DK164756B - Fremgangsmaade og apparat til fremstilling af til mikroskopisk undersoegelse i gennemfaldende lys egnede tyndslib af proever med haarde bestanddele - Google Patents

Description

i

DK 164756 B

Den foreliggende opfindelse angår en fremgangsmåde til fremstilling af tyndslib med en i forhold til objektholderen nøjagtigt parallel overflade og en ligeledes nøjagtigt indstillelig tykkelse på få μιη, f.eks. 5 til 15 /m, af 5 i plastmateriale indlejrede tykkere, f.eks. 50 til 200 μπι tykke, tyndsnit af hårde substanser eller substanser med hårde bestanddele som f.eks. metal- eller keramikimplantater, tænder med kroner eller plomber eller lignende genstande samt et apparat til udøvelse af fremgangsmåden.

10 Et slibeapparat til fremstilling af slib med nøjagtig planparallelle over- og underflader af hårde substanser ved hjælp af en om en lodret akse roterende slibeskive er f.eks. kendt fra CH patentskrift nr. 629 992. Dette beskriver et slibeapparat til fremstilling af tynde skiver eksempelvis 15 af mineralogiske præparater eller af de flade huse til piezo-elektriske resonatorer af keramik eller disses låg med absolut parallelle over- og underflader. Tykkelsen af de fremstillede planslib indstilles her ved pålægning af en tilsvarende tykkelse af et ekstremt hårdt materiale af den 20 ønskede værdi, idet dette understøtter sig på slibeskiven, så snart denne værdi er opnået.

Dette kendte apparat giver ganske vist helt tilfredsstillende resultater ved bearbejdning af materialer med ensartet hårdhed og styrke, selvom nødvendigheden af anven-25 delsen af hårdmaterialepålæg fører visse ulemper med sig, som der skal forklares nærmere efterstående, men ikke ved bearbejdning af prøver med områder med forskellig hårdhed og/eller styrke.

Mens fremstillingen af til mikroskopisk undersø-30 gelse i gennemfaldende lys egnede tyndsnit med i forhold til objektholderen nøjagtig parallel overflade med tykkelser på fra 5 til 15 pm af bløde materialer er problemløst mulig med det velkendte mikrotom, frembyder fremstillingen af sådanne tyndsnit af hårde materialer og ganske 35 særlig af prøver, der indeholder materialer med forskellig styrke og hårdhed, væsentlig større vanskeligheder.

2

DK 164756 B

Den bedste hidtil kendte fremgangsmåde består i det væsentlige i at klæbe den i plastmateriale indlejrede prøve på en objektholder og i et første fremgangsmådetrin ved hjælp af et parallelt med objektholderen ført savsnit, 5 sædvanligvis med en båndsav, at fremstille et tyndsnit med en tykkelse på ca. 50 til 200 Mm som forprodukt og derpå nedslibe dette under samtidig køling og spuling med vand under moderat slibetryk til den ønskede tykkelse på sædvanligvis 5 til 15 Mm. Denne slibefremgangsmåde og det til 10 dens udøvelse anvendte apparat skal senere skema tisk og eksempelvis forklares nærmere under henvisning til fig. 1 til 3.

Selv om denne fremgangsmåde og det til dens udøvelse anvendte apparat ubestrideligt er de bedste hidtil 15 kendte, kan de dog forbedres i flere henseender, da de stadig er behæftet med flere ulemper: 1) Da det er umuligt under slibningen at fastslå, om prøven allerede er nedslebet til den ønskede sluttykkelse, må slibningen med henblik på udøvelse af denne kontrol 20 navnlig mod slutningen af operationen ofte afbrydes, hvil ket er arbejds- og tidsrøvende.

2) Ved begyndelsen af slibningen står prøven frem over underkanterne af hårdmaterialelisterne, hvorved hele optagehovedet med objektholder og prøve "kipper". Hårdmateriale- •y c listerne ligger da an med deres kanter på slibepapiret, der altså sløves straks fra begyndelsen af slibningen. Desuden nedslibes også hårdmaterialelisterne selv, så at deres underflade hurtigt bliver ujævn og afrundet, hvilket har en uensartet tykkelse af den færdigslebne prøve til følge.

