EP0233500A1 - Mit einem Druckmedium arbeitende Betätigungsvorrichtung - Google Patents

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EP0233500A1
EP0233500A1 EP87100823A EP87100823A EP0233500A1 EP 0233500 A1 EP0233500 A1 EP 0233500A1 EP 87100823 A EP87100823 A EP 87100823A EP 87100823 A EP87100823 A EP 87100823A EP 0233500 A1 EP0233500 A1 EP 0233500A1
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EP
European Patent Office
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bellows
housing part
actuating device
housing
recess
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EP87100823A
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EP0233500B1 (de
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Peter Stenzel
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Individual
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/08Characterised by the construction of the motor unit
    • F15B15/10Characterised by the construction of the motor unit the motor being of diaphragm type

Definitions

  • the invention relates to an actuating device working with a pressure medium, with a rubber-elastic, preferably rotationally symmetrical bellows, which is arranged with its axial end faces between two housing parts in a medium-tight manner, and a guide element which passes axially through the interior of the bellows and is firmly connected to the first housing part and is mounted on the second housing part in a guide enabling an axial relative movement between this housing part and the guide element.
  • Such actuators can be divided into three groups.
  • the first type of these actuating devices include compressed air cylinders, e.g. according to DIN 24 335, which essentially consist of a pressure-tight housing, a piston guided therein and a piston rod connected to the piston or two piston rods, one on each piston side, with associated seals and bearings for the piston rod in the housing.
  • compressed air cylinders are used on a large scale because they enable the machine element controlled with them to be actuated precisely and reliably over a long operating time. Nevertheless, they have two basic disadvantages.
  • One disadvantage is the required guiding accuracy between the pressure housing on the one hand and the piston on the other hand and the piston rod or piston rods on the one hand and the associated housing-side bearing on the other hand.
  • the second group of hydraulic or pneumatic actuators includes membrane cylinders.
  • the diaphragm which is either clamped or lies loosely on a piston, has taken over the sealing function of the piston seal on the housing cylinder wall, which eliminates a problematic pair of fits compared to the compressed air cylinders.
  • a rigid cylinder housing is present.
  • the necessary two-part design of this housing for clamping the membrane also has a negative effect.
  • the operating pressure and the achievable stroke are limited in this type of actuators.
  • the third category of relevant actuators relates to bellows cylinders.
  • the pressure space for the pressure medium is essentially limited by a rotationally symmetrical bellows, which is designed to be retractable and retractable by means of corresponding folds in the direction of the axis of rotation.
  • Bellows cylinders of this type measured on the two types of actuators discussed above, have a low installation height, a low weight, a large force development and fewer moving parts.
  • they have a decisive disadvantage.
  • An actuating device equipped with a bellows of the type assumed at the outset is the subject of DE-OS 30 32 638.
  • This known actuating device is primarily designed as a lifter for developing relevant tractive force; but it is also intended to be used as a servo cylinder.
  • the known actuating device consists essentially of a rotationally symmetrical bellows, which is arranged with its axial end faces between two housing parts, and a guide element which extends axially inside the bellows. While one end of the axial guide element is firmly connected to the first housing part, its second end passes through a central opening in the second housing part with play.
  • a second bellows is provided, which is smaller than the first and is rotationally symmetrical and is also axially penetrated by the guide element.
  • this bellows is out of funds Opening attached tightly to the second housing part, while on the other hand it is closed by a plate.
  • the two bellows themselves are in communicating connection through the gap between the central opening of the second housing part and the guide element. A seal between the plate and the guide element with respect to the pressure space of the two bellows is achieved in that the plate is welded to the guide element.
  • This known actuating device also has disadvantages.
  • a disadvantage is that the second bellows acts counter to the first, so that the usable pressure area of the first bellows is reduced by the cross-sectional area of the second bellows.
  • the length of the device is increased by the length of the second bellows.
  • the second, ie smaller bellows is arranged outside the first, larger bellows and the two bellows have to be adjusted in terms of stroke so that the working stroke can be driven by both bellows. It is therefore practically twice the installation length compared to commercially available bellows cylinders. Also in the embodiments shown in FIGS.
  • the useful stroke must be present twice, ie similar to that of the standard and membrane cylinders. Since the useful stroke of a bellows cylinder with a small diameter is naturally smaller than that of a larger one, the small, i.e. second bellows, is decisive for the stroke, i.e.
  • the largest usable stroke length for the larger bellows must be a larger overall length (initial length) for the smaller bellows be bought. This results in the already discussed, compared to commercially available bellows cylinders with the same stroke even longer basic length (minimum output length) in these designs according to DE-OS 30 32 638.
  • the minimum overall length is predetermined by the fixed dimension between the first housing part of the first bellows and the opposite end plate of the second bellows and the minimum length of this second bellows.
  • the object of the invention is to provide an actuating device of the type assumed at the outset, in which the advantages of bellows cylinders with which the standard cylinder or the membrane cylinder are combined as far as possible are emphasized.
  • a sliding or rolling guide is provided between the second housing part and the guide element in order to achieve internal guidance of the two housing parts and is designed to be medium-tight.
  • the actuating device according to the invention combines the advantages of a bellows construction on the one hand and the standard cylinder or membrane cylinder on the other hand, but avoiding their design-specific disadvantages. It is namely short and lightweight for a given stroke, since the length of the construction is primarily determined only by the stroke length and the length of the guide between the second housing part and the guide element and the pressure space is essentially limited by the bellows.
  • the actuating device according to the invention builds in proportion the smaller the longer the useful stroke becomes. It is also characterized by an exact guidance between the stationary and the moving Lich housing part, so that it can be used without further measures to actuate machine elements to be guided exactly.
  • the piston and the associated guides or bearings can be omitted in the arrangement according to the invention.
  • the actuating device according to the invention is characterized by a simple structure, since both the guide element with the housing part with which it is firmly connected and the guide for the guide element with the second housing part can each be formed in one piece. Overall, there are considerable advantages in terms of space requirements, the use of materials and the costs.
  • An advantageous embodiment of the invention consists in that the guide element is a bolt with a circular cross-section, and the guide between the guide element and the second housing part is designed as a slide or roller bearing arranged in this, which is provided at least on the pressure chamber side with a sealing element. Standard components can thus be used, thereby further reducing the cost of the actuating device according to the invention.
  • the guide pin prefferent for the guide pin to be hollow.
  • the guide between the guide element and the second housing part lies within the interior space defined by the bellows.
  • a housing element is provided in the interior of the bellows, which reduces the dead volume of the bellows, whereby serious energy savings, especially in short strokes compared to known bellows cylinders, are achieved will.
  • This housing element can either be a separate one or it can also be formed by the second housing part, which for this purpose is drawn into the interior of the bellows in such a way that the dead volume of the bellows is also reduced.
  • a further embodiment of the invention consists in that at least one damping element acting between the two housing parts is arranged in the interior of the bellows, which is preferably represented by an industrial shock absorber (FIG. 4a).
  • a particularly expedient embodiment of an actuating device according to the invention, which is double-acting, results from the fact that the reset device is also represented by a bellows construction.
  • the two housing parts of the bellows are rotatably guided to one another. In this way, even in cases where a torque is exerted on one of the housing parts of the actuating device, an exact guidance of the machine element to be actuated is ensured and, moreover, a damaging twisting of the bellows about its axis is prevented.
  • a further exemplary embodiment of the invention consists in that instead of or in addition to a longitudinal guide arranged in the center of the device, several longitudinal guides with a diameter on the periphery of the housing parts but penetrating the bellows are provided.
  • Such an arrangement offers particular advantages if the load or force attack occurs off-center on the movable housing part.
  • an anti-rotation lock of the housing parts is automatically connected to one another.
  • the central area in the middle of the device is free (if necessary) for the central arrangement of a shock absorber, which therefore no longer has to be arranged in pairs or symmetrically to several.
  • the arrangement of a compression spring for the bellows return can also advantageously be carried out in the center.
  • a rotationally symmetrical bellows l which, as can be seen from FIG. 1, can either be folded only once or, as can be seen in the other figures, can be folded several times.
  • the axial faces of the bellows are medium-tight, i.e. compressed air tight, between two e.g. arranged in cross section circular housing parts 2 and 3.
  • the housing part 2 can be the part of the actuating device that is to be installed in a stationary manner, while the housing part 3 can be the actuating part that can be moved relative to it and that can be connected directly or indirectly to the machine element to be moved.
  • the medium-tight connection of the axial end faces of the bellows l to the housing parts 2 and 3 can be achieved in that the end flanges la of the bellows l are clamped by clamping rings 4 provided on the respective housing part 2, which are connected to the respective housing part 2 or 3 by means of screws 5 are screwed.
  • This guide element 6 is guided in a slide bearing 9, which is formed coaxially on the housing part 2, preferably in one piece.
  • a housing element in the form of a disk 11 is arranged in the pressure chamber 7 itself and is displaceably or fixedly mounted on the guide element 6.
  • the disk 11 reduces the dead volume of the pressure chamber 7 in the manner already discussed.
  • a stop disk l2 preferably with screws l3 is fastened to the guide element 6 and comes to rest on the axial end face of the bearing housing 8 at the end of the stroke via an intermediate damping element l4.
  • the housing part 3 is reset to the starting position shown in FIG. 1 by releasing the pressure chamber 7 by means of a compression spring l5, which is clamped between shoulders on the stop disk l2 and the bearing housing 8 (single-acting version with integrated reset).
