DE904447C - Elektronen- bzw. Ionenstrahlroehre mit bandfoermigem Strahlbuendel - Google Patents
Elektronen- bzw. Ionenstrahlroehre mit bandfoermigem StrahlbuendelInfo
- Publication number
- DE904447C DE904447C DET5231D DET0005231D DE904447C DE 904447 C DE904447 C DE 904447C DE T5231 D DET5231 D DE T5231D DE T0005231 D DET0005231 D DE T0005231D DE 904447 C DE904447 C DE 904447C
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- electron
- constant
- point
- transverse field
- ribbon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J31/00—Cathode ray tubes; Electron beam tubes
- H01J31/02—Cathode ray tubes; Electron beam tubes having one or more output electrodes which may be impacted selectively by the ray or beam, and onto, from, or over which the ray or beam may be deflected or de-focused
- H01J31/04—Cathode ray tubes; Electron beam tubes having one or more output electrodes which may be impacted selectively by the ray or beam, and onto, from, or over which the ray or beam may be deflected or de-focused with only one or two output electrodes with only two electrically independant groups or electrodes
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
Es sind bereits Elektronenstrahlröhren bekannt, die ein bandförmiges Elektronenstrahlbündel aufweisen,
welches mittels Ablenkplatten über mehrere Auffangelektroden hin und her gelenkt wird. Solche
Röhren können z. B. als Elektronenschalter angewendet werden. Diesen Röhren haftete bisher grundsätzlich
der Nachteil an, daß sie nur mit verhältnismäßig hohen Anodenspannungen und kleinem
Strahlstrom betrieben werden konnten, weil anderenfalls die Raumladung im Strahl eine so starke
Divergenz des Strahllbündels zur Folge hat, daß die Röhre praktisch nicht mehr brauchbar ist. Mit
niedrigen Anodenspannungen und hohem Strahlstrom arbeitende Röhren sind aber sehr erwünscht,
weil die niedrige Anodenspannung eine hoheSteuerempfindlichkeit
und der große Strählstrom einen starken Strom im Anodenkreis gewährleistet. Ein
starker Strom im Anodenkreis ermöglicht wiederum die Verwendung kleiner Arbeitswiderstände, wodurch eine weitgehende Frequenzunabhängigkeiit erreicht
wird. Den Bau solcher Röhren ermöglicht die Erfindung auf folgende Weise: Eine Elektronenbzw.
Ionenstrahlröhre mit bandförmigem Strahlbündel enthält ein elektronenoptisches Immersionssystem
und darauf folgend ein elektrisches und/oder magnetisches, zeitlich konstantes Querfeld. Zur
Erzielung der notwendigen Fokussierung bei starken Strahlströmen (Raumladungskonstante
k — > 0,5) ist erfindungsgemäß die Apertur des Strahlbündels an der Eintrittsstelle in das zeitlich
konstante Querfeld in Abhängigkeit von der Raumladung
so gewählt, daß in der gewünschten Brenn-
ebene (Auffangelektrode) ein scharfer Strich entsteht.
Diesem zeitlich konstanten Querfeld oder diesen Querfeldern· wird das zur Ablenkung des
Strahles erforderliche Feld überlagert. So kann z. B. bei Verwendung eines kombinierten statischen und
magnetischen Querfeldes den sowieso erforderlichen Ablenkplatten neben einer konstanten Gleichspannung
auch die Steuerspannung zugeführt werden. Durch Anwendung der vorgenannten Maßnahmen
ίο gelingt es, starke StraMströme sdlbst bei niedrigen
Anodenspannungen einwandfrei scharf zu fokussieren, so daß nunmehr der Bau einer Elektronen- bzw.
Ionenstrahlröhre mit niedrigen Anodenspannungen und hohem Strahlstrom möglich ist.
Die Erfindung soll an Hand eines Schaubildes näher erläutert werden i([Abb. τ)· Dort ist ein
homogenes Magnetfeld zugrunde gelegt, in das ein paralleles Teilchenbündel homogener Geschwindigkeit
und Masse an einer durch den Polarwinkel φ = ο
gekennzeichneten Stelle eintritt. Die Achse eines solchen Bündels ist bekanntlich ein Kreis vom
Radius a, er ist in Abb. 1 auf die Abszissenachse
abgerollt. Der radiale Abstand irgendeiner außeraxialen Teilchenbahn von dieser Achse ist mit y
»5 bezeichnet und in Abb. 1 als Ordinate aufgetragen.
