DE9103494U1 - Vorrichtung zur Belackung von Substraten - Google Patents
Vorrichtung zur Belackung von SubstratenInfo
- Publication number
- DE9103494U1 DE9103494U1 DE9103494U DE9103494U DE9103494U1 DE 9103494 U1 DE9103494 U1 DE 9103494U1 DE 9103494 U DE9103494 U DE 9103494U DE 9103494 U DE9103494 U DE 9103494U DE 9103494 U1 DE9103494 U1 DE 9103494U1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- pot
- substrate holder
- opening
- substrate
- paint
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 53
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims description 12
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims description 12
- 239000003973 paint Substances 0.000 claims description 29
- 238000009987 spinning Methods 0.000 claims description 6
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000004922 lacquer Substances 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/6715—Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE9103494U DE9103494U1 (de) | 1991-03-21 | 1991-03-21 | Vorrichtung zur Belackung von Substraten |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE9103494U DE9103494U1 (de) | 1991-03-21 | 1991-03-21 | Vorrichtung zur Belackung von Substraten |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE9103494U1 true DE9103494U1 (de) | 1992-07-16 |
Family
ID=6865541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE9103494U Expired - Lifetime DE9103494U1 (de) | 1991-03-21 | 1991-03-21 | Vorrichtung zur Belackung von Substraten |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE9103494U1 (it) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1210984A2 (de) | 1994-12-22 | 2002-06-05 | Steag HamaTech AG | Verfahren und Vorrichtung zur Belackung oder Beschichtung eiens Substrats |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2021979A (en) * | 1978-05-23 | 1979-12-12 | Fsi Corp | Applying processing fluid onto silicon wafers |
| US4550679A (en) * | 1984-06-11 | 1985-11-05 | Harvey Russack | Device for producing decorative patterns on clothing |
| US4609575A (en) * | 1984-07-02 | 1986-09-02 | Fsi Corporation | Method of apparatus for applying chemicals to substrates in an acid processing system |
| DE3705592A1 (de) * | 1987-02-21 | 1988-09-01 | Convac Gmbh Geraete Zur Halble | Vorrichtung zur duennen beschichtung (belackung) scheibenfoermiger substrate fuer elektronische anwendungszwecke, bspw. leiterplatten, compact disks etc. |
| US4889069A (en) * | 1987-11-23 | 1989-12-26 | Tazmo Co., Ltd. | Substrate coating equipment |
| US4941426A (en) * | 1987-09-18 | 1990-07-17 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Thin-film coating apparatus |
| JPH05214639A (ja) * | 1991-09-07 | 1993-08-24 | Sipra Patentwickl & Beteiligung Gmbh | プラッシュ生地製造用の丸編み機およびシンカ |
-
1991
- 1991-03-21 DE DE9103494U patent/DE9103494U1/de not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2021979A (en) * | 1978-05-23 | 1979-12-12 | Fsi Corp | Applying processing fluid onto silicon wafers |
| US4550679A (en) * | 1984-06-11 | 1985-11-05 | Harvey Russack | Device for producing decorative patterns on clothing |
| US4609575A (en) * | 1984-07-02 | 1986-09-02 | Fsi Corporation | Method of apparatus for applying chemicals to substrates in an acid processing system |
| DE3705592A1 (de) * | 1987-02-21 | 1988-09-01 | Convac Gmbh Geraete Zur Halble | Vorrichtung zur duennen beschichtung (belackung) scheibenfoermiger substrate fuer elektronische anwendungszwecke, bspw. leiterplatten, compact disks etc. |
| US4941426A (en) * | 1987-09-18 | 1990-07-17 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Thin-film coating apparatus |
| US4889069A (en) * | 1987-11-23 | 1989-12-26 | Tazmo Co., Ltd. | Substrate coating equipment |
| JPH05214639A (ja) * | 1991-09-07 | 1993-08-24 | Sipra Patentwickl & Beteiligung Gmbh | プラッシュ生地製造用の丸編み機およびシンカ |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| JP Patents Abstracts of Japan: 1-176473 A., C.644, Oct.16, 1989, Vol.13, No.457 * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1210984A2 (de) | 1994-12-22 | 2002-06-05 | Steag HamaTech AG | Verfahren und Vorrichtung zur Belackung oder Beschichtung eiens Substrats |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| AT389959B (de) | Vorrichtung zum aetzen von scheibenfoermigen gegenstaenden, insbesondere von siliziumscheiben | |
| DE2621952C2 (de) | Vorrichtung zum Entplattieren und Reinigen von Plättchen oder Substraten | |
| DE3026859A1 (de) | Vorrichtung fuer das aufbringen von photolack auf siliziumwafer | |
| DE60303300T2 (de) | Verfahren und vorrichtung zum füllen einer farbstoffsensibilisierten solarzelle mit elektrolyt | |
| DE102020201805A1 (de) | Schleuderreinigungsvorrichtung | |
| DE4202194C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum partiellen Entfernen von dünnen Schichten von einem Substrat | |
| DE19842902A1 (de) | Entwicklungssystem zur Herstellung von Halbleiterbauelementen und zugehöriges Steuerungsverfahren | |
| EP1152839B1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum behandeln von substraten | |
| DE3705592A1 (de) | Vorrichtung zur duennen beschichtung (belackung) scheibenfoermiger substrate fuer elektronische anwendungszwecke, bspw. leiterplatten, compact disks etc. | |
| DE4203913C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Aufbringen und/oder zum partiellen Entfernen einer dünnen Schicht auf ein bzw. von einem Substrat | |
| DE9103494U1 (de) | Vorrichtung zur Belackung von Substraten | |
| DE3152232C2 (it) | ||
| WO1995005901A1 (de) | Vorrichtung zur belackung von substraten in der halbleiterfertigung | |
| DE2848029C2 (de) | Fliehkraft-Tauchgleitschleifmaschine | |
| DE29512500U1 (de) | Vorrichtung zum Lackieren eines flachen, kreisscheibenförmigen Substrats, insbesondere einer CD | |
| EP0711108B1 (de) | Vorrichtung zur belackung von substraten in der halbleiterfertigung | |
| DE3527516A1 (de) | Vorrichtung zum bespruehen von substratflaechen oder plaettchen, insbesondere fuer elektronische schaltungen oder bauteile | |
| DE3318895C1 (de) | Vorrichtung zum Feuchtbeizen von Saatgut | |
| DE2200023C3 (de) | Automat zur Herstellung von Magnetdlspersionsschichten für Magnetplatten | |
| WO2000042637A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum behandeln von flächigen substraten, insbesondere silizium-scheiben (wafer) zur herstellung mikroelektronischer bauelemente | |
| DE29505960U1 (de) | Anordnung zum Beschichten von Substraten | |
| WO2022223349A1 (de) | Aufbereitungs-einheit für viskoses material | |
| EP2530526B1 (de) | Vorrichtung zum Drehbelacken von Substraten | |
| DE9218974U1 (de) | Vorrichtung zum Aufbringen und/oder zum partiellen Entfernen einer dünnen Schicht auf ein bzw. von einem Substrat | |
| DE1604224C (de) | Raumbefeuchtungsgerat |