  • the embodiment according to FIG. 2 differs from that according to FIG. 1 in that the bellows 1 is folded several times and the disk 11 to reduce the dead volume of the pressure chamber 7 has a greater axial height than the disk 11 in accordance with the larger initial length of the bellows 1 according to Fig. l. Furthermore, a mounting plate l6 is indicated on the the stationary housing part 2 is stored and fastened by means not shown.
  • FIG. 4 is supplemented by the fact that a reset mechanism working with pressure medium is provided.
  • This also consists of a bellows 40, one axial end face of which, with respect to the pressure chamber 7, the outer end face of the housing part 2 is connected by a clamping ring 4l, which is screwed to the housing part 2, 4 by screws 42, while the other is axial Front side is connected to an end plate 43, and expediently also by means of a clamping ring 4l with screws 42.
  • the end plate 43 is either axially adjustable with respect to the guide element 6, as shown on the left in FIG.
  • the pressure chamber 7 of the bellows 1 is filled with pressure medium during the working stroke, while the pressure chamber 7 is emptied for the return stroke and the pressure chamber 47 is pressurized with the pressure medium.
  • Fig. 4a the arrangement of Fig. 4 is further developed in that in the interior of the bellows in the housing part 2 e.g. Two diametrically opposed industrial shock absorbers l8 / 4 are arranged, which interact with the movable housing part 2 and thus ensure smooth travel to the end positions.
  • longitudinal guides 6 which run in slide or roller bearings 9, which in turn are equipped with seals l0.
  • a shock absorber 18 can then be arranged centrally for damping.
  • FIGS. 6 to 9 show an embodiment of an actuating device according to the invention, in which end position damping is provided.
  • the bearing housing 8 is arranged penetrating the interior or pressure chamber 7 of the bellows 1. 6, which shows the one end position of the actuating device, the bearing housing 8 engages in a recess 3a (FIG. 7) of the first housing part 3, a space 7.1 for pressure medium remaining in the recess 3a above the upper end of the bearing housing.
  • This space 7.1 increases when the relative movement between the housing parts is removed.
  • the bearing housing 8 comes out of the recess 3a of the first housing part 3 when pressure medium is introduced into the bellows 1.
  • the bearing housing 8 engages in the recess 3a of the first housing part 3 in such a way that a gap is formed between the bearing housing 8 and the first housing part, which gap is designated by 26 in FIGS. 6 and 8.
  • a so-called damping ring 51 is arranged in a recess in the wall of the housing part recess 3a.
  • This damping ring 51 has a sealing surface 55 which engages with the outer surface of the bearing housing 8 and which represents the radially inner surface of the damping ring 51.
  • the lower axial end face 54 according to FIG. 8 is also designed as a sealing surface which can come into sealing engagement with the opposite groove wall.
  • the actuating device according to FIGS. 6 to 9 has a first or lower pressure medium supply 17.1, 20.1, 21, through which a pressure medium connection with the space 7 of the bellows 1 is created.
  • a plurality of vertical pressure medium supply channels 21 are provided. At least one of these channels 21 is connected via a bore 22 to a channel 24 which extends along the length of the bearing housing 8 and opens into the space 7.1 of the housing part recess 3a on its upper surface.
  • An adjustable throttle device 23, 25 is provided between the bore 22 and the channel 24, as can be seen in particular from FIG. 9. This figure shows a throttle screw 25, by means of which the throttle opening between the channels 22 and 24 can be changed in size.
  • the actuating device according to FIGS. 6 to 9 also has a second upper pressure medium supply 17.2, 20.2, which is connected to the space 7.1 of the housing part recess 3a.
  • the upper ring flange of the space 7.1 is first filled when the pressure medium is supplied. At the same time, the medium flows through the gap 26 to the damping ring 51, which moves into its axially lower sealing position, so that no pressure medium can flow around the damping ring 51 into the interior 7 of the bellows 1. At the same time, further pressure medium flows through the channel 24, the bore 22 and the channel 21 throttled into the interior 7 of the bellows 1, because in this mode of operation the pressure medium supply 17.1 is closed. The entire effective area of the bellows cylinder is thus acted upon and the extension stroke is carried out.
  • the pressure medium supply 17.2 becomes depressurized, and the pressure medium flows out through the pressure medium supply 17.2 during the retracting movement.
  • the damping ring 51 sits with its axially upper grooved end face 54 against the opposite groove wall, so that when there is a sealing engagement between the damping ring 51 and the outer surface of the bearing housing 8, the medium from the reducing pressure space 7 around the ring or through the channels 21, 22 , Throttle opening 23 and channel 24 can flow into the pressure chamber 7.1.
  • This mounting position of the damping ring results in weaker damping. A stronger damping of the retraction stroke movement with the medium connection at 17.2 results if the damping ring with its axial sealing surface points upwards.
  • the pressure medium in the interior 7 of the bellows 1 can now only escape via the channels 21 and 22, the throttle opening 23 and the channel 24 into the room or pressure chamber 7.1 and from there through the pressure medium supply 17.2.
  • the bearing housing 8 moves into the housing part recess 3a with greater damping.
  • two channels 24 are provided, each of which is connected to a pressure medium supply via an adjustable throttle.
  • a check valve can be arranged in each channel 24, which blocks one channel 24 in one direction and the other channel 24 in the opposite direction. This enables separate adjustment of the extension stroke damping and the insertion stroke damping.
  • the grooved damping ring is expediently replaced by a sealing ring that seals on both sides.
  • FIGS. 10 and 11 show a further embodiment of an actuating device according to the invention, in which the force-travel characteristic can be changed.
  • Bellows or bellows cylinders have the property of developing the greatest force at the beginning of their stroke. In a mostly non-linear degressive characteristic, the force drops to values between 75% and 50% of the initial lifting force up to the end of the stroke. This characteristic is caused by the initially large effective area when the bellows is folded, which the pressure medium strikes. With increasing expansion of the bellows, its diameter and thus the effective area decrease.
  • the bearing housing 8 is stepped on the circumference, and the recess 3b of the first housing part receiving the bearing housing 8 has a corresponding stepped design.
  • a damping ring 51.1 or 51.2 which is of the same general type as was described in connection with FIGS. 6 to 9. The number of levels can be changed depending on the desired effect.
  • the damping rings 51 are installed in such a way that the axially upper end face 54 is formed as a sealing surface and accordingly effects a seal when it engages with the opposite groove wall.
  • the radially outer surface and the lower axial end surface are provided with through-flow grooves 53 and 54, respectively, while the radially inner surface 55 is again designed as a sealing surface.
  • the pressure medium is supplied via the feed 17.1.
  • the medium flows through the channels 20.1 and 21 into the lower pressure chamber 7, which is the interior of the bellows 1.
  • the first housing part 3, guided by the guide element 6, starts to move axially and extends accordingly.
  • a vacuum is created in the upper pressure chamber 7.1, through which the check valve 60 is opened, so that when air is used as the pressure medium, a pressure equalization with the surroundings takes place. If a hydraulic fluid is used as the pressure medium, a pressure-free medium connection with a check valve must be provided at 17.2.
  • the effective area is no longer the entire cylindrical area of the bellows 1, but the ring area defined by the diameters D1 and D2.
  • the initial pressure over the first part of the travel path S1 can correspond to the final pressure, but can also be greater or less than the final pressure, since if D1 is assumed to be a fixed output variable, D2 can be designed as required.
  • the effective diameter D1 decreases during the travel path S1, so that the effective area also becomes smaller because the diameter D2 is specified as a fixed size.
  • the force loss typical of the bellows cylinder can during its stroke by increasing the effective area by a further ring area defined by the diameters D2 and D3, so that the falling force-displacement curve receives a positive thrust. Since the travel path S2 is greater than the travel path S1, the whole thing is repeated once again, that is to say the further decreasing diameter D1 and thus the pressure area, a further pressure area is added as compensation, in this example the ring area, defined by the diameters D3 and D4 .
  • the cylinder now has the same force-displacement characteristics over the rest of its path as an unguided bellows cylinder, but the dimensioning can also be laid out in such a way that the stroke ends when the total pressure area is reached.
  • the retracting stroke takes place under the action of external forces.
  • the check valve 60 closes and the pressure medium escapes from the pressure spaces 7 and 7.1 through the channels 21 and 20.1.
  • a separation into the upper pressure chamber 7.1 and the lower pressure chamber 7 again occurs.
  • the external return forces exert a pressure on the pressure medium enclosed in the upper pressure chamber 7.1.
  • the damping rings 51.1 and 51.2 are brought into their lower axial position, so that the pressure medium around the rings 51.1 and 51.2 and through the column 26 into the lower pressure chamber 7 and thus to the unpressurized pressure medium supply 17.1 and thus can flow away.
  • the undesirable ones high initial forces is reduced, which, among other things, extends the application of an actuating device according to the invention.
  • No complex medium transfer pressure control is required in order to obtain an approximately linear force-displacement characteristic, as is present in piston cylinders, in an actuating device according to the invention.
  • Fig. 11 shows a modified embodiment, in which the falling course of the force during the stroke is counteracted by the fact that the outer surface of the bearing housing 8 and the corresponding inner surface of the housing part recess 3b are each formed in the shape of a truncated parabola in such a way that the loss of the active surface through the of the stroke-reducing effective diameter is compensated for at every point of the stroke by the parabolic stump tapering upwards.
  • an exemplary seal 61 which adapts to the increasing width of the gap 26 and bridges it.
  • a greatly reduced initial force results if the check valve 60 is installed in the medium supply 17.1 and the medium is supplied at 17.2. Then, when the damping rings 51.1 and 51.2 are arranged or installed in reverse to the arrangement shown in FIG. 10, the active surface between the diameters D3 and D4 (FIG. 10) is first applied. The extension stroke then begins with a low initial force, which increases gradually when S1 is greater than S2. In the case of the embodiment according to FIG. 11 with a truncated parabolic bearing housing 8, there is a stepless enlargement until the bearing housing 8 leaves the damping ring or the damping rings or the sealing ring 61, which also has to be installed vice versa.
  • a throttle check valve can also be provided. A corresponding adjustment of the throttle causes a gentle start of the extension stroke by only slowly compensating the negative pressure.
  • bearing housing 8 and the associated housing part recess 3b are formed in the shape of a truncated parabola, a corresponding frustoconical shape could also be provided.
  • the damping rings 51.1 and 51.2 are each arranged in a groove which is formed in the wall of the recess 3b.
  • the damping rings are each arranged in a groove in the bearing housing.
  • the damping ring has a movable sealing lip instead of the axial and radial flow grooves, which blocks the passage of the medium in one direction and releases it in the other direction, so that a non-return function is obtained.

