DE2011385C3 - Anordnung zur magnetischen Ablenkung eines aus einem Teilchenbeschleuniger austretenden Elektronenbündels - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung zur magnetischen Ablenkung eines aus einem Teilchenbeschleuniger austretenden Elektronenbündels, mit zwei Ablenksystemen, von denen das erste Ablenksystem das Elektronenbündel in einer Ablenkebene gegen die Anfangsrichtung um einen vorbestimmten Winkel ablenkt und das zweite Ablenksystem das aus dem ersten Ablenksystem austretende Elektronenbündel in der gleichen Ebene um einen solchen vorbestimmten Winkel ablenkt, daß die Bahn des Elektronenbündels einen Schnittpunkt mit der durch die Anfangsrichtung festgelegten Geraden aufweist.

Auf technischem und medizinischem Gebiet werden vielfach Elektronenbündel verwendet bei denen entweder der Aufprall auf metallische Auffänger ausgenutzt wird, von denen eine in der Röntgenstrahltechnik oder in der Strahlungstherapie verwendete Röntgenstrahlung ausgesendet wird, oder aber in der Elektronenstrahlentherapie direkt der Aufprall auf den zu behandelnden Bereich ausgenutzt wird.

Ablenkanordnungen der eingangs angegebenen Art ermöglichen es, den Einfallswinkel des aus dem Teilchenbeschleuniger austretenden Bündels auf dem zu bestrahlenden Teil zu verändern, ohne daß das ganze Gerät gedreht oder verschwenkt werden muß. Bei einer aus der US-PS 33 60 647 bekannten Anordnung dieser Art besteht das erste Ablenksystem aus einem einzigen Elektromagnet, wodurch chromatische Aberrationen entstehen. Um die dadurch bedingten Fehler möglichst klein zu halten, muß das zweite Ablenksystem an einer bestimmten Stelle liegen. Dadurch wird der Anwendungsbereich des Gerätes eingeschränkt.

Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung einer Anordnung der eingangs angegebenen Art, bei der keine Einschränkungen hinsichtlich der Lage des zweiten Ablenksystems bestehen.

Nach der Erfindung wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß das erste Ablenksystem aus drei ein achromatisches Ablenksystem bildenden Elektromagneten besteht, deren durch die Form der Polschuhe bestimmte Eintritts- und Austrittsflächen gegen die senkrecht zur Achse des Elektronenbündels stehenden Ebenen um solche Winkel geneigt sind, daß die Divergenz des Elektronenbündels kompensiert wird.

Da bei der Anordnung nach der Erfindung die drei das erste Ablenksystem bildenden Elektromagnete ein achromatisches Ablenksystem bilden, das die Divergenz des Elektronenbündels kompensiert, kann das zweite

Ablenksystem an jedem beliebigen Punkt der Bahn des aus dem ersten Ablenksystem austretenden Elektronenbündels liegen. Der Anwendungsbereich des Geräts wird dadurch erweitert, und es kann leicht an unterschiedliche Anforderungen angepaßt werden.

Anhand der Figuren wird die Erfindung beispielsweise näher erläutert Es zeigt

F i g. 1 eine schematische Darstellung der Anordnung nach der Erfindung,

Fig.2 eine genauere Ansicht eines der Elektromagneten des pjsten Ablenksystems der Anordnung von Fig. 1,

F i g. 3 eine Ansicht einer anderen Ausführungsform eines der Elektromagneten des ersten Ablenksystems der Anordnung von F i g. 1,

F i g. 4a eine Seitenansicht einer ersten Ausführungsform des das zweite Ablenksystem bildenden Elektromagneten,

F i g. 4b einen Querschnitt durch den Elektromagneten entlang der Linie Y- Y'von F i g. 4a,

Fig.5 eine andere Ausführungsform des zweiten Ablenksystems der Anordnung von F i g. 1,

Fig.6a sine Seitenansicht einer zweiten Ausführungsform des das zweite Ablenksystem bildenden Elektromagneten,

