DE8702125U1 - Gaslaser mit Hochfrequenzanregung - Google Patents
Gaslaser mit HochfrequenzanregungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen Gaslaser mit Hochfrequetvzanregung,
dessen Laserrohr in einem elektrisch an Masse gelegten, metallischen Gehäuse engeordnet ist und der for die Hochfrequenzanregung
durch einen Hochfrequenzgenerator zwei Elektroden aufweist, die sich längs des Laserrohres einander
diametral gegenüberliegend erstrecken und von denen die eine Elektrode elektrisch an Masse liegt und die andere
Elektrode mit der Hochfrequenz-Zuleitung verbunden let, in der eine Filterecheltung mit einstellbarer Induktivität
und Kapazität enthalten let, um die Impedanz des Lesers en die des Hochfrequenzgenerators anzupassen.
Telefon (0711) 29 6310 u. 29 72 96
Telex 7 22312(patwod)
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Tetofonlecto Auskünfte und Auftrage sind
nur nach echrWWcher BeettUgung vefttndfch.
-Z-
Im folgenden werden för "Hochfrequenz" und "Filterschal&ung"
die gebrauchlichen Abkürzungen "HF" bzw. "LC-Schaltung"
benutzt.
Ein kontinuierlicher HF-engeregter Wellenleiter-COg-Laser
mit hoher Frequenzabstimmbarkeit bei hoher Ausgangsleistung ist in der Diplomarbeit von G.Merkle des Instituts för
Plasmaforschung der Universität Stuttgart vom Januar 1983 beschrieben. Danach dient die LC-Schaltung dazu, den Immaginärteil
(Reduktanz) der Laserimpedanz möglichst = 0 zu machen und den Realteil (Resistanz) dem Innenwiderstand
des HF-Generators anzupassen.
dieser Art e*.ne möglichst zweckmäßige Bauweise vorzuschlagen.
Diese Aufgabe ist gemäß der Erfindung bei dem eingangs genannten Gaslaser dadurch gelost, daß zur Bildung eines
Kondensators der Filterschaltung als elektrisch r?n Hasse
gelegte erste Elektrode des Kondensators das Lassrgehäuse
vorgesehen ist, daß die aweite Elektrode des Kondensators im Inneren des Gehäuses angeordnet ist und daß eine Stelleinrichtung
zum Einstellen der Kapazität vorhanden ist, mittels deren verschiedene Abstände der zweiten Elektrode
von der Wand des Gehäuses einstellbar sind. Dadurch wird erreicht, daß man den einstellbaren Kondensator innerhalb
des Lasergehäuses und dadurch sehr raumsparend anordnen kann. Dies ist dann besonders vorteilhaft, wenn eine das
Laserrohr in seiner ganzen Länge umhüllende Kühlstoffleitung vorhanden ist, deren Außenwand durch die äußere Wand des
Lasergehäuses gebildet ist. Dadurch wird der für das Kühlmittel #fforderliehe, da· Lseerrohr umfassende Raum gleichzeitig
für die Anordnung des Kondensators der LC-Schaltung benutzt.
Auch kann hierbei des Lasergehause gleichzeitig als elektromagnetische
Abschirmung des Laserrohres und damit gleichzeitig auch des Kondensators der LC-Schaltung dienen.
Bei einer vorteilheften Ausführungsform der Erfindung
ist vorgesehen, daß die zweite Kondensator-Elektrode an mindestens einem elastisch biegsamen Stab angeordnet ist,
der am Lasergehäuse befestigt ist und sich im wesentlichen : längs des Laserrohres erstreckt, daß die Stelleinrichtung
' zum Einstellen der Kapazität ein Stellglied eus einem
isolierenden Stoff mit einer zur Laserrohrachse geneigten Fläche aufweist, die die zweite Kondensator-Elektrode
berührt, und daß das Stellglied im wesentlichen parallel zur Wcnd des Lasergehäuses zum Einstellen der verschiedenen
Abstände ider zweiten Kondensator-Elektrode von der Gehäusewand verschiebbar ist. Dadurch wird die Möglichkeit geschsffen,
: durch axiales Verschieben des Stellgliedes die Kapazität
der LC-Schaltung einzustellen.
