EA029914B1 - Прозрачное стекло с электропроводящим покрытием - Google Patents

Abstract

Прозрачное стекло, содержащее по меньшей мере одну прозрачную подложку (1) и по меньшей мере на одной поверхности прозрачной подложки (1) по меньшей мере одно электропроводящее покрытие (2), причем электропроводящее покрытие (2) содержит по меньшей мере два находящихся один над другим функциональных слоя (3) и каждый функциональный слой (3) содержит по меньшей мере один слой (4) материала с высоким показателем преломления, показатель преломления которого больше или равен 2,1, выше слоя материала с высоким показателем преломления (4) выравнивающий слой (5), который содержит по меньшей мере один некристаллический оксид, выше выравнивающего слоя (5) - нижний согласующий слой (6), выше нижнего согласующего слоя (6) - электропроводящий слой (7) - и выше электропроводящего слоя (7) - верхний согласующий слой (8), причем нижний согласующий слой (6) и/или верхний согласующий слой (8) содержит гомогенно распределенный по всему сечению слоя газопоглотитель (10), выбранный из группы, состоящей из ниобия, титана, бария, магния, тантала, циркония, тория, палладия, платины и их сплавов, и по меньшей мере один содержащий газопоглотитель (10) нижний согласующий слой (6) и/или согласующий слой (8) находится в прямом контакте с электропроводящим слоем (7).

Description

Изобретение относится к прозрачному оконному стеклу с электропроводящим покрытием, способу его получения и его применению.

Зону видимости автомобильного стекла, в частности лобового стекла, необходимо держать свободной ото льда и запотевания. В безрельсовых транспортных средствах с двигателем внутреннего сгорания можно, например, направлять на стекло поток воздуха, нагретый теплотой двигателя.

Альтернативно стекло может иметь электронагревательную функцию. Из документа ΌΕ 10352464 А1 известно, например, многослойное безопасное стекло, у которого между двумя стеклами вложены электронагревающие провода. При этом удельная мощность нагрева Р, например, примерно 600 Вт/м², может устанавливаться через омическое сопротивление провода. Из конструктивных соображений и из соображений безопасности число, а также диаметр проводов должны быть как можно меньше. Провода не должны или почти не должны быть заметны при дневном свете и ночью при свете фар.

Известны также прозрачные электропроводящие покрытия, в частности, на основе серебра. Патент ΥΘ 03/024155 А2 раскрывает, например, электропроводящее покрытие с двумя слоями серебра. Такие покрытия имеют, как правило, поверхностное сопротивление в диапазоне от 3 до 5 Ом/квадрат.

Удельная мощность нагрева Р электрообогреваемого покрытия с поверхностным сопротивлением К_{квадрат}, рабочим напряжением и и расстоянием И между двумя токоподводящими шинами можно рассчитать по формуле Р=и²/(К_{квадрат} хЬ²). Расстояние И между двумя токоподводящими шинами для типичных лобовых стекол легковых безрельсовых транспортных средств составляет примерно 0,8 м, что приблизительно соответствует высоте стекла. Чтобы при поверхностном сопротивлении 4 Ом/квадрат достичь желаемой удельной мощности нагрева Р 600 Вт/м², требуется рабочее напряжение и примерно 40 В. Так как напряжение бортовой сети безрельсового транспортного средства обычно составляет 14 В, необходим блок питания или трансформатор напряжения, чтобы достичь рабочего напряжения 40 В. Повышение напряжения с 14 В до 40 В всегда сопряжено с потерей электрической мощности и дополнительными затратами на дополнительные детали.

Документы И8 2007/0082219 А1 и И8 2007/0020465 А1 описывают прозрачные электропроводящие покрытия с по меньшей мере тремя слоями серебра. Для покрытий на основе этих трех серебряных слоев в И8 2007/0082219 А1 указано поверхностное сопротивление около 1 Ом/квадрат. Для рабочего напряжения и=14 В, поверхностного сопротивления К_{квадрат}=1 Ом/квадрат и расстояния Ь=0,8 м получается удельная мощность нагрева Р примерно 300 Вт/м².

Для получения достаточной удельной мощности нагрева Р, например примерно 500 Вт/м², в частности для обогрева более крупных стекол, требуется дальнейшее снижение поверхностного сопротивления электрообогреваемого покрытия. В случае электрообогреваемого покрытия с типично тремя слоями серебра этого можно достичь путем увеличения толщины отдельных серебряных слоев. Однако слишком большая толщина слоя серебра ведет к неудовлетворительным оптическим свойствам стекла, в частности, что касается светопропускания и цветового эффекта, так что нельзя соблюсти предписания закона, какие установлены, например, в ЕСЕ К 43 ("Единые предписания для разрешения на безопасное стекло и материалы для многослойных стекол"). Поэтому размеры слоев серебра должны рассчитываться так, чтобы проводимость была достаточно высокой для достаточного обогрева при одновременно достаточном светопропускании. При этом проводимость слоев зависит, прежде всего, от степени кристалличности осажденного серебра.

Обычно осаждение слоистой системы на стекло проводят перед гибкой и ламинированием лобового стекла. Таким образом, покрытие должно иметь достаточно высокую допустимую тепловую нагрузку. Однако нагревание листов с покрытием приводит в процессе гибки к окислению слоя серебра. Документ ЕР 2444381 А1 решает эту проблему путем нанесения блокирующего слоя рядом с содержащим серебро слоем. Этот блокирующий слой служит, в частности, для стабилизации содержащего серебро слоя во время термообработки и улучшает оптическое качество электрообогреваемого покрытия. В ЕР 2444381 А1 описан блокирующий слой, содержащий ниобий, титан, никель, хром или их сплавы, особенно предпочтительно сплавы никеля с хромом. Однако недостаток этого решения заключается в том, что блокирующий слой оказывает нежелательное отрицательное влияние на кристалличность содержащего серебро слоя.

Задача настоящего изобретения состоит в том, чтобы создать прозрачное стекло с электропроводящим покрытием, которое имеет по сравнению с уровнем техники улучшенную кристалличность и более низкое поверхностное сопротивление К_{квадрат}, а также разработать экономичный способ его получения. При этом стекло должно иметь высокое светопропускание и высокую нейтральность окраски и должно производиться без больших затрат.

Эта задача решена, согласно изобретению, прозрачным оконным стеклом с проводящим покрытием, способом его получения и его применением согласно независимым пунктам 1, 12 и 15. Предпочтительные варианты осуществления выявляются из зависимых пунктов.

Прозрачное стекло согласно изобретению содержит по меньшей мере одну прозрачную подложку и по меньшей мере одно электропроводящее покрытие по меньшей мере на одной поверхности прозрачной подложки, причем

электропроводящее покрытие содержит по меньшей мере два расположенных друг над другом

- 1 029914

функциональных слоя и каждый функциональный слой содержит, по меньшей мере

слой материала с высоким показателем преломления, показатель преломления которого больше или

равен 2,1,

выше слоя материала с высоким показателем преломления -выравнивающий слой, который содержит по меньшей мере один некристаллический оксид,

выше выравнивающего слоя - нижний согласующий слой, выше нижнего согласующего слоя - электропроводящий слой и выше электропроводящего слоя - верхний согласующий слой, причем

нижний согласующий слой и/или верхний согласующий слой содержит гомогенно распределенный по всему сечению слоя газопоглотитель, выбранный из группы, состоящей из ниобия, титана, бария, магния, тантала, циркония, тория, палладия, платины и их сплавов, и

по меньшей мере один содержащий газопоглотитель нижний согласующий слой и/или верхний согласующий слой находятся в прямом контакте с каждым электропроводящим слоем.