30 3) De uundværlige hårdmaterialelister afskærmer køle- og spulevandet i sideretningen, så at dette ikke har fri adgang til prøven fra alle sider, og denne bliver derved let overopvarmet og kan derved beskadiges.

4) Desuden opslider de i slutfasen af slibningen umiddel- o pr bart på slibepapiret anliggende hårdmaterialelister hur tigt slibepapiret, hvorfor der kræves hyppig udskiftning af dette.

3

DK 164756 B

5) Det som slibemateriale uundværlige slibepapir er tilbøjeligt til, navnlig ved prøver, der indeholder substanser med forskellig hårdhed og/eller tæthed, at bule op foran zoner med større hårdhed eller tæthed, hvorved 5 der dér fremkommer fordybninger, der påvirker den fuldkomne planhed af slibefladen.

6) Det virksomme slibetryk svarer til forholdet mellem nedpresningskraften og størrelsen af den flade, der skal slibes. Mens den sidste naturligvis er forskellig fra prø- 10 ve til prøve, er nedpresningskraften, der er summen af holderens nedtrykskraft og vægten af optagehoved, objektholder og prøve, praktisk talt forud fastlagt og næppe manipulerbar. Derfor er en optimal tilpasning af det virksomme slibetryk til den pågældende prøvestørrelse og 15 -beskaffenhed ikke mulig. De sædvanligvis anvendte optagehoveder med vægte fra nogle dg op til ca. 1 kg frembyder ved de sædvanlige prøveflader på 1 til 5 cm et slibetryk fra 50 til 10 kPa. Væsentlig lavere slibetryk, navnlig sådanne mindre end 2 kPa, som ofte ville være ønske-20 lige, har hidtil ikke været mulige.

Hovedformålet for opfindelsen består i ved afslibning af det på en objektholder påklæbede, i plastmateriale indlejrede tyndslib af prøvematerialet ved hjælp af en under den i et optagehoved værende objektholder roterende slibe-25 skive at gøre de hidtil uundværlige hårdmetallister overflødige og dermed overvinde ikke blot alle de foranstående under 1) til 4) opregnede ulemper ved teknikkens standpunkt men desuden også muliggøre overvindelsen af den under 5) nævnte yderligere ulempe uden væsentlig yderligere indsats.

30 Foretrukne udførelsesformer for opfindelsens hovedtanke medfører tillige yderligere tekniske fordele, som i det følgende skal forklares nærmere i enkeltheder.

Opnåelsen af opfindelsens hovedformål, nemlig at gøre hårdmaterialelisterne overflødige, opnås ved anvendelse 35 af en fremgangsmåde af den i krav l's indledende del angivne art., som er særegen ved det i den kendetegnende del af kravet 4

DK 164756 B

angivne, samt et apparat af den i krav 7's indledende del angivne art, som er særegen ved det i den kendetegnende del af kravet angivne.

Det af substanser med hårde indlæg i en blød matrix 5 såsom metal- eller keramikimplantater bestående udgangsmateriale bliver på i og for sig kendt måde indlejret i plastmateriale påklæbet på en objektholder, og denne bliver ophængt på et optagehoved ovenover en roterende slibeskive, som er udstyret med til- og fraførselsmuligheder for en 10 køle- og spulevæske såsom vand, således som det fremgår af Journal of Pathology, 1982 (11), side 318-326 "A method for the study of undecalcified bones and teeth with attached soft tissue".

Ifølge opfindelsen befæstes optagehovedet, som bærer 15 objektholderen med prøven, til en lodret bevægelig slæde, som under slibeprocessen får lov til tvangsstyret på lodrette styreskinner at glide nedad under tyngdekraftens indflydelse. Denne lodret bevægelige slæde er forbundet med en måleindretning, som måler den lodrette afstand af et med dens føler 20 fast forbundet punkt fra et ovenover slibeskiven anbragt målepunkt og ved opnåelse af en bestemt, indstillelig værdi for denne afstand enten udkobler driften af slibeskiven og/eller blokerer den yderligere nedadgående bevægelse af den lodret bevægelige slæde.

25 Ved hjælp af det således muliggjorte bortfald af hårdmaterialelisterne er alle de under 1) til 4) opregnede ulemper ved det kendte standpunkt for teknikken skaffet ud af verden. Det samme gælder for den under 5) opregnede ulempe, idet der på grund af bortfaldet af hårdmateriale-30 listerne i stedet for slibepapiret kan anvendes en hård slibeskive, f.eks. en diamantskive.