Besonders vorteilhaft ist es hierbei, daß das Stellglied zum Einstellen der Kapazität an dem einen Ende einer sich
im wesentlichen parallel zum Laserrohr erstreckenden Gewindespindel ausgebildet ist, deren Gewinde mit dem Gewinde
eines Gewinderinges kämmt, der vom Lasergehäuse gehalten ist. Eine sehr raumsparende, kompakte Bauweise des Gaslasers
erhält men hierbei dadurch, daß die Gewindespindel zum Einstellen der Kapazität als Hülse mit Außengewinde für
den gehäusefesten Gewindering ausgebildet ist und zusammen
mit dem als Kegelstumpf ausgebildeten Stellglied das Laserrohr in einem radialen Abstand umfaßt und daß mehrere Körper
mit kegelstumpfformiger Innenfläche ausgebildet sind,
die in Abständen voneinander mit ihrer Außenfläche dem Lagergehäuse zugekehrt und en der Außenfläche des Stellgliedes
anliegend koaxial zu diesem durch die elestieeh biegsamen
Stäbe gehalten sind, und daß der mit seinem Gewinde mit dein Außengewinde der Hülse im Eingriff stehende Gewinderi.i£
mit seiner Außenfläche an der Innenfläche des L«sergehäueee
befestigt ist.
Ähnlich wie der oben beschriebene Kondensator kann auch
des Bauteil for die einstellbare Induktivität allein oder
zusammen mit dem Kondensator innerhalb des Laeergehäuses
angeordnet sein. Dies kenn dadurch erreicht werden, daß eis Bauteil für die einstellbare Induktivität dsr Filter=
schaltung eine Spule vorgesehen ist, die aus einem schraubenförmig gewundenen Draht besteht und innerhalb des Lasergehäuees
engeordnet ist, und daß eine Stelleinrichtung zum Einstellen der Induktivität vorhanden ist, mittels
deren verschiedene Längen der Spule durch Strecken oder Stauchen derselben einstellbar sind.
Hierbei kann in vorteilhafter Weise vorgesehen sein, daß der schraubenförmig gewundene Draht der Spule mit einem
Ende en einem vom LasergehSuse gehaltenen Isolierkörper befestigt ist und mit seinem anderen beweglichen Ende
mit einer Schraubenmutter verbunden ist, deren Gewinde mit dem Gewinde einer Gewindespindel im Eingriff steht,
die zum Einstellen der Induktivität im Gehäuse axial unverschiebbar und drehbar gelagert ist.
Ahnlich wie bei der Unterbringung des Kondensators im
Lesergehäuse kenn eine vorteilhefte Ausführungsform der
Erfindung dadurch gekennzeichnet sein, daß die Gewindespindel zum Einstellen der Induktivität als Hülse mit Außengewinde
für die Schraubenmutter eusgebildet ist, daß diese Hülse, der gewundene Draht der Spule und der eis Scheibe ausgebildete,
mit dem festen Ende der Spule verbundene gehäusefeste Isolierkörper des Leserrohr in radialem Abstsnd
umfassen und daß die Hülse in der Scheibe drehbar aber axial unverschiebber gehalten ist.
Besondere vorteilhaft ist es hierbei, die beiden erfindungsgemißen
Lösungswege miteinander zu kombinieren und vorzusehen, daß zur Bildung eines Kondensators der Filterschaltung
als elektrisch an Masse gelegte erste Elektrode dee Kondenssters
dss Lsssrgchä'jss vorgesehen ist, dsB dis zweite
Elektrode des Kondensetors im Inneren des Gehäuses angeordnet
ist und daß eine Stelleinrichtung zum Einstellen der Kapazität vorhanden ist, mittels deren verschiedene Abstände
der zweiten Elektrode von der Wand des Gehäuses einstellbar sind und deß als Bauteil för die einstellbare Induktivität
der Filterschaltung eine Spule vorgesehen ist, die aus einem schraubenförmig gewundenen Draht besteht, die innerhalb
des LesergehSus-ss angeordnet ist, und daß eine Stelleinrichtung
zum Einstellen der Induktivität vorhanden ist, mittels deren verschiedene Längen der Spule durch Strecken
oder Stauchen derselben einstellbar sind.
Dies ermöglicht es, des ganze LC-Filter z.B. in der das
Leserrohr umhüllenden Köhlstoffleitung unterzubringen.
in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels eines
- 6-Es zeigen:
Fig. 1 eine teilweise im Schnitt dargestellte Seitenansicht des AusfOhrungsbeispielen;
Fig. 2 einen abgebrochen dargestellten Diametralschnitt des AusfOhrungsbeispiele nach
Fig.l;
Fig. 3 einen Schnitt nach der Linie III - III in Fig.2.