При этом газопоглотитель в согласующих слоях защищает соседние электропроводящие слои от окисления. Таким образом, благодаря предлагаемой изобретением слоистой структуре все электропроводящие слои прозрачного листа защищены от окисления. Так как согласующие слои согласно изобретению непосредственно прилегают к электропроводящим слоям, кристалличность согласующих слоев оптимально переносится на проводящие слои.

Когда говорится, что первый слой находится выше второго слоя, это означает в контексте изобретения, что первый слой находится дальше от прозрачной подложки, чем второй слой. Когда говорится, что первый слой находится под вторым слоем, это означает в контексте изобретения, что второй слой находится дальше от прозрачной подложки, чем первый слой. Самый верхний функциональный слой является функциональным слоем, наиболее удаленным от прозрачной подложки. Самый нижний функциональный слой является функциональным слоем, находящимся на минимальном расстоянии от прозрачной подложки.

В контексте изобретения слой может состоять из одного материала. Однако слой может также содержать два или более отдельных слоев их разных материалов. Например, функциональный слой согласно изобретению содержит по меньшей мере один слой материала с высоким показателем преломления, выравнивающий слой, нижний и верхний согласующий слой и электропроводящий слой.

Когда говорится, что первый слой находится над или под вторым слоем, это в контексте изобретения не обязательно означает, что эти первый и второй слои находятся в прямом контакте друг с другом. Между первым и вторым слоем могут находиться один или несколько других слоев, если только это не исключено явно.

Согласно изобретению электропроводящее покрытие нанесено по меньшей мере на одну поверхность прозрачной подложки. Однако электропроводящим покрытием согласно изобретению могут быть снабжены и обе поверхности прозрачной подложки.

Электропроводящее покрытие может простираться по всей поверхности прозрачной подложки. Однако альтернативно электропроводящее покрытие может находиться только на части поверхности прозрачной подложки. Электропроводящее покрытие предпочтительно распространяется по меньшей мере на 50%, особенно предпочтительно по меньшей мере на 70% и наиболее предпочтительно по меньшей мере на 90% поверхности прозрачной подложки.

Электропроводящее покрытие можно нанести прямо на поверхность прозрачной подложки. Альтернативно электропроводящее покрытие можно нанести на пленку-подложку, которая склеена с прозрачной подложкой.

Материалом с высоким показателем оптического преломления в контексте изобретения называется материал, показатель преломления которое больше или равен 2,1. Согласно уровню техники известны слоистые системы, у которых электропроводящие слои находятся между двумя диэлектрическими слоями. Эти диэлектрические слои обычно содержат нитрид кремния. Слои согласно изобретению из материала с высоким показателем преломления ведут к уменьшению поверхностного сопротивления электропроводящего слоя при одновременно хороших оптических свойствах прозрачного стекла, в частности, при высоком коэффициенте пропускания и нейтральной окраске. Благодаря слоям материала с высоким показателем преломления можно, в сочетании с выравнивающими слоями согласно изобретению, достичь предпочтительно низких значений поверхностного сопротивления и, тем самым, высокой удельной мощности нагрева.

Указанные значения показателя преломления измерены на длине волны 550 нм.

Предлагаемое изобретением прозрачное стекло с электропроводящим покрытием предпочтительно имеет полное светопропускание выше 70%. Термин "полное светопропускание" основан на способе проверки светопроницаемости автомобильных стекол, установленном в ЕСЕ-К43, приложение 3, §9.1.

Электропроводящее покрытие предпочтительно имеет поверхностное сопротивление менее 1 Ом/квадрат. Поверхностное сопротивление электропроводящего покрытия особенно предпочтительно составляет от 0,4 Ом/квадрат до 0,9 Ом/квадрат. В этом диапазоне поверхностных сопротивлений достигаются предпочтительно высокие удельные мощности нагрева Р.

- 2 029914

Нижний согласующий слой и/или верхний согласующий слой содержит газопоглотитель, однородно распределенный по всему сечению слоя. Газопоглотитель выбран из группы, состоящей из ниобия, титана, бария, магния, тантала, циркония, тория, палладия, платины. Газопоглотитель связывает кислород, так что соседние проводящие слои защищены от окисления. При этом нанесение дополнительного блокирующего слоя, содержащего такой газопоглотитель, не требуется. Известные из уровня техники блокирующие слои препятствуют продолжению кристаллизации нижележащего согласующего слоя на проводящий слой. Таким образом, отказ от блокирующего слоя улучшает кристалличность проводящего слоя и, тем самым, обусловливает также его проводимость. Таким образом, благодаря особенно выгодной, согласно изобретению, комбинации согласующего слоя и газопоглотителя можно повысить удельную мощность нагрева.

Газопоглотитель однородно распределен в согласующем слое согласно изобретению и, в отличие от известных в уровне техники блокирующих слоев, нанесен не только на поверхность согласующего слоя, но и содержится внутри него. Хотя по сечению согласующего слоя газопоглотитель может также иметь локальные скопления, но в среднем получается гомогенное распределение газопоглотителя по всей площади сечения. Таким образом, на обращенной к выравнивающему слою поверхности согласующего слоя имеется ровно столько газопоглотителя, что и на поверхности, обращенной к проводящему слою. Благодаря этому равномерному распределению газопоглотителя в согласующем слое имеется достаточно газопоглотителя для поглощения кислорода. Кроме того, кристалличность согласующего слоя оптимально переносится на проводящий слой, так как поверхность согласующего слоя не закрыта блокирующим слоем. Таким образом, электропроводящее покрытие согласно изобретению обладает по сравнению с уровнем техники более высокой проводимостью при одинаковой стойкости к окислению.

Газопоглотители могут, кроме того, содержать никель, хром, алюминий и/или их сплавы.

Для повышения суммарного светопропускания и/или для снижения поверхностного сопротивления прозрачное стекло с электропроводящим покрытием можно подвергнуть термообработке, например, при температуре от 500 до 700°С.

Оказалось, что электропроводящее покрытие согласно изобретению можно подвергнуть такой термообработке без повреждения покрытия из-за окисления. Кроме того, прозрачное стекло согласно изобретению может быть сделано выпуклым или вогнутым без повреждения покрытия в результате окисления. Это является большим преимуществом электропроводящего покрытия согласно изобретению.

Нижний согласующий слой и/или верхний согласующий слой предпочтительно содержат газопоглотитель в концентрации от 1 вес.% до 10 вес.%, предпочтительно от 2 вес.% до 10 вес.%, особенно предпочтительно от 3 вес.% до 10 вес.%, наиболее предпочтительно от 3 вес.% до 7 вес.%, в частности от 4 вес.% до 6 вес.%. При этом особенно хорошая защита электропроводящих слоев от окисления наблюдается в диапазоне концентраций выше 3 вес.%.

Газопоглощающий материал предпочтительно содержит титан.

Электропроводящее покрытие содержит от двух до пяти функциональных слоев.

В одном предпочтительном варианте осуществления изобретения электропроводящее покрытие содержит три функциональных слоя. Получение электропроводящего покрытия с четырьмя или более электропроводящими слоями технически трудоемко и накладно. Однако благодаря улучшенной проводимости структуры функциональных слоев по изобретению можно и с тремя функциональными слоями достичь достаточно высокой мощности нагрева.

В следующем предпочтительном варианте осуществления электропроводящее покрытие содержит четыре функциональных слоя. Так как в способе по изобретению согласующий слой и газопоглотитель осаждают из одной мишени, которая содержит оба компонента, в установке осаждения получается свободная катодная площадка. Эта катодная площадка в установке согласно уровню техники занята мишенью для осаждения блокирующего слоя. При высвобождении этой катодной площадки там можно установить другую мишень для осаждения четвертого электропроводящего слоя. В результате получение электропроводящего покрытия с четырьмя функциональными слоями при одинаковых размерах установки становится существенно проще и значительно экономичнее.