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Abstract

Diese Betätigungsvorrichtung umfaßt einen gummielastischen, vorzugweise rotationssymmetrischen Balg (1), der mit seinen axialen Stirnseiten zwischen zwei Gehäuseteilen (2,3) mediumdicht angeordnet ist, sowie ein Führungselement (6), das das Innere des Balgs axial durchsetzt und mit dem ersten Gehäuseteil (3) fest verbunden ist und an dem zweiten Gehäuseteil (2) in einer eine axiale Relativbewegung zwischen diesem Gehäuseteil und dem Führungselement ermöglichende Führung gelagert ist. Zur Erzielung einer Innenführung der zwei Gehäuseteile ist zwischen dem zweiten Gehäuseteil (2) und dem Führungselement (6) eine Gleit- oder Wälzführung (9) vorgesehen ist, die mediumdicht ausgebildet ist.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine mit einem Druckmedium arbeitende Betätigungsvorrichtung, mit einem gummi­elastischen, vorzugsweise rotationssymmetrischen Balg, der mit seinen axialen Stirnseiten zwischen zwei Gehäuseteilen mediumdicht angeordnet ist, sowie einem Führungselement, das das Innere des Balgs axial durchsetzt und mit dem ersten Gehäuseteil fest ver­bunden ist und an dem zweiten Gehäuseteil in einer eine axiale Relativbewegung zwischen diesem Gehäuse­teil und dem Führungselement ermöglichende Führung gelagert ist.
  • Derartige Betätigungseinrichtungen können in drei Gruppen eingeteilt werden.
  • Zum ersten Typ dieser Betätigungseinrichtungen gehö­ren Druckluftzylinder, z.B. nach DIN 24 335, die im wesentlichen aus einem druckdichten Gehäuse, einem darin geführten Kolben und aus einer mit dem Kolben verbundenen Kolbenstange oder zwei Kolbenstangen, je eine auf jeder Kolbenseite, mit dazugehörigen Dich­tungen und Lagern für die Kolbenstange im Gehäuse bestehen. Diese Druckluftzylinder sind im großen Umfang im Einsatz, weil sie eine über eine lange Betriebszeit exakte und zuverlässige Betätigung der damit gesteuerten Maschinenelement ermöglichen. Trotzdem weisen sie zwei grundsätzliche Nachteile auf. Der eine Nachteil besteht in den erforderlichen Führungsgenauigkeiten zwischen Druckgehäuse einer­seits sowie Kolben andererseits sowie der Kolbenstan­ge bzw. den Kolbenstangen einerseits und dem jeweils zugehörigen gehäuseseitigen Lager andererseits. Diese Passungen müssen schon deshalb mit geringen Toleran­zen ausgeführt sein, weil zwischen Kolbenführung und Kolbenstangenführung eine statische Überbestimmung besteht. Der weitere grundsätzliche Nachteil dieser Druckluftzylinder ist darin zu sehen, daß sie insbe­sondere im oberen Durchmesserbereich sehr lang bauen und große Gewichte aufweisen. Die große Baulänge entsteht u.a. durch den im Zylinderraum vorzuhalten­den Nutzhub und durch die zwangsläufig sich daran anschließende einseitige oder doppelseitige Kolben­stangenführung.
  • Zur zweiten Gruppe hydraulisch oder pneumatisch ar­beitender Betätigungsvorrichtungen gehören Membran­zylinder. Bei diesen Zylindern hat die Membran, die entweder eingespannt oder lose auf einem Kolben auf­liegt, die Dichtungsfunktion der Kolbendichtung an der Gehäusezylinderwandung übernommen, wodurch gegen­über den Druckluftzylindern ein problematisches Pas­sungspaar entfällt. Nach wie vor besteht allerdings der Nachteil der großen Gewichte dieser Membranzylin­der, da ein starres Zylindergehäuse vorhanden ist. In diesem Zusammenhang wirkt sich des weiteren die er­forderliche Zweiteiligkeit dieses Gehäuses zur Ein­spannung der Membran negativ aus. Ferner sind der Betriebsdruck sowie der erreichbare Hub bei dieser Gattung von Betätigungsvorrichtungen begrenzt.
  • Die dritte Kategorie an einschlägigen Betätigungsvor­richtungen bezieht sich schließlich auf Balgzylinder. Bei diesen ist der Druckraum für das Druckmedium im wesentlichen durch einen rotationssymmetrischen Balg begrenzt, der durch entsprechende Faltungen in Rich­tung der Rotationsachse ein- und ausziehbar ausge­staltet ist. Derartige Balgzylinder haben, gemessen an den beiden vorstehend erörterten Gattungen an Betätigungsvorrichtungen, eine niedrige Einbauhöhe, ein geringes Gewicht, eine große Kraftentwicklung sowe weniger bewegte Teile. Für bestimmte Einsatz­fälle, insbesondere zur Substitution von Normzylin­dern, haben sie aber einen entscheidenden Nachteil. Sie besitzen selbst nämlich keine axiale Führung, so daß beim Einsatz als Betätigungsvorrichtung für ein Maschinenelement entweder dieses entsprechend geführt werden muß oder aber eine separate Führung des Ar­beitszylinders 5 außerhalb des Balges angebracht werden muß. Dies ist äußerst kostenaufwendig, u.a. auch deshalb, weil sich diese Führungen außerhalb des größten Balgdurchmessers befinden müssen. Ein zweiter Nachteil gegenüber Normzylindern, z.B. nach DIN 24 335, liegt darin, daß Balgzylinder nur bis auf eine bestimmte Restaxiallänge zusammengefahren werden dürfen. Das verbleibende, bei einem Arbeitshub vom Medium zusätzlich zu füllende Totvolumen macht ihren Einsatz insbesondere bei kurzen Hüben sehr unwirt­schaftlich.
  • Eine mit einem Balg ausgerüstete Betätigungsvorrich­tung der eingangs vorausgesetzten Art ist Gegenstand der DE-OS 30 32 638. Diese bekannte Betätigungsvor­richtung ist in erster Linie als Heber zur Entwick­lung einschlägiger Zugkraft ausgelegt; aber auch an einen Einsatz als Servozylinder ist gedacht.
  • Die bekannte Betätigungsvorrichtung besteht im we­sentlichen aus einem rotationssymmetrischen Balg, der mit seinen axialen Stirnseiten zwischen zwei Gehäuse­teilen dicht angeordnet ist, sowie einem Führungsele­ment, das im Inneren des Balgs axial verläuft. Während das eine Ende des axialen Führungselements mit dem ersten Gehäuseteil fest verbunden ist, durch­setzt es mit seinem zweiten Ende mit Spiel eine Mit­telöffnung im zweiten Gehäuseteil. Zur Abdichtung dieser mit Spiel behafteten Führung zwischen der Mittelöffnung des zweiten Gehäuseteils und dem Füh­rungselement ist ein zweiter, gegenüber dem ersten kleinerer rotationssymmetrischer Balg vorgesehen, der ebenfalls axial von dem Führungselement durchsetzt ist. Dieser Balg ist einerseits außerhalb der Mittel­ öffnung dicht an dem zweiten Gehäuseteil befestigt, während er andererseits von einer Platte abgeschlos­sen ist. Die beiden Bälge selbst stehen in kommuni­zierender Verbindung durch den Spalt zwischen der Mittelöffnung des zweiten Gehäuseteils und dem Füh­rungselement. Eine Abdichtung zwischen der Platte und dem Führungselement in bezug auf den Druckraum der beiden Bälge wird dadurch erreicht, daß die Platte mit dem Führungselement verschweißt ist.
  • Diese bekannte Betätigungsvorrichtung weist ebenfalls Nachteile auf. Ein Nachteil besteht darin, daß der zweite Balg gegenläufig zum ersten wirkt, so daß die nutzbare Druckfläche des ersten Balgs durch die Quer­schnittsfläche des zweiten Balgs reduziert wird.
  • Des weiteren wird bei gegebener Hublänge die Länge der Vorrichtung durch die Länge des zweiten Balges erhöht. Dabei ist nach Fig. l der DE-OS 30 32 638 der zweite, d.h. kleinere Balg, außerhalb des ersten, größeren Balgs angeordnet und beide Bälge müssen hubmäßig so aufeinander abgestimmt sein, daß der Arbeitshub von beiden Bälgen gefahren werden kann. Es ist daher praktisch die doppelte Einbaulänge gegen­über handelsüblichen Balgzylindern erforderlich. Auch bei den in den Fig. 2 und 3 der DE-OS 30 32 638 dar­gestellten Ausführungsformen, bei denen der zweite, kleinere Balg in den ersten, größeren Balg hineinver­legt ist, kann die Baulänge nicht sehr weit reduziert werden, weil der zweite Balg es nicht mehr gestattet, den ersten Balg auf seine Mindestausgangshöhe zusam­menzufahren, um aus dieser Mindestausgangshöhe heraus seine Arbeit zu verrichten. Bei den Ausführungsformen nach den Fig. l und 2 der DE-OS 30 32 638 muß der Nutzhub zweimal vorhanden sein, d.h. ähnlich wie bei den Norm- und Membranzyliñdern. Da der Nutzhub eines vom Durchmesser her kleinen Balgzylinders naturgemäß regelmäßig kleiner ist als der eines größeren, ist der kleine, d.h. zweite Balg, bestimmend für den Hub, d.h. die größte nutzbare Hublänge beim größeren Balg muß durch eine größere Baulänge (Ausgangslänge) beim kleineren Balg erkauft werden. Dadurch ergibt sich die schon erörterte, gegenüber handelsüblichen Balg­zylindern eine bei gleichem Hub nochmals erhöhte Grundlänge (minimale Ausgangslänge) bei diesen Aus­führungen nach der DE-OS 30 32 638. Bei deren Kon­struktion nach Fig. 3 ist schließlich die minimale Baulänge vorbestimmt durch das Festmaß zwischen dem ersten Gehäuseteil des ersten Balgs und der diesem gegengeordneten Abschlußplatte des zweiten Balgs und der minimalen Länge dieses zweiten Balgs.