En foretrukken udførelsesform for den anden af de ovennævnte foranstaltninger består i at forbinde en mikrometerskrue med måle- og styreindretningens optagehoved, 35 og hvis spindelende kan indstilles til en indenfor visse grænser indstillelig højde over et under optagehovedet og 5

DK 164756 B

ovenover slibeskiven i konstant højde anbragt anslag. Berøring af dette anslag med spindelenden kan f.eks. rent mekanisk stoppe den yderligere nedadgående bevægelse af optagehovedet, men den kan også aktivere en kontakt, der 5 bevirker en spærring af denne nedadgående bevægelse eller afbryder driften af slibeskiven.

En yderligere foretrukken udførelsesform for opfindelsen, som også overvinder de under 5) anførte ulemper ved teknikkens standpunkt, består i det væsentlige i, at kom-10 pensere egenvægten af den optagehovedet med objektholderen bærende slæde inklusive alle de med denne forbundne ekstra-indretninger i det mindste delvis og fortrinsvis nøjagtigt ved hjælp af én eller flere modvægte, og nøjagtigt at indstille det virksomme slibetryk ved hjælp af egnede, udvalgte 15 mindre ekstravægte til den til enhver tid ønskede værdi.

Herved er det muligt meget nøjagtigt at overholde også meget små slibetryk på f.eks. 2 kPa og mindre.

Ved en yderligere udførelsesform for opfindelsen trækkes det objektholderen med prøven bærende optagehoved, 20 fortrinsvis sammen med den dette bærende, lodret bevægelige slæde, under slibningen oscillerende frem og tilbage over overfladen af slibeskiven uden dog nogensinde at overskride dennes kant. Ved hjælp af denne foranstaltning udlignes indflydelsen af de bestandigt tilstedeværende uregelmæs-25 sigheder hos slibemiddelfladen på overfladen af det frembragte slib.

Ved endnu en foretrukken udførelsesform for opfindelsen er der til optagefladen for objektholderen tilsluttet én eller flere vakuumledninger, ved hjælp af hvilke 30 objektholderen uafhængigt af pasform eller anvendelse af adhæsionskraft pålideligt fastholdes på stedet. Herved undgås ikke blot kipning og vakling af objektholderen under. slibningen langt mere sikkert end ved teknikkens standpunkt, men herved bliver også en yderligere udførelsesform 35 for opfindelsen meget lettere og overhovedet først praktisk gennemførlig, ved hjælp af hvilken kvaliteten af de 6

DK 164756 B

frembragte tyndslib forøges endnu mere, så at de stadig i området af nogle μιη tilbageværende resttolerancer, som f.eks. forårsages af uundgåelige fabrikationsunøjagtigheder og nedbøjning af de flere dm lange styreskinner under indfly-5 delse af tyngdekraften, fuldstændig udlignes ved hjælp af en særlig fremgangsmådeforanstaltning.

Denne særlige fremgangsmådeforanstaltning muliggøres ved, at apparatet ifølge den sidstnævnte udførelsesform for opfindelsen ikke behøver nogen til optagelse af 10 objektholderen bestemt not, da objektholderen simpelthen blot kan lægges på den glatte underside af det af vakuumledninger gennemtrukne optagehoved.

Afslibes nu undersiden af optagehovedet før dets første ibrugtagning på slibeapparatet ifølge opfindelsen, 15 til hvilket det er bestemt, så påtrykkes det alle af de forskellige uundgåelige små unøjagtigheder hos dette slibeapparat forårsagede afvigelser fra det ideale plan, der senere optræder ved nedslibning af prøven. Denne operation udføres hensigtsmæssigt første gang af fremstilleren 20 selv, men kan imidlertid også udføres af brugeren selv, hvis den igen skulle være nødvendig for eksempel ved beskadigelser eller ændringer f.eks. som følge af udskiftning af erstatningsdele. Anbringes der på det således forbehandlede optagehoved en objektholder med en påklæbet prø-25 ve, og slibes denne under de samme betingelser, så vil den færdige sliboverflade på prøven være nøjagtig kongruent med optagehovedets overflade, idet den har nøjagtig de samme små afvigelser fra idealplanet som denne. Det samme gælder naturligvis også for undersiden af objektholder-30 en, i det mindste når dens overside er nøjagtig planparallel med dens underside, hvilket for det meste kan forudsættes ved gode objektholdere. Da objektholderen altid har en vis bøjelighed, hvilket ikke blot gælder objektholdere af bøjeligt plastmateriale men også for ikke alt 35 for tykke glasobjektholdere, lægger den sig med det på- klæbede tyndslib efter aftagelse fra optagehovedet glat på 7