Слой материала с высоким показателем преломления предпочтительно имеет показатель преломления η от 2,1 до 2,5, особенно предпочтительно от 2,1 до 2,3.

Слой материала с высоким показателем преломления предпочтительно содержит по меньшей мере один смешанный нитрид кремния-металла, особенно предпочтительно смешанный нитрид кремнияциркония. Это особенно выгодно с точки зрения поверхностного сопротивления электропроводящего покрытия. Смешанный нитрид кремния-циркония предпочтительно содержит легирующие примеси. Слой материала с высоким показателем преломления может, например, содержать легированный алюминием смешанный нитрид кремния-циркония (81ΖγΝ_χ:Α1).

Смешанный нитрид кремния-циркония предпочтительно осажден путем магнетронного катодного распыления мишени, которая содержит от 40 вес.% до 70 вес.% кремния, от 30 вес.% до 60 вес.% циркония и от 0 вес.% до 10 вес.% алюминия, а также обусловленные производственными факторами примеси. Особенно предпочтительно мишень содержит от 45 вес.% до 60 вес.% кремния, от 35 вес.% до 55 вес.% циркония и от 3 вес.% до 8 вес.% алюминия, а также обусловленные производственными факторами

- 3 029914

примеси. Осаждение смешанного нитрида кремния-циркония предпочтительно осуществляется при добавлении азота как химически активного газа в процессе катодного распыления.

Однако слой материала с высоким показателем преломления может также содержать, например, по меньшей мере смешанный нитрид кремния-алюминия, смешанный нитрид кремния-гафния или смешанный нитрид кремния-титана. Альтернативно слой материала с высоким показателем преломления может содержать, например, ΜηΟ, νΟ₃, Ν6₂ϋ₅. Βί₂Ο₃, ΤίΟ₂, Ζτ₃Ν₄ и/или Α1Ν.

Толщина каждого слоя материала с высоким показателем преломления, который находится между двумя электропроводящими слоями, предпочтительно составляет от 35 нм до 70 нм, особенно предпочтительно от 45 до 60 нм. В этом диапазоне толщин слоя получаются особенно предпочтительное поверхностное сопротивление электропроводящего покрытия и особенно хорошие оптические свойства прозрачного стекла. Слой материала с высоким показателем преломления в контексте изобретения находится между двумя электропроводящими слоями, когда по меньшей мере один электропроводящий слой находится выше слоя материала с высоким показателем преломления и когда по меньшей мере один электропроводящий слой находится ниже слоя материала с высоким показателем преломления. Однако согласно изобретению, слой материала с высоким показателем преломления не находится в прямом контакте с соседними электропроводящими слоями.

Толщина самого нижнего слоя материала с высоким показателем преломления предпочтительно составляет от 20 до 40 нм. Этим достигаются особенно хорошие результаты.

В одном предпочтительном варианте осуществления изобретения выше самого верхнего функционального слоя находится покровный слой. Покровный слой защищает расположенные под ним слои от коррозии. Покровный слой предпочтительно является диэлектрическим. Покровный слой может содержать, например, нитрид кремния и/или оксид олова.

Покровный слой предпочтительно содержит по меньшей мере один материал с высоким показателем преломления, показатель преломления которого больше или равен 2,1. Покровный слой особенно предпочтительно содержит по меньшей мере один смешанный нитрид кремния и металла, в частности смешанный нитрид кремния-циркония, такой как легированный алюминием смешанный нитрид кремния-циркония. Это особенно выгодно с точки зрения оптических свойств прозрачного стекла согласно изобретению. Однако покровный слой может также содержать и другие смешанные нитриды кремния и металла, например, смешанный нитрид кремния-алюминия, смешанный нитрид кремния-гафния или смешанный нитрид кремния-титана. Альтернативно покровный слой может содержать также, например, ΜηΟ, νϋ₃, ΝΒ₂Ο₅, Βί₂Ο₃, Τίϋ₂, Ζτ₃Ν₄ и/или Α1Ν.

Толщина покровного слоя предпочтительно составляет от 20 до 40 нм. Этим достигаются особенно хорошие результаты.

Согласно изобретению каждый функциональный слой электропроводящего покрытия содержит по меньшей мере один выравнивающий слой. Выравнивающий слой расположен под первым согласующим слоем, предпочтительно между слоем материала с высоким показателем преломления и первым согласующим слоем. Выравнивающий слой предпочтительно находится в прямом контакте с первым согласующим слоем. Выравнивающий слой способствует оптимизации, в частности, сглаживанию поверхности электропроводящего слоя, наносимого позднее сверху. Осажденный на более гладкую поверхность электропроводящий слой имеет более высокий коэффициент светопропускания при одновременно более низком поверхностном сопротивлении.

Выравнивающий слой содержит по меньшей мере один некристаллический оксид. Оксид может быть аморфным или полиаморфным (и тем самым частично кристаллическим), но не полностью кристаллическим. Некристаллический выравнивающий слой имеет низкую шероховатость и благодаря этому образует предпочтительно гладкую поверхность для слоев, наносимых выше выравнивающего слоя. Некристаллический выравнивающий слой приводит, кроме того, к улучшенной структуре поверхности слоя, осаженного непосредственно на выравнивающий слой, предпочтительно являющегося первым согласующим слоем. Выравнивающий слой может, например, содержать по меньшей мере один оксид одного или нескольких элементов, выбранных из олова, кремния, титана, циркония, гафния, цинка, галлия и индия.

Выравнивающий слой предпочтительно содержит некристаллический смешанный оксид. Наиболее предпочтительно выравнивающий слой содержит смешанный оксид олова-цинка. Смешанный оксид может включать легирующие примеси. Выравнивающий слой может, например, содержать легированный сурьмой смешанный оксид олова-цинка (δηΖηΟ_χ:86). Смешанный оксид предпочтительно имеет подстехиометрическое содержание кислорода. Способ получения слоев из смешанного оксида олова-цинка путем реактивного катодного распыления известен, например, из патента ΌΕ 19848751 С1. Смешанный оксид олова-цинка предпочтительно осаждают из мишени, которая содержит от 25 вес.% до 80 вес.% цинка, от 20 вес.% до 75 вес.% олова и от 0 вес.% до 10 вес.% сурьмы, а также обусловленные производственными факторами примеси. Мишень особенно предпочтительно содержит от 45 вес.% до 75 вес.% цинка, от 25 вес.% до 55 вес.% олова и от 1 вес.% до 5 вес.% сурьмы, а также обусловленные производственными факторами примеси других металлов. Осаждение смешанного оксида олова-цинка осуществляется при добавлении кислорода как химически активного газа в процессе катодного распыления.

- 4 029914

Толщина выравнивающего слоя составляет предпочтительно от 3 до 20 нм, особенно предпочтительно от 4 до 12 нм. Выравнивающий слой предпочтительно имеет показатель преломления менее 2,2.

Электропроводящий слой предпочтительно содержит по меньшей мере один металл, например золото или медь, или сплав, особенно предпочтительно серебро или содержащий серебро сплав. Однако электропроводящий слой может также содержать другие известные специалисту электропроводящие материалы.

В одном предпочтительном варианте осуществления изобретения электропроводящий слой содержит по меньшей мере 90 вес.% серебра, предпочтительно по меньшей мере 99,9 вес.% серебра. Электропроводящий слой предпочтительно наносят обычными способами осаждения металлических слоев, например, способом вакуумного осаждения, как магнетронное катодное распыление.

