EP1239261A2 - Prüfeinrichtung und -verfahren für verformbare Prüflinge - Google Patents

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EP1239261A2
EP1239261A2 EP02001220A EP02001220A EP1239261A2 EP 1239261 A2 EP1239261 A2 EP 1239261A2 EP 02001220 A EP02001220 A EP 02001220A EP 02001220 A EP02001220 A EP 02001220A EP 1239261 A2 EP1239261 A2 EP 1239261A2
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EP
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test
light
image
interference
image recording
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EP02001220A
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EP1239261B1 (de
EP1239261A3 (de
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Stefan Dengler
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/16—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge
    • G01B11/161—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge by interferometric means

Definitions

  • the invention relates to a test device and a test method for deformable test specimens, especially tires.
  • test objects When examining tires using optical interference Procedures, these are to be illuminated with coherent light. This is known for example from DE 40 36 120 C2. This discloses the analysis of test objects using shearography. In order to carry out the shearography, the test object reflects coherent light is initially separated into two light paths guided, with at least one light path through an adjustment device somewhat in length or angular orientation is adjustable. The resulting overlay image is evaluated.
  • the method is based on that reflected from the object Light.
  • the method is based on that reflected from the object Light.
  • DE 42 31 578 C2 provides the lighting of the test object by means of several laser diodes whose light cone is different can overlap somewhat in their peripheral zones. It arises from it one reasonably evenly illuminated by several laser diodes Field in which the light intensity to carry out interference optical Measurement method is sufficient. On the fringes of the illuminated field, which is only reached by one LED illuminance decreases. Be here no longer produce high quality images.
  • Laser diodes are up to an output of about 50 milliwatts available. Stronger coherent light sources provide you significantly increased effort and therefore make appropriate Interference optical test equipment is often uneconomical. Are test specimens with poorly reflecting (black) surfaces high illuminance is required, which is difficult to reach. Therefore it will often worked with cameras that are at the lower sensitivity limit operate.
  • This task is performed with the test facility according to claim 1 or solved with the appropriate test method.
  • the test object in the area to be checked with both structured (e.g. coherent) as well as with non-structured (e.g. incoherent) Light is illuminated.
  • the unstructured light for example diffuse white light, serves to provide a basic brightness to generate with the involved imaging device initially out of the area of their black noise to be led.
  • the brightness of the non-structured is preferably Lighting set so that the relevant Camera or other image recording device of the test facility works in the range of their maximum sensitivity.
  • the structure picture that of the preferably simultaneously structured lighting of the same image area comes from, overlaid by white light lighting preserved image, but remains unadulterated on its own.
  • the structure image is when using coherent light structured light an interference picture. It can be conventional Way to be evaluated.
  • Lighting coherent and incoherent or structured and not structured
  • the required illuminance and on the other hand the desired formation of an interference image reached.
  • Its modulation depth is opposite one Illumination only with coherent light from the same coherent Light source essentially unchanged.
  • the overlay of a basic brightness causes the shift of the working point of the image recording device in the Maximum sensitivity range.
  • an increased signal strength is achieved.
  • the signal to noise ratio The entire level is raised from the area of black noise, without disturbing the interference effect (speckle effect).
  • the local brightness modulation caused by the interference effects caused is retained. It is only one offset from the incoherent lighting to larger ones Brightness values shifted towards.
  • One or more light sources can be used for coherent lighting Find application, for example lasers or laser diodes. These can overlap each other completely or partially Have cones of light. What is essential in the presented Test facility and the test procedure just that everyone Point of the image section to be examined both of coherent as well as non-coherent light. To this In this way, large to very large areas of a test object can be be examined in a single image, being in each pixel the required lighting brightness achievable and everyone Pixel can be brought out of the area of black noise is. In particular, the meaning has on the edges of the picture. In order to the test procedure can be compared to other procedures that work with smaller image sections, accelerate considerably.
  • Incandescent lamps for example halogen lamps, fluorescent lamps, white LEDs or other monochromatic, colored ones or white light sources.
  • Light sources are preferred applied that produce diffuse light. This has the advantage that disturbing light reflections of the test object are avoided. Stickers, glossy spots or other picture taking disruptive effects are reduced or excluded. In particular, the effect of shadows, such as that of raised or recessed lettering or otherwise Projections or depressions can go out, avoided.
  • the lighting of the test object with both coherent and even with non-coherent light has the further advantage that both an interference image and an almost natural image of the object can be created.
  • the lighting is done with coherent and non-coherent Light at different times.
  • the interference picture and the white light image is separated in this embodiment added. For example, the lighting takes place first with mixed light (coherent and non-coherent) for generation of the interference image and then only with non-coherent light to create the natural image.
  • the two pictures can overlaid or displayed separately on a screen.
  • the advantage of superimposing the interference image and the natural picture has the advantage that the viewer Signs of interference from labels, stickers, the tire profile or other profiles, can differ from interference images, which differ in Result of hidden defects in the tire or other test object result.
  • the superimposed representation of the interference image and the natural Picture is also possible if the examinee only simultaneously with non-coherent and coherent Light is illuminated. Taking the different pictures can be with separate imaging devices or a single Image recording device can be performed. The latter is because of the same perspective when taking pictures and thus the simple image overlay for displaying the interference image and the natural picture on a screen.
  • the post-processing of an image recording device supplied image signals for generating the interference image and to display the same and to create a natural one Image and for displaying the same is preferably done by a Image recording device.
  • This can be obtained in this way, for example be in a signal path at every pixel at different phase positions of the interference optics Brightness values determined to get from it by averaging to create a natural picture without interference while in a different path from the individual brightness values Phase shifts are determined and these are displayed brings.
  • the two generated from the separate paths Signals can be merged to form the overlaid image display.
  • the Image acquisition device e.g. designed as a shearography device his.
  • the first Light path leads directly to an image recording device, for example a camera, while the second light path over a movable mirror leads to this camera.
  • the mirror around a selected one Ax is tilted. Arise in every tilt position of the mirror Speckle images, with the brightness of each speckle changes when the mirror is pivoted. Three different ones Mirror positions thus result in three different ones Brightness values for each speckle. From the three brightness values can then be used for every speckle and therefore also for each pixel the respective phase position for the starting from this pixel or calculate light associated with speckle.