Der in der Zeichnung dargestellte Gaslaser weist ein kreiszylindrisches
Stahlrohr 11 auf, das an seinen beiden Enden durch zwei Aluminiumendplatten 12 und 13 verschlossen
ist, die zentrale Bohrungen fur die Aufnehme des aus Quarzglas hergestellten, das eigentliche Laserrohr 14 bildenden
Wellenleiters dienen. Des Laserrohr 14 ist in gesdichten Durchführungen, die durch in der Zeichnung nicht dargestellte
O-Ringe gebildet sind, so verschiebbar in den Platten 12 und 13 gehalten, daß eine verschiedene Wärmeausdehnung
des Lasergehäuses 11 und des Laserrohres 14 ohne Schaden möglich ist.
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Das aus der Endplatte 12 hereusregende Ende des Laserrohres
14 mündet in einen mit der Endplatte 12 gasdicht verbundenen Stutzen 15. Die äußere öffnung 16 dieses Stutzens
ist von einem Deckel 17 gasdicht dadurch verschlossen, daß er unter Zwischenfügung eines Dichtringes 1&THgr; mittels
Schrsubsn 19, vcn denen in Fig.l nur sine dsrgsstellt
ist, mit dem Stutzen 15 verbunden ist. Der Deckel 17 dient gleichzeitig eis Halterung eines indspiegels 21. Eine
radiale öffnung des Stutzens 15 ist mit einem AhschluBetutzen
22 für eine Zuleitung 23 des Lasergases versehen. In dem der Endplette 12 benachbarten Ende des rohrförmigen Lasergehäuses
M ist ein Anschlußstutzen 24 für die Ableitung einer Kühlflüssigkeit vorgesehen, die dem Lasergehäuse
11 am anderen Ende durch einen Anschlußstutzen 20 zugeführt
wird. '
Ahnlich wie die Endplatte 12 ist auch die Endplette 13
gasdicht mit einem Stutzen 25 verbunden, der einen Anschlußstutzen 26 für die Ableitung des Lasergases aufweist und
dessen öffnung 27 durch einen Spiegel 28 verschlossen int. Der Spiegel 28 ist em Stutzen 25 unter Zwischenfügung
von in Fig.l nur angedeuteten, en beiden Seiten des Spiegels vorgesehenen Dichtringen gasdicht durch einen Deckelring
29 gehalten, der mit dem Stutzen 25 durch Schrauben 31 geholten ist, von denen in Fig.l nur eine dargestellt
ist. Der Spiegel 28 ist teilweise durchlässig, um die Leserstrehlung für eine Nutzung teilweise durchzulassen.
Das Laserrohr 11 weist euf seiner Oberseite eine öffnung
32 auf, die durch einen Deckel 33 flüssigkeitsdicht verschließbar ist. In Fig.3 ist schematisch die Verbindung
des Deckels 33 mit dem Lesergehäuse 11 durch Schrauben 34 angedeutet.
Die Öffnung 32 dient dazu, bei mit dem Kühlmittel gefülltem
Lasergehäuse 11 in diesem angeordnete Bauteile einer einstellbaren Induktivität und Kapazität zur Anpassung
der Impedanz des Lasers an die des in Fig.l nur schematisch angedeuteten HF-Generators 35 anzupassen.
In der Hand des Lasergehiuses 11 ist eine in der Zeichnung
schematisch angedeutete HF-Durchführung 36 vorgesehen, die mit einem in den Fig.l und 2 ebenfalls nur schematisch
engedeuteten Koaxialkabel 37 verbunden ist, durch das die HF-Spannung des Generators 35 dem Laser zugeführt
wird.
Der rohrförmige elektrisch mit der Hasse des HF-Generators
35 verbundene Außenleiter 38 des Koaxialkabels 37 ist mit dem damit ebenfalls elektrisch an Masse gelegten Lasergehause
11 verbunden. Der die HF-Spannung führende Innenleiter 39 ist mit den im Inneren des Lasergehäuses angeordneten
Bauteilen für eine einstellbare Induktivität und Kapazität der dem Laser vorgeschalteten LC-Schaltung verbunden.
Als Bauteil für die einstellbare Kapazität der LC-Sehaltung
ist ein Kondensator vorgesehen, dessen als elektrisch an Masse gelegte erste Elektrode das Lasergehäuse 11 ist.