DK 164756 B

ethvert plant underlag, f.eks. et mikroskops koordinatbord, og overfladen af tyndslibet er alle steder nøjagtig parallel med underlaget.

Hvis over- og undersiden af den til rådighed ståen-5 de objektholder ikke skulle være nøjagtig planparallelle, så kan den ifølge opfindelsen før påklæbning af prøvematerialet slibes på samme måde på det allerede slebne optagehoved.

Den praktiske udøvelse af denne foranstaltning sker 10 hensigtsmæssigt på den måde, at før forfærdigelse af et større antal tyndslib slibes først alle de nødvendige objektholdere, som derpå påklæbes prøverne, der skal bearbejdes og slutteligt forarbejdes til tyndslib.

Opfindelsen skal i det følgende beskrives nærmere, 15 idet den henvises til tegningen, på hvilken fig. 1 til 3 illustrerer den kendte fremgangsmåde, idet fig. 1 og 2 er lodrette snit langs linien I-I i fig.

3, og 20 fig. 3 det i fig. 2 viste set nedenfra, fig. 4 viser et apparat ifølge opfindelsen i vandret snit langs linien IV-IV i fig. 5 set nedenfra, fig. 5 et lodret snit langs linien V-V i fig. 4 set forfra, 25 fig. 6 en gengivelse af en på en første objektholder påklæbet prøve, og fig. 7 en gengivelse af den i fig. 6 viste prøve efter et første snit og med en anden objektholder påklæbet.

Som vist i fig. 1 indlægges i en optagenot 7 i et 30 optagehoved 8 en nøjagtigt passende metalplade 9 og derpå en ligeledes nøjagtigt passende objektholder 5. For at formindske risikoen for vakling af objektholderen og/eller metalpladen under slibningen forøges deres adhæsion til hinanden ved tilsætning af nogle dråber vand eller olie.

35 Tykkelsen af metalpladen er valgt således, at den svarer til summen af tykkelsen af et klæbemiddellag 4 og den ønskede

DK 164756 B

s sluttykkelse af prøven 1. Det således monterede optagehoved lægges på en med slibemateriale, sædvanligvis meget fint slibepapir, belagt slibeskive 2, og objektholderen nedslibes indtil højden af underkanten af til siden for noten 7 og 5 parallelt med denne anbragte hårdmaterialekanter 6 (hvis funktion svarer til underlagene 6 i CH patentskrift nr.

629 992). Herunder sikrer for det meste en fastholdelse 3 optagehovedet imod at blive slynget ud af centrifugalkraften. Ligeledes kan optagehovedet herunder dreje om sin egen akse 10 og/eller belastes med ekstra vægte. Herved reduceres den oprindelige tykkelse 0 af objektholderen til O'.

En nogle millimeter tyk blok af det i plastmateriale indlejrede prøvemateriale afskæres og poleres eventuelt i højde med prøvens interessante dele, fastklæbes med 15 nogle dråber af et tyndtflydende klæbemiddel med snitsi-den på den tidligere afslebne objektholder og afskæres med et savsnit i en afstand af ca. 50 til 200 pm fra objektholderen. Den således præparerede objektholder indlægges så igen i optagenoten 7, hvorfra metalpladen 9 tid-20 ligere er blevet fjernet (jf. fig. 2), hvorpå prøven igen nedslibes til højde med underkanten af hårdmaterialelisterne. Herved reduceres tykkelsen af prøven til tykkelsen af den tidligere indlagte metalplade minus tykkelsen af klæbemiddellaget 4.

25 Et til udøvelse af fremgangsmåden ifølge opfindelsen egnet apparat skal i det følgende beskrives nærmere med henvisning til fig. 4 og 5, i hvilke der også indgår flere foretrukne udførelsesformer.