F i g. 6b einen Querschnitt durch den Elektromagneten entlang der Linie U-U'\on F i g. 6a,

F i g. 6c einen Querschnitt durch den Elektromagneten entlang der Linie V- V" von F i g. 6a,

F i g. 7 ein magnetisches Ablenksystem zur Erzeugung einer Abtastbewegung des Bündels in Abhängigkeit von der Zeit und

Fig.8 ein magnetisches Ablenksystem zur Erzeugung einer anderen Art von Abtastbewegungen des Bündels in Abhängigkeit von der Zeit.

Bei der in Fig. 1 schematisch dargestellten Anordnung wird das bereits vorher der gewünschten Beschleunigung unterworfene Elektronenbündel 1 in der Richtung XX' in ein rohrförmiges schwenkbares Gehäuse 2 eingeleitet, in dem ein Hochvakuum herrscht.

Unter dem Einfluß eines ersten Ablenksystems D\ aus drei Elektromagneten £|, £2, £3 wird das Elektronenbündel 1 um einen Winkel λ in einer die Anfangsrichtung XX' enthaltenden Ebene abgelenkt, und es wird sodann unter dem Einfluß eines zweiten Ablenksystems Di in entgegengesetzter Richtung in der gleichen Ebene um einen solchen Winkel β abgelenkt, daß die Richtung des Elektronenbündels am Ausgang des zweiten Ablenksystems Di einen Winkel von etwa 90° mit der Anfangsrichtung XX' einschließt, wobei das Elektronenbündel jedoch eine Verschiebung in einer solchen Richtung erfahren hat, daß die Achse des Bündels die durch die Anfangsrichtung XX' festgelegte Gerade in einem Punkt S schneidet.

Beispielsweise kann der Ablenkwinkel <x im ^lenksystem D\ einen Wert von 37° und der Ablenkwinkel β im Ablenksystem Di einen Wert von 127° haben.

Die Ebene, in welcher die Richtungen der beiden Ablenkungen enthalten sind, bildet eine Symmetrieebene für die Ablenkungsanordnung und für das Elektronenbündel; sie fällt mit der Zeichenebene zusammen.

In Fig.2 ist die Ausbildung eines der drei das Ablenksystem D\ bildenden Elektromagneten genauer dargestellt.

Der Elektromagnet hat einen Magnetkreis mit zwei sektorförmigen Polschuhen 4, von denen zur Vereinfachung nur einer dargestellt ist, und mit einem die Polschuhe verbindenden Joch 3. Der Magnetkreis trägt zwei Wicklungen 5, von denen in F i g. 2 wiederum nur eine Wicklung dargestellt ist

Die drei Elektromagnete E\, Ei, Ey, weiche Magnetfelder in Richtung senkrecht zur Zeichenebene erzeugen, sind nacheinander im Weg des Eiektronenbündels 1 derart angeordnet, daß der mittlere Elektromagnet Ei bezüglich der beiden äußeren Elektromagnete E\ und £3 auf dem Kopf steht und die Richtung seines Magnetfeldes derjenigen der Magnetfelder der äußeren Elektromagnete entgegengesetzt ist wodurch die Elektronenbahnen abwechselnd in der einen und in der anderen Richtung gekrümmt werden.

Wenn die drei Elektromagnete gleich sind und die Eintritts- und Austrittsflächen der Elektromagnete auf der Achse des Elektronenbündels senkrecht stehen, bildet ein solches Ablenksystem im elektronenoptischen Sinn eine nicht dispersive, afokale Anordnung mit der Vergrößerung — 1 in der Zeichenebene ohne Sammelwirkung in der Richtung senkrecht zur Zeichenebene.