Ist nun die Raumladungskonstantek.= o, d.h. ist
keine Raumladung vorhanden, so tritt in bekannter Weise bei achsparallelem Strahleintritt in das
magnetische Querfeld eine Fokussierung zu einem scharfen Strich nach Durchlauf en eines Viertelkreises
bei π/2 ein. Die Bahn irgendeines Teilchens des Bündels ergibt sich in dem Schaubild als Kosinuslimie,
die im Punkt y0, der Eintrittsstelle in das
magnetische Feld, beginnt. Diese Kosinuslinie α schneidet erstmalig die Achse bei π/2, an welcher
Stelle sich ein erster Fokussierungspunkt befindet. Steigt nun die Raumladung im Strahl durch Vergrößern
der Strahlstromstärke an (k >o), so tritt
wegen der immer stärker werdenden gegenseitigen Abstoßung der Teilchen die Fokussierung an einer
späteren Stelle ein. Die Kurve b zeigt dies für eine Raumladungskonstante k = 0,5 und läßt erkennen,
daß bei dieser Raumladungskonstante gerade noch eine Fokussierung möglich ist, da die Bahn die
Abszissenachse in Punkt π tangiert. Wird jetzt die Raumladiungskonstante noch größer, d.h. man arbeitet
mit noch stärkeren Strahlströmen, so tritt keine Fokussierung der Elektronen zu einem scharfen
Strich mehr ein, wie die Kurven c-e für k >
0,5 eindrucksvoll zeigen. Bei einer Raumladungskonstante k !>
ι tritt überhaupt keine Vereinigung des Elektronen- bzw. Ionenbündels mehr ein, son^
dern nach Durchlaufen eines vollen Kreises haben die Elektronen wieder den gleichen Abstand von der
Achse wie beim Eintritt in das Querfeld. Auffällig an den gesamten Kurven a-e ist, daß mit Ausnahme
der Kurve c die Periode der Kosinusfunktion vollkommen erhalten bleibt und sie lediglich gegenüber
der Abs'ziissenachse in der ^-Richtung verschoben
und hinsichtlich ihrer Amplitude verändert ist.
Durch die Erfindung wird nun auch bei starken. Strahlströmen (k !>
0,5) eine Fokussierung in beliebigem Abstand, z. B. im Abstand^/2 erzwungen.
Dies geschieht dadurch, daß man den Elektronenbzw.
Ionenstrahl beim Eintritt in das magnetische Querfeld nicht mehr parallel zur Achse verlaufen
läßt, sondern bereits den Teilchen eine ganz bestimmte Eintrittsrichtung gibt, die durch die Größe
der Raumladungskonstante k gegeben ist. Eingehende Untersuchungen haben ergeben, daß man
den erforderlichen Eintrittswinkel in einfacher Weise, z. B. für die Kurve e entsprechend einer bestimmten
Strahlstromstärke, dadurch ermitteln kann, daß man den aus den Strecken o-y0 und ο-π/2
gebildeten rechten Winkel mit den Endpunkten der Schenkel y0 und π/2 an die Kurve e anlegt und so
lange verschiebt, bis die beiden Schenkel den Koordinatenachsen parallel verlaufen. Inder Albb. 1
sind die Endpunkte der Schenkel des so verschobenen rechten Winkels mit o', y0' und π/2' be-
zeichnet. Der sich dann zwischen der Strecke o'-y0'
und der Tangente an die Kurve e im Punkte y0'
ergebende Winkel d ist dann der Neigungswinkel a, unter welchem die Bahn der am Punkt y0 in das
Querfeld eintretenden- Elektronen bzw. Ionen gegen die Abszissenachse geneigt sein muß, damit die
Teilchen durch den Punkt π/2 hindurchgehen. Die sich ergebende Elektronen- bzw. Ionenbahn ist
durch die Kurve f dargestellt. Das Mittel, um den Eintrittswinkel derart einzustellen, ist durch die
erfindungsgemäß dem Querfeld vorgelagerte Immersionslinse gegeben, deren Brechkraft durch Variieren
ihrer Linsenspannungen entsprechend eingestellt wird. Für die zwischen ο und 3J0 in das
Querfeld eintretenden Teilchen ergibt sich ein entsprechend kleinerer Winkel. Trotzdem werden
sämtliche zwischen dem Punkt ο und dem Punkt y0
eintretenden Teilchen im Punkt 51/2 fokussiert, wenn man dem Randstrahl, der durch y0 hindurchgeht,
die ermittelte Neigung gibt, weil ja jede Linse
die Eigenschaft hat, die Randstrahlen stärker als die zentralen Strahlen zu brechen.