  • Schließlich ist aufgrund des für den Mediumdurchgang notwendigen Spiels bzw. Spaltes zwischen der Mittel­öffnung des zweiten Gehäuseteils und des Führungsele­ments zur Verbindung der beiden Bälge keine exakte Axialführung der Betätigungsvorrichtung gegeben. Kopfplatte und Endplatte können nämlich eine Schräg­stellung einnehmen, wobei der Mittelpunkt des Schwenkradius sich in Höhe der Mittelöffnung befin­det. Diese Vorrichtung kann deshalb nicht ohne weite­res zum Antrieb von Maschinenelementen eingesetzt werden. Vielmehr ist entweder das Maschinenelement entsprechend zu führen oder aber es ist eine außer­halb des ersten, größeren Balgs liegende axiale Füh­rung zwischen den beiden Gehäuseteilen, zwischen denen der erste Balg eingespannt ist, vorzusehen. Letzteres ist, wie bereits erörtert, teuer und führt zu einer Durchmesservergrößerung der Gesamtkonstruk­tion.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, eine Betätigungsvor­richtung der eingangs vorausgesetzten Art zu schaf­fen, bei der die Vorteile von Balgzylindern, mit denen der Normzylinder bzw. der Membranzylinder mög­lichst weitgehend kombiniert sind, herausgestellt werden.
  • Diese Aufgabe wird bei einer Betätigungsvorrichtung mit den angesprochenen Merkmalen dadurch gelöst, daß zur Erzielung einer Innenführung der zwei Gehäusetei­le zwischen dem zweiten Gehäuseteil und dem Führungs­element eine Gleit- oder Wälzführung vorgesehen ist, die mediumdicht ausgebildet ist.
  • Die erfindungsgemäße Betätigungsvorrichtung vereinigt die Vorteile einer Balg-Konstruktion einerseits sowie der Normzylinder bzw. Membranzylinder andererseits, jedoch unter Vermeidung deren bauartspezifischer Nachteile. Sie ist nämlich bei gegebenem Hub kurz- und leichtbauend, nachdem die Länge der Kon­struktion in erster Linie nur durch die Hublänge und die Länge der Führung zwischen dem zweiten Gehäuse­teil und dem Führungselement bestimmt und der Druck­raum im wesentlichen durch den Balg begrenzt wird. Dabei baut die erfindungsgemäße Betätigungsvorrich­tung im Verhältnis umso kleiner, je länger der Nutz­hub wird. Sie zeichnet sich des weiteren durch eine exakte Führung zwischen dem ortsfesten und dem beweg­ lichen Gehäuseteil aus, so daß sie ohne weitere Maß­nahmen zur Betätigung von exakt zu führenden Maschi­nenelementen eingesetzt werden kann. Gegenüber den Normzylindern bzw. Membranzylindern können bei der erfindungsgemäßen Anordnung dabei aber der Kolben und die dazugehörigen Führungen bzw. Lagerungen entfal­len. Schließlich zeichnet sich die erfindungsgemäße Betätigungsvorrichtung durch einen einfachen Aufbau aus, da sowohl das Führungselement mit dem Gehäuse­teil, mit dem es fest verbunden ist, als auch die Führung für das Führungselement mit dem zweiten Ge­häuseteil jeweils einstückig ausgebildet sein können. Insgesamt ergeben sich also erhebliche Vorteile hin­sichtlich des Platzbedarfs, des Materialeinsatzes sowie der Kosten.
  • Zweckmäßige Weiterbildungen der erfindungsgemäßen Betätigungsvorrichtung sind in folgenden Merkmalen zu sehen.
  • Eine vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung be­steht danach darin, daß das Führungselement ein Bol­zen mit Kreisquerschnitt ist, und die Führung zwi­schen dem Führungselement und dem zweiten Gehäuseteil als ein in diesem angeordnetes Gleit- oder Wälzlager ausgebildet ist, das zumindest druckraumseitig mit einem Dichtungselement versehen ist. Damit können Normbauteile eingesetzt werden, womit eine weitere Verbilligung der erfindungsgemäßen Betätigungsvor­richtung erreicht wird.
  • Zur weiteren Gewichtseinsparung ist es zweckmäßig, daß der Führungsbolzen hohl ausgebildet ist.
  • Zur Verwirklichung einer besonders kompakten und robusten Bauweise empfiehlt es sich, daß die Führung zwischen dem Führungselement und dem zweiten Gehäuse­teil innerhalb des durch den Balg definierten Innen­raums liegt.
  • Zur Einsparung von Druckmedium und zur Erniedrigung der erforderlichen Leistung zum Betrieb der erfin­dungsgemäßen Betätigungsvorrichtung ist es von Vor­teil, daß im Innenraum des Balgs ein Gehäuseelement vorgesehen ist, das das Totvolumen des Balgs re­duziert, wodurch gravierende Energieeinsparungen, insbesondere bei kurzen Hüben gegenüber bekannten Balgzylindern, erzielt werden.
  • Dieses Gehäuseelement kann entweder ein separates sein oder aber auch durch das zweite Gehäuseteil gebildet sein, das zu diesem Zweck in den Innenraum des Balgs derart hineingezogen ist, daß dadurch eben­falls das Totvolumen des Balgs reduziert wird.
  • Zur möglichst einfachen Einstellung der Hublänge der erfindungsgemäßen Betätigungsvorrichtung empfiehlt es sich, auf dem Führungselement ein axial einstellbares Anschlagglied anzuordnen.
  • Eine weitere Ausbildung der Erfindung besteht darin, daß im Innenraum des Balgs mindestens ein zwischen den zwei Gehäuseteilen wirkendes Dämpfungselement angeordnet ist, das vorzugsweise durch einen Industrie-Stroßdämpfer dargestellt ist (Fig. 4a).
  • Eine besonders zweckmäßige Ausgestaltung einer erfin­dungsgemäßen Betätigungsvorrichtung, die doppeltwir­kend ausgebildet ist, ergibt sich dadurch, daß die Rückstellvorrichtung ebenfalls durch eine Druck­balg-Konstruktion dargestellt ist.
  • Des weiteren kann es zweckmäßig sein, daß die beiden Gehäuseteile des Balgs drehfest zueinander geführt sind. Dadurch ist auch in Fällen, in denen ein Dreh­moment auf eines der Gehäuseteile der Betätigungsvor­richtung ausgeübt wird, zum einen eine exakte Führung des zu betätigenden Maschinenelements gewährleistet und darüber hinaus ein schädliches Verwinden des Balgs um seine Achse verhindert.
  • Schließlich besteht ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung darin, daß statt oder zusätzlich zu einer in der Mitte der Vorrichtung angeordneten Längsführung mehrere, auf einen Durchmesser an der Peripherie der Gehäuseteile, jedoch den Balg durch­setzende Längsführungen vorgesehen sind. Besondere Vorteile bietet eine derartige Anordnung, wenn der Last- bzw. Kraftangriff außermittig auf das beweg­liche Gehäuseteil erfolgt. Weiterhin ist damit auto­matisch eine Verdrehsicherung der Gehäuseteile gegen­einander verbunden. Der Zentralbereich in der Mitte der Vorrichtung wird (bei Bedarf) für die mittige Anordnung eines Stoßdämpfers frei, welche dadurch nicht mehr paarweise bzw. zu mehreren symmetrisch angeordnet werden müssen. Auch die Anordnung einer Druckfeder für die Balgrückführung läßt sich vorteil­haft mittig durchführen.
  • Ausführungsbeispiele der erfindungsgemäßen Betäti­gungsvorrichtung werden im folgenden anhand der beigefügten Zeichnungen erläutert.
  • Es zeigt:
    • Fig. l einen teilweisen Axialschnitt einer ersten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Betätigungsein­richtung,
    • Fig. 2 einen teilweisen Axialschnitt einer zweiten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Betätigungsvor­richtung,
    • Fig. 3 einen Axialschnitt durch eine dritte Ausfüh­rungsform der erfindungsgemäßen Betätigungsvorrich­tung,
    • Fig. 4 einen Axialschnitt durch eine vierte Ausfüh­rungsform der erfindungsgemäßen Betätigungsvorrich­tung, wobei zwei unterschiedliche Varianten darge­stellt sind,
    • Fig. 4a eine weitere Ausbildung der Anordnung nach Fig. 4, und
    • Fig. 5 eine weitere grundsätzliche Ausführungsform der Erfindung.
    • Fig. 6 bis 11 sind Darstellungen weiterer Ausführungs­formen der Erfindung.