En slibeskive 2 er sammen med sit ikke viste drev 30 anbragt i et hus 52, af hvilket kun en del af overkanten er vist. To vandrette lejer 22 ligger an på dette hus og kan i givet fald være fast forbundet hermed. I lejerne 22 er to vandrette styreskinner 23 lejrede, på hvilke en slæde 24 er forskydelig. Denne sættes ved drift af en motor 29 ved hjælp 35 af en gennem et af de to lejer 22 gennemgående drivstang 30 i oscillerende bevægelse i retning af en pil A, idet has- 9

DK 164756 B

tigheden fortrinsvis er indstillelig.

Slæden 24 har en central åbning 25, der er stor nok til at kunne optage det til optagelse af objektholderen 5 bestemte optagehoved 8. Fast forbundet med slæden 24 findes 5 lodrette styreskinner 10, på hvilke en slæde 13 er bevægelig op og ned i lejer 15.

De øvre ender af styreskinnerne 10 er forbundet med hinanden ved hjælp af en hætte 17, der i stor udstrækning forhindrer en bøjning af styreskinnerne 10 i forhold til 10 hinanden. I forbindelseshætten 17 er lejret ruller 11, over hvilke der løber liner 12, i hvilke der hænger en modvægt 14. Denne er dimensioneret således, at den i det mindste i stort omfang og fortrinsvis nøjagtigt kompenserer for vægten af den lodret bevægelige slæde 13 inklusive 15 alle med denne forbundne ekstraindretninger såsom optagehovedet 8, vand- og vakuumledninger osv. På den lodret bevægelige slæde 13 findes også ikke viste indretninger til anbringelse af ekstra, små tarervægte, med hvilke det virksomme slibetryk kan indstilles nøjagtigt på enhver ønsket 20 værdi, og som fortrinsvis er opbygget efter vægtlodsats-systemet (1,2,2,5,10,20,20,50...).

Optagehovedet 8 er gennemtrukket af et system af vakuumledninger 31, som dels via en tilslutning står i forbindelse med en i slæden 13 værende vakuumledning med 25 en afspærrelig vakuumtilslutning og dels med optagefladen 37 for objektholderen 5, hvilken ved indkobling af vakuummet fastholder den prøven bærende objektholder 5.

Desuden har slæden 13 en ligeledes afspærrelig vandtilslutning, der via ikke viste ledninger udmunder i 30 optagehovedet 8's optageåbning, og fra hvilke vandet kommer til vandudstrømningsåbninger 28 og uhindret af hård-materialekanter kan omspule prøven fra alle sider.

På den lodret bevægelige slæde 13 er befæstet en mikrometerskrue 33, nedenunder hvilken der på slæden 24 35 er anbragt en elektrisk kontakt 34, som ved berøring med føleren 38 på mikrometerskruen 33 afbryder driften af sli- 10

DK 164756 B

beskiven 2 og/eller blokerer den yderligere nedadgående bevægelse af slæden 13. Fortrinsvis afbrydes samtidig også driften af slæden 24.

Indstillingen på den ønskede sluttykkelse af prø-5 ven kan foretages ved indstilling af afstanden mellem føleren 38 på mikrometerskruen 33 og dens stationære modkontakt 34, hvorved det sikres, at den ønskede og indstillede sluttykkelse kan nedslibes i én arbejdsgang uden gentagne afbrydelser af slibningen og efterprøvning af den 10 opnåede prøvetykkelse af prøven.

De skildrede foranstaltninger til fremstilling af et tyndslib med i forhold til teknikkens standpunkt betydeligt forbedrede egenskaber kan ifølge en yderligere udførelsesform for opfindelsen enkeltvis eller i vilkårlig kom-15 bination med hinanden anvendes til opnåelse af en yderligere forbedring af slutproduktet. Denne ekstra forbedring består i, at også den på objektholderen påklæbede underside af præparatet har den samme høje kvalitet som dets fritliggende overflade, altså er idealt plan og desuden nøj-20 agtig parallel med overfladen af objektholderen. Derved sikres det, at klæbemiddellaget på alle steder af prøven bestandig har nøjagtig den samme tykkelse.

