EP1064526A1 - Anordnung zur ortsauflösungserhöhung von strahlungsdetektoren - Google Patents

Anordnung zur ortsauflösungserhöhung von strahlungsdetektoren

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EP1064526A1
EP1064526A1 EP99919187A EP99919187A EP1064526A1 EP 1064526 A1 EP1064526 A1 EP 1064526A1 EP 99919187 A EP99919187 A EP 99919187A EP 99919187 A EP99919187 A EP 99919187A EP 1064526 A1 EP1064526 A1 EP 1064526A1
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web
webs
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Institut fuer Physikalische Hochtechnologie eV
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    • G01J3/28—Investigating the spectrum
    • G01J3/2846—Investigating the spectrum using modulation grid; Grid spectrometers

Definitions

  • the invention relates to an arrangement for increasing the spatial resolution of radiation detectors, which can be used in all detectors which have a single radiation receiver surface or a plurality of radiation receiver surfaces which are arranged in a plane at a periodic spacing. All flat photoelectric receivers such as e.g. CCD's, bolometers, thermopiles etc. into consideration.
  • the input elements of an imaging system are usually modified in such a way that the pixel areas of the receiver elements are reduced.
  • the increase in resolution is limited by the available pixel sizes in connection with their number and costs.
  • a solution according to EP 0 336 152 A1 is only indirectly related to the present invention, in which a single gap system is positioned at a relatively large distance in front of a receiver, which contains several receiver surfaces at different distances from one another. This solution is used exclusively for the detection of the direction of incidence of radiation with which the single slit is illuminated.
  • the present invention is based on the object of specifying an arrangement for increasing the spatial resolution of conventional radiation detectors, which enables a variable increase in spatial resolution and manages with a few modules.
  • FIG. 1 shows an arrangement for increasing the spatial resolution with all essential assemblies
  • FIG. 1 a schematically shows a receiver element with an associated one
  • FIG. 2 shows, by way of example, the intensity curve of a mercury line
  • FIG. 4 shows the intensity distribution of the line from the intensity distribution according to FIG. 3 in one
  • Evaluation unit arithmetically determined intensity profile of the intensity distribution obtained according to FIG. 3,
  • FIG. 5 shows an embodiment of a multiple web arrangement for a two-dimensional radiation detector
  • FIG. 6 shows an embodiment of a multiple web arrangement for a one-dimensional radiation detector with a possibility of varying the spatial resolution increase.
  • FIG. 1 shows a radiation detector which contains, by way of example, five receiver surfaces 1, for which photoelectric receivers are selected in the example, at an equidistant distance. These receiver surfaces are illuminated in accordance with the arrows S shown with radiation that can be detected by the receivers. If the radiation has an intensity distribution, as indicated by way of example in FIG. 2, each individual receiver surface 1 supplies only an integral signal corresponding to the intensity. The distribution in the area of the recipient area is not resolved. This is where the invention comes in, in that each individual receiver surface is assigned a web 2, which is not transparent to the radiation used, at a distance of the order of the web width. At such a distance, the aperture of the lighting has no noticeable influence on the shadowing effect of the web, so that a high contrast between the illuminated and shadowed
  • the web width ba is preferably set to be an integer fraction of the receiver width.
  • the Web 2 or webs 2 in several discrete positions from a starting position denoted by 2a in Figure la in an end position 2e, so that the entire receiver surface 1 is detected at least once.
  • the finer the web width ba is defined in relation to the width of the receiver surface, the greater the resolution.
  • a spatial resolution increase by a factor of 5 compared to the receiver is achieved without the proposed arrangement.
  • the signal-to-noise ratio is significantly improved compared to conventional arrangements.
  • FIG. 5 shows a further possibility of web formation, in which a matrix of photoelectric receivers, consisting of three rows of five receiver elements each, is used.
  • the arrangement of the webs 21 corresponds to the arrangement according to FIG. 1.
  • the webs 22 are arranged in an analogous manner, but perpendicular to the webs 21.
  • the measured value acquisition and displacement of the webs 21 is carried out first, as described for FIG. 1, the webs 22 being brought into a position in which they do not act on the receiver surfaces, then the webs 21 are in the position shown in FIG. 5 spent and in the simplest case there is only a displacement of the webs 22; other scan sequences are within the scope of the invention.
  • two-dimensional intensity profiles with increased spatial resolution can be detected on the matrix.
  • FIG. 6 Another possibility of training the webs is shown schematically in FIG. There, in turn, it is to be assumed that there are five receiver surfaces arranged in a row, not shown in FIG. 6, to which five webs 21a are assigned. Furthermore, a second set of webs 21b is provided, the width of which is somewhat widened compared to the webs 21a, as a result of which a reduced resolution is achieved when they are used, which may be sufficient for some measuring tasks. If several such sets of different web widths are made available, the desired increase in the spatial resolution can be specified by appropriate selection of the sets and / or the step size.
  • the webs 2, 21, 22 are preferably formed by introducing recesses 71 into a silicon membrane by means of microsystem technology methods.
  • the webs and a silicon frame 7 which surrounds them remain, which in turn is grasped by a receptacle (not shown in more detail) and is connected to the adjusting element 3.