Die zweite Elektrode des Kondensators besteht aus vier Sektoren 41 eines Aluminiumzylinderringes, deren Innenflächen
42 durch Teile einer Kegelstumpffläche gebildet sind,
die an der kegelstumpfformigen Außenfläche eines Isolierstoff-Stellgliedes
43 anliegen, das am Ende einer zum Laserrohr 14 koaxialen Hülse ausgebildet ist. Die Hülse
44 iet zur Bildung einer Gewindespindel mit einem Außengewinde 45'versahen, dee mit dem Innengewinde eines em Leser»
gehäuse 11 befestigten Ringes 46 im Eingriff stiiht.
An dem dem Stellglied 43 abgekehrten Ende der Hülse ist
im Bereich der öffnung 32 dee Lasergehäuses 11 ein Stellkopf
47 vorgesehen, der radiale Sackbohrungen zum Einführen eines Stiftes zum Drehen der Hülse 44 und damit zum axialen
Verschieben des Stellgliedes 43 aufweist. Die aus Aluminium bestehenden Zylindersektoren 41 sind an elastisch biegsamen
Isolierstoffstäben 49 und 51 gehalten. Der Isolierstate
49 ist am Ring 46 und der Isolierstab 51 an einer ringförmigen Scheibe 52 befestigt, die mit ihrem Außenumfang
an der Innenwandung des Lasergehäuses 11 ebenso wie der Ring 46 befestigt ist.
Als Bauteil für die einstellbare Induktivität der LC-Scheltung
ist eine Spule vorgesehen, die aus einem um des Laserrohr 14 in radialem Abstend schraubförmig gewundenen Draht
53 besteh^, dessen festes Ende 54 durch die Scheibe
52 hindurchgeführt und damit an dieser befestigt ist.
Des andere Ende 55 des Drahtes 53 ist durch eine Isolierstoffmutter
56 hindurchgeführt und damit an dieser befestigt. Die Mutter 56 ist auf das Außengewinde 57 einer koaxial
zum Laserrohr 14 in der Hülse 44 geführten Isolierstoffhülse 58 aufgeschraubt. Der Windungsdurchmesser des Drahtes
53 ist größer als der von ihm umfaßte Außendurchmesser der Hülse 58. Die Hülse 58 greift mit einem zylindrischen
Teil am Ende des Außengewindes 57 in eine zylindrische Bohrung der Scheibe 52 ein, die an einer am Ende d«*s Außengewindes
57 vorgesehenen Schulter anliegt. Durch Konterschrauben 59 ist die Hülse 58 drehbar aber axial nicht verschiebbar
mit der Scheibe 52 verbunden. Der Hohlraum der Hülse 58 let &bgr;&ogr; groß, daß zwischen der Hülse 58 und dam Laserrohr
14 ein Hohlraum 61 für den Durchfluß des Kühlmittels freibleibt.
einen Durchmesser von 2 mm, so daß er so steif ist, daß
er beim Drehen der Hülse 58 ein Mitdrehen der Mutter 52 verhindert aber ein axiales Verschieben derselben ermöglicht.
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Am Laserrohr 14 sind zwei diametral einander gegenüberliegend
aus Drähten gebildete Elektroden 62 und 63 befestigt, die sich im wesentlichen Ober die ganze Länge des im Hohlraum
des Laserrohres 11 befindlichen Teiles des Laserrohres 14 erstrecken. Bei der dargestellten Ausfuhrungsform sind
d\e, die Elektroden 62 und 63 bildenden Drahte gerade
und parallel zur Achse des Laserrohres angeordnet. Sie können aber in diametral gegenüberliegender Stellung um
das Laserrohr mit großer Steigung gewunden sein. Die Elektrode 62 ist mittels einer Leitung 60 mit dem durch die Scheibe
52 durchgeführten Ende 54 des Spulendrahtes 53 verbunden. Die Elektrode 63 ist Ober eine Leitung 64 mit dem Lasergehause
il verbunden und liegt damit elektrisch an Masse. Der Innenleiter 39 des Koaxialkabels 37 ist Ober eine
Leitung 65 mit; dem durch die Mutter 56 hindurchgefOhrten
Ende 55 des Spulendrahtes 52 verbunden, das in einem halbkreisförmigen
Bogen mit dem diametral gegenüberliegenden Zylindersektor 41 verbunden ist. Alle vier Zylindersektoren
41 werden von dem Stellglid 43 gegen die federnde Kraft
der Stäbe 49 und 51 in Abständen voneinander gehalten und sind durch U-förmig gebogene, biegsame Drähte 66 (Fig.2)
zur Bildung einer zweiten Kondensatorelektrode elektrisch miteinander verbunden.