Til dette formål fraskilles der ifølge den i det følgende med henvisning til fig. 6 og 7 beskrevne, fore-25 trukne udførelsesform for opfindelsen først fra undersiden af den fortrinsvis med et klæbemiddellag 4a på undersiden af en objektholder 5a påklæbede, i plastmateriale indlejrede udgangsprøve la ved hjælp af et snit, fortrinsvis et savsnit 101, en del lb. Den blotlagte snitflade 101 30 af det således fremstillede mellemprodukt lb, hvis tykkelse er mindre end tykkelsen af udgangsprøven la, men større end den ønskede tykkelse af det til savning og slibning bestemte forprodukt (f.eks. 1 til 5 mm), bliver derpå præcist poleret, hvortil alle de ovenfor skildrede kend-35 te og opfinderiske foranstaltninger kan finde anvendelse.

o 11

DK 164756B

På den polerede overflade 101 påføres, jf. fig. 7, en dråbe klæbemiddel 4 og på dette påpresses parallelt med fladen 101 en anden objektholder 5 med eventuelt ved ef-terslibning frembragt konstant tykkelse. Herved sammen-5 presses klæbemidlet 4 til et lag med helt ensartet tykkelse, der forløber nøjagtig parallelt med objektholderen og med den fremtidige underside 101 af prøven 1.

Herpå fraskilles ved hjælp af et snit 102, der fortrinsvis lægges i en afstand på fra 50 til 200 Mm fra objekt-10 holderen 5, objektholderen 5a sammen med en del af mellemproduktet lb. Derpå reduceres tykkelsen af det tilbageværende forprodukt 1 ved nedslibning af snitfladen 102 på den ovenfor skildrede måde til den ønskede sluttykkel-se på f.ek%. 5 til 12 μπι.

15 20 25 30 35

Claims (15)

1. Fremgangsmåde til fremstilling af til mikroskopisk undersøgelse i gennemfaldende lys egnede prøver ved afslib-ning af en i plastmateriale indlejret, over 50 μτα. tyk prøve, 5 der består af substanser med hårde indlag i en blødere matrix såsom metal- eller keramikimplantater, og som er opklæbet på en objektholder (5), som hænger på et optagehoved (8), ved hjælp af en nedenunder prøven roterende slibeskive (2) under køling og spuling med en væske såsom vand, k e n -10 detegnet ved, at det objektholderen (5) med prøven (1) bærende optagehoved (8) er befæstet til en lodret bevægelig slæde (13), som under slibeprocessen tvangsstyret glider nedad under indflydelse af tyngdekraften på lodrette styreskinner (10) og er forbundet med en måleindretning (33), 15 der måler den lodrette afstand af et med dens føler (38) fast forbundet punkt fra et ovenover slibeskiven (2) anbragt målepunkt (34) og ved opnåelse af en bestemt, indstillelig værdi for denne afstand afbryder driften af slibeskiven (2) og/eller blokerer den yderligere nedadgående bevægelse af 20 den lodret bevægelige slæde (13).

2. Fremgangsmåde ifølge krav 1, kendetegnet ved, at vægten af den optagehovedet (8) bærende, lodret bevægelige slæde (13) inklusive alle med denne forbundne ekstraindretninger og prøven (1) med den denne bærende 25 objektholder (5) ved hjælp af kontravægte kompenseres i det mindste delvis og fortrinsvis nøjagtigt.

3. Fremgangsmåde ifølge krav 1 eller 2, kendetegnet ved, at den lodret bevægelige slæde (13) med optagehovedet (8) og den prøven (1) bærende objektholder 30 (5) under slibeprocessen tvangsstyret på vandrette skinner (23) trækkes oscillerende frem og tilbage over overfladen af slibeskiven (2) uden dog at overskride kanten af slibeskiven (2) .

4. Fremgangsmåde ifølge ethvert af kravene 1 til 3, 35 kendetegnet ved, at der gennem en fortrinsvis på en første objektholder (5a) påklæbet udgangsprøve (la) føres 13 DK 164756 B et snit (101) parallelt med objektholderen (5a), at snitfladen af det således fremstillede mellemprodukt poleres ifølge ethvert af kravene 1 til 3, at der på den polerede flade påføres klæbemiddel (4) og på dette påtrykkes en anden 5 objektholder (5), og at efter hærdning af klæbemidlet (4) gennem et andet parallelt med det første snit (101) og med den anden objektholder (5) ført snit (102) tykkelsen af de på den anden objektholder (5) forblivende dele (lb) af mellemproduktet reduceres ved afslibning og polering af snit-10 fladen ifølge ethvert af kravene 1 til 3 til den for det færdige produkt ønskede værdi på fortrinsvis 5 til 13 μιη.