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Ortsauflösungserhöhung von Strahlungsdetektoren. Die Aufgabe eine derartige Anordnung anzugeben, die eine variabel vorgebbare Ortsauflösungserhöhung ermöglicht und mit wenigen Baugruppen auskommt, wird dadurch gelöst, daß vor jedem Strahlungsempfängerelement (1) ein für die zu detektierende Strahlung nicht transparenter Steg (2) angeordnet ist, dessen Stegbreite (ba) zu einem Bruchteil der Strahlungsempfängerbreite festgelegt ist und der Steg (2) vermittels eines Verstellelements (3) über die gesamte Empfängerbreite verschiebbar ist, wobei über eine Steuer- und Datenleitung (4) diskrete Verstellpositionen des Verschiebeelements (3) einstellbar sind und diese diskreten Positionen in einer Steuer- und Auswerteeinheit (5) den jeweils zugehörigen, über eine Leitung (6) übertragenen Intensitätssignalen des Strahlungsempfängerelements (1) zuordenbar sind und nach einer rechnerischen Transformation den Intensitätsverlauf der zu detektierenden Strahlung mit erhöhter Auflösung in Abhängigkeit vom Verhältnis Empfängerbreite zur Stegbreite darstellen lassen.

Description

- 1 -
Anordnung zur Ortsauflösungserhöhung von Strahlungsdetektoren
Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Ortsauflösungserhöhung von Strahlungsdetektoren, die bei allen Detektoren zum Einsatz gelangen kann, die über eine einzelne Strahlungsempfängerfläche oder mehrere Strahlungsempfangerflächen, die in einer Ebene in einem periodischen Abstand angeordnet sind, verfugen. Für solche Strahlungsdetektoren kommen alle flächigen fotoelektrische Empfänger, wie z.B. CCD's, Bolometer, Thermosäulen u.a. in Betracht.
Zur Erhöhung der Ortsauflösung von Strahlungsdetektoren werden üblicherweise die eingangsseitigen Elemente eines abbildenden Systems derart modifiziert, daß die Pixelflächen der Empfängerelemente verringert. Die Erhöhung der Auflösung ist begrenzt durch die verfugbaren Pixelgrößen in Zusammenhang mit ihrer Anzahl und den Kosten.
Nur indirekt mit vorliegender Erfindung in Zusammenhang steht eine Lösung nach EP 0 336 152 AI, bei der in einem relativ großen Abstand ein Einfachspaltsystem vor einem Empfänger positioniert wird, der mehrere Empfängerflächen in unterschiedlichen Abständen zueinander beinhaltet. Diese Lösung dient ausschließlich zur Detektion der Einfallsrichtung einer Strahlung mit der der Einfachspalt beleuchtet wird.
Vorliegender Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung zur Ortsauflösungserhöhung üblicher Strahlungsdetektoren anzugeben, die eine variabel vorgebbare Ortsauflösungserhöhung ermöglicht und mit wenigen Baugruppen auskommt.
Die Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale des ersten Patentanspruchs gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind durch die nachgeordneten Ansprüche erfaßt.
Die Erfindung soll nachstehend anhand schematischer Ausfuhrungsbeispiele näher erläutert werden. Es zeigen: - 2 -
Fig. 1 eine Anordnung zur Ortsauflösungserhöhung mit allen wesentlichen Baugruppen, Fig. la schematisch ein Empfangerelement mit einem zugeordneten