Genaue rechnerische Untersuchungen haben ergeben, daß der Abstand zwischen der Eintrittsebene
und der Brennlinie, die sich ergeben würde, wenn das Querfeld nicht vorhanden wäre, durch die Beziehung
f =
— sin K φ
K2
j · a2 \
cos K ψ
gegeben ist. In dieser Gleichung ist bei Verwendung eines rein magnetischen Querfeldes K — 1 und
bei Verwendung eines rein elektrischen Querfeldes
K = ]/2 zu setzen, k ist die Raumladungskonstante, und die Größe α ist der gewählte Radius
der Kreisbahn der Bündelachse.
Die Raumladungskonstante feg für Elektronen bestimmt
sich aus folgender Gleichung:
Hierin bedeutet y0 die Stromdichte, gemessen ander
Eintrittsstelle in das Querfeld in A/cm2, und U die
Elektronengeschwindigkeit, gemessen in Volt.
Für Ionen errechnet sich die Raumladungs^ konstante kj aus der Beziehung
i λΙ μ
1o \ WTz
Hierin bedeutet wiederum J0 die Stromdichte an der
Eintrittsstelle in das Querfeld, gemessen in A/cm2
und U die Teilchengeschwindigkeit in Volt. M ist die Massenzahl und Z die Wertigkeit.
ίο Ein Ausführungsbeispiel einer Elektronenstrahlröhre
gemäß der Erfindung zeigt die Abb. 2. Hierin bedeutet 1 eine Glühkathode; 2 und 3 sind weitere
Elektroden eines anschließenden Immersionssystems, z. B. in Form von zwei mit einem Schlitz
versehenen Blenden. Durch geeignete Wahl ihrer Spannungen wird den Randstrahlen an der Eintrittsstelle in das nicht dargestellte, die Zeichenebene
senkrecht durchsetzende magnetische Querfeld die erforderliche Neigung gegeben. Am Ende des Quer-
ao feldes befinden sich zwei Auffangelektroden 5 und 6,
von denen die Elekrade 5 z. B. als Schlitzblende ausgebildet sein kann. Die Steuerung des bandförmigen
Strahles erfolgt durch Querablenkung mittels der beiden Ablenkplatten 7 und 8, denen die
Steuerspannung in bekannter Weise zugeführt wird. Die sich mit einer solchen Röhre ergebende
Anodenstromänderung Ia an der Auffangelektrode 6
in Abhängigkeit von der Steuerspannung Ust zeigt
die Abb. 3.
Die Erfindung ist nicht auf das Ausführungsbeispiel beschränkt. Zum Beispiel kann' eine Fokussierung
an jeder beliebigen Stelle durch entsprechendes Einstellen der Strahlapertur erzielt
werden, so daß auch andere Bahnwinkel als 71/2
angewendet werden können. An Stelle einer Kreisbahn kann auch eine geradlinige Bahn verwendet
werden.
In diesem Falle muß im Falle der Anwendung eines magnetischen Querfeldes ein zusätzliches,
zeitlich konstantes elektrostatisches Ablenkfeld verwendet werden, welches die durch das magnetische
Querfeld bewirkte Ablenkung des Strahles gerade rückgängig macht. Die Fokussierung bleibt davon
unberührt. Diesem zusätzlichen, zeitlich konstanten statischen Ablenkfeld kann gleichzeitig das Steuerfeld
überlagert werden, indem den Ablenkplatten zusätzlich die Steuerspannung zugeführt wird.
Claims (2)
1. Elektronen- bzw. Ionenstrahlröhre mit bandförmigem Strahlbündel, mehreren Auffangelektroden
und Steuerung durch Querablenkung des Strahlbündels, gekennzeichnet durch ein Immersionssystem, auf das ein zeitlich
konstantes elektrisches und/oder magnetisches Querfeld folgt, durch eine solche Stromstärke,
daß die Raumladungskonstante im Strahlbündel an der Eintrittsstelle in das Querfeld größer als
0,5 ist, und durch eine solche Wahl der Strahlapertur an der Eintrittsstelle in Abhängigkeit
von der Strahlstromstärke, daß am Ort der Auffangelektroden ein scharfer Brennstich entsteht.
