EP0538633A1

EP0538633A1 - Kopplung zwischen optischer Faser und integriertem optischen Wellenleiter sowie Herstellungsverfahren

Info

Publication number: EP0538633A1
Application number: EP92116229A
Authority: EP
Inventors: Roland Dr. Dipl.-Phys. Mueller-Fiedler
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 1991-10-23
Filing date: 1992-09-23
Publication date: 1993-04-28
Anticipated expiration: 2012-09-23
Also published as: DE4134940A1; EP0538633B1; ES2096689T3; DE59207941D1

Abstract

Es wird ein Element zur Kopplung einesintegriert optischen Bauelementes, insbesondere eines Modulators, Richtkopplers, Schalters, Polarisators, Verteilers od.dgl., an einen Glaslaser vorgeschlagen sowie ein Verfahren zu seiner Herstellung. Dieses Bauelement weist einen integrierten, auf einem mit wenigstens einer Deckschicht (11) versehenen Siliziumsubstrat (10) angeordneten Lichtwellenleiter (12) auf. Dessen Kopplungsendfläche (17) mündet an einem anisotrop in das Substrat eingeätzten, im wesentlichen fluchtend zum Lichtwellenleiter (12) ausgerichteten Positioniergraben (15) mit V-förmigem Querschnitt, der die anzukoppelnde Glasfaser aufnimmt. Der mit der Kopplungsendfläche (17) versehene Endbereich des Lichtwellenleiters (12) ist unterätzt, wobei der Positioniergraben (15) wenigstens bis zur Kopplungsendfläche (17) einen gleichbleibenden Querschnitt aufweist. Die Deckschicht (11) ist im Bereich der Unterätzung in Form von den Lichtwellenleiter (12) stützenden seitlichen Stegen (24) erhalten. Dies wird durch zusätzliche Maskenstrukturen (22,23) der Ätzmaske seitlich entlang des Endbereichs des Lichtwellenleiters (12) erreicht. <IMAGE> <IMAGE>

Description

Stand der Technik

Die Erfindung betrifft ein integriertes optisches Bauelement, insbesondere einen Modulator, Richtkoppler, Schalter, Polarisator, Verteiler u.dgl., nach der Gattung des Hauptanspruchs sowie ein Verfahren zu seiner Herstellung.
Derartige Bauelemente spielen in der optischen Nachrichtentechnik eine wichtige Rolle. Beispielsweise werden zur berührungsfreien Abstandsmessung zunehmend optische Sensoren eingesetzt, deren Meßprinzip auf integriert-optischen Interferometern beruht. Derartige Bauelemente müssen zur Weiterleitung oder Zuführung von Signalen an Glasfasern angekoppelt werden (Faser-Chip-Kopplung). Der Licht-Einkoppelwirkungsgrad bei der Kopplung von Glasfasern und integrierten Wellenleitern der Bauelemente hängt sehr stark von dem Abstand der Endflächen, einer lateralen Verschiebung sowie einer Winkelverkippung der optischen Achsen gegeneinander ab. Die Glasfaser besitzt bei der Ankopplung demnach fünf Freiheitsgrade, die unabhängig voneinander optimiert werden müssen: einen axialen Freiheitsgrad, zwei laterale Freiheitsgrade und zwei Winkelfreiheitsgrade. Bei den für Glasfasern typischen Feldverteilungen führt z. B. ein lateraler Versatz von nur 1 µm bereits zu einem Koppelverlust von etwa 0,3 dB.
Ein effizientes Ankoppelverfahren erfordert eine Reduktion der Freiheitsgrade sowie eine Möglichkeit der gleichzeitigen Positionierung aller Fasern eines Bündels. Aus Appl. Opt. 17 (1978), 895, "Optical coupling from fibres to channel waveguides formed on silicon", J. T. Boyd und S. Sriram, ist es bekannt, V-Nuten als Positioniergräben für die Glasfasern in ein Siliziumsubstrat einzuätzen. Die anisotrop geätzten V-Nuten werden allseitig von langsam ätzenden {111} -Ebenen begrenzt, die einen Winkel von 54,7^o zur Wafer-Oberfläche einschließen. Fluchtend mit diesen V-Nuten sind die integrierten Wellenleiter angeordnet, wobei die Breite der Nuten so optimiert werden kann, daß durch die sich ergebende Nutform der Faserkern in der gleichen horizontalen Ebene wie der Lichtwellenleiter zu liegen kommt. Die im Bereich der Kopplungsfläche zum Lichtwellenleiter liegende Stirnfläche der V-Nut ist ebenfalls unter einem Winkel von 54,7^o geneigt, so daß die Glasfaser nicht ganz bis zum Wellenleiter herangeschoben werden kann. Als Lösung für dieses Problem wird vorgeschlagen, die Glasfaser mit einer um ebenfalls 54,7^o geneigten Endfläche zu versehen, um damit den Faserkern bis auf Stoßkopplung an den integrierten Lichtwellenleiter heranzuschieben. Dieses Verfahren hat jedoch den Nachteil, daß eine aufwendige Endflächenbearbeitung der Faser notwendig ist und die Faser nur in einer bestimmten Lage in die Nut eingelegt werden darf. Bei der Kopplung besteht darüber hinaus die Gefahr, daß die beiden Endflächen aufeinandergleiten und zumindest der Endbereich der Faser daher aus der Nut herausgeschoben wird. Eine zusätzliche Schwierigkeit ergibt sich aus der Notwendigkeit, nicht nur die Faser, sondern auch den integrierten Wellenleiter mit einer entsprechend geneigten Endfläche zu versehen.