Электропроводящий слой предпочтительно имеет толщину от 8 нм до 25 нм, особенно предпочтительно от 10 до 20 нм. Это особенно выгодно с точки зрения прозрачности и поверхностного сопротивления электропроводящего слоя.

Суммарная толщина всех электропроводящих слоев составляет согласно изобретению от 32 нм до 75 нм. В этом диапазоне суммарной толщины все электропроводящие слои с случае автомобильных стекол, в частности, лобового стекла, типично имеют расстояния й между двумя токоподводящими шинами и рабочее напряжение и в диапазоне от 12 до 15 В, предпочтительно достаточно высокую удельную мощность нагрева Р и одновременно достаточно высокое светопропускание. Слишком малые суммарные толщины всех электропроводящих слоев дают слишком высокое поверхностное сопротивление К._квадрат и, тем самым, слишком низкую удельную мощность нагрева Р. Слишком высокие суммарные толщины всех электропроводящих слоев слишком сильно снижают светопропускание через стекло, так что не выполняются требования к автомобильным стеклам согласно ЕСЕ-К 43. Оказалось, что особенно хорошие результаты достигаются при суммарной толщине всех электропроводящих слоев от 50 до 60 нм, в частности от 51 до 58 нм. Это особенно выгодно в отношении поверхностного сопротивления электропроводящего покрытия и светопропускания прозрачного стекла.

Нижний согласующий слой и/или верхний согласующий слой предпочтительно содержит оксид цинка Ζηθι_-δ с 0<δ<0,01. Оксид цинка предпочтительно осажден подстехиометрически по кислороду, чтобы предотвратить реакцию избыточного кислорода с содержащим серебро проводящим слоем, а также с газопоглотителем. Помимо оксида цинка в согласующих слоях могут содержаться также и другие керамические компоненты. Предпочтительно добавлять дополнительные оксиды, например, оксид алюминия. Слой оксида цинка предпочтительно наносят путем магнетронного катодного распыления. Нижний согласующий слой и/или верхний согласующий слой содержит газопоглотитель. По меньшей мере один согласующий слой каждого функционального слоя содержит газопоглотитель. Второй согласующий слой функционального слоя может факультативно содержать газопоглотитель.

Мишень для осаждения согласующего слоя с газопоглотителем содержит от 90 вес.% до 99 вес.% керамики на основе оксида цинка и от 1 вес.% до 10 вес.% газопоглотителя, предпочтительно от 90 вес.% до 98 вес.% керамики на основе оксида цинка и от 2 вес.% до 10 вес.% газопоглотителя, особенно предпочтительно от 90 вес.% до 97 вес.% керамики на основе оксида цинка и от 3 вес.% до 10 вес.% газопоглотителя, наиболее предпочтительно от 93 вес.% до 97 вес.% керамики на основе оксида цинка и от 3 вес.% до 7 вес.% газопоглотителя, в частности от 94 вес.% до 96 вес.% керамики на основе оксида цинка и от 4 вес.% до 6 вес.% газопоглотителя. Эта керамика на основе оксида цинка может, со своей стороны, также содержать другие оксидные компоненты, например, оксид алюминия. В одном предпочтительном варианте осуществления керамика на основе оксида цинка содержит от 85 вес.% до 100 вес.% оксида цинка, особенно предпочтительно от 95 вес.% до 99 вес.% оксида цинка, а также от 1 вес.% до 5 вес.% оксида алюминия. Кроме того, могут содержаться обусловленные производственными факторами примеси. В качестве газопоглотителя предпочтительно применяется титан. При осаждении согласующего слоя без газопоглотителя мишень предпочтительно содержит от 85 вес.% до 100 вес.% оксида цинка, а также обусловленные производственными факторами примеси. Особенно предпочтительно мишень содержит от 85 вес.% до 99 вес.% оксида цинка и от 1 вес.% до 15 вес.% оксида алюминия, в частности от 95 вес.% до 99 вес.% оксида цинка и от 1 вес.% до 5 вес.% оксида алюминия, а также обусловленные производственными факторами примеси. Осаждение верхнего согласующего слоя и нижнего согласующего слоя проводят предпочтительно путем магнетронного катодного распыления с использованием инертного газа, например, аргона или криптона. Согласующие слои, которые не содержат газопоглотителя, можно альтернативно нанести также посредством металлической мишени при добавке кислорода как химически активного газа, что в уровне технике известно и описано, например, в ЕР 2444381 А1.

Толщина нижнего согласующего слоя и верхнего согласующего слоя предпочтительно составляет от 3 до 20 нм, особенно предпочтительно от 4 до 12 нм.

Как верхний согласующий слой, так и нижний согласующий слой могут содержать газопоглотитель, причем предпочтительно по меньшей мере нижний согласующий слой содержит газопоглотитель. Нижний согласующий слой с газопоглотителем находится непосредственно под электропроводящим слоем и служит, в частности, для стабилизации электропроводящего слоя от окисления. В результате улучшаются оптические свойства электропроводящего покрытия. Верхний согласующий слой нанесен

- 5 029914

непосредственно на электропроводящий слой.

Прозрачная подложка предпочтительно выполнена из стекла, особенно предпочтительно листового стекла, флоат-стекла, кварцевого стекла, боросиликатного стекла, натриевого-кальциевого стекла или из прозрачной пластмассы, предпочтительно жестких прозрачных пластмасс, в частности, из полиэтилена, полипропилена, поликарбоната, полиметилметакрилата, полистирола, полиамида, полиэфира, поливинилхлорида и/или их смесей. Примеры подходящих стекол известны из документа ΌΕ 69731268 Т2, с. 8, параграф (0053).

Толщина прозрачной подложки может варьироваться в широких пределах и, тем самым, может отлично подбираться к требованиям в каждом конкретном случае. Предпочтительно используются стекла со стандартными толщинами от 1,0 мм до 25 мм, предпочтительно от 1,4 мм до 2,6 мм. Размер прозрачной подложки может быть самым разным и зависит от применения согласно изобретению. Например, в области автомобилестроения и архитектуры прозрачная подложка имеет типичные поверхности от 200 до 4 м²

Прозрачная подложка может иметь произвольную трехмерную форму. Предпочтительно трехмерная форма не содержит никаких теневых зон, чтобы на нее можно было, например, нанести покрытие катодным распылением. Прозрачная подложка предпочтительно является плоской или сильно изогнутой в одном или нескольких пространственных направлениях. Прозрачная подложка может быть бесцветной или окрашенной.

В одном предпочтительном варианте осуществления изобретения прозрачная подложка соединена по меньшей мере одной ламинирующей пленкой со вторым стеклом с получением многослойного стекла. Электропроводящее покрытие согласно изобретению предпочтительно нанесено на обращенную к ламинирующей пленке поверхность прозрачной подложки. Этим электропроводящее покрытие предпочтительно защищается от повреждений и коррозии.

Многослойное стекло предпочтительно имеет полное светопропускание выше 70%.

Ламинирующая пленка предпочтительно содержит термопластичную пластмассу, например, поливинилбутираль (РУВ), этиленвинилацетат (ЕУА), полиуретан (РИ), полиэтилентерефталат (ΡΕΤ) или несколько слоев из этих материалов, предпочтительно толщинами от 0,3 мм до 0,9 мм.

Второй лист предпочтительно выполнен из стекла, особенно предпочтительно из листового стекла, флоат-стекла, кварцевого стекла, боросиликатного стекла, натриевого-кальциевого стекла или из прозрачной пластмассы, предпочтительно из жесткой прозрачной пластмассы, в частности, из полиэтилена, полипропилена, поликарбоната, полиметилметакрилата, полистирола, полиамида, полиэфира, поливинилхлорида и/или их смесей. Второе стекло предпочтительно имеет толщину от 1,0 мм до 25 мм, особенно предпочтительно от 1,4 мм до 2,6 мм.