Steg in einer Ausgangs- und Endlage, Fig. 2 beispielhaft den Intensitätsverlauf einer Quecksilberlinie,
Fig. 3 eine mit der erfindungsgemäßen Anordnung detektierte
Intensitätsverteilung der Linie nach Fig. 2, Fig. 4 den aus der Intensitätsverteilung nach Fig. 3 in einer
Auswerteeinheit rechnerisch ermittelten Intensitätsverlauf der nach Fig. 3 gewonnenen Intensitätsverteilung,
Fig. 5 eine Ausbildung einer Mehrfachsteganordnung für einen zweidimensionalen Strahlungsdetektor und Fig. 6 eine Ausbildung einer Mehrfachsteganordnung für einen eindimensionalen Strahlungsdetektor mit einer Variationsmöglichkeit der Ortsauflösungserhöhung.
Figur 1 zeigt einen Strahlungsdetektor, der beispielhaft fünf Empfängerflächen 1, für die im Beispiel fotoelektrische Empfanger gewählt sind, in einem äquidistanten Abstand beinhaltet. Diese Empfängerflächen werden entsprechend der dargestellten Pfeile S mit einer von den Empfängern detektierbaren Strahlung beleuchtet. Besitzt die Strahlung eine Intensitätsverteilung, wie beispielhaft in Fig. 2 angedeutet, liefert jede einzelne Empfangerfläche 1 nur ein integrales, der Intensität entsprechendes Signal. Die Verteilung im Bereich der Empfängerfläche wird nicht aufgelöst. An dieser Stelle setzt die Erfindung an, indem jeder einzelnen Empfangerfläche ein für die zum Einsatz gelangende Strahlung nicht transparenter Steg 2 in einem Abstand in der Größenordnung der Stegbreite zugeordnet ist. Bei einem derartigen Abstand hat die Apertur der Beleuchtung keinen merklichen Einfluß auf die Abschattungswirkung des Stegs, so daß ein hoher Kontrast zwischen beleuchteten und abgeschatteten
Empfängerflächenbereichen vorliegt. Die Stegbreite ba ist dabei vorzugsweise zu einem ganzzahligen Bruchteil der Empfängerbreite be festzulegen. Im Beispiel beträgt die Empfängerbreite be = 25 μm und die Stegbreite ba = 5 μm. Vermittels eines hochpräzisen Verstellelements 3, wofür ein piezoelektrischer Stellantrieb verwendet werden kann, wird der Steg 2, bzw. die Stege 2, in mehreren diskreten Positionen von einer in Figur la mit 2a bezeichneten Ausgangsposition in eine Endposition 2e verschoben, so daß die gesamte Empfangerfläche 1 zumindest einmal erfaßt ist. Dabei werden bei jeder Position Teile der einfallenden Strahlung durch den Steg 2 ausgeblendet, die entsprechenden Empfängersignale über eine Leitung 6 einer Auswerteeinheit 5 zugeleitet, innerhalb derer eine Zuordnung des empfangenen Intensitätssignals zur aktuellen Stegposition erfolgt und von welcher aus, über eine Steuer- und Datenleitung 4, das Verstellelement 3 angesteuert wird, welches eine Stegverschiebung in die nächste diskrete Position bewirkt. Ist die gesamte Breite der Empfangerfläche einmal vom Steg überstrichen worden, liegen in der Auswerteeinheit pro diskreter Stegposition ermittelte Intensitäten vor, die in Summe eine invers interpretierbare Intensitätsverteilung der Linie nach Fig. 2 ergeben, wie in Fig. 3 angedeutet. Nach einer entsprechenden rechnerischen Transformation wird die örtliche Auflösung des Detektors auf Bruchteile der Empfängerbreite erhöht und man erhält den der Linie nach Fig. 2 