Vorteile der Erfindung

Das erfindungsgemäße integriert-optische Bauelement mit den kennzeichnenden Merkmalen des Hauptanspruchs hat den Vorteil, daß keine aufwendige Bearbeitung der Faserendfläche notwendig ist und die Faser auf einfache Weise in der V-Nut an den Wellenleiter herangeschoben werden kann. Dabei erfolgt eine selbstjustierende Stoßkopplung zwischen Glasfaser und Wellenleiter. Es liegt eine hohe Genauigkeit der relativen Lage der Faser- und Wellenleiter-Endflächen und damit ein hoher Koppelwirkungsgrad vor. Dabei können die Haltenuten in einfacher Weise mikromechanisch hergestellt werden, wobei eine hohe Reproduzierbarkeit der Abmessungen der Haltestrukturen durch ein anisotropes, kristallrichtungsabhängiges Vorzugsätzen erreicht wird. Diese Vorteile treten selbstverständlich auch in Verbindung mit dem erfindungsgemäßen Verfahren gemäß Anspruch 11 auf.
Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen des im Hauptanspruch angegebenen Bauelements sowie des im Anspruch 10 angegebenen Verfahrens möglich.
Bei einer {100} -Oberflächenorientierung des Siliziumsubstrats sind die Kanten des Positioniergrabens entlang der < 110 > -Richtung ausgerichtet, um einen exakten gewünschten Querschnitt des Positioniergrabens zu erreichen.
Die Deckschicht besteht aus Siliziumnitrid, -oxinitrid oder -dioxid und ist zweckmäßigerweise gleichzeitig als Ätzmaske ausgebildet.
Die im Bereich der Unterätzung in Form von den Lichtwellenleiter stützenden, seitlichen Stegen erhaltene Deckschicht reicht zweckmäßigerweise bis an die senkrechte Querschnittsebene der Kopplungsendfläche des Lichtwellenleiters heran, um einen zusätzlichen mechanischen Anschlag zu bilden und dabei die Stoßkopplung zwischen Lichtwellenleiter und Glasfaserkern zu ermöglichen. Dabei sind wenigstens zwei derartige seitliche Stege vorgesehen, die in vorteilhafter Weise dadurch erzeugt werden, daß auch die Ätzmaske mit wenigstens zwei durch Stege von der langgestreckten Maskenausnehmung für den Positioniergraben getrennten Durchbrechungen als zusätzliche Maskenstrukturen versehen wird. Zur Erhöhung der mechanischen Stabilität kann auch eine größere Zahl von seitlichen Stegen vorgesehen sein.
Eine noch bessere mechanische Stabilität ergibt sich dadurch, daß die gesamte, eine Vielzahl von Durchbrüchen aufweisende Deckschicht zu beiden Seiten des Lichtwellenleiters die Stege bildet. Hierzu wird eine Vielzahl von in einem Muster angeordneten Durchbrechungen in die Ätzmaske als zusätzliche Maskenstruktur eingeformt. Die Kanten der Durchbrechungen der Maskenstruktur sind dabei in vorteilhafter Weise wenigstens teilweise unter einem Winkel von wenigstens 45^o zur <110 >-Richtung ausgerichtet, um eine schnellere Unterätzung und damit eine exaktere Gestalt des Positioniergrabens zu erreichen. Die Durchbrechungen sind dabei in vorteilhafter Weise nach Art eines Schachbrettmusters ausgerichtet, das zur Achse des Positioniergrabens winkelversetzt angeordnet ist, insbesondere um 45^o. Hierdurch wird eine besonders schnelle Unterätzung bei einem möglichst weitgehenden Erhalt der Deckschicht erreicht.
Eine weitere vorteilhafte Maßnahme zur schnelleren Unterätzung besteht darin, den Lichtwellenleiter zur Achse des Positioniergrabens um einen kleinen Winkel versetzt anzuordnen. Dieser sehr kleine Winkel beträgt vorzugsweise einige Grad oder einige 1/10 Grad, sollte jedoch möglichst einen Winkel von 2^o nicht übersteigen, da sonst der Lichtübergang zwischen Wellenleiter und Glasfaser problematisch wird. Eine günstige Möglichkeit, dies auszugleichen, besteht darin, daß die Kopplungsfläche zwischen Lichtwellenleiter und Glasfaser mit einer eine Lichtumlenkung um den sehr kleinen Winkel erzeugenden Abschrägung versehen wird.

