DEP0035731DA - Hochvakuum-Ionenstrahlröhre mit Glühkathode - Google Patents
Hochvakuum-Ionenstrahlröhre mit GlühkathodeInfo
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- ion beam
- beam tube
- high vacuum
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- cathode
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Description
Hochvakuum-Ionenetrohlröhre mit Glühkathode
Bi© Erfindung betrifft eine I einstrahlröhre mit Glüh-Kohl* kathode im Hochvakuum. Bs sind bereits Moranongen bekannt»
bei denen einerseits mit der sogenannten KrugOohen Hohlkathode im GliiBiaentladungszustand gearbeitet wurde und bei denen en-Sererseits
aber auch eine GlüÄshlkathoäe im Hochvakuum «ur Verwendung kern» um Elektronenstr^lbundel für Blektronenstrahl-Oeaillographen
mit niedrigen Spannungen m erzeugen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe sugronße, eine Ionenstrahleraeugung mit einem einzigen System vorzunehmen. Srfinaungs«-
gemäss wird hierzu eine beiderseits offene Glüh-ilohlkathode Verwendett deren einer Öffnungsseite eine Elektrode als Anode
und deren anderer öffnungsceite ©ine negative Spaltelektrode oder LocheIektrode gegenüberstehen. Dabei kbnnen zusäteliohe
elektrische beaw« toagnetisehe Felder angewendet werden» die der Beeinflussung der Richtung und Konsentration des Ionenstrahl
Ies dienen®
Anhand der Zeichnung soll die Erfindung näher erläutert werden« Bie Figur aeigt rein schematisch einen Ionenstrahlerzeuger
nach der Erfindung in seinen für die Erfindung wesentlichen Seilen· Iit 1 ist hierbei eine an beiden Seiten offene Glüh-Hohlkathode
bezeichnet. Gegenüber der einen Öffnungsseite der Hohlkathode befindet si oh eine gogez^Ob^r der Kathode
positive Anode 2 sur Beschleunigung der eniljierten Elektronen und zur Stossersseugong mit den Eestgas· Gegenüber des anderen
öffnung©seite ist eine gegenüber der Kathode negative Spaltelektrode 3 vorgesehen, die sua Ansaugen der is Ionisierungsraua
Skn/Sehu
22.2.49/ßo 17.δ.50
gebildeten positive» lomen dient* Me Wirkung aueütslicher elektroetatiecher oder magnetischer FelSer ist d arch die
ge8tricheIt geseichneten Mncen 4 und 5 veranschaulicht, die eine Beeinflussung der Kiehtung und Eonsentration dee
Ionenetrahles auf die Blende herbeiführen.
Claims (2)
- Patentansprüche1· Hoehvakuum-Ionenstrahlröhre Bit Glühkathode, gekennaelehnet durch eine beiderseits offene Glüh-Hohlkathode, deren einer üffnungsseite eine positive Elektrode als Anode und deren anderer öfinungeseite eine negative Spaltelektrode ge tie nübers t ehent
- 2. Hochvetoium-Ionenotrahlröhre nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zusätzliche elektrostatische und/oder magnetische Pelder zur Beeinflussung der Eichtung und Konzentration des Ionenstrahles vorgesehen sind.
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