  • the interference pattern changes (Speckle pattern).
  • three speckle brightnesses are recorded, one Result in light phase position.
  • the phase difference between loaded and unloaded condition can then be used as an interference picture being represented.
  • the shearography is preferably done with a shear direction from 45 ° to the object to detect deformations.
  • other shear directions can also be used.
  • Other interference-optical evaluation methods can also be used come into use. For example, it is possible to determine the in-plane deformation on speckle correlation methods recourse. In short, these are based on the speckle Pattern of the deformed surface and the speckle pattern of the undeformed Compare area with each other and from the change Conclusions about the shift of the surface in parallel to pull to the surface.
  • a test device 1 is illustrated in FIG one of the receiving devices, for example a support table 2 and an inspection unit 3 belong.
  • the latter serves one Test object, for example a tire 4 with an imaging Inspect procedures, especially for fault detection or to detect other irregularities.
  • the inspection unit 3 can be arranged as illustrated be that she can see the inside of the tire. she However, it can also be arranged outside the same Inspect tires from the outside.
  • a facility around the is not further illustrated Subject tires to 4 different stress conditions. This can be done by providing the support table 2 with a bell 6 in the interior 7 of the pressure can be varied. Instead of however, this can also be the internal pressure of the then, for example on a rim or other mounting device mounted tire 4 are changed when the inspection done from the outside.
  • the inspection unit 3 is illustrated separately in FIG. 2. It has a camera 8, which is an interference optical Device 9 is upstream.
  • the camera 8 and the Interference optical device 9 form an interference optical Image recording device 11, which is illustrated as in FIG. 4, connected to an image processing device 12 is.
  • the interference optical device 9 is for example as a Michelson interferometer or as another interferometer trained, which defines two light paths 14, 15 Length or orientation is adjustable. To this end, the interference optical Device 9 following a lens 16, for example a beam splitter 17 which closes the light path 14 a mirror 18 and the light path 15 leads to a mirror 19.
  • the mirror 19 is tiltably arranged via a piezo unit 21, the piezo unit 21 from the image evaluation device 12 ( Figure 4) is controlled.
  • the camera 8 takes a picture by superimposing the two partial beams 14, 15 in the Beam splitter 17 has arisen.
  • the lens 16 receives that from the test object (tire 4) backscattered light. This comes from a first lighting device 24, which produces coherent light, as well as from a second lighting device 25, the non-coherent Generates light.
  • the first lighting device 24 can, for example one or more lasers 26, 27, for example laser diodes contain. These illuminate a section 28 of the Tire 4, which is observed by the image recording device 11 (seen).
  • the light cones of the lasers 26, 27 can be overlap more or less.
  • the aim is that that of lasers 26, 27 and possibly other lasers in the Section 28 produces brightness at all points of the section 28 is as equal as possible.
  • the lighting device 25 illuminates the Section 28 with non-coherent light.
  • This is used, for example two light sources 31, 32, the white or colored and preferably generate diffuse light.
  • the Light sources 31, 32 fluorescent lamps, white light emitting diodes or Be incandescent. You can each with a reflector 33, 34th be provided.
  • the scattering element 35, 36 provided to produce diffuse light.
  • the image evaluation device 12 is separate in FIG. 6 illustrated. It is with its input 37 to the camera 8 connected. With its output 38 it is connected to an image display device 39 (FIG. 4), for example a monitor 39, connected. This is used for the optical reproduction of image signals, which the image evaluation device 12 emits.
  • the image evaluation device has a first channel 41 on, via a control line 42 with the piezo unit 21st is connected, and also via the input 37 camera output signals receives.
  • the channel 41 is used to determine a Interference image after one described later Method.
  • a further channel 43 is provided parallel to the channel 41, a real image from the image signals 37 of the camera 8 certainly. This is done, for example, by averaging individuals Camera images taken at different positions of the mirror 18 have been included. If necessary, the channel 43 can therefore as indicated in FIG. 6 by a dashed line 44, Receive signals that identify the position of the piezo 21.
  • the outputs of the channels 41, 43 are with a superimposition unit 45 connected to the output signals of the two Channels 41, 43 summed together and the sum signal on the Output 38 delivers.
  • test device 1 described so far works as follows:
  • the tire 4 in the cutout 28 both from the lighting device 24 and from the lighting device 25 illuminated.
  • the cutout 28 results there is thus an overall brightness, which in FIG. 3 is horizontal Axis is illustrated, and that in the area H lies. That solely from the coherent lighting device 24 generated brightness is in an area B.
  • the characteristic curve of the camera 8 is also shown in FIG illustrates with which this in a selected pixel Brightness signals converted into electrical output signals. How can be seen, the area A is selected so that the in As a result of the interference, fluctuations in brightness within of area A in an area of maximum slope the camera 8 are.
  • the output signal therefore has a relatively large amplitude. In contrast, it would have been a lot lower amplitude without white light illumination when the Brightness in the cutout 28 is in area B.
  • the piezo drive is now used to take the second picture 21 operated so that he the phase of the light in the light path 14 moves a little. This is the case in FIG. 5 at ⁇ 1.
  • the brightness of the pixel under consideration has now changed in succession changed interference. In the example she has decreased.
  • the second picture is now registered by how Already with the first picture, again all brightness values everything Pixels of the entire image can be saved.
  • To record of a third picture for the phase value ⁇ 2 is first again the piezo drive 21 is slightly adjusted.
  • the brightness signal S in turn changes its value, as illustrated in FIG. 5.
  • phase position of the relevant pixel can now be found to calculate. This is done, for example, by measuring the three Signal values through a sine function oscillating around the basic brightness approximates and their phase position is determined.
  • phase position of all pixels is determined saved, and the phase positions of the pixels are at a changed load determined. For example the pressure inside the bell 6 changed, and it will turn three individual images taken at the phase positions ⁇ 0, ⁇ 1 and ⁇ 2, as illustrated in Figure 5 on the right. Which result in turn three signal values for each pixel the basis for determining the phase position of each relevant pixel. From the difference in the phase position in Load state ( Figure 5 right) and the phase position in the unloaded State ( Figure 5 left) can be a phase difference form. The phase difference is formed point by point the output of the channel 41 as an interference image I.