Zeichnung

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1: eine Draufsicht auf ein mit einer Ätzmaske versehenes integriert-optisches Bauelement,
Fig. 2: einen Vertikalschnitt durch das in Fig. 1 dargestellte Bauelement zur Erläuterung der Wirkungsweise des anisotropen Ätzvorgangs von Positioniergräben,
Fig. 3: die Draufsicht auf ein integriert-optisches Bauelement als erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung,
Fig. 4: die Draufsicht auf ein integriert-optisches Bauelement als zweites Ausführungsbeispiel der Erfindung,
Fig. 5: eine Draufsicht auf ein integriert-optisches Bauelement als drittes Ausführungsbeispiel der Erfindung,
Fig. 6: die Draufsicht auf ein integriert-optisches Bauelement als fünftes Ausführungsbeispiel der Erfindung,
Fig. 7: eine vergrößerte Darstellung eines Ausschnitts aus Fig. 6,
Fig. 8: eine Draufsicht auf ein integriert-optisches Bauelement zur Erläuterung einer Positionierung der Ätzmaske und
Fig. 9: eine Querschnittsdarstellung durch ein integriertoptisches Bauelement zur Erläuterung des Aufbaus an der Oberfläche im Bereich des Lichtwellenleiters.

Beschreibung der Ausführungsbeispiele

Das in den Fig. 1 und 2 dargestellte integrierte optische Bauelement besteht im wesentlichen aus einem Siliziumsubstrat 10, das im wesentlichen mit einer Deckschicht 11 aus Siliziumnitrid und/oder Siliziumdioxid versehen ist. Diese Deckschicht 10 dient als Pufferschicht für einen integrierten Lichtwellenleiter 12, im folgenden als Wellenleiter 12 bezeichnet. Dieser besteht beispielsweise aus Siliziumoxinitrid, dotiertem Siliziumoxid oder Siliziumnitrid. Dieser Wellenleiter 12 ist mit der elektronischen Schaltungsstruktur des integriertoptischen Bauelements verbunden, was jedoch zur Vereinfachung nicht dargestellt ist, da es für die vorliegende Erfindung von unerheblicher Bedeutung ist. Dieser Wellenleiter 12 wird durch Stoßkopplung an einen Faserkern 13 einer Glasfaser 14 angekoppelt, um Signale nach außen abführen oder von außen zum Bauelement heranführen zu können.
Zur Aufnahme der Gl asfaser 14 wird ein Positioniergraben 15 mit V-förmigem Querschnittt in das Siliziumsubstrat 10 anisotrop eingeätzt. Hierzu wird ein Siliziumsubstrat 10 mit einer {100} -Oberflächenorientierung verwendet, und mit Hilfe in einer Deckschicht eingebrachter rechteckförmiger Öffnungen, deren Längskanten entlang der <110> -Richtungen ausgerichtet sind, lassen sich in alkalischen Ätzmedien, wie z. B. Kaliumhydroxid, V-förmige Vertiefungen mit hoher Genauigkeit herstellen. Die so geätzten V-förmigen Positioniergräben 15 werden allseitig von langsam ätzenden {111} -Ebenen begrenzt, die einen Winkel von 54,7^o zur Oberfläche einschließen. Die Querschnittsgestalt des Positioniergrabens läßt sich also durch die Breite dieser Ätzöffnungen sehr exakt einstellen und demzufolge auch die Höhenposition der Glasfaser 14, die auf diesen schrägen Ebenen aufliegt.
