DE976182C

DE976182C - Mikrotastsystem

Info

Publication number: DE976182C
Application number: DE1954P0013866
Authority: DE
Inventors: Johannes Dr-Ing Perthen; Hans-Karl Steudel
Original assignee: Dr-Ing Johannes Perthen Hannover
Current assignee: Dr-Ing Johannes Perthen Hannover
Priority date: 1954-09-08
Filing date: 1954-09-08
Publication date: 1963-04-18

Description

Das Patent 976 102 betrifft ein Mikrotastsystem für die Oberflächenprüfung, das aus einem zylindrischen oder kugeligen Körper besteht, der mit einer Tastspitze versehen und an einem Führungsarm pendelnd gelagert ist.
Die Erfindung betrifft eine weitere Verbesserung dieser Vorrichtung. Nach der Erfindung greift der Führungsarm an dem pendelnd gelagerten Gleitkörpervorzugsweiseunterhalb der Mittelachse dieses Körpers an. Weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den Patentansprüchen.
Ein Ausführungsbeispiel ist in der Zeichnung dargestellt, und zwar zeigt Abb. I einen zylindrischen Körper 2, der auf einer zu prüfenden Oberfläche I gleitet. In dem Körper 2 befindet sich die Tastspitze 3, die an einem um einen Lagerpunkt 5 beweglichen Mechanismus 4 befestigt ist, der seinerseits mit dem elektromechanischen Wandler 6 verhunden ist. Dieser elektromechanische Wandler wird also von der Tastspitze 2 beeinflußt und überträgt seine elektrischen Zustandsänderungen auf den Verstärker 7. Der zylindrische Körper 2 wird von einem Arm 8 bewegt, der vorzugsweise unterhalb der Mittelachse des Zylinders 2 angreift.
Diesen Angriffs- bzw. Lagerpunkt II erkennt man aus der Abb. 2 am besten.
Das Führungsgestänge8 ist, wie Abb. 3 zeigt, beweglich an einem Schlitten 9 befestigt, der längs einer Gleitbahn 10 sich bewegt. Der zylindrische Körper 2 braucht mithin nicht mit seiner ganzen Fläche auf der Oberfläche 1 aufzuliegen, sondern nur mit einem Teil, beispielsweise mit den Teilbereichen I2 und I3, dadurch, daß der dazwischenliegende Teil 14 ausgeschliffen wurde. In Abb. 4 ist aber nun dargestellt, daß diese Auflageteilbereiche auch als kugelförmige Auflagerstellen I5 und I6 ausgebildet sein können. Man kann aber auch nur mit einem einzigen Auflagerpunkt auskommen, wenn man das Gestänge8 mit dem zylindrischen Körper 2 durch die Verriegelungseinrichtnng 18 starr verbindet, wie es die Abb. 5 ausführt.
Diese verriegelte Einheit läßt sich nun in Abb. 6 durch die Stelischraube 24 so weit anheben, daß der Auflagerpunkt I7 nicht mehr die Oberfläche I berührt. Dies. kann z. B. durch eine elektrische Einrichtung 19 überwacht werden, die in der einfachsten Form z. B. die Unterbrechung eines Stromkreises anzeigt. Auf diese Weise ist es also möglich, die Oberfläche abzutasten, ohne daß der Zylinder selbst auf ihr gleitet.
Die Lagerung des Gleitkörpers unterhalb der Mittelachse kann nun nicht nur bei einem zylindrischen, sondern auch bei einem kugeligen Gleitkörper, wie ihn Abb. 7 zeigt, angewendet werden.
Hier ist der kugelige Gleitkörper 20 mittels der Membranen 21 an dem Führungsgestänge 22 gehaltert, das in der oben beschriebenen Weise an dem Schlitteng aufgehängt ist, wie Abb. 8 darstellt. Die den elektromechanischen Wandler 6 in Abb. 7 verstellende Tastspitze 3 ist ihrerseits wieder im Inneren des kugeligen Gehäuses 20 mittels Blattfedern oder Membranen 23 aufgehängt.

Claims

PATENTANsPRÜcHE: I. Mikrotastsystem nach Patent 976 in2, dadurch gekennzeichnet, daß der Führungsarm vorzugsweise unterhalb der Mittelachse des pendelnd gelagerten Gleitkörpers an diesem an greift.
2. Mikrotastsystem nach Anspruch I, gekennzeichnet durch als Kugelkalotten ausgebildete Gleitflächen (I5 und I6).
3. Mikrotastsystem nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß der mit dem Führungsarm verriegelte Gleitkörper durch eine beispielsweise als Stellschraube ausgebildete Verstelleinrichtung von der Oberfläche abhebbar ist.
4. Mikrotastsystem nach Anspruch I, gekennzeichnet durch ein mittels Membranen an dem Führungsgestänge unterhalb des Mittelpunktes aufgehängtes kugeliges Gehäuse mit im Inneren an Membranen oder Blattfedern aufgehängter Tastspitze.