Электропроводящее покрытие распространяется предпочтительно на всю поверхность прозрачной подложки за исключением периметровой кромочной области без покрытия шириной от 2 мм до 20 мм, предпочтительно от 5 мм до 10 мм. Область без покрытия предпочтительно герметично закрыта ламинирующей пленкой или акрилатным клеем как преграда от диффузии пара. Блокирование диффузии пара защищает подверженное коррозии электропроводящее покрытие от влаги и кислорода воздуха. Если многослойное стекло предназначено для применения как автомобильное стекло, например лобовое стекло, то периметровая область без покрытия обеспечивает, кроме того, электрическую изоляцию между находящимся под напряжением покрытием и кузовом безрельсового транспортного средства.

Прозрачная подложка может быть свободной от покрытия в по меньшей мере одной другой области, которая служит, например, окном передачи данных или коммуникационным окном. Прозрачное стекло в этой другой, не содержащей покрытия области проницаемо для электромагнитного и, в частности, инфракрасного излучения.

Электропроводящее покрытие можно нанести прямо на поверхность прозрачной подложки. Альтернативно электропроводящее покрытие можно нанести на пленочную подложку, введенную между двумя ламинирующими пленками. Пленочная подложка предпочтительно содержит термопластичный полимер, в частности поливинилбутираль (РУВ), этиленвинилацетат (ЕУА), полиуретан (РИ), полиэтилентерефталат (ΡΕΤ) или их комбинации.

Прозрачная подложка может быть соединена, например, также со вторым стеклом через дистанционный элемент с получением изолирующего стеклопакета. Прозрачная подложка может также быть соединена более чем с одним дополнительным стеклом посредством ламинирующих пленок и/или дистанционных элементов. Если прозрачная подложка соединена с одним или более дополнительными стеклами, то один или несколько из этих дополнительных стекол также могут иметь электропроводящее покрытие.

В одном особенно предпочтительном варианте осуществления электропроводящее покрытие выполнено с подходящими средствами для приложения напряжения и поэтому способно обогреваться. Альтернативно электропроводящее покрытие можно также выполнить необогреваемым, например, для защиты от ИК-излучения, благодаря чему снижается нагрев внутри средства передвижения от прямых солнечных лучей.

Предпочтительно электропроводящее покрытие соединяют посредством токоподводящих шин с ис- 6 029914

точником напряжения, и прикладываемое к электропроводящему покрытию напряжение имеет величину от 12 В до 15 В. Коллекторы, так называемые токоподводящими шинами, служат для передачи электрической мощности. Примеры подходящих токоподводящих шин известны из документов ΌΕ 10333618 В3 и ЕР 0025755 В1.

Токоподводящие шины предпочтительно получают путем печати проводящей пастой. Если прозрачную подложку после нанесения электропроводящего покрытия гнут, то проводящую пасту отжигают предпочтительно перед гибкой и/или во время гибки прозрачной подложки. Проводящая паста предпочтительно содержит частицы серебра и стеклянную фритту. Толщина слоя отожженной проводящей пасты предпочтительно составляет от 5 до 20 мкм.

В альтернативной структуре в качестве токоподводящей шины применяются тонкие и узкие полоски металлической фольги или металлическая проволока, которые предпочтительно содержат медь и/или алюминий, в частности, используются полоски медной фольги толщиной предпочтительно от 10 мкм до 200 мкм, например примерно 50 мкм. Ширина полосок медной фольги предпочтительно составляет от 1 мм до 10 мм. Электрический контакт между электропроводящим покрытием и токоподводящей шиной может быть достигнут, например, припаиванием или приклеиванием электропроводящим клеем. Если прозрачная подложка является частью многослойного стекла, то полоски медной фольги или металлическую проволоку можно уложить на электропроводящее покрытие при совместной укладке комбинированных слоев. В более позднем процессе автоклавирования под действием тепла и давления достигается надежный электрический контакт между токоподводящими шинами и покрытием.

В области средств передвижения в качестве подводящего провода для контакта токоподводящих шин внутри многослойного стекла обычно применяются пленочные проводники. Примеры пленочных проводников описаны в ΌΕ 4235063 А1, ΌΕ 202004019286 И1 и ΌΕ 9313394 И1.

Гибкие пленочные проводники, иногда называемые также неизолированными проводниками или неизолированными ленточными проводниками, состоят предпочтительно из луженой медной полоски толщиной от 0,03 мм до 0,1 мм и шириной от 2 мм до 16 мм. Медь хорошо зарекомендовала себя для таких проводящих лент, так как она имеет хорошую электропроводимость, а также хорошо перерабатывается с получением фольги. В то же время расходы на материал являются низкими. Можно применять также и другие электропроводящие материалы, которые можно переработать в пленки. Примерами являются алюминий, золото, серебро или олово и их сплавы.

Для электроизоляции и стабилизации луженую медную полоску наносят на основу из пластмассы или ламинируют с ней с обеих сторон. Изоляционный материал содержит, как правило, пленку на полиимидной основе толщиной от 0,025 мм до 0,05 мм. Можно также использовать другие пластмассы или материалы с требуемыми изоляционными свойствами. В одной полосе пленочного проводника может находиться несколько изолированных друг от друга по току проводящих слоев.

Пленочные проводники, которые подходят для контакта электропроводящего слоя в многослойном стекле, имеют суммарную толщину 0,3 мм. Такие тонкие пленочные проводники можно без труда заделать между отдельными стеклами в ламинирующую пленку.

Альтернативно в качестве подводящего провода можно использовать тонкую металлическую проволоку. Металлическая проволока содержит, в частности, медь, вольфрам, золото, серебро или алюминий или сплавы по меньшей мере двух из этих металлов. Сплавы могут также содержать молибден, рений, осмий, иридий, палладий или платину.

Кроме того, изобретение относится к способу получения прозрачного стекла согласно изобретению с электропроводящим покрытием, причем по меньшей мере два функциональных слоя наносят последовательно на прозрачную подложку и для нанесения каждого функционального слоя последовательно наносят, по меньшей мере

a) слой материала с высоким показателем преломления, показатель преломления которого больше или равен 2,1,

b) выравнивающий слой, который содержит по меньшей мере один некристаллический оксид,

c) нижний согласующий слой, й) электропроводящий слой и е) верхний согласующий слой

причем нижний согласующий слой и/или верхний согласующий слой наносят одновременно с содержащимся в них газопоглотителем.

Отдельные слои осаждают известными способами, например магнетронным катодным распылением. Катодное распыление проводят в атмосфере защитного газа, например, аргона или криптона, или в атмосфере химически активного газа, например, с добавлением кислорода или азота.

Верхний согласующий слой и/или нижний согласующий слой, когда они содержат газопоглотитель, осаждают магнетронным катодным распылением с использованием инертного газа. В качестве мишени при этом применяется керамическая мишень. В одном предпочтительном варианте осуществления применяется керамическая мишень на основе оксида цинка, в которую добавлен газопоглотитель, предпочтительно титан. Металлические мишени в предлагаемом изобретением способе осаждения согласующих слоев с газопоглотителем не годятся, так как они для образования керамического слоя, как, например,

- 7 029914

оксид цинка, должны осаждаться в присутствии кислорода, при этом содержащийся в мишени газопоглотитель окислился бы. При использовании керамической мишени цинк уже находится в окисленной форме в виде оксида цинка, так что его можно осадить с аргоном или криптоном в качестве инертного газа. Содержащийся в мишени газопоглотитель, например титан, при этом не окисляется.