Gemäß den Fig. 1 und 2 wird die Deckschicht 11 selbst als Ätzmaske verwendet, das heißt, in diese Deckschicht 11 wird eine Maskenöffnung bzw. Maskendurchbrechung 16 eingeformt.
Diese Maskendurchbrechung kann durch die Fotolithographieprozeß und anschließendes Trockenätzen erzeugt werden. Selbstverständlich ist es prinzipiell auch möglich, eine separate Ätzmaske aufzulegen.
Die in den Fig. 1 und 2 verwendete Maskendurchbrechung 16 ist im wesentlichen als langgestrecktes Rechteck ausgebildet, das sich bis zur freien Koppelendfläche 17 des Wellenleiters 12 erstreckt, wobei zwei rechteckige Maskendurchbrechungen 18,19 in Verlängerung der Maskendurchbrechung 16 seitlich des freien Endbereichs des Wellenleiters 12 angeordnet sind. Hierdurch wird gemäß Fig. 2 der Endbereich des Wellenleiters 12 derart unterätzt, daß die unter einem Winkel von ebenfalls 54,7^o geneigte Endfläche 20 des Positioniergrabens 15 vollkommen unterhalb des Wellenleiters 12 liegt. Die Glasfaser 14 kann daher nach erfolgtem Ätzprozeß in den Positioniergraben 15 eingelegt und zur Koppelendfläche 17 des Wellenleiters 12 hingeschoben und dann verklebt werden. Die horizontale Lage des Faserkerns 14 entspricht bei korrekt gewählter Breite der Maskendurchbrechung 16 exakt der horizontalen Position des Wellenleiters 12, so daß eine ideale Stoßkopplung zustande kommt. Allerdings ist die durch Unterätzung gebildete, aus dem Endbereich des Wellenleiters 12 und der darunter verbliebenen Deckschicht 11 bestehende frei schwebende Zunge so dünn und instabil, daß dieses Verfahren im allgemeinen für den praktischen Einsatz nicht in Frage kommt.
Sofern die Maskendurchbrechung 16 nur bis zur Ebene der Koppelendfläche 17 des Wellenleiters 12 gemäß dem eingangs angegebenen Stand der Technik heranreichen würde, was durch eine strichpunktierte Linie in Fig. 1 angedeutet ist, so würde eine geneigte Endfläche des Positioniergrabens 15 entstehen, wie sie in Fig. 2 ebenfalls durch eine strichpunktierte Linie angedeutet ist. In diesem Falle müßte sowohl die Endfläche der Glasfaser 14 als auch die Koppelendfläche 17 des Lichtwellenleiters 12 entsprechend abgeschrägt werden, um eine ausreichende Kopplung zu erzeugen. Die Nachteile dieses bekannten Verfahrens wurden im Zusammenhang mit dem eingangs genannten Stand der Technik bereits ausführlich erläutert.
Um sowohl eine Unterätzung des Endbereichs des Lichtwellenleiters 12 als auch eine ausreichende Stabilität dieses Endbereichs zu erreichen, wird gemäß Fig. 3 eine Maskenstruktur verwendet, die eine erste, langgestreckte rechteckige Maskendurchbrechung 21 aufweist, die bis an die Koppelendfläche 17 des Wellenleiters 12 heranreicht und mit diesem fluchtet, während zusätzlich zwei separate Maskendurchbrechungen 22,23 in Verlängerung der Maskendurchbrechung 