Ebenso wie die Hülse 44 ist *uch die Hülse 58 an ihrem
im Bereich der öffnung 32 liegenden Ende mit einem Stellkopf 67 versehen, der den Radialbohrungen 48 entsprechende
Radialbohrungen 68 aufweist.
Damit des Kühlmittel euch' den die Zylindersektoren 41
und den gewundenen Draht 53 enthaltenden Teil des Hohlraumes des Laeergehäuses 11 durchströmen kenn, sind in dem Ring
46 und in der Scheibe 52 in l:ig.2 nur angedeutete axiale
Bohrungen 69 vorgesehen.
« t t &igr; · t &igr; (·
-Ilium Befestigen des Lasers sind am Laserrohr 11 in Fig.l
dargestellte Halterungen 71 vorgesehen.
Um die Impedanz des beschriebenen Lasers an die des Hochfrequenzgenerators
35 anzupassen, wird bei abgenommenem Deckel 33 das Lasergehäuse 11 Ober die Zuleitung durch
den Anschlußstutzen 25 mit dem Kühlmittel gefüllt. Dann wird durch das Koaxialkabel 37 die Hochfrequenzspannung
dem Laser zugeführt und durch drehen der Hülsen 44 und 58 werden dann der durch die Zylindersektoren 41 in Verbindung
mit dem Lasergehäuse 11 gebildete Kondensator bzw. die durch den gewundenen Draht gebildete Spule der LC-Schaltung
entsprechend eingestellt.
Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist das Lasergehäuse 11 als kreiszylindrisches Rohr ausgebildet. Es kann
aber auch jede beliebige andere, z.B. eine prismatische Form haben. Entsprechend müssen dann die die zweite Kondensatorelektrode
bildenden Körper entsprechende, den Innenwandungen des Lasergehäuses 11 parallele Außenflächen besitzen.
Durch das schraubenförmige Winden der Elektroden 62 und 63 um das Laserrohr 14 werden diese durch dio Leitungen
60 bzw. 64 auf dem Laserrohr festgehalten, so daß eine andere Befestigungsart nicht notwendig ist. Die dargestellten
geraden Elektroden 62 und 63 können durch Baumwollfäden auf dem Leserrohr festgebunden werden.
Alle in der vorstehenden Beschreibung erwähnten sowie euch die nur allein aue der Zeichnung entnehmbaren Merkmale
sind als Weitere Ausgestaltungen Bestandteile dir Erfindung, auch wenn sie nicht besondere hervorgehoben und insbesondere
nicht in den Ansprüchen erwähnt sind.
Il III·
Claims (23)
1. Gaslaser mit Hochfrequenz-Anregung, dessen l.aserrohr
(14) in einem elektrisch an Kasse gelegten, metallischen Gehäuse (11) angeordnet ist und der für die Hochfrequenzanregung
durch einen Hochfrequenzgenerator (35) zwei Elektroden (62,63) aufweist, die sich längs des Laserrohres
(14) einander diametral gegenüberliegend erstrecken und. von denen die eine Elektrode (63) elektrisch an'Masse
liegt und die andere Elektrode (62) mit der Hochfrequenz-Zuleitung (39) verbunden ist, in der eine Filterschaltung
mit einstellbarer Induktivität und Kapazität enthalten ist, um die Impedanz des Lasers an die des Hochfrequenz-Generators
(35) anzupassen, dadurch gekennzeichnet, daß zur Bildung eines Kondensators der Filterschaltung als
elektrisch an hasse gelegte erste Elektrode des Kondensators das Lasergehäuse (11) vorgesehen ist, daß die zweite
Elektrode (41) des Kondensators im Inneren des Gehäuses (11) angeordnet ist und daß eine Stelleinrichtung (43-45)
zum Einstellen der Kapazität vorhanden ist, mittels deren verschiedene Abstände der zweiten Elektrode (41) von
der Wand des Gehäuses (11) einstellbar sind.
2. Gaslaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine das Laserrohr (14) in seiner ganzen Länge umhüllende
Kühlstoffleitung vorhanden ist, deren Außenwand durch die äußere Wand des Lasergehäuses (11) gebildet ist.
3. Gaslaser nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das' Lasergehäuse (11) ein zum Laserrohr (14) koexial
angeordnetes Rohr ist.