  • In den Figuren sind gleiche oder übereinstimmende Bauteile mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet.
  • Danach umfaßt die mit einem Druckmedium, z.B. Druck­luft, arbeitende Betätigungsvorrichtung einen rota­tionssymmetrischen Balg l, der, wie sich aus Fig. l ergibt, entweder nur einfach oder aber auch, wie in den übrigen Figuren zu sehen ist, mehrfach gefaltet sein kann. Die axialen Stirnseiten des Balgs sind mediumdicht, d.h. druckluftdicht, zwischen zwei z.B. im Querschnitt kreisförmigen Gehäuseteilen 2 und 3 angeordnet. Dabei kann das Gehäuseteil 2 das ortsfest zu installierende Teil der Betätigungsvorrichtung sein, während das Gehäuseteil 3 das dazu relativbe­wegliche Betätigungsteil sein kann, das direkt oder indirekt mit dem zu bewegenden Maschinenelement ver­bindbar ist.
  • Der mediumdichte Anschluß der axialen Stirnseiten des Balgs l an den Gehäuseteilen 2 und 3 kann dadurch erfolgen, daß die Endflansche la des Balgs l durch an dem jeweiligen Gehäuseteil 2 vorgesehenen Einspann­ringen 4 eingespannt sind, die mittels Schrauben 5 mit dem jeweiligen Gehäuseteil 2 bzw. 3 verschraubt sind.
  • An dem Gehäuseteil 3 ist zentrisch ein Führungsele­ment 6 in Form eines hohlen Führungsbolzens, z.B. einstückig, angeformt, der koaxial zum Balg l den dadurch definierten Druckraum 7 durchsetzt. Dieses Führungselement 6 ist geführt in einem Gleitlager 9, das koaxial an dem Gehäuseteil 2, bevorzugt ein­stückig, angeformt ist. Zum Druckraum 7 hin ist die Führungspaarung 6, 8 und 9 durch eine Dichtung l0 druckdicht abgedichtet.
  • Im Druckraum 7 selbst ist ein Gehäuseelement in Form einer Scheibe ll angeordnet, die an dem Führungsele­ment 6 verschiebbar oder fest gelagert ist. Die Scheibe ll verringert in der schon erörterten Weise den Volumen-Totraum des Druckraums 7.
  • Wie ohne weiteres ersichtlich, erfolgt bei ent­sprechender Beaufschlagung des Druckraums 7 mit Druckmedium über einen Anschluß l7 und entsprechende Leitungen und Ventilanordnungen eine Relativbewegung zwischen den Gehäuseteilen 2 und 3 unter Strecken des Balgs l. Zur Begrenzung des Hubs, d.h. der Relativbe­wegung zwischen den Gehäuseteilen 2 und 3, ist an dem Führungselement 6 eine Anschlagscheibe l2, bevorzugt mit Schrauben l3, befestigt, die über ein zwischenge­schaltetes Dämpfungselement l4 an der axialen Stirn­fläche des Lagergehäuses 8 am Ende des Hubs zur Anla­ge gelangt.
  • Die Rückstellung des Gehäuseteils 3 in die in Fig. l dargestellte Ausgangslage erfolgt unter Entspannen des Druckraums 7 mittels einer Druckfeder l5, die zwischen Absätzen an der Anschlagscheibe l2 und dem Lagergehäuse 8 eingespannt ist (einfachwirkende Aus­führung mit integrierter Rückstellung).
  • Die Ausführungsform nach Fig. 2 unterscheidet sich von der nach Fig. l dadurch, daß der Balg l mehrfach gefaltet ist und die Scheibe ll zur Reduzierung des Totvolumens des Druckraums 7 entsprechend der größe­ren Ausgangslänge des Balgs l eine größere axiale Höhe besitzt als die Scheibe ll nach Fig. l. Des weiteren ist eine Montageplatte l6 angedeutet, an der das ortsfest zu haltende Gehäuseteil 2 mit nicht gezeigten Mitteln gelagert und befestigt ist.
  • Das Wesentliche der Ausführungsform nach Fig. 3 ist darin zu sehen, daß im Druckraum 7 im Gegensatz zu den Konstruktionen nach den Fig. l und 2 keine sepa­rate Scheibe ll zur Verringerung des Totvolumens vorgesehen ist, sondern zu diesem Zweck das Gehäuse­teil 2/3 entsprechend ausgebildet, nämlich in den Druckraum 7 topfförmig hineingezogen ist. Ein weite­rer Unterschied besteht darin, daß an der axialen inneren Stirnseite dieses Gehäuseteils 2/3 Dämpfungs­elemente l4/3 angeordnet sind, an denen die Hubbe­grenzung stattfindet. Ein Rückstellmechanismus ist in Fig. 3 nicht dargestellt.
  • Demgegenüber ist das Ausführungsbeispiel nach der Fig. 4 dadurch ergänzt, daß ein mit Druckmedium ar­beitender Rückstellmechanismus vorgesehen ist. Dieser besteht ebenfalls aus einem Balg 40, dessen eine axiale Stirnseite mit der in bezug auf den Druckraum 7 außenliegenden Stirnfläche des Gehäuseteils 2 durch einen Einspannring 4l, der mit dem Gehäuseteil 2, 4 über Schrauben 42 verschraubt ist, verbunden ist, während die andere axiale Stirnseite an einer Ab­schlußplatte 43 angeschlossen ist, und zwar zweck­mäßigerweise ebenfalls mittels eines Einspannrings 4l mit Schrauben 42. Die Abschlußplatte 43 ist entweder, wie links in Fig. 4 gezeigt, axial in bezug auf das Führungselement 6 einstellbar, und zwar z.B. über zwei Kontermuttern 44, die auf ein Gewinde 6a des Führungselements 6 aufgeschraubt sind, oder aber fest auf dem Führungselement fixiert, wie rechts in der Fig. 4 angedeutet, und zwar durch einen Absatz 6b auf der Mantelfläche des Führungselements 6 und einer gegengeordneten Kontermutter 44. Auf diese Weise ist bei der Ausführungsform links in Fig. 4 die Hublänge der Anordnung einstellbar, während bei der Konstruk­tion rechts in Fig. 4 die Hublänge fest vorgegeben ist. Dämpfungselemente l4/4 ergänzen die Hubbegren­zungen dieser Anordnung.
  • Über ein 4/2-Wegeventil 46 wird beim Arbeitshub der Druckraum 7 des Balgs l durch Druckmedium gefüllt, während für den Rückhub der Druckraum 7 entleert und dafür der Druckraum 47 mit dem Druckmedium beauf­schlagt wird.
  • Gemäß Fig. 4a ist die Anordnung nach Fig. 4 dadurch weitergebildet, daß im Innenraum des Balgs in dem Gehäuseteil 2 z.B. zwei diametral gegenüberliegende Industriestoßdämpfer l8/4 angeordnet sind, die mit dem beweglichen Gehäuseteil 2 zusammenwirken und so ein weiches Fahren in die Endlagen gewährleisten.
  • Nach Fig. 5 sind statt der bisher vorgesehenen zentralen Führung der Gehäuseteile 2 und 3 an deren Perpherie, jedoch innerhalb des Balgs l angeordnete Längsführungen 6 vorgesehen, die in Gleit- oder Wälzlager 9 laufen, die selbst wiederum mit Dichtungen l0 ausgerüstet sind. Es können zwei oder mehrere derartige Längsführungen 6 vorhanden sein, die zweckmäßigerweise auf einem Kreis T mit gleicher Teilung verteilt sind. Zentral kann dann zur Dämpfung ein Stoßdämpfer l8 angeordnet sein.
  • Die Figuren 6 bis 9 zeigen eine Ausführungsform einer Be­tätigungsvorrichtung gemäß der Erfindung, bei welcher eine Endlagendämpfung vorgesehen ist. Bei dieser Ausfüh­rungsform ist das Lagergehäuse 8, den Innenraum oder Druck­raum 7 des Balgs 1 durchsetzend, angeordnet. Gemäß Fig. 6, welche die eine Endlage der Betätigungsvorrichtung zeigt, greift das Lagergehäuse 8 in eine Ausnehmung 3a (Fig. 7) des ersten Gehäuseteiles 3, wobei oberhalb des oberen Endes des Lagergehäuses 8 in der Ausnehmung 3a ein Raum 7.1 für Druckmedium verbleibt. Dieser Raum 7.1 vergrößert sich bei entfernender Relativbewegung zwischen den Gehäuseteilen.
  • Wie aus den Figuren 6 und 7 ersichtlich, gelangt das Lager­gehäuse 8 beim Einführen von Druckmedium in den Balg 1 aus der Ausnehmung 3a des ersten Gehäuseteiles 3 heraus.
  • Das Lagergehäuse 8 greift in die Ausnehmung 3a des ersten Gehäuseteiles 3 ein in der Weise, daß zwischen dem Lager­gehäuse 8 und dem ersten Gehäuseteil ein Spalt gebildet ist, der in den Figuren 6 und 8 mit 26 bezeichnet ist. Weiterhin ist in einer Ausnehmung in der Wand der Gehäuse­teil-Ausnehmung 3a ein sogenannter Dämpfungsring 51 ange­ordnet. Dieser Dämpfungsring 51 hat eine mit der Außen­fläche des Lagergehäuses 8 in Eingriff tretende Dicht­fläche 55, welche die radial innere Fläche des Dämpfungs­ringes 51 darstellt. Die gemäß Fig. 8 untere axiale Stirnfläche 54 ist ebenfalls als Dichtfläche ausgebildet, die mit der gegenüberliegenden Nutwand in Abdichtungsein­griff treten kann. Die radial äußere Fläche und die gemäß den Figuren 6 bis 8 obere axiale Stirnfläche des Dämpfungs­ringes 51 sind mit Durchflußnuten (53, 52) für das Druck­medium versehen, wie dies an sich bekannt ist. Somit ist durch die Schaffung des Spiels 26 zwischen dem Lager­ gehäuse 8 und der Gehäuseteil-Ausnehmung 3a und die An­ordnung des Dämpfungsringes 51 sowohl eine Drosselver­bindung als auch eine Rückschlagventilfunktion zwischen dem Raum 7.1 in der Gehäuseteil-Ausnehmung 3a oberhalb des oberen Endes des Lagergehäuses 8 und dem Innenraum 7 des Balgs 1 geschaffen.