21 zu beiden Seiten des Endbereichs des Wellenleiters 12 angeordnet sind. Diese Maskendurchbrechungen 22,23 sind im wesentlichen rechteckförmig ausgebildet, weisen jedoch eine keilförmige, zur Maskendurchbrechung 21 hin weisende Erweiterung auf. Durch die schrägen Kanten dieser Maskendurchbrechungen 22,23 ergibt sich daher an dieser Stelle eine hohe Endgeschwindigkeit, die es ermöglicht, daß relativ breite Stege 24,25 der Oxid-Deckschicht 11 zwischen den Maskendurchbrechungen 22,23 einerseits und der Maskendurchbrechung 21 andererseits bestehen bleiben können, die als Aufhängung und Stabilisierung des Endbereichs des Wellenleiters 12 dienen. Dabei wird eine vollständige Unterätzung dieser Stege 24,25 erreicht, die ein exaktes Heranschieben der Glasfaser 14 an die Koppelendfläche 17 ermöglicht.
In einigen Anwendungsfällen, wie z.B. bei streifenbelasteten Wellenleitern mit großen transversalen Feldausbreitungen, muß die unter dem Endbereich des Wellenleiters 12 verbleibende Oxidzunge ebenfalls eine möglichst große Breite aufweisen. In solchen Fällen würde die Unterätzung des Wellenleiters von der Seite her, die zudem erst nach der vollständigen Unterätzung der Querstege einsetzt, eine relativ lange Ätzdauer benötigen. Bei dem in Fig. 4 dargestellten Ausführungsbeispiel wird eine Erhöhung der Endgeschwindigkeit zur Unterätzung dieser Oxidzunge dadurch erreicht, daß die Längsachse des Wellenleiters 12 um einen kleinen Winkel α zur Längsachse des Positioniergrabens 15 versetzt ist. Die laterale Unterätzrate der aus Oxid bestehenden Ätzmaske ist in hohem Maße von der relativen Justierung der Kanten der Maskendurchbrechungen zu den <110 >-Kristallrichtungen abhängig. Maximale Anisotropie, das heißt minimale laterale Unterätzrate, ergibt sich nur, wenn die Kanten exakt entlang dieser Kristallrichtungen orientiert sind. Für die Außenkanten des V-förmigen Positioniergrabens 15 ist aus Gründen einer guten Reproduzierbarkeit eine minimale Unterätzrate wünschenswert. Diese zeigt sich in den Figuren beispielsweise durch Differenz der seitlichen Längskanten der langgestreckten Maskendurchbrechung für den Positioniergraben 15 und dessen gestrichelt dargestellten Außenkanten. Der Endbereich des Wellenleiters 12 und die diesen tragenden seitlichen Stege sollen jedoch mit hoher Rate lateral unterätzt werden. Eine Winkelabweichung von α = 2⁰ führt beispielsweise bereits zu einer etwa zehnmal höheren lateralen Unterätzrate. Gemäß Fig. 4 wird daher die Oxidzunge von beiden Seiten so lange mit hoher Geschwindigkeit unterätzt, bis die Ätzfront wieder durch eine {111}-Ebene gebildet wird. Der Winkel α muß daher so dimensioniert sein, daß die Ätzfronten beider Seiten zusammentreffen, bevor die {111} -Ebenen ausgebildet werden. Ist b die Breite und l die Länge der zu unterätzenden Oxidzunge, so ist α gegeben durch:

$tan α = b/l$

Zu beachten ist, daß infolge der seitlichen Unterätzung auch die Unterätzung von der Koppelendfläche 17 her mit wesentlich höherer Geschwindigkeit abläuft, da schmale Strukturen schneller geätzt werden. Dier Quotient b/l ist somit nur ein oberer Grenzwert für tan α, der tatsächliche Winkel kann deutlich kleiner sein.
Bei dem in Fig. 4 dargestellten Ausführungsbeispiel sind als zusätzliche Maskenstruktur vier Maskendurchbrechungen 26-29 seitlich des Endbereichs des Wellenleiters 12 angeordnet, um zwei seitliche Paare von Stegen 30,31 zu erhalten. Die Maskendurchbrechungen 26-29 entsprechen in ihrer Außenkontur im wesentlichen der der Maskendurchbrechungen 18,19 bzw. 20,23, jedoch verlaufen ihre zum Wellenleiter 12 hin weisenden Kanten entsprechend dessen Anordnung schräg. Das gleiche trifft für das mittlere Paar von Stegen 31 zu.
Um die Stabilität der Aufhängung des Endbereichs des Wellenleiters 12 noch weiter zu erhöhen, wird gemäß Fig. 5 der Endbereich des Wellenleiters 12 nicht nur durch einzelne Stege, sondern durch eine strukturierte Membran 32 mit der Deckschicht 11 außerhalb des Positioniergrabens 15 verbunden. Die Struktur auf der Membran 32 ist im wesentlichen als Schachbrettmuster ausgebildet, das um 45^o gegen die Längsachse des Positioniergrabens 15 gedreht ist. Die Kanten der quadratischen Durchbrechungen 33 dieser Membran liegen somit parallel zu den <100> -Kristallrichtungen. Für diese Kanten ist daher die laterale Unterätzrate so hoch wie die vertikale Ätzrate, so daß die Membran besonders schnell unterätzt wird. Es bleibt daher seitlich des Wellenleiters 12 nahezu die gesamte Deckschicht 11 erhalten, welche lediglich die quadratischen Durchbrechungen 33 aufweist. Selbstverständlich kann die Gestalt dieser Durchbrechungen 33 auch in vielfältiger Weise variieren. Wesentlich dabei ist es, daß entsprechende schräge Kanten vorliegen, um eine schnelle Unterätzung dieser Membran 32 zu erreichen.
Der Wellenleiter 12 ist bei diesem Ausführungsbeispiel wiederum um einen kleinen Winkel zur Längsachse des Positioniergrabens 15 gedreht. Selbstverständlich sind die quadratischen Durchbrechungen 33 gemäß diesem Ausführungsbeispiel oder die Maskendurchbrechungen 26-29 gemäß dem in Fig. 4 dargestellten Ausführungsbeispiel auch in Verbindung mit einem Wellenleiter möglich, der exakt fluchtend zur Längsachse des Positioniergrabens 15 angeordnet ist.
Das in Fig. 6 dargestellte Ausführungsbeispiel entspricht weitgehend dem in Fig. 4 dargestellten Ausführungsbeispiel, so daß - wie auch bei den anderen Ausführungsbeispielen - gleiche oder gleichwirkende Bauteile oder Gegenstände mit denselben Bezugszeichen versehen und nicht nochmals beschrieben sind. Der in Fig. 6 gekennzeichnete Ausschnitt A ist in Fig. 7 zur besseren Erläuterung vergrößert wiedergegeben.
Durch die Drehung des Wellenleiters 12 um den kleinen Winkel α gegenüber der Längsachse des Positioniergrabens 15 würde die dadurch bedingte Winkelverkippung zwischen den optischen Achsen der Glasfaser 14 und des Wellenleiters 12 zu einer Abnahme des Koppelwirkungsgrades führen. Um dies zu verhindern, wird gemäß dem in den Fig. 6 und 7 dargestellten Ausführungsbeispiel zusätzlich die Koppelendfläche 17 gegen die Endfläche der Gl asfaser 14 gedreht, so daß ihre Flächennormale einen Winkel B mit der Faserachse einschließt. Erfüllen α und β die Bedingung

