragen und polymerisiert worden sind.
48. Einrichtung nach Anspruch 46, wobei zumindest zwei
Schichten an ihrer gemeinsamen Grenzfläche miteinander vernetzt sind.
49. Einrichtung nach Anspruch 46 oder 47, bei welchem das Monomer oder Polymer oder Gemisch aus mindestens einem Monomer und einem Polymer mindestens einer vorhergehenden Schicht jeweils nicht oder nur schwer in der darauf folgenden Schicht und/oder in einem Lösungsmittel einer Lösung einer nachfolgenden Tauchbeschichtung löslich ist.
50. Einrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche von 37 bis 48, bei welchem zumindest eine der polymerisierten Schichten (12, 13, 121, 122,..., 12N) ein elektrolumineszentes Material umfasst.
51. Einrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche von 37 bis 49, bei welcher die transparente leitfähige erste Schicht (10) ein elektronegatives Metall ist.
52. Einrichtung nach Anspruch 50, bei welcher das elektronegative Metall Gold umfaßt.
53. Einrichtung nach einem der Ansprüche von 37 bis 51, bei welcher die transparente leitfähige erste Schicht (10) ein leitfähiges Metalloxid ist.
54. Einrichtung nach Anspruch 52, bei welcher das leitfähige Metalloxid Indium-/Zinnoxid umfaßt.
55. Einrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche von 37 bis 53, bei welchem der Elektronen-injizierende Kontakt (14) Calcium ist.
EP02711838A 2001-02-06 2002-02-06 Verfahren zur herstellung von licht-emittierenden einrichtungen sowie licht-emittierende einrichtungen Withdrawn EP1358685A1 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10105611 2001-02-06
DE10105611 2001-02-06
PCT/EP2002/001227 WO2002063700A1 (de) 2001-02-06 2002-02-06 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER LICHT-EMITTIERENDEN eINRICHTUNG SOWIE LICHT-EMITTIERENDE EINRICHTUNG

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP1358685A1 true EP1358685A1 (de) 2003-11-05

Family

ID=7673212

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP02711838A Withdrawn EP1358685A1 (de) 2001-02-06 2002-02-06 Verfahren zur herstellung von licht-emittierenden einrichtungen sowie licht-emittierende einrichtungen

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20040101618A1 (de)
EP (1) EP1358685A1 (de)
CN (1) CN100369285C (de)
WO (1) WO2002063700A1 (de)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB0329364D0 (en) 2003-12-19 2004-01-21 Cambridge Display Tech Ltd Optical device
US7629061B2 (en) * 2004-01-16 2009-12-08 Osram Opto Semiconductors Gmbh Heterostructure devices using cross-linkable polymers
DE102004044576B4 (de) * 2004-09-13 2007-09-27 Schott Ag Verfahren und Vorrichtung zur Flüssigbeschichtung und deren Verwendung
EP1836001A4 (de) * 2004-12-30 2009-08-05 Du Pont Organische elektronische bauelemente und verfahren
JP2007035423A (ja) * 2005-07-26 2007-02-08 Seiko Epson Corp エレクトロルミネッセンス装置の製造方法
US7772761B2 (en) * 2005-09-28 2010-08-10 Osram Opto Semiconductors Gmbh Organic electrophosphorescence device having interfacial layers
JP5336371B2 (ja) * 2006-08-10 2013-11-06 コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ アクティブ・マトリックス・ディスプレイ及びプラスチックの基体を有する他の電子デバイス
CN104600203B (zh) 2014-12-26 2017-02-22 合肥京东方光电科技有限公司 发光层及其制备方法、有机电致发光器件、显示装置