entsprechenden Intensitätsverlauf, wie er in Fig. 4 dargestellt ist. Je feiner die Stegbreite ba in Bezug auf die Breite der Empfängerfläche be festgelegt ist, um so größer ist die Auflösung. Mit der dargestellten Ausfϊih-rungsform ird eine Ortsauflösungserhöhung um den Faktor 5 gegenüber dem Empfänger ohne die vorgeschlagene Anordnung erreicht. Außerdem wird das Signal/Rausch- Verhältnis gegenüber herkömmlichen Anordnungen wesentlich verbessert. Weiterhin kann bspw. auf Multiplexerelemente, wie sie nach dem Stand der Technik für IR-Detektorzeilen erforderlich sind, verzichtet werden.
In Figur 5 ist eine weitere Möglichkeit der Stegausbildung dargestellt, bei der eine Matrix aus fotoelektrischen Empfängern, bestehend aus drei Zeilen zu je fünf Empfängerelementen zum Einsatz gelangt. Die Anordnung der Stege 21 entspricht dabei der Anordnung nach Fig. 1. Die Stege 22 sind in analoger Weise, jedoch senkrecht zu den Stegen 21 angeordnet. Die Meßwerterfassung und Verschiebung der Stege 21 erfolgt zunächst, wie zu Fig. 1 beschrieben, wobei die Stege 22 in eine Stellung verbracht sind, in der sie nicht auf die Empfangerflächen einwirken, danach werden die Stege 21 in die in Fig. 5 dargestellte Lage verbracht und es erfolgt im einfachsten Fall lediglich eine Verschiebung der Stege 22; andere Abtastfolgen liegen im Rahmen der Erfindung. Durch eine solche Anordnung lassen sich auf der Matrix abgebildete zweidimensionale Intensitätsverläufe mit erhöhter Ortsauflösung detektieren.
Eine weitere Ausbildungsmöglichkeit der Stege ist in Figur 6 schematisch dargestellt. Dort soll wiederum von zeilenförmig angeordneten fünf, in Fig. 6 nicht näher dargestellten Empfängerflächen ausgegangen werden, denen fünf Stege 21a zugeordnet sind. Weiterhin ist ein zweiter Satz von Stegen 21b vorgesehen, deren Breite gegenüber den Stegen 21a etwas verbreitert ausgeführt ist, wodurch bei deren Einsatz eine verringerte Auflösung erreicht wird, was für manche Meßaufgaben ausreichend sein kann. Werden mehrere solcher Sätze von unterschiedlichen Stegbreiten zur Verfugung gestellt, kann durch entsprechende Auswahl der Sätze und/oder der Schrittweite die jeweils gewünschte Ortsauflösungserhöhung vorgegeben werden.
Gemäß der Erfindung sind die Stege 2, 21, 22 bevorzugt gebildet durch Einbringen von Ausnehmungen 71, die in eine Siliziummembran mitttels mikrosystemtechnischer Methoden. Auf die beschriebene Weise verbleiben die Stege und ein sie umfassender Siliziumrahmen 7, der seinerseits von eine nicht näher dargestellten Aufnahme erfaßt und mit dem Verstellelement 3 in Verbindung gebracht ist.
Alle in der Beschreibung, den nachfolgenden Ansprüchen und der Zeichnung dargestellten Merkmale können sowohl einzeln als auch in beliebiger Kombination miteinander erfindungswesentlich sein.
- 5 -
Bezueszeichenliste
1 - Strahlungsempf ngerelemenl
2, 21, 22
21a, 21b - Stege
2a - Ausgangslage eines Stegs
2e - Endlage eines Stegs
3 - Verstellelement
4 - Steuer- und Datenleitung
5 - Steuer- und Auswerteeinheit
6 - Leitung
7 - Rahmen
71 - Ausnehmungen ba - Stegbreite be - Empfängerbreite S - Pfeile