  • the channel 43 is intended to produce a natural image. To do this, either in the first load state or the pictures taken in the second load state or all six pictures used. The average is in each pixel formed from the three measured brightness values (signal values S). The value averaged is the signal value for a natural picture. Alternatively, to determine a natural The coherent lighting is also temporarily switched off and only the image created by white light lighting are further processed in channel 43. Because of the non-coherence the lighting also does not produce any stationary interference patterns which, despite the optical interference, is a natural one Image is available. If necessary, a pixel integration be performed by changing the pixel brightness in each case averaged over a certain period of time during image acquisition becomes.
  • interference image I To represent the interference image I and the natural Image N, these are added in block 45 and the sum signal is transmitted to the monitor 39. Then on this the natural image N, e.g. like on a television screen, shown.
  • the interference pattern calculated in channel 41 are illustrated as interference image I. For example these are, as can be seen from FIG. 4, spots or rings Areas, the areas of greater tire deformation under load represent. It is also possible to put the interference image in to show eye-catching, suitably chosen colors to a to create optical contrast to the natural image.
  • the operator can real Differentiate defects F from interference images that result of properly existing tire structures, for example Labels or inscriptions arise.
  • the test device 1 has an interference optical Image recording device 11 by the test object throws back scattered light. From the imaging device 11 generated images are an image evaluation device 12 supplied, the at least one interference image and optionally also a natural picture is determined. For improvement the signal-to-noise ratio of the interference image becomes the basic brightness in imaging using non-coherent lighting improved. Only part of the level A camera 8 required light intensity is thus through to apply a lighting device 24 that is coherent Generates light. The much larger part of the brightness, i.e. the greater part of the required light energy comes from a lighting device 25, the non-coherent light generated. This way is simple and reliable the adequate lighting of even weakly reflecting Test specimen surfaces (black rubber) using an inexpensive Lighting device possible, but moreover the interference-optical evaluation of the reflected light is made possible.
  • the test device can with a laser inscription device 46 (FIG. 2) couple to the tested tires here according to the test result to mark.
  • the marking can e.g. in a Inscription or other coding.
  • the laser marking device 46 can thus be a labeling unit or be a freely positionable unit, for example, discovered defects by an operator to be able to mark.
  • the laser marking device 46 movably mounted in two or more axes and controlled via a corresponding positioning device be so that the operator uses the laser head of the laser marking device 46 by a suitable input device, for example one or more control levers or a mouse can lead.
  • a other marking device e.g. a color marking device, e.g. an inkjet printing device, a label gluing device etc. Find application.

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Abstract

Die erfindungsgemäße Prüfeinrichtung (1) weist eine interferenzoptische Bildaufnahmeeinrichtung (11) auf, die von dem Prüfling zurück geworfenes Streulicht aufnimmt. Von der Bildaufnahmeeinrichtung (11) erzeugte Bilder werden einer Bildauswerteeinrichtung (12) zugeführt, die zumindest ein Interferenzbild und optional auch ein natürliches Bild ermittelt. Zur Verbesserung des Signalrauschabstands des Interferenzbilds wird die Grundhelligkeit bei der Bilderzeugung mittels nichtkohärenter Beleuchtung verbessert. Lediglich ein Teil der zur Aussteuerung einer Kamera (8) erforderlichen Lichtintensität ist somit durch eine Beleuchtungseinrichtung (24) aufzubringen, die kohärentes Licht erzeugt. Der weitaus größere Teil der Helligkeit, d.h. der größere Teil der erforderlichen Lichtenergie stammt von einer Beleuchtungseinrichtung (25), die nichtkohärentes Licht erzeugt. Auf diese Weise ist auf einfache und zuverlässige Weise die ausreichende Beleuchtung von auch schwach reflektierenden Prüflingsoberflächen (schwarzer Gummi) mittels einer kostengünstigen Beleuchtungseinrichtung möglich, wobei überdies die interferenzoptische Auswertung des reflektierten Lichts ermöglicht wird. <IMAGE>

Description

Die Erfindung betrifft eine Prüfeinrichtung und ein Prüfverfahren für deformierbare Prüflinge, insbesondere Reifen.
Bei der Untersuchung von Reifen mittels interferenzoptischer Verfahren, sind diese mit kohärentem Licht zu beleuchten. Dies ist beispielsweise aus der DE 40 36 120 C2 bekannt. Diese offenbart die Analyse von Testobjekten mittels Shearografie. Zur Durchführung der Shearografie wird von dem Prüfling reflektiertes kohärentes Licht in zwei Lichtwegen zunächst getrennt geführt, wobei wenigstens der eine Lichtweg durch eine Verstelleinrichtung in seiner Länge oder Winkelausrichtung etwas verstellbar ist. Ausgewertet wird das entstehende Überlagerungsbild.
Das Verfahren beruht auf dem von dem Gegenstand reflektierten Licht. Bei der Untersuchung von Reifen oder anderen aus schwarzem Gummi bestehenden Körpern ist deswegen eine erhebliche Lichtintensität erforderlich.
Die DE 42 31 578 C2 sieht dazu die Beleuchtung des Prüfobjekts mittels mehrerer Laserdioden vor, deren Lichtkegel sich in ihren Randzonen etwas überlappen können. Es entsteht dadurch ein von mehreren Laserdioden einigermaßen gleichmäßig beleuchtetes Feld, in dem die Lichtstärke zur Durchführung interferenzoptischer Messverfahren ausreichend ist. An den Randzonen des beleuchteten Feldes, die nur jeweils von einer Leuchtdiode erreicht werden, nimmt die Beleuchtungsstärke ab. Hier werden keine qualitativ hochwertigen Bilder mehr erzeugt.
Laserdioden sind bis zu einer Leistung von etwa 50 Milliwatt verfügbar. Stärkere kohärente Lichtquellen stellen einen erheblich erhöhten Aufwand dar und machen deshalb entsprechende interferenzoptische Prüfeinrichtungen häufig unwirtschaftlich. Sollen Prüflinge mit schlecht reflektierender (schwarzer) Oberfläche untersucht werden, ist eine hohe Beleuchtungsstärke erforderlich, die schwierig zu erreichen ist. Es wird deshalb häufig mit Kameras gearbeitet, die an der unteren Empfindlichkeitsgrenze betrieben werden.