Eine solche Vorrichtung und ihre Wirkungsweise sind aus der DT-PS I 1 77 749 bekannt

Mit der nachstehend beschriebenen Ausbildung wird erreicht, daß zur Kompensation der natürlichen Divergenz des Elektronenbündels eine Konvergenz im elektronenoptischen Sinn sowohl in der Richtung der Zeichenebene als auch in der Richtung senkrecht zur Zeichenebene erzeugt wird.

Diese doppelte Konvergenz wird dadurch erreicht, daß die durch die Form der Polschuhe bestimmten Eintritts- und Austrittsflächen der Elektromagnete gegen die Achse des Eiektronenbündels um einen bestimmten Winkel geneigt sind.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform (Fig.3) kann dieser Winkel einstellbar gemacht werden, indem den beiden Endteilen der entsprechenden Polschuhe die Form von drehbaren teilzylindrischen Scheiben 6 erteilt wird, deren Drehachse senkrecht zur Ebene der Elektronenbahnen des Bündels liegt.

Die Speisung der drei Elektromagnete des Ablenksystems D\ mit elektrischem Strom kann in Serienschaltung erfolgen, wodurch eine gemeinsame Einstellung der Magnetisierung des Ablenksystems möglich ist. Darüber hinaus kann mit getrennten Sekundärwicklungen die Stärke des vom Hauptstrom erzeugten Magnetfeldes eingestellt werden. Wenn sich beispielsweise der zweite Elektromagnet £2 etwa im horizontalen Gegenstandsbrennpunkt des Austrius-Elektromagneten £3 befindet und man den Strom im zweiten Elektromagnet £2 ändert, wird das Elektronenbündel am Ausgang in der Zeichenebene parallel zu sich selbst verschoben. Wenn man den Strom im dritten Elektromagnet £3 ändert, wird das Elektronenbündel in der Zeichenebene etwa um den Mittelpunkt des dritten Elektromagnets £3 geschwenkt.

In den Fig.4a und 4b ist die Ausbildung und Anordnung des Ablenksystems Di genauer dargestellt.

Dieses Ablenksystem besteht aus einem einzigen Ablenk-Elektromagnet £4, doch kann diesem bei einer Ausführungsform ein komplementäres System von magnetischen Linsen folgen. Nachfolgend werden die Eigenschaften und die Wirkungsweise derselben angegeben.

Die Aufgabe des Elektromagneten & besteht darin, das Elektronenbündel in der oben angegebenen Weise abzulenken; diese Wirkungsweise ist offensichtlich. Bei einer bevorzugten Ausführungsform kann er jedoch noch eine zweite Aufgabe erfüllen, und zwar diejenige eines Sammelelements im optischen Sinn. Dazu erteilt

man den Polschuhen allgemein eine Kegelstumpfform, so daß sich der Luftspalt des Elektromagneten in Abhängigkeit vom Abstand von der durch den Krümmungsmittelpunkt des Elektromagneten gehenden Achse 11 (Fig.4b) ändert. Das so erzeugte Magnetfeld hat daher einen Gradienten und ein bestimmter Wert dieses Gradienten ist vorteilhaft.

Dieser entspricht einem Index η gleich +0,5, wobei dieser Index hier die übliche Bedeutung hat, welche definiert wird durch

dB/B

dR/R '

wobei B die dem Radius R der Teilchenflugbahnen entsprechende magnetische Induktionen im Elektromagneten ist.

Der bevorzugte Index η von +0,5 erteilt dem Elektromagneten gleiche Konvergenzeigenschaften in der Zeichenebene und in der Ebene senkrecht zu dieser Zeichenebene.

Die Wahl dieses bestimmten Werts ist jedoch nicht zwingend.

