DEL0000719MA - Magnetische Linse, insbesondere für elektronenoptische Systeme - Google Patents

Description

Λ 605/Β 1322

insbesondere flip fllektronanoptiaohe

.Sy et erne.

M* MrfttiAxm$ bezieht sich auf magnetische Linsen, wie si© ioafür elektraneaoptisolae öyateme, beispielsweise in mikrcM&optii, verwendet werden. Hiorbel können die

pagnatischen Xiinsen sowohl perB5*nentiaagne tische als aaoh tisohö Xinoea ßein. Bisher war es üblioh, äit magnetischer Linsen mit Plan- oder Zylinderflächen

au vereehea, oder aber rianflachen Eiit torisohen Flächaa z\x toabinlareiu An die Heretsliaagegenaai^keit dieser Fläoaen große Anfarderangen gestellt, da ihre Qualität die

waesjntlich ©Ute der elektronenoptische«. Abbildang/boeinflnöt. 2iae besonder® Sohwierigfceit besteht do,rin, eine välli^e Rotations-•yiaaetrie der Polooliuhe au.einander ojid der ."y gegenüber den Übrigen flächen der r.olGohube za

2ar Behebung dieaer aohwierigkeiten wird daller erfi-idungägecäB Torgeeolilagsn, die wirksamen Fliichen der Poloohuhe darartiger magnetisehay Linsen nach o^tiochen- Gchleifverfahren mit maßhaltiger Schal· beraustellen· Dabei sollen wenigstens zwei der nach optischen Sofcleifvsrfaliren Eiit maßhaltiger Schale feergestelltenv'elektronenoptisch wirksamen Flächen jadea Peisohuhes derart rotationssymiuetriach angeordnet sein, daß »ie ein«: geaeiaßÄme Kante usiteinander bilden, wobei eine der beiden flächen Mit endlichem Radiaa sphärisch gekrümmt iet» UeT. iQpiiffl£3ang'0iaitt#lp5inlct der sphärischen 3ohru.n£sflächen itegt v^rasigeweise außerhalb der Begrenaongeilächen, eines Polder Symei@trieao!'i®e dts von den Polsohohen gebil»

■f©t#n SyBteme· Me eriiäri80ß begrenzten Bohrungen des lo Dipole' sind in weiterer Aasfuiirung der

»it ihren kleineren Dorohmeesern einander zugekehrt angeordnet·

Ia beaW$er8 srweetauißiger Ausführung der Erfindung verden 4ie "Pelsohohe aas naoh optischen Qchleif^rerfahren mit aalhaltiger Schalt hergestellten nlajrro&rallelen Platten gebildet, deren

mit nach denselben Verfahren hergestellten sphäri— Flächen versehen sind. Vorzugsweise werden die naeh optischen Sohleifverfahren vorgeschliffanen and vorpolierten ?0lsohuhe vor dem Fsrtigüoliaren einer Baaam^fung - vorzugaweise mit Kobalt mid Sisen - iaa Hochvakuum unteaegen.

Derartige magnatieohe Linaea laasen eiah in ihren wirkseiaen mit de^eelban Genauigkeit herstellen wie die optisol^ Fläohen der Glaeo^tik.Ihre wirkaaiaen Flächen laesen da"bel iö. einer den KJraftlinienfluB begünstigenaen W_oiae anordnen. Sie ermöglichen dartü*er hinaus geaäß der Erfindung die Anwendung optischer «Tustierverfahren »um Justieren elektronenoptisoher Systeme derart, da3 di« durch aphäri3ehe Pläohen toegreiaaten BoliruBgen plan paralleler Polsohuhe mittels eingelegter Hilfelijnaen, vorzugsweise Plankonvexlineen, durch auto-

unü. interferomat-isohe KOiitrollmittel gegenüber den planp&ralleXen Platten auereriohtet und mittels einer #aetier^isMUsl anhand der Reflexbilder der optischen Linsen aohsa^ereoht justi-rt «erden,

W#itere Biaaelheiten der Erfindung seien anhand dex Zeichnung erläutert»

Silt« »ögn«tische linee 1 besitzt die planparallelen Polsohuhe 2, ti* aiit zentral angeordneten Bohrungen 3 versehsn sind· Die planpexallelea ^äoben 2s uad 2b der Polochuhe 2 werden durch