  • Die Betätigungsvorrichtung gemäß den Figuren 6 bis 9 weist eine erste bzw. untere Druckmediumzufuhr 17.1, 20.1, 21 auf, durch die eine Druckmediumverbindung mit dem Raum 7 des Balgs 1 geschaffen ist. Wie insbesondere Fig. 9 bei­spielhaft zeigt, ist eine Mehrzahl von senkrechten Druck­mediumzufuhrkanälen 21 vorgesehen. Zumindest einer dieser Kanäle 21 ist über eine Bohrung 22 mit einem Kanal 24 ver­bunden, der sich entlang der Länge des Lagergehäuses 8 er­streckt und an dessen oberer Fläche in den Raum 7.1 der Gehäuseteil-Ausnehmung 3a mündet. Zwischen der Bohrung 22 und dem Kanal 24 ist eine einstellbare Drosseleinrichtung 23, 25 vorgesehen, wie dies insbesondere aus Fig. 9 er­sichtlich ist. Diese Figur zeigt eine Drosselschraube 25, mittels welcher die Drosselöffnung zwischen den Kanälen 22 und 24 in ihrer Größe geändert werden kann.
  • Schließlich weist die Betätigungsvorrichtung gemäß den Figuren 6 bis 9 noch eine zweite obere Druckmediumzufuhr 17.2, 20.2 auf, die mit dem Raum 7.1 der Gehäuseteil-­Ausnehmung 3a in Verbindung steht.
  • Beim Ausführen des Ausfahrhubes, d.h. bei einer Bewegung der Betätigungsvorrichtung aus der Stellung gemäß Fig. 6 in die Stellung gemäß Fig. 7,erfolgt eine Beaufschlagung des Innenraumes oder Druckraumes 7 des Balgs 1 mit Druck­medium über die Druckmediumzufuhr 17.1, 20.1, 21. Hierbei strömt Druckmedium auch über die Drosselverbindung 22, 23 und 24 in den Raum 7.1 der Gehäuseteil-Ausnehmung 3a. Der Dämpfungsring 51 legt sich dabei mit seinen oberen Durchflußnuten 52 gegen die gegenüberliegende Wandung der ihn aufnehmenden Nut. Dadurch kann das in den Innen­raum 7 des Balgs 1 einströmende Druckmedium durch den Spalt 26 zwischen dem Lagergehäuse 8 und der Gehäuseteil-Ausneh­mung 3a und die Durchflußnuten 53, 52 an den betreffenden Flächen des Dämpfungsringes 51 ebenfalls in den Raum 7.1 der Gehäuseteil-Ausnehmung 3a oberhalb des Lagergehäuses 8 eindringen. Damit ist die gesamte Druckfläche beaufschlagt und das Lagergehäuse 8 wird in die in Fig. 7 wiedergegebe­ne Stellung bewegt.
  • Solange bei der Relativbewegung zwischen dem Lagergehäuse 8 und der Gehäuseteil-Ausnehmung 3a Dichtungseingriff zwischen dem Dämpfungsring 51 und dem Lagergehäuse 8 vor­handen ist, entsteht in dem Raum 7.1 ein Vakuum, welches durch das Druckmedium, welches durch den Spalt 26 sowie durch die Durchflußnuten 53 und 52 des Dämpfungsringes 51 strömt, sowie durch das Druckmedium, welches durch die einstellbare Drossel 23 in den Kanal 24 gelangt, je nach Einstellung der Drosselschraube 25, nicht so schnell auf­gefüllt werden kann, wie es während der genannten Relativ­bewegung entsteht. Eine stärkere Dämpfung des Ausfahrhubes ergibt sich bei einem umgekehrten Einbau des Dämpfungs­ringes 51 in der Form, daß die axialen Durchflußnuten 52 nach unten zeigen und die axiale Stirnfläche 54 nach oben. Das Medium hat dann nur noch die Möglichkeit, über die Drosselkanäle das im Raum 7.1 entstehende Vakuum aufzu­füllen. Somit kann der Ausfahrhub in gewünschter Weise gedämpft werden.
  • Beim Einfahrhub, der nach Umschalten des Steurventiles unter der Wirkung von äußeren Kräften ausgeführt wird, ergibt sich wiederum Dichtungseingriff zwischen dem Dämpfungsring 51 und der Außenfläche des Lagergehäuses 8. Somit wird das im Raum 7.1 oberhalb des Lagergehäuses 8 vorhandene Druckmedium bei weiterer Einfahrbewegung des Lagergehäuses 8 komprimiert. Bei weiterer Einfahrbewegung gelangt der Dämpfungsring 51 durch den Druckaufbau im Raum 7.1 mit seiner unteren axialen Stirnfläche 54 gegen die gegenüberliegende Nutwandung, so daß eine Druckmediumver­bindung zwischen dem Innenraum des Balgs 1 und dem Raum 7.1 oberhalb des Lagergehäuses 8 nicht mehr vorhanden ist. Da aber der Innenraum 7 des Balgs 1 nunmehr drucklos ist, kann Druckmedium aus dem Raum 7.1 über den Kanal 24 und die Dros­selöffnung 23 zur Druckmediumzufuhr 17.1 abfließen. Als Folge des Vorhandenseins der Drossel ergibt sich eine Dämpfung des Einfahrhubes. Eine weniger starke Dämpfung kann wiederum durch den umgekehrten Einbau des Dämpfungs­ringes 51 erreicht werden.
  • Soll der Ausfahrhub unter Verwendung der oberen Druck­mediumzufuhr 17.2, 20.2 gedämpft ausgeführt werden, so wird bei Druckmediumzufuhr zunächst der obere Ringflansch des Raumes 7.1 gefüllt. Gleichzeitig strömt das Medium durch den Spalt 26 zum Dämpfungsring 51, der sich in seine axial untere Dichtstellung bewegt, so daß kein Druckmedium um den Dämpfungsring 51 herum in den Innenraum 7 des Balgs 1 strömen kann. Gleichzeitig strömt weiteres Druckmedium über den Kanal 24, die Bohrung 22 und den Kanal 21 ge­drosselt in den Innenraum 7 des Balgs 1, weil bei dieser Betriebsweise die Druckmediumzufuhr 17.1 geschlossen ist. Damit ist die gesamte Wirkfläche des Balgzylinders beauf­schlagt und der Ausfahrhub wird durchgeführt. Der ent­stehende Unterdruck im Raum 7 kann nur über die Drossel­kanäle 24, 23, 22 und sodann über den Kanal 21 ausgegli­chen werden. Eine Dämpfung ergibt sich dadurch analog wie bei der zuvor beschriebenen Betriebsweise, in gewünschter abgeschwächter Form auch durch den umgekehrten Einbau des Dämpfungsringes 51.
  • Nach dem Umsteuern der Steuereinrichtung wird die Druck­mediumzufuhr 17.2 drucklos, und bei der Einfahrbewegung strömt das Druckmedium durch die Druckmittelzufuhr 17.2 aus. Der Dämpfungsring 51 setzt sich mit seiner axial oberen genuteten Stirnfläche 54 gegen die gegenüberliegen­de Nutwand, so daß bei Dichtungseingriff zwischen Dämpfungs­ring 51 und der Außenfläche des Lagergehäuses 8 das Medium aus dem sich verkleinernden Druckraum 7 um den Ring herum bzw. durch die Kanäle 21, 22, Drosselöffnung 23 und Kanal 24 in den Druckraum 7.1 strömen kann. Durch diese Einbau­lage des Dämpfungsringes ergibt sich eine schwächere Dämpfung. Eine stärkere Dämpfung der Einfahrhubbewegung bei Mediumanschluß bei 17.2 ergibt sich, wenn der Dämp­fungsring mit seiner axialen Dichtfläche nach oben zeigt. Das Druckmedium im Innenraum 7 des Balgs 1 kann jetzt nur noch über die Kanäle 21 und 22 , die Drosselöffnung 23 und den Kanal 24 in den Raum oder Druckraum 7.1 und von dort aus durch die Druckmediumzufuhr 17.2 entweichen. So­mit fährt das Lagergehäuse 8 unter stärkerer Dämpfung in die Gehäuseteil-Ausnehmung 3a ein.
  • Bei einer nicht dargestellten abgewandelten Ausführungs­form sind zwei Kanäle 24 vorgesehen, deren jeder über eine einstellbare Drossel mit einer Druckmediumzufuhr verbunden ist. Zusätzlich kann in jedem Kanal 24 ein Rückschlagven­til angeordnet sein, welche den einen Kanal 24 in einer Richtung, bzw. den anderen Kanal 24 in der entgegengesetz­ten Richtung sperren. Dadurch wird eine getrennte Einstel­lung der Ausfahrhubdämpfung und der Einfahrhubdämpfung er­möglicht. Der genutete Dämpfungsring wird in diesem Falle zweckmäßigerweise durch einen beidseitig abdichtenden Dicht­ring ersetzt.
  • In den Figuren 10 und 11 ist eine weitere Ausführungsform einer Betätigungsvorrichtung gemäß der Erfindung darge­stellt, bei welcher die Kraft-Weg-Charakteristik geändert werden kann.
  • Bälge bzw. Balgzylinder haben die Eigenschaft, zu Beginn ihres Hubes die größte Kraft zu entwickeln. In einer meist nicht linearen degressiven Kennlinie sinkt die Kraft bis zum Hub-Ende auf Werte zwischen 75 % und 50 % der Anfangs­hubkraft. Verursacht wird dieses Merkmal durch die bei zusammengefaltetem Balg anfänglich große Wirkfläche, auf die das Druckmedium trifft. Bei zunehmender Streckung des Balgs verkleindert sich sein Durchmesser und damit auch die Wirkfläche.