Die Eintritts- und Austrittsflächen des Elektromagneten £4 weisen vorzugsweise die folgenden Eigenschaften auf:

Die Eintrittsfläche 7 steht nicht senkrecht zum Elektronenbündel, sondern ist derart geneigt, daß sie für das System eine Konvergenz in der Zeichenebene festlegt Jedes Elektron des Bündels, das sich vom mittleren Elektron entweder durch einen relativen Energieabstand oder durch einen geometrischen Querabstand unterscheidet und die Eintrittsfläche 7 parallel zur allgemeinen Achse des Bündels und in der Zeichenebene durchsetzt, scheint sodann, wenn man sich auf Änderungen erster Ordnung beschränkt, bei Ankunft in Höhe der Austrittsfläche 8 von einer punktförmigen Quelle F auszugehen. Wenn beispielsweise die Eintrittsfläche 7 gegen die Normale auf das Bündel einen Winkel von 35° aufweist, liegt die Quelle F ungefähr beim l,4fachen des Krümmungsradius der mittleren Flugbahn auf der die Austrittsachse verlängernden Geraden.

Die Austrittsfläche 8 besitzt ebenfalls eine Neigung gegen die Normalebene des Bündels, um eine Konvergenzwirkung in der Zeichenebene zu erzielen, welche der durch die Neigung der Eintrittsfläche 7 erzeugten Wirkung entspricht. Der der Austrittsfläche 8 erteilte Winkel ist nicht kritisch; die dadurch erzeugte Konvergenz hat im wesentlichen den Zweck, der Divergenz des von der virtuellen Quelle F kommenden Bündels entgegenzuwirken. Dieses Ergebnis wird bei einem Wert des Winkels der Austrittsfläche 8 von 35° erzielt, für den das System im optischen Sinn afokal ist und in der senkrecht zur Zeichenebene stehenden Ebene die Vergrößerung +1 ergibt

Wenn man eine größere Konvergenz des Bündels in der Zeichenebene zu erzielen wünscht kann man den Winkel der Austrittsfläche 8 bis 45° vergrößern auf Kosten einer leichten Divergenz des Systems in der Ebene senkrecht zur Zeichenebene.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform kann die Konvergenz einstellbar gemacht werden, indem die Eintritts- und Austrittsflächen des Elektromagneten £4 in der oben beschriebenen Weise drehbar gemacht werden.

Das Bündel weist dann in der Zeichenebene eine Konvergenz und in der dazu senkrechten Richtung eine Divergenz auf, was zu einem elliptischen Querschnitt des Bündels führen müßte, dessen große Achse senkrecht zur Zeichenebene liegt.

Da jedoch der Elektromagnet £4 nicht gewährleistet, -^s daß Elektronen mit unterschiedlichen Geschwindigkeiten durch den gleichen Punkt gehen, also fokussiert werden, und die Flugbahnen der Elektronen in der Zeichenebene auseinanderzieht, ergibt sich daraus schließlich für das Bündel ein Querschnitt elliptischer Form, dessen große Achse in der Zeichenebene enthalten ist.

Bei bestimmten Anwendungen ist es erforderlich, daß man einen im wesentlichen kreisförmigen Bündelquerschnitt erhält.

F i g. 5 zeigt eine nachfolgend beschriebene Ausführungsform, bei welcher sich an den Elektromagneten £4 eine komplementäre magnetische Anordnung anschließt, welche diesen Zweck erfüllt.

Bei dieser Ausführungsform ist hinter der Austrittsfläehe des Elektromagneten £4, wie er anhand von F i g. 4a beschrieben wurde, ein System von magnetischen Vierpollinsen Li, L₂, L₃ angeordnet, welche ein im Weg des Bündels angeordnetes symmetrisches Triplett L bilden. Solche Systeme sind in der Technik bekannt und man weiß, daß es durch Einwirkung auf verschiedene Parameter, wie die vorkommenden Ströme, oder bestimmte Abmessungen, wie die axiale Länge der Pole, möglich ist die magnetooptischen Eigenschiften eines Tripletts getrennt in den beiden senkrechten Hauptebenen, d. h. der Zeichenebene und in der dazu senkrechten Ebene, zu verändern.