Верхний согласующий слой и/или нижний согласующий слой осаждены предпочтительно катодным распылением керамической мишени, содержащей от 1 вес.% до 10 вес.%, предпочтительно от 2 вес.% до 8 вес.%, особенно предпочтительно от 3 вес.% до 7 вес.% газопоглотителя. При этом керамическая мишень предпочтительно имеет в основе оксид цинка. В одном особенно предпочтительном варианте осуществления керамика на основе оксида цинка содержит при этом от 95 вес.% до 99 вес.% ΖηΟ и от 1 вес.% до 5 вес.% А1₂О₃. Эта керамика на основе оксида цинка составляет от 90 вес.% до 100 вес.% основного компонента мишени для осаждения согласующих слоев. Если получаемый в результате согласующий слой должен содержать газопоглотитель, то мишень, применяемая для его осаждения, содержит от 90 вес.% до 99 вес.% керамики на основе оксида цинка, а также от 1 вес.% до 10 вес.% газопоглотителя, предпочтительно от 92 вес.% до 98 вес.% керамики на основе оксида цинка и от 2 вес.% до 8 вес.% газопоглотителя, особенно предпочтительно от 93 вес.% до 97 вес.% керамики на основе оксида цинка и от 3 вес.% до 7 вес.% газопоглотителя.

Согласующие слои согласно изобретению с газопоглотителем предпочтительно осаждают при давлении от 0,5-10^-6 бар до 5-10^-6 бар с применением источника импульсного постоянного напряжения в атмосфере аргона как инертного газа. Особенно предпочтительно осаждение осуществляют мультичастотным катодным распылением в диапазоне частот от 25 кГц до 50 кГц с использованием двух мишеней, которые в процессе напыления имеют противоположные, периодически переключаемые заряды.

Толщина отдельных слоев с желательными свойствами в отношении пропускания, поверхностного сопротивления и цветовых оттенков просто устанавливается специалистом путем моделирования в диапазонах вышеуказанных толщин слоев.

В одном предпочтительном варианте осуществления изобретения электропроводящее покрытие соединяют с по меньшей мере двумя токоподводящими шинами, прозрачную подложку и второе стекло нагревают до температуры 500-700°С и прозрачную подложку и второе стекло соединяют по всей поверхности ламинирующей пленкой. Нагревание стекла может осуществляться в рамках процесса гибки. Электропроводящее покрытие должно, в частности, быть способным выдерживать процесс гибки и/или процесс соединения без повреждений. Свойства, в частности поверхностное сопротивление вышеописанного электропроводящего покрытия в результате нагревания, как правило, улучшаются.

Далее изобретение относится к применению прозрачного стекла согласно изобретению в качестве оконного стекла или компонента оконного стекла, в частности в качестве компонента изолирующего остекления или многослойного стекла, в зданиях или в средствах передвижения для перемещения по земле, в воздухе или на воде, в частности, в безрельсовых транспортных средствах, например, в качестве лобового стекла, заднего стекла, бокового стекла и/или стекла в крыше.

Далее изобретение подробнее поясняется на чертежах и примерах осуществления. Чертежи представляют собой схематическое изображение и выполнены без точного соблюдения масштаба. Чертежи никоим образом не ограничивают изобретение.

Показано

Фиг. 1 - вид в разрезе одного примера осуществления прозрачного листа согласно изобретению с электропроводящим покрытием.

Фиг. 2 - вид сверху прозрачного листа согласно изобретению как части многослойного стекла.

Фиг. 3 - сечение по линии А-А' многослойного стекла с фиг. 2.

Фиг. 4 - блок-схема способа согласно изобретению.

Фиг. 1 показывает в разрезе один пример осуществления прозрачного стекла согласно изобретению с электропроводящим покрытием, причем лист содержит прозрачную подложку (1) и электропроводящее покрытие (2). Подложка (1) содержит флоат-стекло и имеет толщину 2,1 мм. Электропроводящее покрытие (2) содержит три функциональных слоя (3), в том числе первый функциональный слой (3.1), второй функциональный слой (3.2) и третий функциональный слой (3.3), которые расположены один на другом по всей поверхности. Каждый функциональный слой (3) содержит

слой (4) материала с высоким показателем преломления, обозначенный соответственно как первый слой материала с высоким показателем преломления (4.1), второй слой материала с высоким показателем преломления (4.2) и третий слой материала с высоким показателем преломления (4.3),

выравнивающий слой (5), обозначенный соответственно как первый выравнивающий слой (5.1), второй выравнивающий слой (5.2) и третий выравнивающий слой (5.3),

нижний согласующий слой (6), обозначенный соответственно как первый нижний согласующий слой (6.1), второй нижний согласующий слой (6.2) и третий нижний согласующий слой (6.3),

газопоглотитель (10), содержащийся в первом нижнем согласующем слое (6.1), втором нижнем согласующем слое (6.2) и третьем нижнем согласующем слое (6.3),

электропроводящий слой (7), обозначенный соответственно как первый электропроводящий слой (7.1), второй электропроводящий слой (7.2) и третий электропроводящий слой (7.3),

- 8 029914

верхний согласующий слой (8), обозначенный соответственно как первый верхний согласующий слой (8.1), второй верхний согласующий слой (8.2) и третий верхний согласующий слой (8.3).

Слои расположены в указанном порядке в направлении увеличения расстояния от прозрачной подложки (1). Выше третьего функционального слоя (3.3) расположен покровный слой (9). Точная последовательность функциональных слоев (3.1, 3.2, 3.3) с подходящими материалами и типичными толщинами слоя соответствуют в направлении снизу вверх от стекла толщиной 2,1 мм в качестве прозрачной подложки (1)

легированному алюминием смешанному нитриду кремния-циркония (8ίΖτΝ_χ:Α1) в качестве слоя (4) материала с высоким показателем преломления толщиной 28 нм (4.1), 59 нм (4.2) или 60 нм (4.3),

легированному сурьмой смешанному оксиду олова-цинка (8ηΖηΟ_χ:86) толщиной 6 нм в качестве выравнивающего слоя (5),

легированному титаном оксиду цинка-алюминия (ΖηΟ:Λ1₂θ3:Τί) толщиной 10 нм в качестве нижнего согласующего слоя (6) с газопоглотителем (10),

слою серебра толщиной 18 нм в качестве электропроводящего слоя (7),

оксиду цинка-алюминия (ΖηΟ:Α1₂Ο₃) толщиной 5 нм в качестве верхнего согласующего слоя (8).

При этом первый функциональный слой (3.1) нанесен непосредственно на прозрачную подложку

(1), тогда как второй функциональный слой (3.2) нанесен на первый функциональный слой, а третий функциональный слой (3.3) находится на втором функциональном слое (3.2).

Самый верхний слой электропроводящего покрытия (2) образует покровный слой (9), который нанесен на третий функциональный слой (3.3). Покровный слой (9) состоит из легированного алюминием смешанного нитрида кремния-циркония (8ίΖτΝ_χ:Α1) толщиной слоя 40 нм.

Отдельные слои электропроводящего покрытия (2) были осаждены катодным распылением. Мишень для осаждения нижнего согласующего слоя (6) содержит 95 вес.% керамики на основе оксида цинка и 5 вес.% титана. При этом керамика на основе оксида цинка содержит 98 вес.% ΖηΟ и 2 вес.% Α1₂Ο₃. Мишень для осаждения верхнего согласующего слоя (8) состояла из этой керамики на основе оксида цинка, содержащей 98 вес.% ΖηΟ и 2 вес.% Α1₂Ο₃. Осаждение согласующих слоев (6,8) проводилось катодным распылением в присутствии аргона. Мишень для осаждения выравнивающего слоя (5) содержала 68 вес.% олова, 30 вес.% цинка и 2 вес.% сурьмы. Осаждение осуществлялось при добавлении кислорода как химически активного газа в процессе катодного распыления. Мишень для осаждения слоев материала с высоким показателем преломления (4), а также покровного слоя (9) содержала 52,9 вес.% кремния, 43,8 вес.% циркония и 3,3 вес.% алюминия. Осаждение осуществлялось при добавлении азота как химически активного газа во время катодного распыления.

