ES2096689T3 - Acoplamiento entre fibra optica y guia de ondas opticas integrada asi como procedimiento de fabricacion. - Google Patents
Acoplamiento entre fibra optica y guia de ondas opticas integrada asi como procedimiento de fabricacion.Info
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Abstract
SE PROPONE UN ELEMENTO PARA EL ACOPLAMIENTO DE UN ELEMENTO CONSTRUCTIVO OPTICO INTEGRADO, EN PARTICULAR, MODULADORES, ACOPLADORES DIRECCIONALES, INTERRUPTORES, POLARIZADORES, DISTRIBUIDORES O SIMILARES, A UN LASER DE VIDRIO, ASI COMO UN PROCESO PARA SU FABRICACION. ESTE ELEMENTO CONSTRUCTIVO PRESENTA UNA FIBRA OPTICA (12) INTEGRADA DISPUESTA SOBRE UN SUBSTRATO DE SILICIO PROVISTA CON UNA CAPA DE CUBRICION (11). SU SUPERFICIE FINAL DE ACOPLAMIENTO (17) DESEMBOCA EN UN CANAL DE POSICIONADO (15) ANISOTROPO GRABADO EN EL SUBSTRATO, ALINEADO EN ESENCIA A NIVEL CON LA FIBRA OPTICA (12) CON SECCION EN FORMA DE V QUE ALOJA LA FIBRA DE VIDRIO A ACOPLAR. LA ZONA FINAL DE LA FIBRA OPTICA (12) PROVISTA CON LA SUPERFICIE FINAL DE ACOPLAMIENTO (17), ESTA SUBGRABADA, POR LO CUAL EL CANAL DE POSICIONADO (15) PRESENTA POR LO MENOS HASTA LA SUPERFICIE FINAL DE ACOPLAMIENTO (17) UNA SECCION CONSTANTE. LA CAPA DE CUBRICION (11) ESTA MANTENIDA EN LA ZONA DEL SUBGRABADO EN FORMA DE NERVIOS (24) LATERALES QUE SOSTIENEN LA FIBRA OPTICA (12). ESTO SE LOGRA POR ESTRUCTURAS DE MASCARA ADICIONALES (22,23) DE LA MASCARA DE ATACADO LATERALMENTE A LO LARGO DE LA ZONA FINAL DE LA FIBRA OPTICA (12).
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