Das betrachtete Triplett L setzt sich aus drei magnetischen Vierpoüinsen Li, Li, L3 zusammen, welche im Weg des Bündels angeordnet sind. Es ist bekannt daß diese Linsenart Konvergenzeigenschaften in einer bestimmten, durch ihre optische Achse gehenden Ebene und Divergenzeigenschaften in einer auf dazu senkrecht stehenden und ebenfalls durch die optische Achse gehenden Ebene besitzt.

Die bevorzugte Reihenfolge der drei das Triplett L bildenden magnetischen Vierpollinsen ist so gewählt, daß sie in der Zeichenebene nacheinander jeweils konvergent, divergent und konvergent sind.

Bei geeignet gewählten Werten der geometrischen Eigenschaften und der Einstellparameter des Tripletts kann man dadurch am Ausgang des Tripletts einen kreisförmigen Bündelquerschnitt erhalten.

Bei bestimmten Anwendungen ist es möglich, ohne Verwendung eines solchen Tripletts die restliche Elliptizität gering zu halten, indem die Energiefokussie-

rung durch Änderung des Magneten £4 verbessert wird.

Die F i g. 6a, 6b, 6c zeigen eine Ausführungsform, bei

der der Luftspalt des Elektromagneten Ea, in zwei verschiedene Abschnitte unterteilt ist, die nacheinander vom Bündel durchsetzt werden. Im ersten Abschnitt 25 (Fig.6b) sind die Polschuhe so geformt, daß sie einer Feldgradienten mit dem Index /J= +03 erzeugen, wie es oben beschrieben wurde. Im zweiten Abschnitt 26 (F i g. 6c) ist der Feldgradient dagegen negativ und der Index ist höher, beispielsweise 2 oder 3.

Die Eintrittsfläche 27 steht senkrecht zum Bündel, die Austrittsfläche 28 schließt dagegen einen beträchtlichen Winkel mit der Normalebene des Bündels ein. Sie ist zur Ermöglichung einer Konvergenzeinstellung einstellbar, indem ein zylindrisches Drehteil 29 verwendet wird, welches dem bereits anhand von F i g. 3 beschriebenen entspricht
Eine weitere Ausführungsform ermöglicht in dei

Bestrahlungszone eine geometrische Abtastbewegung des Aufprallpunktes des Elektronenbündels längs zweier aufeinander senkrecht stehender, kartesischer Achsen bzw. eine entsprechende Abtastbewegung des Röntgenstrahlenbündels, welches von dem Gerät durch Beschießung eines geeigneten metallischen Auffängers erzeugt wird. Der Zweck dieser Abtastbewegung besteht darin, eine Bestrahlung einer Oberfläche zu ermöglichen, welche viel größer ist als der Querschnitt des Bündels.

F i g. 7 zeigt für den Fall einer Abtastung durch das Elektronenbündel eine Vorrichtung, mit welcher das gewünschte Ergebnis erzielt werden kann. Man ordnet im Weg des Bündels hinter dem bereits oben beschriebenen Triplett L einen Vierpol-Elektromagneten an, welcher aus elektrischen Wicklungen 12 und aus Polteilen 13 besteht. Die Wicklungen umgeben die Polteile und magnetisieren diese in solcher Reihenfolge und mit solchen Änderungsfunktionen, daß das Bündel in zwei aufeinander senkrecht stehenden Richtungen abgelenkt wird und daher jeden Punkt der abzutastenden Oberfläche erreichen kann. Vorzugsweise wird der Vierpol so angeordnet, daß sein Ablenkzentrum mit dem bildseitigen Brennpunkt des Tripletts L zusammenfällt, hinter welchem er angeordnet ist, und bei der bevorzugten Form der Polschuhe sind die Luftspaltflächen 14 so geneigt, daß sich eine konische Erweiterung ergibt, so daß die Flugbahnen ohne Abfangen von Elektronen frei geneigt werden können.

