DEP0044431DA - Einrichtung zum Scharfeinstellen von elektrostatischen Elektronenmikroskopen - Google Patents

Description

Einrichtung zum Scharfeinstellen von elektrostatischen

Slektronenmikroskopen_ff

Ein besonderer Vorteil der elektrostatischen Elektronenmikroskope ist die sogenannte Zwei-Polschaltung_s bei der sich Kathode und die Mittelelektroden der Linsen auf gleichem Potential befinden* Zur Scharfeinstellung muß bei den bekannten elektrostatischen Elektronenmikroskopen das Objekt verschoben werden_e Die Vorteile der Swei-Polechaltung bleiben im wesentlichen erhalten, wenn das Mittelelektrodenpotential etwas (etwa 1%) von dem Kathodenpotential abweicht« ist also ohne Aufgabe der Vorteile der Zwei »Polschaltung möglich.;, durch geringe Spannungsgnderungen an der Mitteleltrode des Objektivs scharfeinzuste1len*

Gegenstand der Erfindung ist eine besonders einfache Einrichtung dieser Art, die auch bei elektrostatischen Elektronenmikroskopen anzuwenden ist, die mit Vorrichtungen zum Stabilisieren des Spannungsahfalls an einem Kathodenpotentiometer ausgerüstet einde Parallel zu diesem Stabilisator wird nämlich ein^ vorzugsweise Stufenloses_x Potentiometer vorgesehen, dessen Abgriff mit der Mittelelektrode des Objektivs verbunden ist_β Dadurch_i daß dieses Potentiometer parallel zum Stabilisator geschaltet ist, ist zugleich Sichergestellt_i daß die der Mittelelektrode zugeführte Spannung sich von der Spannung der Hochspannungsquelle um einen konstanten Betrag unterscheidet*, Die Scharfeinstellung mit dieser Einrichtung ist sehr einfach auszuführen^ da das Potentiometer nur für eine Spannung von einigen hundert Volt, beispiels- f weise für 600 Volt, und einen sehr kleinen Strom ausgelegt zu werden brauchte

Sesonders zweckmäßig ist es bei elektrostatischen Elektronenmikroskopen, bei denen die Begelung des Emiss ions stromes durch Einstellen des Potentials des Wehnelt-Zylinders erf ο Igt, im Kathodenstromkreis ein Potentiometer mit zwei Abgriffen vor zusehen, von denen der eine zum Scharfeinstellen dient _s und der andere das einstellbare Potential für den Wehneltzylinder liefert „

Die Figur zeigt in schematischer Barstellung ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Einrichtung.,

Zum Hegeln der Emission der Kathode 1 dieht der WehneIt-Z^lintf β. 2_fi dessen Potential in Sezug auf die Kathode mit Hilfe des Potentiometers 3 verändert werden kann* Bin Teil des Potentiometers bildet bei dem Ausführungsbeispiel zugleich den Kathoden widerstände, -Parallel zum Potentiometer 3 ist ein Stabilisator 4- und ein weiteres Potentiometer 5 Vorgesehen_i dessen Abgriff mit der Mittelelektrode 6 des Objekti^-VS verbunden ist,-, Die Außenelektroden 7§ cLer Auff_angschirm 8 und die Anode 9 des Btrahlerzeugers sind miteinander verbunden und geerdet_fcwährend) die ^itt elelektrode 6 demgegenüber ein h Ohea _pVon der Spannungsquelle Io erzeugtes negatives Potential von beispielsweise - 5© kV aufweistc

Claims (1)

1. Patentansprüche«

   lc Einrichtung zum Scharfeinstellen von mit Verrichtungen zum Stabilisieren des Spannungsabfalls am Kathodenwiderstand ausgerüsteten elektrostatischen Elektronenmikroskopen dadurch gekennzeichnet_f daß parallel zum Stabilisator ein^ vorzugsweise Stufenlosys_x Potentiometer vorgesehen ist dessen Abgriff mit der Mittelelektrode des ■Cfejektivs verbunden ist β

   2ο Sinrichtung nach Patentanspruch 1 mit Vorrichtungen zum Eegeln des Emissionstromes durch Einstellung des Potential am WtihneItzyllnder_s dadurch gekennzeichnet, daß im Kathodenetromkreis ein Potentiometer mit zwei Abgriffen vorgesehen ist _? von denen der eine zum Scharfeinstellen dient und der andere dan Sathodenwiderstaiid abgreift und so das einstellbare Potential für den Wehnelt-Zylinder liefert₀