DE9101622U1 - Strahlfenster für Excimerlaser - Google Patents
Strahlfenster für ExcimerlaserInfo
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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Description
Beschreibung (1)
Strahlfenster für Excimerlaser
Die Erfindung bezieht sich auf die optischen Fenster, durch die der Laserstrahl die Laserkammer verläßt,
und in die Umwelt gelangt. Es ist üblich, auch den rückwärtigen Spiegel des Lasers als Fenster zu
bezeichnen. Davon wird hier Gebrauch gemacht.
Fenster von Excimerlasern erfüllen folgende Ansprüche:
- sie dichten den Überdruck in der Laserkammer gegenüber der Umwelt ab.
- sie sind i. A. justierbar, d. h. gegenüber der Strahlnormalen verkippbar.
- das Fenstermaterial ist für UV-Licht transparent (z. B. aus Quarz oder
- die Fensterinnenseiten sind weitgehend resistent gegenüber den agressiven Betriebsbedingungen in
der Laserkammer (UV-Licht,Schockwellen usw.)
- manche Fenster sind durch Schleusen von der Laserkammer trennbar, damit bei Austausch nicht
die gesamte teure Gasfüllung des Lasers verloren geht.
Die genannten Merkmale sind weitgehend bekannt und werden nicht weiter beschrieben.
Einige Excimerlaser produzieren bei Betrieb organische, flüchtige Verbindungen, die sich im Gaskreislauf
anreichern. Solche Moleküle können auf der Innenseite der Fenster adsorbiert werden. Bei Bestrahlung mit
UV-Laserlicht können diese Moleküle zu festhaftenden Kohlenstoffschichten photolysiert werden.
Beschreibung (2)
Da dieser Prozess wiederholt auftreten kann, ist so ein Wachstum von Kohlenstoffschichten
auf den Innenseiten der Fenster möglich. Die Laser-Ausgangsleistungwird wegen der Fensteranschwärzung
stark reduziert. In der Praxis versucht man, die organischen Verunreinigungen durch Ausfrieren in Kühlfallen
aus dem Gaskreislauf zu entfernen. Als Kühlmittel wird häufig flüssiger Stickstoff verwendet.
Dies ist für eine industrielle Anwendung vielfach zu aufwendig.
Auch das Auswechseln von angeschwäraten Fenstern bedeutet längere Totzeit im industriellen Prozess,
was einen solchen Einsatz unwirtschaftlicher macht. Durch Heizung der Fensterinnenoberflächen wird die
Wahrscheinlichkeit der Adsorption eines organischen Verschmutzungsmoleküls deutlich herabgesetzt.
Die Anschwärzung der Fenster geht deshalb wesentlich langsamer vonstatten, so wird also die Standzeit
der Fenster auch ohne Kühlfalle erheblich verlängert, Dabei ist es unwesentlich, auf welche Weise die
Temperatur des Fenstermaterials erhöht wird. Die beiliegende Zeichnung zeigt lediglich eine
mögliche Einfassung des Fenstermaterials sowie verschiedene Varianten der Beheizung.
Auf eine Darstellung der vollständigen Fensterhalterung wurde hier verzichtet, da keine
Neuerungen an diesen Teilen gegenüber bekannten Konstruktionen zu verzeichnen sind.
Beschreibung (3)
Es folgt eine Benennung und Erläuterung der kennzeichnenden Teile in der beigefügten Zeichnung:
(1) — optische Achse des Laserstrahls, innerhalb des Lasers verlaufend, gleichzeitig
Rotationsachse aller rotationssymmetrischen Teile
(2) — wie (1), aber außerhalb des Lasers verlaufend
(3) — Fenstermaterial (z. B. Quarz- oder CaF^-tlatte)
(4) — Fenstereinfassung (z. B. Edelstahl )
(5) ~ Dichtungsringe
(6) — Heißgasdüse, kann auch außerhalb des Lasers
angebracht werden, wird mit Heißgas gespeist und bläst Fensteroberfläche an
(7) — Heizkörper, besteht z. B. aus Heizwendel und
hat guten thexmischen Kontakt zum Fenstermaterial, erwärmt dieses durch Wärmeleitung,
kann auch an anderer Stelle angebracht werden
(8) — Strahlungsheizung, strahlt Energie auf Fenster
und erwärmt dieses dadurch, kann z. B. durch Glühwendel mit heflektor oder auch Mikrowelleneinstrahlung
realisiert werden, Einstrahlung auch von anderer Seite möglich
Claims (3)
1. Strahlfenster für Excimerlaser, dadurch gekennzeichnet,
daß das Fenstermaterial durch einen Heißgasstrom erwärmt wird
und der Randbereich durch thermischen Kontakt mit einer Heizquelle erwärmt wird
und das Fenstermaterial durch Wärmeeinstrahlung erwärmt wird.
2. Strahlfenster nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß das Fenstermaterial durch einen Heißgasbzw. Heißluftstrom von der Innen- oder Außenseite
der Laserkammer auf die Fensteroberfläche erwärmt wird.
3. Strahlfenster nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet,
daß das Fenstermaterial durch thermischen Kontakt am Randbereich oder anderer Oberflächenteile mit
einer Heizquelle erwärmt wird.
4-, Strahlfenster Anspruch 1 bis 3»
dadurch gekennzeichnet,
daß das Fenstermaterial durch Wärmeeinstrahlung
einer Quelle (z. B. Glühwendel) von der Innenoder Außenseite der Laserkammer erwärmt wird.
Unter Wärmeeinstrahlung ist auch die Einstrahlung anderer Strahlungsformen zu verstehen, solange
diese eine Erwärmung des Fensters bewirken.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE9101622U DE9101622U1 (de) | 1991-02-13 | 1991-02-13 | Strahlfenster für Excimerlaser |
Applications Claiming Priority (1)
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| DE9101622U DE9101622U1 (de) | 1991-02-13 | 1991-02-13 | Strahlfenster für Excimerlaser |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE9101622U1 true DE9101622U1 (de) | 1991-05-16 |
Family
ID=6864219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE9101622U Expired - Lifetime DE9101622U1 (de) | 1991-02-13 | 1991-02-13 | Strahlfenster für Excimerlaser |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE9101622U1 (de) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE29716875U1 (de) * | 1997-09-19 | 1997-11-20 | TUI Laser AG, 82166 Gräfelfing | Excimerlaser |
-
1991
- 1991-02-13 DE DE9101622U patent/DE9101622U1/de not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE29716875U1 (de) * | 1997-09-19 | 1997-11-20 | TUI Laser AG, 82166 Gräfelfing | Excimerlaser |
| DE19840035C2 (de) * | 1997-09-19 | 2002-01-24 | Tui Laser Ag | Excimerlaser |
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