F i g. 8 bezieht sich auf den zweiten Fall, bei dem eine Abtastbewegung gewünscht wird, nämlich auf denjenigen der Bestrahlung mit Röntgenstrahlen. Der Vorteil einer solchen Abtastbewegung besteht in der Möglichkeit, eine gleichmäßige Bestrahlung einer großen Oberfläche zu erzielen. Wenn man zur Vergleichmäßigung der Strahlung die übliche Ausgleichsscheibe mit veränderlicher Dicke anwendet, welche einen Teil der Strahlung absorbiert, ist es dann möglich, dieser Scheibe geringe Dickenänderungen zu erteilen. Infolgedessen wird die Herstellung derselben vereinfacht und ein geringerer Teil der Strahlung wird durch dieselbe absorbiert

Es wurde bereits oben darauf hingewiesen, daß die Röntgenstrahlung durch Aufprall des Elektronenbündels auf einen geeigneten metallischen Auffänger erzeugt wird, wobei das Strahlungsmaximum in der Verlängerung der Achse des einfallenden Elektronenbündels orientiert ist

Die Verwirklichung einer geometrischen Röntgenabtastung erfolgt daher durch Veränderung des Aufprallwinkels des auf den metallischen Auffänger auftreffenden Elektronenbündels.

Dieses Ergebnis kann durch eine rein magnetische Einrichtung erzielt werden. Eine sehr einfache Ausführung besteht darin, die besonderen Ablenkeigenschaften des Elektromagneten £4 auszunützen. Je nach der Größe des Stromes, mit dem derselbe gespeist wird, lenkt dieser Magnet die Elektronen verschieben ab, so daß sie seine Austrittsfläche an verschiedenen Punkten verlassen. Wenn das Feld stärker ist als das einem Austritt längs der Mittelachse entsprechende Magnetfeld, werden die Elektronen stärker abgelenkt und treten bei 20 aus (F i g. 8). Bei einem schwächeren Feld werden sie weniger abgelenkt und treten bei 21 aus. Nachdem die Elektronen durch das folgende Triplett L von Vierpollinsen fokussiert worden sind, verlassen sie das Triplett längs Flugbahnen, die um so schräger verlaufen, je weiter sie von der Mittelachse des aus dem Magneten £4 austretenden Bündels entfernt sind. Am Ausgang des Tripletts L wird daher der Auffänger 22, welcher die Röntgenstrahlung entstehen läßt, von dem Bündel unter verschiedenen Winkeln getroffen und dieses Ergebnis ist, wie oben gezeigt wurde, notwendig, damit die Hauptrichtung der Strahlung selbst als Funktion von der Zeit veränderlich ist

Die Änderung des Magnetfelds im Magneten £« ist durch Modulation des Magnetisierungsstromes leicht erzielbar.

Dazu ordnet man bei einer bevorzugten Ausführungsform zusätzlich zu der normalerweise vorhandenen Hauptwicklung eine Sekundärwicklung 23 an, welche von einem nach Größe und Vorzeichen veränderlichen elektrischen Strom durchflossen wird.

Beispielsweise liegt für einen Magneten £4 mit einem mittleren Krümmungsradius von 28 cm die gesamte Winkelamplitude in der Zeichenebene in der Größenordnung von 3° bei einer Amplitude der Modulation des Magnetfelds von 1%. Die Schwingungsperiode liegt in der Größenordnung eines Sekundenbruchteils.

In der Richtung senkrecht zur Zeichenebene läßt sich ebenfalls eine geometrische Abtastbewegung erzielen, indem man beispielsweise am Ausgang des Ablenksystems D\ einen Elektromagneten 24 anordnet, welcher in der Zeichenebene ein zeitlich nach Größe und Vorzeichen veränderliches Magnetfeld erzeugt

Hierzu 5 Blatt Zeichnungen

Claims (7)

Patentansprüche:

