DE891005C

DE891005C - Elektronenmikroskop oder Elektronenbeugungsapparatur

Info

Publication number: DE891005C
Application number: DES24163A
Authority: DE
Inventors: Otto Dipl-Ing Rang
Original assignee: SUEDDEUTSCHE LABORATORIEN GmbH
Current assignee: SUEDDEUTSCHE LABORATORIEN GmbH
Priority date: 1951-07-28
Filing date: 1951-07-28
Publication date: 1953-09-24

Description

Elektronenmikroskop oder Elektronenbeugungsapparatur Die- Erfindung beziehtsich auf Elektronenmikroskope oder Elektronenbeugungsapparaturen.
In derartigen Geräten bzw. Entladungsgefäßen können. @durch die Ladungsträger (Elektronen) Aufladungen, hervorgerufen werden, die sich störend auf die Abbildung auswirken. Besonders, störend sind vor allem bei Verschmutzungen entstehende Aufladungen an dein Feinblenden. (mit sehr geringem Querschnitt), vornehmlich einer Kontrastblende; sie rufen Astigmatismus und andere Bildfehler hervor.
Zur Unterdrückung derartiger- Störungen wird gemäß der Erfindung,die Einrichtung s,o@ getroffen,, daß .in der Nähe einer oder mehrerer Blenden:, vo@rzugsweise zum mindesten in der Nähe der Kontrastblende, eine Vorrichtung (Endader) zur Neutralisierung von störenden Aufladungen vorgesehen ist. Der Entla@der wird zweclcmäß,ig so angeordnet, daß die zur Neutralisation der störenden Aufladunge n dienenden Ionen oder Elektronen in :der Nähe des Randes der Blendenöffnung entstehen. Der Entlader kann z. B. darin bestehen, d`a,B (langsame) Elektronen erzeugt werden, welche an: der betreffenden Blende Sekundäremrissionen hervorrufen, wodurch positive Ladungen entstehen. Nach einer bevorzugten: Ausführungsform der Erfindung wird als Endader ein Glühdraht, zweckmäßig aus Wolfram, verwendet. Zur Erzeugung positiver Ladungsträger kann der Glühdraht in einem verhältnismäßig niedrigen Temperaturbereich betrieben; werden, in welchem er positive, Ionen. auf Grund der im Drahtmat@eriul vorhandenen: Verunreinigungen emittiert. Der Temperaturbereich beträgt z. B. bei einem Glühdraht aus Wolfram i3oo bis i8oo°K. Bei einer Betriebstemperatur von etwa r6oo°K hat die Emission positiver Ionen, ein Maximum. Auch können dem Glühdrahtmaterial in an sich :bekannter Weise Zusätze einverleibt sein, welche die Ionenemissibn begünstigen. Gegebenenfalls kann der Glühdraht mit einem Überzug von Material dieser Art versehen sein.
Zur weiteren Erläuterung der Erfindung sind in .der Zeichnung Ausführungsbeispiele dargestellt. Mit i und 2 sind zwei Elektroden einer als Objektivlinsedienenden elektrostatischen Dreielektronenlinse bezeichnet, deren Mittelelektrode mit 3 benannt ist. Der Strahlengang des Elektronenmikroskops ist durch den; Pfreil 4 angedeutet. KontrastblendL 5 besitzt in .diesen Beispielen eine becherartiige Erweiterung 6 auf der der Strahlungsquelle (Gldihkathode) abgewandten Seite.
Als Entlader dient ein Glühdraht oder eine Wendel? (Fig. 2) aus Wolfram. Durch Anschluß an. eine HelzspannuAg kann der Glühdraht 7 auf einte gewünschte Temperatur gebracht werden, die zwecks Emission positiver Ionen durch :den Glühdraht in dem obenerwäbnten Temiperaturbererich liegt und z. B. etwa i6oo° K beträgt. Durch Regelung der Heizstromstärke kann die Betriebstemperatur <des Glühdrahts einstellbar sein. Auch kann die Anoirdhung :so :getroffen( s;cin, daß der Glühdraht auswechselbar ist, um ihn bequem durch einen gleichartigen oder andersartigen ersetzen zu können. Im Falle der Fig. i ,ist <der Entlader 7, in Richtung des Strahlengangs gesehen, hinter der Blende 5 innerhalb des Bechers 6 bzw. 5, 6 angeordnet, insbesondere so, daß er sich in .der Nähe des Randres der Blendenöffnung, aber außerhalb. des Strahlengangs; 4 befindet.
Beider Fig. 3 ist der Glühdraht 7 seitlich hinter ,der Blende 5 angeordnet. Der Strahlengang ist an dieser Stelle von einem Metallrohrstück 8 aus Metall oder einer Metallegierung hoher Permeabilität umgeben. Durch den Zylinder 8 wird eine Abschirmung ,dies Strahlenigangs 4 geigen das mnagnetische Felddes Glühdrahts 7 erreicht.
In der Fig. 4 befindet sich 4er Glühdraht ?.vor der Blende 5 zwischen dieser und .der Elektrode 2. In entsprechender Weise kann der Entlader bei Geräten mit. magnetischen brzw. elektromagnetischen Linsen angewendet werden: Ferner kann anstatt oder außer an der Kontrastblende an einer oder mehreren .anderen Blenden (Beleuchtungsaperturblende, Objektivaperturblende, Ges.ichtsfeldblendie) ein Entlader angebracht sein. Gegebenenfalls können Mittel, z. B. elektrische Beschleunigungsfelder, vorgesehen sein, welche bewirken, .daß die zum, Entthadevi der Blende dienenden zu dem Rand der Blendenöffnung hingeführt werden. ,

