DE9403296U1 - Laserstrahlprofilmeßgerät - Google Patents

Laserstrahlprofilmeßgerät

Info

Publication number
DE9403296U1
DE9403296U1 DE19949403296 DE9403296U DE9403296U1 DE 9403296 U1 DE9403296 U1 DE 9403296U1 DE 19949403296 DE19949403296 DE 19949403296 DE 9403296 U DE9403296 U DE 9403296U DE 9403296 U1 DE9403296 U1 DE 9403296U1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
laser beam
beam profile
measuring device
profile measuring
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE19949403296
Other languages
English (en)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
FORTECH HTS SENSORTECHNOLOGIE
Original Assignee
FORTECH HTS SENSORTECHNOLOGIE
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by FORTECH HTS SENSORTECHNOLOGIE filed Critical FORTECH HTS SENSORTECHNOLOGIE
Priority to DE19949403296 priority Critical patent/DE9403296U1/de
Publication of DE9403296U1 publication Critical patent/DE9403296U1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
    • G01J1/4257—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to monitoring the characteristics of a beam, e.g. laser beam, headlamp beam
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
    • G01J5/20—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using resistors, thermistors or semiconductors sensitive to radiation, e.g. photoconductive devices
    • G01J2005/208—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using resistors, thermistors or semiconductors sensitive to radiation, e.g. photoconductive devices superconductive

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)

Description

Beschreibung: Laserstrahlprofilmeßgerät
Um cw-Laserstrahlprofile ortsaufgelöst darzustellen zu können, werden im allgemeinen rotierende Vorrichtungen gewählt, die Teile des Laserstrahls ausblenden durch Reflexion an einer rotierenden Nadel oder durch Transmission durch eine mit Schlitzen oder Löchern versehen Scheibe , so daß Teile des Strahls auf einen Sensor fallen. Wir haben eine Gerät entwickelt, daß durch den Einsatz eines Atomlagenthermosäulenflächensensors (ALT) einen variablen Einsatz beim Abscannen von Laserstrahlen bietet:
• die Verwendung eines Schlitzes in einen Chopperblatt mit einem dahinterliegenden Flächensensor erlaubt x- oder y- scans des Strahls.
• die Verwendung eines Schlitzes mit einem Zeilenarray erlaubt eine online 3-D Intensitätenprofilmessung
• die Verwendung von Spiralförmig versetzen Löchern und einem dahinterliegenden Flächensensor scannt den Strahl schrittweise und zeitvesetzt ab.
Die von dem ALT-Sensor erzeugten Spannungssignale können direkt auf ein Oszilloskop (beim x- oder y- scan) oder über eine PC-Karte in einen Computer eingelesen werden. Letzteres führt zu einer om-line Darstellung des Intensitätsprofil eines Laserstrahls, der Vorteil bei der Verwendung ergibt sich aus den Eigenschaften des ALT-Sensors. Durch die aktive Fläche von 10*10 mm oder größer kann mit einer einfachen Apparatur z.B. C02-Laserstrahlprofile abgetastet werden. Durch die kleine Zeitkonstante von 1 ns können in sehr kurzer Zeit viele daten erfasst werden, der Sensor ist linear mit der einfallenden leistung über 11 Größenordnungen hinweg, so daß er sich in hervorragender Weise als Leistungssensor eignet. Bei der verwendung von PC-Karten mit meheren paralleen Eingängen können Zeilenarrays ausgelesen werden.

Claims (1)

  1. Schutzansprüche: Laserstrahlprofilmeßgerät
    Laserstrahlprofilmeßgerät, bestehend aus einer
    rotierenden Vorrichtung, die eine Scheibe mit Löchern oder Schlitzen oder eine Nadel sein kann, zum Ausblenden oder Durchlaß von Teilen eines Laserstrahls, so daß ein Laserstrahlprofil abgescannt werden kann, die dadurch gekennzeichnet ist, daß die ausgeblendeten Teile des Strahls auf eine Hochtemperatursupraleiterschicht (Atomlagenthermosäule) oder Zeilenarray einer Hochtemperatursupraleiterschicht mit einer Schräglage der Kupfer-SauerstoffZwischenschichten bezüglich der Substratoberfläche durch Reflexion oder durch Transmission fallen, wodurch mittels eines transversalen thermoelektrischen Effekts Spannungssignale in der Schicht induziert werden.
DE19949403296 1994-02-28 1994-02-28 Laserstrahlprofilmeßgerät Expired - Lifetime DE9403296U1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19949403296 DE9403296U1 (de) 1994-02-28 1994-02-28 Laserstrahlprofilmeßgerät

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19949403296 DE9403296U1 (de) 1994-02-28 1994-02-28 Laserstrahlprofilmeßgerät

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE9403296U1 true DE9403296U1 (de) 1994-06-16

Family

ID=6905222

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19949403296 Expired - Lifetime DE9403296U1 (de) 1994-02-28 1994-02-28 Laserstrahlprofilmeßgerät

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE9403296U1 (de)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE60220213T2 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Polarisationsanalyse
DE60031677T2 (de) Sonde aus optischer faser für photoakustische materialanalyse
DE19914994A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenprüfung
EP3633405A1 (de) Messgerät zur geometrischen 3d-abtastung einer umgebung mit einer vielzahl sendekanäle und semiconductor-photomultiplier sensoren
AT411496B (de) Verfahren und einrichtung zum optischen testen von halbleiterbauelementen
DE69112784T2 (de) Elektronischer Bolometer mit Quantentöpfen und Verwendung für einen Strahlungsdetektor.
EP0676046B1 (de) Verfahren und vorrichtung zum nachweis von oberflächenplasmonen
DE4015893A1 (de) Vorrichtung zur beruehrungslosen und zerstoerungsfreien untersuchung der inneren und/oder aeusseren struktur absorptionsfaehiger prueflinge
DE69010053T2 (de) Methode und Vorrichtung zum Nachweis einer Spannung.
DE10119599A1 (de) Verfahren zur Bestimmung von Temperaturen an Halbleiterbauelementen
Venkataraman et al. Characterization of MBa 2 Cu 3 O 7-Thin Films by Raman Microspectroscopy
DE9403296U1 (de) Laserstrahlprofilmeßgerät
Ling et al. Measurement of bulk lifetime and surface recombination velocity by infrared absorption due to pulsed optical excitation
DE19781728B4 (de) Optisches Verfahren und System zum Bestimmen mechanischer Eigenschaften eines Materials
DE19882660B4 (de) Optisches Verfahren für die Kennzeichnung der elektrischen Eigenschaften von Halbleitern und Isolierfilmen
DE19909595A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Vermessung der räumlichen Leistungsdichteverteilung von Strahlung hoher Divergenz und hoher Leistung
DE102007029923A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Wellenfrontvermessung von Laserstrahlung
DE69703901T2 (de) Verfahren zur Bewertung der Sauerstoffkonzentration in halbleitendem monokristallinem Silizium
DE69232288T2 (de) Messung von materialeigenschaften mit optisch induzierten phononen
DE69510734T2 (de) Röntgenspektrometer mit streifendem ausfallwinkel
Tate et al. Angle‐dependent laser‐induced voltages in room‐temperature polycrystalline wafers of YBa2Cu3O7− x
DE69329763T2 (de) Elektrooptische Messeinrichtung
AT375189B (de) Roentgensimultanspektrometer
Ploss Probing of pyroelectric distributions from thermal wave and thermal pulse measurements
DE19745945A1 (de) Verfahren und Anordnung zur optischen Probenuntersuchung