1. Anordnung zur magnetischen Ablenkung eines aus einem Teilchenbeschleuniger austretenden Elek- S tronenbündels, mit zwei Ablenksystemen, von denen das erste Ablenksystem das Elektronenbündel in einer Ablenkebene gegen die Anfangsrichtung um einen vorbestimmten Winkel ablenkt und das zweite Ablenksystem das aus dem ersten Ablenksystem ι ο austretende Elektronenbündel in der gleichen Ebene um einen solchen vorbestimmten Winkel ablenkt, daß die Bahn des Elektronenbündels einen Schnittpunkt mit der durch die Anfangsrichtung festgelegten Geraden aufweist, dadurch gekenn- zeichnet, daß das erste Ablenksystem (D\) aus drei ein achromatisches Ablenksystem bildenden Elektromagneten (Eu E₂, £3) besteht, deren durch die Forni der Polschuhe (4) bestimmte Eintritts- und Austrittsflächen gegen die senkrecht zur Achse des Elektronenbündels (1) stehenden Ebenen um solche Winkel geneigt sind, daß die Divergenz des Elektronenbündels (1) kompensiert wird.

2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Polschuhe der Elektromagnete (Eu E₂, Ei) an den Eintritts- und Austrittsflächen jeweils mit einer halbkreisförmigen Platte (6) aus ferromagnetischem Material versehen sind, die zur Einstellung der Winkel zwischen den Eintritts- und Austrittsflächen und den senkrecht zur Bündelachse stehenden Ebenen um Achsen schwenkbar sind, die zu dem zwischen den Polschuhen im Luftspalt erzeugten Magnetfeld parallel sind.

3. Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die durch die Polschuhe der Elektromagnete (E\, E₂, £3) bestimmten Luftspalte an jedem Punkt eine Breite haben, die umgekehrt proportional zum Abstand des Punktes vom Krümmungsmittelpunkt der mittleren Elektronenbahn des Bündels (1) im Luftspalt ist.

4. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite Ablenksystem (Di) aus einem Elektromagnet (Ea) besteht, dessen Polschuhe an der Austrittsfläche (28) mit Platten (29) versehen sind, die zur Einstellung des Winkels zwischen der Austrittsfläche (28) und der senkrecht zur Bündelachse stehenden Ebene um eine Achse schwenkbar sind, die zu dem zwischen den Polschuhen im Luftspalt erzeugten Magnetfeld parallel sind, und daß am Ausgang des zweiten Ablenksystems (D₂) ein Triplett von Vierpollinsen (L\, L₂, Zo) angeordnet ist, deren Reihenfolge so gewählt ist, daß sie auf das aus dem zweiten Ablenksystem austretende ElektronenbUndel (1) nacheinander eine konvergierende Wirkung, eine divergierende Wirkung und dann wieder eine konvergierende Wirkung ausüben.

5. Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der durch die Polschuhe des vierten Elektromagnets (Ea) bestimmte Luftspalt an einem gegebenen Punkt der Eintrittszone eine Breite hat, die zu dem Abstand des Punktes von dem Krümmungsmittelpunkt der mittleren Elektronenbahn des Bündels in dieser Eintrittszone proportional ist und an einem gegebenen Punkt der Austrittszone eine Breite hat, die zu dem Abstand dieses Punktes von dem Krümmungsmittelpunkt der mittleren Teilchenbahn des Bündels in dieser

Austrittszone umgekehrt proportional ist.

6. Anordnung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem ersten Ablenksystem (Di) und dem zweiten Ablenksystem (D₂) ein zusätzlicher Elektromagnet (24) angeordnet ist der ein zur Ablenkebene paralleles, zeitlich veränderliches Magnetfeld erzeugt, und daß dem Elektromagnet (Ει) des zweiten Ablenksystems (D₂) Einrichtungen (23) zur zeitlichen Änderung des von diesem Elektromagnet (Ea) erzeugten Magnetfeldes zugeordnet sind.

7. Anordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß im Fokussierungspunkt des aus dem zweiten Ablenksystem und dem Triplett von Vierpollinsen austretenden Elektronenbündels eine Röntgenanode (22) angeordnet ist