  • Fig. 10 zeigt eine Ausführungsform einer Betätigungsvor­richtung mit einer unteren Druckmediumzufuhr 17.1, wäh­rend in der oberen Druckmediumzufuhr 17.2 ein Rückschlag­ventil 60 vorgesehen ist. Das Lagergehäuse 8 ist am Umfang abgestuft, und die das Lagergehäuse 8 aufnehmende Aus­nehmung 3b des ersten Gehäuseteiles hat eine entsprechende abgestufte Ausbildung. In der Innenwand jeder Stufe der Gehäuseteil-Ausnehmung 3b befindet sich eine Nut mit einem Dämpfungsring 51.1 bzw. 51.2, der von der gleichen allge­meinen Art ist, wie sie in Verbindung mit den Figuren 6 bis 9 beschrieben wurde. Die Anzahl der Stufen kann je nach dem gewünschten Effekt geändert werden. Die Dämp­fungsringe 51 sind derart eingebaut, daß die axial obere Stirnfläche 54 als Abdichtfläche gebildet ist und demge­mäß eine Abdichtung bewirkt, wenn sie mit der gegenüber­liegenden Nutwand in Eingriff tritt. Die radial äußere Fläche und die untere axiale Stirnfläche sind mit Durch­flußnuten 53 bzw. 54 versehen, während die radial innere Fläche 55 wiederum als Dichtfläche ausgebildet ist. Durch diese radialen Dichtflächen 55 der Ringe 51 wird der Ge­samtdruckraum zu Anfang des Hubes in den unteren Druck­raum 7 und den oberen Druckraum 7.1 unterteilt.
  • Bei der Beschreibung der Ausfahrhubes wird zunächst davon ausgegangen, daß das Druckmedium über die Zufuhr 17.1 zu­geführt wird. Das Medium strömt durch die Kanäle 20.1 und 21 in den unteren Druckraum 7, welches der Innenraum des Balgs 1 ist. Der erste Gehäuseteil 3 setzt sich, geführt durch das Führungselement 6, axial in Bewegung und fährt demgemäß aus. Hierbei wird wie bei der Ausführungsform ge­mäß den Figuren 6 bis 9 im oberen Druckraum 7.1 ein Vakuum erzeugt, durch welches das Rückschlagventil 60 geöffnet wird, so daß dann,wenn Luft als Druckmedium verwendet wird, ein Druckausgleich mit der Umgebung stattfindet. Bei Einsatz einer Hydraulikflüssigkeit als Druckmedium ist bei 17.2 ein druckloser Mediumanschluß mit Rückschlag­ventil vorzusehen.
  • Die Wirkfläche ist nicht mehr die gesamte Zylinderfläche des Balgs 1, sondern die durch die Durchmesser D1 und D2 definierte Ringfläche. Je nach Anteil an der Gesamtdruck­fläche kann der Anfangsdruck über den ersten Teil des Ver­fahrweges S1 dem Enddruck entsprechen, jedoch auch größer oder auch kleiner als der Enddruck sein, da, wenn man D1 als feste Ausgangsgröße annimmt, D2 je nach Bedarf variabel gestaltet werden kann. Während des Verfahrweges S1 ver­ringert sich der Wirkdurchmesser D1, so daß auch die Wirkfläche kleiner wird, weil der Durchmesser D2 als feste Größe vorgegeben ist.
  • Um jedoch eine der linearen Kraft-Weg-Charakteristik eines Kolbenzylinders angenäherte Kraft-Weg-Charakteristik zu fahren, oder auch aus anderen gewollten steuerungstechni­schen Gründen, kann der balgzylindertypische Kraftverlust während seines Hubes durch Vergößerung der Wirkfläche um eine weitere, durch die Durchmesser D2 und D3 defi­nierte Ringfläche vergrößert werden, so daß die fallende Kraft-Weg-Kurve einen positiven Schub bekommt. Da der Verfahrweg S2 größer ist als der Verfahrweg S1, wieder­holt sich das Ganze noch einmal, d.h. dem sich weiter verkleinernden Durchmesser D1 und damit der Druckfläche wird eine weitere Druckfläche als Ausgleich zuaddiert, in diesem Beispiel die Ringfläche, definiert durch die Durchmesser D3 und D4.
  • Verläßt der Dämpfungsring 51.2 das Lagergehäuse 8, ist die gesamte Druckfläche frei. Der Zylinder hat nun über den Rest seines Weges die gleiche Kraft-Weg-Charakteristik wie ein ungeführter Balgzylinder, allerdings kann die maßliche Auslegung auch so gelegt werden, daß der Hub mit Erreichen der Gesamtdruckfläche beendet ist.
  • Nach dem Umschalten der Steuereinrichtung erfolgt der Einfahrhub unter Wirkung äußerer Kräfte. Hierbei schließt das Rückschlagventil 60 und das Druckmedium entweicht aus den Druckräumen 7 und 7.1 durch die Kanäle 21 und 20.1. Nach dem Auffahren des ersten Dämpfungsringes 51.2 auf das Lager­gehäuse 8 entsteht wieder eine Trennung in den oberen Druckraum 7.1 und den unteren Druckraum 7. Die äußeren Rückführungskräfte üben einen Druck auf das im oberen Druckraum 7.1 eingeschlossene Druckmedium aus. Dabei wer­den die Dämpfungsringe 51.1 und 51.2 in ihre untere axiale Stellung gebracht, so daß das Druckmedium um die Ringe 51.1 und 51.2 herum und durch die Spalte 26 in den unteren Druckraum 7 und damit zur drucklosen Druckmediumzufuhr 17.1 gelangen und somit abströmen kann.
  • Bei der beschriebenen Ausführungsform sind die unerwünschten hohen Anfangskräfte verringert, wodurch unter anderem die Anwendungsmöglichkeit einer Betätigungsvorrichtung gemäß der Erfindung erweitert wird. Es ist keine aufwendige Medium-Umdrucksteuerung erforderlich, um bei einer Be­tätigungsvorrichtung gemäß der Erfindung eine annähernd lineare Kraft-Weg-Charakteristik zu erhalten, wie sie bei Kolbenzylindern vorhanden ist.
  • Bei der beschriebenen Ausführungsform können bei gleich­bleibendem Mediumdruck, ausgehend von einer Anfangsdruck­fläche, weitere Druckflächen zugeschaltet werden, um da­durch die sich verkleinernde Wirkfläche des Balgzylinders bei steigendem Hub auszugleichen oder auch bei entspre­chender Bemessung nicht nur einen Ausgleich des Wirkflä­chenverlustes herbeizuführen, sondern sogar eine Ver­größerung. Damit kann ein Druckkraftverlauf erzielt wer­den, der mit geringer Kraft beginnt und zum Hub-Ende steigt.
  • Fig. 11 zeigt eine abgewandelte Ausführungsform, bei wel­cher dem fallenden Verlauf der Kraft während des Hubes dadurch entgegengewirkt wird, daß die Außenfläche des Lagergehäuses 8 und die entsprechende Innenfläche der Gehäuseteil-Ausnehmung 3b jeweils parabelstumpfförmig ausgebildet sind derart, daß der Wirkflächenverlust durch den sich während des Hubes verkleinernden Wirkdurchmesser an jeder Stelle des Hubes durch den sich nach oben ver­jüngenden Parabelstumpf ausgeglichen wird. Hierbei er­gibt sich über den gesamten Hub eine gleichbleibende Wirkkraft oder Druckkraft. Es können aber auch gewollte Abweichungen davon erzielt werden. Ermöglicht wird dies durch eine beispielhafte Dichtung 61, die sich an die sich vergrößernde Weite des Spaltes 26 anpaßt und diesen überbrückt.
  • Eine stark verringerte Anfangskraft ergibt sich, wenn das Rückschlagventil 60 in der Mediumzufuhr 17.1 angebracht wird und das Medium bei 17.2 zugeführt wird. Dann wird, wenn die Dämpfungsringe 51.1 und 51.2 zu der in Fig. 10 wiedergegebenen Anordnung umgekehrt angeordnet oder ein­gebaut werden, zuerst die Wirkfläche zwischen dem Durch­messer D3 und D4 (Fig. 10) beaufschlagt. Der Ausfahrhub beginnt dann mit geringer Anfangskraft, wobei diese sich dann, wenn S1 größer als S2 ist, stufig vergrößert. Im Falle der Ausführungsform gemäß Fig. 11 mit parabelstumpf­förmigem Lagergehäuse 8 ergibt sich eine stufenlose Ver­größerung, bis das Lagergehäuse 8 den Dämpfungsring bzw. die Dämpfungsringe oder den Dichtungsring 61, welcher ebenfalls umgekehrt eingebaut werden muß, verläßt.
  • Durch diese Anordnung ist es auch möglich, mit kleiner linearer Kraft einen Anstellhub zu fahren, um dann in genau definierter Weise die große Wirkfläche oder Druck­fläche zur Erzeugung eines großen Enddruckes wegabhängig zuzuschalten.
  • Statt des Rückschlagventiles 60 (Fig. 10) kann auch ein Drosselrückschlagventil vorgesehen sein. Eine entsprechen­de Einstellung der Drossel bewirkt durch nur langsamen Ausgleich des Unterdruckes ein sanftes Beginnen des Aus­fahrhubes.
  • Obwohl bei der Ausführungsform gemäß Fig. 11 das Lager­gehäuse 8 und die zugehörige Gehäuseteil-Ausnehmung 3b parabelstumpfförmig gebildet sind, könnte auch eine ent­sprechende kegelstumpfförmige Gestalt vorgesehen sein.
  • Bei der Ausführungsform gemäß Fig. 10 sind die Dämpfungs­ringe 51.1 und 51.2 jeweils in einer Nut angeordnet, die in der Wand der Ausnehmung 3b gebildet ist. Bei einer ab­gewandelten Ausführungsform (nicht dargestellt) sind die Dämpfungsringe jeweils in einer Nut des Lagergehäuses angeordnet. Bei einer weiteren abgewandelten Ausführungs­form weist der Dämpfungsring anstatt der axialen und radia­len Durchflußnuten eine bewegliche Dichtlippe auf, welche den Durchlaß des Mediums in einer Richtung sperrt und in der anderen Richtung freigibt, so daß eine Rückschlag­funktion erhalten ist.