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4826466A (en) * 1987-09-11 1989-05-02 Arco Industries Corporation Steering column boot
JP3069139B2 (ja) * 1990-03-16 2000-07-24 旭化成工業株式会社 分散型電界発光素子
DE4325885A1 (de) * 1993-08-02 1995-02-09 Basf Ag Elektrolumineszierende Anordnung
JP3463362B2 (ja) * 1993-12-28 2003-11-05 カシオ計算機株式会社 電界発光素子の製造方法および電界発光素子
EP0698649A1 (de) * 1994-08-26 1996-02-28 Basf Aktiengesellschaft Verwendung von thermoplastisch verarbeitbaren, langzeitstabilen elektrolumineszenten Materialien
US5627364A (en) * 1994-10-11 1997-05-06 Tdk Corporation Linear array image sensor with thin-film light emission element light source
US5703436A (en) * 1994-12-13 1997-12-30 The Trustees Of Princeton University Transparent contacts for organic devices
DE19500912A1 (de) * 1995-01-13 1996-07-18 Basf Ag Elektrolumineszierende Anordnung
EP0842208B2 (de) * 1995-07-28 2009-08-19 Sumitomo Chemical Company, Limited 2,7-aryl-9-substituierte fluorene und 9-substituierte fluorenoligomere und polymere
JPH10183112A (ja) * 1996-12-27 1998-07-14 Sony Corp 電界発光素子
GB9718393D0 (en) * 1997-08-29 1997-11-05 Cambridge Display Tech Ltd Electroluminescent Device
GB2331765A (en) * 1997-12-01 1999-06-02 Cambridge Display Tech Ltd Sputter deposition onto organic material using neon as the discharge gas
US6361885B1 (en) * 1998-04-10 2002-03-26 Organic Display Technology Organic electroluminescent materials and device made from such materials
JP2000003783A (ja) * 1998-06-12 2000-01-07 Tdk Corp 有機ｅｌ表示装置
EP1011154B1 (de) * 1998-12-15 2010-04-21 Sony Deutschland GmbH Funktionelles Material enthaltende Polyimid-Schicht, Vorrichtung die sie verwendet und Verfahren zur Herstellung dieser Vorrichtung
US6200715B1 (en) * 1999-06-04 2001-03-13 Xerox Corporation Imaging members containing arylene ether alcohol polymers
US6366017B1 (en) * 1999-07-14 2002-04-02 Agilent Technologies, Inc/ Organic light emitting diodes with distributed bragg reflector
US6228555B1 (en) * 1999-12-28 2001-05-08 3M Innovative Properties Company Thermal mass transfer donor element
US6242152B1 (en) * 2000-05-03 2001-06-05 3M Innovative Properties Thermal transfer of crosslinked materials from a donor to a receptor
US6517958B1 (en) * 2000-07-14 2003-02-11 Canon Kabushiki Kaisha Organic-inorganic hybrid light emitting devices (HLED)
US6348740B1 (en) * 2000-09-05 2002-02-19 Siliconware Precision Industries Co., Ltd. Bump structure with dopants

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See references of WO02063700A1 *

Also Published As

Publication number Publication date
WO2002063700A1 (de) 2002-08-15
CN1498430A (zh) 2004-05-19
CN100369285C (zh) 2008-02-13
US20040101618A1 (en) 2004-05-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0910128B1 (de) Herstellung von organischen elektrolumineszierenden Bauteilen
EP1370619B1 (de) Lösung und dispersionen organischer halbleiter
DE69911524T2 (de) Verbesserte transparente, weiche Durchlässigkeitsbarriere für organische elektrolumineszente Vorrichtungen
EP1798785B1 (de) Transparente polymere Elektrode für elektro-optische Aufbauten
EP0637899B1 (de) Elektrolumineszierende Anordnung
DE69819270T2 (de) Elektrolumineszente Vorrichtung
EP1227529B1 (de) Elektrolumineszierende Anordnungen
EP2198470B1 (de) Verfahren zur herstellung einer organischen leuchtdiode oder einer organischen solarzelle
EP0909464B1 (de) Elektrolumineszierende anordnungen
DE69815349T2 (de) Dünnschicht-elektrode für flache organische lichtabgebende vorrichtungen
EP0803171A1 (de) Elektrolumineszierende anordnung
EP1716604A1 (de) Lösungen organischer halbleiter
DE19841803A1 (de) Hilfsschichten für elektrolumineszierende Anordnungen
EP2287938A1 (de) Ladungsträger-Transportschicht, Verfahren zu ihrer Herstellung und elektrooptisches Bauelement
WO2011085917A1 (de) Optoelektronische vorrichtung mit homogener leuchtdichte
EP1358685A1 (de) Verfahren zur herstellung von licht-emittierenden einrichtungen sowie licht-emittierende einrichtungen
EP1516375B9 (de) Herstellungsverfahren für ein material für eine dünne und niedrig leitfähige funktionsschicht für eine oled.
DE10252903A1 (de) Organische elektrolumineszente Lichtquelle mit Antireflexionsschicht
EP2040317B1 (de) Lösungsprozessiertes organisches elektronisches Bauelement mit verbesserter Elektrodenschicht
CH636979A5 (de) Verfahren zur herstellung einer elektrochromen vorrichtung.
DE102014117096B4 (de) Fotolithografieverfahren zum Herstellen organischer Leuchtdioden
EP1638155A1 (de) Verbesserung der Leitfähigkeit einer Polymerelektrode durch Aufbringen einer darunterliegenden Metallschicht
EP2502273B1 (de) Verfahren zur herstellung von strukturierten organischen leuchtdioden und deren verwendung
DE102006005926B4 (de) Organische Lumineszenzvorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung
WO1998047183A1 (de) Verfahren zum strukturieren von transparenten, leitfähigen schichten

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 20030728

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: AL LT LV MK RO SI

RIN1 Information on inventor provided before grant (corrected)

Inventor name: BOEHM, FRANK

Inventor name: VOGES, FRANK

Inventor name: OTTERMANN, CLEMENS

RAP1 Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred)

Owner name: SCHOTT AG

17Q First examination report despatched

Effective date: 20060706

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

18D Application deemed to be withdrawn

Effective date: 20110901