Daraus leitet sich die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe ab, eine Prüfeinrichtung bzw. ein Prüfverfahren zu schaffen, mit dem sich Prüflinge mit schwach reflektierender Oberfläche auf wirtschaftliche Weise untersuchen lassen.
Diese Aufgabe wird mit der Prüfeinrichtung gemäß Anspruch 1 bzw. mit dem entsprechenden Prüfverfahren gelöst.
Bei der Erfindung wird davon ausgegangen, dass der Prüfling in dem zu prüfenden Bereich sowohl mit strukturiertem (z.B. kohärentem) als auch mit nicht strukturiertem (z.B. inkohärentem) Licht beleuchtet wird. Das nichtstrukturierte Licht, beispielsweise diffuses weißes Licht, dient dazu, eine Grundhelligkeit zu erzeugen, mit der die beteiligte Bildaufnahmeeinrichtung zunächst aus dem Bereich ihres Schwarzrauschens heraus geführt wird. Vorzugsweise wird die Helligkeit der nichtstrukturierten Beleuchtung dabei so eingestellt, dass die betreffende Kamera oder sonstige Bildaufnahmeeinrichtung der Prüfeinrichtung im Bereich ihrer maximalen Empfindlichkeit arbeitet. Das Strukturbild das von der vorzugsweise gleichzeitig erfolgenden strukturierten Beleuchtung des gleichen Bildbereichs herrührt, überlagert das durch Weißlichtbeleuchtung erhaltene Bild, bleibt für sich genommen jedoch unverfälscht. Das Strukturbild ist bei Verwendung kohärenten Lichts als strukturiertes Licht ein Interferenzbild. Es kann auf herkömmliche Weise ausgewertet werden. Damit wird durch die kombinierte Beleuchtung (kohärent und inkohärent bzw. strukturiert und nichtstrukturiert) zum einen die erforderliche Beleuchtungsstärke und zum anderen die gewünschte Ausbildung eines Interferenzbilds erreicht. Dessen Modulationstiefe (Kontrast zwischen hellen und dunklen Interferenzstreifen) ist gegenüber einer Beleuchtung nur mit kohärentem Licht aus der gleichen kohärenten Lichtquelle im wesentlichen unverändert.
Die Überlagerung einer Grundhelligkeit bewirkt die Verlagerung des Arbeitspunkts der Bildaufnahmeeinrichtung in den Bereich maximaler Empfindlichkeit. Bei geeigneten Einsatzbeispielen wird eine erhöhte Signalstärke erreicht. Insbesondere aber verbessert sich bei der erfindungsgemäßen Prüfeinrichtung gegenüber herkömmlichen Verfahren, die mit schlechten Beleuchtungsverhältnissen arbeiten, das Signalrauschverhältnis. Der gesamte Pegel wird aus dem Bereich des Schwarzrauschens gehoben, ohne den Interferenzeffekt (Speckleeffekt) zu stören. Die lokale Helligkeitsmodulation, die durch die Interferenzeffekte verursacht werden, bleibt erhalten. Sie ist lediglich um einen von der inkohärenten Beleuchtung verursachten Offset zu größeren Helligkeitswerten hin verschoben.
Zur kohärenten Beleuchtung können ein oder mehrere Lichtquellen Anwendung finden, beispielsweise Laser oder Laserdioden. Diese können einander vollständig oder teilweise überlappende Lichtkegel aufweisen. Wesentlich ist bei der vorgestellten Prüfeinrichtung und dem Prüfverfahren lediglich, dass jeder Punkt des zu untersuchenden Bildausschnitts sowohl von kohärentem als auch von nichtkohärentem Licht erreicht wird. Auf diese Weise können große bis sehr große Bereiche eines Prüflings in einem einzigen Bild untersucht werden, wobei in jedem Bildpunkt die erforderliche Beleuchtungshelligkeit erreichbar und jeder Bildpunkt aus dem Bereich des Schwarzrauschens herausführbar ist. Insbesondere hat die Bedeutung an den Bildrändern. Damit lässt sich das Prüfverfahren gegenüber anderen Verfahren, die mit kleineren Bildausschnitten arbeiten, wesentlich beschleunigen.
Zur Beleuchtung des Prüflings mit inkohärentem Licht können Glühlampen, beispielsweise Halogenlampen, Leuchtstofflampen, weiße LEDs oder anderweitige monochromatische, farbige oder weiße Lichtquellen dienen. Vorzugsweise werden Lichtquellen angewendet, die diffuses Licht erzeugen. Dies hat den Vorteil, dass störende Lichtreflexe des Prüflings vermieden werden. Aufkleber, Glanzstellen oder andere sonst die Bildaufnahme störende Effekte, werden somit reduziert oder ausgeschlossen. Insbesondere kann auch die Wirkung von Schattenwürfen, wie sie von erhabenen oder vertieften Schriftzügen oder anderweitigen Vorsprüngen oder Vertiefungen ausgehen können, vermieden werden.
Die Beleuchtung des Prüflings sowohl mit kohärentem als auch mit nichtkohärentem Licht hat den weiteren Vorteil, dass sowohl ein Interferenzbild als auch ein nahezu natürliches Bild des Gegenstands erzeugt werden kann. In einer Ausführungsform erfolgt die Beleuchtung mit kohärentem und nichtkohärentem Licht zu unterschiedlichen Zeitpunkten. Das Interferenzbild und das Weißlichtbild werden bei dieser Ausführungsform getrennt aufgenommen. Beispielsweise erfolgt die Beleuchtung zunächst mit gemischtem Licht (kohärent und nichtkohärent) zur Erzeugung des Interferenzbilds und danach nur mit nichtkohärentem Licht zur Erzeugung des natürlichen Bilds. Die beiden Bilder können überlagert oder getrennt auf einem Bildschirm dargestellt werden.
Der Vorteil der überlagerten Darstellung des Interferenzbilds und des natürlichen Bilds hat den Vorteil, dass der Betrachter Interferenzerscheinungen, die von Beschriftungen, Aufklebern, dem Reifenprofil oder sonstigen Profilierungen herrühren, von Interferenzbildern unterscheiden kann, die sich in Folge von verdeckten Fehlern des Reifens oder sonstigen Prüflings ergeben.