5. Fremgangsmåde ifølge ethvert af kravene 1 til 4, kendetegnet ved, at optagehovedet (8) før ibrugtagning afslibes uden påsat objektholder (5).

6. Fremgangsmåde ifølge krav 5, kendeteg net ved, at på det afslebne optagehoved (8) afslibes objektholderen (5), der skal anvendes, ligeledes.

7. Apparat til udøvelse af fremgangsmåden ifølge ethvert af kravene 1 til 6 og med en objektholder (5), som 20 hænger på et optagehoved (8) , og en nedenunder prøven drejelig slibeskive (2) med midler til køling, kendetegnet ved, at optagehovedet (8) i sin mod objektholderen (5) vendende optageflade har mindst én med en vakuumtilslutning forbundet åbning (31), at optagehovedet (8) er anbragt 25 på en på lodrette styreskinner (10) under påvirkning af tyngdekraften forskydelig, lodret bevægelig slæde (13), at der til den lodret bevægelige slæde (13) er befæstet en måleindretning (33), som måler den lodrette afstand af sin føler (38) fra et på apparatet ovenover slibeskinner (2) 30 udformet målepunkt (34), og er indrettet til ved opnåelse af en bestemt, indstillet afstand at kunne afbryde driften af slibeskinnen (2) og/eller blokere den nedadgående bevægelse af den lodret bevægelige slæde (13).

8. Apparat ifølge krav 7, kendetegnet 35 ved, at det fortrinsvis stationære målepunkt (34) for den på slæden (13) monterede føler (38) i måleindretningen (33) 14 DK 164756 B er udformet som modkontakt for denne, som ved kontakt med måleindretningens (33) føler (38) afbryder driften af slibeskiven (2) og/eller stopper den nedadgående bevægelse af den lodret bevægelige slæde (13).

9. Apparat ifølge krav 7 eller 8, kendeteg net ved, at mindst én kontravægt (14), som kompenserer vægten af den lodret bevægelige slæde (13) inklusive alle med denne forbundne ekstraindretninger og objektholderen (5) samt prøven i det mindste delvis og fortrinsvis nøj agio tigt.

10. Apparat ifølge krav 9, kendetegnet ved indretninger til anbringelse af ekstra tarervægte på den lodret bevægelige slæde (13).

11. Apparat ifølge ethvert af kravene 7 til 10, 15 kendetegnet ved en på vandrette styreskinner (23) ovenover slibeskiven (2) forskydelig styreslæde (24) med en central åbning (25) til optagelse af den lodret bevægelige slæde (13), og på hvilken de lodrette styreskinner (10) for den lodret bevægelige slæde (13) er befæstet, og 20 med et drev (29), der sætter den i en oscillerende bevægelse over overfladen af slibeskiven (2) men ikke fører den over kanten af slibeskiven (2) .

12. Apparat ifølge ethvert af kravene 7*til 11, kendetegnet ved, at optagehovedet (8) indeholder 25 vakuumledninger (31), der dels via mindst én i den lodret bevægelige slæde (13) værende vakuumledning står i forbindelse med en afspærrelig vakuumtilslutning og dels med optagefladen (37) for objektholderen (5).

12 DK 164756 B PATENTKRAV.

13. Apparat ifølge ethvert af kravene 7 til 12, 30 kendetegnet ved forbindelsesledninger i den lodret bevægelige slæde (13) og optagehovedet (8) mellem en afspærrelig vandtilslutning på den lodret bevægelige slæde (13) og vandudstrømningsåbninger (28) i optagehovedet (8).

14. Apparat ifølge ethvert af kravene 7 til 13, 35 kendetegnet ved, at de øvre ender af styreskinnerne (10) for den lodret bevægelige slæde (13) med hinanden

15 DK 164756 B forbindende forbindelsesstykke (17), i hvilket der er lejret ruller (11), over hvilke linerne (12), der bærer modvægten (14), løber.