4. Gaslaser nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet,
daß des Lasergehäuse (11) eis elektromagnetische Abschirmung des Leserrohres (14) ausgebildet ist.
Tetefon (0711) 29 6310 u 29 72 95 PoetiJobeck Stutfeart (BLZtoOtöl 00 70? 448 42 - 704 Telefonische Auskünfte und Aufträge sind
Telex 7 22 312 (patwo d) Deutlchi Bink Stuttgart (BLZ.dOO.ftft) 70} 1{67485 nur nach schriftlicher Bestätigung verbindlich.
- Ii -
5. Gaslaser nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet,
daß die zweite Kondensator-Elektrode (41) an mindestens einem elastisch biegsamen Stab (49,51) angeordnet
ist, der am Lasergehäuse (11) befestigt ist und sich im wesentlichen längs des Laserrohres (14) erstreckt,
daß die Stelleinrichtung zum Einstellen der Kapazität ein Stellglied (43) aus einem isolierenden Stoff mit
einer zur Laserrohrachse geneigten Fläche aufweist, die die zweite Kondensator-Elektrode (41) berührt, rnd daß das
Stellglied im wesentlichen parallel zur Wand des Lasergehäuses (11) zum Einstellen der verschiedenen Abstände der zweiten
Kondensator-Elektrode (41) von der Gehäusewand verschiebbar ist.
6. Gaslaser nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß als zweite Kondensator-Elektrode mindestens ein sich
mindestens längs eines Teiles des Laserrohres (14) erstreckender flacher Körper (41) vorgesehen ist.
7. Gaslaser nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß
bei mehreren Körpern (41) diese zur Bildung der zweiten Kondensator-Elektrode miteinander elektrisch verbunden
sind.
8. Gaslaser nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet,
daß das Stellglied (43) zum Einstellen der Kapazität und die zweite Kondensator-Elektrode (41) mit
kegelstumpfförmigen Flächer sneinanderliegan.
9. Gaslaser nach einem der Ansprüche 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet,
daß das Stellglied (43) zum Einstellen der Kapazität an dem einen Ende einer eich im wesentlichen
parallel zum Laeerrohr (14) erstreckenden Gewindespindel (44) ausgebildet ist, deren Gewinde (45) mit dem Gewinde
sines Gewinderinges (46) kämmt, der fom Laeergehauee
gehalten ist.
- Ill -
10. Gaslaser noch Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß
die Gewindespindel zum Einstellen der Kapazitit sie Hülse
(44) mit Außengewinde (45) for den gehäusefesten Gewindering
(46) ausgebildet ist und zusammen mit dem als Kegelstumpf ausgebildeten Stellglied (43) das Lsserrohr (14)
in einem radialen Abstand umfaßt, daß mehrere Körper (41) mit kegelstumpffSrmiger Innenfläche auegebildet
eind, die in Abständen voneinander mit ihrer Außenfläche
dem Lasergehiuse (iij zugekehrt und en der Außenfläche
dee Stellgliedes (43) anliegend koaxial zu diesem durch die eleetisch biegsamen Stäbe (49,51) geholten sind,
und daß der mit seinem Gewinde mit dem Außengewinde (45) der HOlse (44) im Eingriff stehende Gewindering (46)
mit seiner Außenfläche en der Innenfläche des Lesergehäuses (11) befestigt ist.
11. Gaslaser mit Hochfrequenz-Anregung, dessen Laserrohr (14) in einem elektrisch an Masse gelegten, metallischen
Gehäuse (11) angeordnet ist und der for die Hochfrequenzenregung
durch einen Hochfrequenzgenerator (35) zwei Elektroden (62,63) aufweist, die sich längs des Laserrohres
(14) einender diametral gegenüberliegend erstrecken und
von denen die eine Elektrode (63) elektrisch an Masse liegt und die andere Elektrode (62) mit der Hochfrequenz-Zuleitung
(39) verbunden ist, in der eine Filterschaltung mit einstellbarer Induktivität und Kapazität enthalten
ist, um die Impedenz des Lesers an die des Hochfrequenz-Generdtors (35) anzupassen, dadurch gekennzeichnet, daß
als Bauteil für die einstellbare Induktivität der Filterschaltung eine Spule vorgesehen ist, die aus einem schraubenförmig
gewundenen Dreht (53) besteht und innerhelb des Lasergehäuses (11) angeordnet ist, und daß eine Stelleinrichtung
(56-58) zum Einstellen der Induktivität vorhanden ist, mittels deren verschiedene Längen der Spule
durch Strecken oder Stauchen derselben einstellbar sind.
