DK2117755T3 - Fremgangsmåde til sammenføjning af justerede, diskrete, optiske elementer - Google Patents

Fremgangsmåde til sammenføjning af justerede, diskrete, optiske elementer Download PDF

Info

Publication number
DK2117755T3
DK2117755T3 DK08700854.6T DK08700854T DK2117755T3 DK 2117755 T3 DK2117755 T3 DK 2117755T3 DK 08700854 T DK08700854 T DK 08700854T DK 2117755 T3 DK2117755 T3 DK 2117755T3
Authority
DK
Denmark
Prior art keywords
solder
joined
optical elements
application
gas
Prior art date
Application number
DK08700854.6T
Other languages
English (en)
Inventor
Erik Beckert
Henrik Banse
Elke Dr Zakel
Matthias Fettke
Original Assignee
Fraunhofer Ges Forschung
Pactech Packaging Tech Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fraunhofer Ges Forschung, Pactech Packaging Tech Gmbh filed Critical Fraunhofer Ges Forschung
Application granted granted Critical
Publication of DK2117755T3 publication Critical patent/DK2117755T3/da

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K1/00Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
    • B23K1/005Soldering by means of radiant energy
    • B23K1/0056Soldering by means of radiant energy soldering by means of beams, e.g. lasers, E.B.
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K1/00Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
    • B23K1/0008Soldering, e.g. brazing, or unsoldering specially adapted for particular articles or work
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K3/00Tools, devices, or special appurtenances for soldering, e.g. brazing, or unsoldering, not specially adapted for particular methods
    • B23K3/06Solder feeding devices; Solder melting pans
    • B23K3/0607Solder feeding devices
    • B23K3/0638Solder feeding devices for viscous material feeding, e.g. solder paste feeding
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)

Claims (13)

1. Fremgangsmåde til sammenføjning af justerede, diskrete, optiske elementer, hvorved overfladeområder på det optiske element, der skal sammenføjes, udstyres med i det mindste et tyndt metallag og efterfølgende vædes med et flydende loddemiddel, som berøringsløst doseres; hvorved det flusmiddelfrie, smeltede loddemiddel via en dyse ved anvendelse af en under tryk stående gasstrøm som flydende loddemiddel fra dysen påføres på overfladeområderne, der skal sammenføjes, hvorved loddemidlet fordeles jævnt over overfladeområder, som skal sammenføjes, ved hjælp af energien i gastrykket for den anvendte gasstrømning og flydende i doseret form påføres med et loddemiddelvolumen på 0,005 mm3 til 1,5 mm3 per mm2 areal.
2. Fremgangsmåde ifølge krav 1, kendetegnet ved, at loddemidlet påføres i en fugespalte.
3. Fremgangsmåde ifølge et hvilket som helst af de foregående krav, kendetegnet ved, at der dannes tyndmetallag med titan, chrom, guld, wolfram og/eller platin.
4. Fremgangsmåde ifølge et hvilket som helst af de foregående krav, kendetegnet ved, at et øvre tyndmetallag, på hvilket loddemidlet påføres, dannes af guld.
5. Fremgangsmåde ifølge et hvilket som helst af de foregående krav, kendetegnet ved, at der som loddemiddel anvendes en eutektisk legering.
6. Fremgangsmåde ifølge et hvilket som helst af de foregående krav, kendetegnet ved, at en guld-tin-legering, en sølv-tin-legering eller en bismuth-tin-legering anvendes som loddemiddel.
7. Fremgangsmåde ifølge et hvilket som helst af de foregående krav, kendetegnet ved, at der anvendes en inert gas til dannelse af gasstrømmen.
8. Fremgangsmåde ifølge et hvilket som helst af de foregående krav, kendetegnet ved, at loddemidlet smeltes ved anvendelse af laser-bestråling før dets påføring.
9. Fremgangsmåde ifølge et hvilket som helst af de foregående krav, kendetegnet ved, at der med loddemidlet og et tyndt metallisk lag eller et tykt metallisk lag dannes inter-metalliske faser eller blandingskrystaller inden i et overgangsområde.
10. Fremgangsmåde ifølge et hvilket som helst af de foregående krav, kendetegnet ved, at påføringen af loddemidlet gennemføres i impulser.
11. Fremgangsmåde ifølge krav 10, kendetegnet ved, at der ved den impulsstyrede påføring sker en ændring af positionen for påføringen på overfladeområdet, der skal sammenføjes.
12. Fremgangsmåde ifølge et hvilket som helst af de foregående krav, kendetegnet ved, at en applikator for loddemateriale bevæges og positioneres tredimensionalt.
13. Fremgangsmåde ifølge krav 12, kendetegnet ved, at applikatoren styres elektronisk.
DK08700854.6T 2007-01-09 2008-01-08 Fremgangsmåde til sammenføjning af justerede, diskrete, optiske elementer DK2117755T3 (da)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102007002436A DE102007002436B4 (de) 2007-01-09 2007-01-09 Verfahren zum Fügen justierter diskreter optischer Elemente
PCT/DE2008/000038 WO2008083676A1 (de) 2007-01-09 2008-01-08 Verfahren zum fügen justierter diskreter optischer elemente

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DK2117755T3 true DK2117755T3 (da) 2018-06-06

Family

ID=39288164

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DK08700854.6T DK2117755T3 (da) 2007-01-09 2008-01-08 Fremgangsmåde til sammenføjning af justerede, diskrete, optiske elementer