Благодаря выполнению, согласно изобретению, электропроводящего покрытия (2) с нижним согласующим слоем (б), содержащим газопоглотитель (10), выгодным образом снижается поверхностное сопротивление по сравнению с уровнем техники, тем самым достигается улучшенная удельная мощность нагрева. Комбинация нижнего согласующего слоя (6) и газопоглотителя (10) делает ненужным применение дополнительного блокирующего слоя для защиты электропроводящего слоя от кислорода. Так как нижний согласующий слой (6) находится в прямом контакте с содержащим серебро электропроводящим слоем (7), гарантируется рост кристаллов серебра. Эта улучшенная кристалличность серебра ведет к желаемому снижению поверхностного сопротивления электропроводящего покрытия согласно изобретению. При этом оптические свойства предлагаемого изобретением прозрачного стекла с электропроводящим покрытием удовлетворяют законодательным требованиям к остеклению в транспортном машиностроении.

Фиг. 2 и 3 показывают часть предлагаемого изобретением прозрачного листа с электропроводящим покрытием (2) как части многослойного стекла. Многослойное стекло предусмотрено для применения в качестве лобового стекла легкового безрельсового транспортного средства. Прозрачная подложка (1) соединена с помощью ламинирующей пленки (16) со вторым стеклом (11). Фиг. 2 показывает вид сверху на обращенную от ламинирующей пленки (16) поверхность прозрачной подложки (1). Прозрачная подложка (1) является листом, обращенным внутрь легкового безрельсового транспортного средства. Прозрачная подложка (1) и второе стекло (11) содержат флоат-стекло и имеют толщину 2,1 мм каждый. Ламинирующая пленка (16) содержит поливинилбутираль (РУВ) и имеет толщину 0,76 мм.

На обращенную к ламинирующей пленке (16) поверхность прозрачной подложки (1) нанесено электропроводящее покрытие (2). Электропроводящее покрытие (2) распространяется на всю поверхность прозрачной подложки (1) за вычетом расположенной по периметру, не содержащей покрытия области в форме рамки шириной Ь, равной 8 мм. Не содержащая покрытия область служит для электроизоляции между находящимся под напряжением электропроводящим покрытием (2) и кузовом средства передвижения. Не содержащая покрытия область герметично закрыта путем склеивания с ламинирующей пленкой (16), чтобы защитить электропроводящее покрытие (2) от повреждений и коррозии.

На внешней верхней и нижней кромке прозрачной подложки (1) находится токоподводящая шина (12). Токоподводящая шина (12) напечатана с помощью проводящей серебряной пасты на электропроводящем покрытии (2) и отожжена. Толщина слоя отожженной серебряной пасты составляет 15 мкм. Токоподводящая шина (12) соединена по току с нижележащими областями электропроводящего покрытия (2).

- 9 029914

Подводящие провода (15) состоят из луженой медной фольги шириной 10 мм и толщиной 0,3 мм. Каждый подводящий провод (15) припаян к токоподводящей шине (12). Электропроводящее покрытие

(2) через токоподводящую шину (12) и подводящий провод (15) соединено с источником напряжения (13). Источник напряжения (13) является бортовым напряжением 14 В автотранспортного средства.

На второе стекло (11) по краю обращенной к ламинирующей пленке (16) поверхности нанесен непрозрачный слой краски шириной а, равной 20 мм, как уплотнительная печать (14). Уплотнительная печать (14) маскирует клеевую полосу, с помощью которой многослойное стекло вклеено в кузов средства передвижения. Уплотнительная печать (14) служит одновременно защитой клея от УФ-излучения и, тем самым, защитой клея от преждевременного старения. Кроме того, уплотнительная печать (14) закрывает токоподводящую шину (12) и подводящие провода (15).

Фиг. 3 показывает сечение по линии А-А' многослойного стекла с фиг. 2 в области нижней кромки. Можно видеть прозрачную подложку (1) с электропроводящим покрытием (2), второе стекло (11), ламинирующую пленку (16), токоподводящую шину (12), подводящий провод (15), а также уплотнительную печать (14).

Фиг. 4 показывает блок-схему способа согласно изобретению. На первом этапе слой материала с высоким показателем преломления осаждают на прозрачную подложку, а затем на нее наносят выравнивающий слой. На выравнивающий слой осаждают нижний согласующий слой с газопоглотителем, причем газопоглотитель однородно распределен в согласующем слое и нанесен в один этап с ним. На нижний согласующий слой наносят электропроводящий слой, а на него верхний согласующий слой. В результате получается первый функциональный слой, состоящий из слоя материала с высоким показателем преломления, выравнивающего слоя, нижнего согласующего слоя с газопоглотителем, электропроводящего слоя и верхнего согласующего слоя. На этот первый функциональный слой нанесен по меньшей мере один второй функциональный слой, максимум четыре других функциональных слоя. Слоистую систему завершают осаждением покровного слоя на самый верхний функциональный слой. После этого слоистую систему в результате введения токоподводящей шины соединяют по току с подводящим проводом. На эту систему укладывают ламинирующую пленку и второе стекло с уплотнительной печатью и систему ламинируют с получением многослойного безопасного стекла.

Список ссылочных позиций

1 прозрачная подложка

2 электропроводящее покрытие

3 функциональный слой

3.1 первый функциональный слой

3.2 второй функциональный слой

3.3 третий функциональный слой

4 слой материала с высоким показателем преломления

4.1 первый слой материала с высоким показателем преломления

4.2 второй слой материала с высоким показателем преломления

4.3 третий слой материала с высоким показателем преломления

5 выравнивающий слой

5.1 первый выравнивающий слой

5.2 второй выравнивающий слой

5.3 третий выравнивающий слой

6 нижний согласующий слой

6.1 первый нижний согласующий слой

6.2 второй нижний согласующий слой

6.3 третий нижний согласующий слой

7 электропроводящий слой

7.1 первый электропроводящий слой

7.2 второй электропроводящий слой

7.3 третий электропроводящий слой

8 верхний согласующий слой

8.1 первый верхний согласующий слой

8.2 второй верхний согласующий слой

8. 3 третий верхний согласующий слой

9 покровный слой

10 газопоглотитель

11 второе стекло

12 токоподводящая шина

13 источник напряжения

14 уплотнительная печать

15 подводящий провод

16 ламинирующая пленка

- 10 029914

а ширина области, покрытой уплотнительной печатью (14) Ь ширина области, не содержащей покрытия А-А' линия сечения

Claims (29)

1. ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ

   1. Прозрачное стекло, содержащее по меньшей мере одну прозрачную подложку (1) и по меньшей мере на одной стороне прозрачной подложки (1) по меньшей мере одно электропроводящее покрытие (2), причем

   электропроводящее покрытие (2) имеет по меньшей мере два расположенных один над другим функциональных слоя (3) и каждый функциональный слой (3) содержит по меньшей мере

   один слой (4) материала с высоким показателем преломления, показатель преломления которого больше или равен 2,1,

   выравнивающий слой (5), содержащий по меньшей мере один некристаллический оксид, расположенный над слоем (4) материала с высоким показателем преломления,

   нижний согласующий слой (6), расположенный над выравнивающим слоем (5), электропроводящий слой (7), расположенный над нижним согласующим слоем (6), и верхний согласующий слой (8), расположенный над электропроводящим слоем (7), причем нижний согласующий слой (6) и/или верхний согласующий слой (8) содержит гомогенно распределенный по всему сечению слоя газопоглотитель (10), выбранный из группы, состоящей из ниобия, титана, бария, магния, тантала, циркония, тория, палладия, платины и их сплавов,