I ·
-IV-
12. Gaslaser nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß
der schraubenförmig gewundene Draht (53) der Spule mit einem Ende (54) an einem vom Lasergehäuse (11) gehaltenen
Isolierkörper (52) befestigt ist und mit seinem anderen beweglichen Ende (55) mit einer Schraubenmutter (56)
verbunden ist, deren Gewinde mit dem Gewinde (57) einer Gewindespindel (58) im Eingriff steht, die zum Einstellen
der Induktivität im Gehäuse (11) axial unverschiebbar und drehbar gelagert ist.
13. Gaslaser nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß
die Gewindespindel zum Einstellen der Induktivität als Hülse (58) mit Außengewinde (57) for die Schraubenmutter
(56) ausgebildet ist, daß diese Hülse (58), der gewundene
Dreht (53) der Spule und der sie Scheibe (52) ausgebildete,
mit dem festen Ende (54) der Spule verbundene gehäu.efeste Isolierkörper das Laserrohr (14) in radialem Abstand
umfassen und daß die Hülse (58) in der Scheibe (52) drehbar aber axial unverschiebbar gehalten ist.
14. Gaslaser mit Hochfrequenz-Anregung, dessen Laserrohr (14) in einem elektrisch an Masse gelegten, metallischen
Gehäuse (11) angeordnet ist und der für die Hochfrequenzanregung durch einen Hochfrequenzgenerator (35) zwei
Elektroden (62,63) aufweist, die sich längs des Laserrohres (14) einander diametral gegenüberliegend erstrecken und
von denen die eine Elektrode (63) elektrisch an Masse liegt und die andere Elektrode (62) mit der Hochfrequenz-Zuleitung
(39) verbunden ist, in der eine Filterschaltung mit einstellbarer Induktivität und Kapazität enthalten
ist, um die Impedanz des Lasers an die des Hochfrequenz-Generators
(35) anzupassen, dadurch gekennzeichnet,
-V-
daß zur Bildung einee Kondensators der Filterschaltung
als elektrisch an Hasse gelegte erste Elektrode des Kondensators des LeeergehSuse (11) vorgesehen ist, daß die
zweite Elektrode (41) des Kondensators im Inneren des Geniuses (11) angeordnet ist, daß eine Stelleinrichtung
(43-45) zum Einstellen der Kapazität vorhanden ist, mittels
deren verschiedene Abstände der zweiten Elektrode (41) von der Wand des Gehäuses (11) einstellbar sind, daß
als Bauteil for die einstellbare Induktivität der Filterschaltung
eine Spule vorgesehen ist, die aus einem ächreubenfOrmig
gewundenen Dreht (53) besteht und innerhalb des Lasergehäuses (11) angeordnet ist, und daß eine Stelleinrichtung
(56-58) zum ,Einstellen der Induktivität vorhanden
4-st, mittels deren verschiedene Längen der Spule
durch Strecken oder Stauchen derselben einstellbar sind.
15. Gaslaser noch Anspruch 14, dedurch gekennzeichnet, deß
die zweite Kondensator-Elektrode (41) en mindestens einem elastisch biegsamen Stab (49,51) angeordnet ist, der
am Lasergehause (11) befestigt ist und sich im wesentlichen längs des Leserrohres (14) erstreckt, deß die Stelleinrichtung
zum Einstellen der Kepazität ein Stellglied (43) aus einem isolierenden Stoff mit einer zur Laserrohrechse geneigten Fläche eufweist, die die zweite Kondensator-Elektrode
(41) berührt, und deß das Stellglied (43) im wesentlichen parallel zur Wand des Lesergehäuses
(11) zum Einstellen der verschiedenen Abstände der Kondensator-Elektrode (41) von der Gehäusewand verschiebbar
ist.
16. Gaslaser nach Anspruch 15, dedurch gekennzeichnet, deß
eis zweite Kondensator-Elektrode mindestens ein sich mindestens längs eines Teiles des Laserrohres (14) erstreckender
flacher Körper (41) vorgesehen ist.
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-VI-
17. Gaslaser nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß
ale zweite Kondensator-Elektrode mehrere sich mindestens länge einee Teiles dee Leserrohres (14) erstreckende
und miteinender elektrisch verbundene Körper (41) vorgesehen sind.