wobei n₀ der Brechungsindex des äußeren Mediums (üblicherweise n₀ = 1 für Luft) und n der Brechungsindex des Wellenleiters ist,
dann wird das aus der Faser austretende Licht trotz einer Drehung des Wellenleiters um den Winkel α an der Koppelendfläche so gebrochen, daß er sich im Wellenleiter wieder parallel zu dessen Achse ausbreitet. Diese zusätzliche Drehung der Koppelendfläche 17 kann selbstverständlich auch bei anderen Ausführungsbeispielen eingesetzt werden, bei denen eine Drehung des Wellenleiters 12 zur Längsachse der Glasfaser 14 vorliegt.
Aus technologischen Gründen bietet es sich an, den Positioniergraben 15 bzw. die Vielzahl der Positioniergräben für eine Vielzahl von Glasfasern eines Glasfaserstrangs erst nach Fertigstellung des integrierten Lichtwellenleiters zu ätzen. Es ist daher notwendig, die Ätzmaske mit den Strukturen für den anisotropen naßchemischen Ätzprozeß sowohl relativ zur Kristallrichtung (Winkellage) als auch relativ zur Koppelendfläche (laterale Lage) auszurichten. Die Ätzmaske trägt daher gemäß Fig. 8 eine Justierstruktur, die entweder am Waferflat oder an einer zur Markierung der Kristallrichtung vorgeätzten Struktur ausgerichtet wird. Insbesondere werden im Bereich des Positioniergrabens 15 für die Gl asfaser Justierstrukturen 34 angebracht, die die Form einer unterbrochenen Linie aufweisen, deren Breite etwas kleiner als die Breite des Wellenleiters 12 ist. Die Achse dieser Justierstruktur 34 ist ebenfalls um den kleinen Winkel α gegen die Faserachse gedreht. Da alle Strukturen der Ätzmaske im gleichen Lithographiprozeß hergestellt werden, ist ihre relative Lage genau definiert. Nach Festlegung der Winkellage relativ zur Kristallrichtung wird nun die Maske parallel zur <110 >-Richtung so lange verschoben, bis die unterbrochene Justierstruktur mit dem Wellenleiter zur Deckung gelangt. Damit ist auch die laterale Lage von Glasfaser und integriertem Wellenleiter definiert. Bei einem Faser- und Wellenleiter-Array genügt es, diesen Justierprozeß anhand einer einzigen Struktur durchzuführen. Alle anderen Strukturen des Arrays sind dann ebenfalls ausgerichtet.
In den beschriebenen Ausführungsbeispielen war das Siliziumsubstrat 10 mit einer Deckschicht 11 versehen, auf der der Wellenleitere 12 verläuft. Diese Darstellung wurde zur Vereinfachung gewählt. Fig. 9 zeigt eine detailliertere Darstellung, die die Anordnung bei einer praktischen Ausführung zeigt. Der Wellenleiter 12 ist hier in einer weiteren Schicht 35 eingebettet, die beispielsweise aus SiON besteht und die über der Deckschicht 11 angeordnet ist. Über dieser Schicht 35 befindet sich noch eine Deckschicht 36 aus Siliziumoxid, die über dem Wellenleiter 12 eine leistenartige Erhebung 37 besitzt, die den Verlauf des Wellenleiters 12 kenntlich macht. Alternativ hierzu könnten die Schichten 35, 36 auch als einzige Schicht ausgebildet sein.