Die überlagerte Darstellung von Interferenzbild und natürlichem Bild ist auch dann möglich, wenn der Prüfling ausschließlich gleichzeitig mit nichtkohärentem und kohärentem Licht beleuchtet wird. Die Aufnahme der verschiedenen Bilder kann mit getrennten Bildaufnahmeeinrichtungen oder einer einzigen Bildaufnahmeeinrichtung durchgeführt werden. Letzteres ist wegen der gleichen Perspektive bei der Bildaufnahme und somit der einfachen Bildüberlagerung zur Darstellung des Interferenzbilds und des natürlichen Bilds auf einem Bildschirm vorteilhaft.
Die Nachbearbeitung der von einer Bildaufnahmeeinrichtung gelieferten Bildsignale zur Erzeugung des Interferenzbild und zur Anzeige desselben sowie zur Erzeugung eines natürlichen Bilds und zur Anzeige desselben erfolgt vorzugsweise durch eine Bildaufnahmeeinrichtung. Diese kann beispielsweise so beschaffen sein, dass sie in einem Signalpfad in jedem Bildpunkt die bei verschiedener Phasenlage der Interferenzoptik aufgenommenen Helligkeitswerte ermittelt, um daraus durch Mittelwertbildung ein natürliches Bild ohne Interferenzerscheinung zu erzeugen, während sie in einem anderen Pfad aus den einzelnen Helligkeitswerten Phasenverschiebungen ermittelt und diese zur Anzeige bringt. Die beiden von den getrennten Pfaden erzeugten Signale können zusammengeführt werden, um das überlagerte Bild darzustellen.
Zur interferenzoptischen Auswertung des Prüflings kann die Bildaufnahmeeinrichtung z.B. als Shearografieeinrichtung ausgebildet sein. Diese arbeitet mit von dem Prüfobjekt reflektiertem Licht, das auf zwei Lichtwege aufgesplittet wird. Der erste Lichtweg führt unmittelbar zu einer Bildaufnahmeeinrichtung, beispielsweise einer Kamera, während der zweite Lichtweg über einen bewegbaren Spiegel zu dieser Kamera führt. Zur Aufnahme shearografischer Bilder wird der Spiegel um eine ausgewählte Achse gekippt. In jeder Kippposition des Spiegels entstehen Specklebilder, wobei sich die Helligkeit der einzelnen Speckle bei einer Verschwenkung des Spiegels jeweils ändert. Drei verschiedene Spiegelpositionen ergeben somit drei verschiedene Helligkeitswerte für jeden Speckle. Aus den drei Helligkeitswerten lassen sich dann für jeden Speckle und somit auch für jeden Pixel die jeweilige Phasenlage für das ab diesem Pixel oder Speckle zugeordnete Licht berechnen. Eine Ausnahme bilden etwaige Einzelpixel in denen keine Modulation zu verzeichnen ist. Diese werden später in einer Bildnachbearbeitung behandelt. Wird der Prüfling nun belastet, ändert sich das Interferenzbild (Specklemuster). In dem belasteten Zustand können wiederum drei Speckle Helligkeiten aufgenommen werden, die eine Lichtphasenlage ergeben. Die Phasenlagendifferenz zwischen belastetem und unbelastetem Zustand kann dann als Interferenzbild dargestellt werden. Daraus lassen sich die Verformungen des Prüflings ersehen, die sich zwischen belastetem und unbelastetem Zustand ergeben.
Die Shearografie wird vorzugsweise mit einer Shear-Richtung von 45° zum Objekt durchgeführt, um Verformungen zu erkennen. Es können aber auch andere Shear-Richtungen Anwendung finden. Außerdem können anderweitige interferenzoptische Auswerteverfahren zur Anwendung kommen. Z.B. ist es möglich zur Bestimmung der In-Plane-Verformung auf Speckle-Korrelationsverfahren zurückzugreifen. Diese beruhen, kurz gesagt, darauf, das Speckle Muster der verformten Fläche und das Speckle-Muster der unverformten Fläche miteinander zu vergleichen und aus der Veränderung Rückschlüsse über die Verlagerung der Oberfläche parallel zu der Oberfläche zu ziehen.
Einzelheiten vorteilhafter Ausführungsformen der Erfindung sind Gegenstand von Unteransprüchen, der Zeichnung oder der nachfolgenden Beschreibung.
In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung veranschaulicht. Es zeigen:
Figur 1
die Prüfeinrichtung für einen Reifen in einer Prinzipdarstellung,
Figur 2
die Vorrichtung nach Figur 1 mit einer prinzipiellen Darstellung der Bildaufnahme,
Figur 3
die Verschiebung des Ausgangssignals der Bildaufnahmeeinrichtung durch Weißlichtbeleuchtung
Figur 4
die Darstellung eines Interferenzbilds und eines realistischen Bilds mit einer einzigen Bildwidergabeeinrichtung,
Figur 5
Helligkeitswerte eines Bildpunkts zu verschiedenen Zeitpunkten als Diagramm und
Figur 6
eine Bildverarbeitungseinrichtung als Blockschaltbild.
In Figur 1 ist eine Prüfeinrichtung 1 veranschaulicht, zu der eine Aufnahmeeinrichtung beispielsweise ein Auflagetisch 2 und eine Inspektionseinheit 3 gehören. Letztere dient dazu einen Prüfling, beispielsweise einen Reifen 4 mit einem bildgebenden Verfahren zu inspizieren, insbesondere zur Fehlererfassung oder zur Erfassung sonstiger Unregelmäßigkeiten. Die Inspektionseinheit 3 kann wie veranschaulicht, so angeordnet sein, dass sie die Innenseite des Reifens im Blickfeld hat. Sie kann jedoch auch außerhalb desselben angeordnet sein, um den Reifen von außen zu inspizieren.