18. Gaslaser noch einem der Ansprüche 15 bis 17, dadurch
gekennzeichnet, daß das Stellglied (43) zum Einstellen der Kapazität und die zweite Kondensator-Elektrode (41)
mit kegelstumpfförmigen Flächen eneinenderliegen.
19. Gaelaee? nach einem der Ansprüche 15 bis 18, dadurch
gekennzeichnet, daß das Stellglied (43) zum Einstellen der Kepezität en dem einen Ende einer sich im wesentlichen
parallel zum Laserrohr (14) erstreckenden Gewindespindel (44) ausgebildet ist, deren Gewinde (45) mit dem Gewinde
eines G'ewinderinges (46) kämmt, der vom Lasergehause
gehalten ist und daß der schraubenförmig gewundene Draht (53) der Spule mit einem Ende (54) en einem vom Lasergehäuse
(11) geheltenen Isolierkörper (52) befestigt ist und mit seinem anderen beweglichen Ende (55) mit
einer Schraubenmutter (56) verbunden ist, die auf dem Gewinde (57) einer Gewindespindel (58) eufgeschraubt
ist, die zum Einstellen der Induktivität im Gehäuse (11) axial unverschiebbar und drehbar gelagert ist.
20. Gaslaser nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß
die Gewindespindel zum Einstellen der Kepazität eis Hülse (44) mit Außengewinde (45) für den gehäusefesten Gewinde-
ring (46) ausgebildet ist und das Laserrohr (14) zusammen mit dem als Kegelstumpf ausgebildeten Stellglied (43)
in einem radialen Abstand umfaßt und daß mehrere Korper
- VII -
(41) mit kegelstumpfförmiger Innenflache ausgebildet
sind, die in Abständen voneinander mit ihrer Außenfläche
dem Lasergehause (11) zugekehrt und an der Außenfläche
des Stellgliedes (43) anliegend koaxial zu diesem durch die elastisch biegsamen Stäbe (49,51) gehalten sind,
daß der mit seinem Gewinde mit dem Außengewinde (45) der Hülse (44) zum Einstellen der Kapazität im Eingriff
stehende Gewindering (46) mit seiner Außenfläche an der Innenfläche des Lasergehäuses (11) befestigt ist, daß
die Gewindespindel zum Einstellen der Induktivität als HOlse (58) mit Außengewinde (57) for die Schraubenmutter
(56) ausgebildet ist, daß beide Hülsen (44,58), der gewundene Draht (53) der Spule und der als Scheibe (5Z) ausgebildete,
jnit dem festen Ende (54) der Spule verbundene gehäusefeste Isolierkörper des Laserrohr (14) in radialem
Abstand umfassen und daß die HOlse (58) in der Scheibe (52) drehbar aber axial unverschiebbar gehalten ist.
21. Gaslaser nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß
die Hölee (58) zum Einstellen der Induktivität in der
Hülee (44) zum Einstellen der Kapazität drehbar gelagert
ist.
22. Gaslaser nach Anspruch 20 oder 21, dadurch gekennzeichnet,
daß das Lasergehäuse (11) ein kreiszylindrieches
Rohr ist, daß die Körper Sektoren (41) eines Kreiszylinderrohres
sind und zusammen mit den Hülsen (44) in einem radialen Abstand vom Laserrohr (14) koaxial zu diesem
angeordnet sind.
23. Gaslaser nach einem der Ansprüche 20 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß die Hülsen (44, 58) mit einem Stellkopf
(47,87) versehen sind und daß für die Betätigung der
Stellköpfe im Lesergehluse (11) eine verschließbare öffnung
(32) vorhanden ist.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE8702125U DE8702125U1 (de) | 1986-04-29 | 1987-02-12 | Gaslaser mit Hochfrequenzanregung |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19868611727 DE8611727U1 (de) | 1986-04-29 | 1986-04-29 | Gaslaser mit Hochfrequenzanregung |
| DE8702125U DE8702125U1 (de) | 1986-04-29 | 1987-02-12 | Gaslaser mit Hochfrequenzanregung |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE8702125U1 true DE8702125U1 (de) | 1987-06-19 |
Family
ID=25950857
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE8702125U Expired DE8702125U1 (de) | 1986-04-29 | 1987-02-12 | Gaslaser mit Hochfrequenzanregung |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE8702125U1 (de) |
-
1987
- 1987-02-12 DE DE8702125U patent/DE8702125U1/de not_active Expired
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