Claims (23)

1. Mit einem Druckmedium arbeitende Betätigungs­vorrichtung, mit

- einem gummielastischen, vorzugsweise rotationssymmetrischen Balg, der mit seinen axialen Stirnseiten zwischen zwei Ge­häuseteilen mediumdicht angeordnet ist, sowie

- einem Führungselement, das das Innere des Balgs axial durchsetzt und

- mit dem ersten Gehäuseteil fest verbunden ist und

- an dem zweiten Gehäuseteil in einer eine axi­ale Relativbewegung zwischen diesem Gehäuse­teil und dem Führungselement ermöglichende Führung gelagert ist,

dadurch gekennzeichnet,

- daß zur Erzielung einer Innenführung der zwei Gehäuseteile (2, 3) zwischen dem zweiten Ge­häuseteil (2) und dem Führungselement (6) eine Gleit- oder Wälzführung (9) vorgesehen ist, die mediumdicht (bei l0) ausgebildet ist.
2. Betätigungsvorrichtung nach Anspruch l, da­durch gekennzeichnet, daß

- das Führungselement ein Bolzen (6) mit Kreis­querschnitt ist, und

- die Führung zwischen dem Führungselement (6) und dem zweiten Gehäuseteil (2) als ein in diesem angeordnetes Gleit- oder Wälzlager (9) ausgebildet ist, das zumindest druckraumseitig (7) mit einem Dichtungselement (l0) versehen ist.
3. Betätigungsvorrichtung nach Anspruch 2, da­durch gekennzeichnet, daß

- der Führungsbolzen (6) hohl ausgebildet ist.
4. Betätigungsvorrichtung nach einem der vorher­gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß

- die Führung zwischen dem Führungselement (6) und dem zweiten Gehäuseteil (2) innerhalb des durch den Balg (l) definierten Innenraums (7) liegt (Fig. 3 und 4).
5. Betätigungsvorrichtung nach einem der vorher­gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß

- im Innenraum (7) des Balgs (l) ein Gehäuseele­ment (ll) vorgesehen ist, das das Totvolumen des Balgs reduziert (Fig. l und 2).
6. Betätigungsvorrichtung nach Anspruch 5, da­durch gekennzeichnet, daß

- das die Führung (9) aufweisende zweite Gehäu­seteil (2, 3) in den Innenraum (7) des Balgs (l) derart hineingezogen ist, daß das Totvolu­men des Balgs reduziert wird (Fig. 3).
7. Betätigungsvorrichtung nach einem der vorher­gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß

- auf dem Führungselement (6) ein axial ein­stellbares Anschlagglied (44; 44) zur Ein­stellung der Hublänge angeordnet ist (Fig. 4).
8. Betätigungsvorrichtung nach einem der vorher­gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß im Innenraum des Balgs (l) mindestens ein zwischen den zwei Gehäuseteilen (2, 3) wirkendes Dämpfungselement (l8/4) angeordnet ist, das vorzugsweise durch einen Industrie-Stoßdämpfer dargestellt ist (Fig. 4a).
9. Betätigungsvorrichtung nach einem der vorher­gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß

- sie doppelt wirkend ausgebildet ist,

- die Rückstellvorrichtung ebenfalls durch eine Druckbalg-Konstruktion (40) dargestellt ist,

- und die Druckräume (7, 47) der beiden Bälge (l, 40) über ein Wegeventil (46) ansteuer­bar sind (Fig. 4).
l0. Betätigungsvorrichtung nach einem der vorher­gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,

- daß die beiden Gehäuseteile des Balgs drehfest zueinander geführt sind.
11. Betätigungsvorrichtung nach einem der vorher­gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß statt oder zusätzlich zu einer in der Mitte der Vorrichtung angeordneten Längsführung mehrere, auf einen Durch­messer an der Peripherie der Gehäuseteile (2, 3), jedoch den Balg (l) durchsetzende Längsführungen (6) vorgesehen sind.
12. Betätigungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11,
dadurch gekennzeichnet, daß
der erste Gehäuseteil (3) eine Ausnehmung (3a) auf­weist, in die bei Relativbewegung zwischen den beiden Gehäuseteilen (3, 2) ein den Balg (1) durchsetzendes Lagergehäuse (8) des zweiten Gehäuseteiles (2) ein­greift, und daß zwischen einem Raum (7.1) in der Aus­nehmung (3a) des ersten Gehäuseteiles (3) oberhalb des Lagergehäuses (8) und dem Innenraum (7) des Balgs (1) und/oder der Druckmediumzufuhr (17.1, 20.1, 21) eine Drosselverbindung (26, 51; 22, 23, 24, gebildet ist.
13. Betätigungsvorrichtung nach Anspruch 12,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Drosselverbindung zwischen dem Raum (7.1) in der Ausnehmung (3a) des ersten Gehäuseteiles (3) ober­halb des Lagergehäuses (8) und dem Innenraum (7) des Balgs (1) gebildet ist durch Anordnen des Lagergehäu­ses (8) mit radialem Zwischenraum (26) in der genann­ten Ausnehmung (3a) und durch Anordnen eines Dämpfungs­ringes (51) in einer Nut in der Wand der genannten Aus­nehmung (3a), und daß der Dämpfungsring eine mit dem Lagergehäuse (8) in Dichtungseingriff tretende radiale Dichtungsfläche (55) besitzt sowie an einer axialen Stirnfläche und an der radial äußeren Fläche mit Durchflußnuten (52, 53) für das Druckmedium gebildet ist.
14. Betätigungsvorrichtung nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß
die Drosselverbindung einen Kanal (22) aufweist, der mit der Druckmittelzufuhr (17.1, 20.1, 21) und über eine einstellbare Drossel (23, 25) mit einem weiteren Kanal (24) in Verbindung steht, der im Lagergehäuse (8) gebildet ist und in den Raum (7.1) in der Ausnehmung (3a) des ersten Gehäuseteiles (3) oberhalb des Lager­gehäuses (8) mündet.
15. Betätigungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 14,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Raum (7.1) in der Ausnehmung (3a) des ersten Ge­häuseteiles (3) oberhalb des Lagergehäuses (8) mit einer weiteren Druckmediumzufuhr (17.2) in Verbindung steht.
16. Betätigungsvorrichtung nach Anspruch 12,
dadurch gekennzeichnet, daß
das Lagergehäuse (8) des zweiten Gehäuseteiles (2) und die Ausnehmung (3b) des ersten Gehäuseteiles (3) einander entsprechend abgestuft sind.
17. Betätigungsvorrichtung nach Anspruch 16,
dadurch gekennzeichnet, daß
das Lagergehäuse (8) in der Ausnehmung (3b) des ersten Gehäuseteiles axial bewegbar ist bei Vorhandensein eines Ringspaltes (26) zwischen Lagergehäuse (8) und Ausnehmung (3b),und daß in einer Nut in einer Wand jeder Stufe der Gehäuseteil-Ausnehmung ein Dämpfungs­ring (51.1, 51.2) angeordnet ist, der eine mit der Außenfläche des Lagergehäuses (8) in Dichtungseingriff tretende radial innere Dichtfläche (55) besitzt und der an einer axialen Stirnfläche und an der radial äußeren Fläche mit Durchflußnuten (52, 53) versehen ist.
18. Betätigungsvorrichtung nach Anspruch 16,
dadurch gekennzeichnet, daß
das Lagergehäuse (8) in der Ausnehmung (3b) des ersten Gehäuseteiles axial bewegbar ist bei Vorhandensein eines Ringspaltes (26) zwischen Lagergehäuse (8) und Ausnehmung (3b), und daß in einer Nut jeder Stufe des Lagergehäuses (8) ein Dämpfungsring angeordnet ist, der eine mit der Wand der Ausnehmung (3b) in Dichtungs­eingriff tretende radial äußere Dichtfläche besitzt und der an einer axialen Stirnfläche und an der radial inneren Fläche mit Durchflußnuten versehen ist.
19. Betätigungsvorrichtung nach Anspruch 17 oder 18,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Dämpfungsring anstelle der Durchflußnuten eine bewegliche Dichtlippe aufweist, welche den Durchlaß des Mediums in einer Richtung sperrt und in der anderen Richtung freigibt.
20. Betätigungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 16 bis 19,
dadurch gekennzeichnet, daß
eine mit dem Raum (7.1) in der Ausnehmung (3a) des ersten Gehäuseteiles (3) oberhalb des Lagergehäuses (8) in Verbindung stehende Druckmediumzufuhr (17.2) vorge­sehen ist, in der ein Rückschlagventil (60) angeordnet ist.
21. Betätigungsvorrichtung nach Anspruch 20,
dadurch gekennzeichnet, daß
das Rückschlagventil (60) als Drosselrückschlagventil ausgebildet ist.
22. Betätigungsvorrichtung nach Anspruch 12,
dadurch gekennzeichnet, daß
das Lagergehäuse (8) und die dieses aufnehmende Aus­nehmung (3b) des ersten Gehäuseteiles (3) jeweils kegel­stumpfförmige bzw. parabelstumpfförmige Gestalt haben.
23. Betätigungsvorrichtung nach Anspruch 22,
gekennzeichnet durch
eine die beim Betrieb auftretenden sich ändernden Spaltweiten überbrückende Dichtung (61).
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