Nicht weiter veranschaulicht ist eine Einrichtung um den Reifen 4 verschiedenen Belastungszuständen zu unterwerfen. Dies kann erfolgen, indem der Auflagetisch 2 mit einer Glocke 6 versehen wird, in deren Innenraum 7 der Druck variierbar ist. Anstelle dessen kann jedoch auch der Innendruck des dann beispielsweise auf einer Felge oder einer anderen Aufnahmeeinrichtung montierten Reifens 4 verändert werden, wenn die Inspektion von außen erfolgt.
Die Inspektionseinheit 3 ist in Figur 2 gesondert veranschaulicht. Sie weist eine Kamera 8 auf, der eine interferenzoptische Einrichtung 9 vorgelagert ist. Die Kamera 8 und die interferenzoptische Einrichtung 9 bilden eine interferenzoptische Bildaufnahmeeinrichtung 11, die wie Figur 4 veranschaulicht, an einer Bildverarbeitungseinrichtung 12 angeschlossen ist.
Die interferenzoptische Einrichtung 9 ist beispielsweise als Michelson-Interferometer oder als anderweitiges Interferometer ausgebildet, das zwei Lichtwege 14, 15 festlegt deren Länge oder Ausrichtung verstellbar ist. Dazu weist die interferenzoptische Einrichtung 9 im Anschluss an ein Objektiv 16 beispielsweise einen Strahlteiler 17 auf, der den Lichtweg 14 zu einem Spiegel 18 und den Lichtweg 15 zu einem Spiegel 19 führt. Der Spiegel 19 ist über eine Piezo-Einheit 21 kippbar angeordnet, wobei die Piezo-Einheit 21 von der Bildauswerteeinrichtung 12 (Figur 4) gesteuert ist. Die Kamera 8 nimmt ein Bild auf, das durch Überlagerung der beiden Teilstrahlen 14, 15 in dem Strahlteiler 17 entstanden ist.
Das Objektiv 16 empfängt das von dem Prüfling (Reifen 4) rückgestreute Licht. Dieses stammt von einer ersten Beleuchtungseinrichtung 24, die kohärentes Licht erzeugt, sowie von einer zweiten Beleuchtungseinrichtung 25, die nichtkohärentes Licht erzeugt. Die erste Beleuchtungseinrichtung 24 kann beispielsweise ein oder mehrere Laser 26, 27, beispielsweise Laserdioden enthalten. Diese beleuchten einen Ausschnitt 28 des Reifens 4, der von der Bildaufnahmeeinrichtung 11 beobachtet (gesehen) wird. Die Lichtkegel der Laser 26, 27 können sich dabei mehr oder weniger überlappen. Es wird angestrebt, dass die von den Lasern 26, 27 sowie evtl. weiteren Lasern in dem Ausschnitt 28 erzeugte Helligkeit an allen Punkten des Ausschnitts 28 möglichst gleich ist.
Zusätzlich beleuchtet die Beleuchtungseinrichtung 25 den Ausschnitt 28 mit nichtkohärentem Licht. Dazu dienen beispielsweise zwei Lichtquellen 31, 32, die weißes oder farbiges und vorzugsweise diffuses Licht erzeugen. Beispielsweise können die Lichtquellen 31, 32 Leuchtstofflampen, weiße Leuchtdioden oder Glühlampen sein. Sie können jeweils mit einem Reflektor 33, 34 versehen sein. Außerdem kann in dem Lichtweg der jeweiligen Lichtquelle 31, 32 jeweils ein Streuelement 35, 36 vorgesehen sein, um Diffuslicht zu erzeugen.
Die Bildauswerteeinrichtung 12 ist in Figur 6 gesondert veranschaulicht. Sie ist mit ihrem Eingang 37 an die Kamera 8 angeschlossen. Mit ihrem Ausgang 38 ist sie an eine Bildwiedergabeeinrichtung 39 (Figur 4), beispielsweise einen Monitor 39, angeschlossen. Dieser dient zur optischen Wiedergabe von Bildsignalen, die die Bildauswerteeinrichtung 12 abgibt.
Die Bildauswerteeinrichtung weist einen ersten Kanal 41 auf, der über eine Steuerleitung 42 mit der Piezo-Einheit 21 verbunden ist, und der außerdem über den Eingang 37 Kameraausgangssignale erhält. Der Kanal 41 dient zur Bestimmung eines Interferenzbilds nach einem an späterer Stelle beschriebenen Verfahren.
Parallel zu dem Kanal 41 ist ein weiterer Kanal 43 vorgesehen, der aus den Bildsignalen 37 der Kamera 8 ein Realbild bestimmt. Dies beispielsweise durch Mittelwertbildung einzelner Kamerabilder, die bei verschiedenen Positionen des Spiegels 18 aufgenommen worden sind. Bedarfsweise kann der Kanal 43 deshalb wie in Figur 6 durch eine gestrichelte Linie 44 angedeutet ist, Signale erhalten, die die Position der Piezo 21 kennzeichnen.
Die Ausgänge der Kanäle 41, 43 sind mit einer Überlagerungseinheit 45 verbunden, die die Ausgangssignale der beiden Kanäle 41, 43 miteinander summiert und das Summensignal an dem Ausgang 38 abgibt.
Die soweit beschriebene Prüfeinrichtung 1 arbeitet wie folgt:
In Betrieb wird der Reifen 4 in dem Ausschnitt 28 sowohl von der Beleuchtungseinrichtung 24 als auch von der Beleuchtungseinrichtung 25 beleuchtet. In dem Ausschnitt 28 ergibt sich somit eine Gesamthelligkeit, die in Figur 3 auf der horizontalen Achse veranschaulicht ist, und die in dem Bereich H liegt. Die allein von der kohärenten Beleuchtungseinrichtung 24 erzeugte Helligkeit liegt in einem Bereich B. Dieser ist durch die zusätzliche Beleuchtung mit weißem oder farbigem, jedenfalls aber nichtkohärentem ("billigem") Licht, in den Bereich A verschoben. In Figur 3 ist außerdem die Kennlinie der Kamera 8 veranschaulicht, mit der diese in einem ausgewählten Bildpunkt Helligkeitssignale in elektrische Ausgangssignale umsetzt. Wie ersichtlich, ist der Bereich A so gewählt, dass die sich in Folge der Interferenz ergebenden Helligkeitsschwankungen innerhalb des Bereichs A in einem Bereich maximaler Kennliniensteilheit der Kamera 8 liegen. Das Ausgangssignal hat deshalb eine relativ große Amplitude. Demgegenüber hätte es eine weitaus geringere Amplitude ohne Weißlichtbeleuchtung, wenn die Helligkeit in dem Ausschnitt 28 im Bereich B liegt.