   отличающееся тем, что

   указанный содержащий газопоглотитель (10), нижний согласующий слой (6) и/или верхний согласующий слой (8) находятся в прямом контакте с электропроводящим слоем (7),

   нижний согласующий слой (6) и/или верхний согласующий слой (8) содержит газопоглотитель (10) в концентрации от 1 до 10 вес.%,

   выравнивающий слой (5) содержит по меньшей мере один некристаллический смешанный оксид, нижний согласующий слой (6) и верхний согласующий слой (8) содержат оксид цинка Ζηθι_-δ с

   0<δ<0,01.
2. 2. Прозрачное стекло по п.1, причем нижний согласующий слой (6) и/или верхний согласующий слой (8) содержит газопоглотитель (10) в концентрации от 2 до 10 вес.%.
3. 3. Прозрачное стекло по п.2, причем нижний согласующий слой (6) и/или верхний согласующий слой (8) содержит газопоглотитель (10) в концентрации от 3 до 10 вес.%.
4. 4. Прозрачное стекло по п.2, причем нижний согласующий слой (6) и/или верхний согласующий слой (8) содержит газопоглотитель (10) в концентрации от 3 до 7 вес.%.
5. 5. Прозрачное стекло по п.2, причем нижний согласующий слой (6) и/или верхний согласующий слой (8) содержит газопоглотитель (10) в концентрации от 4 до 6 вес.%.
6. 6. Прозрачное стекло по одному из пп.1-5, причем газопоглотитель (10) содержит титан.
7. 7. Прозрачное стекло по одному из пп.1-6, причем суммарная толщина всех электропроводящих слоев (7) составляет от 32 до 75 нм.
8. 8. Прозрачное стекло по п.7, причем суммарная толщина всех электропроводящих слоев (7) составляет от 50 до 60 нм.
9. 9. Прозрачное стекло по одному из пп.1-8, причем слой (4) материала с высоким показателем преломления содержит по меньшей мере один смешанный нитрид кремния-металла и каждый находящийся между двумя электропроводящими слоями (7) слой (4) материала с высоким показателем преломления имеет толщину от 35 до 70 нм.
10. 10. Прозрачное стекло по одному из пп.1-9, причем слой (4) материала с высоким показателем преломления содержит смешанный нитрид кремния-циркония, такой как легированный алюминием смешанный нитрид кремния-циркония.
11. 11. Прозрачное стекло по п.9 или 10, причем каждый находящийся между двумя электропроводящими слоями (7) слой (4) материала с высоким показателем преломления имеет толщину предпочтительно от 45 до 60 нм.
12. 12. Прозрачное стекло по одному из пп.1-11, причем выравнивающий слой (5) содержит смешанный оксид олова-цинка, такой как легированный сурьмой смешанный оксид олова-цинка.
13. 13. Прозрачное стекло по п.12, причем выравнивающий слой (5) имеет толщину от 3 до 20 нм.
14. 14. Прозрачное стекло по п.12, причем выравнивающий слой (5) имеет толщину от 4 до 12 нм.
15. 15. Прозрачное стекло по одному из пп.1-14, причем электропроводящий слой (7) содержит, по меньшей мере, серебро или содержащий серебро сплав.
16. 16. Прозрачное стекло по п.15, причем электропроводящий слой (7) имеет толщину от 8 до 25 нм.
17. 17. Прозрачное стекло по п.15, причем электропроводящий слой (7) имеет толщину от 10 до 20 нм.
18. 18. Прозрачное стекло по одному из пп.1-17, причем нижний согласующий слой (6) и/или верхний согласующий слой (8) имеет толщину от 3 до 20 нм.

    - 11 029914
19. 19. Прозрачное стекло по п.18, причем нижний согласующий слой (6) и/или верхний согласующий слой (8) имеет толщину от 4 до 12 нм.
20. 20. Прозрачное стекло по одному из пп.1-19, причем выше самого верхнего функционального слоя

    (3) расположен покровный слой (9) и причем покровный слой (9) содержит по меньшей мере один материал с высоким показателем преломления, показатель преломления которого больше или равен 2,1.
21. 21. Прозрачное стекло по п.20, причем покровный слой (9) содержит смешанный нитрид кремнияметалла, в частности смешанный нитрид кремния-циркония, такой как легированный алюминием смешанный нитрид кремния-циркония.
22. 22. Прозрачное стекло по одному из пп.1-21, причем прозрачная подложка (1) соединена со вторым стеклом (11) по меньшей мере через одну ламинирующую пленку (16) с получением многослойного стекла и причем полное светопропускание многослойного стекла предпочтительно составляет более 70%.
23. 23. Способ получения прозрачного стекла с электропроводящим покрытием (2) по одному из пп.122, причем по меньшей мере два функциональных слоя (3) наносят последовательно на прозрачную подложку (1) и для нанесения каждого функционального слоя (3) последовательно наносят, по меньшей мер^е:

    a) слой (4) материала с высоким показателем преломления, показатель преломления которого больше или равен 2,1,

    b) выравнивающий слой (5), который содержит по меньшей мере один некристаллический оксид,

    c) нижний согласующий слой (6), ά) электропроводящий слой (7) и е) верхний согласующий слой (8),

    причем нижний согласующий слой (6) и/или верхний согласующий слой (8) наносят одновременно с содержащимся в нем газопоглотителем (10),

    причем газопоглотитель (10) выбран из группы, состоящей из ниобия, титана, бария, магния, тантала, циркония, тория, палладия, платины и их сплавов, причем содержащий указанный газопоглотитель (10) нижний согласующий слой (6) и/или верхний согласующий слой (8) наносят непосредственно на электропроводящий слой (7), при этом нижний согласующий слой (6) и/или верхний согласующий слой (8) содержит газопоглотитель (10) в концентрации от 1 до 10 вес.%, выравнивающий слой (5) содержит по меньшей мере один некристаллический смешанный оксид, а нижний согласующий слой (6) и верхний согласующий слой (8) содержит оксид цинка ΖηΘι_-δ с 0<δ<0,01.
24. 24. Способ по п.23, причем нижний согласующий слой (6) и/или верхний согласующий слой (8) осаждают катодным распылением керамической мишени, содержащей от 1 до 10 вес.% газопоглотителя (10).
25. 25. Способ по п.24, причем нижний согласующий слой (6) и/или верхний согласующий слой (8) осаждают катодным распылением керамической мишени, содержащей от 2 до 10 вес.% газопоглотителя (10).
26. 26. Способ по п.24, причем нижний согласующий слой (6) и/или верхний согласующий слой (8) осаждают катодным распылением керамической мишени, содержащей от 3 до 10 вес.% газопоглотителя (10).
27. 27. Способ по п.24, причем нижний согласующий слой (6) и/или верхний согласующий слой (8) осаждают катодным распылением керамической мишени, содержащей от 3 до 7 вес.% газопоглотителя (10).
28. 28. Способ по п.24, причем нижний согласующий слой (6) и/или верхний согласующий слой (8) осаждают катодным распылением керамической мишени, содержащей от 4 до 6 вес.% газопоглотителя (10).
29. 29. Способ по одному из пп.23-28, причем электропроводящее покрытие (2) соединяют по меньшей мере с двумя токоподводящими шинами (12), прозрачную подложку (1) и второе стекло (11) нагревают до температуры от 800 до 700°С и прозрачную подложку (1) и второе стекло (11) соединяют по всей поверхности ламинирующей пленкой (16).

    - 12 029914