Claims

Integriertes optisches Bauelement, insbesondere Modulator, Richtkoppler, Schalter, Polarisator, Verteiler od.dgl., mit einem integrierten, auf einem mit wenigstens einer Deckschicht versehenen Siliziumsubstrat angeordneten Lichtwellenleiter, dessen Kopplungsendfläche an einem anisotrop in das Substrat eingeätzten, im wesentlichen fluchtend zum Lichtwellenleiter ausgerichteten Positioniergraben mit V-förmigem Querschnitt zur Aufnahme einer durch Stoßkupplung an die Kopplungsendfläche des Lichtwellenleiters anzukoppelnden Glasfaser mündet, dadurch gekennzeichnet, daß der mit der Kopplungsendfläche (17) versehene Endbereich des Lichtwellenleiters (12) unterätzt ist, wobei der Positioniergraben (15) wenigstens bis zur Kopplungsendfläche (17) einen gleichbleibenden Querschnitt aufweist, und daß die Deckschicht (11) im Bereich der Unterätzung in Form von den Lichtwellenleiter (12) stützenden seitlichen Stegen (24,25; 30,31; 32) erhalten ist.
Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Siliziumsubstrat (10) eine {100} -Oberflächenorientierung aufweist, und daß die Kanten des Positioniergrabens (15) entlang der <110 >-Richtung ausgerichtet sind.
Bauelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Deckschicht (11) aus Siliziumnitrid oder -dioxid besteht.
Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Deckschicht (11) als Ätzmaske ausgebildet ist.
Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Flächen des V-förmigen Positioniergrabens (15) zur Deckschichtfläche einen Winkel von 54,7^o einschließen.
Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens zwei seitliche Stege (24,25; 30; 32) bis an die senkrechte Querschnittsebene des Lichtwellenleiters (12) im Bereich der Kopplungsendfläche (17) heranreichen, wobei die Deckschicht (11) zu beiden Seiten des Lichtwellenleiters (12) wenigstens zwei von der Öffnung für den Positioniergraben (15) getrennte Durchbrechungen (22,23; 26-29; 33) aufweist.
Bauelement nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die gesamte, eine Vielzahl von Durchbrechungen (33) aufweisende Deckschicht (11) zu beiden Seiten des Lichtwellenleiters (12) die Stege bildet.
Bauelement nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchbrechungen (33) nach Art eines Schachbrettmusters ausgerichtet sind, das zur Achse des Positioniergrabens (15) winkelversetzt angeordnet ist, insbesondere um 45^o.
Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Lichtwellenleiter (12) zur Achse des Positioniergrabens (15) um einen kleinen Winkel (α) versetzt angeordnet ist.
Bauelement nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der kleine Winkel kleiner als 2^o ist.
Verfahren zur Herstellung eines integrierten optischen Bauelements, wie eines Modulators, Richtkopplers, Schalters, Polarisators, Verteilers od.dgl., das einen integrierten, auf einem mit wenigstens einer Deckschicht versehenen Siliziumsubstrat angeordneten Lichtwellenleiter aufweist, wobei zur Aufnahme einer an den Lichtwellenleiter anzukoppelnden Glasfaser ein Positioniergraben mit V-förmigem Querschnitt im wesentlichen fluchtend zum Lichtwellenleiter mittels einer eine langgestreckte Maskendurchbrechung aufweisenden Ätzmaske in das Siliziumsubstrat anisotrop eingeätzt wird, insbesondere nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Ätzmaske (11) so auf das Bauelement aufgebracht wird, daß die Maskendurchbrechung (21) bis an den freien, an die Glasfaser (14) anzukoppelnden Endbereich des Lichtwellenleiters (12) reicht, wobei zusätzliche Maskenstrukturen (22,23; 26-29; 32) noch seitlich entlang dieses Endbereichs eingeformt werden, und daß durch einen anschließenden Ätzprozeß der Positioniergraben (15) und eine Erstreckung desselben unter dem Lichtwellenleiter (12) eingeätzt wird.
Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer {100 }-Oberflächenorientierung des Siliziumsubstrats (10) die Längsachse der Ätzmaske (11) in der <110> -Richtung ausgerichtet wird, wobei die Breite der Maskendurchbrechung (21) so gewählt wird, daß der Faserkern (13) der an den sich ergebenenden {111} -Ebenen des Positioniergrabens (15) anliegenden Glasfaser (14) in der Ebene des Lichtwellenleiters (12) zu liegen kommt.
Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Ätzmaske (11) mit wenigstens zwei durch Stege (24,25; 30,31) von der langgestreckten Maskenausnehmung (16) getrennten Durchbrechungen (22,23; 26-29; 33) als zusätzliche Maskenstrukturen versehen wird.
Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß eine Vielzahl von in einem Muster angeordneten Durchbrechungen (33) in die Ätzmaske als zusätzliche Maskenstruktur (32) eingeformt wird.
Verfahren nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, daß die nicht entlang des Randbereichs des Positioniergrabens (15) angeordneten Durchbrechungen (33) der Maskenstruktur (32) wenigstens teilweise unter einem Winkel von im wesentlichen 45^o zur <110 >-Richtung ausgerichtet werden.
Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß ein sehr kleiner Winkel (α) von einigen Grad oder einigen 1/10 Grad zwischen den Längsachsen der langgestreckten Maskendurchbrechung (21) und des Lichtwellenleiters (12) eingestellt wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Kopplungsfläche (17) zwischen Lichtwellenleiter (12) und Glasfaser (14) mit einer eine Lichtumlenkung um den sehr kleinen Winkel (α) erzeugenden Abschrägung versehen wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß der Positioniergraben (15) erst nach Fertigstellung der Integrationsstrukturen geätzt wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß zur Positionierung der Ätzmaske auf dem Bauelement Justrierstrukturen (34) aufgebracht werden.
Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Deckschicht auf dem Siliziumsubstrat (10) als Ätzmaske (11) verwendet wird.