Zur Prüfung des Reifens 4 ruht dieser. Der Ausschnitt 28 wird nun z.B. dreimal aufgenommen, d.h. es werden zunächst drei Einzelbilder erzeugt. Dies ist in Figur 5 für einen willkürlich herausgegriffenen Bildpunkt veranschaulicht. Die von der Weißlichtbeleuchtung herrührende Grundhelligkeit erzeugt ein Ausgangssignal S, das in Figur 5 durch eine horizontale Linie veranschaulicht ist. Bei einer ersten Position des Spiegels 18 entsteht zusätzlich zu der Grundhelligkeit ein überlagertes Interferenzbild, das in dem nun betrachteten Bildpunkt eine Helligkeit aufweist, die von der Grundhelligkeit etwas abweichen kann. Beispielsweise liegt sie etwas über der Grundhelligkeit. In anderen Bildpunkten kann dies anders aussehen. Jedenfalls aber liegt die Grundhelligkeit innerhalb des Bereichs A gemäß Figur 3.
Zur Aufnahme des zweiten Bilds wird nun der Piezoantrieb 21 betätigt, so dass er die Phasenlage des Lichts in dem Lichtweg 14 etwas verschiebt. Dies ist in Figur 5 bei ϕ1 der Fall. Die Helligkeit des betrachteten Bildpunkts hat sich nun in Folge der geänderten Interferenz geändert. Im Beispiel hat sie abgenommen. Das zweite Bild wird nun registriert, indem, wie schon bei dem ersten Bild, wiederum alle Helligkeitswerte alles Bildpunkte des gesamten Bilds abgespeichert werden. Zur Aufnahme eines dritten Bilds für den Phasenwert ϕ2 wird zunächst wiederum der Piezoantrieb 21 geringfügig verstellt. Das Helligkeitssignal S ändert wiederum seinen Wert, wie Figur 5 veranschaulicht.
Aus den drei Signalwerten S für die Phasenwinkel ϕ0, ϕ1 und ϕ2 lässt sich nun die Phasenlage des betreffenden Bildpunkts berechnen. Dies beispielsweise indem die drei gemessenen Signalwerte durch eine um die Grundhelligkeit schwingende Sinusfunktion approximiert und deren Phasenlage bestimmt wird.
Ist die Phasenlage aller Bildpunkte bestimmt, wird diese abgespeichert, und es werden die Phasenlagen der Bildpunkte bei einer geänderten Belastung bestimmt. Dazu wird beispielsweise der Druck innerhalb der Glocke 6 geändert, und es werden wiederum drei Einzelbilder bei den Phasenlagen ϕ0, ϕ1 und ϕ2 aufgenommen, wie in Figur 5 rechts veranschaulicht ist. Die sich ergebenden drei Signalwerte für jeden Bildpunkt bilden wiederum die Grundlage für die Bestimmung der Phasenlage des jeweils betreffenden Bildpunkts. Aus der Differenz der Phasenlage im Belastungszustand (Figur 5 rechts) und der Phasenlage im nichtbelasteten Zustand (Figur 5 links) lässt sich eine Phasendifferenz bilden. Die punktweise gebildete Phasendifferenz steht an dem Ausgang des Kanals 41 als Interferenzbild I an.
Der Kanal 43 soll demgegenüber ein natürliches Bild erzeugen. Dazu werden wahlweise die im ersten Belastungszustand oder die im zweiten Belastungszustand aufgenommenen Bilder oder alle sechs Bilder verwendet. In jedem Bildpunkt wird der Mittelwert aus den drei gemessenen Helligkeitswerten (Signalwerte S) gebildet. Der somit gemittelte Wert ist der Signalwert für ein natürliches Bild. Alternativ kann zur Bestimmung eines natürlichen Bilds auch die kohärente Beleuchtung kurzzeitig abgeschaltet werden und nur das durch Weißlichtbeleuchtung erzeugte Bild in dem Kanal 43 weiterverarbeitet werden. Durch die Nichtkohärenz der Beleuchtung entstehen auch keine stationären Interferenzmuster wodurch trotz Interferenzoptisch ein natürliches Bild erhältlich ist. Bedarfsweise kann eine Bildpunktintegration durchgeführt werden, indem die Bildpunkthelligkeit jeweils über einen gewissen Zeitraum bei der Bildaufnahme gemittelt wird.
Zur Darstellung des Interferenzbilds I und des natürlichen Bilds N werden diese in dem Block 45 addiert und das Summensignal wird an den Monitor 39 übermittelt. Auf diesem wird dann das natürliche Bild N, z.B. wie auf einem Fernsehbildschirm, dargestellt. Die in dem Kanal 41 errechneten Interferenzmuster werden als Interferenzbild I veranschaulicht. Beispielsweise sind dies, wie aus Figur 4 ersichtlich, fleck- oder ringförmige Gebiete, die Bereiche größerer Reifenverformung bei der Belastung darstellen. Es ist auch möglich, das Interferenzbild in auffälligen, geeignet gewählten Farben darzustellen, um einen optischen Kontrast zum natürlichen Bild zu schaffen.
Durch die Überlagerung der Darstellung des Interferenzbilds I und des natürlichen Bilds N kann der Bediener wirkliche Fehlstellen F von Interferenzbildern unterscheiden, die in Folge von ordnungsgemäß vorhandenen Reifenstrukturen, beispielsweise Etiketten oder Beschriftungen, entstehen.
