DE8812062U1 - Vorrichtung zur Mischung eines Trägergases mit einem Nutzgas - Google Patents

Vorrichtung zur Mischung eines Trägergases mit einem Nutzgas

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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01FMIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F23/00Mixing according to the phases to be mixed, e.g. dispersing or emulsifying
    • B01F23/10Mixing gases with gases
    • B01F23/12Mixing gases with gases with vaporisation of a liquid

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  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)

Description

Siemens Aktiengesellschaft
Vorrichtung zur Mischung eines Trägergases mit einem Nutzgas
Bei verschiedenen technischen Prozessen erfolgt der Transport von Reaktionsstoffen in gasförmigem Aggregatzustand mit Hilfe eines Trägergases. Wenn diese Reaktionsstoffe bei Betriebsdruck und- Temperatur fest sind, besteht bei Stoffen mit niedrigem Dampfdruck das Problem, daß die Aufnahme dieser Stoffe in der Gasphase durch das durchströmende Trägergas bei höheren Strömungsmengen unterproportional mit der Trägergasmenge ansteigt. Das liegt insbesondere an einem zu kleinen Verhältnis der Gesamtoberflächp der Feststoffe zur Verweilzeit des Gases in dem Vorratsbehälter der Reaktionsstoffe, der von dem Trägergas durchströmt wird. Eine Erhöhung der Temperatur des Behälters und damit eine Erhöhung des Dampfdruckes der Reaktionsstoffe bringt den Nachteil mit sich, daG z.B. bei Anwendung für MOVPE (Metal Organic Vapor Phase Epitaxy) die Gasleitungen zusätzlich auf dieselbe Temperatur wie der Vorratsbehälter der Reaktionsstoffe gebracht und ge-
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bei Stoffen, die sich beim Erhitzen zersetzen, durchgeführt werden.
Aufgabe der vorliegenden Neuerung ist es, eine Vorrichtung zur Mischung eines durchströmenden Trägergases mit einem Nutzgas, u'as aus der festen Phase freigesetzt wird, anzugeben, bei der bei normaler Betriebstemperatur und Stoffen mit niedrigem Dampfdruck eine hinreichend große Aufnahme des Nutzgases durch das Trägergas gewährleistet ist.
Diese Aufgabe wird mit einer Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.
Die der Neuerung zugrundeliegende Idee ist, daß eine Verminderung der Oberfläche des Reaktionsstoffes im festen
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Aggregatzustand durch Zusammenbacken oder Klumpen nur verhindert werden kann, wenn der Feststoff an eine möglichst große Oberfläche angelagert wird. Die neuerungsgemäße Vorrichtung besteht aus einem Behälter (3) (siehe Figur) zur Aufnahme des Reaktionsstoffes mit einem Einlaßrohr (A), das bis fast auf den Boden dieses Behälters (3) reicht und einem Auslaßstutzen (5), der im oberen Bereich des Innenvolumens (1) des Behälters (3) endet. Durch das Einlaßrohr (4) und den Auslaßstutzen (5) kann das Trägergas durch diese Behälter (3) hindurchgeleitet werden. Die Reaktinnsstof f &rgr;. dip vprriamnfpn und das Tragens«; mit dem Nutzgas sättigen, werden in diesen Behälter gefüllt. Im Betrieb strömt das Trägergas durch diesen Feststoff (bubblen) In dem Nutzbereich (H), der für die Aufnahme des Feststoffes vorgesehen ist, ist das Innenvolumen (1) des Behälters (3) durch feste Materialien stark zerklüftet. Das kann z.B. dadurch erreicht werden, daß in den Behälter Teile aus Metall oder einem Stoff, der durch das Trägergas und den Reaktionsstoff nicht chemisch angegriffen wird, bis zur Höhe (h) des Nutzbereiches (H) aufgefüllt wird. Die geometrische Gestalt dieser Formteile (2) ist so zu wählen, daß die gesamte Oberfläche des Innenvolumens (1) des Behälters (3) im Nutzbereich (H) hinreichend groß ist, daß die gesamte Oberfläche des dahin eingefüllten Feststoffes ausreichend groß ist, daß das Trägergas bei der vorgegebenen Strömungsmenge und Temperatur im Betrieb durch das aus dem Reaktionsstoff freigesetzte Nutzgas hinreichend hoch gesättigt wird. Die Formteile können z.B. Ringe, Zylinder, Stäbe, Kugeln, Lamellen, Quader oder ähnliches sein.
Bei einer alternativen Ausgestaltung der Erfindung sind diese Formteile (6) fest im Nutzbereich (H) des Behälters (3) angebracht. Es kann sich dabei z.B. um radialsymmetrisch angeordnete Lamellen handeln. Ein Vorteil von lose eingebrachten Formteilen (2) besteht darin, daß Reste des Reaktionsstoffes aus dem Behälter zusammen mit den Formteilen (2) leichter entfernt werden können. Es kann ein Teil der Formteile (2, 6)
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im Inneren des Behälters (3) befestigt sein und ein weiterer Teil lose zusammen mit dem Reaktionsstoff eingefüllt werden.
8 enAnsprüche
2 Figuren
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Claims (8)

•Sei 6 25 OE Schut.zansprüche
1. Vorrichtung zur Mischung eines durchströmenden Tragergases mit einem Nutzgas, das aus der festen Phase freigesetzt wird,
dadurch gekennzeichnet , daß ein Behalter (3) zur Aufnahme der Stoffe, aus denen das Ndtzgas freigesetzt wird, vorhanden ist, daß dieser Behälter (3) nach Art einer Waschflasche mit einem EinlaGrohr (4) und einem Auslaßstutzen (5) versehen ist, daß das 2nnenvolumen (1) dieses Behälters (3) in einem Nutzbereich (H) mit einer durch die vorgesehene Anwendung bestimmten Höhe (h) derart zerklüftet ist, daß die Gesamtoberfläche der Begrenzung des Innenvolumens (1) eine für ausreichende Aufnahme von Nutzgas durch das Trägergas vorgegebene Mindestgröße aufweist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß die Zerklüftung des Innenvolumens (1) im Nutzbereich (H) durch Formteile (2, 6) erzeugt ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet , daß die Formteile (2) lose im Behälter (3) enthalten sind und die GesaiPtoberfläche der Begrenzung des Innenvolumens (1) variabel ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet , daß die Formteile (2) in verschiedenen geometrischen Formen ausgestaltet sind.
5. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet , daß mindestens ein Teil der Formteile (6) fest mit der Innenwand des Behälters (3) verbunden sind.
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6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet , daß die Formteile (6) Lamellen sind.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet , daß die Formteile (2,6) aus Metall sind.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet , daß die Formteile (2,6) aus einem Material sind, das gegenüber den für die Anwendung vorgesehenen Feststoffen und Trägergasen chemisch inert ist.
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DE8812062U 1988-09-23 1988-09-23 Vorrichtung zur Mischung eines Trägergases mit einem Nutzgas Expired DE8812062U1 (de)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4113358A1 (de) * 1991-04-24 1992-10-29 Siemens Ag Vorrichtung zur mischung eines traegergases mit einem nutzgas
EP0541234A1 (de) * 1991-10-30 1993-05-12 The Boc Group, Inc. Mischungsherstellungsverfahren und -apparat

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE4113358A1 (de) * 1991-04-24 1992-10-29 Siemens Ag Vorrichtung zur mischung eines traegergases mit einem nutzgas
EP0541234A1 (de) * 1991-10-30 1993-05-12 The Boc Group, Inc. Mischungsherstellungsverfahren und -apparat

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