Claims

Patentansprüche
1. Anordnung zur Ortsauflösungserhöhung von Strahlungsdetektoren, dadurch gekennzeichnet, daß vor jedem Strahlungsempfängerelement
(1) ein für die zu detektierende Strahlung nicht transparenter Steg (2) angeordnet ist, dessen Stegbreite (ba) zu einem Bruchteil der
Strahlungsempfängerbreite (be) festgelegt ist und der Steg (2) vermittels eines Verstellelements (3) über die gesamte Empfängerelementbreite (be) verschiebbar ist, wobei über eine Steuer- und Datenleitung (4) diskrete Verstellpositionen des
Verschiebeelements (3) einstellbar sind und diese diskreten Positionen in einer Steuer- und Auswerteeinheit (5) den jeweils zugehörigen, über eine Leitung (6) übertragenen Intensitätssignalen des Strahlungsempfängerelements (1) zuordenbar sind und nach einer rechnerischen Transformation den Intensitätsverlauf der zu detektierenden Strahlung mit erhöhter Auflösung in Abhängigkeit vom
Verhältnis Empfangerbreite (be) zur Stegbreite (ba) darstellen lassen.
2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand der Stege zur Empfängerfläche in der Größenordnung der Stegbreite (ba) festgelegt ist.
3. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß je nach Anzahl linear erfaßbarer Strahlungsempfangerelemente gleichviel
Stege (2, 21, 22; 21a; 21b) mit dem gleichen -Mittenabstand wie die
Strahlungsempfängerelemente in einem Rahmen (7) zusammengefaßt angeordnet sind.
4. Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Rahmen (7) mehrere Sätze von Stegen (21a; 21b) unterschiedlicher Breite beinhaltet.
5. Anordnung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Stege einstöckiges Bestandteil eines mit Ausnehmungen (71) versehenen Siliziumchips sind.
EP99919187A 1998-03-27 1999-03-26 Anordnung zur ortsauflösungserhöhung von strahlungsdetektoren Withdrawn EP1064526A1 (de)

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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230092477A (ko) * 2021-12-17 2023-06-26 삼성전자주식회사 분광 장치, 생체정보 추정 장치 및 방법

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4857721A (en) * 1988-03-28 1989-08-15 The Perkin-Elmer Corporation Optical direction sensor having gray code mask spaced from a plurality of interdigitated detectors
DE4003698C2 (de) * 1990-02-07 1994-09-08 Wild Heerbrugg Ag Wellenfrontsensor
DE4017317C2 (de) * 1990-05-30 2000-02-17 Bodenseewerk Perkin Elmer Co Anodnung zur Verbesserung der Auflösung eines Spektrometers
JPH0682305A (ja) * 1992-08-31 1994-03-22 Shimadzu Corp ２次元検出器
DE4307530A1 (de) * 1993-03-10 1994-09-15 Kodak Ag Verfahren und Anordnung zum berührungslosen Messen der Geschwindigkeit eines Gegenstandes
DE4331929A1 (de) * 1993-09-14 1995-03-16 Vision 2 D Mestechnik Gmbh Meßsystem zur Aufnahme hoch zeitaufgelöster Spektren und Bilder mit hoher Dynamik
US5428215A (en) * 1994-05-27 1995-06-27 Her Majesty The Queen In Right Of Canada, As Represented By Minister Of National Defence Of Her Majesty's Canadian Government Digital high angular resolution laser irradiation detector (HARLID)
US5604695A (en) * 1995-06-05 1997-02-18 Her Majesty The Queen, As Represented By The Minister Of National Defence Of Her Majesty's Canadian Government Analog high resolution laser irradiation detector (HARLID)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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