Polierea tiater iaterferonetriaoher kontrolle . Die Bögrensungsfläohen 4 der Bohrungen 3 Bind ershärlee xm& poliert. Die Kontrolle erfolgt in nach glaeop~

tischen Methoden übliofrer 7;alsa mit einem Probeglae. Die fertige ■'"olitor der T>lanparallelen Pläohen 2a and 2\y @o%i%. der sphärischen Fläohen 4 erfolgt eret naob vorheriger Bedampfuag di©e#r Flächen r:it iCobalt and Sisen ir.; HoohTalnttum, au ein0 aiöglioiis'fe groj® ilOwOgenität das Cfefiigas der rolsoliuh©, ine besondere an dersn. eoiiarfen Kanten and an den für d aa Magnetfeld wichtigen zu. ersielan.

Zum Jastisren werden in die Bohrungen 3 Kilfslinsan 5 eingol*gt_tteren Planfläahea duxoh A tiona^ontrolle oder interferenz parallel au den Plä Polaoliahe 2 aasgariolitat werden. Auf Jaatierspindeln, anschließend die Sentrieruii^ der Polsehuhe entsppeotiead den ReflextiildQrn der Linasu. Die Jastierua^ kann gegebeaeafall aaon dnrob ZxihiliQiaaimB der Interferenas mit ®ntst?reche»£l.en Interfarena- liikroakopen vorgenommen werden.«

Claims (1)

1. A η β % r a ο h 9,

   Linse, insbesondere für elektronenoptische SyettJBt, gekennzeichnet durch naoh optischen oghleifverfahren mit. ©aß·· baltlßer sozial· hergestellte^ elektronen pt ioo&oirirkesuae Pläohen der Polcohuhf«,

   2« kagnetisahe Linse naoh Anapruöh 1, gekaiinasichnat diü*eii wenigstens awei, Toraogsweisa ein« geaalnaame Kante Eiit ■bildende, naoii or>tisohejtt ScUleifvarfalirtn mit maßhaltiger rotatiories^Taüietrisoli hergasteilte^ ©lektronanoptisoh wirksame Flclcbsn jedes Tolaolmhea, deren eia· mit endlioliem Radltie

   5· Magnetiüoiie Linse naoh Anspraoh 1, gelcönnsseiohnet daroh naoh optlaoiian Sohleifverfahren mit raaßhaltiger Schale hergestellte ?lanparallel— Platten als Polsohuhe, deren Bo^'ra.ageii mit naoii denselben ?erfahren hergestellten sphäxischen ?läohen mit endlicheE: Radiae "begrenzt and rotationssymmetrisch, eaeinander angeordnet aind.

   Llnae nach Antpruoh 5» dadurch gekeüazeioh3a.Gt_fdWI ÄHP

   l^aiikt dar s^hLülrieohen Bohrungsf 1 lohea außerhalb der Poleofeuhbesrenautngsfläohen aaf der SyEatetrieaehse 4ββ Systeme liegt.

   5. Kagtutisohe I»ins# naoh einem oder ctehreren der Aasrrüohe 1-4» dadaroh ^ekeima β lohnet, de$ die srshtoisoh hegreinaten des magnetischen Ui"öle mit ihren kleineren A einander zugekehrt sind*

   δ· Kagnetisclia Linse naoL einem oder mehreren der Ana-rüehe 1-5» dadtirc c^Xennzeiohnet^ daB uie naoh o-otiaohen Yerfaliren topg-eeaLIiffenen und voruolltärtan Foleohohe vor dam Fertigpolieren einer Bcdai-^fang - heio^ielsweiae mit Xobalt und Bisen im Hoohvekaan anteraocen werden.

   7. Terfahran auia Jaeiiloren von magaeiieohen Linsen οδ#τ elektronanopti.'iohen Syetenta naot den Ansprüchen 1-6» dedureh kennss a lohnet, daß ^.Ie durch ephürisohe fläohea Bohrungen⁴ dtr pla*rmmll@len Polsohahe ifittols

   (9), vorssosaweie« PXanXoirrexIiassa, die oder

   ausgerlchttt and laittel© eia^r 2entriersT3isad#l aiiiia^l üxrer z«.i3ai.:man ^it d§n ^laobtihblatten justiert