Country Status (7)

Country Link
US (1) US8431477B2 (da)
EP (1) EP2117755B1 (da)
JP (1) JP2010515939A (da)
DE (1) DE102007002436B4 (da)
DK (1) DK2117755T3 (da)
ES (1) ES2671371T3 (da)
WO (1) WO2008083676A1 (da)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009022079A1 (de) 2009-05-20 2010-11-25 Friedrich-Schiller-Universität Jena Gefasste optische Komponente, Verfahren zu deren Herstellung sowie deren Verwendung

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3648915A (en) * 1967-02-24 1972-03-14 Bosch Gmbh Robert Arrangement for soldering a terminal to a semiconductor
DE2622000A1 (de) * 1976-05-18 1977-12-01 Bosch Gmbh Robert Verfahren und vorrichtung zum anloeten eines drahtes
JPH0736956B2 (ja) * 1988-05-30 1995-04-26 沖電気工業株式会社 電子部品のハンダ付装置
JP2929545B2 (ja) * 1989-10-25 1999-08-03 株式会社日立製作所 半導体集積回路装置の製造方法および製造装置
WO1991019016A1 (en) * 1990-05-19 1991-12-12 Institut Teoreticheskoi I Prikladnoi Mekhaniki Sibirskogo Otdelenia Akademii Nauk Sssr Method and device for coating
JPH0623530A (ja) * 1992-04-28 1994-02-01 Omron Corp レーザ照射型ハンダ接合装置
US5478005A (en) 1994-06-27 1995-12-26 At&T Corp. Apparatus and method for fluxless soldering
US6962834B2 (en) 2002-03-22 2005-11-08 Stark David H Wafer-level hermetic micro-device packages
DE10240355B4 (de) 2002-08-27 2008-01-24 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verbundbauteil und Verfahren zur Herstellung eines Verbundbauteiles
JP2005024697A (ja) * 2003-06-30 2005-01-27 Hitachi Maxell Ltd 光学モジュール、光学モジュールの応力緩和方法および光学モジュール製造方法
JP3845076B2 (ja) * 2003-07-15 2006-11-15 日立マクセル株式会社 光学モジュール、光学モジュールの熱応力解放方法および光学モジュール用光学基板
DE102004024755B4 (de) 2004-05-12 2006-02-23 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Halterung für optische Elemente
JP4338204B2 (ja) 2005-03-30 2009-10-07 Tdk株式会社 半田付け方法及び半田付け装置並びに接合方法及び接合装置
JP4042914B2 (ja) * 2005-04-22 2008-02-06 Tdk株式会社 半田付け装置及び半田分配装置

Also Published As

Publication number Publication date
US8431477B2 (en) 2013-04-30
ES2671371T3 (es) 2018-06-06
US20100038348A1 (en) 2010-02-18
JP2010515939A (ja) 2010-05-13
EP2117755B1 (de) 2018-03-14
DE102007002436A1 (de) 2008-07-24
EP2117755A1 (de) 2009-11-18
WO2008083676A1 (de) 2008-07-17
DE102007002436B4 (de) 2008-09-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9604299B2 (en) Method and device for connecting an optical element to a frame
KR100659963B1 (ko) 마이크로구조 모듈의 제조에 적절한 모듈층 연결 방법 및마이크로구조 모듈
CN112008178B (zh) 一种三维焊缝的激光熔钎焊封装方法及其装置
KR20050063690A (ko) 전자 디바이스 및 전자 디바이스를 형성하는 방법
WO2021074054A1 (en) Method for connecting an attachment to a main body of an optical element and optical element
DK2117755T3 (da) Fremgangsmåde til sammenføjning af justerede, diskrete, optiske elementer
CN103071924B (zh) 镀层厚度小于10μm的薄金属工件的激光焊接方法
EP1696253A2 (en) Accurate relative alignment and epoxy-free attachment of optical elements
Banse et al. Laser beam soldering–a new assembly technology for microoptical systems
US6554244B1 (en) Device for thermally, stably supporting a miniaturized component
DE102013001417B4 (de) Reflektierendes optisches Element für eine dynamische Auslenkung eines Laserstrahls sowie ein Verfahren zu seiner Herstellung
Beckert et al. Solder Bumping—A Flexible Joining Approach for the Precision Assembly of Optoelectronical Systems
Beckert et al. Submicron accuracy optimization for laser beam soldering processes
Burkhardt et al. Parametric investigation of solder bumping for assembly of optical components
DE10240355A1 (de) Verbundbauteil und Verfahren zur Herstellung eines Verbundbauteiles
CN114341749A (zh) 用于将钟表部件结合的方法
CN213318188U (zh) 一种三维焊缝的激光熔钎焊焊接装置
Eberhardt et al. Optoelectronic packaging based on laser joining
KR102417632B1 (ko) 투광성 재료를 포함하는 밀봉용 리드
JP3293224B2 (ja) インクジェットプリントヘッドの接合方法
Hornaff et al. Laser-based soldering of a high-resolution optical filter instrument for space applications
Hülsenberg et al. Joining Methods for Glass Based Microdevices
TW202243771A (zh) 具有雷射堆積層的部件的製造方法
US20110114707A1 (en) Method for creating highly compliant thermal bonds that withstand relative motion of two surfaces during temperature changes using spacing structures
Guyenot et al. Mounting, cementing, and handling of micro-optical elements