2. Elektronen- bzw. Ionenstrahlröhre nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß bei
Verwendung eines kombinierten zeitlich konstanten elektrisch magnetischen Querfeldes den
Ablenkplatten neben einer konstanten Gleichspannung die Steuerspannung zugeführt wird.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
© 5765 2.54
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DET5231D DE904447C (de) | 1942-05-21 | 1942-05-22 | Elektronen- bzw. Ionenstrahlroehre mit bandfoermigem Strahlbuendel |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE894826X | 1942-05-21 | ||
DET5231D DE904447C (de) | 1942-05-21 | 1942-05-22 | Elektronen- bzw. Ionenstrahlroehre mit bandfoermigem Strahlbuendel |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE904447C true DE904447C (de) | 1954-02-18 |
Family
ID=25955841
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DET5231D Expired DE904447C (de) | 1942-05-21 | 1942-05-22 | Elektronen- bzw. Ionenstrahlroehre mit bandfoermigem Strahlbuendel |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE904447C (de) |
-
1942
- 1942-05-22 DE DET5231D patent/DE904447C/de not_active Expired
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE1798021B2 (de) | Einrichtung zur buendelung eines primaer-ionenstrahls eines mikroanalysators | |
DE3913965A1 (de) | Direkt abbildendes sekundaerionen-massenspektrometer mit laufzeit-massenspektrometrischer betriebsart | |
DE2842527A1 (de) | Elektrostatische emissionslinse | |
EP0048864B1 (de) | Korpuskularstrahl-Austastsystem | |
DE1937482B2 (de) | Mikrostrahlsonde | |
DE3231036C2 (de) | ||
DE1236097B (de) | Elektronenlinse zum Korrigieren einer drehsymmetrischen, magnetischen Elektronenlinse | |
DE19635645A1 (de) | Hochauflösende Ionendetektion für lineare Flugzeitmassenspektrometer | |
DE2719725C2 (de) | Einrichtung zur Elektronenstrahlerwärmung von Materialien | |
DE102013015046A1 (de) | Bildgebendes Massenspektrometer und Verfahren zum Steuern desselben | |
DE1299088C2 (de) | Ablenkeinrichtung fuer den korpuskularstrahl in einem korpuskularstrahlgeraet, insbesondere elektronenmikroskop | |
EP0086431A2 (de) | Korpuskularstrahlerzeugendes System und Verfahren zu seinem Betrieb | |
DE904447C (de) | Elektronen- bzw. Ionenstrahlroehre mit bandfoermigem Strahlbuendel | |
DE2623207A1 (de) | Ablenkplatteneinheit fuer ionenstrahleinrichtungen | |
DE2659385A1 (de) | Analysator mit ionen-mikrosonde | |
DE971018C (de) | Elektronenoptisches System, aequivalent einem lichtoptischen Prisma | |
DE1414808A1 (de) | Kathodenstrahlroehre | |
DE384390C (de) | Verfahren zur Beobachtung und Darstellung des zeitlichen Verlaufs eines elektrischenStromes, einer Spannung oder auch eines magnetischen Feldes mit Hilfe eines Kathodenstrahlrohres | |
DE1598657C3 (de) | Impulsmassenspektrometer | |
EP0087152A2 (de) | Sekundärelektronen-Spektrometer und Verfahren zu seinem Betrieb | |
DE874050C (de) | Anordnung zur Steuerung von Elektronenstroemen in Sekundaerelektronen-Vervielfachern | |
AT216646B (de) | Röntgenschattenmikroskop mit einem elektronenoptischen System und einer Vorrichtung zur Beseitigung von Astigmatismus | |
DE2011385C3 (de) | Anordnung zur magnetischen Ablenkung eines aus einem Teilchenbeschleuniger austretenden Elektronenbündels | |
DE760306C (de) | Selbsttaetige elektrische Regeleinrichtung, insbesondere Feinregelung mittels eines beweglichen Kathodenstrahles | |
AT157812B (de) | Einrichtung mit Kathodenstrahlröhre. |