Die erfindungsgemäße Prüfeinrichtung 1 weist eine interferenzoptische Bildaufnahmeeinrichtung 11 auf, die von dem Prüfling zurück geworfenes Streulicht aufnimmt. Von der Bildaufnahmeeinrichtung 11 erzeugte Bilder werden einer Bildauswerteeinrichtung 12 zugeführt, die zumindest ein Interferenzbild und optional auch ein natürliches Bild ermittelt. Zur Verbesserung des Signalrauschabstands des Interferenzbilds wird die Grundhelligkeit bei der Bilderzeugung mittels nichtkohärenter Beleuchtung verbessert. Lediglich ein Teil der zur Aussteuerung einer Kamera 8 erforderlichen Lichtintensität ist somit durch eine Beleuchtungseinrichtung 24 aufzubringen, die kohärentes Licht erzeugt. Der weitaus größere Teil der Helligkeit, d.h. der größere Teil der erforderlichen Lichtenergie stammt von einer Beleuchtungseinrichtung 25, die nichtkohärentes Licht erzeugt. Auf diese Weise ist auf einfache und zuverlässige Weise die ausreichende Beleuchtung von auch schwach reflektierenden Prüflingsoberflächen (schwarzer Gummi) mittels einer kostengünstigen Beleuchtungseinrichtung möglich, wobei überdies die interferenzoptische Auswertung des reflektierten Lichts ermöglicht wird.
Optional ist es möglich, die erfindungsgemäße Prüfeinrichtung mit einer Laserbeschriftungseinrichtung 46 (Figur 2) zu koppeln, um die geprüften Reifen hier entsprechend dem Prüfergebnis zu kennzeichnen. Die Kennzeichnung kann z.B. in einer Beschriftung oder in einer anderweitigen Kodierung bestehen. Die Lasermarkierungseinrichtung 46 kann somit eine Beschriftungseinheit oder auch eine frei positionierbare Einheit sein, beispielsweise um entdeckte Fehlstellen durch einen Bediener markieren zu können. Beispielsweise kann die Lasermarkierungseinrichtung 46 in zwei oder mehr Achsen bewegbar gelagert und über eine entsprechende Positioniervorrichtung angesteuert sein, so dass der Bediener den Laserkopf der Lasermarkierungseinrichtung 46 durch eine geeignete Eingabeeinrichtung, beispielsweise einen oder mehrere Betätigungshebel oder eine Mouse führen kann.
Anstelle der Lasermarkierungseinrichtung 46 kann auch eine anderweitige Markierungseinrichtung, z.B. eine Farbmarkiereinrichtung, z.B. eine Tintenstrahl-Druckeinrichtung, eine Etikettenklebeeinrichtung o.ä. Anwendung finden.

Claims (17)

  1. Prüfeinrichtung (1) für verformbare Prüflinge, insbesondere für Reifen (4),
    mit einer Einrichtung zur Überführung des Prüflings in wenigstens zwei unterschiedliche Belastungszustände,
    mit einer Einrichtung (24) zur Beleuchtung des Prüflings mit strukturiertem Licht,
    mit einer Einrichtung (25) zur überlagerten Beleuchtung des Prüflings mit nichtstrukturiertem Licht,
    mit einer Bildaufnahmeeinrichtung (11) zur Aufnahme des Prüflings und Erzeugung von Bildsignalen und
    mit einer Bildwiedergabeeinrichtung (39) zur Wiedergabe eines Bilds, das auf den von der interferenzoptischen Bildaufnahmeeinrichtung (11) abgegebenen Bildsignalen beruht.
  2. Prüfeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das strukturierte Licht kohärentes Licht ist und dass die Bildaufnahmeeinrichtung eine interferenzoptische Bildaufnahmeeinrichtung ist.
  3. Prüfeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das strukturierte Licht ein vorgegebenes flächiges Hell-Dunkel-Muster festlegt.
  4. Prüfeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung (24) zur Beleuchtung des Prüflings mit kohärentem Licht nur eine Lichtquelle (26) aufweist.
  5. Prüfeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung (24) zur Beleuchtung des Prüflings mit kohärentem Licht mehrere Lichtquellen (26, 27) aufweist, die jeweils kohärentes Licht abgegeben, wobei das Licht verschiedener Lichtquellen (26, 27) jedoch inkohärent ist.
  6. Prüfeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung (25) zur Beleuchtung des Prüflings mit inkohärentem Licht nicht monochromatisches Licht abgibt.
  7. Prüfeinrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung (25) farbiges Licht abgibt.
  8. Prüfeinrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung (25) weißes Licht abgibt.
  9. Prüfeinrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung (25) diffuses Licht abgibt.
  10. Prüfeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtungen (24, 25) Beleuchtung des Prüflings kohärentem und mit nichtkohärentem Licht den Prüfling gleichzeitig beleuchten.
  11. Prüfeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtungen (24, 25) Beleuchtung des Prüflings kohärentem und mit nichtkohärentem Licht den Prüfling zu unterschiedlichen Zeitpunkten jeweils allein beleuchten.
  12. Prüfeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die interferenzoptische Bildaufnahmeeinrichtung (11) zwei Lichtwege (14, 15) aufweist, wobei wenigstens einer der Lichtwege (14, 15) eine Phasenmodulationseinrichtung (21) aufweist, mit der die Phasenlage in einem Lichtweg (14) gesteuert beeinflussbar ist, und dass die Bildaufnahmeeinrichtung (11) Interferenzbilder aufnimmt, die jeweils durch Überlagerung des auf den beiden Lichtwegen (14, 15) an die Bildaufnahmeeinrichtung (11) herangeführten Lichts erzeugt worden sind.
  13. Prüfeinrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Bildaufnahmeeinrichtung (11) an eine Bildauswerteeinrichtung (12) angeschlossen ist, die aus den Interferenzbildern zweier unterschiedlicher Belastungszustände ein Verformungsbild (V) erstellt.
  14. Prüfeinrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Bildauswerteeinrichtung (12) aus den von der Bildaufnahmeeinrichtung (11) abgegebenen Signalen ein natürliches Bild (N) erzeugt und an die Bildwidergabeeinrichtung (39) übermittelt.
  15. Prüfeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Prüfeinrichtung mit einer Markierungseinrichtung (46) verbunden ist.
  16. Prüfeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Lasermarkierungseinrichtung (46) eine Laserbeschriftungseinrichtung ist.
  17. Prüfverfahren für verformbare Prüflinge, bei dem
    der Prüfling zur Erzeugung eines Interferenzbildes mit kohärentem Licht beleuchtet und
    zugleich mit nichtkohärentem Licht beleuchtet wird und
    bei dem von dem beleuchteten Prüfling ein Interferenzbild gewonnen wird.
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