DE9309738U1 - Koordinatenmeßgerät mit einer Abdeckung für eine Führungsbahn - Google Patents

Koordinatenmeßgerät mit einer Abdeckung für eine Führungsbahn

Info

Publication number
DE9309738U1
DE9309738U1 DE9309738U DE9309738U DE9309738U1 DE 9309738 U1 DE9309738 U1 DE 9309738U1 DE 9309738 U DE9309738 U DE 9309738U DE 9309738 U DE9309738 U DE 9309738U DE 9309738 U1 DE9309738 U1 DE 9309738U1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
guideway
cover
measuring device
coordinate measuring
coordinate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE9309738U
Other languages
English (en)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss AG filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
Priority to DE9309738U priority Critical patent/DE9309738U1/de
Publication of DE9309738U1 publication Critical patent/DE9309738U1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
    • G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D11/00—Component parts of measuring arrangements not specially adapted for a specific variable
    • G01D11/24—Housings ; Casings for instruments

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
DE9309738U 1993-06-30 1993-06-30 Koordinatenmeßgerät mit einer Abdeckung für eine Führungsbahn Expired - Lifetime DE9309738U1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE9309738U DE9309738U1 (de) 1993-06-30 1993-06-30 Koordinatenmeßgerät mit einer Abdeckung für eine Führungsbahn

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE9309738U DE9309738U1 (de) 1993-06-30 1993-06-30 Koordinatenmeßgerät mit einer Abdeckung für eine Führungsbahn

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE9309738U1 true DE9309738U1 (de) 1993-08-26

Family

ID=6895034

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE9309738U Expired - Lifetime DE9309738U1 (de) 1993-06-30 1993-06-30 Koordinatenmeßgerät mit einer Abdeckung für eine Führungsbahn

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE9309738U1 (de)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69428373T2 (de) Fehlererkennungsgerät für gravierer
DE69431963D1 (de) Kathtersystem mit verbesserter spürspitze für ein arbeitsteil
DE69000943T2 (de) Einrichtung zur messung einer relativen verlagerung.
DE69217443D1 (de) Gerät zur Gebrauchsanalyse einer Frankiermaschine
DE69326808D1 (de) Prüfvorrichtung für Behälter
DE69313336D1 (de) Berührungsloses Positionsmessgerät
DE69409056D1 (de) Kombinationsvorrichtung für Bohrlochmessung
DE69306858T2 (de) Messapparat für Konturen
DE59406355D1 (de) Positionsmesseinrichtung
DE59106288D1 (de) Einrichtung zur Kühlung einer SQUID-Messvorrichtung.
DE69409679T2 (de) Führungseinheit für Linearbewegungen
DE59301715D1 (de) Verbindungsvorrichtung für eine Abdeckhaube
DE69307263D1 (de) Roboterhand mit Messeinrichtung
DE59406389D1 (de) Positionsmesseinrichtung mit Hologramm-Masstab
DE59808799D1 (de) Linearlager mit einer Einrichtung zum Messen
DE69620711T2 (de) Koordinatenanzeiger oder Vorrichtung zum Gebrauch mit Koordinatenablesevorrichtung
FI960147A (fi) Testauslaite
DE69202077D1 (de) Positioniervorrichtung für eine Dichtung.
DE9400080U1 (de) Trägereinrichtung für eine Bürste
DE9312383U1 (de) Formstück für eine fahrradfreundliche Gleisübergangseinrichtung
DE69420299T2 (de) Positionsanzeiger
DE9309738U1 (de) Koordinatenmeßgerät mit einer Abdeckung für eine Führungsbahn
DE59108552D1 (de) Mine mit einer Verlegeeinrichtung für eine Sensorleitung
DE69323439D1 (de) Greifvorrichtung für verschiedenartige behälter
DE69213556T2 (de) Druckgerät für Markierungen