Claims

PATENTANSPRÜCHE: i. Elektronenmikroskop oder Elektronenbeugungsapparatur, dadurch gekennzeichnet, daß in der Nähe einer oder mehrerer Blenden, vorzugsweise zum .mindesten in der Nähe der Kontrastblende (5), eine Vorrichtung (Entlaader 7) zur Neutr!aliis@ienung von störenden. Aufladungen vorgesehen ist.
2. Elektronenmikroskop oder . Elektronenbeugungsapparatur nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß .der Entlader aus einem Glühdraht (7), vorzugsweise aus Wolfram, besteht.
3. Elektronenmikroskop oder Elektronenbeugungsapparatur nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, rdaß ,der Glühdraht (7) in einem Temperaturbereich von i3ooi bis i8oo° K, vorzugsweise bei etwa.-r6oo° K, betrieben wird.
4. Elektronenmikroskop oder Elektronenbeaugungsiappiaratur nach Anspruch 2 oder 3, die; durch gekennzeichnet, daß das Glühdrahtmaterial mit einem die Ionenemission begünstigenden Zusatz versehen, oder mit einem Ü'berzugdieser Art versehen ist:
5. Elektronenmikroskop oder Elektronrenbewgungsappaarattur nach Anspruch i oder einem ,der folgenden, ,dadurch gekennzeichnet, @daß der Entlader (Glühdraht 7) auswechselbar ist.
6. Elektronenmikroskop oder Elektronenbeugungsapparatur nach Anspruch i oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, da.ß sich der Entlaider (7) innerhalb der Blendre (Kontraistbifende 5) befindet (Fig. i), zweckmäßig innerhalb eines becherförmigen Ansatzes (6) .der Blendre (5).
7. Elektronenmikroskop oder Elektronenbeugungsapparatur Urach Anspruch i bis 5 oder einem derselben, dadurch gekennzeichnet, daß sich der Entladier (7) seitlich hinter der Blende befindet, zweckmäßig neben ;einer den-Strahlen-,gang umgebenden Hülse (8, Fig. 3) aus Metall hoher Permeahilität. B. Elektronenmikroskop oder Elektronenbeugungsapparatur nach Anspruch i bis 5 oder einem :derselben, daidhnah gekenmeichnet, daß sich <der Entrlaader (7) vor dw Blende (5, Fiig. 4) , befindet, ihn Falleder Komtrasth@lende zweckmäßig zwischen -dieser und :der O'bjektivlinse (i, 2, 3). Handelt es @si,ch am die Unschhädlichmachung (Neutralisation) störender positiver Aufl:adungen, so kann in entsprechender Weise ein, Entlader vorgesehen sein, welcher am bzw. vor der Mendie e-Jektrische Ladungen oder Ladungsträger umgekehrten (negativen) Vorzeichens erzeugt.